KR20030034975A - A gravure printing apparatus and a method of forming pattern using thereof - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 그라비아인쇄장치에 관한 것으로, 특히 박막트랜지스터와 같은 능동소자의 패턴 형성시 기판에 잉크를 전사하는 클리체의 홈내에 복수의 날을 가진 닥터블레이드를 사용하여 잉크를 충진함으로써 클리체 표면에 잔존하는 잉크를 완전히 제거하여 기판의 패턴 영역 이외의 영역에 잉크가 전사되는 것을 방지할 수 있는 그라비아인쇄장치 및 이를 이용한 패턴형성방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a gravure printing apparatus, and more particularly, by filling ink using a doctor blade having a plurality of blades in a groove of a cliché that transfers ink to a substrate during pattern formation of an active element such as a thin film transistor. The present invention relates to a gravure printing apparatus capable of completely removing residual ink and preventing transfer of ink to regions other than the pattern region of the substrate, and a pattern forming method using the same.
표시소자들, 특히 액정표시소자(Liquid Crystal Display Device)와 같은 평판표시장치(Flat Panel Display)에서는 각각의 화소에 박막트랜지스터와 같은 능동소자가 구비되어 표시소자를 구동하는데, 이러한 방식의 표시소자의 구동방식을 흔히 액티브 매트릭스(Active Matrix) 구동방식이라 한다. 이러한 액티브 매트릭스방식에서는 상기한 능동소자가 매트릭스형식으로 배열된 각각의 화소에 배치되어 해당 화소를 구동하게 된다.In display devices, particularly flat panel displays such as liquid crystal display devices, each pixel includes an active device such as a thin film transistor to drive the display device. The driving method is often called an active matrix driving method. In the active matrix method, the active elements are arranged in each pixel arranged in a matrix to drive the pixel.
도 1은 액티브 매트릭스방식의 액정표시소자를 나타내는 도면이다. 도면에 도시된 구조의 액정표시소자는 능동소자로서 박막트랜지스터(Thin Film Transistor)를 사용하는 TFT LCD이다. 도면에 도시된 바와 같이, 종횡으로 N×M개의 화소가 배치된 TFT LCD의 각 화소에는 외부의 구동회로로부터 주사신호가 인가되는 게이트라인(4)과 화상신호가 인가되는 데이터라인(6)의 교차영역에 형성된 TFT를 포함하고 있다. TFT는 상기 게이트라인(4)과 연결된 게이트전극(3)과, 상기게이트전극(3) 위에 형성되어 게이트전극(3)에 주사신호가 인가됨에 따라 활성화되는 반도체층(8)과, 상기 반도체층(8) 위에 형성된 소스/드레인전극(5)으로 구성된다. 상기 화소(1)의 표시영역에는 상기 소스/드레인전극(5)과 연결되어 반도체층(8)이 활성화됨에 따라 상기 소스/드레인전극(5)을 통해 화상신호가 인가되어 액정(도면표시하지 않음)을 동작시키는 화소전극(10)이 형성되어 있다.1 is a view showing an active matrix liquid crystal display device. The liquid crystal display of the structure shown in the figure is a TFT LCD using a thin film transistor as an active element. As shown in the figure, each pixel of the TFT LCD in which N × M pixels are arranged vertically and horizontally has a gate line 4 to which a scan signal is applied from an external driving circuit and a data line 6 to which an image signal is applied. It includes a TFT formed in the intersection area. The TFT includes a gate electrode 3 connected to the gate line 4, a semiconductor layer 8 formed on the gate electrode 3 and activated when a scan signal is applied to the gate electrode 3, and the semiconductor layer. (8) and a source / drain electrode 5 formed thereon. In the display area of the pixel 1, an image signal is applied through the source / drain electrode 5 as the semiconductor layer 8 is connected to the source / drain electrode 5 to activate the liquid crystal (not shown). Is formed on the pixel electrode 10.
도 2는 각 화소내에 배치되는 TFT의 구조를 나타내는 도면이다. 도면에 도시된 바와 같이, 상기 TFT는 유리와 같은 투명한 절연물질로 이루어진 기판(20)과, 상기 기판(20) 위에 형성된 게이트전극(3)과, 게이트전극(3)이 형성된 기판(20) 전체에 걸쳐 적층된 게이트절연층(22)과, 상기 게이트절연층(22) 위에 형성되어 게이트전극(3)에 신호가 인가됨에 따라 활성화되는 반도체층(6)과, 상기 반도체층(6) 위에 형성된 소스/드레인전극(5)과, 상기 소스/드레인전극(5) 위에 형성되어 소자를 보호하는 보호층(passivation layer;25)으로 구성된다.2 is a diagram showing the structure of a TFT disposed in each pixel. As shown in the figure, the TFT includes a substrate 20 made of a transparent insulating material such as glass, a gate electrode 3 formed on the substrate 20, and an entire substrate 20 on which the gate electrode 3 is formed. A gate insulating layer 22 stacked over the semiconductor insulating layer 22, a semiconductor layer 6 formed on the gate insulating layer 22 and activated when a signal is applied to the gate electrode 3, and formed on the semiconductor layer 6. A source / drain electrode 5 and a passivation layer 25 formed on the source / drain electrode 5 to protect the device.
상기와 같은 TFT의 소스/드레인전극(5)은 화소내에 형성된 화소전극과 전기적으로 접속되어, 상기 소스/드레인전극(5)을 통해 화소전극에 신호가 인가됨에 따라 액정을 구동하여 화상을 표시하게 된다.The source / drain electrode 5 of the TFT is electrically connected to a pixel electrode formed in the pixel, so that a signal is applied to the pixel electrode through the source / drain electrode 5 to drive the liquid crystal to display an image. do.
상기한 바와 같은 액정표시소자 등의 액티브 매트릭스형 표시소자에서는 각 화소의 크기가 수십㎛의 크기이며, 따라서 화소내에 배치되는 TFT와 같은 능동소자는 수㎛의 미세한 크기로 형성되어야만 한다. 더욱이, 근래에 고화질TV(HDTV)와 같은 고화질 표시소자의 욕구가 커짐에 따라 동일 면적의 화면에 더 많은 화소를 배치해야만 하기 때문에, 화소내에 배치되는 능동소자 패턴(게이트라인과 데이터라인패턴을 포함) 역시 더욱 미세하게 형성되어야만 한다.In an active matrix display device such as a liquid crystal display device as described above, each pixel has a size of several tens of micrometers, and therefore, an active device such as a TFT disposed in the pixel must be formed with a fine size of several micrometers. Furthermore, as the desire for high-definition display devices such as high-definition television (HDTV) has increased in recent years, more pixels have to be disposed on the screen of the same area, and thus, active element patterns (gate lines and data line patterns) disposed in the pixels are included. ) Should also be more finely formed.
한편, 종래에 TFT와 같은 능동소자를 제작하기 위해서는 노광장치에 의한 포토리소그래피(photolithography)방법에 의해 능동소자의 패턴이나 라인 등을 형성하였다. 그런데, 이러한 포토리소그래피방법에서는 패터닝되는 층위에 포토레지스트를 적층한 후 노광공정에 의한 에칭방법을 사용해야만 하는데, 노광장치의 노광영역이 한정되어 있기 때문에 대면적의 표시소자를 제작하기 위해서는 화면을 분할하여 포토공정을 진행해야만 한다. 따라서, 분할된 영역의 공정시 노광영역의 정확한 위치 정합이 어려울 뿐만 아니라 다수회의 포토공정을 반복해야만 하기 때문에 생산성이 저하된다는 문제도 있었다.On the other hand, in order to fabricate an active device such as a TFT, a pattern, a line, and the like of the active device are formed by a photolithography method using an exposure apparatus. However, in such a photolithography method, the photoresist is laminated on the patterned layer and then an etching method using an exposure process is used. Since the exposure area of the exposure apparatus is limited, the screen is divided in order to manufacture a display device having a large area. Photo process must be performed. Therefore, not only accurate position matching of the exposure area is difficult during the process of the divided area, but also a number of photo processes have to be repeated, which leads to a problem that productivity is lowered.
본 발명은 상기한 문제를 해결하기 위해 제안된 것으로, 그라비아인쇄방법에 의한 패턴형성시 복수의 날을 가진 닥터블레이드에 의해 클리체의 홈내부에 잉크를 충진함과 동시에 클리체 표면에 남아 있는 잉크를 제거함으로써 패턴형성시 잔존잉크에 의해 발생할 수 있는 패턴불량을 방지하는 그라비아인쇄장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been proposed to solve the above problems, and the ink remaining on the surface of the cliché while filling ink in the grooves of the cliché by a doctor blade having a plurality of blades when the pattern is formed by the gravure printing method. It is an object of the present invention to provide a gravure printing apparatus that prevents a pattern defect that may occur due to the remaining ink when forming a pattern by eliminating the.
본 발명의 다른 목적은 상기 그라비아인쇄장치를 이용하여 기판상에 잉크패턴을 형성하는 방법을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a method of forming an ink pattern on a substrate using the gravure printing device.
본 발명의 또 다른 목적은 상기 그라비아인쇄장치를 이용하여 표시소자 등의 패턴을 형성하는 방법을 제공하는 것이다.Still another object of the present invention is to provide a method of forming a pattern of a display device using the gravure printing device.
상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 그라비아인쇄장치는 원하는 패턴에대응하는 위치에 형성된 홈을 포함하는 클리체와, 복수의 날로 이루어져 클리체 표면에 도포된 잉크를 상기 홈내부에 충진하고 클리체 표면의 잉크를 제거하는 닥터블레이드와, 상기 클리체에 표면에 접촉하여 회전함에 따라 상기 클리체의 홈내부에 충진된 잉크가 전사되며, 상기 전사된 잉크를 기판에 재전사하는 전사롤로 구성된다.In order to achieve the above object, the gravure printing apparatus of the present invention comprises a cliché including a groove formed at a position corresponding to a desired pattern, and a plurality of blades to fill the inside of the groove with ink applied to the surface of the cliché. It consists of a doctor blade for removing the ink on the surface of the sieve, and a transfer roll for transferring the ink filled in the grooves of the cliché as it rotates in contact with the surface and transfers the transferred ink to the substrate. .
전사롤의 표면에는 실리콘계 물질이 도포되어 있으며, 닥터블레이드의 날은 클리체 표면에 대하여 약 5∼80의 각도로 경사진다.A silicon-based material is applied to the surface of the transfer roll, and the blade of the doctor blade is inclined at an angle of about 5 to 80 with respect to the surface of the body.
또한, 상기 그라비아인쇄장치를 이용한 표시소자등의 패턴형성방법은 형성하고자 하는 패턴에 대응하는 홈을 클리체에 형성하는 단계와, 상기 클리체에 잉크를 도포한 후 복수의 날로 이루어진 닥터블레이드를 이용하여 상기 도포된 잉크를 클리체의 홈내부에 충진하고 클리체 표면의 잉크를 제거하는 단계와, 상기 클리체의 홈내부에 충진된 잉크를 기판상에 형성된 피가공층으로 전사하여 잉크패턴을 형성하는 단계와, 포토리소그래피공정에 의해 잉크패턴이 형성된 상기 피가공층을 에칭하는 단계로 구성된다.In addition, the pattern forming method of the display device using the gravure printing apparatus is formed by forming a groove corresponding to the pattern to be formed in the cliché, and using a doctor blade consisting of a plurality of blades after applying the ink to the cliché. Filling the applied ink into the grooves of the cliché and removing the ink on the surface of the cliché, and transferring the ink filled in the grooves of the cliché to the processing layer formed on the substrate to form an ink pattern. And etching the processed layer on which the ink pattern is formed by a photolithography process.
도 1은 일반적인 액정표시소자의 구조를 나타내는 평면도.1 is a plan view showing the structure of a general liquid crystal display device.
도 2는 도 1에 도시된 액정표시소자의 박막트랜지스터 구조를 나타내는 단면도.FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a thin film transistor structure of the liquid crystal display shown in FIG. 1.
도 3은 본 발명에 따른 그라비아인쇄방식에 의한 패턴형성방법을 나타내는 도면.3 is a view showing a pattern forming method by a gravure printing method according to the present invention.
도 4는 그라비아인쇄방식에 의한 패턴형성방법의 다른 예를 나타내는 도면.4 is a view showing another example of a pattern forming method by a gravure printing method.
** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 **** Explanation of symbols for main parts of drawings **
100 : 클리체 102 : 홈100: cliché 102: home
104 : 잉크 108 : 닥터블레이드104: ink 108: doctor blade
110 : 전사롤 120 : 기판110: transfer roll 120: substrate
121 : 피가공층 122 : 잉크패턴121: layer to be processed 122: ink pattern
본 발명에서는 액정표시소자 등과 같은 표시소자의 능동소자 패턴을 형성하기 위해, 그라비아(gravure)인쇄방법을 사용한다. 그라비아인쇄는 오목판에 잉크를 묻혀 여분의 잉크를 긁어내고 인쇄를 하는 인쇄방식으로서, 출판용, 포장용, 셀로판용, 비닐용, 폴리에틸렌용 등의 각종 분야의 인쇄방법으로서 알려줘 있으며, 표시소자에 적용되는 능동소자나 회로패턴을 제작에 상기 그라비아인쇄방법을 적용하기 위한 연구가 이루어지고 있다.In the present invention, a gravure printing method is used to form an active element pattern of a display element such as a liquid crystal display element. Gravure printing is a printing method that scrapes excess ink by printing ink on a concave plate and prints it. It is known as a printing method in various fields such as publishing, packaging, cellophane, vinyl, polyethylene, and the like. Research has been made to apply the gravure printing method to the fabrication of active devices or circuit patterns.
그라비아인쇄는 전사롤을 이용하여 기판상에 잉크를 전사하기 때문에, 원하는 표시소자의 면적에 대응하는 전사롤을 이용함으로써 대면적의 표시소자의 경우에도 1회의 전사에 의해 패턴을 형성할 수 있게 된다. 이러한 그라비아인쇄는 기판상에 레지스트용인 잉크패턴을 형성할 뿐만 아니라 표시소자의 각종 패턴들, 예를 들어 액정표시소자의 경우 TFT 뿐만 아니라 상기 TFT와 접속되는 게이트라인 및 데이터라인, 화소전극, 캐패시터용 금속패턴을 패터닝하는데 사용될 수 있다.Since gravure printing transfers ink onto a substrate using a transfer roll, a pattern can be formed by one transfer even in the case of a display device having a large area by using a transfer roll corresponding to the area of a desired display element. . Such gravure printing not only forms an ink pattern for resist on a substrate, but also various patterns of display devices, for example, TFTs as well as gate lines and data lines, pixel electrodes, and capacitors connected to the TFTs. It can be used to pattern metal patterns.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 그라비아인쇄장치 및 이를 이용한 패턴형성방법에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, a gravure printing apparatus and a pattern forming method using the same according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 3은 본 발명에 따른 그라비아인쇄방식을 이용하여 기판상에 잉크패턴을 형성하는 방법을 나타내는 도면이다. 도면에 도시된 바와 같이, 그라비아인쇄방식에서는 우선 기판에 형성하고자 하는 패턴에 대응하는 오목판 또는 클리체(cliche;100)의 특정 위치에 홈(102)을 형성한 후 상기 홈(102) 내부에 잉크(104)를 충진한다. 상기 클리체(100)에 형성되는 홈(102)은 일반적인 포토리소그래피방법에 의해 형성되며, 홈(102) 내부로의 잉크(104) 충진은 클리체(100)의 상부에 패턴형성용 그라비아잉크(104)를 도포한 후 닥터블레이드(108)를 클리체(100)에 접촉한 상태에서 진행시킴으로써 이루어진다. 따라서, 닥터블레이드(108)의 진행에 의해 홈(102) 내부에 잉크(104)가 충진됨과 동시에 클리체(100) 표면에 남아 있는 잉크(104)는 제거된다.3 is a view showing a method of forming an ink pattern on a substrate using a gravure printing method according to the present invention. As shown in the drawing, in the gravure printing method, first, the groove 102 is formed at a specific position of a concave plate or cliché 100 corresponding to a pattern to be formed on a substrate, and then ink is formed in the groove 102. Fill 104. The groove 102 formed in the cliché 100 is formed by a general photolithography method, and the filling of ink 104 into the groove 102 is performed by forming a gravure ink on the top of the cliché 100. After applying the 104, the doctor blade 108 is made to proceed in contact with the cliché 100. Therefore, the ink 104 is filled in the groove 102 by the progress of the doctor blade 108 and the ink 104 remaining on the surface of the cliché 100 is removed.
상기 닥터블레이드(108a,108b))는 2개의 날을 구비하고 있다. 각각의 날은클리체(100) 표면에 대하여 약 5∼80의 각도(θ)를 이룬다. 패턴을 형성하기 위해 사용되던 일반적인 그라비아인쇄방법에서는 통상적으로 1개의 날을 구비한 닥터블레이드를 사용했지만, 이 경우 클리체(100) 표면에 남아 있던 잉크 (104)를 완전하게 제거하기란 대단히 어려웠다. 따라서, 통상의 닥터블레이드를 사용하던 그라이바인쇄방법에서는 이후의 공정에서 잉크가 기판에 전사되므로 잉크패턴을 형성하는 경우 기판 표면에 상기 클리체(100) 표면에 남아 있던 잉크(104)가 기판 표면에 잔존하게 되기 때문에, 표시소자의 능동소자 패턴을 형성하는 경우 패턴불량이 발생하게 된다.The doctor blades 108a and 108b have two blades. Each blade forms an angle θ of about 5 to 80 with respect to the surface of the cliché 100. In the general gravure printing method used to form the pattern, a doctor blade having one blade is typically used, but in this case, it was very difficult to completely remove the ink 104 remaining on the surface of the cliché 100. Therefore, in the graviar printing method using a conventional doctor blade, the ink is transferred to the substrate in a subsequent step, and thus, when the ink pattern is formed, the ink 104 remaining on the surface of the cliché 100 is formed on the substrate surface. Since it remains on the substrate, a pattern defect occurs when the active element pattern of the display element is formed.
그러나, 본 발명에서는 도면에 도시된 바와 같이, 2중의 날(108a,108b)을 가진 닥터블레이드에 의해 클리체(100)의 홈(102) 내부에 잉크(104)를 충진함과 동시에 클리체(100) 표면의 잉크를 제거하기 때문에, 제1닥터블레이드 날(108a)에 의해 잉크(104)가 제거되지 않는 경우에도 제2닥터블레이드 날(108b)에 의해 잉크(104)가 클리체(100)의 표면으로부터 완전히 제거할 수 있게 되며, 그 결과 패턴불량을 방지할 수 있게 된다.However, in the present invention, as shown in the drawing, the doctor blade with the double blades (108a, 108b) is filled with the ink 104 in the groove 102 of the cliché 100 and at the same time the cliché ( Since the ink on the surface 100 is removed, even when the ink 104 is not removed by the first doctor blade blade 108a, the ink 104 is blocked by the second doctor blade blade 108b. It can be completely removed from the surface of the, thereby preventing the pattern failure.
상기와 같이 클리체(100)의 홈(102) 내부에 충진된 잉크(104)는 도 3(b)에 도시된 바와 같이 클리체(100)의 표면에 접촉하여 회전하는 전사롤(110)의 표면에 전사된다. 전사롤(110)은 제작하고자 하는 기판의 폭 또는 표시소자의 패널의 폭과 동일한 폭으로 형성되며, 패널의 길이와 동일한 길이의 원주를 갖는다. 따라서, 1회의 회전에 의해 클리체(100)의 홈(102)에 충진된 잉크(104)가 모두 전사롤(110)의 원주 표면에 전사된다. 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 전사롤(110)의 원주표면에는 실리콘(silicon)계 물질이 도포되어, 상기 클리체(100)로부터 잉크(104)의 전사를 용이하게 함과 동시에 기판으로의 잉크 재전사를 원활하게 한다.As described above, the ink 104 filled in the groove 102 of the cliché 100 is rotated in contact with the surface of the cliché 100 as shown in FIG. 3 (b). Transferred to the surface. The transfer roll 110 is formed to have the same width as the width of the substrate to be manufactured or the width of the panel of the display element, and has a circumference of the same length as the length of the panel. Therefore, the ink 104 filled in the groove 102 of the cliché 100 is transferred to the circumferential surface of the transfer roll 110 by one rotation. Although not shown in the drawing, a silicon-based material is coated on the circumferential surface of the transfer roll 110 to facilitate the transfer of the ink 104 from the cliché 100 and the ink material to the substrate. Smooth the transfer.
이후, 도 3(c)에 도시된 바와 같이, 상기 전사롤(110)을 기판(120) 위에 형성된 피가공층(121)의 표면과 접촉시킨 상태에서 회전시킴에 따라 상기 전사롤(110)에 전사된 잉크(104)가 피가공층(121)에 재전사되며, 이 재전사된 잉크(104)에 열을 가하고 건조시켜 잉크패턴(122)을 형성한다. 이때에도 상기 전사롤(110)의 1회전에 의해 표시소자의 기판(120) 전체에 걸쳐 원하는 패턴(122)을 형성할 수 있게 된다.Thereafter, as shown in FIG. 3 (c), the transfer roll 110 is rotated in contact with the surface of the layer 120 to be formed on the substrate 120. The transferred ink 104 is retransferred into the layer to be processed 121 and heat is applied to the retransmitted ink 104 and dried to form an ink pattern 122. In this case, the desired pattern 122 may be formed over the entire substrate 120 of the display device by one rotation of the transfer roll 110.
상기한 바와 같이, 그라비아인쇄방식에서는 클리체(100)와 전사롤(110)을 원하는 표시소자의 크기에 따라 제작할 수 있으며, 1회의 전사에 의해 기판(120)에 패턴을 형성할 수 있으므로, 대면적 표시소자의 패턴도 한번의 공정에 의해 형성할 수 있게 된다.As described above, in the gravure printing method, the cliché 100 and the transfer roll 110 can be manufactured according to the desired display element size, and a pattern can be formed on the substrate 120 by one transfer. The pattern of the area display element can also be formed by one process.
피가공층(121)은 TFT의 게이트전극이나 소스/드레인전극, 게이트라인, 데이터라인 혹은 화소전극과 같은 전극을 금속패턴을 형성하기 위한 금속층일수도 있으며, SiOx나 SiNx와 같은 절연층일 수도 있다.The to-be-processed layer 121 may be a metal layer for forming a metal pattern of an electrode such as a gate electrode, a source / drain electrode, a gate line, a data line, or a pixel electrode of the TFT, or may be an insulating layer such as SiOx or SiNx.
실제의 표시소자의 패턴을 형성하는 경우, 상기 잉크패턴(122)은 종래 포토공정에서의 레지스트(resist) 역할을 한다. 따라서, 금속층이나 절연층 위에 상기와 같은 잉크패턴(122)을 형성한 후 일반적인 에칭공정에 의해 금속층이나 절연층을 에칭함으로써 원하는 패턴의 금속층(즉, 전극구조)이나 절연층(예를 들면, 컨택홀 등)을 형성할 수 있게 된다.When forming a pattern of an actual display element, the ink pattern 122 serves as a resist in a conventional photo process. Therefore, after forming the ink pattern 122 as described above on the metal layer or the insulating layer, the metal layer or the insulating layer is etched by a general etching process, so that the metal layer (ie, the electrode structure) or the insulating layer (for example, contact) of the desired pattern Holes, etc.) can be formed.
상기와 같이 그라비아인쇄방식은 많은 장점을 가진다. 특히, 대면적인 표시소자에 1회의 공정에 의해 잉크패턴을 생성할 수 있다는 점은 그라비아인쇄방식이 가질 수 있는 대표적인 장점이다.As described above, the gravure printing method has many advantages. In particular, the fact that the ink pattern can be generated by a single process on a large display device is a representative advantage of the gravure printing method.
또한, 그라비아인쇄방식에서는 전사롤을 이용하여 기판에 잉크를 재전사하는 대신에, 클리체의 홈에 충진된 잉크를 기판상에 직접 전사할 수도 있다. 이러한 직접 전사방식이 도 4에 도시되어 있다.In the gravure printing method, instead of retransferring ink to the substrate using a transfer roll, the ink filled in the grooves of the cliché may be directly transferred onto the substrate. This direct transfer method is shown in FIG.
이 방법에서도 클리체(100)의 홈(102)에 잉크(104)를 충진하는 과정은 도 3의 전사롤을 이용한 방법과 동일하다. 즉, 이중의 날을 가진 닥터블레이드를 클리체(100)의 표면에 접속시킨 상태에서 한쪽 방향으로 진행시켜서, 클리체 홈내부에 잉크를 충진함과 동시에 클리체 표면의 잉크를 완전히 제거한다. 그 후, 도 3과 같이 전사롤(110)의 표면에 클리체(100)의 홈(102)에 충진된 잉크(104)를 전사하는 대신에, 도 4(a)에 도시된 바와 같이, 기판(120)상에 형성된 피가공층(121)을 상기 클리체(100)의 표면에 접촉시킨 상태에서 가열, 가압을 하여 잉크(104)를 피가공층(121)에 직접 전사한다. 즉, 가열 및 가압에 의해 클리체(100)의 홈에 충진된 잉크(104)가 피가공층(122)에 부착되며, 그 결과 도 4(b)에 도시된 바와 같은 잉크패턴(122)을 피가공층(122)에 형성할 수 있게 된다.Also in this method, the process of filling the ink 104 in the groove 102 of the cliché 100 is the same as the method using the transfer roll of FIG. That is, the doctor blade having the double blade is connected to the surface of the cliché 100 in one direction, and the ink is filled in the cleft groove while the ink on the cliché surface is completely removed. Thereafter, instead of transferring the ink 104 filled in the grooves 102 of the cliché 100 to the surface of the transfer roll 110 as shown in FIG. 3, as shown in FIG. The ink 104 is directly transferred to the processing layer 121 by heating and pressing in a state in which the processing layer 121 formed on the 120 is in contact with the surface of the cliché 100. That is, the ink 104 filled in the grooves of the cliché 100 by heating and pressurization is attached to the processing layer 122, and as a result, the ink pattern 122 as shown in FIG. It becomes possible to form in the to-be-processed layer 122. FIG.
상기한 그라비아인쇄방식에 의한 패턴형성방법은 액정표시소자와 같은 표시소자의 능동소자나 회로뿐만 아니라 반도체웨이퍼상에서의 소자형성에도 사용될 수 있을 것이다. 이러한 본 발명의 다른 예나 변형예는 본 발명의 기본적인 개념을 이용하면 본 발명이 속하는 기술분야에 종사하는 사람이라면 누구나 용이하게 창안할수 있을 것이다.The method of forming a pattern by the gravure printing method may be used not only for active devices or circuits of display devices such as liquid crystal display devices, but also for device formation on semiconductor wafers. Such other examples or modifications of the present invention can be easily created by anyone in the art to which the present invention pertains using the basic concept of the present invention.
상술한 바와 같이, 본 발명에서는 그라비아인쇄방법을 이용하여 표시소자등의 패턴을 형성할 때 클리체에 잉크를 충진하는 닥터블레이드를 이중의 날을 가진 닥터블레이드를 사용함으로써 클리체 표면에 잉크가 잔존하는 것을 방지하며, 그 결과 패턴 형성시 잉크 잔존에 의한 패턴불량을 방지할 수 있게 된다.As described above, in the present invention, when forming a pattern of a display element or the like by using a gravure printing method, ink remains on the surface of the cliché by using a doctorblade having double blades as a doctor blade filling the cliché with ink. It is possible to prevent a pattern defect caused by ink remaining during pattern formation.
Claims (11)
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|---|---|---|---|---|
| US7487722B2 (en) | 2005-07-26 | 2009-02-10 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method of manufacturing a display panel with ink recovery |
| KR100972486B1 (en) * | 2003-11-06 | 2010-07-26 | 엘지디스플레이 주식회사 | Method for forming a liquid crystal display device |
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-
2001
- 2001-10-29 KR KR1020010066820A patent/KR20030034975A/en not_active Application Discontinuation
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