KR20040078189A - 설치한 유체라인 테스트시스템 및 그 방법 - Google Patents

설치한 유체라인 테스트시스템 및 그 방법 Download PDF

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KR20040078189A KR1020030012977A KR20030012977A KR20040078189A KR 20040078189 A KR20040078189 A KR 20040078189A KR 1020030012977 A KR1020030012977 A KR 1020030012977A KR 20030012977 A KR20030012977 A KR 20030012977A KR 20040078189 A KR20040078189 A KR 20040078189A
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Abstract

본 발명은 공정 진행에 필요한 각종 공정가스 또는 화학물질 등 공정에 필요한 공정소스의 공급과 미반응 공정소스나 반응부산물이 유동하는 유체라인에 대하여 공정소스의 순도, 공급량, 공급압력 및 기밀 유지 등에 관계하여 유체라인의 틈새나 그 손상 여부를 확인할 수 있도록 하는 설치된 유체라인의 테스트시스템 및 그 방법에 관한 것으로서, 이에 대한 특징적인 구성은, 공급부로부터 공정설비를 통과하는 유체의 유동 통로에 적어도 하나 이상 연통하게 연결한 연결관과; 상기 연결관을 통해 인가되는 제어신호에 따라 유체의 유동을 유도하도록 흡입력을 제공하는 펌프와; 상기 연결관을 포함한 유체의 유동 통로에 인가되는 제어신호에 따라 유체의 유동 제한 구간을 적어도 하나 이상 형성하는 제어밸브와; 상기 구간 상에 연통 설치하여 내부의 압력을 측정하는 압력 게이지; 및 상기 제어밸브와 펌프에 구동을 제어하고, 상기 압력 게이지의 측정값을 수신하여 상기 구간의 틈새 유무를 포함한 이상 여부를 판단하는 제어부로 이루어진다. 이러한 구성에 의하면, 유체라인의 일정 구간을 차단하여 그 내부를 진공압 상태로 형성한 후 내부의 압력 변화 또는 분석기를 이용하여 기밀 유지 관계와 잔류하는 유체의 종류를 분석 확인이 이루어져 유체라인의 손상 여부의 확인이 용이하게 이루어지는 효과가 있다.

Description

설치한 유체라인 테스트시스템 및 그 방법{test system of setting up a fluid-line and method thereof}
본 발명은 공정 진행에 필요한 각종 공정가스 또는 화학물질 등 공정에 필요한 공정소스의 공급과 미반응 공정소스나 반응부산물이 유동하는 유체라인에 대하여 공정소스의 순도, 공급량, 공급압력 및 기밀 유지 등에 관계하여 유체라인 상의 틈새나 그 손상 여부를 확인할 수 있도록 하는 설치된 유체라인의 테스트시스템 및 그 방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체소자는 웨이퍼 상에 포토리소그래피, 식각, 화학기상증착, 이온주입, 확산, 금속증착 등의 공정을 선택적이고도 반복적으로 수행하는 것에 의해 복수의 회로층을 이루어 만들어진다. 이들 반도체소자 제조공정은 대체로 소정의 공정 분위기 하에서 각종 가스 또는 액상의 화학물질(chemical) 등 공정소스를 공급하고, 이들 공정소스로 하여금 웨이퍼 상에 영향을 미치도록 하는 것이다. 그리고, 상술한 공정의 진행 이후에 공급된 미반응 공정소스나 반응 부산물 등은 다음 공정 진행을 위하여 배관을 통한 배출 과정을 갖는다.
상술한 공정 진행에 있어서 주요한 관리 항목의 하나는 공급이 요구되는 공정소스에 대하여 순도, 공급량, 공급압력 및 기밀 유지 관계 등의 설정 조건을 유지시키기 위한 것이고, 이에 대한 관리는 공정소스 공급부에서 공정이 이루어지는 공정설비로의 공급라인 상에서 이루어지는 것이 일반적이다.
이러한 관계의 기술 구성에 대하여 첨부한 도면 및 상세한 설명은 반도체소자 공정설비에 대한 공정소스 공급과 그 배출 관계의 유체라인시스템을 그 예로서 설명하기로 하고, 여기서 상술한 공정소스로는 각종 가스 및 케미컬을 포함하는 것으로 설명하겠으며, 이렇게 기체 상태의 유체와 액상인 유체에 따른 구성의 차이는 그 적용이 용이하다고 할 것이다.
먼저, 종래의 유체라인시스템(10)은, 도 1에 도시한 바와 같이, 공정소스를 공급하는 공급부(20)에서 공정소스의 공급을 필요로 하는 공정설비(50) 사이는 공급부(20)로부터 공정소스의 유동 통로를 이루는 공급라인(30, 40)으로 연결하고, 공정설비(60)에 대하여 공정 종료 이후의 반응부산물이나 미반응 소스 등의 잔류물질을 배출시키기 위한 배출라인(60)을 연결한 구성으로 이루어진다. 이때 상술한 공급부(20)와 공급라인(30, 40)과 공정설비(50) 및 배출라인(60) 상의 각 구성의 구동은 제어부(도면의 단순화를 위하여 생략함)로부터 인가되는 제어신호에 의해 이루어진다.
여기서, 상술한 공급부(20)는, 공정소스를 저장하는 바틀이나 봄베 등을 포함한 저장탱크(22)를 각 공정소스별로 적어도 하나 이상 구비하고, 이들 저장탱크(22)로부터 공급라인(30, 40)으로 연결되는 부위에는 제어부의 제어신호를 받아 공정소스에 대한 공급압을 제공하는 통상의 펌핑부(도면의 단순화를 위하여생략함)를 구비하고 있다.
또한, 상술한 공급라인(30, 40)은, 공급부(20)에서 생산라인을 따라 연장한 중앙 공급라인(30)과 이 중앙 공급라인(30)으로부터 분기(分岐)하여 대응하는 공정설비(50)로 각각 연결한 분기 공급라인(40)으로 구분할 수 있다.
이렇게 중앙 공급라인(30)과 분기 공급라인(40)으로 구분함에 있어서, 먼저 중앙 공급라인(30)은 공급부(20)의 복수 저장탱크(22)에 각각 대응하여 공급관(32)을 연통하게 연결하고 있다. 또한, 공급관(32) 상에는 적어도 하나 이상의 구간에 대하여 공정소스의 유동을 선택적으로 차단하기 위한 복수의 밸브(34)와 공급관(32)의 각 구간 내의 압력을 측정하기 위한 압력 게이지(36) 및 공정소스의 유동량을 측정하는 유량 게이지(38) 등을 공급관(32)에 대하여 연통하게 구비하고 있다.
그리고, 상술한 분기 공급라인(40)은 중앙 공급라인(30)의 공급관(32)으로부터 분기하여 대응하는 공정설비(50) 사이를 분기관(42)으로 연통하게 연결하고 있고, 이 분기관(42) 상에는 분기관(42)을 통한 공정소스의 유동을 선택적으로 차단하기 위한 밸브(44)와 분기관(42) 내부의 압력을 측정하는 압력 게이지(46) 등을 구비한 구성으로 이루어진다.
한편, 분기관(42)과 연결이 이루어진 공정설비(50)는 구비한 각종 구성부(도면의 단순화를 위하여 생략함)의 구동으로 공정 분위기를 이루는 챔버(52)와 챔버(52) 내부에 대하여 분기관(42)으로부터 공급되는 공정소스의 공급 정도를 제어하는 제어밸브(54)를 구비하고 있다.
또한, 공정설비(50)와 연결 관계를 갖는 배출라인(60)은 공정 종료와 더불어 챔버(52) 내부에 잔존하는 미반응 공정소스 또는 반응 부산물을 포함한 잔류물질을 강제적으로 배출시키기 위하여 챔버(52) 내부에 대하여 배관(62)을 연통하게 연결하고 있다. 그리고, 배관(62) 상에는 제어부로부터 인가되는 제어신호에 따라 구동하여 챔버(52) 내부의 잔류물질을 강제적으로 유도 배출이 이루어지게 진공압 등의 흡입력을 제공하는 펌프(64)와 이 펌프(64)의 구동에 대응하여 잔류물질의 유동과 흡입력의 전달을 선택적으로 차단하는 제어밸브(66)를 구비한 구성으로 이루어진다.
이러한 구성에 있어서, 공정소스의 공급과 공정 진행 및 그 배출 과정을 살펴보면, 각 저장탱크(22)에 수용된 공정소스는 공급부(20)를 구성하는 펌핑부의 구동에 의해 대응 연결한 각각의 공급관(32)과 이 공급관(32)으로부터 분기된 각각의 분기관(42)으로 충전되게 유동한다. 이러한 상태에서 분기관(42)과 연결 관계를 갖는 공정설비(50)는 웨이퍼의 투입이 이루어진 챔버(52) 내부를 소정의 공정 분위기로 형성하고, 이 분위기의 챔버(52) 내부에 대하여 공정소스의 공급을 제어하여 공정소스로 하여금 웨이퍼(W)에 영향을 미치도록 함으로써 공정을 진행한다. 이후 공정이 종료되면, 배출라인(60)은 배관(62) 상의 밸브(66)를 개방하여 챔버(52)에 대한 펌프(64)로부터의 흡입력을 전달하고, 이에 따라 챔버(52) 내부의 각종 잔류물질은 배관(62)을 통해 제공되는 흡입력에 의해 강제 배출되게 유동하게 된다.
이상에서 살펴본 바와 같이, 공급부(20)에서 공정설비(50)로 연결되어 공정소스의 유동 통로를 이루는 공급라인(30, 40) 내부에는 공정소스의 충전 상태가 계속적으로 유지되고, 이에 따라 공급라인(30, 40)에 대한 이상 유무의 확인은 공급라인(30, 40) 상에 구비된 압력 게이지(36, 46) 또는 유량 게이지(38)를 이용한 유동 압력과 유량의 측정으로 그 관리가 이루어진다.
이러한 공급라인(30, 40)의 관리에 있어서, 공급라인(30, 40) 상에는 각종 밸브(34, 44), 압력 게이지(36, 46), 유량 게이지(38) 및 다른 연결관(도면의 단순화를 위하여 생략함) 등 많은 연결 부위를 가지며, 이들 연결 부위를 포함한 각 부위에 틈새 등의 손상이나 파손이 있는 경우 공정소스의 오염, 순도 이상, 공급 압력의 변화, 공급량의 변화 및 공정 조건의 하나인 기밀 유지 관계가 이루어지지 않는 등의 문제를 갖는다.
그러나, 공급라인(30, 40) 상의 공정소스 공급에 따른 유동 압력과 유량 측정만으로는 상술한 문제를 확인하는데 한계가 있고, 공급라인(30, 40)은 이미 설치된 구성으로서 그 이상 여부를 수시로 확인하기 어려움이 있다. 결과적으로 공정이 진행된 이후 공정불량의 원인 규명을 통해 공정소스의 오염, 공정소스의 순도 이상, 공정소스의 공급압력 이상, 공급량 이상 및 기밀 유지가 이루어지지 않은 상태 등의 문제 판별로 비로소 유체라인시스템의 이상 여부에 대한 의심을 한다. 특히 공정소스의 오염이나 순도에 대한 미소한 차이에 있어서는 압력 게이지(36, 46)나 유량 게이지(38)를 이용한 확인은 더욱 어려운 문제를 갖는다. 그리고, 공정소스의 공급에 따른 이상 여부의 확인으로부터 공정설비(50)의 각 구성을 정지시킴은 물론 다른 정상적인 공정설비(도면의 단순화를 위하여 생략함)들과는 별도로 이상이 발생한 공정설비(50)에 대한 공정소스의 공급을 차단할 것이 요구되지만 그 공급의 차단은 중앙 공급라인(30)에 근접한 분기관(42) 상의 밸브(44) 즉, 매뉴얼밸브의 조작에 의한 것으로서 그 위치가 통상 공정설비(50)가 놓이는 위치와 층을 달리하여 위치됨으로써 원격 제어의 어려움이 있었다. 상술한 바와 같이, 공정소스의 공급라인(30, 40)의 손상 및 파손에 따른 문제의 발견은 많은 공정 불량을 야기할 뿐 아니라 그에 따른 제조수율의 저하로 이어지는 등의 문제를 갖는다.
한편, 공정 종료 이후 공정설비 내의 미반응 공정소스나 반응부산물 등의 잔류물질을 배출시키기 위한 배출라인(60)에 있어서도, 각 구성의 연결 부위나 물리적인 힘의 작용을 받아 틈새 등의 손상 또는 파손이 있게 되면, 주위를 오염시킬 뿐 아니라 공정설비에 대한 정상적인 공정조건 즉, 잔류물질이 잔존하거나 진공압 형성의 어려움이 있는 등의 문제와 그 형성에 따른 시간이 지연되는 등의 문제를 갖는다.
본 발명의 목적은, 상술한 종래의 문제를 해결하기 위한 것으로서, 공정 진행에 필요한 각종 공정가스 또는 화학물질 등의 공정에 필요한 공정소스를 공급하는 과정에서 공정소스의 오염, 순도, 공급량, 공급압력 등에 관계하는 공급라인의 손상 여부를 공급라인의 설치된 상태를 유지시키며 용이하게 확인할 수 있도록 하고, 이를 통한 공정불량을 저감토록 하여 제조수율을 향상시킬 수 있도록 하는 설치한 유체라인 테스트시스템 및 그 방법을 제공함에 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 반도체소자 공정설비에서 공정소스의 공급에 관계하는 유체라인시스템을 개략적으로 나타낸 구성도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 설치한 유체라인 테스트시스템을 설명하기 위하여 개략적으로 나타낸 구성도이다.
도 3은 도 2에 도시한 구성으로부터 공급라인의 이상 여부를 확인하는 과정을 나타낸 순서도이다.
※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명※
10: 유체라인시스템 20: 공급부
22: 저장탱크 30: 중앙 공급라인
32: 공급관 34, 44: 밸브
36, 46: 압력 게이지 38: 유량 게이지
40: 분기 공급라인 42: 분기관
50: 공정설비 52: 챔버
54, 72: 제어밸브 60: 배출라인
62: 배관 64, 76: 펌프
74: 연결관 78: 세정소스라인
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 설치한 유체라인 테스트시스템의 구성은, 공급부로부터 공정설비를 통과하는 유체의 유동 통로에 적어도 하나 이상 연통하게 연결한 연결관과; 상기 연결관을 통해 인가되는 제어신호에 따라 유체의 유동을 유도하도록 흡입력을 제공하는 펌프와; 상기 연결관을 포함한 유체의 유동 통로에 인가되는 제어신호에 따라 유체의 유동 제한 구간을 적어도 하나 이상 형성하는 제어밸브와; 상기 구간 상에 연통 설치하여 내부의 압력을 측정하는 압력 게이지; 및 상기 제어밸브와 펌프에 구동을 제어하고, 상기 압력 게이지의 측정값을 수신하여 상기 구간의 틈새 유무를 포함한 이상 여부를 판단하는 제어부로 이루어진다.
또한, 상술한 제어부에는 상기 공급라인 상의 압력 변화를 작업자로 하여금 확인하기 용이하도록 하는 출력부를 더 구비한 것으로 이루어질 수 있다. 그리고, 상기 제어밸브는 상기 제어부의 선택적인 전원인가에 의해 구동하는 솔레노이드밸브 또는 에어밸브를 사용함이 바람직하다.
한편, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 설치한 유체라인 테스트방법은, 공급부로부터 공정설비를 통과하는 유체의 유동 통로에 적어도 하나 이상 연통하게 연결한 연결관과; 상기 연결관을 통해 인가되는 제어신호에 따라 유체의 유동을 유도하도록 흡입력을 제공하는 펌프와; 상기 연결관을 포함한 유체의 유동 통로에 인가되는 제어신호에 따라 유체의 유동 제한 구간을 적어도 하나 이상 형성하는 제어밸브와; 상기 구간 상에 연통 설치하여 내부의 압력을 측정하는 압력 게이지; 및 상기 제어밸브와 펌프에 구동을 제어하고, 상기 압력 게이지의 측정값을 수신하여 상기 구간의 틈새 유무를 포함한 이상 여부를 판단하는 제어부를 구비하고, 상기 연결관을 포함한 유체의 유동이 있는 일정 구간에 대하여 공정소스의 유동을 제한하는 단계와; 상기 구간 내에 연통하는 상기 연결관을 개방하여 흡입력을 제공토록 함으로써 내부의 유체 배출을 유도하여 진공압 분위기를 갖는 밀폐 분위기로 형성하는 단계; 및 상기 구간 내의 압력 변화를 측정하여 틈새를 포함한 이상 유무를 확인하는 단계를 포함하여 이루어진다.
또한, 상기 구간은 상기 공급부로부터 상기 공정설비에 공정소스를 공급토록 연결한 공급라인과 상기 공정설비로부터 공정소스와 반응부산물을 포함한 각종 유체의 배출을 안내하는 배관 상에 각각 구비한 제어밸브의 차단 구동에 의해 이루어지고, 구간 내의 압력 변화 측정은 상기 공급라인과 배관에 대하여 연통하는 공정설비 내부의 기밀 유지 상태를 포함하여 이루어진다. 이때 상기 펌프로 이어지는 상기 연결관은 상기 공정설비로부터 공정소스와 반응부산물을 포함한 각종 유체의 배출을 안내하는 배관으로부터 연통하게 연장한 것으로 구성될 수 있다.
이하, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 설치한 유체라인 테스트시스템 및 그 방법에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 공정소스 공급라인 및 배출라인을 포함한 설치한 유체라인에 대한 테스트시스템 구성을 개략적으로 도시한 구성도이고, 도 3은 도 2의 구성으로부터 설치한 유체라인에 대한 테스트를 실시하는 과정을 나타낸 순서도로서, 종래와 동일한 부분에 대하여 동일한 부호를 부여하고, 그에 따른 상세한 설명은 생략하기로 한다.
본 발명에 따른 설치한 유체라인 테스트시스템(70)의 구성을 설명함에 앞서 유체라인시스템의 구성을 살펴보면, 종래 기술 설명에서 밝힌 바와 같이, 공급부(20)는 복수 저장탱크(22) 내에 수용된 각종 공정소스를 대응하는 공급라인(30, 40)을 통해 공정설비(50)로 유동하도록 공급압을 제공한다. 또한, 공급라인(30, 40) 상의 압력 게이지(36)와 유량 게이지(38)는 공급부(20)로부터 제공되는 공정소스의 공급압과 단위 구간을 통과하는 공정소스의 공급량을 확인하여 제어부에 그 신호를 인가함으로써 제어부로 하여금 공정소스의 공급 조건을 조절토록 한다. 그리고, 상술한 공정설비(50)는 공급라인(30, 40)을 통해 공급이 이루어진 공정소스를 소정의 공정 분위기로 형성한 챔버(52) 내부에 공급하여 그 분위기 하에서 투입한 웨이퍼에 대하여 영향을 미치도록 함으로써 공정을 진행하고, 이러한 과정을 통해 공정이 종료되면 배출라인(60)은 공정설비(50) 내의 미사용된 공정소스나 사용에 따른 반응 부산물 등의 잔류물질을 배출시키도록 연통 연결한 배관(62)을 통해 흡입력을 제공한다.
이러한 구성의 유체라인시스템에 대하여 유체라인 테스트시스템(70)의 구성은, 도 2에 도시한 바와 같이, 공급라인(30, 40)과 배출라인(62) 및 이들 사이의 공정설비(50)의 챔버(52) 내부를 포함하여 공정소스가 유동하는 부위의 일정 구간을 구획하여 유체의 유동을 제한하기 위한 제어밸브(72)를 적어도 하나 이상 구비한다. 또한, 상술한 제어밸브(72)에 의해 구획된 공급라인(30, 40)과 배관(62) 사이의 각 구간 부위는 그 내부의 공정소스를 포함한 유체의 배출을 안내하기 위한연결관(74)의 일 단부가 각각 연통 연결하며, 이들 연결관(74)의 상대측 단부는 연결관(74)을 통하여 유체가 유도 배출될 수 있도록 흡입력을 제공하는 펌프(64, 76)를 연결하여 이루어진다. 여기서, 상술한 제어밸브(72)는 연결관(74) 상에도 구비하여 있으며, 이들 제어밸브(72)와 펌프(64, 76)는 제어부의 제어신호에 따라 구동하는 구성을 이룬다.
한편, 제어부는 작업자로 하여금 유체라인 내의 압력 상태와 공급량의 상황과 제어밸브(72)와 펌프(64, 76)의 구동에 대한 동작 상황을 확인할 수 있도록 모니터링 하는 출력부(도면의 단순화를 위하여 생략함)와 작업자가 제어밸브(72)와 펌프(64, 76)의 구동을 임의로 조절할 수 있도록 조작부(도면의 단순화를 위하여 생략함)를 더 구비하여 이루어진다. 그리고, 상술한 제어밸브(72)는 제어부로부터 선택적으로 인가되는 전기적 제어신호 또는 전원에 의해 구동하는 솔레노이드밸브 또는 제어부의 선택적인 제어에 따라 에어 공급으로 구동하는 에어밸브로 구성할 수 있는 것이다.
상술한 연결관(74)은 공정설비(50)의 챔버(52)로부터 미반응 공정소스나 반응부산물 등의 배출을 안내하는 배관(62)을 연장 형성한 구성으로 이루어질 수 있고, 상술한 펌프(64, 76)는 종래의 기술 구성에서와 같이, 배관(62)을 통해 흡입력을 제공하는 펌프(64)의 구성을 그대로 이용할 수 있다. 또한 상술한 펌프(64)의 구성과는 별도로 상술한 연결관(74)과 연통하게 연결이 이루어지는 다른 펌프(76)를 더 구비하여 이루어질 수 있다. 이때 별도로 다른 펌프(76)를 더 구비한 구성에 있어서, 상술한 구간에 대하여 별도의 다른 연결관(도시 안됨)을 이중으로 연결하고, 또 다른 펌프(76)에 대하여는 상술한 연결관(74)과 별도의 다른 연결관(도시 안됨)을 통해 세정가스 또는 세정액 등의 세정소스를 공급하여 순환할 수 있도록 함으로써 그 구간에 대한 세정작업까지 진행될 수 있도록 세정소스라인(78)을 더 구비한 구성으로 이루어질 수 있는 것이다.
이러한 구성으로부터 설치한 유체라인의 테스트과정에 대하여 첨부한 도 3을 참조하여 설명하기로 한다.
본 발명에 따른 설치한 유체라인 테스트시스템(70)은, 공정설비(50)의 주기적인 점검 과정이나 공정불량의 원인 규명에서 공정소스의 오염, 공정소스의 순도 이상, 공정소스의 공급압력 이상, 공정소스의 공급량 이상 및 기밀 유지 관계 등으로부터 비롯한 것으로 판별될 경우와 같이 공정설비의 구동이 정지된 상태에서 진행된다.
이를 위해서는 먼저 의심되는 공급라인(30, 40)과 배기라인(60) 및 이들에 대하여 연통 연결한 연결관(74)을 포함한 유체라인의 일정 구간에 대하여 제어밸브(72)를 구동시켜 유체의 유동을 차단한다(ST100). 이후 상술한 제어밸브(72)의 차단으로 구획된 구간에 대하여 연통 연결한 연결관(74)을 개방시켜 연결관(74)을 통한 펌프(64, 76)의 흡입력을 제공하여 상술한 구간 내부의 공정소스 또는 각종 잔류물질을 포함한 유체를 배출시키고, 계속적인 흡입력 제공으로 그 구간 내부의 압력을 설정한 진공압 상태에 이르도록 한다(ST102). 이에 따라 상술한 구간 내의 공정소스나 잔류물질의 배출이 이루어지고, 상술한 압력 게이지(36, 46)를 이용하여 그 내부의 압력 상태가 설정 값 범위에 있는지 여부를확인하고(ST104), 설정 값 범위에 이르면 연결관(74) 상의 제어밸브(72)를 구동시켜 흡입력의 전달을 차단한다(ST106). 이러한 상태에서 압력 게이지(36, 46)를 이용하여 그 구간에 대한 압력체크를 실시하고(ST108), 소정 시간이 경과하면(ST110) 그 내부에 대한 압력 변화의 유무를 확인하여 그 구간에 대한 틈새나 손상 및 파손 여부를 판단한다(ST112). 이로부터 그 구간에 대한 손상 등의 결함이 있는 것으로 판단될 경우 그 부위의 확인을 위한 세부 구간에 대하여 상술한 과정을 반복적으로 수행하고(ST114), 그 결함 부위가 확인되면 그 부위에 대하여 수리하거나 교체토록 하며(ST116), 이 과정이 진행된 이후에 다시 상술한 과정을 재시행 함으로써 상술한 결함을 제거한다. 이러한 과정을 통해 이상이 없거나 결함을 제거한 경우 연결관(74)을 통한 유체의 유동을 제한토록 함과 동시에 상술한 구간을 통한 유체의 유동이 있도록 제어밸브(72)를 개방시키는 것으로 설치한 유체라인 테스트과정이 이루어진다.
이러한 과정에 더하여, 상술한 바와 같이, 선택된 구간에 대한 결함이 제거된 경우 그 구간에 대하여 연통하는 연결관(74)과 다른 연결관을 통한 세정소스의 공급 또는 순환 배출이 이루어지도록 함으로써 그 구간에 대한 세정작업을 더 추가하여 진행할 수도 있다.
이에 따르면, 공급라인(30, 40)이나 배출라인(60) 및 공정설비(50)의 챔버(52) 내부를 포함하여 유체가 유동하는 유체라인에 대하여 그 설치 상태를 유지시키고, 그 결함 여부를 용이하게 실시할 수 있으며, 공정소스의 공급과 관련하여 이상이 발생될 경우 공정소스의 공급 차단을 제어부를 통해 신속하게 원격 제어하게 됨으로써 작업자의 번거로움을 줄인다.
따라서, 본 발명에 의하면, 유체의 공급과 배출에 관계하는 설치된 유체라인의 일정 구간을 차단하고, 그 내부의 유체를 배출토록 흡입력을 제공하여 진공압 상태로 형성한 후 내부의 압력 변화 또는 분석기를 이용하여 기밀 유지 관계와 잔류하는 유체의 내용을 분석 확인하는 것으로 그 구간 내의 공급라인의 손상 및 파손 등의 이상 여부에 대한 확인이 용이하게 이루어지고, 유체 중 공정소스의 공급 관리에 대한 신뢰성이 향상되어 공정 불량이 방지되고, 그에 따른 제조수율이 향상되는 효과가 있다.
본 발명은 구체적인 실시예에 대해서만 상세히 설명하였지만 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 변형이나 변경할 수 있음은 본 발명이 속하는 분야의 당업자에게는 명백한 것이며, 그러한 변형이나 변경은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 할 것이다.

Claims (10)

  1. 공급부로부터 공정설비를 통과하는 유체의 유동 통로에 적어도 하나 이상 연통하게 연결한 연결관과;
    상기 연결관을 통해 인가되는 제어신호에 따라 유체의 유동을 유도하도록 흡입력을 제공하는 펌프와;
    상기 연결관을 포함한 유체의 유동 통로에 인가되는 제어신호에 따라 유체의 유동 제한 구간을 적어도 하나 이상 형성하는 제어밸브와;
    상기 구간 상에 연통 설치하여 내부의 압력을 측정하는 압력 게이지; 및
    상기 제어밸브와 펌프에 구동을 제어하고, 상기 압력 게이지의 측정값을 수신하여 상기 구간의 틈새 유무를 포함한 이상 여부를 판단하는 제어부로 이루어짐을 특징으로 하는 설치한 유체라인 테스트시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상술한 제어부에는 상기 공급라인 상의 압력 변화를 작업자로 하여금 확인하기 용이하도록 하는 출력부를 더 구비한 것으로 이루어짐을 특징으로 하는 상기 설치한 유체라인 테스트시스템.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제어밸브는 상기 제어부의 선택적인 전원인가에 의해 구동하는 솔레노이드밸브임을 특징으로 하는 상기 설치한 유체라인 테스트시스템.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제어밸브는 상기 제어부를 통한 선택적인 에어 공급에 의해 구동하는 에어밸브임을 특징으로 하는 상기 설치한 유체라인 테스트시스템.
  5. 공급부로부터 공정설비를 통과하는 유체의 유동 통로에 적어도 하나 이상 연통하게 연결한 연결관과; 상기 연결관을 통해 인가되는 제어신호에 따라 유체의 유동을 유도하도록 흡입력을 제공하는 펌프와; 상기 연결관을 포함한 유체의 유동 통로에 인가되는 제어신호에 따라 유체의 유동 제한 구간을 적어도 하나 이상 형성하는 제어밸브와; 상기 구간 상에 연통 설치하여 내부의 압력을 측정하는 압력 게이지; 및 상기 제어밸브와 펌프에 구동을 제어하고, 상기 압력 게이지의 측정값을 수신하여 상기 구간의 틈새 유무를 포함한 이상 여부를 판단하는 제어부를 구비하고,
    상기 연결관을 포함한 유체의 유동이 있는 일정 구간에 대하여 공정소스의 유동을 제한하는 단계와;
    상기 구간 내에 연통하는 상기 연결관을 개방하여 흡입력을 제공토록 함으로써 내부의 유체 배출을 유도하여 진공압 분위기를 갖는 밀폐 분위기로 형성하는 단계; 및
    상기 구간 내의 압력 변화를 측정하여 틈새를 포함한 이상 유무를 확인하는 단계를 포함하여 이루어진 설치한 유체라인 테스트방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 구간은 상기 공급부로부터 상기 공정설비에 공정소스를 공급토록 연결한 공급라인과 상기 공정설비로부터 공정소스와 반응부산물을 포함한 각종 유체의 배출을 안내하는 배관 상에 각각 구비한 제어밸브의 차단 구동에 의해 이루어지고, 구간 내의 압력 변화 측정은 상기 공급라인과 배관에 대하여 연통하는 공정설비 내부의 기밀 유지 상태를 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 설치한 유체라인 테스트방법.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 펌프로 이어지는 상기 연결관은 상기 공정설비로부터 공정소스와 반응부산물을 포함한 각종 유체의 배출을 안내하는 배관으로부터 연통하게 연장한 것으로 구성됨을 특징으로 하는 상기 설치한 유체라인 테스트방법.
  8. 제 5 항에 있어서,
    상기 구간에 대한 이상이 있는 것으로 판단되는 경우 상기 구간을 보다 세분하여 세부 구간별로 상기 과정을 진행하여 그 결함 부위를 확인하는 단계를 더 구비하여 이루어짐을 특징으로 하는 상기 설치한 유체라인 테스트방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 결함 부위의 확인이 이루어짐에 대응하여 수리 또는 교체 작업을 실시하고, 상기 과정을 다시 시행하는 것으로 이루어짐을 특징으로 하는 상기 설치한 유체라인 테스트방법.
  10. 제 5 항에 있어서,
    상기 구간에 대하여 별도의 다른 연결관을 더 연통하게 연결하고, 상기 펌프는 상기 연결관과 다른 연결관을 통해 세정소스의 유동이 있도록 하는 구성으로 형성하여 상기 구간에 대하여 상기 연결관과 다른 연결관을 통한 세정소스를 공급하는 단계를 더 구비하여 이루어짐을 특징으로 하는 상기 설치한 유체라인 테스트방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100600993B1 (ko) * 2004-12-08 2006-07-13 두산중공업 주식회사 배관의 유체 동특성 해석 방법
KR101244557B1 (ko) * 2008-08-25 2013-03-18 현대중공업 주식회사 잠수운항체에서의 누수검사장치
KR20180053922A (ko) * 2016-11-14 2018-05-24 세메스 주식회사 기판 처리 장치 검사 방법

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