KR20050003498A - 액정표시장치용 어레이기판과 그 제조방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (18)
- 기판 상에 일 방향으로 연장된 게이트 배선과;상기 게이트 배선과 수직하게 교차하여 화소 영역을 정의하는 데이터 배선과;상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차지점에 위치한 박막트랜지스터와;상기 박막트랜지스터와 게이트 배선 및 데이터 배선을 덮는 블랙매트릭스와;상기 화소 영역에 구성되는 컬러필터와;상기 박막트랜지스터와 접촉하면서 상기 컬러필터의 상부에 위치하고, 상기 화소 영역의 주변에서 상기 하부의 블랙매트릭스와 접촉하여 형성되는 투명한 화소전극을 포함하는 액정표시장치용 어레이기판.
- 제 1 항에 있어서,상기 박막트랜지스터와 상기 블랙매트릭스 사이에 무기 절연막이 더욱 구성된 액정표시장치용 어레이기판.
- 제 1 항에 있어서,상기 블랙 매트릭스는 블랙수지(감광성 유기물질)로 구성된 액정표시장치용어레이기판.
- 제 1 항에 있어서,상기 화소 전극은 상기 게이트 배선 및 데이터 배선의 상부로 연장되어 하부의 블랙매트릭스와 접촉하여, 상기 컬러필터를 외부로부터 차폐하도록 구성된 액정표시장치용 어레이기판.
- 제 1 항에 있어서,상기 게이트 배선의 상부에 상기 화소 전극과 접촉하는 금속패턴이 더욱 구성된 액정표시장치용 어레이기판.
- 제 5 항에 있어서,상기 금속패턴을 제 1 전극으로 하고 금속패턴의 하부의 게이트 배선 일부를 제 2 전극으로 하는 스토리지 캐패시터가 더욱 구성된 액정표시장치용 어레이기판.
- 제 1 항에 있어서,상기 박막트랜지스터는 게이트 전극과 액티브층과 소스 전극과 드레인 전극으로 구성된 액정표시장치용 어레이기판.
- 기판 상에 일 방향으로 연장된 게이트 배선을 형성하는 단계와;상기 게이트 배선과 수직하게 교차하여 화소 영역을 정의하는 데이터 배선을 형성하는 단계와;상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차지점에 박막트랜지스터를 형성하는 단계와;상기 박막트랜지스터와 게이트 배선 및 데이터 배선을 덮는 블랙매트릭스를 형성하는 단계와;상기 화소 영역에 컬러필터를 형성하는 단계와;상기 박막트랜지스터와 접촉하면서 상기 컬러필터의 상부에 위치하고, 상기 화소 영역의 주변에서 상기 하부의 블랙매트릭스와 접촉하는 투명한 화소 전극을 형성하는 단계를포함하는 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
- 제 8 항에 있어서,상기 박막트랜지스터와 상기 블랙매트릭스 사이에 무기 절연막이 더욱 형성된 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
- 제 9 항에 있어서,상기 무기 절여막은 질화 실리콘(SiNx) 또는 산화 실리콘(SiO2)인 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
- 제 8 항에 있어서,상기 블랙 매트릭스는 블랙수지(감광성 유기물질)로 구성된 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
- 제 8 항에 있어서,상기 화소 전극은 상기 게이트 배선 및 데이터 배선의 상부로 연장되어 하부의 블랙매트릭스와 접촉하여, 상기 컬러필터를 외부로부터 차폐하도록 형성된 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
- 제 8 항에 있어서,상기 게이트 배선의 상부에 상기 화소 전극과 접촉하는 금속패턴이 더욱 형성된 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
- 제 13 항에 있어서,상기 금속 패턴을 제 1 전극으로 하고 금속패턴의 하부에 구성되는 게이트 배선의 일부를 제 2 전극으로 하는 스토리지 캐패시터가 더욱 형성된 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
- 제 8 항에 있어서,상기 박막트랜지스터는 게이트 전극과, 액티브층과 , 소스 및 드레인 전극으로 형성된 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
- 기판 상에 일 방향으로 연장된 게이트 배선과 이와 접촉하는 게이트 전극을 형성하는 단계와;상기 게이트 배선과 게이트 전극의 상부에 무기 절여막을 형성하는 단계와;상기 게이트 전극에 대응하는 상기 무기 절연막의 상부에 비정질 실리콘과 불순물 비정질 실리콘을 순차 증착한 후 패턴하여, 적층된 액티브층과 오믹 콘택층을 형성하는 단계와;상기 오미 콘택층의 상부에 서로 이격된 소스 전극과 드레인 전극과, 소스 전극과 연결되고 상기 게이트 배선과는 수직하게 교차하여 화소 영역을 정의하는 데이터 배선을 형성하는 단계와;상기 소스 및 드레인 전극과, 상기 게이트 배선과 상기 데이터 배선에 대응하여 블랙매트릭스를 형성하는 단계와;상기 화소 영역에 컬러필터를 형성하는 단계와;상기 드레인 전극과 접촉하면서 상기 컬러필터의 상부로 연장하여 형성되고, 상기 게이트 배선과 데이터 배선 상부의 블랙매트릭스와 접촉하는 화소 전극을 형성하는 단계를포함하는 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
- 제 16 항에 있어서,상기 화소 전극은 상기 게이트 배선 및 데이터 배선의 상부로 연장되어 하부의 블랙매트릭스와 접촉하여, 상기 컬러필터를 외부로부터 차폐하도록 형성된 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
- 제 16 항에 있어서,상기 소스 및 드레인 전극과 블랙 매트릭스 사이에 무기 절연막이 더욱 구성된 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
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