KR20030094064A - 단결정 인상 장치, 단결정 인상 방법 및 초전도 자석 - Google Patents
단결정 인상 장치, 단결정 인상 방법 및 초전도 자석 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (12)
- 반도체용 단결정 재료를 용융시키는 도가니를 인상로에 내장하고, 상기 인상로의 외부에 배설한 초전도 코일로의 통전에 의해 상기 단결정에 자장을 인가하여, 상기 용융된 단결정 재료의 상기 도가니 내에서의 대류를 억제하는 단결정 인상 장치에 있어서,상기 초전도 코일을 4개 이상으로 하여, 상기 인상로의 주위에 동축적(同軸的)으로 설치한 통형 용기 내의 동일 평면 상에 배치하는 동시에, 그 배치된 각 초전도 코일을 상기 통형 용기의 축심을 통하여 대향하는 방향으로 설정하고, 또한, 상기 초전도 코일의 서로 인접하는 한 쌍끼리가 상기 통형 용기의 내측을 향하는 배설 각도(θ)를 100°∼130°의 범위로 설정한 것을 특징으로 하는 단결정 인상 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 초전도 코일의 대향하는 것끼리의 이간(離間) 거리(ℓ)를 상기 통형 용기의 보어 치수(D)에 대하여 1.1∼1.25배로 설정한 것을 특징으로 하는 단결정 인상 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 초전도 코일의 코일 직경(d)을 상기 보어 치수(D)에 대하여 0.35∼0.55배로 설정한 것을 특징으로 하는 단결정 인상 장치.
- 원통형 진공 용기 내에 초전도 코일을 내장한 초전도 자석으로서, 상기 초전도 코일은 상기 진공 용기 내의 동일 평면 상에 배치하는 동시에, 그 배치된 각 초전도 코일을 상기 진공 용기의 축심을 통하여 대향하는 방향으로 설정하고, 또한, 상기 초전도 코일의 서로 인접하는 한 쌍끼리가 상기 진공 용기의 내측을 향하는 배설 각도(θ)를 100°∼130°의 범위로 설정한 것을 특징으로 하는 초전도 자석.
- 제 4 항에 있어서,상기 초전도 코일의 대향하는 것끼리의 이간 거리(ℓ)를 상기 진공 용기의 보어 치수(D)에 대하여 1.1∼1.25배로 설정한 것을 특징으로 하는 초전도 자석.
- 제 4 항에 있어서,상기 초전도 코일의 코일 직경(d)을 상기 보어 치수(D)에 대하여 0.35∼0.55배로 설정한 것을 특징으로 하는 초전도 자석.
- 제 4 항에 있어서,상기 초전도 코일을 4개 이상의 짝수개로 구성한 것을 특징으로 하는 초전도 자석.
- 제 4 항에 있어서,상기 초전도 코일 형상을 상기 진공 용기의 축방향으로 긴 레이스 트랙형, 타원형 또는 사각형으로 한 것을 특징으로 하는 초전도 자석.
- 제 4 항에 있어서,상기 초전도 코일의 냉각 수단은 냉매 용기 내에 수용한 액체 냉매 중으로의 상기 코일의 침지, 또는 상기 코일과 냉동기 저온부의 접속, 또는 상기 코일로의 액체 냉매 용기의 접속, 또는 상기 각 수단의 병설(倂設)에 의해 구성한 것을 특징으로 하는 초전도 자석.
- 제 4 항에 있어서,상기 초전도 코일의 외주측에 배치되는 용기의 벽을 자성(磁性) 재료를 사용하여 구성한 것을 특징으로 하는 초전도 자석.
- 반도체용 단결정 재료를 용융시키는 도가니를 인상로에 내장하고, 상기 인상로의 외부에 배설한 초전도 코일로의 통전에 의해 상기 단결정에 자장을 인가하여, 상기 용융된 단결정 재료의 상기 도가니 내에서의 대류를 억제하는 단결정 인상 방법에 있어서,상기 초전도 코일을 4개 이상으로 하여, 상기 인상로의 주위에 동축적으로 설치한 통형 용기 내의 동일 평면 상에 배치하는 동시에, 그 배치된 각 초전도 코일을 상기 통형 용기의 축심을 통하여 대향하는 방향으로 설정하고, 또한, 상기 초전도 코일의 서로 인접하는 한 쌍끼리가 상기 통형 용기의 내측을 향하는 배설 각도(θ)를 100°∼130°의 범위로 설정하여 반도체용 단결정을 인상하는 것을 특징으로 하는 단결정 인상 방법.
- 제 11 항에 있어서,상기 초전도 코일의 대향하는 것끼리의 이간 거리(ℓ)를 상기 통형 용기의 보어 치수(D)에 대하여 1.1∼1.25배로 설정한 것을 특징으로 하는 단결정 인상 방법.
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