KR200433078Y1 - One body type cleaning apparatus for flat panel display - Google Patents

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KR200433078Y1 KR2020060026114U KR20060026114U KR200433078Y1 KR 200433078 Y1 KR200433078 Y1 KR 200433078Y1 KR 2020060026114 U KR2020060026114 U KR 2020060026114U KR 20060026114 U KR20060026114 U KR 20060026114U KR 200433078 Y1 KR200433078 Y1 KR 200433078Y1
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Abstract

본 고안은 평판 디스플레이의 제조장치에서 대형 글라스를 세정하는 평판 디스플레이 세정장치에 있어서, 반송롤러를 통해 이송한 글라스에 자외선을 조사하기 위한 자외선 조사 램프와, 상기 자외선에서 발생하는 오존을 차단하기 위한 N₂를 공급하는 N₂ 공급부를 형성하여 자외선에 의한 산소의 분해와 분해된 산소이온의 산화력을 이용하여 글라스의 표면에 부착된 유기물을 제거하는 엑시머 자외선 조사 유닛과, 상기 엑시머 자외선 조사 유닛의 일측에 상기 엑시머 자외선 조사 유닛을 통해 유기물을 제거한 글라스에 D.I water를 공급하는 D.I water 젯과, 상기 D.I water를 공급한 글라스에 진동 발진을 이용하여 글라스 표면에 부착된 파티클을 분리하는 메가소닉 유닛과, 상기 메가소닉 유닛을 통해 분리된 파티클을 D.I water 또는 직수에 의한 고유속 샤워에 의해 상기 글라스에서 제거하는 샤워 유닛과, 상기 D.I water 젯과 샤워 유닛에서 공급된 D.I water 또는 직수와 샤워 유닛을 통해 제거된 파티클을 강제 흡입하여 배기하는 석션 유닛과, 상기 파티클을 제거한 글라스에 잔존하는 D.I water를 고압의 CDA(Clean dry air)를 분사하여 건조 제거하는 에어 나이프 유닛과, 상기 에어 나이프 유닛을 통해 D.I water를 제거한 글라스에 열풍 젯을 통해 뜨거운 바람을 공급하고, 상기 글라스상의 물기를 건조시키는 IR 드라이 히터 유닛의 기능성 세정유닛으로 이루어져 상기 기능성 세정유닛이 하나의 바디에 일체형으로 형성하는 것을 특징으로 한다.The present invention is a flat panel display cleaning apparatus for cleaning a large glass in the flat panel display manufacturing apparatus, UV irradiation lamp for irradiating the ultraviolet rays to the glass transported through the conveying roller, and N₂ for blocking ozone generated from the ultraviolet rays An excimer ultraviolet irradiation unit for forming an N₂ supply unit for supplying the organic matter attached to the surface of the glass by using the decomposition of oxygen by ultraviolet rays and the oxidation power of the decomposed oxygen ions, and the excimer on one side of the excimer ultraviolet irradiation unit A DI water jet for supplying DI water to the glass from which the organic matter is removed through the UV irradiation unit, a megasonic unit for separating particles attached to the glass surface by vibrating oscillation to the glass supplied with the DI water, and the megasonic High velocity by DI water or direct water A shower unit to be removed from the glass by the war, a suction unit to forcibly suck and exhaust the particles removed through the DI water or water and the shower unit supplied from the DI water jet and the shower unit, and the glass from which the particles are removed. Air knife unit for drying and removing the remaining DI water by spraying high pressure clean dry air (CDA) and hot air is supplied to the glass from which DI water is removed through the air knife unit through a hot air jet, and the water on the glass It consists of a functional cleaning unit of the IR dry heater unit for drying the functional cleaning unit is characterized in that formed in one body integrally.

기능성 세정유닛, 평판 디스플레이, 글라스, D.I water Functional cleaning unit, flat panel display, glass, D.I water

Description

평판 디스플레이의 일체형 세정장치{One body type cleaning apparatus for flat panel display}Integrated body cleaning device for flat panel display {One body type cleaning apparatus for flat panel display}

도1은 종래의 세정장치를 나타내는 도면.1 is a view showing a conventional washing apparatus.

도2는 본 고안에 따른 평판 디스플레이의 일체형 세정장치의 사시도.Figure 2 is a perspective view of the integrated cleaning device of a flat panel display according to the present invention.

도3은 본 고안에 따른 평판 디스플레이의 일체형 세정장치의 단면도.Figure 3 is a cross-sectional view of the integrated cleaning device of a flat panel display according to the present invention.

도4는 본 고안에 따른 평판 디스플레이의 일체형 세정장치의 엑시머 자외선 조사 유닛의 구성도.Figure 4 is a block diagram of an excimer ultraviolet irradiation unit of the integrated cleaning device of a flat panel display according to the present invention.

도5는 본 고안에 따른 평판 디스플레이 제조장치의 일체형 세정장치의 석션 유닛의 구성도.Figure 5 is a block diagram of a suction unit of the integrated cleaning device of the flat panel display manufacturing apparatus according to the present invention.

도6은 본 고안에 따른 평판 디스플레이의 일체형 세정장치의 에어 나이프 유닛의 구성도.Figure 6 is a block diagram of an air knife unit of the integrated cleaning device of a flat panel display according to the present invention.

** 도면의 주요 부분에 대한 부호 **** SIGNS FOR MAIN PARTS OF THE DRAWINGS **

100 : 엑시머 자외선 조사 유닛 101 : 자외선 조사 램프100: excimer ultraviolet irradiation unit 101: ultraviolet irradiation lamp

102 : N₂ 공급부 103 : 램프 증폭기102: N₂ supply unit 103: lamp amplifier

110 : 제1에어 커튼 120 : 제2에어 커튼 110: first air curtain 120: second air curtain

130 : N₂ 배기구 140, 410 : 이온 나이저130: N₂ exhaust vent 140, 410: ionizer

200 : 메가소닉 유닛 210 : D.I water 젯 200: Megasonic Unit 210: D.I water jet

220 : 석션 유닛 230 : 유체 탱크220: suction unit 230: fluid tank

300 : 샤워 유닛 400 : 에어 나이프 유닛300: shower unit 400: air knife unit

500 : IR 드라이 히터 유닛 510 : 열풍 젯 500: IR dry heater unit 510: hot air jet

520 : 열풍 배출구520: hot air outlet

본 고안은 평판 디스플레이의 대형 글라스를 세정하는 평판 디스플레이의 일체형 세정장치에 관한 것으로 보다 상세하게는 반송롤러를 통해 이송한 글라스에 엑시머 자외선 조사 유닛과, 메가소닉 유닛과, 샤워 유닛과, 에어 나이프 유닛과, IR 드라이 히터 유닛의 기능성 세정유닛을 미세공간 집적기술을 활용하여 하나의 바디에 일체형으로 구성한 평판 디스플레이의 일체형 세정장치에 관한 것이다.The present invention relates to an integrated cleaning device for a flat panel display for cleaning a large glass of a flat panel display. More specifically, an excimer ultraviolet irradiation unit, a megasonic unit, a shower unit, and an air knife unit are used for the glass transferred through a conveying roller. And an integrated cleaning apparatus for a flat panel display in which the functional cleaning unit of the IR dry heater unit is integrated into one body by utilizing a micro-space integration technology.

일반적으로 평판 디스플레이(FPD, Flat Panel Display)란 음극선관(CRT, Cathode Ray Tube)을 대체하기 위해 개발된 차세대 표시장치로서, LCD(Liquid Crystal Display)나 PDP(Plasma Display Panel)를 비롯하여 다양한 디스플레이가 출시되어 있다.In general, a flat panel display (FPD) is a next-generation display device developed to replace a cathode ray tube (CRT), and various displays including an LCD (Liquid Crystal Display) or a plasma display panel (PDP) It is released.

상기 평판 디스플레이(FPD, Flat Panel Display)는 미세한 먼지(파티클)에 무척 민감하게 반응하는 것으로, 상기 미세한 먼지 단 하나가 작게는 부품, 크게는 장치의 특성을 좌우하게 된다. 상기와 같은 이유로 해서 평판 디스플레이 제조공정에서는 파티클을 최소화시키는데 주력하고 있으며, 공정 진행 상황에 따라 세정장치에 의해 작업을 반복하여 실시하고 있는 것이 보통이다.The flat panel display (FPD) is very sensitive to fine dust (particles), and only one fine dust influences the characteristics of a small component and a large device. For the above reason, the flat panel display manufacturing process focuses on minimizing particles, and it is common to repeat the operation by a cleaning device according to the progress of the process.

상기와 같은 평판 디스플레이 세정장치는 도 1에 도시된 바와 같이 세정 기능별 장치가 각각 구성되어 롤러를 통해 이송하는 글라스를 자외선 조자장치에 의해 유기세정을 하고, 상기 자외선 조사장치에 의해 유기 세정된 글라스에 브러쉬, 고유속 샤워기 등의 Wet 세정장치에 의해 Wet 세정을 실시하며, 상기 유기 세정과 Wet 세정을 마친 글라스를 건조 장치에 의해 건조하여 상기 글라스를 세정하였다. As shown in FIG. 1, the flat panel display cleaning apparatus includes a device for each cleaning function, and organically cleans the glass, which is transported through the rollers, by using an ultraviolet light adjusting device, and the organic cleaning glass by the ultraviolet irradiation device. The wet cleaning was performed by a wet cleaning apparatus such as a brush or a high flow showerhead, and the glass after the organic cleaning and the wet cleaning was dried by a drying apparatus to wash the glass.

그러나 상기와 같은 종래의 세정장치는 각각의 세정장치가 별도의 바디에 의해 구성되어 상기 세정장치의 설치 면적이 크고, 상기 설치 면적이 큼에 따라 다른 공정과 연계하여 연속공정이 어려워 Fab의 효율이 저하시키는 원인이 되는 문제점이 있었다.However, in the conventional cleaning apparatus as described above, each cleaning apparatus is constituted by a separate body, so that the installation area of the cleaning device is large, and the installation area is large, so that the continuous process is difficult in connection with other processes. There was a problem that causes deterioration.

또한, 각각의 세정장치가 별도의 바디로 형성되어 상기 바디와 바디사이에 D.I water의 미스트(mist)가 칩입하여 정체됨으로 파티클의 원인이 되고, 박테리아 의 생성의 원인이 되어 글라스의 불량을 초래하는 문제점이 있었다.In addition, since each cleaning device is formed as a separate body, the mist of the DI water enters and stagnates between the body and the body, causing particles and causing bacteria to be generated, resulting in defects in glass. There was a problem.

본 고안은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로 평판 디스플레이의 세정장치를 하나의 바디에 엑시머 자외선 조사 유닛, 메가소닉 유닛, 샤워 유닛, 에어 나이프 유닛, IR 드라이 히터 유닛의 기능성 세정유닛을 일체형으로 형성하여 미세공간에 대한 집적기술의 활용을 통해 상기 세정장치의 설치 면적을 최소화하고, 제조 Fab 내의 공간활용을 효율적으로 운영할 수 있으며, 연속적으로 글라스를 세정할 수 있는 평판 디스플레이의 일체형 세정장치를 제공하는데 그 목적이 있다. The present invention was devised to solve the above problems. The cleaning device of the flat panel display is integrated into one body with an excimer ultraviolet irradiation unit, a megasonic unit, a shower unit, an air knife unit, and an IR dry heater unit. Minimize the installation area of the cleaning device by utilizing the integrated technology for the micro-space, efficiently operate the space utilization in the manufacturing Fab, and integrated cleaning device of the flat panel display that can continuously clean the glass The purpose is to provide.

또한, 본 고안은 하나의 바디에 기능성 세정유닛을 일체형으로 형성하여 종래의 상기 기능성 세정유닛을 각각의 바디에 형성할 시 발생하는 D.I water의 미스트(mist)의 침입으로 인한 파티클 생성과 박테리아의 생성을 방지할 수 있는 평판 디스플레이의 일체형 세정장치를 제공하는데 또 다른 목적이 있다.In addition, the present invention is to form a functional cleaning unit in one body integrally to form particles and bacteria generated by the intrusion of mist (mist) of DI water generated when forming the conventional functional cleaning unit in each body. Another object of the present invention is to provide an integrated cleaning device for a flat panel display.

본 고안은 평판 디스플레이의 대형 글라스를 세정하는 평판 디스플레이 제조장치의 세정장치에 있어서,The present invention is a cleaning device of a flat panel display manufacturing apparatus for cleaning a large glass of a flat panel display,

반송롤러를 통해 이송한 글라스에 자외선을 조사하기 위한 자외선 조사 램프 와 상기 자외선에서 발생하는 오존을 차단하기 위한 N₂를 공급하는 N₂ 공급부를 형성하여 자외선에 의한 산소의 분해와 분해된 산소이온의 산화력을 이용하여 글라스의 표면에 부착된 유기물을 제거하는 엑시머 자외선 조사 유닛과;An ultraviolet irradiation lamp for irradiating ultraviolet rays to the glass transferred through the conveying roller and an N₂ supply portion for supplying N₂ to block ozone generated from the ultraviolet rays are formed to decompose oxygen by ultraviolet rays and oxidize power of decomposed oxygen ions. An excimer ultraviolet irradiation unit which removes organic matter adhered to the surface of the glass by using;

상기 엑시머 자외선 조사 유닛의 일측에 상기 엑시머 자외선 조사 유닛을 통해 유기물을 제거한 글라스에 D.I water를 공급하는 D.I water 젯과;A D.I water jet for supplying D.I water to a glass from which organic matter is removed through the excimer UV irradiation unit on one side of the excimer UV irradiation unit;

상기 D.I water를 공급한 글라스에 진동 발진을 이용하여 글라스 표면에 부착된 파티클을 분리하는 메가소닉 유닛과;A megasonic unit for separating particles adhered to the glass surface by vibrating oscillation to the glass supplied with the D.I water;

상기 메가소닉 유닛을 통해 분리된 파티클을 D.I water 또는 직수에 의한 고유속 샤워에 의해 상기 글라스에서 제거하는 샤워 유닛과;A shower unit which removes particles separated through the megasonic unit from the glass by a high velocity shower by D.I water or water;

상기 D.I water 젯과 샤워 유닛에서 공급된 D.I water 또는 직수와 샤워 유닛을 통해 제거된 파티클을 강제 흡입하여 배기하는 석션 유닛과;A suction unit forcibly sucking and evacuating the D.I water supplied from the D.I water jet and the shower unit or the particles removed through the direct water and the shower unit;

상기 파티클을 제거한 글라스에 잔존하는 D.I water를 고압의 CDA(Clean dry air)를 분사하여 건조 제거하는 에어 나이프 유닛과;An air knife unit to dry-dry the D.I water remaining in the glass from which the particles are removed by spraying a high pressure clean dry air (CDA);

상기 에어 나이프 유닛을 통해 D.I water를 제거한 글라스에 열풍 젯을 통해 뜨거운 바람을 공급하고, 상기 글라스상의 물기를 건조시키는 IR 드라이 히터 유닛;의 기능성 세정유닛으로 이루어져 상기 기능성 세정유닛이 하나의 바디에 일체형으로 형성하는 것을 특징으로 한다.The IR dry heater unit supplies hot wind to the glass from which the DI water is removed through the air knife unit, and heats the water on the glass. The functional cleaning unit is integrated into one body. Characterized in that formed.

또한, 상기 엑시머 자외선 조사 유닛과 D.I water 젯 사이에 상기 엑시머 자외선 조사 유닛의 N₂ 공급부에서 공급된 N₂가 유출되는 것을 방지하는 제1에어 커튼과, 상기 D.I water 젯에서 공급하는 D.I water가 상기 엑시머 자외선 조사 유닛에 유입되는 것을 방지하기 위한 제2에어 커튼을 형성하는 것을 특징으로 한다.In addition, a first air curtain prevents N 2 supplied from the N 2 supply portion of the excimer UV irradiation unit from flowing out between the excimer UV irradiation unit and the DI water jet, and the DI water supplied from the DI water jet includes the excimer UV light. It is characterized by forming a second air curtain for preventing the flow into the irradiation unit.

상기 엑시머 자외선 조사 유닛과 D.I water 젯 사이와, 상기 에어 나이프 유닛과 열풍 젯 사이에 상기 글라스가 이동 시 상기 글라스의 표면에 정전기 발생을 방지하는 이온 나이저를 형성하는 것을 특징으로 한다.Forming an ionizer to prevent the generation of static electricity on the surface of the glass when the glass is moved between the excimer ultraviolet irradiation unit and the D.I water jet, and between the air knife unit and the hot air jet.

또한, 상기 엑시머 자외선 조사 유닛은 N₂ 공급부를 통해 공급된 N₂를 배기하기 위한 N₂ 배기구와, 상기 열풍 젯과 IR 드라이 히터 유닛을 통해 발생하는 열풍을 배기하기 위한 열풍 배기구를 형성하는 것을 특징으로 한다.In addition, the excimer UV irradiation unit is characterized in that for forming the N₂ exhaust port for exhausting the N₂ supplied through the N₂ supply unit, and the hot air exhaust port for exhausting the hot air generated through the hot air jet and the IR dry heater unit.

상기 기능성 세정유닛은 PLC에 의해 제어하는 것을 특징으로 한다.The functional cleaning unit is controlled by a PLC.

이하, 본 고안을 구체적으로 설명하기 위해 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings to describe the present invention in detail.

도2는 본 고안에 따른 평판 디스플레이의 일체형 세정장치의 사시도이고, 도3은 본 고안에 따른 평판 디스플레이의 일체형 세정장치의 단면도이다.2 is a perspective view of an integrated cleaning device for a flat panel display according to the present invention, and FIG. 3 is a cross-sectional view of the integrated cleaning device for a flat panel display according to the present invention.

상기 도2와 도3에 도시된 바와 같이 본 고안은 평판 디스플레이의 일체형 세 정장치에 대한 것으로 각각의 기능성 세정유닛을 하나의 바디에 일체형으로 형성한 것이다. As shown in FIG. 2 and FIG. 3, the present invention relates to an integrated cleaning device of a flat panel display, in which each functional cleaning unit is integrally formed in one body.

상기 세정장치는 반송롤러를 통해 이송한 글라스에 자외선을 조사하기 위한 자외선 조사 램프(101)와, 상기 자외선에서 발생하는 오존을 차단하기 위한 N₂를 공급하는 N₂ 공급부(102)를 형성하여 자외선에 의한 산소의 분해와 분해된 산소이온의 산화력을 이용하여 글라스의 표면에 부착된 유기물을 제거하는 엑시머 자외선 조사 유닛(100)을 형성하고, 상기 N₂ 공급부(102)를 통해 공급된 N₂를 배기하기 위한 N₂ 배기구(130)를 형성한다. 상기 엑시머 자외선 조사 유닛(100)의 일측에 상기 엑시머 자외선 조사 유닛(100)을 통해 유기물질을 제거한 글라스에 D.I water를 공급하는 D.I water 젯(210)을 형성한다. 상기 엑시머 자외선 조사 유닛(100)과 D.I water 젯(210) 사이에 제1에어 커튼(110)과 제2에어 커튼(120)을 형성하여 상기 제1에어 커튼(110)에 의해 엑시머 자외선 유닛(100)의 N₂ 공급부(102)에서 공급되는 N₂가 유출되는 것을 방지하고, 상기 제2에어 커튼(120)에 의해 D.I water 젯(210)에서 공급하는 D.I water가 상기 엑시머 자외선 조사 유닛(100)에 유입되는 것을 방지하도록 하며, 상기 제1에어 커튼(110)과 제2에어 커튼(120) 사이에 이온 나이저(140)를 형성하여 상기 글라스의 이동 시 상기 글라스의 표면에 정전기 발생을 방지하도록 한다.The cleaning apparatus forms an ultraviolet irradiation lamp 101 for irradiating ultraviolet rays to the glass transferred through a conveying roller, and an N₂ supply unit 102 for supplying N₂ to block ozone generated from the ultraviolet rays. Forming an excimer ultraviolet irradiation unit 100 for removing organic matter adhered to the surface of the glass by using the decomposition of oxygen and the oxidation power of the decomposed oxygen ions, and N₂ for exhausting the N₂ supplied through the N₂ supply unit 102. An exhaust port 130 is formed. One side of the excimer UV irradiation unit 100 forms a D.I water jet 210 for supplying D.I water to the glass from which the organic material is removed through the excimer UV irradiation unit 100. An excimer ultraviolet unit 100 is formed by the first air curtain 110 by forming a first air curtain 110 and a second air curtain 120 between the excimer ultraviolet irradiation unit 100 and the DI water jet 210. N₂ supplied from the N₂ supply unit 102 of the N) is prevented from flowing out, and DI water supplied from the DI water jet 210 is introduced into the excimer UV irradiation unit 100 by the second air curtain 120. The ionizer 140 is formed between the first air curtain 110 and the second air curtain 120 to prevent static electricity from occurring on the surface of the glass when the glass is moved.

상기 D.I water 젯(210)에 의해 D.I water를 공급한 글라스에 진동 발진을 이용하여 글라스 표면에 부착된 파티클을 분리하는 메가소닉 유닛(200)과, 상기 메가소닉 유닛(200)을 통해 분리된 파티클을 D.I water 또는 직수에 의한 고유속 샤워에 의해 상기 글라스에서 제거하는 샤워 유닛(300)과 상기 D.I water 젯(210)과 샤워 유닛(300)에서 공급된 D.I water 또는 직수와 샤워 유닛을 통해 제거된 파티클을 강제 흡입하여 배기하는 석션 유닛(220)과, 상기 파티클을 제거한 글라스에 잔존하는 D.I water를 고압의 CDA(Clean dry air)를 분사하여 건조 제거하는 에어 나이프 유닛(400)과, 상기 에어 나이프 유닛(400)을 통해 D.I water를 제거한 글라스에 열풍 젯(510)을 통해 뜨거운 바람을 공급하고, 상기 에어 나이프 유닛(400)과 열풍 젯(510)의 사이에 이온 나이저(410)를 형성하여 상기 글라스에 정전기가 발생하는 것을 방지한다. Megasonic unit 200 for separating particles adhered to the glass surface by vibrating oscillation to the glass supplied DI water by the DI water jet 210, and particles separated through the megasonic unit 200 Is removed through the shower unit 300 and the DI water jet 210 and the shower unit 300 to remove from the glass by a high-speed shower by DI water or direct water removed through the shower unit Suction unit 220 for forcibly sucking and evacuating particles, air knife unit 400 for drying and removing DI water remaining in the glass from which the particles are removed by spraying high pressure clean dry air, and the air knife The hot air is supplied through the hot air jet 510 to the glass from which the DI water is removed through the unit 400, and an ionizer 410 is formed between the air knife unit 400 and the hot air jet 510. In the glass Prevent static electricity from occurring.

상기 열풍 젯(510)을 통해 뜨거운 바람을 공급받은 글라스는 IR 드라이 히터 유닛(500)에 의해 상기 기판상의 물기를 건조시키고, 상기 IR 드라이 히터 유닛과 열풍 젯(510)을 통해 공급된 열풍은 열풍 배기구(520)에 의해 배출한다. The glass supplied with the hot wind through the hot air jet 510 dries water on the substrate by the IR dry heater unit 500, and the hot air supplied through the IR dry heater unit and the hot air jet 510 is hot air. Discharged by the exhaust port 520.

또한, 상기 기능성 세정유닛(엑시머 자외선 조사 유닛(100), 메가소닉 유닛(200), 샤워 유닛(300), 석션 유닛(220), 에어 나이프 유닛(400), IR 드라이 히터 유닛(500))의 하단에는 상기 기능성 세정유닛에 사용된 D.I water와 직수를 저장하기 위한 유체 탱크(230)를 형성한다. In addition, the functional cleaning unit (excimer ultraviolet irradiation unit 100, megasonic unit 200, shower unit 300, suction unit 220, air knife unit 400, IR dry heater unit 500) The lower end forms a fluid tank 230 for storing DI water and water used in the functional cleaning unit.

또한, 상기 기능성 세정유닛(엑시머 자외선 조사 유닛(100), 메가소닉 유닛(200), 샤워 유닛(300), 석션 유닛(220), 에어 나이프 유닛(400), IR 드라이 히터 유닛(500))은 PLC 제어를 통해 제어하도록 구성한다.In addition, the functional cleaning unit (excimer ultraviolet irradiation unit 100, megasonic unit 200, shower unit 300, suction unit 220, air knife unit 400, IR dry heater unit 500) Configure to control via PLC control.

상기 기능성 세정유닛의 기능을 상세한 도면을 통해 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다. Referring to the function of the functional cleaning unit in more detail through the drawings as follows.

도4는 본 고안에 따른 평판 디스플레이의 일체형 세정장치의 엑시머 자외선 조사 유닛의 구성도이고, 도5는 본 고안에 따른 평판 디스플레이의 일체형 세정장치의 석션 유닛 구성도이며, 도6은 본 고안에 따른 평판 디스플레이의 일체형 세정장치의 에어 나이프 유닛의 구성도이다. 4 is a configuration diagram of an excimer ultraviolet irradiation unit of the integrated cleaning device of the flat panel display according to the present invention, Figure 5 is a configuration of a suction unit of the integrated cleaning device of the flat panel display according to the present invention, Figure 6 is It is a block diagram of the air knife unit of the integrated cleaning apparatus of a flat panel display.

상기 도4에 도시된 바와 같이 엑시머 자외선 조사 유닛(100)은 반송롤러를 통해 이송된 글라스에 2mm 내지 7mm의 상단에 자외선 조사 램프(101)를 형성하여 상기 자외선 조사 램프(101)를 통해 자외선을 조사시켜 산소의 분해와 분해된 산화이온의 산화력에 의해 상기 글라스 표면에 부착된 유기물을 제거한다. 상기 자외선 조사 램프(101)는 상기 자외선 조사 램프(101)의 상단에 형성된 램프 증폭기(103)에 의해 상기 자외선 조사 램프(101)의 밝기를 조절하며, 상기 자외선 조사 램프(101)에 의해 조사되는 자외선은 대기중에 산소와 직접 작용하여 산소 원자를 생성하고, 상기 생성된 산소로부터 오존(O₃)을 생성하게 되며, 상기 오존(O₃)에 의 해 상기 글라스의 유기물을 세정하게 된다. 그러나 상기 오존(O₃)은 자외선 조사 램프(101)의 전원단자와 접촉하여 상기 자외선 조사 램프(101)의 수명을 단축시킬 수 있어 N₂ 공급부(102)에서 N₂를 공급하여 상기 N₂의 흐름을 통해 상기 오존(O₃)이 자외선 조사 램프(101)의 전원단자에 접촉되는 것을 방지하고, 상기 공급된 N₂는 상기 자외선 조사 램프(101)의 양측에 형성된 N₂ 배기구(140)를 통해 배출하도록 한다. As shown in FIG. 4, the excimer ultraviolet irradiation unit 100 forms an ultraviolet irradiation lamp 101 at an upper end of 2 mm to 7 mm in the glass transferred through the conveying roller to emit ultraviolet light through the ultraviolet irradiation lamp 101. Irradiation removes the organic matter adhering to the glass surface by the decomposition of oxygen and the oxidation power of the decomposed oxide ions. The ultraviolet irradiation lamp 101 adjusts the brightness of the ultraviolet irradiation lamp 101 by the lamp amplifier 103 formed on the upper end of the ultraviolet irradiation lamp 101, and is irradiated by the ultraviolet irradiation lamp 101 Ultraviolet rays directly react with oxygen in the atmosphere to generate oxygen atoms, and generate ozone (O 3) from the generated oxygen, and wash the organic material of the glass by the ozone (O 3). However, the ozone (O₃) may shorten the life of the ultraviolet irradiation lamp 101 by contacting the power terminal of the ultraviolet irradiation lamp 101, so that N₂ is supplied from the N₂ supply unit 102 to the N₂ flow through the flow of N₂. The ozone (O 3) is prevented from contacting the power terminal of the ultraviolet irradiation lamp 101, and the supplied N 2 is discharged through the N 2 exhaust port 140 formed at both sides of the ultraviolet irradiation lamp 101.

상기 엑시머 자외선 조사 유닛(100)의 일측에는 제1에어 커튼(110)을 형성하여 상기 엑시머 자외선 조사 유닛(100)에서 공급되는 N₂가 다른 기능성 세정유닛에 유출되는 것을 방지하고, 상기 엑시머 자외선 조사 유닛(100)을 통해 유기물을 제거한 글라스는 반송롤러에 의해 이송하게 되며, 상기 이송한 글라스는 D.I water 젯(210)에 의해 D.I water를 공급받는다. 상기 제1에어 커튼(110)의 일측에는 상기 D.I water 젯(210)을 통해 공급된 D.I water가 상기 엑시머 자외선 조사 유닛(100)에 유출되는 것을 방지하기 위해 제2에어 커튼(120)을 형성하고, 상기 제1에어 커튼(110)과 제2에어 커튼(120)의 사이에는 이온 나이저(140)를 형성하여 상기 글라스에 정전기가 발생하는 것을 방지한다. A first air curtain 110 is formed at one side of the excimer ultraviolet irradiation unit 100 to prevent N 2 supplied from the excimer ultraviolet irradiation unit 100 from leaking to another functional cleaning unit, and the excimer ultraviolet irradiation unit The glass from which the organic matter is removed through 100 is transferred by a conveying roller, and the transferred glass is supplied with DI water by the DI water jet 210. On one side of the first air curtain 110 to form a second air curtain 120 in order to prevent the DI water supplied through the DI water jet 210 flows into the excimer UV irradiation unit 100 and In addition, an ionizer 140 is formed between the first air curtain 110 and the second air curtain 120 to prevent static electricity from occurring in the glass.

상기 D.I water 젯(210)을 통해 D.I water를 공급받은 글라스는 메가소닉 유닛(200)에 의해 진동 발진을 이용하여 상기 글라스 표면에 부착된 파티클을 떨어뜨리고, 상기 떨어진 파티클은 샤워 유닛(300)에 의해 D.I water 또는 직수를 고유속 샤워로 분사하여 상기 글라스에서 떨어진 파티클을 제거한다. 상기 제거된 파티클과 D.I water 젯(210)에서 공급한 D.I water와 상기 샤워 유닛(300)에서 공급한 D.I water 또는 직수는 배출구를 통해 배출되어 유체 탱크(230)에 저장되며, 상기 배출구를 통해 배출되지 못한 파티클과 D.I water 또는 직수는 석션 유닛(220)에 의해 강제 흡입되어 배출한다. The glass supplied with DI water through the DI water jet 210 drops particles attached to the glass surface by vibrating oscillation by the megasonic unit 200, and the dropped particles are dropped into the shower unit 300. DI water or direct water is sprayed into the high velocity shower to remove particles falling from the glass. The removed particles and the DI water supplied from the DI water jet 210 and the DI water or direct water supplied from the shower unit 300 are discharged through an outlet and stored in the fluid tank 230, and discharged through the outlet. Particles and DI water or direct water which have not been forced are sucked by the suction unit 220 and discharged.

도5에 도시된 바와 같이 상기 글라스에 공급된 D.I water 또는 직수, 파티클, 상기 제1, 2에어커튼(110, 120)을 통해 공급된 에어의 유체는 압력에너지를 보유하고 있으며, 상기 압력에너지는 배출구를 통해 배출이 일정부분 이루어진다. 그러나 상기 유체가 보유한 압력은 주변 기능성 세정유닛의 기능에 악영향을 미칠 가능성이 있으므로 상기 석션 유닛(220)을 통해 강제 흡입하여 배출한다. 상기 석션 유닛(220)은 진공 발생기(221)를 통해 상기 유체를 강제 흡입하며, 상기 흡입된 유체는 에어와 D.I water 또는 직수가 동시에 석션될 수 있으므로 기액분리 박스(222)에서 기체와 액체를 분리하여 상기 기체는 메인 배기를 통해 배기되며, 상기 액체는 유체 탱크(230)로 배출된다. As shown in FIG. 5, the fluid of DI water or water supplied through the glass, the water supplied through the first and second air curtains 110 and 120 retains the pressure energy, and the pressure energy Discharge takes place through the outlet. However, since the pressure retained by the fluid may adversely affect the function of the peripheral functional cleaning unit, the pressure is sucked through the suction unit 220 and discharged. The suction unit 220 forcibly sucks the fluid through the vacuum generator 221, and the suctioned fluid separates the gas and the liquid from the gas-liquid separation box 222 since the suctioned fluid may be suctioned simultaneously with air and DI water or direct water. The gas is exhausted through the main exhaust, and the liquid is discharged to the fluid tank 230.

상기와 같이 글라스의 유기물과 파티클을 제거한 글라스는 도6에 도시된 바와 같이 에어 나이프 유닛(400)에 의해 상기 글라스에 잔존하는 D.I water를 건조 제거한다. 상기 D.I water는 장방형 노즐을 통한 CDA(Clean Dry Air)의 분사에 의하여 제거되며, 상기 에어 나이프 유닛(400)은 글라스상에 잔존하는 D.I water를 제거하기 위해 상기 글라스의 이송방향과 반대방향에서 노즐을 일정각 유지하고, 경사로 배치하여 상기 CDA(Clean Dry Air)의 속도 에너지로 인해 D.I water를 건조 제거한다. 상기 노즐은 글라스와 2mm 내지 5mm의 공간을 형성하며, 45°까지 각도 조절이 가능하도록 구성한다. As described above, in the glass in which the organic matter and the particles of the glass are removed, the D.I water remaining in the glass is dried by the air knife unit 400 as shown in FIG. 6. The DI water is removed by the injection of CDA (Clean Dry Air) through the rectangular nozzle, the air knife unit 400 in the nozzle in the direction opposite to the conveying direction of the glass to remove the DI water remaining on the glass To maintain a constant angle, and placed in a slope to dry the DI water due to the velocity energy of the clean dry air (CDA). The nozzle forms a space of 2mm to 5mm with the glass, and is configured to enable angle adjustment up to 45 °.

상기 에어 나이프 유닛(400)을 통해 상기 글라스상에 잔존하는 D.I water를 제거한 글라스는 이온 나이저(410)를 통해 상기 글라스에 정전기가 발생하는 것을 방지하고, 열풍 젯(510)을 통해 뜨거운 열기를 공급하며, IR 드라이 히터 유닛(500)에 의해 상기 글라스의 물기를 건조하도록 한다. 또한, 상기 열풍 젯(510)과 IR 드라이 히터 유닛을 통해 발생하는 열을 열풍 배기구(520)를 통해 배출하도록 구성한다. The glass removing DI water remaining on the glass through the air knife unit 400 prevents static electricity from occurring in the glass through the ionizer 410 and supplies hot heat through the hot air jet 510. In addition, the dry water of the glass is dried by the IR dry heater unit 500. In addition, the heat generated through the hot air jet 510 and the IR dry heater unit is configured to discharge through the hot air exhaust port (520).

상기와 같은 각각의 기능성 세정유닛은 하나의 바디에 일체형으로 형성되어 상기 세정장치의 설치면적을 최소화할 수 있고, 제조 Fab 내의 공간활용을 효율적으로 운영할 수 있으며, 연속적으로 글라스를 세정할 수 있다. Each functional cleaning unit as described above can be integrally formed in one body to minimize the installation area of the cleaning device, to efficiently operate the space utilization in the manufacturing Fab, and to continuously clean the glass. .

또한, 하나의 바디에 기능성 세정 유닛(엑시머 자외선 조사 유닛(100), 메가소닉 유닛(200), 석션 유닛(220), 샤워 유닛(300), 에어 나이프 유닛(400), IR 드라이 히터 유닛(500))을 일체형으로 형성하여 종래의 상기 기능성 세정유닛을 각각의 바디에 형성할 시 발생하는 D.I water의 미스트(mist)의 침입으로 인한 파티클 생성과 박테리아의 생성을 방지할 수 있다. In addition, a functional cleaning unit (excimer ultraviolet irradiation unit 100, megasonic unit 200, suction unit 220, shower unit 300, air knife unit 400, IR dry heater unit 500 in one body) It is possible to prevent the generation of particles and the generation of bacteria due to the intrusion of the mist (mist) of DI water generated when the conventional functional cleaning unit is formed in each body by forming a)) integrally.

상술한 바와 같이 본 고안에 따른 바람직한 실시예를 설명하였지만, 본 고안은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 실용신안청구범위에서 청구하는 본 고안의 요지를 벗어남이 없이 당해 고안이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 고안의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.As described above, although the preferred embodiment according to the present invention has been described, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and the present invention belongs to the present invention without departing from the gist of the present invention as claimed in the following Utility Model Claims. Anyone with ordinary knowledge will have the technical spirit of the present invention to the extent that various modifications can be made.

본 고안은 하나의 바디에 엑시머 자외선 조사 유닛, 메가소닉 유닛, 샤워 유닛, 에어 나이프 유닛, IR 드라이 히터 유닛의 기능성 세정유닛을 일체형으로 형성하여 미세공간에 대한 집적기술의 활용을 통해 상기 세정장치의 설치 면적을 최소화하고, 제조 Fab 내의 공간활용을 효율적으로 운영할 수 있으며, 연속적으로 글라스를 세정할 수 있는 효과가 있다. The present invention is to form a functional cleaning unit of the excimer ultraviolet irradiation unit, megasonic unit, shower unit, air knife unit, IR dry heater unit in one body in one body to utilize the integrated technology for the micro-space of the cleaning apparatus Minimize the installation area, can efficiently operate the space utilization in the manufacturing Fab, there is an effect that can continuously clean the glass.

또한, 하나의 바디에 기능성 세정유닛을 일체형으로 형성하여 종래의 상기 기능성 세정유닛의 각각에 바디를 형성할 시 발생하는 D.I water의 미스트(mist)의 침입으로 인한 파티클 생성과 박테리아의 생성을 방지할 수 있는 효과가 있다. In addition, by forming a functional cleaning unit integrally in one body to prevent the generation of particles and bacteria due to the intrusion of mist (mist) of DI water generated when forming a body in each of the conventional functional cleaning unit. It can be effective.

Claims (5)

평판 디스플레이의 대형 글라스를 세정하는 평판 디스플레이 제조장치의 세정장치에 있어서,In the washing apparatus of the flat panel display manufacturing apparatus which washes the large glass of a flat panel display, 반송롤러를 통해 이송한 글라스에 자외선을 조사하기 위한 자외선 조사 램프와 상기 자외선에서 발생하는 오존을 차단하기 위한 N₂를 공급하는 N₂ 공급부를 형성하여 자외선에 의한 산소의 분해와 분해된 산소이온의 산화력을 이용하여 글라스의 표면에 부착된 유기물을 제거하는 엑시머 자외선 조사 유닛과;An ultraviolet irradiation lamp for irradiating ultraviolet rays to the glass conveyed through the conveying roller and an N₂ supply portion for supplying N₂ to block ozone generated from the ultraviolet rays are formed to decompose oxygen by ultraviolet rays and oxidize power of decomposed oxygen ions. An excimer ultraviolet irradiation unit which removes organic matter adhered to the surface of the glass by using; 상기 엑시머 자외선 조사 유닛의 일측에 상기 엑시머 자외선 조사 유닛을 통해 유기물을 제거한 글라스에 D.I water를 공급하는 D.I water 젯과;A D.I water jet for supplying D.I water to a glass from which organic matter is removed through the excimer UV irradiation unit on one side of the excimer UV irradiation unit; 상기 D.I water를 공급한 글라스에 진동 발진을 이용하여 글라스 표면에 부착된 파티클을 분리하는 메가소닉 유닛과;A megasonic unit for separating particles adhered to the glass surface by vibrating oscillation to the glass supplied with the D.I water; 상기 메가소닉 유닛을 통해 분리된 파티클을 D.I water 또는 직수에 의한 고유속 샤워에 의해 상기 글라스에서 제거하는 샤워 유닛과;A shower unit which removes particles separated through the megasonic unit from the glass by a high velocity shower by D.I water or water; 상기 D.I water 젯과 샤워 유닛에서 공급된 D.I water 또는 직수와 샤워 유닛을 통해 제거된 파티클을 강제 흡입하여 배기하는 석션 유닛과;A suction unit forcibly sucking and evacuating the D.I water supplied from the D.I water jet and the shower unit or the particles removed through the direct water and the shower unit; 상기 파티클을 제거한 글라스에 잔존하는 D.I water를 고압의 CDA(Clean dry air)를 분사하여 건조 제거하는 에어 나이프 유닛과;An air knife unit to dry-dry the D.I water remaining in the glass from which the particles are removed by spraying a high pressure clean dry air (CDA); 상기 에어 나이프 유닛을 통해 D.I water를 제거한 글라스에 열풍 젯을 통해 뜨거운 바람을 공급하고, 상기 글라스상의 물기를 건조시키는 IR 드라이 히터 유 닛;의 기능성 세정유닛으로 이루어져 상기 기능성 세정유닛이 하나의 바디에 일체형으로 형성하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 일체형 세정장치.The functional cleaning unit consists of a functional cleaning unit of the IR dry heater unit for supplying hot wind to the glass from which DI water is removed through the air knife unit through a hot air jet and drying the water on the glass. Integral cleaning device for a flat panel display, characterized in that formed integrally. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 엑시머 자외선 조사 유닛과 D.I water 젯 사이에 상기 엑시머 자외선 조사 유닛의 N₂ 공급부에서 공급된 N₂가 유출되는 것을 방지하는 제1에어 커튼과, 상기 D.I water 젯에서 공급하는 D.I water가 상기 엑시머 자외선 조사 유닛에 유입되는 것을 방지하기 위한 제2에어 커튼을 형성하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 일체형 세정장치.A first air curtain to prevent N 2 supplied from the N 2 supply portion of the excimer UV irradiation unit between the excimer UV irradiation unit and the DI water jet, and DI water supplied from the DI water jet includes the excimer UV irradiation unit And a second air curtain for preventing the flow of water into the flat panel display. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 엑시머 자외선 조사 유닛과 D.I water 젯 사이와, 상기 에어 나이프 유닛과 열풍 젯 사이에 상기 글라스가 이동 시 상기 글라스의 표면에 정전기 발생을 방지하는 이온 나이저를 형성하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 일체형 세정장치.Integral cleaning of the flat panel display, wherein an ionizer is formed between the excimer UV irradiation unit and the DI water jet and between the air knife unit and the hot air jet to prevent static electricity from occurring on the surface of the glass. Device. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 엑시머 자외선 조사 유닛은 N₂ 공급부를 통해 공급된 N₂를 배출하기 위한 N₂ 배기구와, 상기 열풍 젯과 IR 드라이 히터 유닛을 통해 발생하는 열풍을 배출하기 위한 열풍 배기구를 형성하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 일체형 세정장치.The excimer UV irradiation unit forms an N₂ exhaust port for discharging N₂ supplied through the N₂ supply unit, and a hot air exhaust port for discharging hot air generated through the hot air jet and the IR dry heater unit. Integral cleaning device. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 기능성 세정유닛은 PLC에 의해 제어하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 일체형 세정장치.And said functional cleaning unit is controlled by a PLC.
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