KR20050080314A - 기판 반송 장치 - Google Patents
기판 반송 장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20050080314A KR20050080314A KR1020040008388A KR20040008388A KR20050080314A KR 20050080314 A KR20050080314 A KR 20050080314A KR 1020040008388 A KR1020040008388 A KR 1020040008388A KR 20040008388 A KR20040008388 A KR 20040008388A KR 20050080314 A KR20050080314 A KR 20050080314A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- guide
- arm
- horizontal guide
- substrate
- vertical
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67718—Changing orientation of the substrate, e.g. from a horizontal position to a vertical position
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
Claims (10)
- 기판을 지지하고 진퇴 동작과 회전 동작이 가능한 아암과,상기 아암의 수평 방향 이동을 안내하는 수평 가이드와,상기 아암의 수직 방향 이동을 안내하는 수직 가이드를 포함하며,상기 아암은 상기 수평 가이드 및 상기 수직 가이드와는 이동 가능하게 결합된 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
- 제1항에 있어서,상기 수평 가이드는 상부 수평 가이드와 하부 수평 가이드를 포함하고,상기 수직 가이드는 서로 이격된 복수개의 수직 프레임과 상기 수평 가이드를 따라 이동되는 보조 가이드를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 수직 가이드의 내부는 배기 통로 역할을 하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
- 제2항에 있어서,상기 상부 수평 가이드와 상기 하부 수평 가이드 중에서 적어도 어느 하나는 배기관과 결합된 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
- 제2항 또는 제4항에 있어서,상기 하부 수평 가이드는 상기 아암을 수평 이동시키는, 그리고 랙과 결합된 제한된 길이를 갖는 이송 벨트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
- 제2항에 있어서,상기 보조 가이드는 공기 순환 통로를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
- 제1항에 있어서,상기 아암은 기판 위를 덮으며, 에어가 분출되는 개구를 갖는 커버를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
- 기판을 지지하고, 진퇴 동작과 회전 동작이 가능하며, 지지된 기판의 위를 덮으며 에어를 분출하는 개구를 갖는 커버를 포함하는 아암;상기 아암을 수평 방향으로 이동시키는 이송 벨트를 내장하는 하부 수평 가이드와, 상기 하부 수평 가이드와 평행한 상부 수평 가이드를 포함하여 상기 아암의 수평 방향의 이동을 안내하는 수평 가이드;서로 이격된 복수개의 수직한 프레임과 상기 상부 수평 가이드를 따라 이동되는 보조 가이드를 포함하여 상기 아암의 수직 방향의 이동을 안내하는 수직 가이드; 및상기 하부 수평 가이드 측면에 결합된 하부 배기관과 상기 상부 수평 가이드 측면에 결합된 상부 배기관;을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
- 제8항에 있어서,상기 수직 가이드의 내부는 배기 통로 역할을 하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
- 제8항에 있어서,상기 보조 가이드는 공기 순환 통로를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020040008388A KR100562017B1 (ko) | 2004-02-09 | 2004-02-09 | 기판 반송 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020040008388A KR100562017B1 (ko) | 2004-02-09 | 2004-02-09 | 기판 반송 장치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20050080314A true KR20050080314A (ko) | 2005-08-12 |
KR100562017B1 KR100562017B1 (ko) | 2006-03-16 |
Family
ID=37267131
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020040008388A KR100562017B1 (ko) | 2004-02-09 | 2004-02-09 | 기판 반송 장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100562017B1 (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20130056752A (ko) | 2011-11-22 | 2013-05-30 | 세메스 주식회사 | 반송로봇 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4414910B2 (ja) | 2005-02-17 | 2010-02-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 半導体製造装置及び半導体製造方法 |
-
2004
- 2004-02-09 KR KR1020040008388A patent/KR100562017B1/ko active IP Right Review Request
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20130056752A (ko) | 2011-11-22 | 2013-05-30 | 세메스 주식회사 | 반송로봇 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100562017B1 (ko) | 2006-03-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6543534B2 (ja) | 基板処理装置 | |
KR100687008B1 (ko) | 파티클을 효과적으로 흡입 배출할 수 있는 기판 반송 장치 | |
JP4541232B2 (ja) | 処理システム及び処理方法 | |
CN101388327B (zh) | 基板处理装置以及基板处理方法 | |
KR100795657B1 (ko) | 기판 처리 장치 | |
US6146083A (en) | Substrate transferring apparatus and substrate processing apparatus using the same | |
KR20200089609A (ko) | 기판 처리 방법 및 기판 처리 장치 | |
JP2005212943A (ja) | ガラス基板の搬送システム | |
JP5726686B2 (ja) | 液処理装置、及び液処理装置の制御方法 | |
KR19990014300A (ko) | 기판반송장치 및 그것을 이용한 기판처리장치 | |
JP3954686B2 (ja) | 基板の搬送装置及び基板の搬送方法 | |
KR102605684B1 (ko) | 기판 부상 반송 장치 | |
US10134609B2 (en) | Substrate transporting device, substrate treating apparatus, and substrate transporting method | |
KR100562017B1 (ko) | 기판 반송 장치 | |
KR101212814B1 (ko) | 개선된 코팅 영역의 기판 부상 장치 및 부상 방법, 및 이를 구비한 코팅 장치 | |
CN102442542A (zh) | 衬底交接装置以及衬底交接方法 | |
KR100542630B1 (ko) | 반도체 제조 설비 | |
JP4503384B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP2000174095A (ja) | 基板処理装置 | |
KR102303594B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 방법 | |
JP5522903B2 (ja) | 基板乾燥装置およびそれを備えた基板処理装置 | |
JP2019036595A (ja) | 液処理装置 | |
KR20110122007A (ko) | 다축으로 스트로크가 조절되는 아암이 구성된 기판 반송장치 | |
KR100542631B1 (ko) | 반도체 제조 설비 | |
US11651979B2 (en) | Transfer unit and apparatus for treating substrate |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
O035 | Opposition [patent]: request for opposition | ||
O132 | Decision on opposition [patent] | ||
O074 | Maintenance of registration after opposition [patent]: final registration of opposition | ||
G171 | Publication of correction by opposition | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130305 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140311 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150311 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160309 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180312 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20190307 Year of fee payment: 14 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20200303 Year of fee payment: 15 |