KR20010054424A - 웨이퍼를 스피닝하기 위한 웨이퍼 척 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (8)
- 반도체 디바이스 제조공정에서 웨이퍼를 스피닝하기 위한 웨이퍼 척에 있어서,상기 웨이퍼를 지지하기 위한 웨이퍼 서포터와;상기 웨이퍼 서포터를 스피닝시키기 위하여 상기 웨이퍼 서포터와 동일한 회전중심을 갖도록 연결되는 스핀들 수단 및;상기 웨이퍼를 홀딩하기 위한 복수개의 홀더들을 포함하되,상기 홀더들의 각각은 상기 웨이퍼 서포터가 스피닝될 때 원심력에 의해서 상기 웨이퍼를 홀딩하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼를 스피닝하기 위한 웨이퍼 척.
- 제 1 항에 있어서,상기 홀더들의 각각은 상기 웨이퍼 서포터가 스피닝될 때 회전력에 의해서 상기 웨이퍼의 반경 방향으로 힌지 운동되도록 상기 웨이퍼 서포터에 결합되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼를 스피닝하기 위한 웨이퍼 척.
- 제 2 항에 있어서,상기 홀더들의 각각은 상부에 형성된 제 1 오프닝과, 상기 웨이퍼 서포터의 회전중심의 반대 방향으로 형성된 제 2 오프닝 및 상부 내측에서 상기 웨이퍼를 지지하는 턱을 갖는 케이스 및;상기 케이스의 내부에서 힌지 결합되고, 하부와 상기 제 1 오프닝을 통하여 돌출되어 있는 돌기를 포함하는 록커를 구비하여, 상기 웨이퍼 서포터가 회전될 때 상기 록커의 하부가 상기 제 2 오프닝을 통하여 기울어짐과 동시에 상부의 돌기가 상기 웨이퍼의 가장자리에 밀착되어 상기 웨이퍼를 홀딩하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼를 스피닝하기 위한 웨이퍼 척.
- 제 2 항에 있어서,상기 홀더들은 상기 웨이퍼 서포터의 회전중심으로부터 동일한 거리를 갖도록 상기 웨이퍼 서포터에 결합되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼를 스피닝하기 위한 웨이퍼 척.
- 제 1 항에 있어서,상기 홀더들은 플라스틱 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼를 스피닝하기 위한 웨이퍼 척.
- 제 3 항에 있어서,상기 돌기는 상기 웨이퍼 서포터가 스피닝될 때 상기 웨이퍼의 가장자리 측면과 윗면을 동시에 누르도록 "ㄱ"자 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼를 스피닝하기 위한 웨이퍼 척.
- 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 웨이퍼 서포터는 원반형 플레이트인 것을 특징으로 하는 웨이퍼를 스피닝하기 위한 웨이퍼 척.
- 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 웨이퍼 서포터는 복수개의 핑거들을 갖는 플레이트이고, 상기 홀더들은 상기 핑거들의 끝단에 위치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼를 스피닝하기 위한 웨이퍼 척.
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