KR200165874Y1 - 반도체 웨이퍼 이동용 트위저 - Google Patents

Abstract

본 고안은 반도체 웨이퍼 이동용 트위저에 관한 것으로, 종래에는 카세트에서 웨이퍼를 빼내거나 수납시 흡착부 하면과 다른 웨이퍼가 접촉하여 웨이퍼에 긁힘이 발생하는 문제점이 있었다. 본 고안 반도에 웨이퍼 이동용 트위저는 상면에 흡입홀이 형성된 흡착부의 이면에 에어를 방출하기 위한 방출홀을 형성하여, 카세트에서 웨이퍼를 빼내거나 또는 카세트에 웨이퍼를 수납할때 흡착부의 후방에 위치하는 다른 웨이퍼를 밀어내도록 함으로서, 흡착부의 하면과 다른 웨이퍼가 접촉하여 긁힘이 발생하는 것을 방지하게 되고, 따라서 긁힘에 의한 재작업 및 불량처리가 줄어들게 되어 생산성이 향상되는 효과가 있다.

Description

반도체 웨이퍼 이동용 트위저

제1도는 종래 반도체 웨이퍼 이동용 트위저를 보인 것으로,

(a)는 앞면의 평면도.

(b)는 뒷면의 평면도.

제2도는 본 고안 반도체 웨이퍼 이동용 트위저의 뒷면을 보인 평면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

11 : 이면 11a : 방출홀

12 : 손잡이부

본 고안은 반도체 웨이퍼(WAFER) 이동용 트위저(TWEEZER)에 관한 것으로, 특히 웨이퍼의 긁힘(SCRATCH)을 방지하도록 하는데 적합한 반도체 웨이퍼 이동용 트위저에 관한 것이다.

일반적으로 카세트로 이동된 웨이퍼를 카세트(CASSETTE)에서 빼낼때나. 다시 웨이퍼를 카세트의 슬롯에 수납할 때는 트위저라고 하는 웨이퍼 이동용 치구를 이용하게 되는데, 이와 같은 일반적인 트위저가 제1도에 도시되어 있는 바, 이를 간단히 설명하면 다음과 같다.

제1도는 종래 반동체 이동용 트위저를 보인 것으로, (a)는 앞면을 보인 평면도이고, (b)는 뒷면을 보인 평면도이다.

도시된 바와 같이, 종래 반도체 웨이퍼 이동용 트위저는 진공으로 웨이퍼를 흡착하기 위한 흡입홀(1a)이 구비된 흡착부(1)와 그 흡착부(1)에 연결되며 웨이퍼 이동시 손으로 파지하기 위한 손잡이부(2)로 구성되어 있다.

이와 같이 구성된 트위저는 작업자가 손잡이부(2)를 파지하고, 상기 흡입홀(1a)이 형성된 흡착부(1)의 상면을 이동을 하고자 하는 웨이퍼에 대고 진공을 작동하여 웨이퍼를 흡착한다. 그런 다음 이동을 하고자 하는 곳으로 웨이퍼를 이동한 후, 흡입홀(1a)에 작동하는 진공상태를 중단시킴으로서 흡착부(1)에서 웨이퍼가 떨어져 웨이퍼 이동을 완료하는 것이다.

그러나, 상기와 같은 종래 반도체 웨이퍼 이동용 트위저는 카세트에서 웨이퍼를 빼낼때나 또는 카세트에 웨이퍼를 수납할때 흡착부(1)의 하면에 다른 웨이퍼가 접촉하게 되어 웨이퍼에 긁힘을 발생시키게 되며, 이와 같이 긁힘이 발생된 웨이퍼는 재작업을 실시하거나, 심할경우에는 불량처리를 하여야 하므로 그로인한 생산성이 저하되는 문제점이 있었다.

상기와 같은 문제점을 감안하여 안출한 본 고안의 목적은 카세트에서 웨이퍼를 수납하거나 빼낼때 다른 웨이퍼에 긁힘이 발생되는 것을 방지하도록 하는데 적합한 반도체 웨이퍼 이동용 트위저를 제공함에 있다.

상기와 같은 본 고안의 목적을 달성하기 위하여 상면에 흡입홀이 형성되어 있는 흡착부와, 그 흡착부에 연결된 손잡이부로 구성되어 있는 반도체 웨이퍼 이동용 트위저에 있어서, 상기 흡착부의 이면에 웨이퍼 이동시 에어를 방출하기 위한 방출홀을 형성하여서 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 이동용 트위저가 제공된다.

이하, 상기와 같은 본 고안 반도체 웨이퍼 이동용 트위저를 첨부된 도면의 실시예를 참고하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.

본 고안 반도체 웨이퍼 이동용 트위저의 앞면구조는 종래와 도면 1과 동일하다. 즉, 도 1에서와 같이 웨이퍼를 흡착하기 위한 흡입홀(1a이 형성된 흡착부(1)와, 그 흡착부(1)에 연결된 손잡이부(2)로 구성된다.

그리고, 상기 흡착부(1)의 이면(11)에는 도 2와 같이, 카세트에 웨이퍼를 수납하거나 빼낼때 에어를 방출하기 위한 수개의 방출홀(11a)이 전, 후방향의 일자 형태로 형성된다.

본 실시예에서는 상기 방출홀(11a)이 3개 형성되어 있는 것을 도시하였으나, 꼭 그에 한정하는 것은 아니며, 웨이퍼 이동시 후방에 위치한 다른 웨이퍼가 흡착부(1)의 이면(11)에 접촉되지 않도록 밀어내기에 충분한 갯수를 설치하면 된다.

또한, 상기 방출홀(11a)를 전,후방향의 1자형태로 형성하였으나, 이또한 다른 웨이퍼를 밀어내기에 용이한 구조이면, 삼각형 형태 또는 사각형형태 등 어느 형태로 형성 하여도 무방하다.

상기와 같이 구성된 본 고안 반도체 웨이퍼 이동용 트위저는 작업자가 손잡이부(2)를 파지하고 이동하고자 하는 웨이퍼의 하면에 흡착부(1)를 밀착한 후, 흡착부(1)의 상면에 형성된 흡입홀(미도시)을 이용하여 웨이퍼를 흡착한 다음, 이동하고자 하는 곳을 웨이퍼를 이동하여 진공을 제거함으로서 웨이퍼의 이동을 완료하게 된다.

그리고, 상기와 같이 웨이퍼를 이동시에 카세트에서 웨이퍼를 빼내거나, 웨이퍼를 수납하는 경우가 발생하는데, 이때 본 고안의 요부인 방출홀(11a)에서 에어를 방출하도록 하여 트위저의 흡착부(1) 후방에 위치하는 다른 웨이퍼가 뒤로 밀리게 함으로서 흡착부(1)의 이면(11)과 다른 웨이퍼가 접촉되지 않게 되는 것이다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 고안 반도체 웨이퍼 이동용 트위저는 상면에 흡입홀이 형성된 흡착부의 이면에 에어를 방출하기 위한 수개의 방출홀을 형성하여, 카세트에서 웨이퍼를 빼내거나 또는 카세트에 웨이퍼를 수납할때 흡착부의 후방에 위치하는 다른 웨이퍼를 밀어내도록 함으로서, 흡착부의 하면과 다른 웨이퍼가 접촉하여 긁힘이 발생하는 것을 방지하게 되고, 따라서 긁힘에 의한 재작업 및 불량처리가 줄어들게 되어 생산성이 향상되는 효과가 있다.

Claims (1)

1. 상명에 흡입홀이 형성되어 있는 흡착부와, 그 흡착부에 연결된 손잡이부로 구성되어 있는 반도체 웨이퍼 이동용 트위저에 있어서, 상기 흡착부의 이면에 웨이퍼 이동시 에어를 방출하기 위한 방출홀을 형성하여서 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 이동용 트위저.