KR20030003779A - 반도체 장치 제조용 로봇 블레이드 - Google Patents

반도체 장치 제조용 로봇 블레이드 Download PDF

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KR20030003779A
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강태균
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삼성전자 주식회사
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Abstract

웨이퍼를 안정하고 정확하게 이송할 수 있는 반도체 장치 제조용 로봇 블레이드에 관하여 개시한다. 본 발명은 평판과, 상기 평판의 일단 및 타단에 형성된 웨이퍼 이탈을 방지하기 위한 턱과, 상기 평판 상에 형성된 지지면과, 상기 지지면에 형성된 홈 및 웨이퍼 표면에 대하여 마찰력을 가지며 상기 홈 내에 삽입되어 상기 지지면 상부로 돌출되어 있는 부재를 포함하는 반도체 장치 제조용 로봇 블레이드를 제공한다.

Description

반도체 장치 제조용 로봇 블레이드{Robot blade for manufacturing semiconductor device}
본 발명은 반도체 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 장치 제조용 로봇 블레이드에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼는 통상 그 제조 과정에 있어서 웨이퍼를 카세트에 적재하거나한 공정에서 다음 공정으로 이송하기 위한 일련의 공정에서 예컨대, 로봇과 같은 자동화된 설비를 사용하고 있다.
반도체 웨이퍼에 대하여 각종 처리, 예를 들면 식각이나 이온주입 등을 실시하기 위해서는 우선 다수장, 예를 들면 25장의 웨이퍼가 수납된 카세트가 로드락 챔버 내에 수용된다. 로드락 챔버 내에 수용된 카세트 내의 웨이퍼는 그 후 진공 분위기 하에서 로봇에 의하여 트랜스퍼 챔버를 통하여 공정 챔버로 보내어진다. 즉, 트랜스퍼 챔버내에 장착된 로봇은 웨이퍼를 한 번에 한 개씩 카세트로부터 해제하여 각각의 웨이퍼를 공정 챔버로 차례로 이송한다. 공정 챔버내에서 웨이퍼의 처리작업이 완료되면, 그 웨이퍼는 카세트로 복귀되며(또는 다음 처리챔버로 이송) 로봇은 다른 웨이퍼를 카세트로부터 꺼내어 공정 챔버로 이송한다.
이러한 일련의 작업을 수행하는 로봇은 웨이퍼를 탑재하기 위한 로봇 블레이드를 포함하고 있다. 그러나, 웨이퍼 이송 도중 또는 웨이퍼를 들어올리거나 내려놓는 중에 흔들림에 의하여 웨이퍼가 로봇 블레이드에서 미끄러져 웨이퍼가 로봇 블레이드의 정위치에 놓여 있지 않게 되는 현상이 자주 발생한다. 이와 같은 웨이퍼의 미끄러짐은 로봇 블레이드가 웨이퍼 표면과 마찰력이 거의 없는 스테인레스 재질 또는 세라믹 재질로 되어 있기 때문이다. 웨이퍼가 로봇 블레이드 위에서 전후 또는 좌우로 미끄러지게 되면, 웨이퍼는 공정 챔버의 정위치에 안착되지 못하게 되며 이로 인해 공정상의 오류가 발생할 수 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 웨이퍼를 안정하고 정확하게 이송할수 있는 반도체 장치 제조용 로봇 블레이드를 제공함에 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 반도체 장치 제조용 로봇 블레이드를 도시한 평면도이다.
도 2는 도 1의 반도체 장치 제조용 로봇 블레이드를 A-A' 방향으로 자른 단면도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
W : 웨이퍼100 : 로봇 블레이드
102 : 평판104 : 지지면
106 : 홈108 : 부재
110 : 턱
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여 본 발명은, 평판과, 상기 평판의 일단 및 타단에 형성된 웨이퍼 이탈을 방지하기 위한 턱과, 상기 평판 상에 형성된 지지면과, 상기 지지면에 형성된 홈 및 웨이퍼 표면에 대하여 마찰력을 가지며 상기 홈 내에 삽입되어 상기 지지면 상부로 돌출되어 있는 부재를 포함하는 반도체 장치 제조용 로봇 블레이드를 제공한다.
상기 웨이퍼 표면에 대하여 마찰력을 갖는 상기 부재는 고무 재질의 물질인 것이 바람직하다. 상기 고무 재질의 물질은 탄성 중합체인 것이 바람직하다.
상기 지지면은 상기 평판의 네 모퉁이에 형성되어 있으며, 상기 홈은 상기 지지면 각각에 적어도 1개 이상 형성되어 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세하게 설명하기로 한다. 그러나, 이하의 실시예는 이 기술분야에서 통상적인 지식을 가진 자에게 본 발명이 충분히 이해되도록 제공되는 것으로서, 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 다음에 기술되는 실시예에 한정되는 것은 아니다. 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 반도체 장치 제조용 로봇 블레이드를 도시한 평면도이다. 도 2는 도 1의 반도체 장치 제조용 로봇 블레이드를 A-A' 방향으로 자른 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 반도체 장치제조용 로봇 블레이드(100)는 평판(102)과, 평판(102) 상에 형성된 지지면(104)과, 평판(102)의 일단 및 타단에 형성된 턱(110)을 가진다. 평판은(102) 평탄한 판형으로 이루어진다. 지지면(104)은 평판(102) 상의 네 모퉁이에 섬모양으로 형성되어 있다. 턱(110)은 지지면(104)에 놓이는 웨이퍼(W)가 로봇 블레이드(100)에서 이탈되는 것을 방지하는 역할을 한다.
또한, 지지면(104)에는 적어도 1개 이상의 홈(106)이 형성되어 있다. 홈(106) 내에는 웨이퍼(W)의 미끄러짐을 방지하기 위하여 웨이퍼(W) 표면과 마찰력을 갖는 부재(108)가 삽입된다. 부재(108)는 지지면(104) 상부로 돌출되어 있다. 또한, 웨이퍼(W) 표면과 마찰력을 갖는 부재(108)는 고무 재질의 물질, 예컨대 탄성중합체(polyelestromer)로 이루어져 있다. 웨이퍼(W) 표면과 마찰력을 갖는 부재(108)는 홈으로부터 탈부착이 가능하다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 로봇 블레이드(100)는 지지면(104)의 홈(106) 내에 부착된 웨이퍼(W) 표면과 마찰력을 가지는 부재(108)를 구비하기 때문에, 웨이퍼(W) 이송 도중 또는 웨이퍼(W)를 들어올리거나 내려놓는 중에 웨이퍼(W)가 로봇 블레이드(100)에서 미끄러지는 현상이 발생하지 않는다.
본 발명에 의한 반도체 장치 제조용 로봇 블레이드에 의하면, 웨이퍼 표면과 마찰력이 큰 고무 재질의 물질이 구비되어 있으므로 웨이퍼의 미끄러짐이 없이 웨이퍼를 정확하고 안전하게 이송할 수 있다.
이상, 본 발명의 바람직한 실시예를 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명은상기 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 변형이 가능하다.

Claims (4)

  1. 평판;
    상기 평판의 일단 및 타단에 형성된 웨이퍼 이탈을 방지하기 위한 턱;
    상기 평판 상에 형성된 지지면;
    상기 지지면에 형성된 홈; 및
    웨이퍼 표면에 대하여 마찰력을 가지며, 상기 홈 내에 삽입되어 상기 지지면 상부로 돌출되어 있는 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치 제조용 로봇 블레이드.
  2. 제1항에 있어서, 상기 부재는 고무 재질의 물질인 것을 특징으로 하는 반도체 장치 제조용 로봇 블레이드.
  3. 제2항에 있어서, 상기 고무 재질의 물질은 탄성 중합체인 것을 특징으로 하는 반도체 장치 제조용 로봇 블레이드.
  4. 제1항에 있어서, 상기 지지면은 상기 평판의 네 모퉁이에 형성되어 있으며, 상기 홈은 상기 지지면 각각에 적어도 1개 이상 형성되어 있는 것을 특징으로 하는반도체 장치 제조용 로봇 블레이드.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200471057Y1 (ko) * 2011-11-04 2014-02-03 주식회사 테스 기판 이송 블레이드
KR101449546B1 (ko) * 2007-10-31 2014-10-14 참엔지니어링(주) 기판 이송 장치
KR20170054248A (ko) * 2015-10-22 2017-05-17 램 리써치 코포레이션 플라즈마 프로세싱 시스템과 인터페이싱하는 엔드 이펙터들을 사용한 소모성 부품들의 자동화된 교체
KR20170054249A (ko) * 2015-10-22 2017-05-17 램 리써치 코포레이션 인터페이싱 챔버들을 사용하는 소모성 부품들의 자동화된 교체

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