KR19990029397A - 표시장치의 어레이기판, 어레이기판을 구비한 액정표시장치 및 어레이기판 제조방법 - Google Patents

표시장치의 어레이기판, 어레이기판을 구비한 액정표시장치 및 어레이기판 제조방법 Download PDF

Info

Publication number
KR19990029397A
KR19990029397A KR1019980035798A KR19980035798A KR19990029397A KR 19990029397 A KR19990029397 A KR 19990029397A KR 1019980035798 A KR1019980035798 A KR 1019980035798A KR 19980035798 A KR19980035798 A KR 19980035798A KR 19990029397 A KR19990029397 A KR 19990029397A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
wiring
array substrate
wirings
substrate
lead
Prior art date
Application number
KR1019980035798A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100298239B1 (ko
Inventor
가츠히코 이나다
Original Assignee
오카모토 세이시
도시바 마이크로일렉트로닉스 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 오카모토 세이시, 도시바 마이크로일렉트로닉스 가부시키가이샤 filed Critical 오카모토 세이시
Publication of KR19990029397A publication Critical patent/KR19990029397A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100298239B1 publication Critical patent/KR100298239B1/ko

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/52Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
    • H01L23/538Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames the interconnection structure between a plurality of semiconductor chips being formed on, or in, insulating substrates
    • H01L23/5382Adaptable interconnections, e.g. for engineering changes
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/136Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
    • G02F1/1362Active matrix addressed cells
    • G02F1/136286Wiring, e.g. gate line, drain line
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1345Conductors connecting electrodes to cell terminals
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1345Conductors connecting electrodes to cell terminals
    • G02F1/13458Terminal pads
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306Details
    • G02F1/1309Repairing; Testing
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/136Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
    • G02F1/1362Active matrix addressed cells
    • G02F1/136259Repairing; Defects
    • G02F1/136263Line defects
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

본 발명은 표시장치의 어레이기판, 어레이기판을 구비한 액정표시장치 및 어레이기판 제조방법에 관한 것으로서, 어레이기판의 유리기판상에는 매트릭스형상으로 배치된 복수의 신호선(32) 및 주사선과, 표시영역을 형성한 복수의 화소전극이 설치되어 있고, 신호선 및 주사선은 표시영역의 바깥쪽으로 뻗은 인출배선부(46)를 각각 갖고, 신호선의 각 인출배선부는 절연막을 통해 적층된 제 1 배선(46a) 및 제 2 배선(46b)을 갖는 2층 구조로 형성되어 있는 동시에 두 군데에서 제 1 및 제 2 배선을 서로 전기적으로 도통한 도통부(64)와, 도통부간에 제 1 배선과 제 2 배선이 유리기판의 면방향으로 어긋나 위치한 두 개의 비중복부(66)를 갖고 있으며, 인출배선간에 쇼트가 생긴 경우, 비중복부의 위치에서 제 1 또는 제 2 배선을 절단하여 고품질, 고수율, 저비용화가 실현가능한 표시장치의 어레이기판, 그 제조방법 및 어레이기판을 구비한 액정표시장치를 제공하는 것에 그 특징이 있다.

Description

표시장치의 어레이기판, 어레이기판을 구비한 액정표시장치 및 어레이기판 제조방법
본 발명은 플랫 디스플레이 패널 등에 이용되는 어레이기판, 이 어레이기판을 구비한 액정표시장치 및 어레이기판의 제조방법에 관한 것이다.
근래 소형, 경량, 저소비전력을 지향하여 액정표시장치로 대표되는 플랫 패널 디스플레이의 개발이 진행되고 있다. 액정표시장치는 액정층을 끼워 대향배치된 어레이기판 및 대향기판을 구비하고 있다. 어레이기판은 절연기판상에 복수개의 신호선 및 주사선을 매트릭스형상으로 배선하고, 신호선 및 주사선으로 둘러싸인 각 영역에 설치된 화소전극을 스위칭소자를 통해 신호선과 주사선과의 교점부에 접속하는 것에 의해 구성되고 있다. 또, 대향기판은 절연기판상에 투명전극재료로 이루어진 대향전극을 설치하여 구성되고 있다.
어레이기판상의 신호선 및 주사선은 각각 표시영역 밖으로 인출되어 어레이기판의 옆 둘레부에 설치된 급전(給電)전극에 각각 접속되어 있는 동시에 이러한 급전전극을 통해 외부 구동회로 등과 전기적으로 접속되어 있다.
이와 같은 액정표시장치에 있어서는 근래 외형길이에 대해 큰 표시영역을 확보하기 위해 협액연화(狹額緣化), 즉 유효표시영역에 대해 주변의 유지틀을 작게 하는 것이 요구되고 있다. 또, 한층 비용삭감도 요구되어 더욱 제품수율의 향상이 필요하게 되었다.
그러나, 액정표시장치의 협액연화를 진행시키면 표시영역으로부터 인출된 배선의 설치영역이 좁아지기 때문에 배선폭, 배선간을 좁게 하지 않으면 안 되고, 그 결과 배선오픈, 배선간 쇼트 등의 불량이 생기기 쉬워진다.
그래서, 근래 배선오픈에 대한 신뢰성 향상을 꾀하기 위해 예를 들면 신호선내, 표시영역에서 바깥측으로 인출된 부분을 2층 배선구조로 한 액정표시장치가 제공되고 있다. 즉, 신호선의 인출부분은 절연층을 통해 적층형성된 제 1 배선과 제 2 배선에 의해 구성되어 있다. 그리고, 제 1 및 제 2 배선의 표시영역측의 단부 끼리 및 접속패드측의 단부 끼리는 각각 스루홀을 통해 서로 도통되어 있다. 이와 같은 2층 배선구조로 한 경우, 제 1 및 제 2 배선의 어느 한쪽이 단선된 경우에도 신호선의 접속상태를 유지할 수 있고, 신뢰성의 향상을 꾀할 수 있다.
그러나, 상기한 바와 같은 2층 배선구조로 한 경우, 배선 오픈에 대한 신뢰성이 향상하는 반면, 배선수가 2배가 되는 점에서 배선간 쇼트의 발생확률도 2배가 되어 버린다. 특히, 액정표시장치의 협액연화를 진행하는 경우, 배선인출부의 설치 스페이스가 좁아지고, 배선간 쇼트가 한층 일어나기 쉽다.
또, 배선간 쇼트가 생긴 경우에는 쇼트위치의 검출 및 쇼트배선의 절단이 곤란하고, 액정표시장치 제조의 자동화를 방해하는 요인이 되고 있다.
본 발명은 이상의 점을 감안한 것으로서, 그 목적은 고품질, 고수율, 저비용화가 실현가능한 매트릭스 어레이기판과 그 제조방법 및 매트릭스 어레이기판을 구비한 액정표시장치를 제공하는데 있다.
도 1은 본 발명의 실시형태에 관련된 액티브 매트릭스형의 액정표시장치를 나타낸 사시도,
도 2는 상기 액정표시장치에 있어서의 액정패널의 단면도,
도 3은 상기 액정패널의 어레이기판을 개략적으로 나타낸 사시도,
도 4는 상기 어레이기판의 인출배선부를 모식적으로 나타낸 평면도,
도 5는 도 4에서 선 A-A, B-B, C-C에 각각 따른 단면도, 및
도 6은 인출배선간 쇼트가 생긴 절단위치를 모식적으로 나타낸 인출배선부의 평면이다.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10: 액정패널 18: 어레이기판
20: 대향기판 31: 유리기판
32: 신호선 34: 주사선
36: 화소전극 38: TFT
40: 표시영역 42: 시일제 도포영역
44: 신호선 접속패드 46, 48: 인출배선
47: 주사선 접속패드 46a: 제 1 배선
46b: 제 2 배선 46c: 우회경로부
64: 컨택트 스루홀 66: 비중복부
X, X', Y, Y': 절단위치
상기 목적을 달성하기 위해 본 발명에 관련된 표시장치의 어레이기판은 절연기판과, 상기 절연기판상에 설치된 복수의 배선과, 상기 절연기판상에 설치되어 표시영역을 형성하고 있는 동시에, 각각 스위칭소자를 통해 상기 배선에 전기적으로 접속된 복수의 화소전극을 구비하고,
상기 배선은 상기 표시영역의 바깥쪽에 뻗은 인출배선부를 각각 갖고, 상기 각 인출배선부는 절연막을 통해 적층된 제 1 배선 및 제 2 배선을 갖는 2층 구조로 형성되어 있는 동시에, 적어도 두 군데에서 상기 제 1 배선과 제 2 배선을 서로 전기적으로 도통한 적어도 두 개의 도통부와, 상기 도통부간에 설치되고, 상기 제 1 배선과 제 2 배선이 상기 절연기판의 면방향에 어긋나서 위치한 적어도 두 개의 비중복부를 구비하고 있는 것을 특징으로 하고 있다.
또, 본 발명에 관련된 액정표시장치는 제 1 절연기판과, 상기 제 1 절연기판상에 설치된 복수의 배선과, 상기 제 1 절연기판상에 설치되어 표시영역을 형성하고 있는 동시에, 각각 스위칭소자를 통해 상기 배선에 전기적으로 접속된 복수의 화소전극을 갖는 어레이기판과,
상기 어레이기판에 대향배치된 제 2 절연기판과, 상기 제 2 절연기판상에 설치되어 상기 화소전극과 대향한 대향전극을 갖는 대향기판과,
상기 어레이기판과 대향기판과의 사이에 설치된 액정조성물을 구비하고,
상기 어레이기판의 배선은 상기 표시영역의 바깥쪽에 뻗은 인출배선부를 각각 갖고, 상기 각 인출배선부는 절연막을 통해 적층된 제 1 배선 및 제 2 배선을 갖는 2층 구조로 형성되어 있는 동시에, 적어도 두 군데에서 상기 제 1 배선과 제 2 배선을 서로 전기적으로 도통한 적어도 두 개의 도통부와, 상기 도통부간에 설치되고, 상기 제 1 배선과 제 2 배선이 상기 절연기판의 면방향에 어긋나서 위치한 적어도 두 개의 비중복부를 구비하고 있는 것을 특징으로 하고 있다.
상기 구성의 어레이기판 및 액정표시장치에 의하면 인출배선부를 2층 구조로 하는 것에 의해 제 1 및 제 2 배선의 한쪽이 단선되는 경우에도 접속상태를 유지할 수 있고, 단선에 대한 신뢰성이 향상한다. 또, 각 인출배선부에 비중복부를 설치하는 것에 의해 인출배선부간에 쇼트불량이 발생할 때, 이 비중복부에서 제 1 또는 제 2 배선을 용이하게 절단하는 것이 가능해진다.
또, 본 발명에 관련된 표시장치의 어레이기판을 제조하는 방법은 상기 인출배선부간의 쇼트불량을 검출하고, 쇼트불량이 검출될 때, 상기 쇼트불량이 검출된 인출배선부의 상기 비중복부에서 제 1 배선 및 제 2 배선의 어느 한쪽을 절단하는 공정을 구비한 것을 특징으로 하고 있다.
상기 절단공정에 있어서, 쇼트불량이 검출된 인접하는 두 개의 인출배선부의 한쪽은 상기 비중복부의 위치에서 제 1 배선을 절단하고, 다른 쪽의 인출배선부는 상기 비중복부의 위치에서 제 2 배선을 절단한다.
또, 상기 절단공정에 있어서는 레이저조사에 의해 절단을 실행한다.
이하 도면을 참조하면서 본 발명의 실시형태에 관련된 액티브 매트릭스형의 액정표시장치에 대해 상세하게 설명한다.
도 1에 나타낸 바와 같이 액정표시장치는 액정패널(10), 액정패널을 구동하기 위한 신호선 구동회로기판(12), 주사선 구동회로기판(14), 각 구동회로기판과 액정패널을 전기적으로 접속한 복수의 테이프 캐리어 패키지(TCP라고 한다)(16)를 구비하고 있다.
도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이 액정패널(10)은 어레이기판(18) 및 대향기판(20)을 구비하고, 이러한 기판은 둘레부를 후술하는 시일제에 의해 부착시키는 것에 의해 소정의 갭을 두고 대향배치되고 있다. 그리고, 어레이 기판(18)과 대향기판(20)과의 사이에는 각각 배향막(23, 24)을 통해 액정조성물(26)이 밀봉되어 있다. 어레이기판(18) 및 대항기판(20)의 바깥표면에는 각각 편광판(28, 30)이 배치되어 있다.
도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이 어레이기판(18)은 제 1 절연기판으로서 기능하는 0.7㎜ 두께의 유리기판(31)을 갖고, 이 유리기판상에는 배선으로서 800×3개의 신호선(32)과 600개의 주사선(34)이 서로 직교하여 매트릭스형상으로 설치되어 있다. 신호선(32)과 주사선(34)으로 둘러싸인 영역에는 각각 ITO로 이루어진 화소전극(36)이 설치되고, 각 화소전극은 스위칭소자로서의 박막트랜지스터(이하 TFT라고 한다)(38)를 통해 신호선(32)과 주사선(34)과의 교차부에 접속되어 있다.
그리고, 다수의 화소전극(36)에 의해 거의 장방형상의 표시영역(40)이 규정되어 있다. 또, 유리기판(31)상에는 예를 들면 자외선 경화수지 등으로 이루어진 시일제를 도포하는 장방형 틀형상의 시일제 도포영역(42)이 표시영역(40)을 둘러싸도록 설치되어 있다.
각 주사선(34)은 예를 들면 몰리브덴 텅스텐(Mo-W)합금 등의 저저항 금속재료에 의해 형성되어 있다. 그리고, 각 주사선(34)은 유리기판(31)의 대향하는 두 개의 짧은 변(31a, 31b) 사이에 뻗어 있다. 주사선(34)의 한쪽 단부는 시일제 도포영역(42)을 넘어서 한쪽의 짧은 변(31b)까지 인출되어 유리기판(31)상의 주사선 접속패드(47)에 도통한 인출배선부(48)를 구성하고 있다. 그리고, 주사선 접속패드(47)는 TCP(16)를 통해 주사선 구동회로기판(14)에 접속되어 있다.
또, 신호선(32)은 질화막으로 이루어진 게이트절연막(43)을 통해 주사선(34)상에 주사선과 대략 직교하여 배치되어 있다. 이 신호선(32)은 예를 들면 알루미늄(Al) 합금 등의 저저항 금속에 의해 형성되어 있다. 각 신호선(32)은 유리기판(31)의 대향하는 두 개의 긴 변(31c, 31d) 사이에 뻗어 있다.
그리고, 각 신호선(32)의 한쪽 단부는 시일제 도포영역(42)을 넘어서 한쪽의 긴 변(31d)까지 인출되고, 유리기판(31)상의 신호선 접속패드(44)에 도통한 인출배선부(46)를 구성하고 있다. 그리고, 신호선 접속패드(44)는 TCP(16)를 통해 신호선 구동회로기판(12)에 접속되어 있다.
도 2에서 잘 알 수 있는 바와 같이, 각 TFT(38)는 주사선(34) 자체를 게이트 전극(50)으로 하고, 게이트 전극상에 게이트 절연막(43)을 통해 a-Si:H막으로 이루어진 반도체층(52)이 형성되어 있다. 또, 반도체층(52)상에는 주사선(34)에 자기정합되어 이루어진 채널보호막(53)으로서 질화실리콘이 배치되어 있다.
그리고, 반도체층(52)은 소스전극(54)을 통해 화소전극(36)에 전기적으로 접속되어 있는 동시에 드레인전극(55)을 통해 신호선(32)에 전기적으로 접속되어 있다. 또, 반도체층(52)으로서는 폴리실리콘(p-Si)과 화합물 반도체 등을 이용할 수도 있다.
본 실시형태에 관련된 액정표시장치의 어레이기판(18)에 의하면 각 신호선(32)의 인출배선부(46) 및 각 주사선(34)의 인출배선부(48)는 2층 배선구조로 형성되어 있다. 도 5의 (a), (b), (c)는 도 4의 선 A-A, B-B, C-C에 각각 따른 단면도를 나타내고 있다.
즉, 신호선(32)의 인출배선부(46)에 대해 설명하면 도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이 인출배선부(46)는 유리기판(31)상에 형성된 Mo-W합금으로 이루어진 제 1 배선(46a)과 게이트 절연막(43)을 통해 제 1 배선(46a)상에 겹쳐 형성된 Al합금으로 이루어진 제 2 배선(46b)으로 구성되어 있다.
제 1 및 제 2 배선(46a, 46b)은 시일제 도포영역(42)을 사이에 끼우고 표시영역(40)측과 신호선 접속패드(44)측과의 두 군데에서 도통부로서의 컨택트 스루홀(64)을 통해 서로 도통하고 있다.
또, 인출배선부(46)는 시일제 도포영역(42)을 사이에 끼우고 표시영역(40)측과 신호접속 패드(44)측과의 두 군데에서, 또한 두 개의 컨택트 스루홀(64) 사이에 각각 비중복부(66)를 구비하여 구성되어 있다. 각 비중복부(66)에 있어서, 제 1 및 제 2 배선(46a, 46b)의 한쪽, 예를 들면 제 2 배선(46b)은 제 1 배선(46a)에 대해 유리기판(31)의 면방향에 어긋나서 위치한 우회경로부(46c)를 갖고 있다.
상기 구성의 어레이기판(18)과 같이 신호선(32)의 인출배선부(46)를 2층 배선구조로 하는 것에 의해 제조공정중에 부착된 먼지 등에 의해 제 1 배선(46a) 또는 제 2 배선(46b)의 어느 한쪽이 단전된 경우에도 다른 쪽 배선이 접속상태로 유지되기 때문에 단선불량이 되는 일은 없다. 그 때문에 배선오픈에 대한 신뢰성 향상을 꾀할 수 있다.
또, 인출배선부(46)의 배선간 스페이스는 최소부에서 10∼20㎛정도이고, 표시영역(40) 내에서의 배선간 스페이스 50∼100㎛와 비교하여 매우 좁아진다. 그 때문에 인출배선부(46) 사이에서 쇼트가 생길 가능성도 높아진다.
그래서, 도 6의 (a)에 나타낸 바와 같이, 예를 들면 신호선(32)의 인접하는 두 개의 인출배선부(46)에서 제 1 배선(46a) 끼리의 쇼트가 생긴 경우, 어느 한쪽의 인출배선부(46)의 양쪽 비중복부(66)에 있어서, 제 1 배선(46a)의 X, X'부분을, 예를 들면 레이저 조사에 의해 절단한다. 이것에 의해 제 1 배선(46a)끼리의 쇼트를 회피할 수 있다.
또, 도 6의 (b)에 나타낸 바와 같이, 인접하는 두 개의 인출배선부(46)에서 제 2 배선(46b) 끼리의 쇼트가 생긴 경우, 어느 한쪽의 인출배선부(46)의 양쪽 비중복부(66)에 있어서, 제 2 배선(46b)의 Y, Y'부분을, 예를 들면 레이저조사에 의해 절단한다. 이것에 의해 제 2 배선(46b) 끼리의 쇼트를 회피할 수 있다.
여기에서 2층 배선구조의 경우, 절단부분에 있어서 한쪽 배선만을 절단하는 것은 곤란하지만 상기 구성의 인출배선부(46)에 의하면 제 1 및 제 2 배선(46a, 46b)이 유리기판의 양방향에 어긋나서 설치된 비중복부(66)를 구비하고 있기 때문에, 이 비중복부에서 한쪽의 배선만을 용이하게 절단할 수 있다.
배선간 쇼트의 검출은 어레이기판 제조공정의 최종단계에 있어서, 신호선 접속패드(44) 및 주사선 접속패드(47)상에 검사용 프로브를 접촉시키고, 전기적 특성을 측정하는 것에 의해 실행한다. 이 경우, 어느 인출배선부간에서 쇼트불량이 생겼는지는 특정할 수 있지만, 제 1 배선간의 쇼트불량인지, 또는 제 2 배선간의 쇼트불량인지를 판단하는 것은 곤란하다.
그러나, 인출배선부(46)간 쇼트가 검출된 경우, 상기한 절단위치(X, X' 및 Y, Y')를 동시에 절단하면, 쇼트불량이 제 1 배선(46a) 끼리인 경우에도, 제 2 배선(46b) 끼리인 경우에도 인출배선부문의 쇼트를 리페어할 수 있고, 또 배선오픈 등의 다른 불량은 생기지 않는다. 그래서 본 실시형태에 의하면 검사공정에서 쇼트불량이 생긴 인출배선부가 특정된 경우, 도 4에 나타낸 바와 같이 무조건 양쪽 인출배선부를 절단위치(X, X' 및 Y, Y')에서 절단하는 구성으로 하고 있다.
또, 도 4에 나타낸 바와 같이 절단공정에 있어서 각 배선의 절단위치는 절단위치(X와 Y) 및 절단위치(Y와 Y')가 각각 인접하여 위치하도록, 즉 사이에 다른 배선이 존재하지 않도록 선택하는 것이 바람직하다. 절단위치를 이와 같이 정한 경우, 절단위치(X 및 X')를 1회의 레이저조사에 의해 연속적으로 절단할 수 있고, 마찬가지로 절단위치(Y 및 Y')를 1회의 레이저조사에 의해 연속적으로 절단할 수 있다.
또, 주사선(34)의 인출배선부(48)도 신호선(32)의 인출배선부(46)와 마찬가지로 구성되고, 인출배선부(48)사이에서 쇼트가 생긴 경우도 상기한 바와 같은 공정으로 리페어된다.
한편, 도 2에 나타낸 바와 같이 대향기판(20)은 제 2 절연기판으로서 기능하는 투명한 유리기판(56)을 구비하고, 이 유리기판상에는 크롬(Cr)의 산화막으로 이루어진 차광층(58)이 형성되어 있다. 차광층(58)은 어레이기판(18)상의 TFT(38), 신호선(32)과 화소전극(36)과의 간격 및 주사선(34)과 화소전극(36)과의 간격을 각각 차광하도록 매트릭스형상으로 형성되어 있다.
또, 유리기판(56)상에 있어서 어레이기판(18)측의 화소전극(36)과 대향하는 위치에는 적, 녹, 청의 컬러필터층(60)이 형성되어 있다. 그리고, 이러한 차광층(58), 컬러필터층(60)에 겹쳐서 ITO로 이루어지는 투명한 대향전극(61), 배향층(24)이 순서대로 설치되어 있다.
그리고, 어레이기판(18)의 검사 및 리페어종료 후, 어레이기판(18)의 시일제 도포영역(42)에 시일제를 도포하고, 어레이기판(18) 및 대향기판(20)의 둘레부 끼리를 부착시킨 후, 이러한 기판간에 액정조성물(26)을 밀봉하는 것에 의해 액정패널(10)이 제조된다.
이상과 같이 구성된 액정표시장치에 의하면 신호선(32) 및 주사선(34)의 인출배선부(46, 48)를 2층 배선구조로 하는 것에 의해 단선불량의 발생률을 저감하고, 배선오픈의 신뢰성을 향상시킬 수 있다. 또, 각 인출배선부는 비중복영역(66)을 구비하고 있는 점에서 인출배선간에 쇼트가 생긴 경우에도 용이하게 쇼트불량을 리페어하는 것이 가능해진다.
또, 각 인출배선부의 비중복부(66)는 시일제 도포영역(40)의 양측에 위치하고, 시일제 도포영역상에서는 2층 배선구조가 되어 있다. 그 때문에 시일제 도포영역(40)에, 예를 들면 자외선 경화형의 시일제를 도포하고, 유리기판(31)측부터 인출배선부(46, 48)를 통해 자외선을 조사하는 경우, 인출배선부에 기인하는 시일제의 자외선 미조사영역의 발생을 저감하고, 시일강도의 저하 및 어레이기판, 대향기판의 위치 어긋남을 회피할 수 있다.
이상 상술한 바와 같이, 본 발명에 의하면 단선불량의 발생을 저감하고, 또 인출배선간의 쇼트불량을 용이하게 리페어할 수 있는 구조로 하는 것에 의해 고품질 액정표시장치를 저비용 및 고수율로 제조가능한 어레이기판과 그 제조방법 및 어레이기판을 구비한 액정표시장치를 제공할 수 있다.

Claims (8)

  1. 절연기판,
    상기 절연기판상에 설치된 복수의 배선, 및
    상기 절연기판상에 설치되어 표시영역을 형성하는 동시에, 각각 스위칭소자를 통해 상기 배선에 전기적으로 접속된 복수의 화소전극을 구비하고,
    상기 배선은 상기 표시영역의 바깥쪽으로 뻗은 인출배선부를 각각 가지며,
    상기 각 인출배선부는 절연막을 통해 적층된 제 1 배선 및 제 2 배선을 갖는 2층 구조로 형성되는 동시에,
    적어도 두 군데에서 상기 제 1 배선과 제 2 배선을 서로 전기적으로 도통한 적어도 두 개의 도통부, 및
    상기 도통부간에 설치되고, 상기 제 1 배선과 제 2 배선이 상기 절연기판의 면방향으로 어긋나서 위치한 적어도 두 개의 비중복부를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 표시장치의 어레이기판.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 절연기판은 상기 표시영역을 둘러싸도록 설치된 시일제 도포영역을 갖고,
    상기 각 인출배선부의 상기 적어도 두 개의 도통부는 상기 시일제 도포영역을 사이에 끼우고 시일제 도포영역의 양측에 위치하며,
    상기 적어도 두 개의 비중복부는 상기 시일제 도포영역을 사이에 끼우고 시일제 도포영역의 양측에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 표시장치의 어레이기판.
  3. 절연기판과, 상기 절연기판상에 설치된 복수의 배선과, 상기 절연기판상에 설치되어 표시영역을 형성하는 동시에, 각각 스위칭소자를 통해 상기 배선에 전기적으로 접속된 복수의 화소전극을 구비하고, 상기 배선은 상기 표시영역의 바깥쪽에 뻗은 인출배선부를 각각 갖고, 상기 각 인출배선부는 절연막을 통해 적층된 제 1 배선 및 제 2 배선을 갖는 2층 구조로 형성되어 있는 동시에, 적어도 두 군데에서 상기 제 1 배선과 제 2 배선을 서로 전기적으로 도통한 적어도 두 개의 도통부와, 상기 도통부간에 설치되고, 상기 제 1 배선과 제 2 배선이 상기 절연기판의 면방향에 어긋나서 위치한 적어도 두 개의 비중복부를 구비하고 있는 표시장치의 어레이기판을 제조하는 방법에 있어서,
    상기 인출배선부간의 쇼트불량을 검출하고,
    쇼트불량이 검출될 때, 상기 쇼트불량이 검출된 인출배선부의 상기 비중복부에서 제 1 배선 및 제 2 배선의 어느 한쪽을 절단하는 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 표시장치의 어레이기판 제조방법.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 절단공정에 있어서, 쇼트불량이 검출된 인접하는 두 개의 인출배선부의 한쪽은 상기 비중복부의 위치에서 제 1 배선을 절단하고, 다른 쪽의 인출배선부는 상기 비중복부의 위치에서 제 2 배선을 절단하는 것을 특징으로 하는 표시장치의 어레이기판 제조방법.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 절단공정에 있어서, 쇼트불량이 검출된 인접하는 두 개의 인출배선부를 상기 비중복부의 위치에서 각각 절단할 때, 한쪽의 인출배선부의 제 1 배선과, 이 제 1 배선에 다른 배선을 통하지 않고 인접하는 다른 쪽의 인출배선부의 제 2 배선을 연속적으로 절단하는 것을 특징으로 하는 표시장치의 어레이기판 제조방법.
  6. 제 3 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 절단공정에 있어서, 레이저조사에 의해 절단을 실행하는 것을 특징으로 하는 표시장치의 어레이기판 제조방법.
  7. 제 1 절연기판과, 상기 제 1 절연기판상에 설치된 복수의 배선과, 상기 제 1 절연기판상에 설치되어 표시영역을 형성하는 동시에, 각각 스위칭소자를 통해 상기 배선에 전기적으로 접속된 복수의 화소전극을 갖는 어레이기판,
    상기 어레이기판에 대향배치된 제 2 절연기판과, 상기 제 2 절연기판상에 설치되어 상기 화소전극과 대향한 대향전극을 갖는 대향기판, 및
    상기 어레이기판과 대향기판과의 사이에 설치된 액정조성물을 구비하며,
    상기 어레이기판의 배선은 상기 표시영역의 바깥쪽에 뻗은 인출배선부를 각각 갖고,
    상기 각 인출배선부는 절연막을 통해 적층된 제 1 배선 및 제 2 배선을 갖는 2층 구조로 형성되는 동시에,
    적어도 두 군데에서 상기 제 1 배선과 제 2 배선을 서로 전기적으로 도통한 적어도 두 개의 도통부, 및
    상기 도통부간에 설치되고, 상기 제 1 배선과 제 2 배선이 상기 절연기판의 면방향에 어긋나서 위치한 적어도 두 개의 비중복부를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  8. 제 1 절연기판과, 상기 제 1 절연기판상에 매트릭스형상으로 설치된 복수의 신호선 및 주사선과, 상기 제 1 절연기판상에서 상기 신호선 및 주사선에 의해 둘러싸인 영역에 각각 설치되어 있는 동시에 스위칭소자를 통해 상기 신호선 및 주사선에 전기적으로 접속되고, 표시영역을 형성한 복수의 화소전극을 갖는 어레이기판,
    상기 어레이기판에 대향배치된 제 2 절연기판과, 상기 제 2 절연기판상에 설치되어 상기 화소전극과 대향한 대향전극을 갖는 대향기판, 및
    상기 어레이기판과 대향기판과의 사이에 설치된 액정조성물을 구비하며,
    상기 어레이기판 및 대향기판은 상기 표시영역을 둘러싸도록 도포된 시일제에 의해 서로 부착되고,
    상기 어레이기판의 신호선 및 주사선은 상기 시일제의 도포영역을 통해 상기 표시영역의 바깥쪽에 뻗은 인출배선부를 각각 갖고,
    적어도 상기 신호선의 각 인출배선부는 절연막을 통해 적층된 제 1 배선 및 제 2 배선을 갖는 2층 구조로 형성되어 있는 동시에,
    상기 시일제의 도포영역과 겹치지 않는 적어도 두군데에서 상기 제 1 배선과 제 2 배선을 서로 전기적으로 도통한 적어도 두 개의 도통부, 및
    상기 도통부간에 상기 시일제의 도포영역과 겹쳐지않은 부위에 설치되고, 상기 제 1 배선과 제 2 배선이 상기 절연기판의 면방향에 어긋나서 위치한 적어도 두 개의 비중복부를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
KR1019980035798A 1997-09-19 1998-08-28 표시장치의어레이기판,어레이기판을구비한액정표시장치및어레이기판제조방법 KR100298239B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9-255731 1997-09-19
JP25573197 1997-09-19

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR19990029397A true KR19990029397A (ko) 1999-04-26
KR100298239B1 KR100298239B1 (ko) 2001-09-06

Family

ID=17282856

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019980035798A KR100298239B1 (ko) 1997-09-19 1998-08-28 표시장치의어레이기판,어레이기판을구비한액정표시장치및어레이기판제조방법

Country Status (3)

Country Link
US (1) US6271600B1 (ko)
KR (1) KR100298239B1 (ko)
TW (1) TW472165B (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100494685B1 (ko) * 2000-12-30 2005-06-13 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 액정표시장치의 패널내 배선의 결함 테스트 방법
CN108538863A (zh) * 2018-05-17 2018-09-14 京东方科技集团股份有限公司 显示基板及其修复方法、显示装置

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6441401B1 (en) * 1999-03-19 2002-08-27 Samsung Electronics Co., Ltd. Thin film transistor array panel for liquid crystal display and method for repairing the same
JP2001119029A (ja) * 1999-10-18 2001-04-27 Fujitsu Ltd 薄膜トランジスタ及びその製造方法及びそれを備えた液晶表示装置
JP4584387B2 (ja) * 1999-11-19 2010-11-17 シャープ株式会社 表示装置及びその欠陥修復方法
US6956216B2 (en) * 2000-06-15 2005-10-18 Canon Kabushiki Kaisha Semiconductor device, radiation detection device, and radiation detection system
JP2004294787A (ja) * 2003-03-27 2004-10-21 Sharp Corp 表示装置およびその配線修復方法
CN100374941C (zh) * 2003-04-07 2008-03-12 友达光电股份有限公司 画素结构
CN103135265B (zh) * 2011-12-05 2015-09-16 上海中航光电子有限公司 液晶显示装置的修复线及其修复方法
JP2014021472A (ja) * 2012-07-24 2014-02-03 Mitsubishi Electric Corp 表示パネルおよび表示装置
US9097929B2 (en) 2012-12-26 2015-08-04 Kabushiki Kaisha Toshiba Electronic apparatus and liquid crystal panel
JP6168927B2 (ja) * 2013-09-05 2017-07-26 株式会社ジャパンディスプレイ 表示装置
CN112612164B (zh) * 2021-01-04 2022-09-09 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 显示面板及其制备方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2610328B2 (ja) * 1988-12-21 1997-05-14 株式会社東芝 液晶表示素子の製造方法
US5235272A (en) * 1991-06-17 1993-08-10 Photon Dynamics, Inc. Method and apparatus for automatically inspecting and repairing an active matrix LCD panel
JP2776084B2 (ja) 1991-08-23 1998-07-16 日本電気株式会社 アクティブマトリックス液晶表示装置
TW305948B (ko) * 1993-11-08 1997-05-21 Hitachi Ltd
US5684555A (en) * 1994-12-19 1997-11-04 Kabushiki Kaisha Toshiba Liquid crystal display panel
KR100214261B1 (ko) * 1995-09-27 1999-08-02 김영환 반도체 소자의 금속배선 제조방법
KR0182016B1 (ko) * 1995-12-05 1999-05-01 김광호 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100494685B1 (ko) * 2000-12-30 2005-06-13 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 액정표시장치의 패널내 배선의 결함 테스트 방법
CN108538863A (zh) * 2018-05-17 2018-09-14 京东方科技集团股份有限公司 显示基板及其修复方法、显示装置
CN108538863B (zh) * 2018-05-17 2021-09-17 京东方科技集团股份有限公司 显示基板及其修复方法、显示装置

Also Published As

Publication number Publication date
US6271600B1 (en) 2001-08-07
TW472165B (en) 2002-01-11
KR100298239B1 (ko) 2001-09-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100838652B1 (ko) 표시장치
KR100374435B1 (ko) 액정 표시 장치 및 그 제조 방법
US6078366A (en) Array substrate comprising semiconductor contact layers having same outline as signal lines
KR19980087212A (ko) 액티브매트릭스형 액정표시장치
US6587162B1 (en) Liquid crystal display
KR19980018480A (ko) 액정표시장치
JPH10206867A (ja) 液晶表示装置
KR100298239B1 (ko) 표시장치의어레이기판,어레이기판을구비한액정표시장치및어레이기판제조방법
KR100235073B1 (ko) 액정 디스플레이
KR100302281B1 (ko) 액정표시소자의 어레이기판과 어레이기판을 갖춘 액정표시소자및어레이기판의 제조방법
US5581382A (en) Liquid crystal display device having connection pads insulated by double layered anodic oxide material
JP2965979B2 (ja) 配線基板、表示装置のアレイ基板、アレイ基板を備えた液晶表示装置、並びに配線基板およびアレイ基板の製造方法
US20050007533A1 (en) Liquid crystal display unit
JP3335567B2 (ja) アクティブマトリクス型液晶表示装置およびその欠陥修正方法
JP3780529B2 (ja) 液晶表示装置及びその製造方法
JP3119912B2 (ja) 液晶表示装置
JP3241208B2 (ja) アクティブマトリクス基板、それを用いた液晶表示装置およびその製法
JPH11282386A (ja) アクティブマトリクス基板装置の製造方法及び該アクティブマトリクス基板装置並びにこれを備えた電気光学パネル
JP3029426B2 (ja) 液晶表示素子のアレイ基板、アレイ基板を備えた液晶表示素子、およびアレイ基板の製造方法
JPH1195255A (ja) 液晶表示装置のアレイ基板、およびこれを備えた液晶表示装置
KR100228427B1 (ko) 액정 표시 장치
JPS63276031A (ja) 液晶表示装置
JP5243278B2 (ja) 液晶表示装置
JPH10253991A (ja) 液晶表示装置
JPH0933937A (ja) アクティブマトリクス型液晶表示パネル

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20090429

Year of fee payment: 9

LAPS Lapse due to unpaid annual fee