JP7503950B2 - Industrial Robots - Google Patents

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Description

本発明は、半導体ウエハ等の搬送対象物を搬送する産業用ロボットに関する。 The present invention relates to an industrial robot that transports objects such as semiconductor wafers.

従来、露光装置で使用されるマスク等の薄板状の搬送対象物を搬送する産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットは、搬送対象物が搭載されるハンドと、ハンドの基端側を支持するリニア駆動部と、リニア駆動部を支持する本体部と、本体部を水平方向に移動可能に支持するベース部材とを備えている。リニア駆動部は、ハンドを直線的に移動させる。 Conventionally, industrial robots that transport thin plate-like objects such as masks used in exposure devices are known (see, for example, Patent Document 1). The industrial robot described in Patent Document 1 includes a hand on which the object is mounted, a linear drive unit that supports the base end of the hand, a main body that supports the linear drive unit, and a base member that supports the main body unit so that it can move horizontally. The linear drive unit moves the hand linearly.

また、特許文献１に記載の産業用ロボットは、搬送対象物が搭載されたときのハンドおよびリニア駆動部の撓みに起因する搬送対象物の傾きを補正するための傾き補正機構を備えている。傾き補正機構は、リニア駆動部と本体部との連結部分に形成される支点部を回動中心にして、本体部に対してハンドおよびリニア駆動部を回動させる。また、傾き補正機構は、リニア駆動部によって移動するハンドの移動方向に直交するとともに上下方向（鉛直方向）に直交する方向を回動の軸方向として、本体部に対してハンドおよびリニア駆動部を回動させる。 The industrial robot described in Patent Document 1 also includes a tilt correction mechanism for correcting the tilt of an object to be transported caused by the deflection of the hand and linear drive unit when the object is loaded. The tilt correction mechanism rotates the hand and linear drive unit relative to the main body unit, with the fulcrum unit formed at the connection between the linear drive unit and the main body unit as the center of rotation. The tilt correction mechanism also rotates the hand and linear drive unit relative to the main body unit, with the axis of rotation being perpendicular to the direction of movement of the hand moved by the linear drive unit and perpendicular to the up-down direction (vertical direction).

特開２０１０－７６０６６号公報JP 2010-76066 A

特許文献１に記載の産業用ロボットが搬送対象物を搬送して所定の受渡し部に引き渡すときや、受渡し部に配置された搬送対象物を産業用ロボットが受け取るときの搬送対象物の損傷を防止するために、搬送対象物の受渡しをするときに搬送対象物に加わる衝撃は可能な限り小さい方が好ましい。搬送対象物の受渡し時の衝撃を抑制するためには、搬送対象物が搭載される受渡し部の搭載面と、搬送対象物が搭載されるハンドの搭載面とが可能な限り平行に近くなっていることが好ましい。一方で、受渡し部のばらつきや産業用ロボットの姿勢等の影響で、受渡し部の搭載面に対してハンドの搭載面が大きく傾く場合が生じうる。 In order to prevent damage to the transport object when the industrial robot described in Patent Document 1 transports the transport object and delivers it to a specified transfer section, or when the industrial robot receives the transport object placed at the transfer section, it is preferable that the impact on the transport object when it is delivered is as small as possible. In order to suppress the impact when the transport object is delivered, it is preferable that the mounting surface of the transfer section on which the transport object is mounted and the mounting surface of the hand on which the transport object is mounted are as close to parallel as possible. However, due to the influence of variations in the transfer section and the attitude of the industrial robot, etc., there may be cases where the mounting surface of the hand is significantly tilted relative to the mounting surface of the transfer section.

特許文献１に記載の産業用ロボットでは、傾き補正機構によって、上下方向に直交する所定の一方向を回動の軸方向としてハンドの傾きを補正することでハンドの搭載面の傾きを補正することが可能であるが、このような補正を行っても、受渡し部の搭載面とハンドの搭載面とが平行に近づくように受渡し部の搭載面に対するハンドの搭載面の傾きを補正できない場合が生じうる。すなわち、特許文献１に記載の産業用ロボットの場合、受渡し部の搭載面とハンドの搭載面とを平行に近づけることが困難になって、搬送対象物の受渡し時の衝撃を抑制できない場合が生じうる。 In the industrial robot described in Patent Document 1, the tilt correction mechanism can correct the tilt of the hand by using a specific direction perpendicular to the up-down direction as the axis of rotation to correct the tilt of the hand's mounting surface, but even with such correction, there may be cases where the tilt of the hand's mounting surface relative to the mounting surface of the transfer unit cannot be corrected so that the mounting surface of the transfer unit and the mounting surface of the hand approach parallelism. In other words, in the case of the industrial robot described in Patent Document 1, it may be difficult to bring the mounting surface of the transfer unit and the mounting surface of the hand closer to parallelism, and it may not be possible to suppress the impact when the transported object is transferred.

そこで、本発明の課題は、搬送対象物の受渡し時の衝撃を抑制することが可能な産業用ロボットを提供することにある。 The objective of the present invention is to provide an industrial robot that can reduce the impact caused when transferring objects.

上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、搬送対象物が搭載される複数のハンドと、複数のハンドを水平方向に直線的に移動させるためのリニア駆動機構と、ハンドの傾きを補正するための傾き補正機構とを備え、リニア駆動機構は、傾き補正機構に搭載され、傾き補正機構は、上下方向に対して傾いた所定の第１方向を回動の軸方向としてハンドを回動させる第１傾き補正機構と、上下方向に対して傾くとともに第１方向に対して傾いた第２方向を回動の軸方向としてハンドを回動させる第２傾き補正機構とを備えるとともに、リニア駆動機構を傾けることで複数のハンドの傾きを補正することを特徴とする。 In order to solve the above problems, the industrial robot of the present invention comprises a plurality of hands on which objects to be transported are mounted, a linear drive mechanism for moving the plurality of hands linearly in a horizontal direction, and a tilt correction mechanism for correcting the tilt of the hands, wherein the linear drive mechanism is mounted on the tilt correction mechanism, and the tilt correction mechanism comprises a first tilt correction mechanism that rotates the hands around a predetermined first direction tilted with respect to the vertical direction as the axial direction of the rotation, and a second tilt correction mechanism that rotates the hands around a second direction tilted with respect to the vertical direction and also tilted with respect to the first direction as the axial direction of the rotation, and is characterized in that the tilt of the plurality of hands is corrected by tilting the linear drive mechanism .

本発明の産業用ロボットでは、ハンドの傾きを補正するための傾き補正機構は、上下方向に対して傾いた所定の第１方向を回動の軸方向としてハンドを回動させる第１傾き補正機構と、上下方向に対して傾くとともに第１方向に対して傾いた第２方向を回動の軸方向としてハンドを回動させる第２傾き補正機構とを備えている。そのため、本発明では、第１傾き補正機構と第２傾き補正機構とを用いて、搬送対象物の受渡しが行われる受渡し部における搬送対象物の搭載面と、ハンドの、搬送対象物の搭載面とが平行に近づくように、受渡し部の搭載面に対するハンドの搭載面の傾きを補正することが可能になる。したがって、本発明では、受渡し部と産業用ロボットとの間で受渡しが行われる搬送対象物の、受渡し時の衝撃を抑制することが可能になる。 In the industrial robot of the present invention, the tilt correction mechanism for correcting the tilt of the hand includes a first tilt correction mechanism that rotates the hand around a predetermined first direction tilted with respect to the vertical direction as the axis of rotation, and a second tilt correction mechanism that rotates the hand around a second direction tilted with respect to the vertical direction and also tilted with respect to the first direction as the axis of rotation. Therefore, in the present invention, by using the first tilt correction mechanism and the second tilt correction mechanism, it is possible to correct the tilt of the mounting surface of the hand relative to the mounting surface of the transfer section so that the mounting surface of the transport object in the transfer section where the transport object is transferred and the mounting surface of the transport object of the hand become closer to parallel. Therefore, in the present invention, it is possible to suppress the impact of the transport object being transferred between the transfer section and the industrial robot during transfer.

本発明において、たとえば、第１傾き補正機構は、ハンドと一緒に第１方向を回動の軸方向として第２傾き補正機構を回動させる。また、本発明において、たとえば、第１方向は、上下方向に直交する方向であり、第２方向は、第１方向に直交する方向である。 In the present invention, for example, the first tilt correction mechanism rotates the second tilt correction mechanism together with the hand with the first direction as the axis of rotation. Also, in the present invention, for example, the first direction is a direction perpendicular to the up-down direction, and the second direction is a direction perpendicular to the first direction.

本発明において、第１傾き補正機構と第２傾き補正機構とが上下方向において略同じ位置に配置されていることが好ましい。このように構成すると、傾き補正機構を上下方向で小型化することが可能になる。すなわち、傾き補正機構を薄型化することが可能になる。 In the present invention, it is preferable that the first tilt correction mechanism and the second tilt correction mechanism are disposed at substantially the same position in the vertical direction . With this configuration, it is possible to reduce the size of the tilt correction mechanism in the vertical direction. In other words, it is possible to reduce the thickness of the tilt correction mechanism.

本発明において、産業用ロボットは、搬送対象物の受渡しを行う受渡し位置にハンドを移動させる移動機構と、産業用ロボットを制御する制御部とを備え、制御部は、傾き補正機構による補正動作が行われても、受渡し位置に配置されたハンドに搭載される搬送対象物の中心の上下方向および水平方向の位置が一定となるように、移動機構を制御することが好ましい。このように構成すると、傾き補正機構による補正動作が行われても、受渡し部に対してハンドをより適切な位置に移動させることが可能になる。したがって、搬送対象物の受渡し時に傾き補正機構による補正動作が行われても、ハンドに搭載される搬送対象物と受渡し部の干渉、および、受渡し部に配置される搬送対象物とハンドとの干渉を防止することが可能になる。 In the present invention, the industrial robot includes a movement mechanism that moves the hand to a transfer position where the transport object is transferred, and a control unit that controls the industrial robot, and it is preferable that the control unit controls the movement mechanism so that the vertical and horizontal positions of the center of the transport object carried by the hand placed at the transfer position remain constant even if a correction operation is performed by the tilt correction mechanism. With this configuration, it is possible to move the hand to a more appropriate position relative to the transfer section, even if a correction operation is performed by the tilt correction mechanism. Therefore, even if a correction operation is performed by the tilt correction mechanism when the transport object is transferred, it is possible to prevent interference between the transport object carried by the hand and the transfer section, and between the transport object placed at the transfer section and the hand.

以上のように、本発明の産業用ロボットでは、搬送対象物の受渡し時の衝撃を抑制することが可能になる。 As described above, the industrial robot of the present invention makes it possible to suppress impacts when transferring objects.

本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの斜視図である。1 is a perspective view of an industrial robot according to an embodiment of the present invention; 図１に示す搭載機構、リニア駆動機構および傾き補正機構等の斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of a mounting mechanism, a linear driving mechanism, a tilt correction mechanism, and the like shown in FIG. 1 . 図２に示す搭載機構、リニア駆動機構および傾き補正機構等を異なる方向から示す斜視図である。3 is a perspective view showing the mounting mechanism, the linear drive mechanism, the tilt correction mechanism, etc. shown in FIG. 2 from a different direction. 図１に示す産業用ロボットの構成を説明するためのブロック図である。FIG. 2 is a block diagram for explaining a configuration of the industrial robot shown in FIG. 1 . 図２に示す傾き補正機構の構成を説明するための平面図である。3 is a plan view for explaining the configuration of the tilt correction mechanism shown in FIG. 2. 図５のＥ－Ｅ方向から傾き補正機構の構成を説明するための側面図である。6 is a side view for explaining the configuration of the tilt correction mechanism from the E-E direction in FIG. 5. 図５のＦ－Ｆ方向から第１傾き補正機構の構成を説明するための正面図である。6 is a front view for explaining the configuration of the first tilt correction mechanism from the FF direction in FIG. 5.

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。 The following describes an embodiment of the present invention with reference to the drawings.

（産業用ロボットの全体構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の斜視図である。図２は、図１に示す搭載機構３、リニア駆動機構５～７および傾き補正機構８等の斜視図である。図３は、図２に示す搭載機構３、リニア駆動機構５～７および傾き補正機構８等を異なる方向から示す斜視図である。図４は、図１に示す産業用ロボット１の構成を説明するためのブロック図である。 (Overall configuration of industrial robots)
Fig. 1 is a perspective view of an industrial robot 1 according to an embodiment of the present invention. Fig. 2 is a perspective view of the mounting mechanism 3, linear drive mechanisms 5 to 7, tilt correction mechanism 8, etc. shown in Fig. 1. Fig. 3 is a perspective view showing the mounting mechanism 3, linear drive mechanisms 5 to 7, tilt correction mechanism 8, etc. shown in Fig. 2 from different directions. Fig. 4 is a block diagram for explaining the configuration of the industrial robot 1 shown in Fig. 1.

本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、搬送対象物である半導体ウエハ２（以下、「ウエハ２」とする。）を搬送するためのロボットである。ウエハ２は、薄い円板状に形成されている。ロボット１は、たとえば、複数のウエハ２が所定のピッチで積層されて収容されるカセット（図示省略）から複数のウエハ２を同時に搬出して、半導体製造システム（図示省略）を構成する所定の処理装置の中へカセットから搬出した複数のウエハ２を搬入する。また、ロボット１は、複数のウエハ２が所定のピッチで積層されて収容される処置装置から複数のウエハ２を同時に搬出して、搬出した複数のウエハ２をカセットの中へ搬入する。 The industrial robot 1 (hereinafter referred to as "robot 1") of this embodiment is a robot for transporting semiconductor wafers 2 (hereinafter referred to as "wafers 2"), which are objects to be transported. The wafers 2 are formed in a thin, circular plate shape. The robot 1, for example, simultaneously transports multiple wafers 2 from a cassette (not shown) in which multiple wafers 2 are stored stacked at a predetermined pitch, and transports the multiple wafers 2 transported from the cassette into a predetermined processing device that constitutes a semiconductor manufacturing system (not shown). The robot 1 also simultaneously transports multiple wafers 2 from a processing device in which multiple wafers 2 are stored stacked at a predetermined pitch, and transports the multiple wafers 2 transported into the cassette.

ロボット１は、複数のウエハ２が搭載される搭載機構３と、１枚のウエハ２が搭載されるハンド４と、搭載機構３を水平方向に直線的に移動させるためのリニア駆動機構５と、ハンド４を水平方向に直線的に移動させるためのリニア駆動機構６と、リニア駆動機構５、６を水平方向に直線的に移動させるためのリニア駆動機構７と、搭載機構３およびハンド４の傾きを補正するための傾き補正機構８と、傾き補正機構８を保持する本体部９と、本体部９を水平方向に移動可能に支持するベース部材１０とを備えている。また、ロボット１は、ロボット１を制御する制御部１１を備えている。 The robot 1 includes a mounting mechanism 3 on which multiple wafers 2 are mounted, a hand 4 on which one wafer 2 is mounted, a linear drive mechanism 5 for moving the mounting mechanism 3 linearly in the horizontal direction, a linear drive mechanism 6 for moving the hand 4 linearly in the horizontal direction, a linear drive mechanism 7 for moving the linear drive mechanisms 5, 6 linearly in the horizontal direction, a tilt correction mechanism 8 for correcting the tilt of the mounting mechanism 3 and the hand 4, a main body 9 that holds the tilt correction mechanism 8, and a base member 10 that supports the main body 9 so that it can move horizontally. The robot 1 also includes a control unit 11 that controls the robot 1.

搭載機構３は、ウエハ２が搭載される複数のハンド１４を備えている。本形態の搭載機構３は、１１個のハンド１４を備えている。１個のハンド１４には、１枚のウエハ２が搭載される。ハンド１４の上面は、ウエハ２が搭載される搭載面となっている。具体的には、ハンド１４は、ウエハ２が搭載される４個のパッドをハンド１４の上面側に備えており、ウエハ２の下面が接触する４個のパッドの上面によってウエハ２の搭載面が構成されている。ウエハ２は、４個のパッドによって位置決めされた状態でハンド１４の搭載面に搭載される。なお、搭載機構３が備えるハンド１４の数は、１０個以下であっても良いし、１２個以上であっても良い。 The mounting mechanism 3 includes a plurality of hands 14 on which the wafers 2 are mounted. The mounting mechanism 3 in this embodiment includes eleven hands 14. One wafer 2 is mounted on each hand 14. The upper surface of the hand 14 serves as the mounting surface on which the wafer 2 is mounted. Specifically, the hand 14 includes four pads on the upper surface of the hand 14 on which the wafer 2 is mounted, and the mounting surface for the wafer 2 is formed by the upper surfaces of the four pads with which the lower surface of the wafer 2 comes into contact. The wafer 2 is mounted on the mounting surface of the hand 14 while being positioned by the four pads. The number of hands 14 included in the mounting mechanism 3 may be ten or less, or twelve or more.

１１個のハンド１４は、上下方向において所定のピッチで重なっている。１１個のハンド１４は、同じ方向を向いている。ハンド４は、ハンド１４とほぼ同形状に形成されている。ハンド１４と同様に、ハンド４の上面も、ウエハ２が搭載される搭載面となっている。ハンド４は、１１個のハンド１４よりも上側に配置されている。ハンド４は、ハンド１４と同じ方向を向いている。ウエハ２は、４個のパッドによって位置決めされた状態でハンド４の搭載面に搭載される。 The eleven hands 14 are stacked at a predetermined pitch in the vertical direction. The eleven hands 14 face the same direction. Hand 4 is formed in approximately the same shape as hand 14. Like hand 14, the upper surface of hand 4 also serves as a mounting surface on which wafer 2 is mounted. Hand 4 is positioned above the eleven hands 14. Hand 4 faces the same direction as hand 14. The wafer 2 is mounted on the mounting surface of hand 4 while being positioned by the four pads.

リニア駆動機構５は、搭載機構３を直線的に往復移動させる。すなわち、リニア駆動機構５は、１１個のハンド１４を直線的に往復移動させる。リニア駆動機構５は、ハンド１４よりも下側に配置されている。リニア駆動機構５は、駆動源として、モータ１８を備えている。モータ１８は、制御部１１に電気的に接続されている。また、リニア駆動機構５は、たとえば、ボールネジ（図示省略）を備えている。ボールネジは、モータ１８に連結されるネジ軸と、ネジ軸に係合するナットとを備えている。ネジ軸は、リニア駆動機構５のフレームに回転可能に取り付けられている。ナットは、搭載機構３に固定される移動部材に固定されている。また、リニア駆動機構５は、たとえば、移動部材と一緒に搭載機構３を案内するガイド機構を備えている。 The linear drive mechanism 5 moves the mounting mechanism 3 back and forth in a straight line. That is, the linear drive mechanism 5 moves the eleven hands 14 back and forth in a straight line. The linear drive mechanism 5 is disposed below the hands 14. The linear drive mechanism 5 includes a motor 18 as a drive source. The motor 18 is electrically connected to the control unit 11. The linear drive mechanism 5 also includes, for example, a ball screw (not shown). The ball screw includes a screw shaft connected to the motor 18 and a nut engaged with the screw shaft. The screw shaft is rotatably attached to the frame of the linear drive mechanism 5. The nut is fixed to a moving member fixed to the mounting mechanism 3. The linear drive mechanism 5 also includes, for example, a guide mechanism that guides the mounting mechanism 3 together with the moving member.

リニア駆動機構６は、リニア駆動機構５によって移動するハンド１４の往復移動方向と同方向へハンド４を直線的に往復移動させる。リニア駆動機構６は、ハンド１４よりも下側に配置されている。リニア駆動機構６は、リニア駆動機構５と同様に、駆動源として、モータ１９を備えている。モータ１９は、制御部１１に電気的に接続されている。また、リニア駆動機構６は、ボールネジ（図示省略）を備えている。ボールネジは、モータ１９に連結されるネジ軸と、ネジ軸に係合するナットとを備えている。ネジ軸は、リニア駆動機構６のフレームに回転可能に取り付けられている。ナットは、ハンド４に固定される移動部材に固定されている。また、リニア駆動機構６は、たとえば、移動部材と一緒にハンド４を案内するガイド機構を備えている。 The linear drive mechanism 6 linearly reciprocates the hand 4 in the same direction as the reciprocating movement of the hand 14 moved by the linear drive mechanism 5. The linear drive mechanism 6 is disposed below the hand 14. Like the linear drive mechanism 5, the linear drive mechanism 6 includes a motor 19 as a drive source. The motor 19 is electrically connected to the control unit 11. The linear drive mechanism 6 also includes a ball screw (not shown). The ball screw includes a screw shaft connected to the motor 19 and a nut that engages with the screw shaft. The screw shaft is rotatably attached to the frame of the linear drive mechanism 6. The nut is fixed to a moving member that is fixed to the hand 4. The linear drive mechanism 6 also includes, for example, a guide mechanism that guides the hand 4 together with the moving member.

リニア駆動機構７は、リニア駆動機構５、６によって移動するハンド４、１４の往復移動方向と同方向へリニア駆動機構５、６を直線的に往復移動させる。すなわち、リニア駆動機構７は、リニア駆動機構５、６によって移動するハンド４、１４の往復移動方向と同方向へ、ハンド１４をリニア駆動機構５と一緒にさらに往復移動させるとともに、ハンド４をリニア駆動機構６と一緒にさらに往復移動させる。リニア駆動機構７は、リニア駆動機構５、６の下側に配置されている。リニア駆動機構７は、駆動源として、２個のモータ２０、２１を備えている。モータ２０、２１は、制御部１１に電気的に接続されている。 The linear drive mechanism 7 linearly reciprocates the linear drive mechanisms 5 and 6 in the same direction as the reciprocating movement of the hands 4 and 14 moved by the linear drive mechanisms 5 and 6. That is, the linear drive mechanism 7 further reciprocates the hand 14 together with the linear drive mechanism 5 in the same direction as the reciprocating movement of the hands 4 and 14 moved by the linear drive mechanisms 5 and 6, and further reciprocates the hand 4 together with the linear drive mechanism 6. The linear drive mechanism 7 is disposed below the linear drive mechanisms 5 and 6. The linear drive mechanism 7 has two motors 20 and 21 as drive sources. The motors 20 and 21 are electrically connected to the control unit 11.

また、リニア駆動機構７は、たとえば、２本のボールネジ（図示省略）を備えている。２本のうちの一方のボールネジは、モータに２０に連結されるネジ軸と、ネジ軸に係合するナットとを備えている。ネジ軸は、リニア駆動機構７のフレームに回転可能に取り付けられている。ナットは、リニア駆動機構５のフレームが固定される移動部材に固定されている。また、２本のうちの他方のボールネジは、モータ２１に連結されるネジ軸と、ネジ軸に係合するナットとを備えている。ネジ軸は、リニア駆動機構７のフレームに回転可能に取り付けられている。ナットは、リニア駆動機構６のフレームが固定される移動部材に固定されている。また、リニア駆動機構７は、たとえば、２個の移動部材を案内するガイド機構を備えている。 The linear drive mechanism 7 also includes, for example, two ball screws (not shown). One of the two ball screws includes a screw shaft connected to the motor 20 and a nut that engages with the screw shaft. The screw shaft is rotatably attached to the frame of the linear drive mechanism 7. The nut is fixed to a moving member to which the frame of the linear drive mechanism 5 is fixed. The other of the two ball screws includes a screw shaft connected to the motor 21 and a nut that engages with the screw shaft. The screw shaft is rotatably attached to the frame of the linear drive mechanism 7. The nut is fixed to a moving member to which the frame of the linear drive mechanism 6 is fixed. The linear drive mechanism 7 also includes, for example, a guide mechanism that guides the two moving members.

なお、本形態では、２個のモータ１８、２０を用いてハンド１４を往復移動させているが、１個のモータを用いてハンド１４を往復移動させても良い。同様に、本形態では、２個のモータ１９、２１を用いてハンド４を往復移動させているが、１個のモータを用いてハンド４を往復移動させても良い。また、本形態では、リニア駆動機構５を往復移動させるためのモータ２０と、リニア駆動機構６を往復移動させるためのモータ２１とが個別に設けられているが、共通のモータを用いて、リニア駆動機構５、６を往復移動させても良い。また、リニア駆動機構５～７は、ボールネジに代えて、ベルトおよびプーリ等を備えていても良い。 In this embodiment, the hand 14 is reciprocated using two motors 18 and 20, but it may be reciprocated using a single motor. Similarly, in this embodiment, the hand 4 is reciprocated using two motors 19 and 21, but it may be reciprocated using a single motor. In this embodiment, the motor 20 for reciprocating the linear drive mechanism 5 and the motor 21 for reciprocating the linear drive mechanism 6 are provided separately, but it may be reciprocated using a common motor. In addition, the linear drive mechanisms 5 to 7 may be provided with belts and pulleys instead of ball screws.

傾き補正機構８は、リニア駆動機構７の下側に配置されている。リニア駆動機構７は、傾き補正機構８に搭載されている。傾き補正機構８は、リニア駆動機構７を傾けることで、ウエハ２が搭載されるハンド４、１４の傾きを補正する。傾き補正機構８の具体的な構成については後述する。 The tilt correction mechanism 8 is disposed below the linear drive mechanism 7. The linear drive mechanism 7 is mounted on the tilt correction mechanism 8. The tilt correction mechanism 8 corrects the tilt of the hands 4, 14 on which the wafer 2 is mounted by tilting the linear drive mechanism 7. The specific configuration of the tilt correction mechanism 8 will be described later.

本体部９は、傾き補正機構８を昇降可能に保持する柱状フレーム３１を備えている。柱状フレーム３１は、上下方向に細長い柱状に形成されている。また、本体部９は、本体部９の下端部を構成するとともにベース部材１０に対して水平移動可能な基台３２と、柱状フレーム３１の下端が固定されるとともに基台３２に対して回動可能な回動ベース３３とを備えている。 The main body 9 includes a columnar frame 31 that holds the tilt correction mechanism 8 so that it can be raised and lowered. The columnar frame 31 is formed in a columnar shape that is elongated in the vertical direction. The main body 9 also includes a base 32 that constitutes the lower end of the main body 9 and is horizontally movable relative to the base member 10, and a rotating base 33 to which the lower end of the columnar frame 31 is fixed and is rotatable relative to the base 32.

ロボット１は、柱状フレーム３１に対して傾き補正機構８を昇降させる昇降機構３５と、上下方向を回動の軸方向として基台３２に対して回動ベース３３を回動させる回動機構３６と、ベース部材１０に対して基台３２を水平移動させる水平移動機構３７とを備えている。昇降機構３５は、駆動源として、モータ３８を備えている。回動機構３６は、駆動源として、モータ３９を備え、水平移動機構３７は、駆動源として、モータ４０を備えている。モータ３８～４０は、制御部１１に電気的に接続されている。 The robot 1 is equipped with a lifting mechanism 35 that raises and lowers the tilt correction mechanism 8 relative to the columnar frame 31, a rotation mechanism 36 that rotates the rotation base 33 relative to the base 32 with the vertical direction as the axis of rotation, and a horizontal movement mechanism 37 that moves the base 32 horizontally relative to the base member 10. The lifting mechanism 35 is equipped with a motor 38 as a drive source. The rotation mechanism 36 is equipped with a motor 39 as a drive source, and the horizontal movement mechanism 37 is equipped with a motor 40 as a drive source. The motors 38 to 40 are electrically connected to the control unit 11.

本形態では、リニア駆動機構５～７と昇降機構３５と回動機構３６と水平移動機構３７とによって、ウエハ２の受渡しを行う受渡し位置（具体的には、カセットにおいてウエハ２の受渡しを行う受渡し位置、および、処理装置においてウエハ２の受渡しを行う受渡し位置）にハンド４、１４を移動させる移動機構４１が構成されている。 In this embodiment, the linear drive mechanisms 5-7, the lifting mechanism 35, the rotation mechanism 36, and the horizontal movement mechanism 37 constitute a movement mechanism 41 that moves the hands 4, 14 to the transfer positions where the wafer 2 is transferred (specifically, the transfer positions where the wafer 2 is transferred in the cassette, and the transfer positions where the wafer 2 is transferred in the processing device).

（傾き補正機構の構成）
図５は、図２に示す傾き補正機構８の構成を説明するための平面図である。図６は、図５のＥ－Ｅ方向から傾き補正機構８の構成を説明するための側面図である。図７は、図５のＦ－Ｆ方向から第１傾き補正機構４５の構成を説明するための正面図である。 (Configuration of Tilt Correction Mechanism)
Fig. 5 is a plan view for explaining the configuration of the tilt correction mechanism 8 shown in Fig. 2. Fig. 6 is a side view for explaining the configuration of the tilt correction mechanism 8 from the E-E direction in Fig. 5. Fig. 7 is a front view for explaining the configuration of the first tilt correction mechanism 45 from the F-F direction in Fig. 5.

傾き補正機構８は、上下方向に対して傾いた所定の第１方向を回動の軸方向として、リニア駆動機構７等と一緒にハンド４、１４を回動させる第１傾き補正機構４５と、上下方向に対して傾くとともに第１方向に対して傾いた第２方向を回動の軸方向として、リニア駆動機構７等と一緒にハンド４、１４を回動させる第２傾き補正機構４６とを備えている。本形態では、第１傾き補正機構４５は、ハンド４、１４と一緒に第１方向を回動の軸方向として第２傾き補正機構４６を回動させる。 The tilt correction mechanism 8 includes a first tilt correction mechanism 45 that rotates the hands 4, 14 together with the linear drive mechanism 7, etc., with a predetermined first direction that is tilted with respect to the vertical direction as the axial direction of the rotation, and a second tilt correction mechanism 46 that rotates the hands 4, 14 together with the linear drive mechanism 7, etc., with a second direction that is tilted with respect to the vertical direction and also with respect to the first direction as the axial direction of the rotation. In this embodiment, the first tilt correction mechanism 45 rotates the second tilt correction mechanism 46 together with the hands 4, 14, with the first direction as the axial direction of the rotation.

本形態の第１方向は、上下方向に直交する方向である。第１方向は、ハンド４、１４の往復移動方向と略一致している。第２方向は、第１方向に直交する方向である。本形態では、第２傾き補正機構４６による補正動作が行われていないとき、第１方向は、ハンド４、１４の往復移動方向と一致している。以下の説明では、第１方向（図５等のＸ方向）を「前後方向」とし、上下方向と前後方向とに直交する図５等のＹ方向を「左右方向」とする。また、以下では、説明の便宜上、前後方向の一方側である図５等のＸ１方向側を「前」側とし、その反対側である図５等のＸ２方向側を「後ろ」側とする。本形態では、前側は、ハンド４、１４の先端側であり、後ろ側は、ハンド４、１４の基端側である。 The first direction in this embodiment is a direction perpendicular to the up-down direction. The first direction is approximately the same as the reciprocating direction of the hands 4 and 14. The second direction is a direction perpendicular to the first direction. In this embodiment, when the correction operation by the second tilt correction mechanism 46 is not performed, the first direction is the same as the reciprocating direction of the hands 4 and 14. In the following description, the first direction (X direction in FIG. 5, etc.) is the "front-rear direction", and the Y direction in FIG. 5, etc., which is perpendicular to the up-down direction and the front-rear direction, is the "left-right direction". In addition, for convenience of description, the X1 direction side in FIG. 5, etc., which is one side of the front-rear direction, is the "front" side, and the X2 direction side in FIG. 5, etc., which is the opposite side, is the "rear" side. In this embodiment, the front side is the tip side of the hands 4 and 14, and the rear side is the base end side of the hands 4 and 14.

第１傾き補正機構４５は、第１傾き補正機構４５と第２傾き補正機構４６との連結部に形成される支点部４８を回動中心にして第２傾き補正機構４６と一緒にハンド４、１４を回動させる。第１傾き補正機構４５は、駆動源としてのモータ４９と、プーリおよびベルト等を介してモータ４９に連結される減速機５０と、モータ４９および減速機５０が取り付けられるベース部材５１と、減速機５０の出力軸に取り付けられる偏心軸（クランク軸）５２と、偏心軸５２に下端部が回動可能に連結されるリンク部材５３と、リンク部材５３の上端部が回動可能に連結される２個の固定部材５４とを備えている。なお、図２、図３では、第１傾き補正機構４５は、カバー部材に覆われている。 The first tilt correction mechanism 45 rotates the hand 4, 14 together with the second tilt correction mechanism 46 around a fulcrum 48 formed at the connection between the first tilt correction mechanism 45 and the second tilt correction mechanism 46. The first tilt correction mechanism 45 includes a motor 49 as a drive source, a reducer 50 connected to the motor 49 via a pulley and a belt, a base member 51 to which the motor 49 and the reducer 50 are attached, an eccentric shaft (crank shaft) 52 attached to the output shaft of the reducer 50, a link member 53 whose lower end is rotatably connected to the eccentric shaft 52, and two fixed members 54 whose upper ends are rotatably connected to the link member 53. In FIG. 2 and FIG. 3, the first tilt correction mechanism 45 is covered by a cover member.

第２傾き補正機構４６は、第２傾き補正機構４６とリニア駆動機構７との連結部に形成される支点部５８を回動中心にしてハンド４、１４を回動させる。第２傾き補正機構４６は、駆動源としてのモータ５９と、プーリおよびベルト等を介してモータ５９に連結される減速機６０と、モータ５９および減速機６０が取り付けられるベース部材６１と、減速機６０の出力軸に取り付けられる偏心軸（クランク軸）６２と、偏心軸６２に下端部が回動可能に連結されるリンク部材６３と、リンク部材６３の上端部が回動可能に連結される２個の固定部材６４とを備えている。なお、図２、図３では、第２傾き補正機構４６は、カバー部材に覆われている。 The second tilt correction mechanism 46 rotates the hands 4 and 14 around a fulcrum 58 formed at the connection between the second tilt correction mechanism 46 and the linear drive mechanism 7. The second tilt correction mechanism 46 includes a motor 59 as a drive source, a reducer 60 connected to the motor 59 via a pulley and a belt, a base member 61 to which the motor 59 and the reducer 60 are attached, an eccentric shaft (crank shaft) 62 attached to the output shaft of the reducer 60, a link member 63 whose lower end is rotatably connected to the eccentric shaft 62, and two fixed members 64 whose upper ends are rotatably connected to the link member 63. In FIG. 2 and FIG. 3, the second tilt correction mechanism 46 is covered by a cover member.

ベース部材５１は、たとえば、平板状に形成されており、ベース部材５１の厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されている。ベース部材５１は、モータ４９および減速機５０が固定される長方形状の固定部５１ａと、固定部５１ａから後ろ側に向かって突出する長方形状の２個の突出部５１ｂとから構成されている。突出部５１ｂは、固定部５１ａの左右方向の両端部の後端に繋がっている。突出部５１ｂは、柱状フレーム３１に昇降可能に保持される保持部材６６に固定されている。具体的には、右側に配置される突出部５１ｂの右端面が保持部材６６の左端面に固定され、左側に配置される突出部５１ｂの左端面が保持部材６６の右端面に固定されている。２個の保持部材６６は、左右方向においてベース部材５１の外側に配置されている。 The base member 51 is formed, for example, in a flat plate shape, and is arranged so that the thickness direction of the base member 51 coincides with the up-down direction. The base member 51 is composed of a rectangular fixed portion 51a to which the motor 49 and the reducer 50 are fixed, and two rectangular protruding portions 51b protruding rearward from the fixed portion 51a. The protruding portions 51b are connected to the rear ends of both ends of the fixed portion 51a in the left-right direction. The protruding portions 51b are fixed to a holding member 66 that is held on the columnar frame 31 so that it can be raised and lowered. Specifically, the right end face of the protruding portion 51b arranged on the right side is fixed to the left end face of the holding member 66, and the left end face of the protruding portion 51b arranged on the left side is fixed to the right end face of the holding member 66. The two holding members 66 are arranged outside the base member 51 in the left-right direction.

ベース部材６１は、たとえば、ベース部材６１の前側部分を構成する平板状かつ長方形状のベース前端部６１ａと、ベース部材６１の後ろ側部分を構成する平板状かつ長方形状のベース後端部６１ｂと、前後方向においてベース前端部６１ａとベース後端部６１ｂとの間に配置される平板状かつ長方形状のベース中間部６１ｃとを備えている。ベース前端部６１ａ、ベース後端部６１ｂおよびベース中間部６１ｃは、その厚さ方向と上下方向とが略一致するように配置されている。ベース部材６１の左右方向の幅は、一定になっている。 The base member 61 includes, for example, a flat, rectangular base front end 61a constituting the front portion of the base member 61, a flat, rectangular base rear end 61b constituting the rear portion of the base member 61, and a flat, rectangular base intermediate portion 61c disposed between the base front end 61a and the base rear end 61b in the front-to-rear direction. The base front end 61a, base rear end 61b, and base intermediate portion 61c are disposed so that their thickness direction and the up-down direction are approximately the same. The width of the base member 61 in the left-to-right direction is constant.

ベース前端部６１ａとベース後端部６１ｂは、同じ高さで配置されている。ベース中間部６１ｃは、ベース前端部６１ａおよびベース後端部６１ｂよりも上側に配置されている。また、ベース中間部６１ｃは、リニア駆動機構７のフレームの底面よりも下側に配置されている。ベース前端部６１ａの後端とベース中間部６１ｃの前端とは、長方形の平板状に形成される接続部を介して繋がっている。ベース後端部６１ｂの前端とベース中間部６１ｃの後端とは、長方形の平板状に形成される接続部を介して繋がっている。２個の接続部は、接続部の厚さ方向と前後方向とが一致するように配置されている。 The base front end 61a and the base rear end 61b are disposed at the same height. The base intermediate portion 61c is disposed above the base front end 61a and the base rear end 61b. The base intermediate portion 61c is disposed below the bottom surface of the frame of the linear drive mechanism 7. The rear end of the base front end 61a and the front end of the base intermediate portion 61c are connected via a connecting portion formed in a rectangular flat plate shape. The front end of the base rear end 61b and the rear end of the base intermediate portion 61c are connected via a connecting portion formed in a rectangular flat plate shape. The two connecting portions are disposed so that the thickness direction of the connecting portions coincides with the front-to-rear direction.

ベース前端部６１ａおよびベース後端部６１ｂは、ベース部材５１の固定部５１ａと略同じ高さで配置されている。固定部５１ａは、前後方向においてベース前端部６１ａとベース後端部６１ｂとの間に配置されている。ベース後端部６１ｂは、左右方向において２個の突出部５１ｂの間に配置されている。ベース中間部６１ｃは、固定部５１ａの上側に配置されている。 The base front end 61a and the base rear end 61b are positioned at approximately the same height as the fixed portion 51a of the base member 51. The fixed portion 51a is positioned between the base front end 61a and the base rear end 61b in the front-rear direction. The base rear end 61b is positioned between the two protruding portions 51b in the left-right direction. The base middle portion 61c is positioned above the fixed portion 51a.

支点部４８は、ベース中間部６１ｃの下面に固定される２個の軸支持部材６７と、軸支持部材６７に支持される支点軸６８と、固定部５１ａの上面に固定される支点ブロック６９とから構成されている。支点軸６８は、支点軸６８の軸方向と前後方向とが一致するように配置されている。２個の軸支持部材６７は、前後方向に間隔をあけた状態で配置されており、支点軸６８の両端部を支持している。 The fulcrum section 48 is composed of two shaft support members 67 fixed to the underside of the base intermediate section 61c, a fulcrum shaft 68 supported by the shaft support members 67, and a fulcrum block 69 fixed to the upper surface of the fixed section 51a. The fulcrum shaft 68 is arranged so that its axial direction coincides with the front-to-rear direction. The two shaft support members 67 are arranged with a gap between them in the front-to-rear direction, and support both ends of the fulcrum shaft 68.

支点ブロック６９は、固定部５１ａの上面の左右方向の中心位置に固定されている。支点ブロック６９は、前後方向において２個の軸支持部材６７の間に配置されている。支点ブロック６９には、支点軸６８が挿通される貫通穴が形成されており、支点軸６８は、支点ブロック６９に対して回動可能になっている。 The fulcrum block 69 is fixed to the center of the upper surface of the fixed portion 51a in the left-right direction. The fulcrum block 69 is disposed between the two shaft support members 67 in the front-rear direction. A through hole is formed in the fulcrum block 69, through which the fulcrum shaft 68 is inserted, and the fulcrum shaft 68 is rotatable relative to the fulcrum block 69.

本形態では、ハンド４、１４の上面に形成されるウエハ２の搭載面が上下方向に直交している場合（すなわち、水平方向に対して傾いていない場合）、設計上、ハンド４に搭載されるウエハ２の中心とハンド１４に搭載されるウエハ２の中心とが前後左右方向において同じ位置に配置されている。また、ハンド４、１４の上面に形成されるウエハ２の搭載面が上下方向に直交している場合、設計上、ハンド４、１４に搭載されるウエハ２の中心と支点軸６８の軸心とが左右方向において同じ位置に配置されている。 In this embodiment, when the mounting surface of the wafer 2 formed on the upper surface of the hands 4 and 14 is perpendicular to the vertical direction (i.e., not tilted relative to the horizontal direction), the center of the wafer 2 mounted on the hand 4 and the center of the wafer 2 mounted on the hand 14 are designed to be located at the same position in the front-back and left-right directions. Also, when the mounting surface of the wafer 2 formed on the upper surface of the hands 4 and 14 is perpendicular to the vertical direction, the center of the wafer 2 mounted on the hands 4 and 14 and the axis of the fulcrum shaft 68 are designed to be located at the same position in the left-right direction.

モータ４９および減速機５０は、固定部５１ａの上面に固定されている。モータ４９と減速機５０とは、左右方向において間隔をあけた状態で配置されている。左右方向におけるモータ４９と減速機５０との間には、支点部４８が配置されている。本形態では、支点軸６８の軸心と、モータ４９の出力軸の軸心と、減速機５０の入力軸の軸心と、減速機５０の出力軸の軸心とが同じ高さで配置されている。 The motor 49 and the reducer 50 are fixed to the upper surface of the fixed portion 51a. The motor 49 and the reducer 50 are arranged with a gap between them in the left-right direction. The fulcrum portion 48 is arranged between the motor 49 and the reducer 50 in the left-right direction. In this embodiment, the axis of the fulcrum shaft 68, the axis of the output shaft of the motor 49, the axis of the input shaft of the reducer 50, and the axis of the output shaft of the reducer 50 are arranged at the same height.

偏心軸５２は、偏心軸５２の軸方向と前後方向とが一致するように配置されている。偏心軸５２の前端部は、減速機５０の出力軸に連結されており、偏心軸５２は、減速機５０から後ろ側に向かって突出している。偏心軸５２の後端部は、固定部５１ａの上面に固定される軸受７０に回動可能に支持されている。前後方向における偏心軸５２の中間部分は、偏心軸５２の回動中心から所定距離だけずれた位置を軸心とする円柱状の偏心部５２ａ（図７参照）となっている。偏心部５２ａは、リンク部材５３の下端部に形成される貫通穴に挿通されている。リンク部材５３は、偏心部５２ａに対して回動可能となっている。 The eccentric shaft 52 is arranged so that its axial direction coincides with the front-rear direction. The front end of the eccentric shaft 52 is connected to the output shaft of the reducer 50, and the eccentric shaft 52 protrudes rearward from the reducer 50. The rear end of the eccentric shaft 52 is rotatably supported by a bearing 70 fixed to the upper surface of the fixed part 51a. The middle part of the eccentric shaft 52 in the front-rear direction is a cylindrical eccentric part 52a (see FIG. 7) whose axis is located at a position shifted a predetermined distance from the rotation center of the eccentric shaft 52. The eccentric part 52a is inserted into a through hole formed in the lower end of the link member 53. The link member 53 is rotatable with respect to the eccentric part 52a.

２個の固定部材５４は、ベース中間部６１ｃの下面に固定されている。２個の固定部材５４は、前後方向において間隔をあけた状態で配置されている。前後方向における２個の固定部材５４の間には、リンク部材５３の上端部が配置されている。２個の固定部材５４は、支持軸７１（図７参照）の両端部を支持している。支持軸７１は、支持軸７１の軸方向と前後方向とが一致するように配置されている。また、支持軸７１は、偏心軸５２よりも上側に配置されている。リンク部材５３の上端部には、支持軸７１が挿通される貫通穴が形成されている。リンク部材５３は、支持軸７１に対して回動可能となっている。 The two fixing members 54 are fixed to the underside of the base intermediate portion 61c. The two fixing members 54 are arranged with a gap between them in the front-rear direction. The upper end of the link member 53 is arranged between the two fixing members 54 in the front-rear direction. The two fixing members 54 support both ends of the support shaft 71 (see FIG. 7). The support shaft 71 is arranged so that its axial direction coincides with the front-rear direction. The support shaft 71 is also arranged above the eccentric shaft 52. A through hole through which the support shaft 71 is inserted is formed in the upper end of the link member 53. The link member 53 is rotatable with respect to the support shaft 71.

支点部５８は、リニア駆動機構７のフレームの底面に固定される２個の軸支持部材７２と、軸支持部材７２に支持される支点軸７３と、ベース前端部６１ａの上面に固定される支点ブロック７４とから構成されている。支点軸７３は、支点軸７３の軸方向と左右方向とが一致するように配置されている。２個の軸支持部材７２は、左右方向に間隔をあけた状態で配置されており、支点軸７３の両端部を支持している。 The fulcrum section 58 is composed of two shaft support members 72 fixed to the bottom surface of the frame of the linear drive mechanism 7, a fulcrum shaft 73 supported by the shaft support members 72, and a fulcrum block 74 fixed to the top surface of the front end portion 61a of the base. The fulcrum shaft 73 is arranged so that its axial direction coincides with the left-right direction. The two shaft support members 72 are arranged with a gap between them in the left-right direction, and support both ends of the fulcrum shaft 73.

支点ブロック７４は、左右方向において２個の軸支持部材７２の間に配置されている。支点ブロック７４には、支点軸７３が挿通される貫通穴が形成されており、支点軸７３は、支点ブロック７４に対して回動可能になっている。モータ５９および減速機６０は、ベース後端部６１ｂの上面に固定されている。本形態では、支点軸７３の軸心と、モータ５９の出力軸の軸心と、減速機６０の入力軸の軸心と、減速機６０の出力軸の軸心とが同じ高さで配置されている。 The fulcrum block 74 is disposed between the two shaft support members 72 in the left-right direction. A through hole is formed in the fulcrum block 74, through which the fulcrum shaft 73 is inserted, and the fulcrum shaft 73 is rotatable relative to the fulcrum block 74. The motor 59 and the reducer 60 are fixed to the upper surface of the rear end portion 61b of the base. In this embodiment, the axis of the fulcrum shaft 73, the axis of the output shaft of the motor 59, the axis of the input shaft of the reducer 60, and the axis of the output shaft of the reducer 60 are disposed at the same height.

また、本形態では、モータ４９の出力軸の軸心と、減速機５０の入力軸の軸心と、減速機５０の出力軸の軸心と、モータ５９の出力軸の軸心と、減速機６０の入力軸の軸心と、減速機６０の出力軸の軸心とが同じ高さで配置されている。すなわち、第１傾き補正機構４５と第２傾き補正機構４６とが略同じ高さで配置されている。 In addition, in this embodiment, the center of the output shaft of the motor 49, the center of the input shaft of the reducer 50, the center of the output shaft of the reducer 50, the center of the output shaft of the motor 59, the center of the input shaft of the reducer 60, and the center of the output shaft of the reducer 60 are arranged at the same height. In other words, the first tilt correction mechanism 45 and the second tilt correction mechanism 46 are arranged at approximately the same height.

偏心軸６２は、偏心軸６２の軸方向と左右方向とが一致するように配置されている。偏心軸６２の一端部は、減速機６０の出力軸に連結されている。偏心軸６２の他端部は、ベース後端部６１ｂの上面に固定される軸受７５に回動可能に支持されている。左右方向における偏心軸６２の中間部分は、偏心軸６２の回動中心から所定距離だけずれた位置を軸心とする円柱状の偏心部６２ａ（図６参照）となっている。偏心部６２ａは、リンク部材６３の下端部に形成される貫通穴に挿通されている。リンク部材６３は、偏心部６２ａに対して回動可能となっている。 The eccentric shaft 62 is arranged so that its axial direction coincides with the left-right direction. One end of the eccentric shaft 62 is connected to the output shaft of the reducer 60. The other end of the eccentric shaft 62 is rotatably supported by a bearing 75 fixed to the upper surface of the rear end 61b of the base. The middle part of the eccentric shaft 62 in the left-right direction is a cylindrical eccentric part 62a (see FIG. 6) whose axis is located at a position shifted a predetermined distance from the rotation center of the eccentric shaft 62. The eccentric part 62a is inserted into a through hole formed in the lower end of the link member 63. The link member 63 is rotatable with respect to the eccentric part 62a.

２個の固定部材６４は、リニア駆動機構７のフレームの底面に固定されている。２個の固定部材６４は、ベース中間部６１ｃよりも後ろ側に配置されている。２個の固定部材６４は、左右方向において間隔をあけた状態で配置されている。左右方向における２個の固定部材５４の間には、リンク部材６３の上端部が配置されている。２個の固定部材６４は、支持軸７６（図６参照）の両端部を支持している。支持軸７６は、支持軸７６の軸方向と左右方向とが一致するように配置されている。また、支持軸７６は、偏心軸６２よりも上側に配置されている。リンク部材６３の上端部には、支持軸７６が挿通される貫通穴が形成されている。リンク部材６３は、支持軸７６に対して回動可能となっている。 The two fixed members 64 are fixed to the bottom surface of the frame of the linear drive mechanism 7. The two fixed members 64 are arranged behind the base intermediate portion 61c. The two fixed members 64 are arranged with a gap between them in the left-right direction. The upper end of the link member 63 is arranged between the two fixed members 54 in the left-right direction. The two fixed members 64 support both ends of the support shaft 76 (see FIG. 6). The support shaft 76 is arranged so that the axial direction of the support shaft 76 coincides with the left-right direction. The support shaft 76 is also arranged above the eccentric shaft 62. A through hole through which the support shaft 76 is inserted is formed in the upper end of the link member 63. The link member 63 is rotatable with respect to the support shaft 76.

第１傾き補正機構４５では、モータ４９が回転すると、偏心軸５２が回動してリンク部材５３が上下動する。リンク部材５３が上下動すると、支点軸６８を回動中心にしてベース部材６１が回動する。すなわち、リンク部材５３が上下動すると、支点軸６８を回動中心にして第２傾き補正機構４６が回動して、リニア駆動機構７等と一緒にハンド４、１４が回動する。なお、支点軸６８を回動中心とするベース部材６１の回動角度（すなわち、支点軸６８を回動中心とするハンド４、１４の回動角度）は、たとえば、±１°である。 In the first tilt correction mechanism 45, when the motor 49 rotates, the eccentric shaft 52 rotates and the link member 53 moves up and down. When the link member 53 moves up and down, the base member 61 rotates around the fulcrum shaft 68 as the center of rotation. That is, when the link member 53 moves up and down, the second tilt correction mechanism 46 rotates around the fulcrum shaft 68 as the center of rotation, and the hands 4, 14 rotate together with the linear drive mechanism 7, etc. The rotation angle of the base member 61 around the fulcrum shaft 68 as the center of rotation (i.e., the rotation angle of the hands 4, 14 around the fulcrum shaft 68 as the center of rotation) is, for example, ±1°.

また、第２傾き補正機構４６では、モータ５９が回転すると、偏心軸６２が回動してリンク部材６３が上下動する。リンク部材６３が上下動すると、支点軸７３を回動中心にしてリニア駆動機構７のフレームが回動する。すなわち、リンク部材６３が上下動すると、支点軸７３を回動中心にしてリニア駆動機構７が回動して、リニア駆動機構７等と一緒にハンド４、１４が回動する。なお、支点軸７３を回動中心とするリニア駆動機構７のフレームの回動角度（すなわち、支点軸７３を回動中心とするハンド４、１４の回動角度）は、たとえば、±１°である。 In the second tilt correction mechanism 46, when the motor 59 rotates, the eccentric shaft 62 rotates and the link member 63 moves up and down. When the link member 63 moves up and down, the frame of the linear drive mechanism 7 rotates around the fulcrum shaft 73. That is, when the link member 63 moves up and down, the linear drive mechanism 7 rotates around the fulcrum shaft 73, and the hands 4 and 14 rotate together with the linear drive mechanism 7. The rotation angle of the frame of the linear drive mechanism 7 around the fulcrum shaft 73 (i.e., the rotation angle of the hands 4 and 14 around the fulcrum shaft 73) is, for example, ±1°.

（産業用ロボットの制御方法）
ロボット１では、ウエハ２の受渡しが行われるカセットにおけるウエハ２の搭載面および処理装置におけるウエハ２の搭載面と、ハンド４、１４の上面に形成されるウエハ２の搭載面とができるだけ平行に近づくように、制御部１１は、ウエハ２の受渡し時に、傾き補正機構８を制御して（具体的には、モータ４９、５９を制御して）、ハンド４、１４の傾きを補正する。傾き補正機構８によるハンド４、１４の傾きの補正量は、ウエハ２の受渡し動作をロボット１に教示する際に算出されて制御部１１に記憶される。 (Method of controlling an industrial robot)
In the robot 1, the control unit 11 controls the tilt correction mechanism 8 (specifically, controls the motors 49, 59) to correct the tilt of the hands 4, 14 when transferring the wafer 2 so that the mounting surface of the wafer 2 in the cassette where the wafer 2 is transferred and the mounting surface of the wafer 2 in the processing device and the mounting surface of the wafer 2 formed on the upper surfaces of the hands 4, 14 become as parallel as possible. The correction amount of the tilt of the hands 4, 14 by the tilt correction mechanism 8 is calculated when the robot 1 is taught the operation of transferring the wafer 2, and is stored in the control unit 11.

また、傾き補正機構８によるハンド４、１４の傾きの補正量は、たとえば、ウエハ２が搭載されているハンド４のみがカセット内や処理装置内の所定の受渡し位置に移動したとき、ウエハ２が搭載されていないハンド４のみがカセット内や処理装置内の受渡し位置に移動したとき、ウエハ２が搭載されている搭載機構３のみがカセット内や処理装置内の受渡し位置に移動したとき、ウエハ２が搭載されていない搭載機構３のみがカセット内や処理装置内の受渡し位置に移動したとき、ウエハ２が搭載されている搭載機構３およびハンド４がカセット内や処理装置内の受渡し位置に移動しているとき、および、ウエハ２が搭載されていない搭載機構３およびハンド４がカセットや処理装置の受渡し位置に移動しているときのそれぞれにおいて算出されて制御部１１に記憶される。 The amount of correction of the tilt of the hands 4 and 14 by the tilt correction mechanism 8 is calculated and stored in the control unit 11, for example, when only the hand 4 on which the wafer 2 is loaded moves to a predetermined transfer position in the cassette or processing device, when only the hand 4 on which the wafer 2 is not loaded moves to a transfer position in the cassette or processing device, when only the loading mechanism 3 on which the wafer 2 is ... not loaded moves to a transfer position in the cassette or processing device, when the loading mechanism 3 and hand 4 on which the wafer 2 is loaded are moving to a transfer position in the cassette or processing device, and when the loading mechanism 3 and hand 4 on which the wafer 2 is loaded are moving to a transfer position in the cassette or processing device and when the loading mechanism 3 and hand 4 on which the wafer 2 is not loaded are moving to a transfer position in the cassette or processing device.

ここで、ウエハ２の受渡し時に、傾き補正機構８によるハンド４、１４の補正が行われると、ハンド４、１４に搭載されるウエハ２の中心が上下方向および水平方向（前後左右方向）の少なくともいずれか１つの方向においてずれるおそれがある。そこで、本形態では、傾き補正機構８による補正動作が行われても、カセット内や処理装置内の受渡し位置に配置されたハンド４、１４に搭載されるウエハ２の中心の上下方向および水平方向の位置が一定となるように（ウエハ２の中心が上下方向および水平方向においてずれないように）、制御部１１は、移動機構４１を制御して、ハンド４、１４の位置を補正する。具体的には、制御部１１は、モータ１８～２１、３８～４０の少なくともいずれか１つを制御して、ハンド４、１４の位置を補正する。 Here, when the tilt correction mechanism 8 corrects the hands 4, 14 during transfer of the wafer 2, there is a risk that the center of the wafer 2 mounted on the hands 4, 14 may shift in at least one of the vertical and horizontal directions (front-back and left-right directions). Therefore, in this embodiment, even if the tilt correction mechanism 8 performs a correction operation, the control unit 11 controls the movement mechanism 41 to correct the position of the hands 4, 14 so that the vertical and horizontal positions of the center of the wafer 2 mounted on the hands 4, 14 arranged at the transfer position in the cassette or processing device are constant (so that the center of the wafer 2 does not shift in the vertical and horizontal directions). Specifically, the control unit 11 controls at least one of the motors 18-21, 38-40 to correct the position of the hands 4, 14.

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、ハンド４、１４の傾きを補正する傾き補正機構８は、上下方向に直交する第１方向（前後方向）を回動の軸方向としてハンド４、１４を回動させる第１傾き補正機構４５と、上下方向に対して傾くとともに第１方向に対して傾いた第２方向を回動の軸方向としてハンド４、１４を回動させる第２傾き補正機構４６とを備えている。 (Main effects of this embodiment)
As described above, in this embodiment, the tilt correction mechanism 8 that corrects the tilt of the hands 4, 14 includes a first tilt correction mechanism 45 that rotates the hands 4, 14 around a first direction (front-to-back direction) perpendicular to the up-down direction as the axial direction of rotation, and a second tilt correction mechanism 46 that rotates the hands 4, 14 around a second direction that is inclined with respect to the up-down direction and also inclined with respect to the first direction as the axial direction of rotation.

そのため、本形態では、第１傾き補正機構４５と第２傾き補正機構４６とを用いて、ウエハ２の受渡しが行われるカセットにおけるウエハ２の搭載面や処理装置におけるウエハ２の搭載面と、ハンド４、１４の上面に形成されるウエハ２の搭載面とが平行に近づくように、カセットや処理装置のウエハ２の搭載面に対するハンド４、１４の搭載面の傾きを補正することが可能になる。したがって、本形態では、カセットおよび処理装置とロボット１との間で受渡しが行われるウエハ２の、受渡し時の衝撃を抑制することが可能になる。 Therefore, in this embodiment, using the first tilt correction mechanism 45 and the second tilt correction mechanism 46, it is possible to correct the tilt of the mounting surface of the hands 4 and 14 relative to the mounting surface of the wafer 2 in the cassette or processing device where the wafer 2 is transferred, so that the mounting surface of the wafer 2 formed on the upper surface of the hands 4 and 14 approaches parallelism with the mounting surface of the wafer 2 in the cassette or processing device where the wafer 2 is transferred. Therefore, in this embodiment, it is possible to suppress the impact of transferring the wafer 2 between the cassette and processing device and the robot 1.

本形態では、傾き補正機構８による補正動作が行われても、カセット内や処理装置内の受渡し位置に配置されたハンド４、１４に搭載されるウエハ２の中心の上下方向および水平方向の位置が一定となるように、制御部１１は、移動機構４１を制御して、ハンド４、１４の位置を補正している。そのため、本形態では、傾き補正機構８による補正動作が行われても、カセットや処理装置に対してハンド４、１４をより適切な位置に移動させることが可能になる。したがって、本形態では、ウエハ２の受渡し時に傾き補正機構８による補正動作が行われても、ハンド４、１４に搭載されるウエハ２とカセットおよび処理装置との干渉、および、カセットや処理装置に配置されるウエハ２とハンド４、１４との干渉を防止することが可能になる。 In this embodiment, even if the tilt correction mechanism 8 performs a correction operation, the control unit 11 controls the movement mechanism 41 to correct the position of the hand 4, 14 so that the vertical and horizontal positions of the center of the wafer 2 loaded on the hand 4, 14 placed at the transfer position in the cassette or processing device are constant. Therefore, in this embodiment, even if the tilt correction mechanism 8 performs a correction operation, it is possible to move the hand 4, 14 to a more appropriate position relative to the cassette or processing device. Therefore, in this embodiment, even if the tilt correction mechanism 8 performs a correction operation when the wafer 2 is transferred, it is possible to prevent interference between the wafer 2 loaded on the hand 4, 14 and the cassette or processing device, and between the wafer 2 placed in the cassette or processing device and the hand 4, 14.

本形態では、第１傾き補正機構４５と第２傾き補正機構４６とが略同じ高さで配置されている。そのため、本形態では、傾き補正機構８を薄型化することが可能になる。 In this embodiment, the first tilt correction mechanism 45 and the second tilt correction mechanism 46 are arranged at approximately the same height. Therefore, in this embodiment, it is possible to make the tilt correction mechanism 8 thinner.

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。 Other Embodiments
The above-described embodiment is one example of a preferred embodiment of the present invention, but the present invention is not limited to this embodiment and various modifications can be made without departing from the spirit and scope of the present invention.

上述した形態において、第１傾き補正機構４５と第２傾き補正機構４６とが上下方向においてずれた位置に配置されていても良い。この場合には、たとえば、第１傾き補正機構４５の上側に第２傾き補正機構４６が配置されている。また、上述した形態において、第２方向は、第１方向と直交していなくても良い。また、上述した形態において、第１方向は、ハンド４、１４の往復移動方向に直交する左右方向（Ｙ方向）であっても良い。 In the above-described embodiment, the first tilt correction mechanism 45 and the second tilt correction mechanism 46 may be arranged at positions offset in the up-down direction. In this case, for example, the second tilt correction mechanism 46 is arranged above the first tilt correction mechanism 45. Also, in the above-described embodiment, the second direction does not have to be perpendicular to the first direction. Also, in the above-described embodiment, the first direction may be the left-right direction (Y direction) perpendicular to the reciprocating direction of the hands 4, 14.

上述した形態において、ロボット１は、搭載機構３に代えて、ハンド４と同様に構成される１個のハンドを備えていても良い。また、上述した形態において、ロボット１は、搭載機構３またはハンド４を備えていなくても良い。ロボット１が搭載機構３を備えてない場合には、リニア駆動機構５等が不要になる。また、ロボット１がハンド４を備えてない場合には、リニア駆動機構６等が不要になる。 In the above-described embodiment, the robot 1 may be provided with a single hand configured similarly to the hand 4, instead of the mounting mechanism 3. Also, in the above-described embodiment, the robot 1 may not be provided with the mounting mechanism 3 or the hand 4. If the robot 1 does not have the mounting mechanism 3, the linear drive mechanism 5 and the like are not required. Also, if the robot 1 does not have the hand 4, the linear drive mechanism 6 and the like are not required.

上述した形態において、ロボット１は、水平多関節型のロボットであっても良い。この場合には、ロボット１は、搭載機構３が先端部に回動可能に連結される多関節アームと、ハンド４が先端部に回動可能に連結される多関節アームとを備えており、２本の多関節アームの基端部が傾き補正機構８に回動可能に連結されている。また、上述した形態において、ロボット１は、ウエハ２以外の搬送対象物を搬送しても良い。たとえば、ロボット１は、上述の特許文献１に記載された長方形状のマスクを搬送しても良いし、液晶ディスプレイ装置用のガラス基板を搬送しても良い。 In the above-mentioned embodiment, the robot 1 may be a horizontal multi-joint type robot. In this case, the robot 1 includes a multi-joint arm to which the mounting mechanism 3 is rotatably connected at its tip, and a multi-joint arm to which the hand 4 is rotatably connected at its tip, and the base ends of the two multi-joint arms are rotatably connected to the tilt correction mechanism 8. Also, in the above-mentioned embodiment, the robot 1 may transport objects other than the wafer 2. For example, the robot 1 may transport the rectangular mask described in the above-mentioned Patent Document 1, or may transport glass substrates for liquid crystal display devices.

１ ロボット（産業用ロボット）
２ ウエハ（半導体ウエハ、搬送対象物）
４、１４ ハンド
８ 傾き補正機構
１１ 制御部
４１ 移動機構
４５ 第１傾き補正機構
４６ 第２傾き補正機構
Ｘ 第１方向 1. Robots (industrial robots)
2 Wafer (semiconductor wafer, transport object)
4, 14 Hand 8 Tilt correction mechanism 11 Control unit 41 Movement mechanism 45 First tilt correction mechanism 46 Second tilt correction mechanism X First direction

Claims (5)

搬送対象物が搭載される複数のハンドと、複数の前記ハンドを水平方向に直線的に移動させるためのリニア駆動機構と、前記ハンドの傾きを補正するための傾き補正機構とを備え、
前記リニア駆動機構は、前記傾き補正機構に搭載され、
前記傾き補正機構は、上下方向に対して傾いた所定の第１方向を回動の軸方向として前記ハンドを回動させる第１傾き補正機構と、上下方向に対して傾くとともに第１方向に対して傾いた第２方向を回動の軸方向として前記ハンドを回動させる第２傾き補正機構とを備えるとともに、前記リニア駆動機構を傾けることで複数の前記ハンドの傾きを補正することを特徴とする産業用ロボット。 a linear drive mechanism for linearly moving the hands in a horizontal direction; and a tilt correction mechanism for correcting tilt of the hands;
the linear drive mechanism is mounted on the tilt correction mechanism,
The tilt correction mechanism includes a first tilt correction mechanism that rotates the hand around a predetermined first direction that is tilted with respect to the up-down direction as the axis of rotation, and a second tilt correction mechanism that rotates the hand around a second direction that is tilted with respect to the up-down direction and also with respect to the first direction as the axis of rotation, and corrects the tilt of the multiple hands by tilting the linear drive mechanism . 前記第１傾き補正機構は、前記ハンドと一緒に第１方向を回動の軸方向として前記第２傾き補正機構を回動させることを特徴とする請求項１記載の産業用ロボット。 The industrial robot according to claim 1, characterized in that the first tilt correction mechanism rotates the second tilt correction mechanism together with the hand, with the first direction being the axis of rotation. 第１方向は、上下方向に直交する方向であり、
第２方向は、第１方向に直交する方向であることを特徴とする請求項２記載の産業用ロボット。 The first direction is a direction perpendicular to the up-down direction,
3. The industrial robot according to claim 2, wherein the second direction is a direction perpendicular to the first direction. 前記第１傾き補正機構と前記第２傾き補正機構とが上下方向において略同じ位置に配置されていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の産業用ロボット。 4. The industrial robot according to claim 1, wherein the first tilt correction mechanism and the second tilt correction mechanism are disposed at substantially the same position in the vertical direction. 前記搬送対象物の受渡しを行う受渡し位置に前記ハンドを移動させる移動機構と、前記産業用ロボットを制御する制御部とを備え、
前記制御部は、前記傾き補正機構による補正動作が行われても、前記受渡し位置に配置された前記ハンドに搭載される前記搬送対象物の中心の上下方向および水平方向の位置が一定となるように、前記移動機構を制御することを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の産業用ロボット。 a moving mechanism that moves the hand to a transfer position where the object to be transported is transferred; and a control unit that controls the industrial robot,
5. The industrial robot according to claim 1, wherein the control unit controls the moving mechanism so that the vertical and horizontal positions of the center of the transport object mounted on the hand arranged at the transfer position remain constant even when a correction operation is performed by the tilt correction mechanism.
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