JPH1187293A - ウェーハ収容ボートの洗浄装置 - Google Patents
ウェーハ収容ボートの洗浄装置Info
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- JPH1187293A JPH1187293A JP23618197A JP23618197A JPH1187293A JP H1187293 A JPH1187293 A JP H1187293A JP 23618197 A JP23618197 A JP 23618197A JP 23618197 A JP23618197 A JP 23618197A JP H1187293 A JPH1187293 A JP H1187293A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ボート溝内などに付着している従来除去する
ことが難しかったゴミや薬液も確実に洗い流す。 【解決手段】 管状の各ノズル６は洗浄槽４内に回転可
能に取り付けられており、管壁のほぼ全体には無数の貫
通孔が形成されている。モータ２８を回転させると、そ
の回転力はプーリ１８、２０、２２、２４、３０、ベル
ト２６、３２を介して各プーリに伝達され、各ノズル６
が回転する。そして、ホース１６を通じてノズル６に供
給した水は、回転するノズル６の貫通孔から噴出し、ボ
ート３４に対して様々な方向から入射する。
ことが難しかったゴミや薬液も確実に洗い流す。 【解決手段】 管状の各ノズル６は洗浄槽４内に回転可
能に取り付けられており、管壁のほぼ全体には無数の貫
通孔が形成されている。モータ２８を回転させると、そ
の回転力はプーリ１８、２０、２２、２４、３０、ベル
ト２６、３２を介して各プーリに伝達され、各ノズル６
が回転する。そして、ホース１６を通じてノズル６に供
給した水は、回転するノズル６の貫通孔から噴出し、ボ
ート３４に対して様々な方向から入射する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウェーハを
加熱処理する際に半導体ウェーハを収容するボートを、
ノズルから洗浄液を噴出させて洗浄するウェーハ収容ボ
ートの洗浄装置に関するものである。
加熱処理する際に半導体ウェーハを収容するボートを、
ノズルから洗浄液を噴出させて洗浄するウェーハ収容ボ
ートの洗浄装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体素子は種々の工程を経て製造され
るが、通常、その１工程として、半導体ウェーハの加熱
処理が行われる。この加熱処理では、半導体ウェーハは
石英製のボート内に収容し、ボートと共に加熱炉内に配
置される。ボートは繰り返し使用するため、加熱処理が
終了すると、ボートの付着膜をフッ酸や硝酸などの薬液
によってエッチングし、さらにボートに水を噴射して洗
浄する。図４は従来のウェーハ収容ボートの洗浄装置の
要部を示す短軸方向の概略断面側面図である。管状の４
本のノズル１０２がそれぞれ洗浄槽１０４内の底の角部
と、上縁部に互いに平行に延在させて固定されている。
各ノズル１０２の管壁には、洗浄槽１０４の中央に向い
た面に多数の微小な貫通孔が形成されている。そして、
洗浄すべきボート１０６を洗浄槽１０４の中央部に配置
し、各ノズル１０２に水を供給して貫通孔から噴出させ
ることでボート１０６が洗浄される。
るが、通常、その１工程として、半導体ウェーハの加熱
処理が行われる。この加熱処理では、半導体ウェーハは
石英製のボート内に収容し、ボートと共に加熱炉内に配
置される。ボートは繰り返し使用するため、加熱処理が
終了すると、ボートの付着膜をフッ酸や硝酸などの薬液
によってエッチングし、さらにボートに水を噴射して洗
浄する。図４は従来のウェーハ収容ボートの洗浄装置の
要部を示す短軸方向の概略断面側面図である。管状の４
本のノズル１０２がそれぞれ洗浄槽１０４内の底の角部
と、上縁部に互いに平行に延在させて固定されている。
各ノズル１０２の管壁には、洗浄槽１０４の中央に向い
た面に多数の微小な貫通孔が形成されている。そして、
洗浄すべきボート１０６を洗浄槽１０４の中央部に配置
し、各ノズル１０２に水を供給して貫通孔から噴出させ
ることでボート１０６が洗浄される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このような従
来のウェーハ収容ボートの洗浄装置では、ノズル１０２
から噴出した水は常に一定の方向にしか飛散せず、その
ため洗浄が十分に行われない場合があった。図５の
（Ａ）はボート１０６の斜視図、（Ｂ）は部分拡大断面
図である。図５の（Ｂ）は図５の（Ａ）のａの箇所を拡
大して示しており、この箇所には図のように複数のボー
ト溝１０８が形成されている。そして、従来のウェーハ
収容ボートの洗浄装置では、このようなボート溝１０８
内に、エッチングにより生じた付着膜の破片などのゴミ
や薬液１１０が残留する場合がしばしばあった。
来のウェーハ収容ボートの洗浄装置では、ノズル１０２
から噴出した水は常に一定の方向にしか飛散せず、その
ため洗浄が十分に行われない場合があった。図５の
（Ａ）はボート１０６の斜視図、（Ｂ）は部分拡大断面
図である。図５の（Ｂ）は図５の（Ａ）のａの箇所を拡
大して示しており、この箇所には図のように複数のボー
ト溝１０８が形成されている。そして、従来のウェーハ
収容ボートの洗浄装置では、このようなボート溝１０８
内に、エッチングにより生じた付着膜の破片などのゴミ
や薬液１１０が残留する場合がしばしばあった。
【０００４】洗浄が不十分な場合には、加熱処理を行っ
た際に、残留しているゴミや薬液１１０が飛散したり蒸
発するなどして半導体ウェーハの表面にパーティクルが
付着したり、半導体ウェーハの表面異常が発生してしま
い、そのような半導体ウェーハは不良品となって製造歩
留りが低下する結果となる。
た際に、残留しているゴミや薬液１１０が飛散したり蒸
発するなどして半導体ウェーハの表面にパーティクルが
付着したり、半導体ウェーハの表面異常が発生してしま
い、そのような半導体ウェーハは不良品となって製造歩
留りが低下する結果となる。
【０００５】そこで本発明の目的は、このような問題を
解決するため、ボート溝内などに付着している従来除去
することが難しかったゴミや薬液も確実に洗い流すこと
ができるウェーハ収容ボートの洗浄装置を提供すること
にある。
解決するため、ボート溝内などに付着している従来除去
することが難しかったゴミや薬液も確実に洗い流すこと
ができるウェーハ収容ボートの洗浄装置を提供すること
にある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため、半導体ウェーハを加熱処理する際に前記半導
体ウェーハを収容するボートを、ノズルから洗浄液を噴
出させて洗浄するウェーハ収容ボートの洗浄装置であっ
て、前記ボートを収容する洗浄槽と、仮想直方体の平行
な４本の辺に沿ってそれぞれ延在し前記洗浄槽内で前記
各辺を中心に回転可能に配設され、管壁のほぼ全体に無
数の貫通孔が形成された管状のノズルと、前記ノズルを
それぞれの中心線の回りに回転駆動する駆動手段とを備
え、４本の前記ノズルの内側に前記ボートを配置して前
記ボートを洗浄することを特徴とする。
するため、半導体ウェーハを加熱処理する際に前記半導
体ウェーハを収容するボートを、ノズルから洗浄液を噴
出させて洗浄するウェーハ収容ボートの洗浄装置であっ
て、前記ボートを収容する洗浄槽と、仮想直方体の平行
な４本の辺に沿ってそれぞれ延在し前記洗浄槽内で前記
各辺を中心に回転可能に配設され、管壁のほぼ全体に無
数の貫通孔が形成された管状のノズルと、前記ノズルを
それぞれの中心線の回りに回転駆動する駆動手段とを備
え、４本の前記ノズルの内側に前記ボートを配置して前
記ボートを洗浄することを特徴とする。
【０００７】本発明のウェーハ収容ボートの洗浄装置で
は、４本のノズルは回転しつつ、ノズル管壁のほぼ全体
に形成された無数の貫通孔から洗浄液を噴出させる。し
たがって、ボートには様々な方向から洗浄液が入射し、
ボート溝内などに付着している従来除去することが難し
かったゴミや薬液も確実に洗い流すことができる。
は、４本のノズルは回転しつつ、ノズル管壁のほぼ全体
に形成された無数の貫通孔から洗浄液を噴出させる。し
たがって、ボートには様々な方向から洗浄液が入射し、
ボート溝内などに付着している従来除去することが難し
かったゴミや薬液も確実に洗い流すことができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】次に本発明の実施の形態例につい
て図面を参照して説明する。図１は本発明によるウェー
ハ収容ボートの洗浄装置の一例を示す斜視図、図２は長
軸方向から見た側面図、図３の（Ａ）は図１のウェーハ
収容ボートの洗浄装置を構成するノズルを示す側面図、
（Ｂ）は（Ａ）のＡＡ’線断面図、（Ｃ）は（Ａ）のＢ
Ｂ’線断面図である。
て図面を参照して説明する。図１は本発明によるウェー
ハ収容ボートの洗浄装置の一例を示す斜視図、図２は長
軸方向から見た側面図、図３の（Ａ）は図１のウェーハ
収容ボートの洗浄装置を構成するノズルを示す側面図、
（Ｂ）は（Ａ）のＡＡ’線断面図、（Ｃ）は（Ａ）のＢ
Ｂ’線断面図である。
【０００９】このウェーハ収容ボートの洗浄装置２は、
ボートを収容する洗浄槽４、４本の管状のノズル６、ノ
ズル６の駆動手段８などにより構成されている。洗浄槽
４は、本実施の形態例では外形が水平方向に横長で上部
が開放された直方体に形成され、内側に４本のノズル６
がそれぞれ仮想直方体の４本の平行な辺に沿って延在し
て配設されている。詳細には、４本の洗浄ノズル６は、
洗浄槽４の底面の両側から起立し互いに対向する側面に
近接しかつ側面の上下縁に平行して配設されている。洗
浄槽４の長手方向において対向する２枚の壁板１０に
は、四隅近傍にそれぞれ軸受穴１２が形成されており、
各ノズル６は、その両端部を軸受穴１２に挿通すること
で回転可能に支持されている。
ボートを収容する洗浄槽４、４本の管状のノズル６、ノ
ズル６の駆動手段８などにより構成されている。洗浄槽
４は、本実施の形態例では外形が水平方向に横長で上部
が開放された直方体に形成され、内側に４本のノズル６
がそれぞれ仮想直方体の４本の平行な辺に沿って延在し
て配設されている。詳細には、４本の洗浄ノズル６は、
洗浄槽４の底面の両側から起立し互いに対向する側面に
近接しかつ側面の上下縁に平行して配設されている。洗
浄槽４の長手方向において対向する２枚の壁板１０に
は、四隅近傍にそれぞれ軸受穴１２が形成されており、
各ノズル６は、その両端部を軸受穴１２に挿通すること
で回転可能に支持されている。
【００１０】ノズル６の管壁には、図３の（Ａ）に示し
たように、水を噴出させるための無数の貫通孔がほぼ全
体に形成されている。貫通孔７は、ノズル６の長手方向
および周方向において一定の間隔で配列されている。た
だし、図３の（Ｂ）および（Ｃ）に示したように、長手
方向で交互に、周方向での位置がずれるように配列され
ている。各ノズル６の両端部はいずれも壁板１０の外側
に突出しており、一方の壁板１０から突出したノズル６
の端部には、所定の接続手段１４を介して、ノズル６に
水を供給するためのホース１６が接続され、もう一方の
壁板１０から突出したノズル６の端部には、プーリ１
８、２０、２２、２４がそれぞれノズル６と同心に装着
されている。
たように、水を噴出させるための無数の貫通孔がほぼ全
体に形成されている。貫通孔７は、ノズル６の長手方向
および周方向において一定の間隔で配列されている。た
だし、図３の（Ｂ）および（Ｃ）に示したように、長手
方向で交互に、周方向での位置がずれるように配列され
ている。各ノズル６の両端部はいずれも壁板１０の外側
に突出しており、一方の壁板１０から突出したノズル６
の端部には、所定の接続手段１４を介して、ノズル６に
水を供給するためのホース１６が接続され、もう一方の
壁板１０から突出したノズル６の端部には、プーリ１
８、２０、２２、２４がそれぞれノズル６と同心に装着
されている。
【００１１】プーリ１８、２０は１本のベルトが装着さ
れる通常のプーリであり、プーリ２２は２本のベルトが
装着される２連のプーリ、プーリ２２は３本のベルトが
装着される３連のプーリとなっている。そして、プーリ
１８およびプーリ２２、プーリ２０およびプーリ２４、
ならびにプーリ２２およびプーリ２４にはそれぞれベル
ト２６がクロスさせた状態で装着されている（図３）。
プーリ２４の近傍にはモータ２８が配設され、その出力
軸に取り付けたプーリ３０とプーリ２４とはベルト３２
により連結されている。これらモータ２８、プーリ１
８、２０、２２、２４、３０、ベルト２６、３２により
駆動手段８が構成されている。なお、プーリ１８、２
０、２２、２４が本発明に係わる第１のプーリであり、
プーリ３０が本発明に係わる第２のプーリである。
れる通常のプーリであり、プーリ２２は２本のベルトが
装着される２連のプーリ、プーリ２２は３本のベルトが
装着される３連のプーリとなっている。そして、プーリ
１８およびプーリ２２、プーリ２０およびプーリ２４、
ならびにプーリ２２およびプーリ２４にはそれぞれベル
ト２６がクロスさせた状態で装着されている（図３）。
プーリ２４の近傍にはモータ２８が配設され、その出力
軸に取り付けたプーリ３０とプーリ２４とはベルト３２
により連結されている。これらモータ２８、プーリ１
８、２０、２２、２４、３０、ベルト２６、３２により
駆動手段８が構成されている。なお、プーリ１８、２
０、２２、２４が本発明に係わる第１のプーリであり、
プーリ３０が本発明に係わる第２のプーリである。
【００１２】このように構成されたウェーハ収容ボート
の洗浄装置２によりボートを洗浄する際は、洗浄槽４内
にボート３４を、その長手方向を各ノズル６の延在方向
に一致させて４本のノズル６の内側に配置する。そし
て、ホース１６を通じて水をノズル６に供給し、一方、
モータ２８に給電してモータ２８を回転させる。モータ
２８が回転すると、その回転力はプーリ３０からベルト
３２を介してプーリ２４に伝達され、プーリ２４が回転
してそのプーリ２４が取り付けられたノズル６が回転す
る。さらに、プーリ２４の回転はベルト２６を介してプ
ーリ２２に伝達され、プーリ２２も対応するノズル６と
共に回転する。その際、ベルト２６はクロスされている
ので、プーリ２２、２４は互いに逆方向に回転し、した
がってプーリ２２、２４が取り付けられた下側の２本の
ノズル６は互いに逆方向に回転する。
の洗浄装置２によりボートを洗浄する際は、洗浄槽４内
にボート３４を、その長手方向を各ノズル６の延在方向
に一致させて４本のノズル６の内側に配置する。そし
て、ホース１６を通じて水をノズル６に供給し、一方、
モータ２８に給電してモータ２８を回転させる。モータ
２８が回転すると、その回転力はプーリ３０からベルト
３２を介してプーリ２４に伝達され、プーリ２４が回転
してそのプーリ２４が取り付けられたノズル６が回転す
る。さらに、プーリ２４の回転はベルト２６を介してプ
ーリ２２に伝達され、プーリ２２も対応するノズル６と
共に回転する。その際、ベルト２６はクロスされている
ので、プーリ２２、２４は互いに逆方向に回転し、した
がってプーリ２２、２４が取り付けられた下側の２本の
ノズル６は互いに逆方向に回転する。
【００１３】また、プーリ２２、２４がそれぞれ回転す
ると、その回転はベルト２６を通じてそれぞれプーリ１
８、２０に伝達されるが、各ベルト２６はクロスされて
いるので、プーリ１８はプーリ２２とは逆方向に、プー
リ２０もプーリ２４とは逆方向に回転する。すなわち、
上側の２本のノズル６は、それぞれの真下のノズル６と
は反対の方向に回転し、したがって隣接する２本のノズ
ル６はすべて相互に逆方向に回転することになる。図２
に示した矢印Ｃは、モータ２８を背面から見て一例とし
て時計回り方向に回転させた場合の各ノズル６の回転方
向を表している。したがって、このウェーハ収容ボート
の洗浄装置２では、各ノズル６が回転しつつ、各ノズル
６の管壁のほぼ全体に形成された貫通孔７から水が噴出
し、噴出した水はボート３４に対して様々な方向から入
射する。そのため、ボート溝１０８（図５）内などに付
着している従来除去することが難しかったゴミや薬液も
確実に洗い流すことができる。
ると、その回転はベルト２６を通じてそれぞれプーリ１
８、２０に伝達されるが、各ベルト２６はクロスされて
いるので、プーリ１８はプーリ２２とは逆方向に、プー
リ２０もプーリ２４とは逆方向に回転する。すなわち、
上側の２本のノズル６は、それぞれの真下のノズル６と
は反対の方向に回転し、したがって隣接する２本のノズ
ル６はすべて相互に逆方向に回転することになる。図２
に示した矢印Ｃは、モータ２８を背面から見て一例とし
て時計回り方向に回転させた場合の各ノズル６の回転方
向を表している。したがって、このウェーハ収容ボート
の洗浄装置２では、各ノズル６が回転しつつ、各ノズル
６の管壁のほぼ全体に形成された貫通孔７から水が噴出
し、噴出した水はボート３４に対して様々な方向から入
射する。そのため、ボート溝１０８（図５）内などに付
着している従来除去することが難しかったゴミや薬液も
確実に洗い流すことができる。
【００１４】なお、本実施の形態例ではノズル６に水を
供給し、水によりボート３４を洗浄するとしたが、水以
外にも、より洗浄効果の高い何らかの洗浄液を用いるこ
とも無論可能である。
供給し、水によりボート３４を洗浄するとしたが、水以
外にも、より洗浄効果の高い何らかの洗浄液を用いるこ
とも無論可能である。
【００１５】
【実施例】上記ウェーハ収容ボートの洗浄装置２を作製
してボートの洗浄を行ったところ、上記効果を実際に確
認することができた。作製したウェーハ収容ボートの洗
浄装置２の主要部の材質、寸法は次のように選定した。
ノズル６としては直径が２０ｍｍの塩化ビニールの管を
用い、長さは１０００ｍｍとした。また、貫通孔７の径
は１ｍｍ、ノズル６の延在方向での貫通孔の間隔は１０
ｍｍとした。そして、各ノズル６は０．５回転／秒の速
度で回転させ、ノズル６に供給する水の圧力は１Ｋｇｆ
／ｃｍ2 とした。一方、洗浄槽４の寸法は、長さは約１
０００ｍｍ、高さおよび幅は共に２５０ｍｍとした。
してボートの洗浄を行ったところ、上記効果を実際に確
認することができた。作製したウェーハ収容ボートの洗
浄装置２の主要部の材質、寸法は次のように選定した。
ノズル６としては直径が２０ｍｍの塩化ビニールの管を
用い、長さは１０００ｍｍとした。また、貫通孔７の径
は１ｍｍ、ノズル６の延在方向での貫通孔の間隔は１０
ｍｍとした。そして、各ノズル６は０．５回転／秒の速
度で回転させ、ノズル６に供給する水の圧力は１Ｋｇｆ
／ｃｍ2 とした。一方、洗浄槽４の寸法は、長さは約１
０００ｍｍ、高さおよび幅は共に２５０ｍｍとした。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、半導体ウ
ェーハを加熱処理する際に前記半導体ウェーハを収容す
るボートを、ノズルから洗浄液を噴出させて洗浄するウ
ェーハ収容ボートの洗浄装置であって、前記ボートを収
容する洗浄槽と、仮想直方体の平行な４本の辺に沿って
それぞれ延在して前記洗浄槽内に回転可能に配設され、
管壁のほぼ全体に無数の貫通孔が形成された管状のノズ
ルと、前記ノズルをそれぞれの中心線の回りに回転駆動
する駆動手段とを備え、４本の前記ノズルの内側に前記
ボートを配置して前記ボートを洗浄する構成とした。
ェーハを加熱処理する際に前記半導体ウェーハを収容す
るボートを、ノズルから洗浄液を噴出させて洗浄するウ
ェーハ収容ボートの洗浄装置であって、前記ボートを収
容する洗浄槽と、仮想直方体の平行な４本の辺に沿って
それぞれ延在して前記洗浄槽内に回転可能に配設され、
管壁のほぼ全体に無数の貫通孔が形成された管状のノズ
ルと、前記ノズルをそれぞれの中心線の回りに回転駆動
する駆動手段とを備え、４本の前記ノズルの内側に前記
ボートを配置して前記ボートを洗浄する構成とした。
【００１７】そのため、このウェーハ収容ボートの洗浄
装置では、４本のノズルは回転しつつ、ノズル管壁のほ
ぼ全体に形成された無数の貫通孔から洗浄液を噴出させ
る。したがって、ボートには様々な方向から洗浄液が入
射し、ボート溝内などに付着している従来除去すること
が難しかったゴミや薬液も確実に洗い流すことができ
る。その結果、加熱処理を行った際に、ボートに残留し
ているゴミや薬液が飛散したり蒸発するなどして半導体
ウェーハの表面にパーティクルが付着したり、半導体ウ
ェーハの表面異常が発生することを回避でき、製造歩留
りを高めることが可能となる。
装置では、４本のノズルは回転しつつ、ノズル管壁のほ
ぼ全体に形成された無数の貫通孔から洗浄液を噴出させ
る。したがって、ボートには様々な方向から洗浄液が入
射し、ボート溝内などに付着している従来除去すること
が難しかったゴミや薬液も確実に洗い流すことができ
る。その結果、加熱処理を行った際に、ボートに残留し
ているゴミや薬液が飛散したり蒸発するなどして半導体
ウェーハの表面にパーティクルが付着したり、半導体ウ
ェーハの表面異常が発生することを回避でき、製造歩留
りを高めることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるウェーハ収容ボートの洗浄装置の
一例を示す斜視図である。
一例を示す斜視図である。
【図２】図１の洗浄装置の長軸方向から見た側面図であ
る。
る。
【図３】（Ａ）は図１のウェーハ収容ボートの洗浄装置
を構成するノズルを示す側面図、（Ｂ）は（Ａ）のＡ
Ａ’線断面図、（Ｃ）は（Ａ）のＢＢ’線断面図であ
る。
を構成するノズルを示す側面図、（Ｂ）は（Ａ）のＡ
Ａ’線断面図、（Ｃ）は（Ａ）のＢＢ’線断面図であ
る。
【図４】従来のウェーハ収容ボートの洗浄装置の要部を
示す短軸方向の概略断面側面図である。
示す短軸方向の概略断面側面図である。
【図５】（Ａ）はボートの斜視図、（Ｂ）は部分拡大断
面図である。
面図である。
２……洗浄装置、４……洗浄槽、６……ノズル、８……
駆動手段、１０……壁板、１２……軸受穴、１４……接
続手段、１６……ホース、１８、２０、２２、２４、３
０……プーリ、２６、３２……ベルト、２８……モー
タ、３４……ボート。
駆動手段、１０……壁板、１２……軸受穴、１４……接
続手段、１６……ホース、１８、２０、２２、２４、３
０……プーリ、２６、３２……ベルト、２８……モー
タ、３４……ボート。
Claims (6)
- 【請求項１】 半導体ウェーハを加熱処理する際に前記
半導体ウェーハを収容するボートを、ノズルから洗浄液
を噴出させて洗浄するウェーハ収容ボートの洗浄装置で
あって、 前記ボートを収容する洗浄槽と、 仮想直方体の平行な４本の辺に沿ってそれぞれ延在し前
記洗浄槽内で前記各辺を中心に回転可能に配設され、管
壁のほぼ全体に無数の貫通孔が形成された管状のノズル
と、 前記ノズルをそれぞれの中心線の回りに回転駆動する駆
動手段とを備え、 ４本の前記ノズルの内側に前記ボートを配置して前記ボ
ートを洗浄する、 ことを特徴とするウェーハ収容ボートの洗浄装置。 - 【請求項２】 隣接する２本の前記ノズルは回転方向が
互いに反対であることを特徴とする請求項１記載のウェ
ーハ収容ボートの洗浄装置。 - 【請求項３】 前記ノズルは塩化ビニールの管により形
成されていることを特徴とする請求項１記載のウェーハ
収容ボートの洗浄装置。 - 【請求項４】 前記駆動手段は、前記洗浄槽の外側で各
ノズルの端部に、前記ノズルと同心に取り付けられた第
１のプーリと、各ノズルの前記第１のプーリを連結する
第１のベルトと、第２のプーリおよび第２のベルトを介
して前記第１のプーリを駆動するモータとを含むことを
特徴とする請求項１記載のウェーハ収容ボートの洗浄装
置。 - 【請求項５】 前記洗浄液は水であることを特徴とする
請求項１記載のウェーハ収容ボートの洗浄装置。 - 【請求項６】 前記洗浄槽は水平方向に横長で上部が開
放された直方体に形成され、前記ノズルは洗浄槽の底面
から起立し互いに対向する側面に近接しかつ側面の上下
縁に平行して配設されていることを特徴とする請求項１
記載のウェーハ収容ボートの洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23618197A JPH1187293A (ja) | 1997-09-01 | 1997-09-01 | ウェーハ収容ボートの洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23618197A JPH1187293A (ja) | 1997-09-01 | 1997-09-01 | ウェーハ収容ボートの洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1187293A true JPH1187293A (ja) | 1999-03-30 |
Family
ID=16996980
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23618197A Pending JPH1187293A (ja) | 1997-09-01 | 1997-09-01 | ウェーハ収容ボートの洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1187293A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100424913B1 (ko) * | 2001-03-30 | 2004-03-27 | (주)케이.씨.텍 | 기판 세척 장치 |
| KR101000407B1 (ko) | 2003-12-12 | 2010-12-13 | 주식회사 실트론 | 웨이퍼 쉽핑박스의 가스켓 세정용기 |
| JP2013131550A (ja) * | 2011-12-20 | 2013-07-04 | Hikari Kobayashi | ウェハの洗浄装置および洗浄方法 |
| JP2016187049A (ja) * | 2016-06-29 | 2016-10-27 | 小林 光 | ウェハの洗浄装置および洗浄方法 |
| CN107962027A (zh) * | 2017-11-29 | 2018-04-27 | 钱贤峰 | 一种汽车配件高效除污装置 |
-
1997
- 1997-09-01 JP JP23618197A patent/JPH1187293A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100424913B1 (ko) * | 2001-03-30 | 2004-03-27 | (주)케이.씨.텍 | 기판 세척 장치 |
| KR101000407B1 (ko) | 2003-12-12 | 2010-12-13 | 주식회사 실트론 | 웨이퍼 쉽핑박스의 가스켓 세정용기 |
| JP2013131550A (ja) * | 2011-12-20 | 2013-07-04 | Hikari Kobayashi | ウェハの洗浄装置および洗浄方法 |
| JP2016187049A (ja) * | 2016-06-29 | 2016-10-27 | 小林 光 | ウェハの洗浄装置および洗浄方法 |
| CN107962027A (zh) * | 2017-11-29 | 2018-04-27 | 钱贤峰 | 一种汽车配件高效除污装置 |
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