KR20030063213A - 선폭 측정 방법 및 선폭 측정 장치 - Google Patents
선폭 측정 방법 및 선폭 측정 장치 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (7)
- 피측정물이 형성된 측정 기판을 지지하는 고정대와, 상기 피측정물을 조명하는 조명 수단과, 상기 측정 기판을 광학현미경을 거쳐서 촬영하는 촬영 장치와, 상기 촬영 장치로부터의 영상 신호를 처리하여, 상기 피측정물의 치수를 계측하는 신호 처리부로 이루어지는 선폭 측정 장치에 있어서, 상기 촬영 장치를 상기 측정 기판의 상기 피측정물이 형성된 측과는 반대측에 배치하고, 상기 피측정물을 상기 조명 수단에 의해 상기 측정 기판측으로부터 조명하여, 그 반사광을 상기 측정 기판을 거쳐서 상기 촬영 장치로 촬영하는 것을 특징으로 하는선폭 측정 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 피측정물이 형성된 측정 기판은 컬러 필터가 형성된 액정 기판 및 TFT 기판의 어느 하나인 것을 특징으로 하는선폭 측정 방법.
- 피측정물이 형성된 측정 기판을 지지하는 고정대와, 상기 피측정물을 조명하는 조명 수단과, 상기 측정 기판을 광학현미경을 거쳐서 촬영하는 촬영 장치와, 상기 촬영 장치로부터의 영상 신호를 처리하여, 상기 피측정물의 치수를 계측하는 신호 처리부로 이루어지는 선폭 측정 장치에 있어서, 상기 촬영 장치 및 상기 조명수단을 상기 측정 기판의 상기 피측정물이 형성된 측과는 반대측에 배치하여, 상기 피측정물을 상기 측정 기판을 거쳐서 상기 촬영 장치로 촬영하는 것을 특징으로 하는선폭 측정 장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 측정 기판을 지지하는 고정대 또는 상기 촬영 장치의 어느 하나를 구동하는 기구부를 갖는 것을 특징으로 하는선폭 측정 장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 측정 기판을 지지하는 고정대를 상기 측정 기판이 거의 세로 방향이 되도록 구성한 것을 특징으로 하는선폭 측정 장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 피측정물이 형성된 측정 기판은 컬러 필터가 형성된 액정 기판 및 TFT 기판의 어느 하나인 것을 특징으로 하는선폭 측정 장치.
- 광학현미경과 촬영 장치에 의하여 투명 기판 상의 피측정물의 미소치수를 측정하는 선폭 측정 장치에 있어서, 상기 피측정물을 상기 투명 기판의 이면측에서 측정하는 것을 특징으로 하는선폭 측정 방법.
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