KR200430404Y1 - 오토클레이브에 의한 처리장치 - Google Patents

오토클레이브에 의한 처리장치 Download PDF

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KR200430404Y1 KR2020060026015U KR20060026015U KR200430404Y1 KR 200430404 Y1 KR200430404 Y1 KR 200430404Y1 KR 2020060026015 U KR2020060026015 U KR 2020060026015U KR 20060026015 U KR20060026015 U KR 20060026015U KR 200430404 Y1 KR200430404 Y1 KR 200430404Y1
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Abstract

본 고안은 LCD, PDP, OLED 등을 포함하는 평판디스플레이나 기타 적층구조 복합소재에 있어서 라미네이팅(Laminating)된 기판제품의 탈포를 위한 가열 가압공정이 이루어지는 것으로, 특히 대형화 추세의 평판디스플레이의 제조에 적합하고 인라인화의 자동화가 가능하며 설치공간을 적게 차지하여 공간의 최대활용에 적합한 오토클레이브에 의한 처리장치에 관한 것이다.
본 고안에 의하면, 수평중심축을 중심으로 각도회전이 가능하게 본체를 구성하고 본체의 내측엔 수평중심축을 중심으로 일정 각도마다 방사상으로 설치되고 가열 가압작동되는 각각의 유니트챔버를 다수 마련하고 본체와 인접되게 별도의 반송라인을 구성하여, 처리용 기판제품을 하부의 유니트챔버 내부에 로딩하는 로딩단계와, 상기 본체를 각도회전시키고 초기위치에 이르기까지 기판제품의 처리작업이 이루어지는 처리단계와, 그리고 상기 처리단계에서 처리작업이 완료된 기판제품을 반송라인에 언로딩하여 배출시키고 유니트챔버엔 처리용 기판제품을 로딩하는 언로딩 단계가 순차적으로 이루어지고, 상기 로딩단계, 상기 처리단계 및 상기 언로딩 단계는 반복 및 순차적으로 이루어지게 되는 처리장치가 제공된다.
평판디스플레이, 가열, 가압, 오토클레이브, 탈포

Description

오토클레이브에 의한 처리장치{Treatment Apparatus for Autoclave}
도 1은 본 고안의 바람직한 일례를 나타내기 위한 정면도,
도 2는 도 1의 요부 측면도,
도 3 내지 도 6은 본 고안에 채택되는 유니트챔버의 구성을 보여주는 확대도로서,
도 3은 로딩 또는 언로딩 단계를 보여주는 상태의 확대 단면도,
도 4는 처리 직전 또는 처리 직후 단계를 보여주는 상태의 확대 단면도,
도 5는 처리단계를 각각 나타내는 확대단면도,
도 6은 유니트챔버의 하부 가동부재를 중심으로 나타낸 요부 확대평면도,
도 7은 도 3 내지 도 6에 예시한 일례의 다른 변형례로서 처리단계를 보여주는 확대단면도,
도 8은 본 고안의 다른 일례를 도 1과 대응되게 예시한 정면도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1: 반송라인, 2: 로딩/언로딩기구,
3: 본체, 4: 기판제품,
5: 지지대, 6: 외부구동원,
7: 수평중심축, 8: 유니트챔버,
8a: 상부 고정부재, 8b: 하부 가동부재,
30: 유틸리티부, 70: 브러시,
80: 히터, 82: 가압공기유입부,
84: 기밀유지부재, 86: 가압히터,
88: 가압기구, 89: 공압라인,
90: 공압라인, 92: 쿠션부재
본 고안은 LCD, PDP, OLED 등을 포함하는 평판디스플레이나 기타 적층구조를 갖는 복합소재에 있어서 라미네이팅(Laminating)된 기판제품의 탈포를 위한 제조공정에서 가열 및 가압공정이 이루어지도록 하는 오토클레이브에 관한 것으로, 특히 대형화되고 있는 평판디스플레이의 제조에 적합하고 인라인화에 의한 자동화에 적용이 가능하며 설치공간을 적게 차지하여 공간의 최대활용에 적합한 오토클레이브에 의한 처리장치에 관한 것이다.
일반적으로 종래의 오토클레이브는 수작업에 의존하거나 또는 다량의 적층된 상태로 동시에 가열 및 가압처리가 이루어지는 형태가 주종을 이루고 있는데, 이러한 종래의 경우에는 처리하고자 하는 기판제품이 적층된 상태에 있기 때문에 전체 기판제품에 처리가 요구되는 가열온도나 가압조건에 도달하기 위하여 많은 시간이 소요되게 되고 생산성이 떨어지는 단점이 있으며, 최근에는 평판디스플레이 등의 기판제품이 대형화되어가고 있는 추세에서는 위와 같은 종래의 방법을 채택하기가 적합하지 아니한 상황이다.
특히, 자동화 내지 인라인화가 되기 위해서는 공정마다 순차적으로 스테이지를 구성하여 일직선 형태로 구성하여야만 하는데, 이와 같이 구성하는 경우에 전체적으로 생산라인이 아주 길게 차지하게 되어 설치공간이 많이 소요되고 공간의 활용면에서도 비효율적이어서 제조원가를 상승시키는 주요 요인으로 작용하고 있다.
본 고안은 이와 같은 종래의 문제점을 해소하기 위하여 연구 개발이 이루어진 것으로 다음과 같은 목적을 갖는다.
본 고안의 주목적은 대형화되는 기판제품의 제조특성에 맞도록 매엽식으로 오토클레이브유니트 내부에서 가열온도나 가압조건에 신속하게 도달이 가능하고 기판제품에서 요구되는 처리조건에 따라 독립적으로 처리할 수 있도록 하여 생산성을 크게 향상시키고자 하는 데 있다.
본 고안의 다른 목적은 수평중심축을 중심으로 각도회전이 이루어지면서 로딩단계, 처리단계 및 언로딩단계가 순차적 및 계속적으로 이루어지도록 하여 기존의 직선형 반송라인 상에서 각 단계별로 처리작업이 연속으로 이루어지는 장비에 비하여 설치 및 운용에 차지하는 공간을 크게 줄여 공간의 보다 효과적인 활용이 가능하도록 하고자 하는 데 있다.
본 고안의 다른 목적은 수평중심축을 중심으로 본체의 외주연 위치에 복수개의 유니트챔버를 일정 각도마다 다수를 설치하고 이와 같이 설치되는 유니트챔버군 을 수평중심축의 길이방향으로 다수의 유니트챔버군을 구성할 수 있도록 하여 여러대의 유니트챔버를 적은 공간에서도 설치가 가능하여 공간의 효율적인 활용이 가능하며, 본체의 각도회전이 이루어지면서 360도 회전하고 원위치에 이르는 동안 처리작업이 완료될 수 있도록 하여 각도회전에 의한 한 피치의 변위가 이루어질 때마다 로딩공정, 처리공정, 언로딩공정이 순차 연속적으로 이루어져 처리가 이루어진 기판제품의 출고가 이루어져 생산성을 크게 향상시킬 수 있도록 하는 데 있다.
본 고안은 이와 같은 목적들을 달성하기 위하여, 처리하고자 하는 기판제품을 반송라인에 의하여 반송하고 상기 반송라인으로부터 로딩/언로딩기구에 의하여 본체에 처리하고자 하는 기판제품을 로딩하고 본체의 내부에서 처리작업을 수행한 다음에 처리가 완료된 기판제품을 상기 로딩/언로딩기구에 의하여 본체로부터 인출하여 상기 반송라인으로 언로딩하도록 이루어지는 통상의 오토클레이브에 의한 처리장치에 있어서, 양측 지지대에 수평으로 설치되고 외부구동원에 의하여 회전구동되는 수평중심축과, 상기 수평중심축의 외주연에 마련 설치되는 본체와, 그리고 상기 본체의 외측에 상기 수평중심축을 중심으로 일정 각도마다 방사상으로 다수의 유니트챔버를 설치하여 구성되는 하나의 챔버군을 포함하여 구성이 이루어지는 오토클레이브에 의한 처리장치가 제공된다.
이하, 첨부된 도면에 의하여 본 고안인 처리장치에 대하여 먼저 살펴보기로 한다.
도시한 바와 같이, 본 고안인 오토클레이브에 의한 처리장치 중 바람직한 일 례에 의하면, 처리하고자 하는 기판제품을 반송라인(1)에 의하여 반송하고 상기 반송라인(1)으로부터 로딩/언로딩기구(2)에 의하여 본체(3)에 처리하고자 하는 기판제품(4)을 로딩하고 본체(3)의 내부에서 처리작업을 수행한 다음에 처리가 완료된 기판제품(4)을 상기 로딩/언로딩기구(2)에 의하여 본체(3)로부터 인출하여 상기 반송라인(1)으로 언로딩하도록 이루어지는 통상의 오토클레이브에 의한 처리장치에 있어서, 양측 지지대(5,5)에 수평으로 설치되고 외부구동원(6)에 의하여 회전구동되는 수평중심축(7)과, 상기 수평중심축(7)의 외주연에 마련 설치되는 본체(3)와, 그리고 상기 본체(3)의 외측에 상기 수평중심축(7)을 중심으로 일정 각도마다 방사상으로 다수의 유니트챔버(8)를 설치하여 구성되는 적어도 하나의 챔버군(C)을 포함하여 이루어진다.
상기 수평중심축(7)을 구동시키는 외부구동원(6)은 도 1 및 도 7에 예시한 바와 같이 인덱스구동모터를 설치하여 상기 수평중심축(7)을 각도 회전시켜 본체(3)도 이와 함께 제자리에서 유니트챔버(8)가 차지하게 되는 각도만큼 한 피치씩 각도 회전이 가능하도록 설치하여 활용하게 된다.
상기 본체(3)에는 상기 챔버군(C)이 설치되는 부위 이외에 유틸리티부(30)가 마련되고 이 유틸리티부(30)에는 기판제품(4)에 대하여 오토클레이브에 의한 처리를 수행하기 위하여 필요로 하는 압축공기탱크, 진공탱크, 가열수단 등이 마련되고 외부로부터는 회전조인트(Rotatable Joint)에 의하여 수평중심축(7)을 통하여 연결 설치되고 외부 전원은 수평중심축(7)에 마련된 브러시(70)를 경유하여 본체(3)의 내부로 공급되게 된다.
상기 유니트챔버(8)는 상기 본체(3)에 설치되는 챔버군(C)을 구성하도록 일정 각도마다 설치되어 마련되어지되, 상기 유니트챔버(8)는 상부 고정부재(8a)와 하부 가동부재(8b)가 서로 한 쌍을 이루어 구성되고, 도 3 내지 도 5에 예시한 바와 같이, 상부 고정부재(8a)는 내측에 히터(80)가 고정 설치되고 일측에는 가압공기 유입부(82)가 마련되며 외곽하부에는 기밀유지부재(84)가 설치되어 이루어지고 상기 하부 가동부재(8b)는 내측에 가압히터(86)가 저부의 가압기구(88)에 의하여 왕복이 가능하게 설치되고 상기 하부 가동부재(8b) 전체는 양측에 설치된 공압실린더를 포함한 구동기구(90)에 의하여 전, 후진 작동이 가능하게 설치되어 이루어지도록 하거나, 도 6에 예시한 바와 같이 상부 고정부재(8a) 및 하부 가동부재(8b)에 히터를 일체로 구성하여 이루어지도록 구성할 수도 있다.
물론, 상기 구동기구(90)를 별도로 설치하지 아니하고 로딩/언로딩기구(2)에 의하여 상기 하부 가동부재(8b)를 외부로부터 당겨 인출하고 처리된 기판제품(4)의 언로딩 작업이나 아니면 처리하고자 하는 새로운 기판제품(4)을 로딩 작업을 수행한 다음에 다시 상기 하부 가동부재(8b)를 밀어 본체(3)의 내부로 원위치시키는 과정을 수행할 수 있다.
이때, 상기 가압기구(88)는 하부 가동부재(8b)의 내측에 마련된 공압라인(89)에 의하여 공급 또는 배출이 이루어지는 공압에 의하여 작동되는 공압실린더, 다이아프램 등의 수단을 활용하여 구성될 수 있다.
또한, 상기 하부 가동부재(8b)의 가압히터(86)의 상부 또는 하부 가동부재(8b) 자체의 상부에는 스펀지를 포함하는 쿠션부재(92)를 미리 설치하여 처리가 이루어지게 되는 기판제품(4)이 이들 상부 고정부재(8a)와 하부 고정부재(8b)의 사이에 가압 거치시킨 상태에서 본체(3)를 각도회전시키더라도 유니트챔버(8)의 내부에서 안전하게 정위치 상태를 유지하고 보다 안전하게 위치하도록 함이 바람직하다.
더욱이, 상기 챔버군(C)은 수요 및 설계에 따라 수평중심축(7)의 축방향으로 도 1에 예시한 바와 같이 단일군의 형태나 도 7에 도시한 바와 같이 한 쌍의 챔버군(C,C) 형태나 아니면 별도로 도시하지는 아니하였으나 그 이상 복수의 다단 형태로 구성하여 이루어지도록 할 수 있다.
다음, 상기 반송라인(1)은 통상적인 형태로서 기판제품(4)을 예를 들면 컨베어에 의한 급송방식으로서 피치 이동에 의한 작동방식으로 반송시키고, 로딩/언로딩기구(2)는 상기 반송라인(1) 상에서 급송되는 기판제품(4)으로서 처리를 행할 기판제품(4)은 유니트챔버(8)로 로딩시키고 반대로 유니트챔버(8)의 내부에서 처리가 완료된 기판제품(4)은 상기 유니트챔버(8)로부터 인출하여 상기 반송라인(1)으로 올려놓게 되는 언로딩 작동을 수행하도록 이루어지게 된다.
다음은 전술한 바와 같이 이루어지는 본 고안인 장치의 작동이 이루어지는 과정을 살펴보기로 한다.
가열 및 가압공정을 포함하는 처리작업용 기판제품(4)의 로딩단계, 가열 및 가압공정이 이루어지는 처리단계, 그리고 처리가 이루어진 기판제품(4)의 언로딩단계를 거쳐 처리작업이 수행되도록 하되, 수평중심축(7)을 중심으로 각도회전이 가능하게 본체(3)를 구성하고 상기 본체(3)의 내측엔 수평중심축(7)을 중심으로 일정 각도마다 방사상으로 설치되고 가열 및 가압작동되는 각각의 유니트챔버(8)를 다수 마련하고 본체(3)와 인접되게 별도의 반송라인(1)을 구성하여, 상기 반송라인(1)에서 반송되는 처리용 기판제품(4)을 하부의 유니트챔버(8) 내부에 로딩하는 로딩단계와, 상기 본체(3)를 수평중심축(7)을 중심으로 각도회전시키고 초기위치에 이르기까지 유니트챔버(8) 내부의 처리용 기판제품(4)에 대하여 계속적으로 처리작업이 이루어지는 처리단계와, 그리고 상기 처리단계에서 처리작업이 완료된 기판제품(4)에 해당하는 유니트챔버(8)가 초기위치에 이르게 되면 처리가 완료된 기판제품(4)을 반송라인(1)에 언로딩하여 배출시키는 언로딩단계를 포함하고, 상기 언로딩단계에서 언로딩이 이루어진 유니트챔버(8)엔 처리용 기판제품(4)을 다시 로딩하는 로딩단계가 순차적으로 이루어지고, 상기 로딩단계, 상기 처리단계 및 상기 언로딩단계가 반복 및 순차적으로 이루어지게 된다.
이하, 각 단계별로 보다 상세하게 살펴보면 다음과 같다.
로딩단계
상기 반송라인(1)에서 반송되는 처리를 위한 기판제품(4)을 상기 반송라인(1)과 인접한 위치로서 초기 위치에서 처음의 유니트챔버(8) 내부에 로딩하는 로딩단계로서, 유니트챔버(8)의 하부 가동부재(8b)를 구동기구(90)에 의하여 외측 전방으로 슬라이드 이동시켜 상기 유니트챔버(8)를 개방시킨 상태에서 반송라인(1)상에 위치한 기판제품(4)이 피치 이동에 의한 방식으로 반송시켜 로딩 및 언로딩 이루어지는 위치에 도달하게 되면, 로딩/언로딩기구(2)를 작동시켜 상기 기판제품(4)을 파지하여 이동시켜 하부 가동부재(8b)의 상부에 정위치시키고 로딩/언로딩기 구(2)는 초기 위치로 원위치하고 구동기구(90)에 의하여 하부 가동부재(8b)를 후진시켜 상부 고정부재(8a)와 마주한 정위치로 복귀하도록 한 다음, 기밀유지부재(84)에 의하여 상기 상부 고정부재(8a)와 하부 가동부재(8b)가 서로 밀착 기밀유지가 이루어지도록 하고 가압공기 유입부(82)를 통하여 내부로 가압공기를 유입시켜 내부압력을 높이고 공압라인(89)을 통하여 가압공기를 유입시켜 가압기구(88)의 가압작동에 의하여 기판제품(4)에 대한 로딩단계가 이루어지게 된다.
처리단계
다음, 처리단계는 상기 로딩단계에서 로딩이 이루어진 기판제품(4)에 대한 처리가 이루어지는 단계로서, 상기 로딩단계에서 상부 고정부재(8a)와 하부 가동부재(8b) 사이 정위치로 가압기구(88)의 가압작동과 가압공기 유입부(82)를 통한 가압공기의 내부 공급에 의하여 내부 압력이 상승한 가압상태에서 히터(80) 및 가압히터(86)에 의하여 가열이 지속적으로 이루어지게 되는 단계로서 기판제품(4)에 대한 지속적인 가압 및 가열 작동이 이루어지게 되는 단계이다.
이와 같은 처리단계는 로딩단계 이후에 언로딩단계가 이루어지기까지 수평중심축(3)의 각도 회전에 의한 피치 이동이 이루어지는 동안 계속적으로 이루어지게 되고 이와 같은 처리단계가 이루어지는 동안 후속되는 유니트챔버(8)의 경우에도 전술한 바 있는 로딩단계 및 처리단계는 계속적으로 이루어지게 된다.
언로딩단계
다음, 언로딩단계는 반복적인 상기 로딩단계 및 상기 처리단계를 거쳐 처리작업이 완료된 기판제품(4)에 해당하는 유니트챔버(8)가 로딩이 이루어졌던 초기위 치에 다다르게 되면 가압공기 유입부(82)를 통한 가압공기의 공급을 중단하고 가압상태를 해제하여 대기압 상태에 있도록 하고 공압라인(89)을 통한 공압의 공급도 해제하여 가압기구(88)도 원위치시킨 다음 기밀유지부재(84)에 의한 기밀유지를 해제하고 구동기구(90)에 의하여 하부 가동부재(8b)를 전진시켜 외부로 슬라이드 이동시키고 처리작업이 완료된 기판제품(4)을 로딩/언로딩기구(2)에 의하여 반송라인(6)으로 언로딩하는 단계이다.
이와 같이 언로딩시켜 처리가 이루어진 기판제품(1)을 배출시키고 다시 처리하고자 하는 새로운 기판제품(4)을 반송라인(1) 상에 피치이동 방식으로 정위치시킨 다음에 로딩단계를 위하여 반송라인(6)에 위치시키고 상기 하부 가동부재(8b)의 상부에 로딩하는 작업이 이루어지게 된다.
또한, 위와 같은 언로딩단계, 로딩단계의 작동이 이루어지는 동안에도 상기 처리단계는 계속적으로 이루어지고, 결국 로딩단계, 언로딩단계 및 처리단계는 순차적 및 반복적으로 수평중심축(7)의 작동에 의하여 본체(3)와 함께 각도회전에 의한 피치 이동이 이루어지면서 계속적으로 이루어지게 된다.
이상 살펴 본 바와 같이, 본 고안에 의하면 대형화되는 기판제품의 제조특성에 맞도록 매엽식으로 오토클레이브처리를 위한 유니트챔버(8)의 내부에서 가열온도나 가압조건에 신속하게 도달이 가능하고 기판제품(4)에서 요구되는 처리조건에 따라 독립적으로 처리할 수 있고 연속적으로 처리작업이 이루어지게 되므로 생산성을 크게 향상시킬 수 있게 되고, 수평중심축(7)을 중심으로 각도회전이 이루어지면 서 로딩단계, 처리단계 및 언로딩단계가 순차 및 계속적으로 이루어지도록 하여 기존의 직선형 반송라인 상에서 각 단계별로 처리작업이 연속으로 이루어지는 장비에 비하여 설치 및 운용에 차지하는 공간이 크게 줄어 보다 효과적인 공간활용이 가능하게 된다.
또한, 본 고안은 수평중심축(7)을 중심으로 본체(3)의 외주연 위치에 복수개의 유니트챔버(8)를 일정 각도마다 다수를 설치하고 이와 같이 설치되는 유니트챔버군(C)을 수평중심축(7)의 길이방향으로 단일 또는 다수의 유니트챔버군 형태로도 구성할 수 있도록 하여 필요한 사양에 따라 여러 대의 유니트챔버(8)를 적은 공간에서도 설치가 가능하여 공간의 효율적인 활용이 가능하며, 본체(3)의 각도회전이 이루어지면서 360도 회전하고 원위치에 이르는 동안 처리작업이 완료될 수 있도록 하여 각도회전에 의한 한 피치의 변위가 이루어질 때마다 로딩공정, 처리공정, 언로딩공정이 순차 연속적으로 이루어지면서 처리가 이루어진 기판제품의 출고가 이루어져 공정의 자동화 내지 생산성을 크게 향상시킬 수 있게 되는 등의 우수한 효과를 갖게 된다.

Claims (5)

  1. 처리하고자 하는 기판제품을 반송라인(1)에 의하여 반송하고 상기 반송라인(1)으로부터 로딩/언로딩기구(2)에 의하여 본체(3)에 처리하고자 하는 기판제품(4)을 로딩하고 본체(3)의 내부에서 처리작업을 수행한 다음에 처리가 완료된 기판제품(4)을 상기 로딩/언로딩기구(2)에 의하여 본체(3)로부터 인출하여 상기 반송라인(1)으로 언로딩하도록 이루어지는 통상의 오토클레이브에 의한 처리장치에 있어서,
    양측 지지대(5,5)에 수평으로 설치되고 외부구동원(6)에 의하여 회전구동되는 수평중심축(7)과,
    상기 수평중심축(7)의 외주연에 마련 설치되는 본체(3)와, 그리고
    상기 본체(3)의 외측에 상기 수평중심축(7)을 중심으로 일정 각도마다 방사상으로 다수의 유니트챔버(8)를 설치하여 구성되는 적어도 하나의 챔버군(C)을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 오토클레이브에 의한 처리장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 본체(3)에는 상기 챔버군(C)이 설치되는 부위 이외에 유틸리티부(30)가 마련되고 이 유틸리티부(30)에는 기판제품(4)에 대하여 오토클레이브에 의한 처리를 수행하기 위하여 필요로 하는 압축공기탱크, 진공탱크, 가열수단이 마련되고,
    외부로부터는 회전조인트(Rotatable Joint)에 의하여 수평중심축(7)을 통하 여 연결 설치되고 외부 전원은 수평중심축(7)에 마련된 브러시(70)를 경유하여 본체(3)의 내부로 공급되게 구성되고,
    상기 유니트챔버(8)는 상기 본체(3)에 설치되는 챔버군(C)을 구성하도록 일정 각도마다 설치되어 마련되어지되, 상기 유니트챔버(8)는 상부 고정부재(8a)와 하부 가동부재(8b)가 서로 한 쌍을 이루어 구성되고,
    상기 하부 가동부재(8b)의 상부에는 스펀지를 포함하는 쿠션부재(92)를 미리 설치하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 오토클레이브에 의한 처리장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 상부 고정부재(8a)는 내측에 히터(80)가 고정 설치되고 일측에는 가압공기 유입부(82)가 마련되며 외곽하부에는 기밀유지부재(84)가 설치되어 이루어지고,
    상기 하부 가동부재(8b)는 내측에 가압히터(86)가 저부의 가압기구(88)에 의하여 왕복이 가능하게 설치되고 상기 하부 가동부재(8b) 전체는 양측에 설치된 공압실린더를 포함한 구동기구(90)에 의하여 전, 후진 작동이 가능하게 설치되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 오토클레이브에 의한 처리장치.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서,
    상기 상부 고정부재(8a) 및 상기 하부 가동부재(8b)에 히터를 일체로 구성하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 오토클레이브에 의한 처리장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 챔버군(C)은 상기 수평중심축(7)의 축방향으로 복수의 다단 형태로 구성하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 오토클레이브에 의한 처리장치.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2012118295A2 (ko) * 2011-03-02 2012-09-07 주식회사 신도기연 오토클레이브
KR101933808B1 (ko) * 2017-12-29 2019-04-05 경규오 복수의 개별 챔버를 구비하는 오토클레이브 장치
KR102203198B1 (ko) * 2020-04-27 2021-01-14 김병하 듀얼 복합 성형 장치

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2012118295A2 (ko) * 2011-03-02 2012-09-07 주식회사 신도기연 오토클레이브
WO2012118295A3 (ko) * 2011-03-02 2012-12-20 주식회사 신도기연 오토클레이브
KR101247831B1 (ko) * 2011-03-02 2013-04-03 박웅기 오토클레이브
CN103403611A (zh) * 2011-03-02 2013-11-20 株式会社新都技研 热压釜
CN103403611B (zh) * 2011-03-02 2016-04-13 株式会社新都技研 热压釜
KR101933808B1 (ko) * 2017-12-29 2019-04-05 경규오 복수의 개별 챔버를 구비하는 오토클레이브 장치
KR102203198B1 (ko) * 2020-04-27 2021-01-14 김병하 듀얼 복합 성형 장치

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