KR20010006602A - Laminography apparatus and method thereof - Google Patents

Abstract

PURPOSE: Laminography system and method are provided to prevent distortion of images by directly obtaining radiation images transmitted through an object by a plane radiation detector, thereby omitting the image distortion amending process and easily controlling the laminography system. CONSTITUTION: A laminography system includes a stacking table(110) for stacking an object, an element(120) for radiating X-rays to the object at various positions on a single plane, a plurality of plane radiation detectors(130) mounted in positions to be radiated by the x-rays radiated from the radiation element for obtaining and outputting electrical image signals from partial images of a plurality of x-ray parts transmitted through the object, and an image processor(140) for synthesizing the plurality of partial images obtained by the plane radiation detector to obtain a laminographic image of the object.

Description

단층영상 촬영장치 및 방법{Laminography apparatus and method thereof}Tomographic imaging apparatus and method

본 발명은 피검사물의 단층영상을 획득하여 직접 육안으로 확인할 수 없는 피검사물의 내부를 검사하기 위한 단층영상 촬영장치 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a tomography imaging apparatus and method for acquiring a tomography image of an inspected object and inspecting the inside of the inspected object which cannot be directly visually confirmed.

일반적으로, 공산품의 생산 공정에서는 생산된 제품의 이상 여부를 확인하기 위한 여러 가지 품질 검사가 실시되고 있다. 이 중, 인쇄 회로 기판에 실장된 전자 부품들의 납땜 등과 같이 육안으로 직접 그 이상 유무를 확인할 수 없는 대상에 관해서는 방사선 단층영상, 예컨대 X선 단층영상(이하, 'X선 단층영상'이라 칭한다)을 통한 품질 검사가 실시되고 있다. 이러한 X선 단층영상을 이용한 품질 검사는 도 1에 도시된 바와 같은 단층영상 촬영장치(Laminography system)라는 전용의 기기에 의해 이루어진다.In general, in the production process of industrial products, various quality inspections are performed to check whether the produced product is abnormal. Among these, a radiation tomography image, for example, an X-ray tomography image (hereinafter, referred to as an "X-ray tomography image"), refers to an object that cannot be directly identified by the naked eye, such as soldering electronic components mounted on a printed circuit board. Quality inspections are being conducted. The quality inspection using the X-ray tomography image is performed by a dedicated device called a tomography system as shown in FIG. 1.

이와 같은 종래의 단층영상 촬영장치는, 도 1에 도시된 바와 같이, 탑재 테이블(10), X선 조사기(20), 영상 증배관(30), 뷰 셀렉터(40) 및 카메라(50)를 포함한다. X선 조사기(20)에서 조사되는 X선은 도 2에 도시된 바와 같이, 원주를 따라 일정 속도로 회전된다. 이와 같이 회전되는 X선은 탑재 테이블(10)에 탑재된 피검사물(E)을 투과하게 된다. 피검사물(E)을 투과한 X선은 영상 증배관(30)을 통해 가시 영상으로 상을 맺게 된다.As shown in FIG. 1, the conventional tomography imaging apparatus includes a mounting table 10, an X-ray irradiator 20, an image multiplier tube 30, a view selector 40, and a camera 50. do. X-rays irradiated from the X-ray irradiator 20 are rotated at a constant speed along the circumference, as shown in FIG. The X-ray rotated in this way is transmitted through the inspection object E mounted on the mounting table 10. The X-rays transmitted through the test object E form an image as a visible image through the image multiplier tube 30.

이 때, 얻고자 하는 영상은 X선의 발생 위치에 따라 영상 증배관(30)의 영상면(32)에서 도 2와 같이, 서로 다른 위치에 맺힌다. 이렇게 서로 다른 위치에 맺히는 영상들은 각기 서로 다른 방향에서 X선을 투과시켜 얻은 부분영상으로, 이 부분영상들을 특정한 방법으로 합성하여 하나의 단면에 대한 X선 단층영상을 얻는다.At this time, the image to be obtained is formed at different positions on the image plane 32 of the image multiplier 30 as shown in FIG. The images formed at different positions are partial images obtained by transmitting X rays in different directions, and the partial images are synthesized by a specific method to obtain an X-ray tomography image of one cross section.

통상적으로 X선이 원주를 따라 이동될 때, 피검사물을 투과된 부분영상 역시 영상 증배관(30)의 영상면(32) 상에서 원주를 따라 움직이게 된다. 따라서, 뷰 셀렉터(40)를 통해 영상면(32) 상의 부분영상을 선택하고 이들 부분영상을 카메라(50)로 취득한다.Typically, when the X-ray is moved along the circumference, the partial image transmitted through the test object is also moved along the circumference on the image surface 32 of the image multiplier 30. Accordingly, partial images on the image surface 32 are selected through the view selector 40 and these partial images are acquired by the camera 50.

여기서 뷰 셀렉터(40)는 두 개의 거울을 이용하여 영상면(32)의 특정 위치에 맺힌 영상을 카메라(50)로 유도하는 것이며, 그 대표적인 예가 포 피아이 시스템사(Four PI Systems Corporation)에 허여된 미국특허 제 4,926,452호와 서모스펙트라사(ThermoSpectra Corporation)에 허여된 미국특허 제 5,594,770호에 각각 개시되어 있다.Here, the view selector 40 guides the image formed at a specific position of the image plane 32 to the camera 50 using two mirrors, and a representative example thereof is given to Four PI Systems Corporation. US Pat. No. 4,926,452 and US Pat. No. 5,594,770 to ThermoSpectra Corporation, respectively.

포 피아이 시스템사의 뷰 셀렉터는 도 3에 도시된 바와 같이, 서로 비스듬히 마주보고 설치된 한 쌍의 거울(42', 44')이 영상면(32)을 따라 이동되는 영상과 동일한 속도로 회전되며 원주 상의 영상을 카메라(50)로 유도한다. 서모스펙트라사 제품의 경우는, 도 4에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 거울(42", 44")이 영상 증배관의 하측에서 각각 X축 및 Y축을 중심으로 회전 가능하게 설치되어 있다. 영상 증배관의 영상면(32)에 맺힌 부분영상이 이동될 때, 한 쌍의 거울은 영상면(32) 상의 특정 영역의 부분영상이 선택되도록 X축 및 Y축을 중심으로 회전된다. 이에 따라 영상면(32) 상의 부분영상이 한 쌍의 거울(42", 44")에 차례로 반사되어 카메라(50)에 잡히게 된다. 한편 도 4에서 부호 43", 45"는 한 쌍의 거울(42", 44")을 회전시키기 위한 모터이다.As shown in FIG. 3, the view selector of the Popeye system is rotated at the same speed as the image in which a pair of mirrors 42 ′ and 44 ′ installed at an angle to each other are rotated along the image plane 32. Guide the image to the camera 50. In the case of Thermosectra Co., a pair of mirrors 42 "and 44" are rotatably provided around the X-axis and the Y-axis, respectively, as shown in the lower side of the image multiplier. When the partial image formed on the image plane 32 of the image multiplier is moved, the pair of mirrors are rotated about the X-axis and the Y-axis so that the partial image of a specific region on the image plane 32 is selected. Accordingly, the partial image on the image surface 32 is sequentially reflected by the pair of mirrors 42 "and 44" and captured by the camera 50. In FIG. 4, reference numerals 43 ″ and 45 ″ denote motors for rotating the pair of mirrors 42 ″ and 44 ″.

그러나, 상기와 같은 종래의 단층영상 촬영장치는, 영상 증배관(30)을 사용하고 있고, 이 영상 증배관(30)에 맺힌 복수의 부분영상을 뷰 셀렉터(40)로 선택하여 카메라(50)로 취득하는 구조로 되어 있기 때문에, 영상 증배관(30)의 구조 등에 의해 X선 영상이 맺히는 위치에 따라 영상의 왜곡이 발생되는 문제점이 있다. 더욱이 상기 서모스펙트라사의 뷰 셀렉터는 영상의 위치에 따라 광축의 입사각이 각각 변화되기 때문에, 영상의 왜곡이 더욱 심하게 나타난다.However, the conventional tomographic image photographing apparatus as described above uses an image multiplier tube 30, and selects a plurality of partial images formed on the image multiplier tube 30 as the view selector 40 and then selects the camera 50. Because of the structure of acquiring, the distortion of the image is generated depending on the position of the X-ray image due to the structure of the image multiplier 30 and the like. In addition, since the angle of incidence of the optical axis is changed according to the position of the image, the distortion of the image is more severe.

이와 같이 영상의 왜곡이 발생되면, 피검사물에 대한 정확한 단층영상을 얻을 수 없기 때문에, 종래에는 카메라(50)로 취득한 각각의 부분영상을 합성하기 직전에 소프트 웨어적으로 영상의 왜곡을 보정하는 과정을 두고 있으며, 이에 따른 단층영상 촬영장치의 제어에 어려움이 있었다.As such, when the distortion of the image is generated, an accurate tomographic image of the inspected object cannot be obtained. Thus, a process of correcting the distortion of the image by software is performed immediately before synthesizing each partial image acquired by the camera 50. Therefore, there was a difficulty in controlling the tomography apparatus.

또한, 종래의 단층영상 촬영장치는 상기한 바와 같은 영상의 왜곡 문제 이외에도 영상 증배관(30)의 영상면에 맺힌 복수의 부분영상을 선택하기 위하여 뷰 셀렉터, 즉 한 쌍의 거울(42',44')(42",44")을 회전 구동시키기 위한 구동부를 가지기 때문에, 그 구성이 복잡하고 고장이 발생될 확률이 높다고 하는 다른 문제도 있었다.In addition, the conventional tomography apparatus has a view selector, that is, a pair of mirrors 42 'and 44, to select a plurality of partial images formed on the image plane of the image multiplier 30 in addition to the distortion problem of the image as described above. Since there is a drive section for rotationally driving ') 42 " and 44 ", there is another problem that the configuration is complicated and the probability of failure is high.

본 발명은 상기와 같은 점을 감안하여 안출된 것으로, 피검사물을 투과한 방사선 영상의 왜곡을 방지할 수 있는 단층영상 촬영장치 및 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made in view of the above, and an object thereof is to provide a tomography imaging apparatus and method capable of preventing distortion of a radiographic image transmitted through an inspection object.

본 발명의 다른 목적은 구동 부품의 사용을 최소화하여 그 구성이 간단하고 신뢰성이 향상될 수 있는 단층영상 촬영장치 및 방법을 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide a tomography imaging apparatus and method which can minimize the use of the driving component and its configuration is simple and reliability can be improved.

도 1은 일반적인 단층영상 촬영장치의 구성을 보인 사시도.1 is a perspective view showing the configuration of a general tomography apparatus.

도 2는 도 1에 도시된 일반적인 단층영상 촬영장치에서 X선의 조사 방향에 따른 투과 영상의 위치 변화를 보인 도면.2 is a view showing a position change of a transmission image according to the irradiation direction of the X-ray in the general tomography apparatus shown in FIG.

도 3은 종래의 단층영상 촬영장치에 적용된 뷰 셀렉터의 일 예를 보인 개략도.Figure 3 is a schematic diagram showing an example of a view selector applied to a conventional tomography apparatus.

도 4는 종래의 단층영상 촬영장치에 적용된 뷰 셀렉터의 다른 예를 보인 개략도.Figure 4 is a schematic diagram showing another example of a view selector applied to a conventional tomography apparatus.

도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 단층영상 촬영장치의 구성을 보인 개략도.5 is a schematic view showing the configuration of a tomography apparatus according to a first embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 단층영상 촬영장치의 구성을 보인 개략도, 그리고,6 is a schematic view showing the configuration of a tomography imaging apparatus according to a second embodiment of the present invention;

도 7은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 단층영상 촬영장치의 구성을 보인 개략도이다.7 is a schematic view showing the configuration of a tomography imaging apparatus according to a third embodiment of the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

110;탑재 테이블 120;방사선 조사기110; mounting table 120; radiation irradiator

130,130a;평면 방사선 검출기 140;영상 처리부130, 130a; plane radiation detector 140; image processing unit

142;컴퓨터 144;프레임 그래버142; computer 144; frame grabber

본 발명의 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 단층영상 촬영장치는, 피검사물이 탑재되는 탑재 테이블과, 한 평면상의 여러 위치에서 탑재 테이블에 탑재된 피검사물에 대하여 방사선을 조사하는 방사선 조사기와, 피검사물을 투과한 복수의 방사선 부분영상을 전기적인 영상신호로 획득하여 출력하는 평면 방사선 검출기와, 평면 방사선 검출기에 의해 획득된 복수의 부분영상을 합성 처리하여 피검사물의 단층영상을 획득하는 영상 처리부를 포함하는 것을 특징으로 한다.The tomography imaging apparatus for achieving the above object of the present invention is a mounting table on which the test object is mounted, a radiation irradiator for irradiating radiation on the test object mounted on the mounting table at various positions on one plane, and the test object. A planar radiation detector that acquires and outputs a plurality of radiation partial images that have passed through an object as an electrical image signal, and an image processor which synthesizes the plurality of partial images acquired by the planar radiation detector to obtain a tomography image of the object to be inspected It is characterized by including.

본 발명의 바람직한 실시예에 의하면, 방사선은 X선인 것을 특징으로 한다.According to a preferred embodiment of the present invention, the radiation is X-rays.

평면 방사선 검출기는, 1개 또는 다수개가 구비될 수 있다. 이 때, 하나의 평면 방사선 검출기가 구비되는 경우, 평면 방사선 검출기는 XY테이블에 탑재되어 방사선 조사기의 서로 다른 위치로부터 조사되는 방사선의 위치에 대응하여 이동되도록 설치된다. 그리고, 다수의 평면 방사선 검출기가 구비되는 경우, 다수의 평면 방사선 검출기는 방사선 조사기의 서로 다른 위치로부터 조사되어 피검사물을 투과하는 방사선의 위치에 대응되도록 설치된다. 여기서, 평면 방사선 검출기의 수는 4 내지 8개인 것이 바람직하다. 더욱 바람직하게는 탑재 테이블의 직하방에 또 다른 평면 방사선 검출기가 추가로 설치된다.One or more planar radiation detectors may be provided. At this time, when one planar radiation detector is provided, the planar radiation detector is mounted on the XY table and installed to move in correspondence with the position of the radiation irradiated from different positions of the irradiator. In addition, when a plurality of planar radiation detectors are provided, the plurality of planar radiation detectors are installed so as to correspond to the positions of the radiation which is irradiated from different positions of the irradiator and passes through the inspection object. Here, it is preferable that the number of planar radiation detectors is 4-8. More preferably, another planar radiation detector is additionally installed directly below the mounting table.

영상 처리부는, 컴퓨터와 평면 방사선 검출기에 의해 획득된 전기적인 영상신호를 컴퓨터가 처리할 수 있는 영상 데이터로 변환하여 컴퓨터에 입력하는 프레임 그래버로 구성된다.The image processing unit includes a frame grabber that converts the electrical image signal obtained by the computer and the planar radiation detector into image data that can be processed by the computer, and inputs the image data to the computer.

한편, 본 발명의 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 단층영상 촬영방법은, a) 단층영상 촬영장치의 탑재 테이블에 피검사물을 올려 놓고, 피검사물에 대한 한 단층면의 높이를 단층영상 촬영장치의 초점 평면에 맞추는 단계; b) 방사선 조사기로부터 발생된 방사선을 방사선 조사기 원주상의 적어도 2개소 이상의 위치에서 피검사물에 대하여 조사하는 단계; c) 피검사물을 투과한 적어도 2개의 방사선 부분영상을 평면 방사선 검출기를 이용하여 전기적인 영상신호로 획득하는 단계; 및 d) 평면 방사선 검출기에 의해 획득된 적어도 2개의 방사선 영상신호를 합성 처리하여 단층영상을 획득하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.On the other hand, tomographic imaging method for achieving the above object of the present invention, a) by placing the object to be placed on the mounting table of the tomography imaging apparatus, the height of one tomographic surface to the inspection object focus of the tomography apparatus Fitting to a plane; b) irradiating the inspected object with radiation generated from the irradiator at at least two locations on the circumference of the irradiator; c) acquiring at least two radiation partial images transmitted through the test object as an electrical image signal using a planar radiation detector; And d) synthesizing the at least two radiographic image signals obtained by the planar radiation detector to obtain a tomography image.

이에 따르면, 피검사물을 투과한 방사선 영상을 평면 방사선 검출기를 이용하여 직접 획득하기 때문에, 종래와 같은 영상의 왜곡이 발생되지 않는다. 또한, 영상 증배관, 뷰 셀렉터 및 카메라 등의 구성 부품이 불필요하며, 다수의 평면 방사선 검출기를 구비하는 경우에는 구동부가 필요없기 때문에, 단층영상 촬영장치의 구성이 간단해지고 검사의 신뢰성을 한층 높일 수 있다.According to this, since the radiographic image transmitted through the inspected object is directly acquired by using a planar radiation detector, the distortion of the image as in the prior art does not occur. In addition, components such as an image multiplier, a view selector, and a camera are unnecessary, and when a plurality of planar radiation detectors are provided, a driving unit is not necessary, so that the configuration of the tomography apparatus can be simplified and the reliability of inspection can be further increased. have.

본 발명의 상술한 목적 및 특징은 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명함으로써 보다 명백해질 것이다.The above objects and features of the present invention will become more apparent by describing the preferred embodiments of the present invention in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 일 실시예에 따른 단층영상 촬영장치가 도 5에 도시되어 있다.A tomography apparatus according to an embodiment of the present invention is illustrated in FIG. 5.

도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 단층영상 촬영장치는 탑재 테이블(110)과, 방사선 조사기(120)와, 평면 방사선 검출기(130)와, 영상 처리부(140)를 포함한다.As illustrated, the tomography apparatus according to the present invention includes a mounting table 110, a radiation irradiator 120, a planar radiation detector 130, and an image processor 140.

탑재 테이블(110)에는 피검사물(E)이 탑재되며, 이 탑재 테이블(110)은 피검사물(E)의 원하는 영역의 단면을 얻을 수 있도록 전후, 좌우 및 상하 방향으로 이동이 가능하도록 설치된다. 상기와 같이 설치된 탑재 테이블(110)을 이동시켜 피검사물(E)에 대한 한 단층면 높이를 단층영상 촬영장치의 초점 평면에 맞춘다.The test object E is mounted on the mounting table 110. The mounting table 110 is installed to be movable in the front, rear, left and right directions so as to obtain a cross section of a desired area of the test object E. The mounting table 110 installed as described above is moved to adjust the height of one tomography surface for the inspection object E to the focal plane of the tomography apparatus.

방사선 조사기(120)는 피검사물(E)의 상측에 위치된 평면상의 여러 위치에서 피검사물(E)에 방사선을 조사한다. 여기서, 방사선으로는 X선을 사용하는 것이 바람직하며, 이 X선이 조사되는 여러 위치는 방사선 조사기(120)의 원주를 이룬다.The radiation irradiator 120 irradiates the inspected object E at various positions on a plane located above the inspected object E. FIG. Here, it is preferable to use X-rays as the radiation, and the various positions where the X-rays are irradiated form the circumference of the radiation irradiator 120.

평면 방사선 검출기(130)는 탑재 테이블(110)의 하측에 다수개가 원주를 이루도록 설치된다. 이 평면 방사선 검출기(130)는 상기 피검사물(E)을 투과한 복수의 방사선 부분영상들을 전기적인 영상신호로 획득하여 출력한다. 이와 같은 역할을 하는 평면 방사선 검출기(130)는 현재 여러 종류가 개발되어 시판되고 있는 바, 본 발명에서는 프랑스 딥스(Dpix)사에서 제작된 모델명 플래시스캔 30(FlashScan 30)을 채용하여 구성하였으나, 이에 한정되지 않고 어떠한 종류의 평면 방사선 검출기를 사용하여도 무방하다.A plurality of planar radiation detectors 130 are installed on the lower side of the mounting table 110 to form a circumference. The planar radiation detector 130 acquires and outputs a plurality of radiation partial images transmitted through the test object E as an electrical image signal. Various types of planar radiation detectors 130 having such a role are currently developed and marketed. In the present invention, the planar radiation detector 130 employs a model name FlashScan 30 manufactured by Dpix, France. It is not limited and may use any kind of planar radiation detector.

한편, 도시예에서는 4개의 평면 방사선 검출기(130)가 방사선 조사기(120)의 원주방향을 따라 대략 90°의 등간격으로 설치된 예를 도시하고 있으나, 이를 꼭 한정하는 것은 아니며, 평면 방사선 검출기(130)의 수에는 제한이 없다. 설치된 평면 방사선 검출기(130)의 수가 많을수록 단층영상의 윤곽을 보다 정확하게 얻을 수 있으나, 제품 가격이 상승되고 검사 시간이 증가되므로, 적절한 수로 선택할 필요가 있다. 실험에 의하면, 평면 방사선 검출기(130)는 4개 내지 8개가 바람직한 것으로 나타났다. 더욱 바람직하게는, 도 6과 같이, 탑재 테이블(110)의 직하방에 또 하나의 평면 방사선 검출기(130a)가 설치되면, 방사선 조사기(120)로부터 피검사물(E)을 수직으로 투과하는 방사선 영상을 획득할 수 있다.Meanwhile, in the illustrated example, four planar radiation detectors 130 are installed at equal intervals of approximately 90 ° along the circumferential direction of the radiation irradiator 120. However, the planar radiation detector 130 is not necessarily limited thereto. There is no limit to the number of). The larger the number of the planar radiation detectors 130 installed, the more accurately the outline of the tomographic image can be obtained. However, since the product price increases and the inspection time increases, it is necessary to select the appropriate number. Experiments have shown that four to eight planar radiation detectors 130 are preferred. More preferably, as shown in FIG. 6, when another planar radiation detector 130a is installed directly below the mounting table 110, the radiographic image vertically penetrates the test object E from the radiation irradiator 120. Can be obtained.

영상 처리부(140)에서는 다수의 평면 방사선 검출기(130)에서 획득된 부분영상들을 합성 처리하여 원하는 단면의 단층영상을 얻는다. 이 영상 처리부(140)는 프레임 그래버(frame grabber; 144)와 컴퓨터(142)로 이루어진다. 프레임 그래버(144)는 다수의 평면 방사선 검출기(130)로부터 출력되는 전기적인 영상신호를 받아 컴퓨터(142)가 처리할 수 있는 영상 데이터로 변화시켜 컴퓨터(142)로 입력한다. 그리고, 컴퓨터(142)는 이들 영상 데이터를 처리한다.The image processor 140 synthesizes the partial images acquired by the plurality of planar radiation detectors 130 to obtain a tomographic image of a desired cross section. The image processor 140 includes a frame grabber 144 and a computer 142. The frame grabber 144 receives electrical image signals output from the plurality of planar radiation detectors 130 and converts the image into image data that can be processed by the computer 142 and inputs the image data to the computer 142. The computer 142 then processes these video data.

이와 같이 구성된 본 발명의 일 실시예에 따른 단층영상 촬영장치의 단층영상 촬영방법을 단계별로 살펴보면 다음과 같다.Looking at the tomography imaging method of the tomography imaging apparatus according to an embodiment configured as described above step by step as follows.

먼저, 피검사물(E)을 탑재 테이블(110)에 올려 고정한 후, 탑재 테이블(110)을 이동시키면서 피검사물(E)에 대한 한 단층면의 높이를 단층영상 촬영장치의 초점 평면에 맞춘다. 이는 자동으로 조정될 수도 있고, 작업자에 의해 수동으로 조정될 수도 있다.First, the test object E is placed on the mounting table 110 and fixed, and then the height of one tomographic plane with respect to the test object E is adjusted to the focal plane of the tomographic imaging apparatus while the mounting table 110 is moved. It may be adjusted automatically or manually by an operator.

상기와 같은 초점 조정이 끝나면, 방사선 조사기(120)로부터 피검사물(E)에 대하여 방사선이 조사되는 데, 방사선 조사기 원주상의 적어도 2개소 이상의 위치, 본 실시예에 의하면, 4개 내지 8개소의 위치에서 상기 피검사물(E)에 대하여 방사선이 조사된다.After the above-described focus adjustment, radiation is irradiated from the radiation irradiator 120 to the inspected object E. According to this embodiment, at least two or more positions on the circumference of the radiation irradiator, Radiation is irradiated to the test object E at the position.

상기의 과정에 의해 방사선 조사기(120)로부터 조사되는 방사선은 피검사물(E)을 투과하여 다수의 평면 방사선 검출기(130) 중 하나에 비춰지게 되고, 평면 방사선 검출기(130)는 이 영상을 전기적인 영상신호로 변환하여 프레임 그래버(144)로 출력한다. 프레임 그래버(144)는 이 전기 영상신호를 컴퓨터(142)가 처리할 수 있는 영상 데이터로 바꾸어 컴퓨터(142)로 출력한다.The radiation irradiated from the radiation irradiator 120 through the above process is transmitted to the object E and is reflected on one of the plurality of planar radiation detectors 130, and the planar radiation detector 130 displays the image electrically. The video signal is converted into a video signal and output to the frame grabber 144. The frame grabber 144 converts the electric image signal into image data that can be processed by the computer 142 and outputs it to the computer 142.

이와 같은 과정이 방사선 조사기(120)의 서로 다른 여러 위치로부터 순차적으로 방사선이 조사되는 동안 서로 다른 각각의 위치에 대응되는 평면 방사선 검출기(130)에 의해 반복적으로 이루어진다. 여기서, 평면 방사선 검출기(130)에 의해 획득된 방사선 영상은 종래의 영상 증배관에 의해 얻어진 영상에 비하면 영상의 왜곡이 거의 발생되지 않기 때문에, 그 품질이 우수한 장점이 있다. 따라서, 종래와 같은 영상 왜곡 보정 과정을 삭제할 수 있다.This process is repeatedly performed by the planar radiation detector 130 corresponding to each different position while the radiation is sequentially irradiated from different positions of the irradiator 120. Here, since the radiation image obtained by the planar radiation detector 130 hardly produces distortion of the image as compared with the image obtained by the conventional image multiplier, the quality of the radiation image is excellent. Therefore, the conventional image distortion correction process can be eliminated.

모든 평면 방사선 검출기(130)에서 획득된 방사선 영상이 프레임 그래버(144)를 통해 컴퓨터(142)로 입력되면, 컴퓨터(142)는 이들 다수의 영상들을 합성 처리하여 원하는 단면의 단층영상을 얻는다.When the radiographic images obtained by all the planar radiation detectors 130 are input to the computer 142 through the frame grabber 144, the computer 142 synthesizes these multiple images to obtain a tomographic image of a desired cross section.

한편, 본 발명은 상기의 실시예와 같이 다수의 평면 방사선 검출기[130(및 130a)]를 사용하지 않고, 도 7에 도시된 바와 같이, 하나의 평면 방사선 검출기(130')를 이용하여 구성될 수도 있다. 이 경우, 평면 방사선 검출기(130')는 XY테이블(132) 상에 탑재되는데, 이 XY테이블(132)은 방사선 조사기(120)의 여러 위치에서 조사되는 방사선 영상에 대응되는 위치로 순차적으로 이동하도록 설치된다. 기타 다른 구성 및 작용은 앞서 설명한 본 발명의 일 실시예와 동일하므로, 여기서는 구체적인 설명을 생략한다.On the other hand, the present invention does not use a plurality of planar radiation detectors 130 (and 130a) as in the above embodiment, and as shown in FIG. 7, it can be constructed using one planar radiation detector 130 '. It may be. In this case, the planar radiation detector 130 ′ is mounted on the XY table 132 so that the XY table 132 can be sequentially moved to a position corresponding to the radiation image irradiated from various positions of the irradiator 120. Is installed. Other configurations and operations are the same as in the above-described embodiment of the present invention, and thus a detailed description thereof will be omitted.

이상에서 설명한 바와 같은 본 발명에 의하면, 피검사물을 투과한 방사선 영상을 평면 방사선 검출기를 이용하여 직접 획득하기 때문에, 종래와 같은 영상의 왜곡이 발생되지 않는다. 따라서, 단층영상을 획득하는 과정 중의 하나, 즉 종래 영상의 왜곡이 발생됨으로써 영상 합성 과정 직전에 반드시 수행하여야 했던 영상 왜곡 보정 과정을 삭제할 수 있으므로, 단층영상 촬영장치의 제어가 용이하게 될 수 있다.According to the present invention as described above, since the radiographic image transmitted through the inspection object is directly obtained by using a planar radiation detector, the distortion of the image as in the prior art does not occur. Therefore, since one of the processes of acquiring the tomography image, that is, the distortion of the conventional image is generated, the image distortion correction process, which must be performed immediately before the image synthesizing process, can be deleted, so that the control of the tomography apparatus can be facilitated.

또한, 본 발명은 영상 증배관, 뷰 셀렉터 및 카메라 등의 구성 부품이 불필요하며, 다수의 평면 방사선 검출기를 구비하는 경우에는 구동부가 필요없기 때문에, 단층영상 촬영장치의 구성이 간단해지고 검사의 신뢰성을 한층 높일 수 있다.In addition, the present invention eliminates the need for components such as an image multiplier, a view selector, and a camera, and in the case of providing a plurality of planar radiation detectors, a driving unit is not necessary, thereby simplifying the construction of the tomography apparatus and improving reliability of inspection. I can raise it more.

이상에서는 본 발명의 특정의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 또한 설명하였다. 그러나, 본 발명은 상술한 실시예에 한정되지 아니하며, 특허청구의 범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능할 것이다.In the above, certain preferred embodiments of the present invention have been illustrated and described. However, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made by those skilled in the art without departing from the gist of the present invention as claimed in the claims. .

Claims (8)

피검사물이 탑재되는 탑재 테이블;A mounting table on which the test object is mounted; 한 평면상의 여러 위치에서 상기 탑재 테이블에 탑재된 피검사물에 대하여 방사선을 조사하는 방사선 조사기;A radiation irradiator for irradiating the inspection object mounted on the mounting table at various positions on one plane; 상기 피검사물을 투과한 복수의 방사선 부분영상을 전기적인 영상신호로 획득하여 출력하는 평면 방사선 검출기; 및A planar radiation detector which acquires and outputs a plurality of radiation partial images transmitted through the test object as an electrical image signal; And 상기 평면 방사선 검출기에 의해 획득된 복수의 부분영상을 합성 처리하여 피검사물의 단층영상을 획득하는 영상 처리부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 단층영상 촬영장치.And an image processor for synthesizing the plurality of partial images acquired by the planar radiation detector to obtain a tomography image of the object to be inspected. 제 1 항에 있어서, 상기 방사선은 X선인 것을 특징으로 하는 단층영상 촬영장치.The tomography apparatus of claim 1, wherein the radiation is X-rays. 제 1 항에 있어서, 다수의 상기 평면 방사선 검출기가 상기 방사선 조사기의 서로 다른 위치로부터 조사되는 방사선의 위치에 대응되도록 설치되어 구성된 것을 특징으로 하는 단층영상 촬영장치.The tomography imaging apparatus of claim 1, wherein a plurality of the planar radiation detectors are installed to correspond to positions of radiation irradiated from different positions of the irradiator. 제 3 항에 있어서, 상기 평면 방사선 검출기의 수는 4 내지 8개인 것을 특징으로 하는 단층영상 촬영장치.4. The tomography imaging apparatus of claim 3, wherein the number of planar radiation detectors is 4 to 8. 제 4 항에 있어서, 상기 탑재 테이블의 직하방에 또 다른 평면 방사선 검출기가 추가로 설치된 것을 특징으로 하는 단층영상 촬영장치.5. The tomography imaging apparatus according to claim 4, wherein another planar radiation detector is further provided directly below the mounting table. 제 1 항에 있어서, 하나의 상기 평면 방사선 검출기가 상기 방사선 조사기의 서로 다른 위치로부터 조사되어 상기 피검사물을 투과한 방사선 영상의 위치에 대응하여 이동되도록 설치되어 구성된 것을 특징으로 하는 단층영상 촬영장치.The tomography imaging apparatus of claim 1, wherein the planar radiation detector is configured to move in correspondence with a position of a radiographic image irradiated from different positions of the irradiator and transmitted through the inspected object. 제 1 항에 있어서, 상기 영상 처리부는,The method of claim 1, wherein the image processor, 상기 평면 방사선 검출기에 의해 획득된 복수의 방사선 부분영상을 합성 처리하는 컴퓨터; 및A computer for synthesizing the plurality of radiation partial images obtained by the planar radiation detector; And 상기 평면 방사선 검출기로부터 출력되는 전기적인 영상신호를 상기 컴퓨터가 처리할 수 있는 영상 데이터로 변환하여 상기 컴퓨터에 입력시키는 프레임 그래버;를 포함하는 것을 특징으로 하는 단층영상 촬영장치.And a frame grabber which converts the electrical image signal output from the planar radiation detector into image data that can be processed by the computer and inputs the image to the computer. a) 단층 검사장치의 탑재 테이블에 피검사물을 올려 놓고, 상기 피검사물에 대한 한 단층면의 높이를 단층영상 촬영장치의 초점 평면에 맞추는 단계;a) placing an object on a mounting table of the tomography device, and adjusting a height of one tomography surface to the focal plane of the tomography device; b) 방사선 조사기로부터 발생된 방사선을 방사선 조사기 원주상의 적어도 2개소 이상의 위치에서 상기 피검사물에 대하여 조사하는 단계;b) irradiating the inspected object with the radiation generated from the irradiator at at least two locations on the circumference of the irradiator; c) 상기 피검사물을 투과한 적어도 2개의 방사선 부분영상을 평면 방사선 검출기를 이용하여 전기적인 영상신호로 획득하는 단계; 및c) acquiring at least two radiation partial images transmitted through the test object as an electric image signal using a planar radiation detector; And d) 상기 평면 방사선 검출기에 의해 획득된 적어도 2개의 방사선 영상신호를 처리하여 단층영상을 획득하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 단층영상 촬영방법.d) processing the at least two radiographic image signals obtained by the planar radiation detector to obtain a tomographic image.