KR100420124B1 - 부품 교체를 위한 공구 - Google Patents

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KR100420124B1
KR100420124B1 KR10-2001-0076517A KR20010076517A KR100420124B1 KR 100420124 B1 KR100420124 B1 KR 100420124B1 KR 20010076517 A KR20010076517 A KR 20010076517A KR 100420124 B1 KR100420124 B1 KR 100420124B1
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김형용
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삼성전자주식회사
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    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25B—TOOLS OR BENCH DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, FOR FASTENING, CONNECTING, DISENGAGING OR HOLDING
    • B25B27/00—Hand tools, specially adapted for fitting together or separating parts or objects whether or not involving some deformation, not otherwise provided for
    • B25B27/14—Hand tools, specially adapted for fitting together or separating parts or objects whether or not involving some deformation, not otherwise provided for for assembling objects other than by press fit or detaching same
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
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Abstract

본 발명은 반도체 제조가 이루어지는 공정 챔버 내의 진공도를 측정하기 위한 진공 측정 장치의 부품 교체에 사용되어 지는 공구에 관한 것이다. 상기 공구는 손잡이와 상기 캐소드와 결합되는 체결부를 갖는 축으로 이루어진다. 그리고 상기 공구는 상기 캐소드 교체시 상기 캐소드가 흔들리는 것을 방지하기 위하여 상기 캐소드를 감싸는 원통을 더 구비한다. 상기 축과 원통은 비자성체로 이루어진다.

Description

부품 교체를 위한 공구{A TOOL FOR REPLACING PARTS}
본 발명은 부품 교체에 사용되어 지는 공구에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 공정 챔버 내의 진공도를 측정하는 장치의 부품 교체에 사용되어 지는 공구에 관한 것이다.
반도체 산업은 기술 집약 적인 산업이다. 예를 들면, 진공기술, 광학기술, 화학공학등의 기술이 적용된다. 특히, 진공기술은 반도체 제조 장치 중 이온 주입 장치, 식각 장치 등에서 비중이 높은 기술이다.
진공 기술 분야는 크게 진공용기 배관장치, 진공감지 장치, 진공 펌프 장치 등으로 나눌 수 있다. 이중에서 진공 감지 장치는 진공도를 측정하기 위한 장치로서 전리 진공 측정 장치가 대표적이다.
상기 전리 진공 측정 장치는 전자의 충돌에 의해 전리된 양이온의 흐름 즉, 전류를 측정하여 진공도를 측정하는 장치이다. 이러한 전리 진공 측정 장치에는 열이온 전리 진공 측정 장치(hot cathod ion gauge;HCIG)와 냉음극 전리 진공 측정 장치(cold cathod ion gauge;CCIG)가 있다.
이하, 종래 기술에 의한 전리 진공 측정 장치, 특히 냉음극 전리 진공 측정 장치를 설명한다.
상기 냉음극 전리 진공 측정 장치(이하, 진공 측정 장치라 함)(10)는 도 1에 도시된 바와 같이 몸체(20)와 캐소드(40) 및 자석(30)으로 구성된다.
상기 자석(30)은 상기 몸체(20)를 감싸고 있으며, 상기 캐소드(40)는 상기 몸체(20)의 내부에 설치되도록 고정부(50)에 장착된다.
그리고 상기 진공 측정 장치(10)의 상기 몸체(20)는 진공 챔버 등의 소정위치에 장착되는 개구부(80)를 갖는다. 그리고 상기 개구부(80)에 부품 교체를 위한 공구를 넣어서 상기 캐소드(40)를 교체한다.
다음은 진공 측정 장치에 의한 진공도 측정을 설명한다.
먼저, 전압 공급 장치(60)에서 상기 캐소드(40)로 전압이 공급되면, 상기 캐소드(40)에서는 전자가 방출되어 진다. 방출되어진 전자는 상기 자석(30)에 의한 자장의 영향을 받아 원운동을 연속적으로 한다. 상기 운동하고 있는 전자는 진공 챔버 내의 분자와 충돌을 한다. 이때, 2차 전자와 양(+) 이온이 발생한다. 상기 양(+) 이온은 상기 캐소드(40)에 모이면서 이온 전류로 되고, 상기 이온 전류를 진공 컨트롤러(70)에서 진공단위로 환산하여 진공도를 측정한다.
상기 진공 측정 장치의 상기 캐소드는 일정 시간이 지나면 오염이 되어서 제 기능을 하지 못한다. 따라서 상기 캐소드를 교체하여야 한다. 종래에는 상기 캐소드의 교체를 위하여 일반적인 공구인 드라이버(driver)가 사용되었다. 그러나 상기 드라이버는 자성체로 되어 있다. 따라서 상기 자석에 의하여 형성된 강한 자기장 때문에 상기 드라이버를 사용한 부품 교체 작업은 정상적으로 이루어질 수 없었다. 이로 인해, 상기 캐소드의 교체에 소요되는 시간이 증가하여 작업 시간의 손실이 발생하였다.
본 발명의 목적은 진공 측정 장치의 부품 교환을 쉽고, 빠르게 할 수 있는 공구를 제공하는 데 있다.
도 1은 진공 측정 장치의 원리를 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명의 공구에 의한 부품 교체를 설명하기 위한 도면이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
10 : 진공 측정 장치 20,200 : 몸체
30,210 : 자석(magnet) 40,220 : 캐소드(cathode)
50,230 : 고정부 60 : 전압 공급 장치
70 : 진공 컨트롤러 80,240 : 개구부
100 : 공구 110 : 손잡이
120 : 축 130 : 결합부
140 : 원통 부재
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면, 자석(magnet)에 의해 감싸지고, 개구부를 갖는 원통형 몸체와, 상기 몸체 내에 설치되는 캐소드(cathode)로 이루어진 장치의 상기 캐소드를 교체하기 위한 공구는 손잡이와상기 손잡이에 설치되고, 일단에 상기 캐소드와 결합되는 결합부를 갖는 비자성체의 축으로 구성된다.
이와 같은 본 발명에서, 상기 공구는 상기 캐소드 교체시, 상기 캐소드가 상기 자석의 영향을 받지 않도록 그리고 상기 캐소드가 흔들리지 않도록 하기 위한 수단을 더 포함한다.
이와 같은 본 발명에서, 상기 수단은 상기 축에 형성되는 그리고 상기 결합부가 상기 캐소드와 결합될 때 상기 캐소드를 감싸도록 개구부를 갖는 원통 부재이며, 상기 원통 부재는 비자성체로 이루어진다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 2에 의거하여 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 공구에 의한 부품 교체를 설명하기 위한 도면이다.
도 2를 참조하면, 진공 측정 장치는 몸체(200), 자석(210) 및 캐소드(220)로 구성된다. 상기 자석(210)은 상기 몸체(200)를 감싸고 있다. 상기 캐소드(220)는 상기 몸체(200)의 내부에 설치되도록 고정부(230)에 장착된다. 상기 몸체(200)는 측정을 하려는 진공 챔버의 소정위치에 장착되는 개구부(240)를 갖는다. 상기 진공 측정 장치에 의한 진공 챔버등의 진공도를 측정하는 방법과 상기 진공 측정 장치의 구성에 대해서는 종래 기술에 대한 상세한 설명에서 기술이 되었으므로 여기서는 생략하기로 한다.
상기 진공 측정 장치의 상기 캐소드(220)는 일정 시간이 지나면 오염에 의하여 교체를 하여야 한다. 상기 진공 측정 장치의 내부에 설치된 상기 캐소드(220)의 교체 작업은 상기 개구부(240)로 공구를 넣어서 수행한다. 상기 진공 측정 장치의내부는 상기 자석(210)에 의해 강한 자기장을 형성한다. 그러므로 종래 처럼 일반적인 드라이버를 사용할 경우 자기장에 의해 정상적인 작업을 수행할 수 없다. 따라서 본 발명의 상기 공구는 비자성체로 이루어진다.
상기 공구(100)는 손잡이(110)와 축(120)으로 구성된다. 상기 축(120)은 상기 손잡이(110)에 설치되며, 그 끝단에 상기 캐소드(220)와 결합되는 결합부(130)를 구비한다. 상기 결합부(130)와 상기 캐소드(220)가 결합된 상태에서 상기 손잡이(110)를 돌려서 상기 캐소드(220)를 상기 고정부(230)에 장착한다.
또한, 상기 공구(100)는 상기 캐소드(220)의 교체시 상기 캐소드(220)가 흔들리지 않도록 하기 위한 비자성체의 수단(140)을 구비한다. 상기 수단(140)은 상기 축(120)의 일단에 형성되며, 상기 결합부(130)와 상기 캐소드(220)가 결합되어 질 때, 상기 캐소드(220)를 감싸도록 개구부를 갖는 원통 부재(140)이다. 그리고 상기 원통 부재(140)는 상기 캐소드(220)의 교체시 상기 캐소드(220)가 흔들리는 것을 방지할 뿐만아니라 상기 캐소드(220)가 상기 자석(210)의 영향을 받지 않도록 한다.
본 발명의 범위 및 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 상기 본 발명의 장치에 대한 다양한 변형 및 변화가 가능하다는 것은 이 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어서 자명하다.
이와 같은 본 발명에 의하면, 부품의 교체를 위한 공구가 비자성체로 이루어짐으로써, 강한 자기장 영역에서 부품을 쉽고, 빠르게 교체할 수 있다. 이로 인해,작업 시간의 손실을 방지할 수 있다.
또한, 상기 공구가 교체되는 부품의 흔들림을 방지하기 위하여 상기 부품을 감싸는 비자성체의 수단을 구비함으로써, 보다 용이하게 부품 교체 작업을 할 수 있다.

Claims (4)

  1. 자석(magnet)에 의해 감싸지고, 개구부를 갖는 원통형 몸체와, 상기 몸체 내에 설치되는 캐소드(cathode)로 이루어진 장치의 상기 캐소드를 교체하기 위한 공구에 있어서:
    상기 공구는
    손잡이; 및
    상기 손잡이에 설치되고, 일단에 상기 캐소드와 결합되는 결합부를 갖는 축으로 구성되되;
    상기 축은 상기 자석의 영향을 받지 않도록 비자성체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 부품 교체 공구.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 공구는
    상기 캐소드 교체시, 상기 캐소드가 상기 자석의 영향을 받지 않도록 그리고 상기 캐소드가 흔들리지 않도록 하기 위한 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 부품 교체 공구.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 수단은
    상기 축에 형성되는 그리고 상기 결합부가 상기 캐소드와 결합될 때 상기 캐소드를 감싸도록 개구부를 갖는 원통 부재인 것을 특징으로 하는 부품 교체 공구.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 원통 부재는 비자성체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 부품 교체 공구.
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KR830006766A (ko) * 1980-09-04 1983-10-06 버그하드 브이 알벤스레벤, 허만 렌커 구성요소의 부분품을 교체하기 위한 공구
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