KR200387137Y1 - 광학렌즈 코팅을 위한 렌즈 로딩 - Google Patents

Abstract

본 고안은 광학렌즈의 유전체 코팅을 위한 스퍼터 장비에서 렌즈 로딩시스템에 관한 것으로서 광학렌즈를 홀더에 고정시키는 방법에 있어서 별도의 지그장치 없이 렌즈를 장착시킬 수 있는 특징을 가지고 있다. 본 홀더는 회전동력 전달축으로 부터 동력을 전달 받아 공정 및 자전 운동을 할 수 있게 고안되었다. 이와 같이 된 본 고안에 의하면 렌즈코팅 공정의 신뢰도를 높일 수 있고, 광학용 유전체 박막의 품질을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

Description

광학렌즈 코팅을 위한 렌즈 로딩{Lens loading for optical lens coating}

광학제품의 무반사 및 고반사 코팅에 사용되는 장비는 주로 진공증착법 및 스퍼터 증착 방법이 사용되고 있는데, 진공증착법의 경우 제품의 양산성에 있어서는 우수한 면이 있으나, 코팅막의 내구성 등에 있어서는 스퍼터 증착 공정이 선호되고 있는 상황이다. 스퍼터 증착 중에서도 SiO₂, Si₃N₄ 등의 유전체 증착에 있어서 생산성을 높이기 위해 고주파 플라즈마를 이용한 스퍼터링 공정 보다는 펄스직류 스퍼터링 공정이 선호되고 있는 상황이다.

본 고안은 이러한 스퍼터링 공정을 이용한 광학렌즈 코팅장비에서 렌즈 장착 장치에 관한 것으로, 특히 특별한 렌즈 고정을 위한 지그가 필요하지 않아 경제성에 있어서 유리할 뿐만 아니라, 렌즈를 홀더에 올려놓기만 하면 렌즈 로딩 작업이 완료되기 때문에 작업성의 효율성이 높은 것도 하나의 특징이다. 특히 본 렌즈 홀더를 사용하는 경우, 라이너에 의해 렌즈가 장착되는 개구부 이외의 부분이 차폐되어 두개의 스퍼터건을 사용하여 렌즈의 양면을 동시에 코팅하는 것이 가능하므로 제품생산성 향상 효과도 얻을 수 있다.

제1도 및 제2도는 종래의 광학제품 코팅장비에서의 렌즈홀더에 관한 개요도로서 광학렌즈를 각각의 홀더 내에 설치된 렌즈 고정핀에 의해 개별적으로 고정을 시켜줘야 한다. 즉, 렌즈(13)를 프레임(10)의 개구부(12)에 넣어 렌즈 움직임을 방지하는 경사축(9) 및 정지막대(11)로 고정시키는 방식으로 개별 렌즈를 장착시킨 후 개별 지지판 (1)을 진공챔버내 축으로 연결된 모터(6) 구동 홀더에 장착시켜 렌즈를 코팅하는 방식이다.

제3도에 도시한 바와 같이 회전척(15)이 라이너(16)의 개구부에서 공전 및 자전 운동을 할 수 있도록 고안되어있다. 이때 스페이서(17)는 회전척(15)과 회전척 사이에 일정한 간격을 띄울수 있도록 장치되어 있다. 동력전달축하우징(24)내에는 동력전달체(21)를 회전시킬 수 있는 기어(20)가 내장되어있고, 베어링(22)에 의해 스페이서 및 라이너 지지체(23)가 별도로 회전할 수 있도록 되어있다. 지그 하우징(14)은 전체 회전 지그를 지지해주는 역할 및 양면 스퍼터링 공정시 서로 마주보고 있는 타겟의 상호오염을 방지해주는 역할도 한다.

제4도 및 제5도에 도시한 바와 같이, 동력전달하우징고정대(28)내 모터의 회전동력이 전달되는 회전동력전달축(19)은 회전축보조베어링(25)으로 감싸져 있으며, 이축의 회전운동을 전달하는 기어(20)에 의해 동력전달체(21)가 회전하게 된다. 동력전달체(21)의 회전은 회전척(15)을 공정 및 자전시키게 된다. 이때 회전척(15)의 공전운동은 스페이서(17)를 공전 및 자전시켜 스페이서 축에 연결되어있는 스페이서 및 라이너 지지체(23)가 동력전달체(21)의 회전축을 중심으로 회전하도록 하고 있다. 라이너(16)는 스페이서 및 라이너 지지체(23)에 의해 지지되어있고, 라이너(16)의 개구부에 놓여진 회전척(15) 위에 렌즈(13)를 로딩할 수 있게 된다. 동력전달축하우징(24)의 상부와 스페이서 및 라이너 지지체(23)의 하부에는 각각 상부코팅방지덮개(27)와 하부코팅방지덮개(26)가 장치되어있어 렌즈의 코팅공정시 기어(20) 및 베어링(22)에 코팅물질에 의한 오염을 방지할 수 있도록 설계되어 있다.

본 고안을 통하여 기존에 개별적으로 렌즈를 장착하던 번거로운 작업을 탈피할 수 있고, 스퍼터링 시에 서로 마주보고 있는 타겟의 상호 오염을 방지할 수 있으며, 생산성 및 효율 면에서 높은 효과를 볼 수 있다.

제1도는 진공챔버내에 장착된 렌즈홀더의 개략적인 구조도

제2도는 종래의 렌즈 홀더의 문제점을 보여주는 구조도

제3도는 본 고안 렌즈홀더 장치의 개략 평면도

제4도는 본 고안 렌즈홀더 장치의 상세 구조도

제5도는 본 고안 렌즈홀더 회전축의 상세 구조도

제6도는 본 고안 렌즈홀더 회전축의 개략 구조도

Claims (3)

1. 렌즈를 스퍼터링 방식으로 코팅하는 장치에서 고정핀과 같은 특별한 장치 없이 렌즈를 회전척에 바로 로딩해서 스퍼터링 공정 중 렌즈가 공전 및 자전 운동을 하면서 렌즈를 균일하게 코팅 할 수 있게 고안된 렌즈홀더 및 렌즈로딩 장치
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