KR19980037948A - 원통형 현상액 분사 노즐 - Google Patents

Abstract

원통형 현상액 분사 노즐에 관하여 개시한다. 본 발명은 그 폭이 작아지도록 내측벽에 돌출부를 구비한 것을 특징으로 하는 원통형 현상액 분사 노즐을 제공한다. 본 발명에 의하면, 그 내측벽에 상기 돌출부를 형성함으로써 상기 원통형 현상액 분사 노즐에 채워져 있는 현상액에 기포가 발생하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 상기 원통형 현상액 분사 노즐을 통하여 분사되는 현상액이 기포를 함유하지 않기 때문에 감광막의 현상 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다.

Description

원통형 현상액 분사 노즐

본 발명은 원통형 현상액 분사 노즐에 관한 것으로, 특히 분사되는 현상액에 기포가 함유되지 않도록하여 감광막의 현상 불량을 방지할 수 있는 원통형 현상액 분사 노즐에 관한 것이다.

초기에는 스프레이(spray)형 분사 노즐을 사용하여 노광 과정을 거친 감광막 상에 현상액을 분사함으로써 감광막을 현상하였다. 그러나, 스프레이형 분사 노즐을 사용하여 현상액을 분사하는 방법은 분사되는 현상액 내에 많은 양의 기포가 발생하여 감광막의 현상 불량이 발생한다는 문제점을 안고 있다. 이렇게 현상액 분사 시에 분사되는 현상액 내에 많은 양의 기포가 발생하는 것을 방지하기 위하여 원통형 현상액 분사 노즐이 제시되었다.

도 1의 (a) 및 도 1의 (b)는 종래 기술에 의한 원통형 현상액 분사 노즐을 설명하기 위한 개략도들이다.

도 1의 (a)는 원통형 현상액 분사 노즐(20)을 사용하여 감광막을 현상하는 단계를 설명하기 위한 개략도이다. 구체적으로, 그 표면에 노광 과정을 거친 감광막이 도포된 반도체 기판(10) 상에 상기 원통형 현상액 분사 노즐(20)을 통하여 현상액(22)을 분사시킨다.

상기 원통형 현상액 분사 노즐(20)을 이용하면 상기 현상액(22)이 큰 줄기 형태로 분사되기 때문에 스프레이형 분사 노즐을 사용할 때와는 달리 상기 현상액(22) 분사 시에 상기 현상액(22) 내에 기포가 발생하는 것을 방지할 수 있다.

도 1의 (b)는 상기 원통형 현상액 분사 노즐(20)을 확대하여 도시한 상세도이다. 구체적으로, 상기 원통형 현상액 분사 노즐(20)로 상기 현상액(22)을 분사하는 단계를 행하기 전 또는 후에는 상기 현상액(22)이 상기 원통형 현상액 분사 노즐(20)에서 밑으로 떨어지는 것을 방지하기 위하여 상기 원통형 현상액 분사 노즐(20) 내의 압력을 낮춘다. 즉, 압력 차이를 이용하여 상기 현상액(22)이 밑으로 떨어지는 것을 방지한다.

이 때, 상기 원통형 현상액 분사 노즐(20)은 그 폭이 크기 때문에 상기 현상액(22)과 상기 원통형 현상액 분사 노즐(20)의 내측면과의 표면 장력이 약하여 상기 노즐(20) 내에 채워져 있는 상기 현상액(22)에 기포(40)가 형성되기 쉽다. 즉, 상기 현상액(22) 분사 시에 기포가 형성되는 것이 아니라 상기 현상액(22)이 상기 원통형 현상액 분사 노즐(20) 내에 있을 때 이미 기포가 형성된다. 따라서, 감광막 상에 상기 현상액(22)을 분사할 경우에 상기 기포(40)도 같이 감광막 상에 분사되어 감광막의 현상 불량이 발생할 수 있다.

상술한 바와 같이 종래 기술에 의한 원통형 현상액 분사 노즐에 의하면, 상기 현상액(22) 분사 시에 현상액에 기포가 형성되는 것을 방지할 수는 있으나, 상기 현상액(22)이 상기 원통형 현상액 분사 노즐(20)에 채워져 있을 때 이미 상기 현상액(22)에 상기 기포(40)가 형성되기 쉬어 감광막의 현상 불량이 발생하기 쉽다.

따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 원통형 현상액 분사 노즐 내에 있는 현상액에 기포가 발생하는 것을 방지함으로써 상기 원통형 현상액 분사 노즐을 통하여 분사되는 현상액에 기포가 함유되지 않도록 하여 감광막의 현상 불량을 방지할 수 있는 원통형 현상액 분사 노즐을 제공하는 데 있다.

도 1의 (a) 및 도 1의 (b)는 종래 기술에 의한 원통형 현상액 분사 노즐을 설명하기 위한 개략도들이다.

도 2의 (a) 및 도 2의(b)는 본 발명에 따른 원통형 현상액 분사 노즐을 설명하기 위한 개략도들이다.

도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

10: 반도체 기판 20, 120: 원통형 현상액 분사 노즐

22, 130: 현상액 40: 기포 A: 돌출부

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명은 그 폭이 작아지도록 내측벽에 돌출부를 구비한 것을 특징으로 하는 원통형 현상액 분사 노즐을 제공한다.

본 발명에 따른 원통형 현상액 분사 노즐에 있어서, 상기 돌출부는 상기 내측벽의 길이 방향으로 가운데 부분에 형성된 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 원통형 현상액 분사 노즐에 의하면, 그 내측벽에 상기 돌출부를 형성함으로써 상기 원통형 현상액 분사 노즐에 채워져 있는 현상액에 기포가 발생하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 상기 원통형 현상액 분사 노즐을 통하여 분사되는 현상액이 기포를 함유하지 않기 때문에 감광막의 현상 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다.

이하에서, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면들을 참조하여 상세히 설명한다.

도 2의 (a) 및 도 2의 (b)는 본 발명에 따른 원통형 현상액 분사 노즐을 설명하기 위한 개략도들이다.

도 2의 (a) 및 도 2의 (b)를 참조하면, 참조 번호 120은 그 폭이 작아지도록 내측벽에 돌출부(A)를 구비한 원통형 현상액 분사 노즐, 그리고 130은 상기 원통형 현상액 분사 노즐(120)에 채워져 있는 현상액을 각각 나타낸다.

상기 돌출부(A)에 의해서 상기 현상액 분사 노즐(120)의 폭이 감소하므로 상기 현상액(130)과 상기 원통형 현상액 분사 노즐(120)의 내측벽 사이의 표면 장력이 증가하여 종래와 달리 상기 현상액(130)에 기포가 발생하지 않는다.

이 때, 상기 돌출부(A)를 상기 현상액(130)이 분사되는 상기 원통형 분사 노즐(120)의 출구에 형성하는 것은 상기 현상액(130)을 분사할 경우에 그 유속이 빨라져서 분사 압력이 증가하기 때문에 바람직하지 않다. 따라서, 분사 압력을 감소시키기 위하여 상기 돌출부(A)는 상기 내측벽의 길이 방향으로 가운데 부분에 형성하는 것이 바람직하다.

상술한 바와 같이 본 발명에 따른 원통형 현상액 분사 노즐에 의하면, 그 내측벽에 상기 돌출부(A)를 형성함으로써 상기 원통형 현상액 분사 노즐(120)에 채워져 있는 상기 현상액(130)에 기포가 발생하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 상기 원통형 현상액 분사 노즐(120)을 통하여 분사되는 현상액이 기포를 함유하지 않기 때문에 감광막의 현상 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다.

본 발명은 상기 실시예에만 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 많은 변형이 가능함은 명백하다.

Claims (2)

1. 그 폭이 작아지도록 내측벽에 돌출부를 구비한 것을 특징으로 하는 원통형 현상액 분사 노즐.
2. 제1 항에 있어서, 상기 돌출부는 상기 내측벽의 길이 방향으로 가운데 부분에 형성된 것을 특징으로 하는 원통형 현상액 분사 노즐.