JP4321785B2 - 成膜装置及び成膜方法 - Google Patents
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Description
3 気密容器
4a〜4c 成膜対象物
6 成膜対象物の保持部
8 回転テーブル
9a〜9d ターゲット
11 スパッタ源
18 回転テーブル
100 膜厚分布
110 成膜対象エリア
120 無駄な膜が形成されるエリア
200 排気
図1は、本発明の第1の実施形態に係る成膜装置の模式断面図である。
図2は、同成膜装置における回転テーブル8とスパッタ源11との平面的な位置関係を表す模式図である。
図3は、図1よりもサイズ(直径)の小さい成膜対象物に成膜を行う場合の図1に対応する図である。
図4は、図2よりもサイズ(直径)の小さい成膜対象物に成膜を行う場合の図2に対応する図である。
ターゲット9に対して成膜対象物4aのサイズが大きくなると、成膜対象物4aにおいてターゲット9に対向しない外側部分に膜が付かなくなり、膜厚の面内均一性が悪くなる。
ターゲット9に対して成膜対象物4bのサイズが小さくなると、無駄な膜が形成されるエリア120が増える。つまり、成膜対象物4b以外の部分に付着する無駄な膜の量が増えるためターゲット9の利用効率が悪い。また、真空室2内の付着物は剥離すると成膜対象物を汚染し、さらにこれを防ぐため真空室2内をクリーニングする必要がありその手間がかかる。
図9は、図8よりもサイズ(直径)の小さい成膜対象物に成膜を行う場合の図8に対応する図である。
図10、11は、本発明の第2の実施形態に係る成膜装置における要部構成の模式図である。
Claims (6)
- 成膜対象物の保持部を有し、真空室内に回転可能に設けられた回転テーブルと、
前記回転テーブルの回転によって移動される前記保持部の移動経路に対向する位置で自転可能に設けられ、複数のターゲットが保持されるスパッタ源と、を備え、
前記成膜対象物が前記ターゲットに対して相対的に小さい場合には、前記成膜対象物の移動方向に前記複数のターゲットが並ぶように前記スパッタ源の自転角度を設定し、
前記成膜対象物が前記ターゲットに対して相対的に大きい場合には、前記成膜対象物の移動方向に対して交差する方向に前記複数のターゲットが並ぶように前記スパッタ源の自転角度を設定することを特徴とする成膜装置。 - 前記スパッタ源に保持される少なくとも1つのターゲットの、前記保持部に対する距離が可変であることを特徴とする請求項1記載の成膜装置。
- 前記スパッタ源に保持される複数のターゲットへの印加電力を各ターゲットごとに制御可能であることを特徴とする請求項1または2に記載の成膜装置。
- 成膜対象物の保持部を有し、真空室内に回転可能に設けられた回転テーブルと、
前記回転テーブルの回転によって移動される前記保持部の移動経路に対向する位置で自転可能に設けられ、長円形状または長さの異なる辺を有する角形状のターゲットが保持されるスパッタ源と、を備え、
前記成膜対象物が前記ターゲットに対して相対的に小さい場合には、前記ターゲットの長手方向が前記成膜対象物の移動方向に対して相対的に平行または平行に近い状態になるように前記スパッタ源の自転角度を設定し、
前記成膜対象物が前記ターゲットに対して相対的に大きい場合には、前記ターゲットの長手方向が前記成膜対象物の移動方向に対して相対的に直交または直交に近い状態になるように前記スパッタ源の自転角度を設定することを特徴とする成膜装置。 - 真空室内に回転可能に設けられた回転テーブルの保持部に成膜対象物を保持し、前記回転テーブルの回転によって移動される前記保持部の移動経路に対向する位置で自転可能に設けられたスパッタ源を用いて前記成膜対象物に成膜を実行する成膜方法であって、
前記スパッタ源に複数のターゲットを保持させ、前記スパッタ源を自転させることで前記成膜対象物の移動方向と前記複数のターゲットの並び方向との相対角度を変更し、
前記保持部に保持される成膜対象物が前記ターゲットに対して相対的に小さい場合には、前記成膜対象物の移動方向に前記複数のターゲットが並ぶようにし、
前記保持部に保持される成膜対象物が前記ターゲットに対して相対的に大きい場合には、前記成膜対象物の移動方向に対して交差する方向に前記複数のターゲットが並ぶようにすることを特徴とする成膜方法。 - 真空室内に回転可能に設けられた回転テーブルの保持部に成膜対象物を保持し、前記回転テーブルの回転によって移動される前記保持部の移動経路に対向する位置で自転可能に設けられたスパッタ源を用いて前記成膜対象物に成膜を実行する成膜方法であって、
前記スパッタ源に長円形状または長さの異なる辺を有する角形状のターゲットを保持させ、前記スパッタ源を自転させることで前記成膜対象物の移動方向と前記ターゲットの長手方向との相対角度を変更し、
前記保持部に保持される成膜対象物が前記ターゲットに対して相対的に小さい場合には、前記ターゲットの長手方向を前記成膜対象物の移動方向に対して相対的に平行または平行に近い状態にし、
前記保持部に保持される成膜対象物が前記ターゲットに対して相対的に大きい場合には、前記ターゲットの長手方向を前記成膜対象物の移動方向に対して相対的に直交または直交に近い状態にすることを特徴とする成膜方法。
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