KR19980018793A - 랜드·그루브 기록용 정보 기록 매체 (data recording medium for land·groove recording) - Google Patents

랜드·그루브 기록용 정보 기록 매체 (data recording medium for land·groove recording) Download PDF

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다다시 고바야시
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니시무로 타이조
가부시기가이샤 도시바
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Abstract

랜드·그루브를 갖는 기판 및 이 기판상에 형성되어, 결정 상태와 비결정질 상태 사이의 위상 변화를 일으킬 수 있는 기록막을 구비하고, 상기 기록막의 기판측에 있어서의 랜드와 그루브와의 단차가 λ/(6n)≤ds≤λ/(5n)로 표시되는 범위내에 있고, ds는 기록막의 기판측에 있어서의 랜드와 그루브와의 단차이고, λ는 재생에 이용하는 광 빔의 파장이고, n은 기판의 굴절율인것을 특징으로 한다.

Description

랜드·그루브 기록용 정보 기록 매체
본 발명은 정보 기록 매체에 관한 것으로, 특히, 랜드·그루브 기록용 정보 기록 매체에 관한 것이다.
광 디스크의 랜드와 그루브와의 양방으로 정보를 기록하는, 소위 랜드·그루브 기록은 광 디스크의 고밀도화에 유리하다. 그러나, 이 방법은 크로스토크가 크다고 하는 문제를 수반한다. 이 때문에, 크로스토크를 감소시키는 방법으로서, 기판의 그루브 깊이를 소정의 범위내로 설정하는 것이 제안되고 있다(「랜드·그루브 기록에 의한 고밀도 위상 변화 광 디스크」, 오오노 등, 1993년 제 5 회 위상 변화 기록 연구회 심포지움 강연 예고집 pp. 114∼119)
이 문헌에 있어서는, 재생에 이용되는 광 빔의 파장λ만을 이용하여, (λ/6) ∼(λ/5)의 범위내에 기판의 그루브 깊이를 규정함으로써, 크로스토크의 감소를 도모하고 있다.
기록막의 층구성이나 재질에 따라서는, 상술한 바와 같이 단지 기판의 그루브 깊이를 규정하여도, 랜드와 그루브에 있어서의 재생 신호 레벨에 차이가 생기거나, 크로스토크의 발생을 피할 수 없다. 이 문제는 기록막과 기판과의 사이에 형성되는 보호막의 막두께가 두꺼울 때에 특히 현저해진다.
이와 같이, 기판상에 형성되는 막의 두께나 그 구성 등을 고려하여 크로스토크를 감소시킨 랜드·그루브 기록용 정보 기록 매체는 아직 수득할 수 없는 것이 현재 상태이다.
그래서, 본 발명은 층 구성이 변화하여도, 그것에 대응하여 크로스토크를 최소로 할 수 있는 랜드·그루브 기록용의 정보 기록 매체를 제공하는 것을 목적으로 한다.
도 1은 본 발명의 랜드·그루브 기록용 정보 기록 매체의 일례를 모식적으로 도시하는 단면도.
도 2는 보호막의 막두께와 기록막의 반사율과의 관계를 도시하는 그래프.
도 3은 보호막의 막두께와 기록막의 반사율과의 관계를 도시하는 그래프.
도 4는 기록막의 막두께와 반사율 및 위상 변화와의 관계를 도시하는 그래프.
도 5는 기록 피크 파워와 CNR과의 관계를 도시하는 그래프.
도 6은 랜드·그루브의 단차와 크로스토크와의 관계를 도시하는 그래프.
도 7은 기판의 단면을 모식적으로 도시하는 도면.
도 8은 기판상에 보호막을 형성하기 위한 스퍼터 장치를 도시하는 모식도.
도 9는 기판상에 보호막을 형성한 후의 상태를 모식적으로 도시하는 단면도.
도 10은 본 발명의 기록 매체의 기록 특성을 도시하는 그래프.
도 11은 비교예의 기록 매체의 기록 특성을 도시하는 그래프.
도 12는 기록 매체를 도시하는 모식도.
도 13은 어드레스 마크 영역을 도시하는 확대도.
도 14는 랜드·그루브 전환부에 있어서의 어드레스 마크 영역을 도시하는 확대도.
도 15는 피트를 도시하는 확대도.
도 16은 트랙 방향의 비트 폭과 그 간격을 설명하는 도면.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
2,4 : 보호막
3 : 기록막
5 : 반사막
6 : 오버 코팅막
8 : 타깃재
9 : 시일드재
10 : 기판 홀더
12 : 모터
13 : RF 전원
14 : 배기 장치
15 : Ar 가스 실린더
16 : 기록 매체
본 발명의 하나의 양태에 따르면, 랜드·그루브를 갖는 기판, 및 이 기판상에 형성되어, 결정 상태와 비결정질 상태와의 사이의 위상 변화를 일으킬 수 있는 기록막을 구비하고, 상기 기록막의 전면에 있어서의 랜드와 그루브와의 단차가, 수학식 1로 표시되는 범위내인 랜드·그루브 기록용 정보 기록 매체가 제공된다.
여기서, ds는 기록막의 전면에 있어서의 랜드와 그루브와의 단차, λ는 재생에 이용하는 광 빔의 파장이고, n은 기판의 굴절율이다.
본 발명의 다른 양태에 따르면, 랜드·그루브를 갖는 기판과, 상기 기판상에 형성된 보호막과, 상기 보호막상에 형성된 기록막을 구비하고, 상기 보호막의 두께는 랜드 및 그루브에 있어서 거의 같은 랜드·그루브 기록용 정보 기록 매체가 제공된다.
본 발명의 다른 양태에 따르면, 랜드·그루브를 갖는 기판과, 상기 기판상에 형성된 보호막과, 상기 보호막상에 형성된 기록막을 구비하고, 상기 기판의 그루브 깊이와, 보호막-기록막 계면에 있어서의 랜드·그루브의 단차가 거의 같은 랜드·그루브 기록용 정보 기록 매체가 제공된다.
또한, 본 발명의 다른 양태에 따르면, 랜드·그루브를 갖는 기판과, 상기 기판상에 형성된 보호막과, 상기 보호막상에 형성된 기록막을 구비하고, 상기 기록막-보호막 계면에 있어서의 랜드 폭과 그루브 폭이 거의 같은 랜드·그루브 기록용 정보 기록 매체가 제공된다.
본 발명의 또 다른 양태에 따르면, 랜드·그루브를 갖는 기판, 상기 기판상에 형성된 보호막, 및, 상기 보호막상에 형성된 기록막을 구비하고, 어드레스 마크중의 단일 주기로 기록된 부분에 있어서의 트랙 방향의 피트의 개구부의 길이, 및 피트의 개구부 이외의 부분의 길이는, 상기 보호막과 기록막과의 계면에서는 거의 같은 랜드·그루브 기록용 정보 기록 매체가 제공된다.
본 발명의 또 다른 양태에 따르면, 랜드·그루브를 갖는 기판, 상기 기판상에 형성된 보호막, 및 상기 보호막상에 형성된 기록막을 구비하고, 상기 보호막과 기록막과의 계면에 있어서, 트랙에 직교하는 방향에서의 어드레스 마크의 개구부의 길이는, 이 방향에서 인접한 마크의 개구부 이외의 부분의 길이의 약 1/2인 랜드·그루브 기록용 정보 기록 매체가 제공된다.
또한, 본 발명의 다른 양태에 따르면, 랜드·그루브를 갖는 기판상에 스퍼터법에 의해 보호막을 형성하는 방법으로서, 수학식 2의 관계로 표시되는 입사각으로 스퍼터재를 입사하는 막형성 방법이 제공된다.
여기서, θ는 기판으로의 스퍼터재의 입사각, dk는 기판의 그루브 깊이, Tg는 기판의 그루브 폭이다.
또한 본 발명의 다른 양태에 따르면, 랜드·그루브를 갖는 기판상에 스퍼터법에 의해 보호막을 형성하는 장치로서, 수학식 3으로 표시되는 관계를 충족시키는 각도로써 스퍼터재가 기판에 입사하도록 타깃재가 배치되어 있는 막형성 장치가 제공된다.
여기서, θs는 타깃재에서 기판으로 스퍼터재가 향하는 방향과 기판의 주면과 이루는 배치 각도, dk는 기판의 그루브 깊이, Tg는 기판의 그루브 폭이다.
이하, 본 발명의 실시예 및 비교예를 들어 본 발명을 보다 구체적으로 설명하지만, 그 요지를 초과하지 않는 한, 이하에 한정되는 것이 아니다.
(실시예 1)
본 발명의 랜드·그루브 기록용 정보 기록 매체의 일례를 나타내는 단면도를 도시한다.
도 1에 도시된 기록 매체(16)에 있어서는, 단차 dk의 랜드·그루브를 갖는 기판(1)상에, 보호막(2), 기록막(3), 보호막(4) 및 반사막(5)이 스퍼터법에 의해 순차적으로 형성되어 있다. 또한 반사막(5)상에는 스핀 코팅법에 의해 오버 코팅막(6)이 형성되어 있다. 또, 보호막(2)의 막두께는 df로 표시된다. 또한, 기록막(3)의 기판측(전면)에 있어서의 랜드와 그루브와의 단차는 ds로 표시된다. 이 ds는 보호막(2)과 기록막(3)의 계면에 있어서의 랜드와 그루브와의 단차라고 할 수 있다.
보호막(2,4)으로서는, 예컨대, ZnS, SiO2, AlN, Al2O3, 및 SiN 등의 투명 유전체가 통상 이용된다. 또한, 기록막(3)으로서는, 결정 상태와 비결정질 상태 사이에서 위상 변화하는 재료가 사용되고, 예컨대, GeSbTe 및 InSbTe 등을 들 수 있다. 반사막(5)으로서는, 예컨대 Al, Au, 및 A1 합금 등의 금속막이 사용되며, 오버 코팅막(6)으로서는 자외선 경화 수지 등이 사용된다.
본 발명의 정보 기록 매체에 있어서는, 보호막(2)과 기록막(3)과의 계면에 있어서의 랜드·그루브에서의 단차 ds를 λ/6n∼λ/5n(n은 기판의 굴절율)로 설정하는 것이다. 또한, 본 발명의 기록 매체에 있어서는, 보호막(2)의 두께 df를 기록막(3)이 비결정질 상태일 때의 반사율이 극소가 되는 막두께로 설정하는 것이 바람직하다. 이것에 의해서, 기록 트랙의 인접 트랙에 기록 마크(비결정질)가 있어도, 인접 트랙의 기록 마크로부터의 반사율은 작게 억제되므로, 크로스토크가 억제된다.
여기서, 오오노 등에 기재되어 있는 바와 같이, 기판(1)의 그루브 깊이 dk를 λ/6∼λ/5로 설정한 경우에는, 이 기판상에 형성되는 보호막(2)의 막두께 및 그 막형성 조건 등에 의해서는, 보호막상에 있어서의 그루브의 깊이 ds는 반드시 기판상에서의 그루브 깊이 dk와는 일치하지 않는다.
본 발명자들은 기판의 그루브 깊이 뿐만이 아니라, 그 위에 형성되는 층구성도 크로스토크에 영향을 미치게 하는 것에 착안하였다. 즉 본 발명에 있어서는, 크로스토크 억제를 위해, 기록막의 전면에 있어서의 랜드와 그루브와의 단차 ds를 λ/6n∼λ/5n(n은 기판의 굴절율)로 설정하고, 또한 보호막(2)의 막두께를 기록막(3)이 비결정질일 때의 반사율이 극소치가 되도록 설정하였다.
도 2에는 보호막(2)의 막두께 df를 변화시켰을 때의, 본 발명의 기록 매체의 반사율을 도시한다. 또 여기서는, 보호막(2,4)은 ZnS계 재료로 구성하고, 기록막(3) 및 반사막(5)에는 각각 GeSbTe계 재료 및 Al 합금을 이용하여, 재생광의 파장 λ를 680nm으로 한 조건으로 광학 계산하였다. 도 2중, 곡선 a는 기록막이 결정 상태일 때의 반사율 변화를 나타내며, 곡선 b는 기록막(3)이 비결정질 상태일 때의 반사율 변화를 나타낸다.
곡선 b의 변화로부터, 보호막의 막두께 df가 100nm 부근에서는, 기록막이 비결정질 상태일 때의 반사율이 극소가 되며, 0에 가까운 값이 되는 것을 알 수 있다. 따라서, 보호막(2)의 막두께를 기록막이 비결정질 상태일 때의 반사율이 극소가 되는 막두께로 설정함으로써, 크로스토크를 감소시킬 수 있다.
상술한 예에서는 보호막에 ZnS계 재료를 이용하여 설명하였지만, 이것에 한정되는 것이 아니고, 광학 설계상은 보호막의 굴절율이 1.5∼2.5의 범위의 유전체 재료를 이용하면 본 요건을 만족한다.
(실시예 2)
도 2의 그래프에 도시된 바와 같이 기록막이 비결정질 상태(곡선 b)일 때에 반사율이 극소치가 되는 막두께에서는 결정 상태(곡선 a)일 때의 반사율도 극소치가 된다. 따라서, 보호막(2)의 막두께를 기록막(3)이 결정 상태일 때에 반사율이 극소치가 되는 막두께로 설정한 경우도, 전술한 바와 같이 크로스토크를 감소시킬 수 있다.
(실시예 3)
도 3에는 보호막(2)의 막두께 df를 더욱 두껍게 한 경우의 기록막의 반사율 변화를 나타낸다. 또, 도 3중, 곡선 c는 기록막(2)이 결정 상태일 때의 반사율 변화를 나타내고, 곡선 d는 기록막(2)이 비결정질 상태일 때의 반사율 변화를 나타낸다.
도 3에 도시된 바와 같이, 보호막의 막두께 df가 증가함에 따라서, 반사율은 주기적으로 증감한다. 즉, 기록막의 반사율의 극소치도 주기적으로 나타난다. 보호막(2)의 막두께는, 반사율의 극소치가 표시되는 최소의 막두께 뿐만 아니라, 비결정질 상태의 반사율이 2회째 이상으로 극소치 부근이 되는 막두께로 설정할 수도 있다. 위상 변화 기록막(3)의 오버라이트 반복에 의한 기판으로의 열적 데미지를 고려하면, 보호막(2)은 두꺼운 쪽이 바람직하다. 그러나, 보호막(2)의 막두께가 지나치게 두꺼워지면 막형성에 장시간을 요하여 생산성이 저하되므로, 실용적으로는 보호막의 막두께는 반사율이 극소치 부근이 되는 제2 주기의 막두께로 하는 것이보다 바람직하다.
(실시예 4)
도 3의 그래프에 도시된 바와 같이, 매체가 비결정질 상태(곡선 d)일 때에 반사율이 극소치가 되는 막두께에서는, 결정 상태(곡선 c)일 때의 반사율도 극소치가 된다. 따라서, 보호막(2)의 막두께를 기록막(3)이 결정 상태일 때에 반사율이 극소치가 되는 막두께로 설정한 경우도, 전술한 바와 같이 크로스토크를 감소시킬 수 있다.
(실시예 5)
본 실시예에 있어서는, 기록막의 위상 변화에 착안하였다. 기록막의 위상이 결정 상태와 비결정질 상태 사이에서 변화하면, 랜드·그루브에서 재생 신호의 크기가 변화하므로, 크로스토크를 억제하는 것이 곤란해지게 된다. 이 때문에, 기록막의 결정 상태와 비결정질 상태 사이에서의 위상 변화는 가능한한 피하는 것이 요구된다.
도 4에는 기록막의 막두께와, 반사율 및 위상 변화와의 관계를 나타낸다. 또, 여기서는, 도 1에 도시된 바와 같은 층구성으로 기록 매체를 형성하고, 기록막(3)의 막두께를 변화시켰다. 도 4중, 곡선 e는 위상차를 나타내며, 곡선 f 및 g는 각각 결정 상태일 때의 반사율 변화, 및 비결정질 상태일 때의 반사율 변화를 나타낸다. 도 4에 도시된 바와 같이, 위상차(곡선 e)가 0이 되는 기록막의 막두께에서는 비결정질 상태일 때의 반사율(곡선 g)이 극소치가 되고, 더구나, 이 막두께에 있어서는, 비결정질 상태(곡선 g)와 결정 상태(곡선 f)와의 반사율의 변화량이 크다. 따라서, 기록 매체의 결정·비결정질에서의 위상차를 거의 0으로 하고, 보호막(2)의 막두께를 비결정질 상태에 있어서의 반사율이 극소가 되는 막두께로 하여, 보호막-기록막 계면에 있어서의 랜드·그루브의 단차 ds를 λ/6n∼λ/5n으로 설정함으로써 크로스토크를 억제한 랜드·그루브 기록용 매체를 수득할 수 있다.
이러한 조건을 구비하여, 도 1에 도시된 구성으로 막을 형성한 기록 매체의 CNR, 및 크로스토크의 평가 결과를 도 5의 그래프에 나타낸다. 구체적으로는, 기록막의 결정·비결정질에서의 위상차가 거의 0이 되도록, 기록막(3)의 막두께를 20nm으로 하고, 보호막(2)의 막두께를 비결정질의 반사율이 극소치가 되는 270nm으로 하며, 보호막(4) 및 반사막(5)의 막두께는 각각 20nm 및 50nm으로 하였다.
또, 기판에 있어서의 랜드 폭 및 그루브 폭은 모두 0.7㎛으로 하고, 보호막(2)과 기록막(3)과의 계면에 있어서의 랜드·그루브 단차 ds는 λ/6n에 상당하는 73nm으로 하였다. 재생광의 파장 λ는 680nm, 대물렌즈 NA는 0.6을 사용하여, 선속 6m/s 일정으로 하고, 8/16 변조의 3T 최친밀 마크를 기록했을 때의 랜드·그루브의 CNR을 측정하였다. 또한, 랜드/그루브/랜드 또는 그루브/랜드/그루브의 인접 트랙의 양측의 트랙에 11T의 마크를 기록했을 때, 중앙 트랙에 있어서의 크로스토크를 측정하였다.
기록막의 결정·비결정질에서의 위상차를 억제하고, 비결정질의 반사율이 극소치가 되는 보호막(2)의 막두께로 함으로써, 랜드·그루브의 CNR 레벨이 맞고, 또한, 크로스토크의 레벨도 맞아, -30dB 이하인 것이 도 5의 그래프에 도시되고 있다.
도 6에는 보호막-기록막 계면에 있어서의 랜드·그루브의 단차 ds의 크기와, 크로스토크와의 관계를 나타낸다. 여기서 이용한 기록 매체는 상술한 바와 같은 층구성으로 하고, 재생광의 파장은 680nm으로 하였다. 또, 단차 ds의 치수는 다음과 같이 하여 측정하였다. 즉, 디스크를 트랙의 반경 방향으로 절단하고, 마이크로톰(microtome)으로 절단 단면의 박편을 제작하였다. 이 박편을 투과형 전자 현미경으로 관찰함으로써 측정하였다.
이 경우에도, 보호막-기록막 계면에 있어서의 단차 ds가 λ/6n∼λ/5n의 범위내에 있을 때, 크로스토크가 -30dB 이하로 억제된 것이 도 6에 표시되어 있다.
(실시예 6)
실시예 1에 있어서 설명한 바와 같이 기판(1)상에 보호막(2)이 형성된 후에는 기판의 그루브 깊이 dk는 반드시 보호막-기록막 계면에 있어서의 랜드·그루브의 단차 ds에 반영되지 않는다. 예컨대, 보호막을 형성할 때에 극단적으로 경사 방향으로부터 스퍼터 막형성되면, 기판 그루브의 요철이 마스크로서 작용하여, 그루브에서 얇고, 한편 랜드에서는 두껍게 보호막이 형성된다. 따라서 이 경우에는, 기판의 그루브 깊이 dk보다도, 보호막-기록막 계면에 있어서의 랜드·그루브의 단차 ds쪽이 큰 값이 된다. dk=ds로 하기 위해서는 수학식 2로 표시되는 관계를 만족하는 입사각 θ이상으로 설정하는 것이 필요하다.
이하, 도 7 및 8을 참조하여, 스퍼터재의 입사각 λ에 관해서 설명한다.
도 7은 기판의 단면을 모식적으로 도시한 도면이고, 스퍼터재가 경사 방향으로부터 입사하는 경우에는, 랜드가 벽이 되어 θ〈 arctan(dk/Tg) 의 조건으로 그루브가 마스크된 상태가 된다. 따라서, 그루브에서는 얇고, 랜드에서는 두껍게 보호막이 형성된다.
또한, 도 8은 스퍼터 장치의 개요를 나타낸 것으로, 보호막의 타깃재(8)에 대한 기판의 배치를 나타낸다. dk=ds가 되도록 보호막을 형성하기 위해서는, 타깃재(8)와 기판(1)과의 배치 각도 θs, 즉, 타깃재(8)로부터 기판(1)에 스퍼터재가 향하는 방향과, 기판(1)의 주면과 이루는 각도가, 수학식 3의 조건인 것이 필요하다.
또, 도 8에 도시된 바와 같이 스퍼터 장치에 있어서는, 진공 용기(11)내에, 타깃재(8), 타깃에 인가하는 RF 또는 DC 전원(13), 타깃의 시일드재(9), 기판(1)을 고정하는 기판 홀더(10), 및 기판을 회전시키는 모터(12)(기판은 접지되어 있다)가설치되어 있고, 진공 용기(11)내는 배기 장치(14)로써 소정의 진공도로 배기된다. 기판상에 보호막을 형성하는데 있어서는, Ar 가스 실린더(15)로부터 스퍼터 가스를 도입하여, 타깃 기판간에 소정의 전압을 인가하여 스퍼터를 행한다.
상술한 바와 같이 소정의 각도로 타깃재를 배치하여, 스퍼터재를 기판에 입사함으로써, 랜드 및 그루브에 있어서 거의 같은 막두께를 갖는 보호막이 형성된다.
(실시예 7)
도 1에 도시된 바와 같이 기판측으로부터 입사한 광 빔은 기록막에서 포커스하므로, 기록막의 기판측, 즉 기록막의 전면에 있어서, 랜드 및 그루브의 폭이 같은 것이 바람직하다.
또, 기판(1)상에 보호막(2)을 형성한 경우에는, 도 9에 도시된 바와 같이, 보호막의 두께가 두꺼워짐에 따라서, 보호막(2) 표면에 있어서의 그루브 폭이 좁아지고, 한편 랜드 폭은 넓어진다. 즉, 기판의 그루브 폭을 lG, 랜드 폭을 lL, 기록막 전면의 그루브 폭을 fG, 랜드 폭을 fL로 하면, fG＜lG, fL＞lL이 된다. 랜드·그루브 기록에 있어서는 랜드와 그루브의 재생 신호 레벨을 맞추는 것이 바람직하고, 이것을 달성하기 위해서는, 기록막 전면에서 fG=fL로 하는 것이 필요하다. 기판에 있어서 미리 lG＞lL로 설정하면, 보호막을 형성한 후에는 그 랜드 폭 및 그루브 폭을 거의 같게 할 수 있다. 즉, 기판의 트랙 피치가 일정한 경우, 기판에 있어서의 그루브 폭을 랜드 폭보다 넓게 형성하면 좋다. 이러한 기판상에 보호막을 형성한 후에는 기록막 전면에 있어서, 랜드 폭과 그루브 폭을 같게 할 수 있다.
또, 오오노 등에서는 보호막의 막두께를 고려하지 않고서 기판의 랜드 폭 및 그루브 폭에 착안하여 lG=lL로 설정하고 있으므로, 보호막을 형성한 후의 기록막 전면에서는 fG＜fL이 된다. 이 때문에, 랜드·그루브에 있어서 랜드의 신호 레벨이 그루브보다 올라가고 있다.
본 발명에 있어서는, 보호막-기록막 계면에 있어서의 그루브 폭과 랜드 폭과의 비(그루브 폭/랜드 폭)는 ±15% 정도의 허용 범위를 가지고 있으므로, 0.85∼1.15로 하는 것이 바람직하다. 보호막-기록막 계면에 있어서 이러한 범위의 그루브 폭/랜드 폭을 수득하기 위해서는 기판의 그루브 폭은 랜드 폭의 1.05∼1.15배로 하는 것이 요구된다. 이 경우, 보호막-기록막 계면에 있어서의 랜드와 그루브의 단차의 깊이는 70∼90nm으로 할 수 있다. 이러한 매체에 기록된 정보는 600∼700nm의 파장의 빛으로 재생할 수 있다.
(실시예 8)
도 10에는 상술한 바와 같은 조건의 랜드를 갖는 기판상을 이용한 디스크와 특성을 나타낸다. 여기서 이용한 디스크는 상술한 조건을 충족시키는 랜드를 갖는 기판상에, 실시예 5와 같은 층구성으로 막형성하여 형성하고, 실시예 5와 동일한 평가계에서의 평가한 결과를 나타낸다.
또, 기판의 그루브 폭은 0.74㎛, 랜드 폭은 0.66㎛으로 하였다. 이 기판상에 보호막(2)을 형성한 후, 다시 보호막(2)상에 기록막(3)을 형성하였다. 기록막(3)의 전면, 즉, 보호막-기록막 계면에 있어서의 그루브 폭과 랜드 폭은 거의 같게 약 0.7㎛이었다. 이 디스크의 CNR은 도 10의 그래프에 도시된 바와 같이 랜드, 그루브와도 거의 같았다.
비교를 위해, 그루브 폭과 랜드 폭이 같은 기판상에, 상술과 동일하게 하여 보호막 및 기록막을 형성하여 기록 매체를 제작하였다. 또, 여기서 이용한 기판은 그루브 폭과 랜드 폭이 같기(lG=lL)때문에, 보호막을 통해 기판상에 형성된 기록막의 전면에 있어서는 fG＜fL이다.
수득된 기록 매체에 대해서, 전술과 동일한 평가를 행한 결과를 도 11에 나타낸다. 도 11에 도시된 바와 같이, 기록막의 전면에 있어서 fG＜fL이기 때문에, 랜드의 CNR이 그루브보다도 5dB 정도 높아지고 있다.
(실시예 9)
이상의 실시예에 있어서는, 랜드·그루브의 단차의 깊이 및 그 폭에 착안하여 본 발명의 랜드·그루브 기록용 정보 기록 매체를 설명하였지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것이 아니다. 이하에, 본 발명의 랜드·그루브 기록용 정보 기록 매체의 다른 예를 설명한다.
도 12는 본 발명의 정보 기록 매체를 모식적으로 도시한 평면도이고, 예컨대, 랜드·그루브가 전환부(17), 전환이 없는 부분(18)에 어드레스 마크가 형성되어 있다. 여기서, 전환이 없는 부분(18) 및 전환부(17)의 확대도를 각각 도 13 및 도 14에 도시하고, 또, 어드레스 마크부의 확대도를 도 15에 도시한다.
도 15에 도시된 바와 같이, 어드레스 마크에 있어서는, 단일 주기로 피트(19)가 형성되어 있다. 피트는 그루브에 상당하고, 한편, 피트 사이는 랜드에 상당하므로, 보호막과 기록막의 계면에 있어서, 이 피트의 폭과 간격을 소정의 관계로 규정함으로써 상술과 같은 효과를 얻을 수 있다.
도 16은 복수의 피트의 확대도를 도시하는 도면이다. 보호막과 기록막의 계면에 있어서, 트랙 방향에서의 피트의 개구부의 길이 G1과, 이 방향에서의 피트의 개구부가 아닌 부분의 길이 L1을 거의 같게 함으로써, 보호막-기록막 계면에 있어서의 랜드 및 그루브의 폭을 거의 같게 한 경우와 동일한 효과를 얻을 수 있다.
이 경우, 기판상에서는, 트랙 방향의 피트의 폭 G1'과 이 방향에서의 피트의 간격 L1'는 수학식 4의 관계를 충족시키고 있다.
또, 보호막과 기록막의 계면에 있어서의 트랙에 수직인 방향에 대해서는 도 13 및 14에 도시된 바와 같이, 마크의 폭 및 그 간격은 각각 G2및 L2로 표시되고, 마크의 폭 G2의 2배를 간격 L2로 거의 같게 함으로써, 상술과 같은 효과를 얻을 수 있다.
이 경우, 기판상에서는 트랙에 수직인 방향의 피트의 폭 G2'와 이 방향에서의 피트의 간격 L2'는 수학식 5의 관계를 충족시키고 있다.
(실시예 10)
이상의 예에서는 기판상에 보호막을 설치한 구성의 기록 매체를 예로 들어 설명하였지만, 본 발명은 그것에 한정되는 것이 아니다. 본 발명의 랜드·그루브 기록용 정보 기록 매체에 있어서는 기록막 전면의 랜드 폭이나 그루브 폭, 랜드·그루브 단차, 및 비트의 폭과 그 간격이 요건이므로, 기록막 전면에, 복수의 보호막이 적층되어 있어도 상관없다. 또, 보호막이 반투명막과 유전체막과의 적층 구조, 또는 혼합물에 의해 구성되는 경우에 대해서도 적용할 수 있는 것이다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 랜드와 그루브에서의 재생 신호 레벨을 맞출 수 있고, 랜드와 그루브에서 2치화가 용이해지며, 드라이브로의 부하가 감소된 랜드·그루브 기록용 정보 기록 매체가 제공된다.
이러한 기록 매체는 층구성이 변화하여도 그것에 대응하여 크로스토크를 감소하는 것이 가능하므로, 막의 층구성에 따라서 랜드와 그루브에서 재생 신호 레벨에 차이가 생기거나, 랜드·그루브 기록으로 크로스토크가 발생한다고 했던 종래의 기록 매체의 문제를 모두 해결할 수 있으며, 그 공업적 가치는 절대적이다.

Claims (28)

  1. 랜드·그루브를 갖는 기판과;
    상기 기판상에 형성되어, 결정 상태와 비결정질 상태 사이의 위상 변화를 일으킬 수 있는 기록막을 구비하고,
    상기 기록막의 전면에서 랜드와 그루브와의 단차는 λ/(6n)≤ds≤λ/(5n)로 표시되는 범위내에 있고, ds는 기록막의 전면에서 랜드와 그루브와의 단차이고, λ는 재생에 이용하는 광 빔의 파장이고, n은 기판의 굴절율인 것을 특징으로 하는 랜드·그루브 기록용 정보 기록 매체.
  2. 제1항에 있어서, 상기 기판과 기록막과의 사이에 보호막을 구비하고, 이 보호막의 막두께는 상기 기록막이 비결정질 상태일 때의 반사율이 극소치가 되는 막두께인 것을 특징으로 하는 랜드·그루브 기록용 정보 기록 매체.
  3. 제2항에 있어서, 상기 보호막은 50∼150nm의 막두께를 가지며, 사용되는 광 빔의 파장에 있어서의 굴절율은 1.5∼2.5인 유전체로 이루어지는 막이고, 상기 기록막의 전면의 랜드·그루브의 단차는 70∼90nm이고, 파장 600∼700nm의 광 빔으로 재생되는 것을 특징으로 하는 랜드·그루브 기록용 정보 기록 매체.
  4. 랜드·그루브를 갖는 기판과;
    상기 기판상에 형성된 보호막과;
    상기 보호막상에 형성되어, 결정 상태와 비결정질 상태 사이의 위상 변화를 일으킬 수 있는 기록막을 구비하고,
    상기 기록막과 보호막과의 계면에서 랜드와 그루브와의 단차는 λ/(6n)≤ds≤λ/(5n)로 표시되는 범위내에 있고, ds는 기록막과 보호막의 계면에서 랜드와 그루브와의 단차이고, λ는 재생에 이용하는 광 빔의 파장이고, n은 기판의 굴절율인 것을 특징으로 하는 랜드·그루브 기록용 정보 기록 매체.
  5. 제4항에 있어서, 상기 보호막의 막두께는 상기 기록막이 결정 상태일 때의 반사율이 극소가 되는 막두께인 것을 특징으로 하는 랜드·그루브 기록용 정보 기록 매체.
  6. 제5항에 있어서, 상기 보호막은 15∼150nm의 막두께를 가지며, 사용되는 광 빔의 파장에 있어서의 굴절율은 1.5∼2.5인 유전체로 이루어지는 막이고, 상기 기록막과 보호막과의 계면에서 랜드와 그루브와의 단차는 70nm∼90nm이고, 파장 600∼700nm의 광 빔으로 재생되는 것을 특징으로 하는 랜드·그루브 기록용 정보 기록 매체.
  7. 랜드·그루브를 갖는 기판과;
    상기 기판상에 형성된 보호막과;
    상기 보호막상에 형성되어, 결정 상태와 비결정질 상태 사이의 위상 변화를 일으킬 수 있는 기록막을 구비하고,
    상기 보호막의 막두께는 150nm 이상이며, 상기 기록막과 보호막과의 계면에서 랜드와 그루브와의 단차는 λ/(6n)≤ds≤λ/(5n)로 표시되는 범위내에 있고, ds는 기록막과 보호막과의 계면에서 랜드와 그루브와의 단차이고, λ는 재생에 이용하는 광 빔의 파장이고, n은 기판의 굴절율인 것을 특징으로 하는 랜드·그루브 기록용 정보 기록 매체.
  8. 제7항에 있어서, 상기 보호막의 막두께는 이 보호막의 막두께 변화에 따른 기록막의 반사율의 주기적 변화에 있어서, 상기 기록막이 결정 상태 또는 비결정질 상태일 때의 반사율이 극소가 되는 제2 주기의 막두께인 것을 특징으로 하는 랜드·그루브 기록용 정보 기록 매체.
  9. 제8항에 있어서, 상기 보호막은 220∼320nm 부근의 막두께를 가지며, 사용되는 광 빔의 파장에 있어서의 굴절율은 1.5∼2.5인 유전체로 이루어지는 막이고, 상기 기록막과 보호막과의 계면에서 랜드와 그루브와의 단차는 70∼90nm이고, 파장 600∼700nm의 광 빔으로 재생되는 것을 특징으로 하는 랜드·그루브 기록용 정보 기록 매체.
  10. 랜드·그루브를 갖는 기판과;
    상기 기판상에 형성되어, 결정 상태와 비결정질 상태 사이의 위상 변화를 일으킬 수 있는 기록막을 구비하고,
    상기 기록막의 기판측에서 랜드와 그루브와의 단차는 λ/(6n)≤ds≤λ/(5n)로 표시되는 범위내에 있고, ds는 기록막의 기판측에 있어서의 랜드와 그루브와의 단차이고, λ는 재생에 이용하는 광 빔의 파장이고, n은 기판의 굴절율이며, 상기 기록막의 결정·비결정질의 위상 변화가 생기지 않는 층구성인 것을 특징으로 하는 랜드·그루브 기록용 정보 기록 매체.
  11. 제10항에 있어서, 상기 기판과 기록막과의 사이에 보호막을 구비하고, 이 보호막의 막두께는 상기 기록막이 비결정질 또는 결정 상태일 때의 반사율이 극소가 되는 막두께인 것을 특징으로 하는 랜드·그루브 기록용 정보 기록 매체.
  12. 제11항에 있어서, 상기 보호막은 막두께 50∼150nm 또는 220∼320nm의 사용되는 광 빔의 파장에 있어서의 굴절율이 1.5∼2.5인 유전체로 이루어지는 막이고, 상기 기록막의 막두께는 10∼30nm으로서, 이 기록막과 보호막과의 계면에서 랜드와 그루브와의 단차는 70∼90nm의 사이이며, 파장 600∼700nm의 광 빔으로 재생되는 것을 특징으로 하는 랜드·그루브 기록용 정보 기록 매체.
  13. 랜드·그루브를 갖는 기판과;
    상기 기판상에 형성된 보호막과;
    상기 보호막상에 형성된 기록막을 구비하고,
    상기 보호막의 두께는 랜드 및 그루브에 있어서 거의 같은 것을 특징으로 하는 랜드·그루브 기록용 정보 기록 매체.
  14. 랜드·그루브를 갖는 기판과;
    상기 기판상에 형성된 보호막과;
    상기 보호막상에 형성된 기록막을 구비하고,
    상기 기판의 그루브 깊이와 보호막-기록막 계면에서 랜드·그루브의 단차는 거의 같은 것을 특징으로 하는 랜드·그루브 기록용 정보 기록 매체.
  15. 랜드·그루브를 갖는 기판과;
    상기 기판상에 형성된 보호막과;
    상기 보호막상에 형성된 기록막을 구비하고,
    상기 기록막-보호막 계면에서 랜드 폭과 그루브 폭은 거의 같은 것을 특징으로 하는 랜드·그루브 기록용 정보 기록 매체.
  16. 제15항에 있어서, 상기 기판에 있어서, 그루브 폭은 랜드 폭보다 넓은 것을 특징으로 하는 랜드·그루브 기록용 정보 기록 매체.
  17. 제16항에 있어서, 상기 기판의 그루브 폭은 랜드 폭의 1.05∼1.15배이고, 상기 보호막-기록막 계면에서 그루브 폭과 랜드 폭과의 비(그루브 폭/랜드 폭)는 0.85∼1.15이며, 상기 보호막-기록막 계면에서 랜드와 그루브의 단차의 깊이는 70∼90nm이며, 파장 600∼700nm의 광 빔으로 재생되는 것을 특징으로 하는 랜드·그루브 기록용 정보 기록 매체.
  18. 랜드·그루브를 갖는 기판과;
    상기 기판상에 형성된 보호막과;
    상기 보호막상에 형성되어, 결정 상태와 비결정질 상태 사이의 위상 변화를 일으킬 수 있는 기록막을 구비하고,
    상기 기록막과 보호막과의 계면에서 랜드와 그루브와의 단차는 λ/(6n)≤ds≤λ/(5n)로 표시되는 범위내에 있고, ds는 기록막의 전면에서 랜드와 그루브와의 단차이고, λ는 재생에 이용하는 광 빔의 파장이고, n은 기판의 굴절율이며;
    상기 보호막의 막두께는, 상기 기록막이 비결정질 상태일 때의 반사율이 극소가 되고, 상기 기록막이 결정질 상태일 때의 반사율이 15%∼25%의 범위내에 있는 값인 것을 특징으로 하는 랜드·그루브 기록용 정보 기록 매체.
  19. 랜드·그루브를 갖는 기판과;
    상기 기판상에 형성된 보호막과;
    상기 보호막상에 형성된 기록막을 구비하고,
    어드레스 마크중의 단일 주기로 기록된 부분에 있어서의 트랙 방향의 피트의 개구부의 길이 및 피트의 개구부 이외의 부분의 길이는, 상기 보호막과 기록막과의 계면에서는 거의 같은 것을 특징으로 하는 랜드·그루브 기록용 정보 기록 매체.
  20. 제19항에 있어서, 랜드·그루브 전환부를 가지며, 상기 어드레스 마크는 이 랜드·그루브 전환부에 형성된 마크인 것을 특징으로 하는 랜드·그루브 기록용 정보 기록 매체.
  21. 제19항에 있어서, 상기 어드레스 마크중의 단일 주기로 기록된 부분에 있어서의 트랙 방향의 피트의 개구부의 길이 및 비트의 개구부 이외의 부분의 길이는, 상기 기판상에서는 G1'＞L1'로 표시되는 관계를 충족시키고, G1'는 기판상의 트랙 방향에서의 피트의 개구부의 길이이고, L1'는 기판상의 트랙 방향에 있어서의 피트의 개구부 이외의 부분의 길이인 것을 특징으로 하는 랜드·그루브 기록용 정보 기록 매체.
  22. 제21항에 있어서, 랜드·그루브 전환부를 가지며, 상기 어드레스 마크는 이 랜드·그루브 전환부에 형성된 마크인 것을 특징으로 하는 랜드·그루브 기록용 정보 기록 매체.
  23. 랜드·그루브를 갖는 기판과;
    상기 기판상에 형성된 보호막과;
    상기 보호막상에 형성된 기록막을 구비하고,
    상기 보호막과 기록막의 계면에 있어서, 트랙에 직교하는 방향에서의 어드레스 마크의 개구부의 길이는 이 방향에서 인접한 마크의 개구부 이외의 부분의 길이의 약 1/2인 것을 특징으로 하는 랜드·그루브 기록용 정보 기록 매체.
  24. 제23항에 있어서, 랜드·그루브 전환부를 가지며, 상기 어드레스 마크는, 이 랜드·그루브 전환부에 형성된 마크인 것을 특징으로 하는 랜드·그루브 기록용 정보 기록 매체.
  25. 제23항에 있어서, 상기 트랙에 직교하는 방향에서의 어드레스 마크의 폭 및 그 간격은, 상기 기판상에 있어 2G2'≥L2'으로 표시되는 관계를 충족시키고, G2'는 기판상의 트랙에 직교한 방향에서의 어드레스 마크의 개구부의 길이이고, L2'는 기판상의 트랙에 직교한 방향에서의 마크의 개구부 이외의 부분의 길이인 것을 특징으로 하는 랜드·그루브 기록용 정보 기록 매체.
  26. 제25항에 있어서, 랜드·그루브 전환부를 가지며, 상기 어드레스 마크는, 이 랜드·그루브 전환부에 형성된 마크인 것을 특징으로 하는 랜드·그루브 기록용 정보 기록 매체.
  27. 랜드·그루브를 갖는 기판상에 스퍼터법에 의해 보호막을 형성하는 방법으로서, θ＞arctan(dk/Tg)의 관계로 표시되는 입사각으로 스퍼터재를 입사하고, θ는 기판으로의 스퍼터재의 입사각이고, dk는 기판의 그루브 깊이이고, Tg는 기판의 그루브 폭인 것을 특징으로 하는 막형성 방법.
  28. 랜드·그루브를 갖는 기판상에 스퍼터법에 의해 보호막을 형성하는 장치로서, θs＞arctan(dk/Tg)로 표시되는 관계를 충족시키는 각도로 스퍼터재가 기판으로 입사하도록 타깃재가 배치되어 있고, θs는 타깃재로부터 기판에 스퍼터재가 향하는 방향과 기판의 주면과 이루는 배치 각도이고, dk는 기판의 그루브 깊이이고, Tg는 기판의 그루브 폭인 것을 특징으로 하는 막형성 장치.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100571908B1 (ko) * 1999-09-10 2006-04-17 삼성전자주식회사 니어필드 기록/재생용 광디스크

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10261242A (ja) * 1997-03-17 1998-09-29 Sony Corp 光ディスク
EP1583084A3 (en) 2002-04-08 2009-02-18 Nec Corporation Optical information recording method and optical information recording device
WO2003088224A1 (fr) 2002-04-17 2003-10-23 Nec Corporation Procede et dispositif pour l'enregistrement/la reproduction d'information optique
JP2009026407A (ja) * 2007-07-20 2009-02-05 Toshiba Corp 情報記録媒体

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5452284A (en) * 1992-09-14 1995-09-19 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Optical recording/reproducing medium and apparatus using land and groove encoded information signals and identification signals including position information
JP2697555B2 (ja) * 1993-05-26 1998-01-14 松下電器産業株式会社 光情報記録媒体
JP2896231B2 (ja) * 1993-06-11 1999-05-31 株式会社東芝 光学記録媒体
US5508995A (en) * 1993-07-15 1996-04-16 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Optical disk capable of recording information on both groove and land tracks
JPH07141693A (ja) * 1993-09-22 1995-06-02 Toshiba Corp 情報記録媒体
JPH07105569A (ja) * 1993-10-08 1995-04-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光学的情報記録部材
JP3284744B2 (ja) * 1994-04-20 2002-05-20 松下電器産業株式会社 光学的情報記録媒体
JP2743866B2 (ja) * 1994-08-29 1998-04-22 日本電気株式会社 光ディスク媒体および光ディスク記録・再生方法
JPH08124211A (ja) * 1994-10-19 1996-05-17 Fuji Xerox Co Ltd 光記録媒体
EP0777216A3 (en) * 1995-12-05 1998-12-23 Nikon Corporation A high density optical disk and a method of high density recording

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100571908B1 (ko) * 1999-09-10 2006-04-17 삼성전자주식회사 니어필드 기록/재생용 광디스크

Also Published As

Publication number Publication date
CN1176454A (zh) 1998-03-18
EP0825590A2 (en) 1998-02-25
EP0825590A3 (en) 1999-11-24
JPH1064120A (ja) 1998-03-06

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