KR200197283Y1 - Hand of variable pitch - Google Patents
Hand of variable pitch Download PDFInfo
- Publication number
- KR200197283Y1 KR200197283Y1 KR2020000010673U KR20000010673U KR200197283Y1 KR 200197283 Y1 KR200197283 Y1 KR 200197283Y1 KR 2020000010673 U KR2020000010673 U KR 2020000010673U KR 20000010673 U KR20000010673 U KR 20000010673U KR 200197283 Y1 KR200197283 Y1 KR 200197283Y1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- guide
- pickup
- hand
- hand frame
- interval
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2893—Handling, conveying or loading, e.g. belts, boats, vacuum fingers
Abstract
본 고안은 반도체 디바이스간의 간격을 가변시키며, 1회에 16개의 반도체 디바이스를 픽앤플래이스할 수 있는 가변핸드를 개시하고 있다. 개시된 본 고안은 핸드프레임과, 핸드프레임에 고정된 제 1 안내봉과, 제 1 안내봉에 끼워져 미끄럼운동을 하는 복수의 픽업블록과, 핸드프레임에 대하여 승강됨으로서 제 1 안내봉에 대하여 복수의 픽업블록의 간격을 변화시키는 제 1 간격가변수단과, 핸드프레임에 설치된 폭간격조정수단과, 폭간격조정수단에 고정된 제 2 안내봉과, 제 2 안내봉에 끼워져 미끄럼운동을 하는 복수의 픽업블록과, 핸드프레임에 대하여 승강됨으로서 제 2 안내봉에 대하여 복수의 픽업블록의 간격을 변화시키는 제 2 간격가변수단을 포함한다.The present invention discloses a variable hand that can vary the interval between semiconductor devices and can pick and place 16 semiconductor devices at a time. The disclosed subject matter includes a hand frame, a first guide rod fixed to the hand frame, a plurality of pickup blocks fitted to the first guide rod for sliding movement, and a plurality of pickup blocks with respect to the first guide rod by being lifted with respect to the hand frame. A first interval variable stage for varying the distance between the first and second intervals, a width spacing adjusting means installed in the hand frame, a second guide rod fixed to the width spacing adjusting means, a plurality of pickup blocks fitted to the second guide rod and sliding; And a second spacing variable stage that is lifted relative to the handframe to change the spacing of the plurality of pickup blocks with respect to the second guide rod.
Description
본 고안은 다수의 반도체 디바이스를 픽앤플래이스(pick ＆ place)하는 핸드에 관한 것이며, 보다 구체적으로는 다수의 반도체 디바이스를 픽앤플래이스하는 도중에 반도체 디바이스간의 간격을 변화시킬 수 있는 가변핸드에 관한 것이다.The present invention relates to a hand that picks and places a plurality of semiconductor devices, and more particularly, to a variable hand capable of changing a distance between semiconductor devices while picking and placing a plurality of semiconductor devices. .
일반적으로, 반도체 디바이스를 테스트하기 위한 장치인 반도체 디바이스 테스트용 핸들러 시스템의 경우, 반도체 디바이스를 공급하는 사용자 트레이와 반도체 디바이스 테스트용 트레이의 반도체 디바이스 안착부간의 간격이 상이하기 때문에 픽앤플래이스 도중에 다수의 반도체 디바이스 상호간의 간격을 조정하는 것이 요구되며, 또한 테스트의 효율을 높이기 위하여 1회의 픽앤플래이스 동작에 다수의 반도체 디바이스를 흡착하는 것이 필요하다.In general, in the case of a handler system for testing a semiconductor device, which is a device for testing a semiconductor device, since the distance between the user tray for supplying the semiconductor device and the semiconductor device seating portion of the semiconductor device test tray is different, It is required to adjust the spacing between the semiconductor devices, and to adsorb a plurality of semiconductor devices in one pick and place operation in order to increase the efficiency of the test.
이를 위하여, 종래에는 사용자 트레이와 테스트용 트레이의 반도체 디바이스 안착부의 간격 차이를 보정하기 위하여 프리사이저(pre-sizer)라는 피치조정장치를 별도로 사용하거나, 또는 핸드자체에 픽앤플래이스용 실린더의 간격을 조정할 수 있는 링크타입의 간격조정수단을 부가하였다.To this end, conventionally, a pitch adjusting device called a pre-sizer is separately used to correct the gap between the user tray and the test tray's semiconductor device seating portion, or a gap between the pick and place cylinder for the hand tray is used. An adjustable link type spacing means is added.
또한, 테스트 효율을 올리기 위해 통상 8개의 픽앤플래이스용 실린더와 진공패드를 조합한 핸드를 사용하였다.In addition, in order to increase test efficiency, a hand in which eight pick and place cylinders and a vacuum pad were combined was used.
그러나, 상기와 같은 종래의 방법에 의하면, 프리사이저에 의한 경우는 반도체 디바이스의 픽앤플래이스 동작 효율이 좋지 않고, 링크타입의 간격조정수단에 의해 실린더 간격을 조정하는 경우에는 링크에 누적오차가 발생하여 정확한 픽앤플래이스 동작이 이루어지지 않는 문제가 있다.However, according to the conventional method as described above, the pick-and-place operation efficiency of the semiconductor device is not good in the case of the presizer, and the cumulative error in the link is adjusted in the case of adjusting the cylinder gap by the link type gap adjusting means. There is a problem that the exact pick and place operation does not occur.
또한, 반도체 디바이스의 테스트 시간이 반도체 디바이스를 픽앤플래이스하는 시간보다 짧은 경우는 고가의 테스트 장비가 노는 시간이 발생하게 되는 문제도 있다.In addition, when the test time of the semiconductor device is shorter than the time to pick and place the semiconductor device, there is a problem that expensive test equipment is idle.
본 고안은 상기와 같은 문제를 해결하기 위하여 안출된 것으로, 실린더간의 간격조정시 누적오차가 발생하지 않으며, 1회의 픽앤플래이스 동작에 의해 다수의 반도체 디바이스를 핸들링하여 픽앤플래이스 시간을 줄 일 수 있는 반도체 디바이스 테스트용 핸들러 시스템의 가변핸드를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention was devised to solve the above problems, and cumulative errors do not occur when adjusting the distance between cylinders, and the pick and place time can be reduced by handling a plurality of semiconductor devices by one pick and place operation. An object of the present invention is to provide a variable hand of a handler system for testing a semiconductor device.
도 1은 본 고안의 일 실시예에 의한 가변핸드를 나타낸 사시도.1 is a perspective view showing a variable hand according to an embodiment of the present invention.
도 2a은 제 1도에 의한 가변핸드의 실린더 간의 간격이 근접한 상태를 나타낸 도면이고, 도 2b는 가변핸드의 실린더 간의 간격이 떨어진 상태를 나타낸 도면.Figure 2a is a view showing a state in which the distance between the cylinders of the variable hand close to FIG.
도 3는 본 고안의 또 다른 일 실시예에 의한 가변핸드를 나타낸 사시도.3 is a perspective view showing a variable hand according to another embodiment of the present invention.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *
10;핸드프레임 12;안내봉10; hand frame 12; guide rod
14;픽업블록 16;안내돌기14; pickup block 16; guide protrusion
18;간격조정판 18a;안내홈18; Spacing plate 18a; Guide groove
20;구동수단 22;픽업실린더20; drive means 22; pick-up cylinder
30;승강안내수단 32;리니어모션블록30; lifting guide 32; linear motion block
34;리니어모션가이드 100;핸드프레임34; linear motion guide 100; hand frame
102;제 1 안내봉 104;제 2 안내봉102; first guide rod 104; second guide rod
106;제 1 구동수단 108;제 2 구동수단106; first drive means 108; second drive means
110;제 1 승강안내수단 120;제 2 승강안내수단110; first lifting guide means 120; second lifting guide means
130;폭간격조정수단 132;공압실린더130; width interval adjusting means 132; pneumatic cylinder
134;리니어모션블록 136;리니어모션가이드134; linear motion block 136; linear motion guide
138;서브프레임 140;제 1 간격조정수단138; subframe 140; first gap adjusting means
148;제 1 픽업실린더열 150;제 2 간격조정수단148; first pickup cylinder row 150; second interval adjusting means
158;제 2 픽업실린더열158; second pickup cylinder row
상기와 같은 본 고안의 목적은, 핸드프레임; 상기 핸드프레임에 고정된 안내봉; 상기 안내봉에 끼워져 미끄럼운동을 하는 복수의 픽업블록; 및 상기 핸드프레임에 대하여 승강되므로서, 상기 안내봉에 대하여 상기 복수의 픽업블록의 간격을 가변시키는 수단을 포함하는 본 고안에 따른 가변핸드를 제공하므로서 달성된다.An object of the present invention as described above, the hand frame; A guide rod fixed to the hand frame; A plurality of pickup blocks inserted into the guide rods and sliding; And being lifted with respect to the hand frame, thereby providing a variable hand according to the present invention comprising means for varying the spacing of the plurality of pickup blocks with respect to the guide rods.
또한, 상기와 같은 본 고안의 목적은, 핸드프레임; 상기 핸드프레임에 고정된 제 1 안내봉; 상기 제 1 안내봉에 끼워져 미끄럼운동을 하는 복수의 픽업블록; 상기 핸드프레임에 대하여 승강됨으로서 상기 제 1 안내봉에 대하여 상기 복수의 픽업블록의 간격을 변화시키는 제 1 간격가변수단; 상기 핸드프레임에 설치된 폭간격조정수단; 상기 폭간격조정수단에 고정된 제 2 안내봉; 상기 제 2 안내봉에 끼워져 미끄럼운동을 하는 복수의 픽업블록; 및 상기 핸드프레임에 대하여 승강됨으로서 상기 제 2 안내봉에 대하여 상기 복수의 픽업블록의 간격을 변화시키는 제 2 간격가변수단을 포함하는 본 고안에 따른 가변핸드를 제공하므로서 달성될 수 있다.In addition, the above object of the present invention, a hand frame; A first guide rod fixed to the hand frame; A plurality of pickup blocks inserted into the first guide rods and sliding; A first interval variable step of lifting and lowering the handframe to change intervals of the plurality of pickup blocks with respect to the first guide rod; Width interval adjusting means installed in the hand frame; A second guide rod fixed to the width interval adjusting means; A plurality of pickup blocks inserted into the second guide rods and sliding; And it can be achieved by providing a variable hand according to the present invention includes a second interval variable stage for changing the interval of the plurality of pickup blocks with respect to the second guide rod by being elevated relative to the hand frame.
이하, 본 고안의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 보다 구체적으로 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings a preferred embodiment of the present invention will be described in more detail.
첨부된 도 1은 본 고안의 일 실시예에 의한 가변핸드를 나타낸 사시도이다. 도 2는 도 1에 나타낸 가변핸드의 픽업실린더 간의 간격이 변화하는 상태를 도시한 도면으로 도 2a는 간격이 근접한 상태를 나타내고, 도 2b는 간격이 벌어진 상태를 나타낸 것이다.1 is a perspective view showing a variable hand according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a view illustrating a state in which a gap between pickup cylinders of the variable hand shown in FIG. 1 is changed, and FIG. 2A shows a state where the intervals are close, and FIG.
도 1에서 나타낸 바와 같이 본 고안의 일 실시예에 의한 가변핸드는 핸드프레임(10), 2개의 안내봉(12), 복수의 픽업블록(14), 복수의 픽업실린더(22), 픽업실린더 간격조정수단을 포함하고 있다.As shown in FIG. 1, the variable hand according to an embodiment of the present invention includes a hand frame 10, two guide rods 12, a plurality of pickup blocks 14, a plurality of pickup cylinders 22, and a distance between pickup cylinders. Adjustment means are included.
안내봉(12)은 2개가 일정한 간격을 유지하며 핸드프레임(10)에 양단이 고정되어 있고, 복수의 픽업블록(14)은 상기 2개의 안내봉(12)에 미끄럼운동을 할 수 있도록 끼워져 있다.Two guide rods 12 are fixed at both ends of the hand frame 10 at regular intervals, and a plurality of pickup blocks 14 are fitted to slide the two guide rods 12. .
픽업블록 간격조정수단은 상기 복수의 픽업블록(14) 각각에 돌설된 안내돌기(16), 간격조정판(18), 구동수단(20) 및 승강안내수단(30)을 포함하고 있다.The pickup block spacing adjusting means includes a guide protrusion 16, a spacing adjusting plate 18, a driving means 20, and a lifting guide means 30 protruding from each of the plurality of pickup blocks 14.
간격조정판(18)은 상기 안내돌기(16)를 각각 수용하는 복수의 안내홈(18a)이 형성되는데, 상기 복수의 안내홈(18a)은 안내돌기(16)가 안내홈(18a)의 일단에 위치하는 경우는 픽업블록(14)이 서로 근접하고, 타단에 위치하는 경우는 상기 픽업블록(14)간의 간격이 벌어지도록 배치되어 있다.The gap adjusting plate 18 is formed with a plurality of guide grooves 18a respectively accommodating the guide protrusions 16. The plurality of guide grooves 18a have guide protrusions 16 at one end of the guide grooves 18a. When located, the pickup block 14 is close to each other, and when located at the other end, the pickup block 14 is arranged so that the space between the pickup block 14 is widened.
구동수단(20)은 상기 간격조정판(18)을 승강시키는 것으로서, 2개의 공압실린더로 이루어지며 간격조정판(18)의 상단 양측에 공압실린더의 로드가 고정되고 몸체는 핸드프레임(10)에 고정되어 있다.The driving means 20 is to raise and lower the gap adjusting plate 18, which consists of two pneumatic cylinders, the rods of the pneumatic cylinder is fixed to both sides of the upper end of the gap adjusting plate 18 and the body is fixed to the hand frame 10 have.
승강안내수단(30)은 상기 간격조정판(18)이 상기 구동수단(20)에 의해 상하로 승강될 때 그 승강운동을 안내하는 것으로서 리니어모션가이드(34)와 리니어모션블록(32)으로 이루어 진다. 이때, 리니어모션가이드(34)는 핸드프레임(10)의 양단에 설치되고, 리니어모션블록(32)은 간격조정판(18)의 양단에 설치되어 승강직선운동을 안내하게 된다.The elevating guide means 30 is a linear motion guide 34 and a linear motion block 32 for guiding the lifting motion when the gap adjusting plate 18 is moved up and down by the driving means 20. . At this time, the linear motion guide 34 is installed at both ends of the hand frame 10, the linear motion block 32 is installed at both ends of the gap adjusting plate 18 to guide the lifting linear motion.
또한, 각각의 픽업블록(14)의 측면에는 픽업용 실린더(22)가 장착되어 있어 반도체(도시되지 않음)등을 여러개 흡착하여 운반할 수 있다.In addition, the pick-up cylinder 22 is mounted on the side of each pick-up block 14 so that a plurality of semiconductors (not shown) or the like can be absorbed and carried.
상기 가변핸드의 동작을 상세하게 설명하면 다음과 같다.The operation of the variable hand will be described in detail as follows.
좁은 간격의 사용자 트레이(도시되지 않음)에 담겨 있는 반도체를 간격이 넓은 테스트 트레이(도시되지 않음)에 옮기는 경우와 같이 간격이 좁은 상태에서 넓은 상태로 변화하는 경우의 가변핸드의 동작을 본다.The operation of the variable hand in the case of changing from a narrow state to a wide state, such as moving a semiconductor contained in a narrow spaced user tray (not shown) to a wide spaced test tray (not shown), is shown.
가변핸드는 초기에 도 2a에 도시된 바와 같이 픽업블록(14)이 밀착되어 있다. 이때 구동수단(20)인 공압실린더의 로드가 상승하면 로드에 결합된 간격조정판(18)이 리니어모션가이드(34)를 따라 상향으로 움직인다. 따라서, 이 간격조정판(18)에 형성되어 있는 복수의 안내홈(18a)도 상승하기 때문에, 이 안내홈(18a)에 수용되어 있는 안내돌기(16)가 안내홈(18a)의 형상에 따라 움직이게 되어 안내돌기(16) 간의 간격이 벌어지게 된다.The variable hand is initially in close contact with the pickup block 14 as shown in FIG. 2A. At this time, when the rod of the pneumatic cylinder which is the driving means 20 rises, the spacer 18 coupled to the rod moves upward along the linear motion guide 34. Therefore, the plurality of guide grooves 18a formed in the gap adjusting plate 18 also rise, so that the guide protrusions 16 accommodated in the guide grooves 18a move in accordance with the shape of the guide grooves 18a. The gap between the guide protrusions 16 is widened.
상기 안내돌기(16)는 캠팔로우로 구성되며 복수의 픽업블록(14)에 각각 결합되어 있고, 또한 픽업블럭(14)은 안내봉(12)에 미끄럼운동을 할 수 있도록 결합되어 있기 때문에, 결국 간격조절판(18)이 상승하면 픽업블록(14)이 안내봉(12)을 따라 미끄러지게 되어, 간격조절판(18)의 안내홈(18a) 하단부의 간격과 동일하게 픽업블록(14)간의 간격이 벌어지게 된다.Since the guide protrusion 16 is composed of a cam follower and is coupled to each of the plurality of pickup blocks 14, and the pickup block 14 is coupled to the guide rod 12 so as to be slidable, eventually, When the gap adjusting plate 18 is raised, the pickup block 14 slides along the guide rod 12, so that the gap between the pickup blocks 14 is equal to the gap between the lower ends of the guide grooves 18a of the gap adjusting plate 18. It will happen.
즉 가변핸드는 도 2b에 도시된 바와 같은 상태가 되어 흡착한 반도체 등을 간격을 넓힌 상태에서 놓을 수 있게 된다.That is, the variable hand is in a state as shown in FIG. 2B, so that the adsorbed semiconductor or the like can be placed in a state where the interval is widened.
도 3는 본 고안의 또 다른 실시예를 나타낸 사시도이다.Figure 3 is a perspective view showing another embodiment of the present invention.
본 실시예는 도 3에서 나타낸 바와 같이 복수의 픽업실린더가 2열로 설치되어 있어 픽업실린더열 간의 간격도 가변된다.In this embodiment, as shown in Fig. 3, a plurality of pickup cylinders are provided in two rows, so that the interval between the pickup cylinder rows is also varied.
상기 가변핸드는 크게 핸드프레임(100), 제 1 및 제 2 안내봉(102)(104), 다수의 픽업블록, 제 1 및 제 2 간격가변수단 및 폭간격조정수단(130)으로 이루어진다.The variable hand consists of a hand frame 100, first and second guide rods 102 and 104, a plurality of pickup blocks, first and second interval variable stages, and width interval adjusting means 130.
제 1 안내봉(102)은 안내봉 2개가 일정한 간격을 유지하며 핸드프레임(100)에 양단이 고정되어 있고, 복수의 픽업블록(142)은 상기 2개의 안내봉(102)에 미끄럼운동을 할 수 있도록 끼워져 있다.The first guide rods 102 have two guide rods at regular intervals and both ends thereof are fixed to the hand frame 100, and the plurality of pickup blocks 142 may slide on the two guide rods 102. It is fitted so that
제 1 간격가변수단은 복수의 픽업블록(142) 각각에 돌설된 안내돌기(144), 제 1 간격조정판(140), 제 1 구동수단(106), 제 1 승강안내수단(110)을 포함한다.The first interval variable stage includes a guide protrusion 144 protruding from each of the plurality of pickup blocks 142, a first gap adjusting plate 140, a first driving means 106, and a first lifting guide means 110. .
제 1 간격조정판(140)은 상기 안내돌기(144)를 각각 수용하는 복수의 안내홈(140a)이 형성되는데, 상기 복수의 안내홈(140a)은 안내돌기(144)가 안내홈(140a)의 일단에 위치하는 경우는 픽업블록(142)이 서로 근접하고, 타단에 위치하는 경우는 상기 픽업블록(142)간의 간격이 벌어지도록 배치되어 있다.The first spacing plate 140 is formed with a plurality of guide grooves 140a for receiving the guide protrusions 144, respectively, the guide grooves 140a are guide protrusions 144 of the guide grooves 140a. When located at one end, the pickup block 142 is adjacent to each other, and when located at the other end, the pickup block 142 is arranged so that the space between the pickup block 142 is widened.
제 1 구동수단(106)은 상기 제 1 간격조정판(140)을 승강시키는 것으로서, 2개의 공압실린더로 이루어지며 제 1 간격조정판(140)의 상단 양측에 공압실린더의 로드가 고정되고 몸체는 핸드프레임(100)에 고정되어 있다.The first driving means 106 is to elevate the first spacing plate 140, consisting of two pneumatic cylinders, the rods of the pneumatic cylinder is fixed to both sides of the upper end of the first spacing plate 140, the body is a hand frame It is fixed to 100.
제 1 승강안내수단(110)은 상기 제 1 간격조정판(140)이 상기 제 1 구동수단(106)에 의해 승강될 때 그 승강운동을 안내하는 것으로서 리니어모션가이드(114)와 리니어모션블록(112)으로 이루어 진다. 이때, 리니어모션가이드(114)는 핸드프레임(100)의 양단에 설치되고, 리니어모션블록(112)은 제 1 간격조정판(140)의 양단에 설치되어 직선운동을 안내하게 된다.The first lifting guide means 110 guides the lifting motion when the first gap adjusting plate 140 is lifted by the first driving means 106, the linear motion guide 114 and the linear motion block 112. ) At this time, the linear motion guide 114 is installed at both ends of the hand frame 100, the linear motion block 112 is installed at both ends of the first spacing plate 140 to guide the linear motion.
폭간격조정수단(130)은 2개의 공압실린더(132)와, 4개의 리니어모션 가이드 (136)와 리니어모션블록(134), 및 서브프레임(138)으로 이루어진다. 리니어모션가이드(136)는 핸드프레임(100)의 제 1 안내봉(102)이 설치된 면에 안내봉과 직각을 이루는 방향으로 상기 안내봉(102)의 상측과 하측에 각각 1개씩, 핸드프레임(100)의 양측에 설치된다. 상기 리니어모션가이드(136)에는 각각 리니어모션블록(134)이 연결되고, 리니어모션블록(134)에는 서브프레임(138)이 결합되어 있다. 이 서브프레임(138)의 상단 양측에는 2개의 공압실린더(132)의 로드가 각각 연결되어 있고, 이 공압실린더는 핸드프레임(100)에 고정되어 있다.The width interval adjusting means 130 includes two pneumatic cylinders 132, four linear motion guides 136, a linear motion block 134, and a subframe 138. The linear motion guide 136 is one on each of the upper and lower sides of the guide rod 102 in a direction perpendicular to the guide rod on the surface on which the first guide rod 102 of the hand frame 100 is installed. It is installed on both sides of). The linear motion guide 136 is connected to the linear motion block 134, respectively, and the linear motion block 134 is coupled to the subframe 138. The rods of two pneumatic cylinders 132 are respectively connected to both upper ends of the subframe 138, and the pneumatic cylinders are fixed to the hand frame 100.
제 2 안내봉(104)은 안내봉 2개가 일정한 간격을 유지하며 상기 서브프레임(138)에 양단이 고정되어 있으며, 복수의 픽업블록(152)은 상기 2개의 제 2 안내봉(104)에 미끄럼운동을 할 수 있도록 끼워져 있다.The second guide rod 104 has two guide rods at regular intervals and both ends thereof are fixed to the subframe 138, and the plurality of pickup blocks 152 slide on the two second guide rods 104. It is fitted for exercise.
제 2 간격가변수단은, 복수의 픽업블록(152) 각각에 돌설된 안내돌기, 제 2 간격조정판(150), 제 2 구동수단(108), 제 2 승강안내수단(120)을 포함하고 있다.The second interval variable stage includes a guide protrusion protruding from each of the plurality of pickup blocks 152, a second gap adjusting plate 150, a second driving means 108, and a second lifting guide means 120.
제 2 간격조정판(150)은 상기 안내돌기를 각각 수용하는 복수의 안내홈이 형성되는데, 상기 복수의 안내홈은 안내돌기가 안내홈의 일단에 위치하는 경우는 픽업블록(152)이 서로 근접하고, 타단에 위치하는 경우는 상기 픽업블록(152)간의 간격이 벌어지도록 배치되어 있다.The second spacing plate 150 is formed with a plurality of guide grooves for receiving the guide projections, respectively, the plurality of guide grooves when the guide projection is located at one end of the guide groove, the pickup block 152 is close to each other If the other end is located, the space between the pickup block 152 is arranged to be widened.
제 2 구동수단(108)은 상기 제 2 간격조정판(150)을 승강시키는 것으로서, 2개의 공압실린더로 이루어지며 제 2 간격조정판(150)의 상단 양측에 공압실린더의 로드가 고정되고 몸체는 서브프레임(138)에 고정되어 있다.The second driving means 108 is to lift the second spacing plate 150, which consists of two pneumatic cylinders, the rods of the pneumatic cylinder is fixed to both sides of the upper end of the second spacing plate 150, the body is a subframe It is fixed at 138.
제 2 승강안내수단(120)은 제 2 간격조정판(150)이 제 2 구동수단(108)에 의해 승강될 때 그 승강운동을 안내하는 것으로서 리니어모션가이드와 리니어모션블록으로 이루어 진다. 이때, 리니어모션가이드는 서브프레임(138)의 양단에 설치되고, 리니어모션블록은 제 2 간격조정판(150)의 양단에 설치되어 직선운동을 안내하게 된다.The second lifting guide means 120 guides the lifting motion when the second spacing adjusting plate 150 is lifted by the second driving means 108, and includes a linear motion guide and a linear motion block. At this time, the linear motion guide is installed at both ends of the subframe 138, and the linear motion block is installed at both ends of the second spacing adjusting plate 150 to guide the linear motion.
또한, 각각의 픽업블록의 측면에는 픽업실린더(146)(156)가 장착되어 있어 반도체 디바이스 등을 동시에 여러개 흡착하여 운반할 수 있다.In addition, pick-up cylinders 146 and 156 are mounted on the side surfaces of each pick-up block, so that a plurality of semiconductor devices and the like can be absorbed and carried at the same time.
본 실시예에 의한 가변핸드의 동작을 설명한다.The operation of the variable hand according to the present embodiment will be described.
각 열을 이루는 픽업실린더간의 간격을 가변시키는 것은 앞에서 설명한 다른 실시예의 동작과 동일하므로, 제 1 픽업실린더열(148)와 제 2 픽업실린더열(158) 간의 간격을 가변시키는 동작만을 설명한다.Since varying the interval between pickup cylinders forming each column is the same as the operation of the other embodiment described above, only the operation of varying the interval between the first pickup cylinder row 148 and the second pickup cylinder row 158 will be described.
핸드프레임(100)에 고정된 공압실린더(132)의 로드가 전진하면, 이 로드에 결합되어 있는 서브프레임(138)이 리니어모션가이드(136)를 따라 직선운동을 하여 제 1 픽업실린더열(148)과 제 2 픽업실린더열(158)이 벌어지게 된다. 공압실린더(132)의 로드가 후퇴하는 경우는 상기와 반대로 제 1 및 제 2 픽업실린더열 간의 간격이 좁아지게 된다.When the rod of the pneumatic cylinder 132 fixed to the hand frame 100 is advanced, the subframe 138 coupled to the rod is linearly moved along the linear motion guide 136, so that the first pickup cylinder row 148 ) And the second pickup cylinder row 158 are opened. When the rod of the pneumatic cylinder 132 is retracted, the interval between the first and second pickup cylinder rows is narrowed as opposed to the above.
상기에서 복수의 픽업실린더는 핸들링하는 시스템의 상태에 따라 임의로 설정할 수 있지만 바람직하게는 1열에 8개 씩 총 16개의 실린더를 사용하는 것이다.Although the plurality of pickup cylinders can be arbitrarily set according to the state of the handling system, a total of 16 cylinders of eight in a row are preferably used.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 고안에 의하면, 안내돌기의 역할을 하는 캠팔로우가 간격조정판의 각각의 안내홈에 의해 안내되어 각 실린더 간의 간격을 조정하기 때문에 종래와 같은 누적오차가 발생되지 않게 된다.As described above, according to the present invention, since the cam follower serving as the guide protrusion is guided by each guide groove of the gap adjusting plate to adjust the gap between the cylinders, cumulative errors as in the prior art do not occur.
또한, 1회의 픽앤플래이스 동작으로 16개의 반도체 디바이스를 핸들링할 수 있기 때문에 픽앤플래이스 동작시간을 줄일 수 있으므로, 반도체 테스트장비의 효율향상도 이룰 수 있게 된다.In addition, since 16 semiconductor devices can be handled in one pick and place operation, pick and place operation time can be reduced, thereby improving efficiency of semiconductor test equipment.
이상에서는 본 고안의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고, 또한 설명하였으나, 본 고안은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 이하 청구범위에서 청구하는 본 고안의 요지를 벗어남이 없이 당해 고안이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 다양한 변형실시가 가능할 것이다.In the above described and preferred embodiments of the subject innovation, but also described, the subject innovation is not limited to the specific preferred embodiment described above, the subject innovation belongs without departing from the gist of the subject innovation claimed in the claims below Those skilled in the art will be able to implement various modifications.
Claims (12)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2020000010673U KR200197283Y1 (en) | 1999-12-06 | 2000-04-15 | Hand of variable pitch |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019990055206 | 1999-12-06 | ||
| KR2020000010673U KR200197283Y1 (en) | 1999-12-06 | 2000-04-15 | Hand of variable pitch |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019990055206 Division | 1999-12-06 | 1999-12-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR200197283Y1 true KR200197283Y1 (en) | 2000-09-15 |
Family
ID=26636407
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR2020000010673U KR200197283Y1 (en) | 1999-12-06 | 2000-04-15 | Hand of variable pitch |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR200197283Y1 (en) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100622415B1 (en) | 2004-12-06 | 2006-09-19 | 미래산업 주식회사 | Device Transfer for Semiconductor Test Handler |
| KR100628553B1 (en) | 2005-11-23 | 2006-09-26 | (주)테크윙 | Pick and place apparatus |
| KR100716257B1 (en) * | 2005-07-13 | 2007-05-08 | 하아나반도체장비 주식회사 | Pick-up system for printed circuit board |
| KR100890816B1 (en) | 2007-09-12 | 2009-03-30 | 주식회사 프로텍 | Device auto pitch module |
| KR100920214B1 (en) | 2008-03-13 | 2009-10-05 | 한국기계연구원 | Apparatus for picking up semiconductor chips |
| KR100959372B1 (en) * | 2008-03-24 | 2010-05-24 | 미래산업 주식회사 | Transferring Semiconductor, Handler having the same, and Method of Manufacturing Semiconductor using the same |
| KR101029064B1 (en) * | 2008-12-29 | 2011-04-15 | 미래산업 주식회사 | Apparatus for Transferring Semiconductor chips and Test Handler having the same |
| KR200474199Y1 (en) | 2012-09-25 | 2014-08-28 | 세메스 주식회사 | Apparatus for picking up semiconductor devices |
| KR20210079226A (en) * | 2019-12-19 | 2021-06-29 | 에스엠시 가부시키가이샤 | Variable pitch device |
| CN114194811A (en) * | 2021-12-22 | 2022-03-18 | 博众精工科技股份有限公司 | Feeding device with adjustable interval |
| KR20230001279A (en) | 2021-06-28 | 2023-01-04 | 피에스엠피주식회사 | Apparatus for adjusting pitch of pickers for semiconductor device |
-
2000
- 2000-04-15 KR KR2020000010673U patent/KR200197283Y1/en not_active IP Right Cessation
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100622415B1 (en) | 2004-12-06 | 2006-09-19 | 미래산업 주식회사 | Device Transfer for Semiconductor Test Handler |
| KR100716257B1 (en) * | 2005-07-13 | 2007-05-08 | 하아나반도체장비 주식회사 | Pick-up system for printed circuit board |
| KR100628553B1 (en) | 2005-11-23 | 2006-09-26 | (주)테크윙 | Pick and place apparatus |
| KR100890816B1 (en) | 2007-09-12 | 2009-03-30 | 주식회사 프로텍 | Device auto pitch module |
| KR100920214B1 (en) | 2008-03-13 | 2009-10-05 | 한국기계연구원 | Apparatus for picking up semiconductor chips |
| KR100959372B1 (en) * | 2008-03-24 | 2010-05-24 | 미래산업 주식회사 | Transferring Semiconductor, Handler having the same, and Method of Manufacturing Semiconductor using the same |
| KR101029064B1 (en) * | 2008-12-29 | 2011-04-15 | 미래산업 주식회사 | Apparatus for Transferring Semiconductor chips and Test Handler having the same |
| KR200474199Y1 (en) | 2012-09-25 | 2014-08-28 | 세메스 주식회사 | Apparatus for picking up semiconductor devices |
| KR20210079226A (en) * | 2019-12-19 | 2021-06-29 | 에스엠시 가부시키가이샤 | Variable pitch device |
| KR102454409B1 (en) * | 2019-12-19 | 2022-10-14 | 에스엠시 가부시키가이샤 | Variable pitch device |
| US11780685B2 (en) | 2019-12-19 | 2023-10-10 | Smc Corporation | Variable pitch device |
| KR20230001279A (en) | 2021-06-28 | 2023-01-04 | 피에스엠피주식회사 | Apparatus for adjusting pitch of pickers for semiconductor device |
| CN114194811A (en) * | 2021-12-22 | 2022-03-18 | 博众精工科技股份有限公司 | Feeding device with adjustable interval |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR200197283Y1 (en) | Hand of variable pitch | |
| US8756799B2 (en) | Substrate accommodating tray pallet | |
| CN210167338U (en) | Chip pick-up device | |
| KR100958274B1 (en) | Stacker | |
| JP2020019143A (en) | Roller unit for mold transfer | |
| KR101046704B1 (en) | Pickup device for semiconductor device | |
| KR20000002851U (en) | Handler for Semiconductor Package Transfer | |
| KR102235451B1 (en) | Pitch control apparatus and pick-up device for semiconductor having the same | |
| KR20020049848A (en) | Picker interval controller for handler | |
| KR100828406B1 (en) | Transfer apparatus for test handler transferring semiconductor device and test handler having the same | |
| KR100980791B1 (en) | Apparatus for Transferring Electronic Device | |
| KR100291587B1 (en) | device for adjusting distance of picker in burn-in test handler | |
| KR100519983B1 (en) | substrate transfer apparatus and method of substrate transfer | |
| KR20210112944A (en) | Test handler for electronic component | |
| KR101054955B1 (en) | Electronic Component Transfer Device | |
| JP3402172B2 (en) | Apparatus and method for mounting conductive ball | |
| TW202138827A (en) | Test handler for electronic component | |
| KR101029064B1 (en) | Apparatus for Transferring Semiconductor chips and Test Handler having the same | |
| KR200165876Y1 (en) | Lead-frame transfer apparatus of semiconductor | |
| KR100311745B1 (en) | Tray Plate of Handler | |
| CN220392558U (en) | Handling device for IGBT product detection | |
| CN219526778U (en) | Sheet supporting device and plasma equipment | |
| CN220593217U (en) | Flexible positioning carrier | |
| KR20080102514A (en) | A semiconductor device transferring apparatus | |
| KR100716052B1 (en) | Feeding apparatus for semiconductor lead-frame and the method thereof |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| U107 | Dual application of utility model | ||
| REGI | Registration of establishment | ||
| T701 | Written decision to grant on technology evaluation | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20080708 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |