KR20000023546A - 상변화형 광디스크 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 상변화형 광디스크에 관한 것으로, 투명기판 상에 순차적으로 형성된 제1유전체층, 기록층, 제2유전체층 및 반사층을 포함하는 상변화형 광디스크에 있어서, 상기 반사층이 전기 음성도가 1.9 내지 3.0인 금속 또는 합금으로 이루어진 제1반사층 및 Cu, Ag 또는 이들의 합금으로 이루어진 제2반사층을 포함하며, 상기 제1반사층은 상기 제2유전체층과 밀착되어 위치하고, 상기 제2반사층은 상기 제1반사층 및 보호층과 밀착되어 있는 것을 특징으로 하는 본 발명의 상변화형 광디스크는종래의 광디스크에 비하여 양호한 반복기록내구성, 중첩기록 특성, 내식성 등을 나타낸다.
Description
본 발명은 상변화형 광디스크에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기록과 소거가 자유로와 중첩기록이 가능한 상변화형 광디스크로서, 내부식성, 반복기록내구성 및 중첩기록특성이 개선된 상변화형 광디스크에 관한 것이다.
일반적인 광 디스크는 주로 도 1에 나타낸 바와 같은 원반형 구조를 지니는데, 여기서 1은 디스크의 정보영역을 나타낸다. 광디스크의 기판(10)상에는 도 2에 나타낸 바와 같이 디지털 정보를 이루는 마크인 피트(11)가 트랙상에 마치 모르스 부호처럼 형성되어 있으며, 그 위에 레이저 빔을 반사시키는 반사층(12)과 보호층(13)이 차례로 형성되어 있다.
상술한 바와 같은 광디스크를 제조하는 공정은 크게 스탬퍼(stamper)를 제조하는 단계와 제작된 스탬퍼에 의하여 광 디스크를 대량으로 복제하는 단계로 이루어진다. 스탬퍼는 먼저 광 디스크와 동일한 포맷을 갖는 유리 마스터를 제조한 후, 얻어진 유리 마스터에 대한 금형 형태로 제조된다. 이러한 방법으로 생산된 광 디스크는 기록층의 기록 내용을 단순히 읽을 수만 있는 재생 전용형(ROM: read only memory)이다.
한편, CD-ROM 등이 급속하게 보급됨에 따라, 동영상, 스틸 이미지, 에니메이션을 포함하는 멀티미디어 관련 소프트웨어 프로그램이 빠른 속도로 확산되고 있다. 따라서, 이러한 프로그램을 효과적으로 이용하기 위한 기록 및 재생가능한 기록매체가 절실히 요구되고 있는 실정이다. 이러한 요구에 부응하여 1회에 한해 기록가능한 추기형 광디스크(CD-R: Compact Disc Recordable)가 개발되었다. 그런데, 추기형 광디스크는 단 1회 기록만 가능하기 때문에 기록한 데이터를 자유자재로 편집할 수 없을 뿐만아니라 새로운 정보를 기록할 수 없다는 치명적인 단점을 가지고 있다.
이에 따라 소거 및 재기록이 가능한 서환형 광디스크(예: CD-RW(Compact Disc Rewritable))가 개발되었는데, 기록층 재료로서 광자기 재료를 이용한 광자기 디스크, 상변화 재료를 이용한 상변화형 광디스크 등이 있다. 이 중에서, 상변화형 광디스크는 그 재생 원리가 기존의 CD와 흡사하다.
상변화형 광디스크는 기록층을 이루는 재료에 대한 가열온도 및 냉각 속도를 제어하여 결정질 구조와 비정질 구조 사이의 가역적인 변화를 유도함으로써 정보가 기록 및 소거되는 원리를 이용하는 것이다. 종래의 상변화형 광디스크는 도 3에 도시된 바와 같이 일반적으로 투명기판(20)상에 제 1 유전체층(21), 기록층(22), 제 2 유전체층(23), 반사층(24), 보호층(25)이 순차적으로 적층되어 있는 구조를 갖는다. 여기에서, 기록층에는 기록 신호가 만들어지는 트랙이 형성되어 있어, 레이저 빔을 조사하면, 기록층이 결정질에서 비정질로, 또는 비정질에서 결정질로 가역 변화되어 기록과 소거가 반복되는 것이다.
이러한 상변화형 광디스크는 다른 기록 방식을 이용하는 광 디스크에 비하여 중첩기록이 용이하며, 광디스크의 기록 밀도를 증가시키는 레이저 광의 단파장화가 가능할 뿐 아니라, 구동 드라이브의 광학계가 간단하기 때문에 DVD-RAM (Digital Video Disk Random Access Memory)과 같은 차세대 고밀도 서환형 광디스크에 채용될 수 있다.
한편, 상변화형 광디스크를 구성하는 각층의 두께는 가능한 한 얇게 형성하는 것이 바람직하다. 이와 같이 각 층의 두께가 얇아지면 제조비용이 절감될 뿐만 아니라 생산성이 향상되는 효과를 얻을 수 있다. 그런데, 기록층이나 유전층의 경우에는 두께 변화에 따라 광특성이 매우 민감하게 변하기 때문에 임의로 변경하기가 매우 어렵다.
기존의 상변화형 광디스크의 반사층으로 주로 사용되는 Al 합금의 경우는 반사층의 두께를 일정값 이하로 감소시키면 기록 특성이 저하되고, Ag의 경우는 내식성이 불량한 단점을 가지고 있다. 따라서, 종래의 반사층은 그 두께가 상당히 두꺼우면서도 적절한 내식성, 기록특성, 반복기록내구성들을 모두 만족시킬 수 없다는 단점이 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 상기 문제점을 해결하기 위하여 전기 음성도가 1.9 내지 3.0인 금속 또는 합금으로 이루어진 제1반사층 및 상기 제1반사층 보다 열전도율이 높은 Cu, Ag 또는 이들의 합금으로 이루어진 제2반사층을 포함하는 이중 반사층을 적용하여 얇은 두께에서도 반사층의 부식에 의한 열화가 발생하지 않고 양호한 중첩기록 특성과 반복기록 내구성을 가지는 상변화형 광 디스크를 제공하는 것이다.
도 1은 일반적인 광디스크의 정보 영역을 개략적으로 나타낸 도면이고,
도 2는 도 1의 선 A-A'를 따라 취한 확대 단면도이고,
도 3은 일반적인 상변화형 광디스크 적층 구조의 개략적인 단면도이고,
도 4는 본 발명의 한 태양에 따른 상변화형 광디스크의 개략적인 단면도이고,
도 5는 상변화형 광디스크에서의 중첩기록 과정을 개략적으로 나타낸 도면이고,
도 6은 본 발명의 실시예에서 사용된 레이저 빔의 멀티 펄스의 형상을 나타낸 그래프이고,
도 7은 Ag 반사층을 적용한 상변화형 광디스크의 내환경 테스트시 부식된 Ag 반사층 표면의 SEM 사진이고,
도 8은 비교예 10에 따른 Al-Ti 단일 반사층(두께 750Å)을 지니는 상변화형 광디스크에서 기록 후 재생 신호 파형을 나타낸 도면이고,
도 9는 도 8에 대한 바람직한 파형을 나타낸 도면이고,
도 10은 Al-Ti 단일 반사층을 포함하는 비교예의 상변화형 광디스크의 가열 냉각 거동을 열 특성 시뮬레이션을 통하여 분석한 결과를 나타낸 도면이고,
도 11은 Ag 단일 반사층을 적용한 경우(■)와 제1반사층으로 Al-Ti층을 사용하고, 제2반사층으로 Ag층을 적용한 경우(실시예 10)(●)의 내환경 테스트의 결과를 나타낸 그래프이고,
도 12는 비교예 15 내지 18의 디스크에 사용된 Al-Cr 합금 단일 반사층의 두께에 따른 중첩기록 지터 값 및 반복기록 내구성의 변화를 나타낸 그래프이고,
도 13은 비교예 15 내지 18의 디스크에 사용된 Al-Cr 합금 단일 반사층의 두께에 따른 기록 파워의 변화를 나타낸 그래프이고,
도 14는 실시예 15 내지 19 및 비교예 19의 디스크에 사용된 Cu 제2반사층 두께에 따른 중첩기록 지터값 및 반복 기록 내구성의 변화를 나타낸 그래프이며,
도 15는 실시예 20(■) 및 비교예 22(●) 및 23(▲)에서 제조한 상변화형 광디스크의 반복기록시의 지터값의 변화를 나타낸 그래프이다.
*<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1:광디스크의 정보영역 10:폴리카보네이트 기판
11:피트 12:반사층 13:보호막
20:기판 21: 제1유전체층 22:기록층
23:제2유전체층 24:반사층 25:보호막
30:기판 31:제1유전체층 32:기록층
33:제2유전체층 34:제1반사층 35:제2반사층 36:보호층
상기 목적에 따라, 본 발명에서는 투명기판 상에 순차적으로 형성된 제1유전체층, 기록층, 제2유전체층 및 반사층을 포함하는 상변화형 광디스크에 있어서, 상기 반사층이 전기 음성도가 1.9 내지 3.0인 금속 또는 합금으로 이루어진 제1반사층 및 Cu, Ag 또는 이들의 합금으로 이루어진 제2반사층을 포함하며, 상기 제1반사층은 상기 제2유전체층과 밀착되어 위치하고, 상기 제2반사층은 상기 제1반사층 및 보호층과 밀착되어 있는 것을 특징으로 하는 상변화형 광디스크를 제공한다
본 발명의 특징은 제 1 반사층 및 상기 제 1 반사층보다 열전도율이 높은 제 2 반사층으로 이루어지는 반사층을 사용함으로써 얇은 두께에서도 양호한 내식성 및 중첩기록 특성을 나타내면서 반복 기록 내구성을 향상시킬 뿐 아니라 실제 양산시 재료비 절감 효과도 함께 얻을 수 있다는 것이다.
이하 본 발명에 대하여 보다 상세히 설명한다.
본 발명에 따른 상변화형 광디스크는 도 4에 도시되어 있는 바와 같이, 투명기판(30)상에 제 1 유전체층(31), 기록층(32), 제 2 유전체층(33), 제1반사층(34), 제2반사층(35), 보호층(36)이 순차적으로 적층되어 있는 구조를 갖는다.
본 발명에 사용되는 기판은, 광디스크에 기판재료로서 통상적으로 사용되는 폴리카보네이트 등을 사용하여 스탬퍼를 이용한 사출성형 등의 방법으로 제조될 수 있다. 기판에 형성되는 그루브(groove)는 기록 및 재생에 필요한 서보(servo) 특성을 위해 그 폭과 깊이가 설계되며, 특히 고밀도화를 위해 랜드(land)와 그루브를 모두 기록, 재생하는 경우는 각각에 대한 크로스 토크(cross talk)를 방지하기 위해 그루브의 깊이를 λ/5n∼λ/7n(λ: 기록/재생 광파장, n:폴리카보네이트 기판의 굴절율)로 설정해야 한다.
본 발명의 유전체층은 광투과 특성과 열적인 내구성을 갖추고 있어야 하기 때문에, 이를 구성하는 물질로는 흡수 계수가 0에 가까우며 열적 안정성이 뛰어난 금속 산화물, 금속 탄화물, 금속 질화물 또는 이들의 혼합물이 사용된다. 상변화형 광디스크 유전체층에 통상적으로 사용되는 물질은 ZnS-SiO2(8:2), AlN, GeN 등을 포함하는데, RF 스퍼터링(radio-frequency sputtering)과 같은 통상적인 방법에 의해 유전체층으로 제조될 수 있다. 두께는 제 1 유전체층의 경우 300 내지 3000Å, 제 2 유전체층의 경우 50 내지 500Å인 것이 바람직하다.
본 발명의 기록층에는 비정질화가 용이하며 단시간내에 결정화가 가능한 물질이 사용되는데, 상변화형 광디스크의 기록층에 통상적으로 사용되는 Ge-Sb-Te, In-Sb-Te, Ag-In-Sb-Te, Cr-Ge-Sb-Te 합금, N-Ge-Sb-Te 합금과 같은 칼코겐 화합물이 사용되며, 특성 개선을 위해 별도의 첨가 원소가 추가로 도입되는 경우도 있다. 기록층은 DC(direct current) 스퍼터링과 같은 통상적인 방법으로 성막하여 기록층으로 제조될 수 있다. 두께는 100 내지 1000Å인 것이 바람직하다.
반사층에는 기록층의 비정질화를 위한 열흡수 효과 및 광효율의 향상을 위하여 금속 재료가 사용되는데, 주로 Al, Ag, Au, Cu 등의 단일 원소 또는 이들 금속에 기록 감도와 내산화성 등을 위해 Cr, Ni, Ti, Si, Mg 등이 소량 첨가된 합금(예: Al-Ti(Ti 1.5중량%), Al-Cr(Cr 2 원자%) 과 같은 Al 합금, Ag-Al, Ag-Mg와 같은 Ag 합금 등)이 사용된다.
본 발명의 광디스크에서는, 제1반사층 형성재료로는 유전체층과 화학반응을 일으키지 않으며 전기 음성도가 1.9 내지 3.0인 단일 금속 또는 합금을 사용하고, 제2반사층 재료로는 상기 제1반사층 보다 열 전도율이 높은 Cu, Ag 또는 이들의 합금을 사용한다.
제1반사층 형성 재료의 구체적인 예로는, Al, Au, W, Mo, Ni, Ge, Si, Pd, Sn, Rh, Pt, 이들의 합금 등이 있다. 또한, 제1반사층 및 제2반사층의 형성시에 사용되는 합금에는 Al, Au, Cu, Ag, W, Mo, Ni, Ge, Si, Fe, Cr, Co, Zr, Zn, Ti, Ta, Mg, Pd, V, Nb, Hf, Sn, Sc, Rh, Pt, Mn 및 이들의 조합으로 이루어진 군으로부터 선택되는 금속 성분이 제2성분으로서 첨가된다.
일반적으로 반사층에 요구되는 기능은 기록시에는 기록층이 비정질화될 수 있도록 충분히 빨리 냉각시키는 것, 그리고, 소거시에는 결정화에 필요한 시간만큼 특정 온도 이상 유지될 수 있도록 하는 것이다. 또한, 광학 효율을 위해 충분한 반사 특성을 지녀야 한다. 이러한 기능을 모두 갖추고 있는 것으로 통상적으로 사용되는 것이 Al 합금이다. 하지만, 이 경우, 반사층에 가해지는 열적 부하 때문에 반복기록시 신호 특성이 열화된다는 단점을 가지고 있다. 이에 따라 고열전도율 재료인 Ag 또는 Cu가 제안되었으나 이 둘 모두 과도한 열전도율로 인해 소거 특성이 제대로 확보되지 않거나 유전체 층과의 화학반응이 일어나는 문제점을 가지고 있다.
본 발명에서는 제1반사층은 비정질화와 결정화에 필요한 냉각 특성 및 특정 온도 이상 유지될 수 있는 열적 특성을 디스크에 부여하고, Ag 또는 Cu와 같은 제2반사층의 유전체 층과의 화학반응을 억제하는 장벽(barrier) 역할을 수행하게 된다. 한편, Ag 또는 Cu와 같은 고열전도율 재료를 적용한 제 2 반사층은 제 1 반사층에 부과된 열적 부하를 완화시키는 역할을 하게된다.
적절한 반사층의 두께는 선택된 제1반사층 및 제2반사층을 이루는 재료의 조합, 기록층의 구성 및 기록 선속, 유전체층의 종류, 조성 및 두께 등의 조건에 따라 다르다. 예를 들면, 기록층이 Ag-In-Sb-Te 합금으로 이루어지고 제1반사층으로 W, Si, Al 합금이 사용되고, 제2반사층으로 Cu, Ag 또는 Ag 합금이 사용되는 경우, 제1반사층의 두께는 10Å 이상, 바람직하게는 100Å이상이고, 제2반사층의 두께는 250Å 이상, 바람직하게는 450Å이상이다.
또한, DVD-RAM용의 광디스크에 기록층으로 Ge-Sb-Te 합금, 제1반사층으로 Al 또는 Al 합금, 제2반사층으로 Cu 또는 Ag가 사용되는 경우에는, 기록 선속 6m/s 조건 하에서 기록하여 특성을 평가한 경우, 제1반사층 및 제2반사층 두께의 합은 2000Å 이하인 것이 바람직한데, 제1반사층의 두께는 1300Å 이하, 제2반사층의 두께는 10Å 이상만 되어도 열적 부하를 완화하여 반복기록내구성 효과가 얻어질 수 있다. 제2반사층의 두께는 800Å 미만인 것이 바람직하다. 또한, 기록층의 종류, 조성, 기록선속 등이 달라지면, 효과적인 반사층 두께도 달라진다.
각 층의 두께는 충분한 변조 신호 특성을 나타내기 위해 기록층이 비정질 상태일 경우의 반사율과 결정 상태일 경우의 반사율의 차이가 10% 이상 구현될 수 있도록 조합 설계하는 것이 바람직하다. 또한, 전술한 바와 같이 균일한 비정질 마크를 형성할 수 있을 정도로 충분히 급냉되면서도, 소거시 결정화에 필요한 시간 동안 기록층이 결정화 온도 이상으로 유지될 수 있는 가열, 냉각 특성을 지니도록 설계하여야 한다. 이때 디스크의 적정 가열, 냉각 특성은 기록층의 비정질화 임계 속도 및 결정화 속도에 따라 가변적이 될 수 있으므로 이들의 상관 관계를 고려하여 그 적정 두께 조합을 설정하여야 한다.
또한, 랜드와 그루브에 동시에 기록할 경우에는 기록된 비정질 마크와 미기록부의 결정상태 매트릭스의 굴절율 차이에 의한 위상차와 이 위상차에 의한 간섭으로 야기되는 신호 진폭의 감소를 억제하기 위해, 비정질 상태에서의 반사율이 0에 가깝도록 하거나 이들 간섭에 의한 그루브에서의 신호 진폭과 랜드에서의 신호 진폭차를 최소화 할 수 있도록 각 층 두께를 설계하는 것이 추가로 필요하게 된다.
또한 실제 양산시 재료비 생산 시간을 단축하기 위해 각 층의 두께는 제반 특성이 양호한 범위에서 되도록 얇은 것이 유리하다.
보호층으로는 통상적으로 UV 경화형 수지 등이 사용된다.
본 발명의 상변화형 광디스크에 있어서, 중첩기록 과정은 도 5에 개략적으로 나타나 있다. 고출력의 레이저 빔을 기록층에 조사하여 그 기록층을 국부적으로 용융시킨 다음, 급냉시키면 조사된 부분이 비정질화되어 기록마크가 형성된다. 여기에서 기록마크는 재생전용형 광디스크의 트랙을 따라 형성되는 피트에 해당되는 것이다. 이렇게 형성된 기록마크에 기록시 파워의 1/3 내지 1/2 정도의 출력을 갖는 레이저 빔을 조사하면 소거 영역인 결정질 구조가 형성되어 기록된 정보가 소거된다. 기록 마크의 형상을 균일하게 만들기 위해서는, 기록 펄스는 여러 짧은 펄스의 연속으로 이루어진 멀티 펄스를 사용하는 것이 바람직하다.
중첩 기록 후에도 양호한 재생 신호 특성을 얻기 위해서는 기록시 균일한 형상의 비정질 마크가 형성되어야 하며 소거시에 이 비정질 마크는 충분히 결정화되어야 한다. 또한, 이렇게 재결정화된 영역의 결정립의 크기가 가능한 한 균일하여야 한다. 즉, 반사층은 레이저 입사광에 의하여 용융된 기록층 부분의 열을 빠른 속도로 빼앗아 기록층의 용융부위가 높은 냉각 속도를 가지게 하여 비정질 마크를 형성하도록 도와준다.
균일한 비정질 마크가 형성되기 위해서는 우선, 용융점 이상으로 가열된 기록층이 급냉되어야 한다. 하지만, 냉각 속도가 너무 빠르면, 소거시 결정화에 필요한 만큼 충분한 시간 동안 유지되지 않기 때문에 제대로 소거가 되지 않을 수 있다. 다시 말해 기록층의 냉각 속도가 느리면 제대로 기록이 되지 않고 반대로 너무 빠르면 소거가 제대로 되지 않는다. 이러한 이유로 상변화형 광디스크의 구조 설계에 있어 기록 및 소거가 모두 양호하게 이루어질 수 있는 범위내로 냉각 속도를 나타내도록 하는 것은 매우 중요하다.
상변화형 광디스크에서 냉각 속도는 주로 각 층의 열전도율과 두께에 의해 결정된다. 따라서 이들 각 층 재료의 선택과 두께의 조합이 잘 이루어져야만 양호한 중첩기록 특성을 나타내게 된다. 중첩 기록 특성의 지표로는 재생 신호의 시간 편차를 의미하는 지터(jitter)가 사용되며, 지터가 낮을수록 신호 특성이 양호한 것이다.
상변화형 광디스크에서 요구되는 또 한가지 특성은 반복기록 내구성이다. 이는 여러번 기록과 소거를 반복하여도 재생 신호 특성에 열화가 나타나지 않는 것을 의미한다. 상변화형 광디스크에 있어 반복 기록에 의한 열화는 주로 열적인 부하가 축적됨에 의한 기록층의 변형이나 석출 등에 기인하는 것으로 알려져 있다. 때문에, 열화를 억제하기 위해서는 되도록 이러한 열 부하를 감소시키는 것이 필요하다. 이 경우도 위에서 언급한 중첩 기록 특성과 마찬가지로 기록층의 냉각 특성에 의해 좌우된다.
이와 같이, 광디스크의 기록특성에는 기록층을 냉각시키는 역할을 하는 반사층의 물성이 매우 중요하게 작용하는데, 본 발명에서는 반사층을 2중층으로 구성하여 적절한 열적 특성을 부여하였다.
본 발명을 실시예를 들어 상세히 설명하기로 하되, 본 발명이 하기 실시예로만 한정되는 것은 아니다.
실시예 1 내지 15 및 비교예 1 내지 14는 CD 2배 선속 상변화형 광디스크를 제조하여 그 특성을 평가한 것이다. 이로부터 제조된 광디스크의 각종 성능 평가는 다음 방법으로 실시하였다:
(1) 내식성
샘플을 25∼85℃의 온도, 50∼95%의 상대습도에서 100시간 방치 후, 기록 및 재생 상태를 평가하였다.
(2) 기록 특성
광디스크를 CD-RW 전용 동특성 평가기(APEX 사 제작, 모델명:Modular Media Tester(MMT))에 장착한 다음, 2.4m/s로 회전시키며 기록 특성을 평가하였다. 이때, 기록을 위한 레이저 빔의 펄스의 형태는 도 6에 나타낸 바와 같은 멀티 펄스를 행하였으며, 기록 파워와 소거 파워는 12.5mW와 6.25mW로 고정하였다. 이때 사용된 광원의 파장은 780㎚, 대물렌즈의 NA는 0.55이었다.
초기 기록 특성은 1회 기록시 지터(jitter) 값으로 나타내었으며, 지터값이 20ns를 초과하면 기록 신호 특성이 불량한 것으로 판정하였다.
중첩 기록 특성은 10회 기록시 지터(jitter) 값으로 나타내었으며, 지터값이 20ns를 초과하면 기록 신호 특성이 불량한 것으로 판정하였다.
반복기록 내구성은 기록과 소거를 반복하면서 기록특성의 저하 여부를 관찰한 것으로, 다수회 기록시 지터값이 중첩기록지터값, 즉, 10회 중첩기록후의 지터 값의 50% 이상으로 증가하기 시작하는 기록 회수를 나타내었다.
실시예 1
스탬퍼를 사용한 사출성형법에 의하여 깊이 500Å의 나선형 그루브가 형성되어 있는 두께 1.2㎜ 폴리카보네이트 디스크 기판을 제조하였다.
상기 디스크 기판의 그루브 형성면에 ZnS-SiO2(8:2)를 RF 스퍼터링하여 제1유전체층을 두께 950Å로 성막하였다. 이후, 상기 제 1 유전체층 상부에 Ag-In-Sb-Te계 합금 박막을 DC 스퍼터링법에 의해 두께 200Å로 성막하였다. 이어서, 다시 ZnS-SiO2(8:2)를 RF 스퍼터링하여 제 2 유전체층을 두께 250Å로 성막한 후, Al-Ti 합금(Al 98.5중량%, Ti 1.5중량%) 제1반사층을 50Å 두께로 형성하였다. 그 후, 상기 Al-Ti 제1반사층 상부에 Ag를 DC 스퍼터링하여 500Å 두께로 제2반사층을 성막하였다. 보호층으로는 UV 경화형 수지(상품명: SD17:DIC)를 스핀코팅하였다.
상기 상변화형 광디스크를 초기화하기 위하여 고속 초기화 장치(POP-120, 히다치사 제작)상에서 디스크를 회전시키면서 반도체 레이저 빔(파장: 830㎚)을 조사하여 기록층을 결정화시켰다.
제조된 광디스크의 특성을 평가하여 그 결과를 표 1에 나타내었다.
실시예 2 및 3
Al-Ti 합금(Al 98.5중량%, Ti 1.5중량%) 제1반사층의 두께를 각각 30Å 및 10Å로 하는 것을 제외하고는, 실시예 1과 동일한 방법에 따라 실시하였다.
제조된 광디스크의 특성을 평가하여 그 결과를 표 1에 나타내었다.
실시예 4
제1반사층으로 Al-Ti 합금(Al 98.5중량%, Ti 1.5중량%)을 10Å 두께로, 제2반사층으로 Ag를 250Å 두께로 형성한 것을 제외하고는, 실시예 1과 동일한 방법에 따라 실시하였다.
제조된 광디스크의 특성을 평가하여 그 결과를 표 1에 나타내었다.
실시예 5
제1반사층으로 Al-Ti 합금(Al 98.5중량%, Ti 1.5중량%)를 100Å 두께로, 제2반사층으로 Ag를 400Å 두께로 형성한 것을 제외하고는, 실시예 1과 동일한 방법에 따라 실시하였다.
제조된 광디스크의 특성을 평가하여 그 결과를 표 1에 나타내었다.
비교예 1 내지 7
반사층을 2중층으로 하지 않고 각각 1000Å, 750Å, 500Å, 300Å, 250Å, 200Å, 150Å 두께의 Ag 단일 반사층만을 형성한 것을 제외하고는, 실시예 1과 동일한 방법에 따라 실시하였다.
제조된 광디스크의 특성을 평가하여 그 결과를 표 1에 나타내었다.
비교예 8 내지 12
반사층을 2중층으로 하지 않고 각각 1500Å, 1000Å, 750Å, 500Å, 300Å 두께의 Al-Ti 합금(Al 98.5중량%, Ti 1.5중량%) 단일 반사층만을 형성한 것을 제외하고는, 실시예 1과 동일한 방법에 따라 실시하였다.
제조된 광디스크의 특성을 평가하여 그 결과를 표 1에 나타내었다.
비교예 13 및 14
Al-Ti 제1반사층 및 Ag 제2반사층의 두께를 표 1에 나타낸 바와 같이 변화시키는 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하여 본 발명의 광디스크를 제조하였다.
제조된 광디스크의 특성을 평가하여 그 결과를 표 1에 나타내었다.
Al-Ti 제1반사층과 은 반사층을 채용한 경우(비교예 13)와 Cu 제1반사층과 은 제2반사층을 채용한 경우(비교예 14)는 제2반사층의 두께가 너무 얇아서, 내부식성은 양호하지만, 초기 기록 지터 값이 20ns 이상으로 높고, 기록 신호 특성이 불량하였다
| 제1(또는 단일)반사층 | 제2반사층 | 내식성 | 기록신호특성 | 초기기록지터(ns) | |||
| 재료 | 두께(Å) | 재료 | 두께(Å) | ||||
| 실시예 1 | Al-Ti | 50 | Ag | 500 | 양호 | 양호 | 12 |
| 실시예 2 | Al-Ti | 30 | Ag | 500 | 양호 | 양호 | 12 |
| 실시예 3 | Al-Ti | 10 | Ag | 500 | 양호 | 양호 | 12 |
| 실시예 4 | Al-Ti | 10 | Ag | 250 | 양호 | 양호 | 13 |
| 실시예 5 | Al-Ti | 100 | Ag | 400 | 양호 | 양호 | 14 |
| 비교예 1 | Ag | 1000 | - | - | 불량 | 양호 | 21 |
| 비교예 2 | Ag | 750 | - | - | 불량 | 양호 | 19 |
| 비교예 3 | Ag | 500 | - | - | 불량 | 양호 | 15 |
| 비교예 4 | Ag | 300 | - | - | 불량 | 양호 | 18 |
| 비교예 5 | Ag | 250 | - | - | 불량 | 양호 | 19 |
| 비교예 6 | Ag | 200 | - | - | 불량 | 불량 | 34 |
| 비교예 7 | Ag | 150 | - | - | 불량 | 측정불가 | - |
| 비교예 8 | Al-Ti | 1500 | - | - | 양호 | 양호 | 19 |
| 비교예 9 | Al-Ti | 1000 | - | - | 양호 | 양호 | 19 |
| 비교예 10 | Al-Ti | 750 | - | - | 양호 | 불량 | 23 |
| 비교예 11 | Al-Ti | 500 | - | - | 양호 | 측정불가 | - |
| 비교예 12 | Al-Ti | 300 | - | - | 양호 | 측정불가 | - |
| 비교예 13 | Al-Ti | 10 | Ag | 200 | 양호 | 불량 | 21 |
| 비교예 14 | Cu | 10 | Ag | 200 | 양호 | 불량 | 23 |
상기 표 1의 결과로부터 알 수 있는 바와 같이, 실시예 1 내지 9에 따른 본 발명의 상변화형 광디스크는 기록 신호 특성과 내부식성이 양호할 뿐만 아니라 초기 기록 지터 특성이 모두 15ns 이하로서 매우 양호하였다.
한편, Ag 단일 반사층 만을 형성한 경우, Ag 반사층의 두께를 750Å 이하로 한 경우 기록특성이 양호하여 생산성 측면에서는 바람직하나 내식성이 불량하였고, 특히 Ag 반사층의 두께가 200Å 이하인 경우(비교예 6 및 7)는 기록 신호 특성, 초기 기록 특성 및 내식성이 모두 불량하였다. 도 7은 비교예 3에 따라 Ag 단일 반사층을 적용한 상변화형 광디스크의 내환경 테스트시 부식된 반사층 표면의 SEM 사진을 나타낸 것이다.
또한, Al-Ti 반사층의 두께가 1000Å 이상인 경우(비교예 8 및 9)는 내부식성, 기록신호 특성은 양호하지만, 생산성 면에서 바람직하지 못할 뿐 아니라 초기기록특성이 본 발명의 것에 비해 불량하며, Al-Ti 반사층의 두께가 750, 500 및 300Å인 경우(비교예 10 내지 12)는 기록 신호 특성이나 초기 기록 지터 특성, 광특성이 모두 불량하였다.
도 8은 비교예 10에 따른 Al-Ti 단일 반사층(두께 750Å)을 지니는 상변화형 광디스크에서 기록 후 재생 신호 파형을 나타낸 도면으로, 불완전한 비결정질 마크 때문에, 도 9에 나타낸 바람직한 파형과는 다름을 알 수 있다.
한편, 도 10는 비교예 8 내지 12에 따라 Al-Ti 반사층을 갖고 있는 상변화형 광디스크에서 Al-Ti 반사층 두께에 따른 가열 냉각 거동을 열 특성 시뮬레이션을 통하여 분석한 그래프로서, 이 시뮬레이션에 사용된 각 층의 물성과 광학상수는 하기 표 2와 같다.
| 각 층 재료 | 복소굴절율(780㎚) | 열 전도율(Joule/㎝/초/℃) | 비열(Joule/㎤) | |
| 제 1, 2 유전체 층 | ZnS-SiO2 | 2.05 + 0.00i | 0.006 | 2.055 |
| 기록층 | Ag-In-Sb-Te | 4.13 + 4.68i | 0.0055 | 1.292 |
| 반사층 | Al-Ti | 2.54 + 7.82i | 1.1 | 2.464 |
도 10을 참조하면, Al 합금 반사층의 두께가 감소함에 따라 냉각 곡선이 점점 완만해지는 것을 알 수 있다. 비정질화는 일반적으로 용융후 용융점 이하로 냉각되는 시점에 이루어지는데, 이때, 냉각 속도가 비정질화가 가능할 정도로 충분해야 한다. 그런데, Al 합금 반사층의 두께가 감소한다는 것은 기록층의 냉각속도가 그만큼 줄어든다는 것을 의미하고, 이와 같이 냉각 속도가 감소하여 비정질화에 필요한 임계 냉각 속도 보다 줄어들 경우 기록층은 용융되더라도 비정질화되지 않고 결국은 결정화될 가능성이 커지게 된다. 따라서, 기록 특성이 불량하게 되므로 바람직하지 않다.
상기 결과로부터 알 수 있는 바와 같이, 기존의 Al-Ti 합금층만을 단일 반사층으로 사용하는 경우 두께가 1000Å 이상이 되어야 하므로 제조공정상 불리하며, Ag 단일 반사층을 사용한 경우는 두께 감소 효과는 얻을 수 있으나 내식성이 불량한 반면, 본원 발명에서와 같이 반사층이 이중층으로 이루어진 경우는 비교적 얇은 두께에서도 전반적으로 물성이 우수하다.
실시예 6
스탬퍼를 사용한 사출성형법에 의하여 깊이 500Å의 나선형 그루브가 형성되어 있는 두께 1.2㎜ 폴리카보네이트 디스크 기판을 제조하였다.
상기 디스크 기판의 그루브 형성면에 ZnS-SiO2(8:2)를 RF 스퍼터링하여 제1유전체층을 두께 950Å로 성막하였다. 이후, 상기 제 1 유전체층 상부에 Ag-In-Sb-Te계 합금 박막을 DC 스퍼터링법에 의해 두께 200Å로 성막하였다. 이어서, 다시 ZnS-SiO2(8:2)를 RF 스퍼터링하여 제 2 유전체층을 두께 250Å로 성막한 후, Al-Ti 제1반사층을 스퍼터링방법으로 500Å 두께로 형성시켰다. 마지막으로, DC 스퍼터링법을 이용하여 Ag 제2반사층을 500Å 두께로 성막하였다. 보호층으로는 UV 경화형 수지를 스핀코팅하였다.
상기 상변화형 광디스크를 초기화하기 위하여 고속 초기화 장치(히다치사 제작)상에서 디스크를 회전시키면서 반도체 레이저 빔(파장: 830㎚)을 조사하여 기록층을 결정화시켰다.
제조된 광디스크의 특성을 평가하여 그 결과를 표 3에 나타내었다.
실시예 7 내지 11
Al-Ti 제1반사층 및 Ag 제2반사층의 두께를 표 3에 나타낸 바와 같이 변화시키는 것을 제외하고는 실시예 6과 동일하게 실시하여 본 발명의 광디스크를 제조하였다.
제조된 광디스크의 특성을 평가하여 그 결과를 표 3에 나타내었다.
실시예 12 및 13
W 제1반사층 및 Ag 제2반사층의 두께를 표 3에 나타낸 바와 같이 변화시키는 것을 제외하고는 실시예 6과 동일하게 실시하여 본 발명의 광디스크를 제조하였다.
제조된 광디스크의 특성을 평가하여 그 결과를 표 3에 나타내었다.
실시예 14
Si 제1반사층 및 Ag 제2반사층의 두께를 표 3에 나타낸 바와 같이 변화시키는 것을 제외하고는 실시예 10과 동일하게 실시하여 본 발명의 광디스크를 제조하였다.
제조된 광디스크의 특성을 평가하여 그 결과를 표 3에 나타내었다.
| 제1반사층 | 제2반사층 | 내식성 | 기록신호특성 | 초기기록특성(지터/ns) | 반복기록내구성 | |||
| 재료 | 두께(Å) | 재료 | 두께(Å) | |||||
| 실시예 6 | Al-Ti | 500 | Ag | 500 | 양호 | 양호 | 19 | > 2,000 |
| 실시예 7 | Al-Ti | 400 | Ag | 500 | 양호 | 양호 | 18 | > 2,000 |
| 실시예 8 | Al-Ti | 300 | Ag | 500 | 양호 | 양호 | 19 | > 2,000 |
| 실시예 9 | Al-Ti | 200 | Ag | 500 | 양호 | 양호 | 18 | > 2,000 |
| 실시예 10 | Al-Ti | 100 | Ag | 500 | 양호 | 양호 | 18 | > 1,800 |
| 실시예 11 | Al-Ti | 100 | Ag | 450 | 양호 | 양호 | 14 | > 900 |
| 실시예 12 | W | 100 | Ag | 500 | 양호 | 양호 | 18 | > 2,000 |
| 실시예 13 | W | 500 | Ag | 500 | 양호 | 양호 | 18 | > 2,000 |
| 실시예 14 | Si | 100 | Ag | 500 | 양호 | 양호 | 18 | > 1,100 |
표 3에서 알 수 있는 바와 같이, 본 발명에 따라 Ag층을 제2반사층으로 사용하고 Al-Ti 층을 제1반사층으로 사용하면서 각각의 두께를 100Å 및 450Å 이상으로 한 경우에는 내식성, 기록신호 특성 및 초기기록 특성이 우수할 뿐 아니라 특히 반복기록 내구성이 우수한 장점이 있었다.
도 11은 Ag 단일 반사층을 적용한 경우(■)와 실시예 10에 따라 제1반사층으로 Al-Ti층을 적용한 경우(●)의 80℃, 85% RH에서 실시한 내환경 테스트의 결과를 나타낸 도면이다. 본 발명에 따른 경우는 시간에 따라 지터값이 일정한 반면, Ag 단일층을 사용한 경우는 10시간 이후에 지터값이 급격히 증가한 것을 알 수 있다.
실시예 15 내지 20 및 비교예 15 내지 18은 DVD-RAM용의 상변화형 광디스크를 제조하여 그 특성을 평가한 것이다. 이로부터 제조된 광디스크의 각종 성능 평가는 다음 방법으로 실시하였다:
광디스크를 동특성 평가기(나카미치(Nakmichi)사 제작, 모델명: OMS-2000)에 장착한 다음, 6.0m/s로 회전시키며 기록 특성을 평가하였다. 이때, 기록을 위한 레이저 빔의 펄스의 형태는 DVD-RAM 규격 1.0(발행처:DVD Forum)에 의거하였다. 이때 사용된 광원의 파장은 680㎚, 대물렌즈의 NA는 0.60이었다.
중첩 기록 특성은 10회 기록시 지터(jitter) 값으로 나타내었으며, 반복기록 내구성은 기록과 소거를 반복하면서 기록특성의 저하 여부를 관찰한 것으로, 다수회 기록시 지터값이 중첩기록지터값, 즉, 10회 중첩기록후의 지터 값의 50% 이상으로 증가하기 시작하는 기록 회수를 나타내었다.
Pp(mW)는 기록에 필요한 파워를 나타내었다. 종합적인 판정은 중첩기록 지터값이 4.0ns 이하이고, 반복기록내구성이 100,000회 이상인 경우를 양호(○)로 하고, 그 이하인 경우를 불량(×)으로 하였다.
실시예 15
스탬퍼를 사용한 사출성형법에 의하여 깊이 70㎚의 나선형 그루브가 형성되어 있는 두께 0.6㎜ 폴리카보네이트 디스크 기판을 제조하였다. 이때, 기판의 그루브와 인접 그루브 사이의 간격은 1.48㎛, 그루브와 랜드 사이의 간격은 그 1/2에 해당하는 0.74㎛이며, 그루브의 중간에 각 섹터의 어드레스 검출을 위한 헤더 피트(header pit)가 형성되었다. 또한, 각 그루브에는 동일 주파수의 워블(Wobble) 신호가 검출될 수 있도록 굴곡을 형성시켰다.
상기 폴리카보네이트 기판의 그루브 형성면에 ZnS-SiO2(8:2)를 RF 스퍼터링하여 제1유전체층을 두께 950Å로 성막하였다. 이후, 상기 제 1 유전체층 상부에 Ge-Sb-Te계 합금 박막을 DC 스퍼터링법에 의해 두께 200Å로 성막하였다. 이어서, 다시 ZnS-SiO2(8:2)를 RF 스퍼터링하여 제 2 유전체층을 두께 140Å로 성막하였다.
제2유전체 상에 Al-Cr 제1반사층을 RF 스퍼터링 방법으로 500Å 두께로 형성시켰다. 마지막으로, DC 스퍼터링법을 이용하여 Cu 제2반사층을 400Å 두께로 성막하였다. 보호층으로는 UV 수지를 스핀코팅하였다.
제조된 광디스크의 특성을 평가하여 그 결과를 표 4에 나타내었다.
실시예 16 내지 19
Al-Cr 제1반사층 및 Cu 제2반사층의 두께를 표 4에서와 같이 변화시키는 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하여 본 발명의 광디스크를 제조하였다.
제조된 광디스크의 특성을 평가하여 그 결과를 표 4에 나타내었다.
비교예 15 내지 18
반사층을 이중으로 하지 않고 각각 500Å, 1000Å, 1500Å, 2000Å 두께의 Al-Cr 합금(Al: 98at%, Cr: 2at%) 단일 반사층만을 형성한 것을 제외하고는, 실시예 16과 동일한 방법에 따라 실시하였다.
제조된 광디스크의 특성을 평가하여 그 결과를 표 4에 나타내었다.
비교예 19 내지 21
Al-Cr 제1반사층 및 Cu 제2반사층의 두께를 표 4에서와 같이 변화시키는 것을 제외하고는 실시예 15와 동일하게 실시하여 본 발명의 광디스크를 제조하였다.
제조된 광디스크의 특성을 평가하여 그 결과를 표 4에 나타내었다.
| 제1(단일)반사층 | 제2반사층 | 중첩기록지터(ns) | 반복기록내구성(회) | PP(mW) | 판정 | |||
| 재료 | 두께(Å) | 재료 | 두께(Å) | |||||
| 실시예 16 | Al-Cr | 500 | Cu | 400 | 3.7 | 120,000 | 12.0 | ○ |
| 실시예 17 | Al-Cr | 500 | Cu | 500 | 3.8 | 120,000 | 12.6 | ○ |
| 실시예 18 | Al-Cr | 500 | Cu | 600 | 3.9 | 130,000 | 12.6 | ○ |
| 실시예 19 | Al-Cr | 1000 | Cu | 500 | 3.7 | 100,000 | 13.1 | ○ |
| 실시예 20 | Al-Cr | 500 | Cu | 700 | 4.0 | 140,000 | 12.6 | ○ |
| 비교예 15 | Al-Cr | 500 | - | - | 3.8 | 2,000 | 10.8 | × |
| 비교예 16 | Al-Cr | 1000 | - | - | 3.7 | 2,000 | 12.0 | × |
| 비교예 17 | Al-Cr | 1500 | - | - | 3.6 | 50,000 | 12.2 | × |
| 비교예 18 | Al-Cr | 2000 | - | - | 3.6 | 70,000 | 13.0 | × |
| 비교예 19 | Al-Cr | 500 | Cu | 800 | 4.7 | - | 12.6 | × |
| 비교예 20 | Al-Cr | 500 | Cu | 1000 | 4.6 | - | 12.8 | × |
| 비교예 21 | Al-Cr | 1500 | Cu | 500 | 3.8 | 50,000 | 12.2 | × |
표 4에서 알 수 있는 바와 같이, 본 발명에 따라 Al-Cr을 제1반사층으로하고, Cu를 제2반사층으로 사용한 경우에는 Al-Cr 단일 반사층만을 사용한 경우보다 우수한 내식성, 기록신호 특성, 초기기록 특성 및 반복기록 내구성을 나타내었다.
도 12는 비교예 15 내지 18에 따라 Al-Cr 합금 단일 반사층을 채용한 광디스크의 반사층의 두께에 따른 중첩기록 지터와 반복기록 내구성을 나타낸 그래프이다. 이 경우 그 두께를 2000Å 이상으로 해도 반복기록내구성이 70,000회 정도에 불과하다. 도 13는 비교예 15 내지 18에 따라 Al-Cr 합금 단일 반사층을 채용한 광디스크의 반사층의 두께에 따른 기록 파워를 나타낸 그래프로서, 두께 증가에 따라 기록에 필요한 파워도 증가하게 되어 실용화에 불리하게 됨을 알 수 있다. 게다가 반사층의 두께가 과도하게 크면 재료비의 증가와 필요 성막 시간의 증가를 야기하여 생산성 감소의 문제점을 갖게 된다. 또한, 이중 반사층을 채용한 경우라도, 비교예 19 내지 21 의 경우에는 각 반사층의 두께가 바람직한 범위에서 벗어나므로, 중첩기록지터값이 높거나, 반복기록 내구성이 불량한 단점이 있다.
이에 비해 본 발명에 따라 이중 반사층을 채용한 경우는 도 14에 나타낸 바와 같이 Cu 층 두께가 400Å (이중 반사층 두께 총 900Å)만 되어도 100,000회 이상의 반복 기록 내구성을 얻을 수 있다. 또한, Cu 두께를 약 700Å 이하로 한정할 경우 지터 4.0㎱ 이하의 양호한 중첩기록 특성을 나타내게 된다. 결국 양호한 반복기록 내구성 및 중첩 기록 특성을 나타내면서 동시에 재료비 절감 및 생산성 향상 효과를 얻을 수 있게 되는 것이다.
실시예 21
GeSbTe 기록층의 조성이 GeSb2Te4주변 조성이고, 제 1 반사층으로서 500Å 두께의 AlCr 합금(Cr 2.0at%) 및 제 2 반사층으로서 100Å 두께의 Cu층을 사용하고, 기판으로서 헤더 피트(header pit)와 워블이 형성되어 있지 않은 것을 사용한 것을 제외하고는 실시예 16과 동일하게 실시하여 본 발명의 광디스크를 제조하였다.
비교예 22
단일 반사층으로서 500Å 두께의 AlCr 합금만을 사용하는 것을 제외하고는 실시예 20과 동일하게 실시하여 광디스크를 제조하였다.
비교예 23
제 2 반사층으로서 200Å 두께의 Cu층을 사용한 것을 제외하고는 실시예 21과 동일하게 실시하여 광디스크를 제조하였다.
실시예 20(■) 및 비교예 22(●) 및 23(▲)에서 제조한 상변화형 광디스크를 기록 선속을 8.2 m/s로 하는 것을 제외하고는 실시예 16에 개시된 방법과 동일한 조건하에서 기록한 후, 3Tw에 해당하는 재생 신호의 폭 지터값을 측정하여 그 결과를 도 15에 나타내었다. 이로부터 알 수 있는 바와 같이, 기록층 조성 및 기록 조건이 달라지면 Cu 제 2 반사층이 100Å인 경우에도 양호한 효과를 나타내며, 두께가 200Å인 경우는 오히려 지터값이 높음을 알 수 있다.
본 발명의 상변화형 광디스크는 우수한 내식성, 중첩기록 특성 및 반복기록내구성을 나타내므로, 서환형 광디스크로서 적합하다.
Claims (10)
- 투명기판 상에 순차적으로 형성된 제1유전체층, 기록층, 제2유전체층 및 반사층을 포함하는 상변화형 광디스크에 있어서, 상기 반사층이 전기 음성도가 1.9 내지 3.0인 금속 또는 합금으로 이루어진 제1반사층 및 Cu, Ag 또는 이들의 합금으로 이루어진 제2반사층을 포함하며, 상기 제1반사층은 상기 제2유전체층과 밀착되어 위치하고, 상기 제2반사층은 상기 제1반사층 및 보호층과 밀착되어 있는 것을 특징으로 하는 상변화형 광디스크.
- 제 1 항에 있어서,상기 제1반사층이 Al, Au, W, Mo, Ni, Ge, Si, Pd, Sn, Rh, Pt 및 이들의 합금으로 이루어진 군으로부터 선택된 재료로 형성되는 것을 특징으로 하는 상변화형 광디스크.
- 제 2 항에 있어서,상기 합금이 Al, Au, Cu, Ag, W, Mo, Ni, Ge, Si, Fe, Cr, Co, Zr, Zn, Ti, Ta, Mg, Pd, V, Nb, Hf, Sn, Sc, Rh, Pt, Mn 및 이들의 혼합물로 이루어진 군으로부터 선택되는 금속 성분을 제2성분으로서 함유하는 것을 특징으로 하는 상변화형 광디스크.
- 제 1 항에 있어서,상기 제2반사층을 이루는 Cu 또는 Ag 합금이 Al, Au, Cu, Ag, W, Mo, Ni, Ge, Si, Fe, Cr, Co, Zr, Zn, Ti, Ta, Mg, Pd, V, Nb, Hf, Sn, Sc, Rh, Pt, Mn 및 이들의 혼합물로 이루어진 군으로부터 선택되는 금속 성분을 제2성분으로서 함유하는 것을 특징으로 하는 상변화형 광디스크.
- 제 1 항에 있어서,상기 기록층이 Ag-In-Sb-Te 합금으로 이루어지고, 상기 제1반사층이 두께 10Å이상의 W, Si 또는 Al 합금으로 이루어지고, 제2반사층이 두께 250Å 이상의 Cu, Ag 또는 Ag 합금으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 상변화형 광디스크.
- 제 5 항에 있어서,상기 제1반사층의 두께가 100Å이상이고, 제2반사층의 두께가 450Å 이상인 것을 특징으로 하는 상변화형 광디스크.
- 제 1 항에 있어서,상기 기록층이 Ge-Sb-Te 합금으로 이루어지고, 제1반사층이 Al 또는 Al 합금으로 이루어지고, 제2 반사층이 Cu 또는 Ag으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 상변화형 광디스크.
- 제 1 항에 있어서,상기 두 반사층의 총 두께가 2000Å 이하인 것을 특징으로 하는 상변화형 광디스크.
- 제 8 항에 있어서,상기 제1반사층의 두께가 1300Å 이하, 제2반사층의 두께가 10Å 이상인 것을 특징으로 하는 상변화형 광디스크.
- 제 9 항에 있어서,상기 제2반사층의 두께가 800Å 미만인 것을 특징으로 하는 상변화형 광디스크.
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