KR20050047432A - 프로브 설비의 온도제어기 - Google Patents

Abstract

본 발명은 프로브 설비의 온도제어기에 관한 것으로, 본 발명에서는 전압측정콘트롤러를 구비하여 배터리의 잔여 전압값을 측정하고, 측정된 전압값을 디스플레이하므로써 작업자가 실시간에 걸쳐 배터리의 잔량을 확인할 수 있어, 정확한 시기에 배터리의 교체작업을 수행할 수 있으므로 설비의 가동효율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

Description

프로브 설비의 온도제어기{TEMPERATURE CONTROLLER FOR PROBE EQUIPMENT}

본 발명은 프로브 설비의 온도제어기에 관한 것이다.

일반적으로, 웨이퍼 상태로 제조가 완료된 반도체 칩은 액정 표시소자(LCD: Liquid Crystal Display)나, 반도체 패키지로 조립되기 이전에 그 전기적 특성을 검사하는 전기적 다이 분류(EDS: Electrical Die Sorting, 이하 'EDS'라 칭함.)검사를 실시한다. 이와 같은 EDS 검사는, 컴퓨터에 각종 측정기기들이 내장된 테스터(tester)와, 피검사체인 웨이퍼의 단위 반도체 칩을 전기적으로 접촉시킬 수 있는 프로브 카드(probe card)가 탑재된 프로브 설비를 통해 수행된다.

EDS 검사과정에서는 웨이퍼의 고온테스트를 위해 웨이퍼가 안착되는 척에 히터를 구비한 핫척(HOT CHUCK)을 사용한다. 또한, 상기 핫척을 일정온도로 유지시키기 위한 온도제어기가 프로브 설비의 콘트롤부에 구비된다. 이와 같은 온도제어기는 상기 핫척에 설치된 온도센서를 통해 실시간 핫척의 온도를 측정하고, 측정된 온도감지값에 따라 히터의 전원공급을 제어하므로써 핫척을 일정온도로 유지시킨다.

이때, 상기 온도제어기는 그 본체가 피씨비(PCB)상에 제어회로를 구성하는 각 부품이 실장되는 보드(BOARD)형태로 구성되는데, 이와 같은 보드형태 온도제어기에는 지속적으로 정보값을 저장하기 위하여 별도의 전원을 공급하는 배터리(BATTERY)가 실장된다.

하지만, 기존의 온도제어기는 전술한 바와 같이 프로브 설비의 콘트롤부에 설치되고, 이러한 프로브 설비의 소정부에 마련된 디스플레이부를 통해 현재 온도값만을 디스플레이함에 따라 배터리의 잔량확인을 위해서는 프로브 설비를 오프(off)시켜야 하므로 배터리의 잔량을 실시간 확인할 수 없는 단점이 있다.

한편, 상기와 같이 배터리잔량확인이 용이치 않은 문제점이 상존하는 상태에서 온도제어기에 부착된 배터리가 소멸되면, 프로브 설비의 콘트롤부와 온도제어기간의 인터페이스가 되지 않아 정확한 온도설정값을 얻을 수 없고, 이와 같은 상태에서 반도체 칩에 대한 테스트를 수행할 경우 온도편차에 따른 수율차이가 발생함은 물론 프로브 설비의 가동이 중단되는 문제점을 야기시킨다.

또한, 상기와 같이 프로브 설비가 순간정지할 경우 작업자가 배터리를 교체하고 온도값을 재 설정하기 전까지의 시간동안 설비의 정지로스가 발생되고, 테스트를 진행하던 반도체 칩에 대해서는 테스트작업을 재차 진행해야하는 번거로움이 발생된다.

이에, 본 발명은 종래 프로브 설비의 온도제어기가 갖는 제반적인 문제점을 해결하고자 창안된 것으로,

본 발명의 목적은 작업자가 실시간에 걸쳐 배터리의 잔량을 확인할 수 있도록하여 정확한 시기에 배터리의 교체작업을 수행토록하므로써 설비의 가동효율을 향상시킬 수 있는 프로브 설비의 온도제어기를 제공함에 있다.

또 다르게는 배터리 교체시기에 정확성을 기함에 따라 설비의 순간정지를 미연에 방지할 수 있어, 반도체 칩 리테스트작업의 번거로움을 해소할 수 있는 프로브 설비의 온도제어기를 제공함에 있다.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 구체적인 수단으로는;

프로브 설비의 콘트롤부에 설치되며, 제어회로를 구성하는 각 부품이 피씨비에 실장된 보드형 본체;

상기 보드형 본체에 전기적으로 연결되어 온도값을 디스플레이하는 온도디스플레이부; 및

상기 보드형 본체에 탈,부착가능하게 설치되는 배터리;를 포함하되,

상기 배터리에는 전압량을 측정하기 위한 전압측정콘트롤러가 설치되고, 상기 전압측정콘트롤러는 상기 온도디스플레이부를 통해 전압값을 디스플레이할 수 있도록 상기 온도디스플레이부와 전기적으로 연결되는 프로브 설비의 온도제어기를 구비하므로써 달성된다.

이때, 상기 전압측정콘트롤러는 상기 배터리의 +/- 단자에 컨넥터를 연결하여 상기 배터리의 잔여 전압값을 측정한다.

또한, 상기 전압측정콘트롤러는 상기 온도디스플레이부에 배터리의 잔여전압값을 송출한다.

한편, 상기 전압측정콘트롤러는 알람수단과 연결된다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부도면에 의거 상세히 설명하기로 한다.

도 1은 본 발명에 따른 프로브 설비의 온도제어기를 설명하기 위한 구성도이다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 온도제어기(1)는 전압측정콘트롤러(2)를 구비하여 배터리(13)의 잔여 전압값을 측정하고, 측정된 전압값을 디스플레이하도록 구성된다.

여기서, 본 발명이 적용되는 프로브 설비(100)의 온도제어기(1)는 웨이퍼의 고온테스트를 위한 핫척(120)의 온도를 제어하기 위해 프로브 설비(100)의 콘트롤부(110)에 설치된다. 이러한 온도제어기(1)는 그 본체(11)가 피씨비상에 제어회로를 구성하는 각 부품이 실장되는 보드형태로 구성된다. 이와 같은 온도제어기(1)는 프로브 설비(100)의 소정부에 마련된 온도디스플레이부(12)를 통해 온도값을 디스플레이하되, 상기 온도디스플레이부(12)에는 온도를 세팅하는 업/다운 버튼(121,121')이 구비된다. 또한, 온도제어기(1)의 보드형 본체(11)에는 별도의 전원을 공급하는 배터리(13)가 실장된다.

이때, 본 발명에서는 상기 배터리(13)의 잔여 전압값을 측정하기 위한 전압측정콘트롤러(2)를 구비한다. 이와 같은 전압측정콘트롤러(2)는 온도제어기(1)의 보드형 본체(11)에 실장되거나 프로브 설비(100)의 콘트롤부(110)에 설치할 수 있으며, 상기 배터리(13)의 +/- 단자에 컨넥터를 연결하여 상기 배터리(13)의 잔여 전압값을 측정하게 된다. 또한, 상기 전압측정콘트롤러(2)는 상기 온도디스플레이부(12)를 통해 전압값을 디스플레이할 수 있도록 상기 온도디스플레이부(12)와 전기적으로 연결된다. 이에 따라, 상기 전압측정콘트롤러(2)는 상기 배터리(13)의 잔여전압값을 측정하여 상기 온도디스플레이부(12)에 배터리(13)의 잔여전압값을 송출한다.

본 발명에서는 전압측정콘트롤러(2)에서 측정된 배터리(13)의 전압값을 온도디스플레이부(12)에 표시하기 위해, 온도디스플레이부(12)의 업/다운 버튼(121,121')을 동시에 누르면 배터리(13) 용량이 표시되고 몇 초가 지나면 자동으로 온도가 표시되는 방식을 적용한다. 이에 따라, 작업자는 온도값만을 표시하던 온도디스플레이부(12)를 통해 수시로 배터리(13)의 용량을 측정할 수 있다.

또한, 상기 전압측정콘트롤러(2)는 알람수단(14)과 전기적으로 연결되는데, 이와 같은 알람수단(14)은 프로브 설비(100)에 구비되는 경광등 또는 싸이렌 등을 적용하거나 프로브 설비(100)에 불비된 경우에는 추가로 장착하게 된다. 이에 따라, 배터리(13)의 잔여전압값이 기준전압값(3.6V)이하일 경우 상기한 알람수단(14)을 구동시켜 작업자에게 시각 또는 청각적으로 알람상황을 인지시키게 된다.

그리고, 상기와 같이 배터리(13)의 용량이 기준전압값이하일 경우, 알람발생과 동시에 프로브 설비(100)가 연동하여 정지할 수 있도록 전압측정콘트롤러(2)는 프로브 설비(100)의 콘트롤러(110)에 신호를 송출하게 된다.

따라서, 상기와 같은 구성을 갖는 본 발명에 따른 프로브 설비(100)의 온도제어기(1)는 전압측정콘트롤러(2)를 구비하여 배터리(13)의 잔여 전압값을 측정하고, 작업자로 하여금 온도디스플레이부(12)를 통해 잔여전압값을 확인할 수 있도록 구성됨에 따라 정확한 배터리(13)의 교체시기를 알 수 있으므로 기존과 같은 테스트의 수행시 온도편차가 발생하는 것을 방지할 수 있고, 프로브 설비(100)의 순간정지를 방지할 수 있는 것이다.

이상과 같이, 본 발명에 따른 프로브 설비의 온도제어기는 작업자가 실시간에 걸쳐 배터리의 잔량을 확인할 수 있어, 정확한 시기에 배터리의 교체작업을 수행할 수 있으므로 설비의 가동효율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다. 또한, 배터리의 전압이 기준전압값이하일 경우 알람을 발생함과 아울러 프로브 설비를 자동정지시켜 기존과 같은 설비의 순간정지를 미연에 방지할 수 있으므로써 반도체 칩 리테스트작업의 번거로움을 해소할 수 있는 효과가 있다.

도 1은 본 발명에 따른 프로브 설비의 온도제어기를 설명하기 위한 구성도이다.

<도면주요부위에 대한 부호의 설명>

1 : 온도제어기 2 : 전압측정콘트롤러

11 : 보드형 본체 12 : 온도디스플레이부

13 : 배터리 14 : 알람수단

100 : 프로브 설비 110 : 콘트롤부

120 : 핫척 121,121' : 업/다운 버튼

Claims (4)

1. 프로브 설비의 콘트롤부에 설치되며, 제어회로를 구성하는 각 부품이 피씨비에 실장된 보드형 본체;

   상기 보드형 본체에 전기적으로 연결되어 온도값을 디스플레이하는 온도디스플레이부; 및

   상기 보드형 본체에 탈,부착가능하게 설치되는 배터리;를 포함하되,

   상기 배터리에는 전압량을 측정하기 위한 전압측정콘트롤러가 설치되고, 상기 전압측정콘트롤러는 상기 온도디스플레이부를 통해 전압값을 디스플레이할 수 있도록 상기 온도디스플레이부와 전기적으로 연결되는 프로브 설비의 온도제어기.
2. 제 1항에 있어서, 상기 전압측정콘트롤러는 상기 배터리의 +/- 단자에 컨넥터를 연결하여 상기 배터리의 잔여 전압값을 측정하도록 구성됨을 특징으로 하는 프로브 설비의 온도제어기.
3. 제 1항에 있어서, 상기 전압측정콘트롤러는 상기 온도디스플레이부에 배터리의 잔여전압값을 송출하도록 구성됨을 특징으로 하는 프로브 설비의 온도제어기.
4. 제 1항에 있어서, 상기 전압측정콘트롤러는 알람수단과 연결됨을 특징으로 하는 프로브 설비의 온도제어기.