KR200317190Y1 - Balance maintaing device of up/down carriage for stocker - Google Patents
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Abstract
개시된 내용은 주행플레이트와 캐리지사이에 힌지타입의 평행유지수단을 구비하여 주행플레이트상에서 수직이동하는 캐리지의 수평을 기계적으로 유지하는 캐리지의 평행유지장치에 관한 것이다.The present disclosure relates to a carriage maintaining parallelism device having a hinge-type parallel holding means between the traveling plate and the carriage to mechanically maintain the horizontal of the carriage vertically moving on the traveling plate.
이 캐리지의 평행유지장치는, 주행플레이트(110);와, 상기 주행플레이트(110)로 부터 소정높이로 상하동되는 캐리지(120);와, 상기 캐리지(120)와의 사이에 볼너트(132)로서 나사맞춤되고, 그 축은 하방으로 수직설치되고, 하단에 종동풀리(134)를 구비한 스크류바(130);와, 상기 주행플레이트(110)위에 탑재되고 그 구동축에는 구동풀리(142)를 구비하여 상기 종동풀리(134)와의 사이에 벨트(144)로서 연결된 구동모터(140); 및, 상기 주행플레이트(110)와 캐리지(120)사이에 설치되어 상하동작동에 따라 그 간격을 벌리거나 좁혀주는 평행유지수단(150)을 포함하여 달성된다.The carriage parallel holding device includes a traveling plate 110 and a carriage 120 vertically moved up and down from the traveling plate 110 as a ball nut 132 between the carriage 120 and the carriage 120. Screwed, the shaft is installed vertically downward, a screw bar 130 having a driven pulley 134 at the bottom; and mounted on the driving plate 110, the drive shaft is provided with a drive pulley 142 A drive motor 140 connected to the driven pulley 134 as a belt 144; And parallel holding means 150 installed between the driving plate 110 and the carriage 120 to widen or narrow the gap according to the vertical movement.
Description
본 고안은 주행플레이트와 캐리지(Carriage)사이에 힌지타입의 평행유지수단을 구비하여 주행플레이트와 캐리지의 평행도를 기계적으로 유지시킬 수 있는 캐리지의 평행유지장치에 관한 것이다.The present invention relates to a carriage parallel holding device having a hinge-type parallel holding means between the traveling plate and the carriage to mechanically maintain the parallelism of the traveling plate and the carriage.
일반적으로 반도체 웨이퍼, 고밀도 연결(High density interconnects)등의 반도체 패키지 기판과, 마스크 또는 레티클(Reticle)등의 반도체 제조처리 이미지 플레이트(Imagnig plate) 및 액티브 매트릭스(Active matrix) LCD 기판과 같은 제품의 제조에 있어서, 공정과 공정을 수행하기 위하여 평판디스플레이의 이송이 요구되고, 이러한 제품의 이송은 제품을 적재하는 카세트(cassette)를 이용하는 것이 일반적이다.In general, manufacturing of semiconductor package substrates such as semiconductor wafers, high density interconnects, and semiconductor fabrication processes such as masks or reticles, such as image plate and active matrix LCD substrates. In order to carry out the process and the process, the transfer of the flat panel display is required, and the transfer of such products is generally made by using a cassette for loading the product.
이러한 카세트는 제조공정중 공정과 공정사이에서 제품이 적재된 카셋트를 임시로 저장/반출하는 장비가 필요하게 되는데 이러한 역할을 하는 것이 스토커(Stocker)이다.Such a cassette requires a device for temporarily storing / exporting a cassette loaded with a product between processes in a manufacturing process, which is a stocker.
상기와 같은 스토커의 내부에 설치되는 반입/반출을 위한 캐리지에는 제품을 수납하고 있는 카세트가 안착되어 이송용 로봇에 의해 로딩/언로딩되는데 이때 카세트는 항상 수평을 유지해야 한다. 그러므로 카세트가 안착된 캐리지는 수평을 맞춰 설치된 스토커의 주행플레이트와 항상 평행을 유지하여야 한다.A carriage for carrying in / out of the stocker installed in the stocker as described above is loaded with and unloaded by a transfer robot, in which a cassette containing a product is seated. In this case, the cassette should always be kept horizontal. The carriage on which the cassette is seated must therefore always be parallel to the traveling plate of the stocker placed horizontally.
도 1에서 도시하는 바와 같이, 종래의 캐리지의 평행유지장치는 캐리지(1)에 스크류바(2)에 나합되어있는 볼너트(3)가 고정되어 있어, 구동모터(4)의 회전방향에 따라 스크류바(2)가 회전하여 주행플레이트(5)상에서 캐리지(1)를 상하동시킨다. 이때, 스크류바(2)의 측방에 3개의 가이드바(6)가 형성되어 캐리지(1)가 이 가이드바(6)를 따라 슬라이딩되었으나,As shown in FIG. 1, in the conventional carriage parallel retaining device, a ball nut 3 screwed to the screw bar 2 is fixed to the carriage 1, and according to the rotational direction of the drive motor 4, as shown in FIG. The screw bar 2 rotates to vertically move the carriage 1 on the traveling plate 5. At this time, three guide bars 6 are formed on the side of the screw bar 2 so that the carriage 1 slides along the guide bars 6.
스크류바가 캐리지의 중앙에 설치되지 않을 경우 캐리지에 편심이 가해져 작동이 원활하게 이루어지지 못하거나, 평행유지에 오차가 발생하여 이송용 로봇아암(미도시)에 의해 제품이 훼손되는 문제점이 있었다.When the screw bar is not installed at the center of the carriage, the eccentricity is applied to the carriage, the operation may not be made smoothly, or an error occurs in parallel maintenance, which causes the product to be damaged by the transfer robot arm (not shown).
본 고안은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 고안의 목적은 주행플레이트와 캐리지 사이에 힌지타입의 평행유지수단을 설치함으로써 캐리지가 기계적으로 주행플레이트와 평행을 유지하며 상하동하도록 함으로써 스크류바를 측방에 설치하여 캐리지에 편심이 가해지더라도 오차없이 안정감있게 평행을 유지하며 이동할 수 있는 캐리지의 평행유지장치를 제공하는 것이다.The present invention has been devised to solve the above problems, the object of the present invention is to install the hinge-type parallel holding means between the traveling plate and the carriage so that the carriage mechanically up and down while maintaining the parallel to the traveling plate screw The bar is provided on the side to provide a parallel maintenance device of the carriage that can be moved while maintaining a stable and stable parallelism even if eccentricity is applied to the carriage.
도 1은 종래 캐리지의 평행유지장치의 구성을 나타내는 개략단면도,1 is a schematic cross-sectional view showing the structure of a conventional carriage parallel holding device;
도 2는 본 고안 캐리지의 평행유지장치의 사시도,2 is a perspective view of a parallel holding device of the present invention carriage;
도 3은 본 고안 캐리지의 평행유지장치의 평면도,3 is a plan view of a parallel holding device of the present invention carriage;
도 4는 본 고안 캐리지의 평행유지장치의 측단면도,Figure 4 is a side cross-sectional view of the parallel holding device of the present invention carriage,
도 5는 본 고안 캐리지의 평행유지장치에서 평행유지장치를 발췌한 사시도,Figure 5 is a perspective view of the parallel holding device extracted from the parallel holding device of the present invention,
도 6은 본 고안 캐리지의 평행유지장치의 평행유지장치를 분해한 분해사시도,Figure 6 is an exploded perspective view of the parallel holding device of the parallel holding device of the carriage of the present invention,
도 7a, 도 7b는 본 고안 캐리지의 평행유지장치의 작동상태를 나타내는 단면도이다.7A and 7B are sectional views showing the operating state of the parallel holding device of the carriage of the present invention.
※도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명※ Explanation of code for main part of drawing
110:주행플레이트 120:캐리지110: driving plate 120: carriage
130:스크류바 132:볼너트130: screw bar 132: ball nut
134:종동풀리 140:구동모터134: driven pulley 140: drive motor
142:구동풀리 144:벨트142: drive pulley 144: belt
150:평행유지수단 152,154:제 1, 제 2연결부재150: parallel holding means 152, 154: first and second connecting members
152a,154a:연결공 156:힌지축152a, 154a: connector 156: hinge shaft
156a:힌지바 156b:베어링156a: Hinge bar 156b: bearing
156c:고정축156c: fixed shaft
상기의 목적을 달성하기 위한 본 고안 캐리지의 평행유지장치는 캐리지의 평행유지장치에 있어서, 주행플레이트;와, 상기 주행플레이트로 부터 소정높이로 상하동되는 캐리지;와, 상기 캐리지와의 사이에 볼너트로서 나사맞춤되고, 그 축은하방으로 수직설치되고, 하단에 종동풀리를 구비한 스크류바;와, 상기 주행플레이트위에 탑재되고 그 구동축에는 구동풀리를 구비하여 상기 종동풀리와의 사이에 벨트로서 연결된 구동모터; 및, 상기 주행플레이트와 캐리지사이에 설치되어 상하동작동에 따라 그 간격을 벌리거나 좁혀주는 평행유지수단을 포함하는 캐리지의 평행유지장치를 제공함으로써 달성된다.A parallel holding device of the present invention for achieving the above object is a parallel holding device of the carriage, the traveling plate; and the carriage vertically moved up and down by a predetermined height from the traveling plate; and the ball nut between the carriage A screw bar having a driven pulley at a lower end thereof, the shaft being vertically installed downward, and having a driven pulley mounted on the driving plate and having a driving pulley at the driving shaft, the drive being connected as a belt between the driven pulley motor; And, it is achieved by providing a parallel holding device of the carriage comprising a parallel holding means that is installed between the running plate and the carriage to open or narrow the gap according to the vertical movement.
여기서, 상기 평행유지수단은, 네곳에 연결공을 형성하여 힌지축의 양단 고정축에 연결되는 공(工)형의 제 1연결부재;와, 네곳에 연결공을 형성하고 힌지축의 힌지바에 연결되는 제 2연결부재; 및, 상기 제 1,2연결부재에 각각 결합됨과 동시에 중심축을 이루기 위하여 원통형 힌지바와 이 힌지바의 양단에 개재되는 베어링과 베어링에 각각 회동가능하게 접속되는 고정축으로 이루어진 힌지축을 포함하는 것이 바람직하다.Here, the parallel retaining means is a ball-shaped first connecting member which is connected to the fixed shaft at both ends of the hinge shaft by forming connecting holes in four places; and forming a connecting hole in four places and connected to the hinge bar of the hinge shaft. 2 connecting members; And a hinge shaft including a cylindrical hinge bar and a bearing interposed between both ends of the hinge bar and a fixed shaft rotatably connected to the bearing, respectively, to be coupled to the first and second connection members and to form a central axis. .
또한, 본 고안 캐리지의 평행유지장치의 상기 평행유지수단은 적어도 두곳이상 설치되는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that at least two or more of the parallel holding means of the parallel holding device of the present invention carriage.
이하 본 고안의 바람직한 실시예를 첨부 도면에 의거 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
첨부도면중 도 2는 본 고안 캐리지의 평행유지장치의 사시도이고, 도 3은 본 고안 캐리지의 평행유지장치의 평면도이며, 도 4는 본 고안 캐리지의 평행유지장치의 측단면도이다.2 is a perspective view of the parallel holding device of the present invention carriage, Figure 3 is a plan view of the parallel holding device of the present invention carriage, Figure 4 is a side cross-sectional view of the parallel holding device of the present invention carriage.
상기 도면들에서 도시하는 바와 같이 본 고안 캐리지의 평행유지장치는 주행플레이트(110)와, 상기 주행플레이트(110)로부터 상하동되는 캐리지(120)와, 상기캐리지(120)를 이동시키는 스크류바(130)와, 상기 스크류바(130)를 구동시키는 구동모터(140)와, 상기 캐리지(120)의 평행을 유지시키는 평행유지수단(150)을 포함하여 달성된다.As shown in the drawings, the parallel retaining device of the present invention carriage plate 110, the carriage 120 is moved up and down from the drive plate 110, the screw bar 130 for moving the carriage 120 ), A drive motor 140 for driving the screw bar 130, and parallel holding means 150 for maintaining parallelism of the carriage 120.
상기 캐리지(120)는 평판디스플레이가 적재되어있는 카세트(미도시)를 수직이송시키기 위하여 상기 주행플레이트(110)로 부터 소정높이로 상하동된다.The carriage 120 is vertically moved up and down from the traveling plate 110 to vertically transfer a cassette (not shown) on which a flat panel display is loaded.
상기 스크류바(130)는 상기 캐리지(120)와의 사이에 볼너트(132)로서 나사맞춤되고, 그 축은 하방으로 수직설치되며, 하단에 종동풀리(134)를 구비한다.The screw bar 130 is screwed as a ball nut 132 between the carriage 120, the shaft is installed vertically downward, and has a driven pulley 134 at the bottom.
상기 구동모터(140)는 상기 주행플레이트(110)위에 탑재되고 그 구동축에는 구동풀리(142)를 구비하여 상기 종동풀리(134)와의 사이에 벨트(144)로서 연결된다.The drive motor 140 is mounted on the driving plate 110 and has a drive pulley 142 on the drive shaft and is connected as a belt 144 between the driven pulley 134.
상기 평행유지수단(150)은 상기 주행플레이트(110)와 캐리지(120)사이에 설치되어 캐리지(120)의 상하동작동에 따라 주행플레이트(110)로부터 캐리지(120)의 평행을 유지시키는 것이다.The parallel holding means 150 is installed between the driving plate 110 and the carriage 120 to maintain the parallelism of the carriage 120 from the driving plate 110 in accordance with the vertical movement of the carriage 120.
첨부도면 도 5는 본 고안 캐리지의 평행유지장치에서 평행유지장치를 발췌한 사시도이며, 도 6은 본 고안 캐리지의 평행유지장치의 평행유지장치를 분해한 분해사시도이다.Figure 5 is a perspective view of the parallel holding device extracted from the parallel holding device of the carriage of the present invention, Figure 6 is an exploded perspective view of the parallel holding device of the parallel holding device of the carriage of the present invention.
도시하는 바와 같이, 상기의 평행유지수단(150)은 네곳에 연결공(152a)을 형성하여 힌지축(156)의 양단 고정축(156c)에 연결되는 공(工)형의 제 1연결부재(152);와, 네곳에 연결공(154a)을 형성하고 힌지축(156)의 힌지바(156a)에 연결되는 제 2연결부재(154); 및, 상기 제 1,2연결부재(152)(154)에 각각 결합됨과 동시에 중심축을 이루기 위하여 원통형 힌지바(156a)와 이 힌지바(156a)의 양단에 개재되는 베어링(156b)과 베어링(156b)에 각각 회동가능하게 접속되는 고정축(156c)으로 이루어진 힌지축(156)을 포함하여 이루어진다.As shown in the drawing, the parallel holding means 150 is provided with a ball-shaped first connecting member connected to the fixed shafts 156c at both ends of the hinge shaft 156 by forming connection holes 152a at four locations ( And a second connection member 154 which forms a connection hole 154a at four places and is connected to the hinge bar 156a of the hinge shaft 156; And a bearing 156b and a bearing 156b interposed at both ends of the cylindrical hinge bar 156a and the hinge bar 156a to be coupled to the first and second connection members 152 and 154 and to form a central axis. It includes a hinge shaft 156 made of a fixed shaft (156c) rotatably connected to each).
이하, 상기의 구성을 갖는 본 고안 캐리지의 평행유지장치의 구체적인 작용을 설명한다.Hereinafter, the specific operation of the parallel holding device of the carriage of the present invention having the above configuration will be described.
첨부도면중 도 7a, 도 7b는 본 고안 캐리지의 평행유지장치의 작동상태를 나타내는 단면도로서, 도 7a는 캐리지가 하향이동되어있는 상태이고 도 7b는 캐리지가 상향이동되어있는 상태를 도시한 것이다.7A and 7B of the accompanying drawings are cross-sectional views showing the operating state of the parallel holding device of the carriage of the present invention, Figure 7a is a state in which the carriage is moved downward and Figure 7b is a state in which the carriage is moved upward.
상기 도면들에서 도시하는 바와 같이, 주행플레이트(110)상에서 수직형성되어 공회동하는 스크류바(130)에 나합된 볼너트(132)가 캐리지(120)에 고정되어 스크류바(130)의 회전에 따라 캐리지(120)가 수직이동한다. 이 스크류바(130)의 하단에는 종동풀리(134)가 형성되어 있으며, 이 종동풀리(134)는 주행플레이트(110)상에 고정된 구동모터(140)의 구동풀리(142)와 벨트(144)로 권취되어 구동모터(140)의 정역회전에 의해 스크류바(130)가 회전방향을 바꾸면서 캐리지(120)가 수직으로 상하동하는 것이다.As shown in the drawings, a ball nut 132 screwed to the screw bar 130 vertically formed on the traveling plate 110 and idle is fixed to the carriage 120 to rotate the screw bar 130. Accordingly, the carriage 120 moves vertically. A driven pulley 134 is formed at a lower end of the screw bar 130, and the driven pulley 134 is a drive pulley 142 and a belt 144 of the drive motor 140 fixed on the driving plate 110. ), The carriage 120 is vertically moved up and down while the screw bar 130 is rotated by the forward and reverse rotation of the driving motor 140.
이때, 힌지축(156)에 의해 회동가능하도록 고정된 제 1, 제 2연결부재(152)(154)는 주행플레이트(110)상에 고정된 힌지축(156)에 제 2연결부재(152)의 일측이 고정되고, 캐리지(120)의 저면에 고정된 힌지축(156)에 제 1연결부재(152)의 일측이 고정되어 캐리지(120)의 상하동에 따라 평행유지수단(150)이 힌지축(156)을 중심으로 회동하여 측방으로 유동없이캐리지(120)와 연동하면서 캐리지(120)가 주행플레이트(110)와 평행을 유지하도록 한다. 한편, 상기와 같은 평행유지수단(150)이 주행플레이트(110)와 캐리지(120)사이에 X,Y축으로 적어도 두군데 이상 설치되게 함으로써(도 3참조) 주행플레이트(110)로부터 캐리지(120)가 항상 기계적으로 평행을 유지하도록 하는 것이다.At this time, the first and second connection members 152 and 154 fixed to the hinge shaft 156 to be rotatable are connected to the hinge shaft 156 fixed to the driving plate 110 by the second connection member 152. One side of the fixed, the one side of the first connecting member 152 is fixed to the hinge shaft 156 fixed to the bottom surface of the carriage 120, the parallel holding means 150 is hinged shaft in accordance with the vertical movement of the carriage 120 The carriage 120 is maintained in parallel with the traveling plate 110 while interlocking with the carriage 156 and cooperating with the carriage 120 without moving laterally. On the other hand, the above-described parallel holding means 150 is installed between at least two places on the X, Y axis between the driving plate 110 and the carriage 120 (see Fig. 3) from the driving plate 110 to the carriage 120 Is always mechanically parallel.
상기한 바와 같이 본 고안 캐리지의 평행유지장치는 주행플레이트와 캐리지 사이에 힌지타입의 평행유지수단을 X,Y축으로 설치함으로써 스크류바가 캐리지의 측방에 설치되어 캐리지에 편심이 가해지더라도 캐리지가 기계적으로 주행플레이트와 평행을 유지하며 상하동하는 효과가 있다.As described above, according to the present invention, the parallel holding device of the carriage has a hinge-type parallel holding means between the traveling plate and the carriage in the X and Y axes, so that the carriage is mechanically installed even if the screw bar is installed on the side of the carriage and eccentricity is applied to the carriage. It is effective to keep up and down parallel with the traveling plate.
Claims (3)
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| KR20-2003-0009705U KR200317190Y1 (en) | 2003-03-31 | 2003-03-31 | Balance maintaing device of up/down carriage for stocker |
Applications Claiming Priority (1)
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| KR20-2003-0009705U KR200317190Y1 (en) | 2003-03-31 | 2003-03-31 | Balance maintaing device of up/down carriage for stocker |
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2003
- 2003-03-31 KR KR20-2003-0009705U patent/KR200317190Y1/en not_active IP Right Cessation
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| REGI | Registration of establishment | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20120607 Year of fee payment: 10 |
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| EXPY | Expiration of term |