KR102623714B1 - 유리판의 제조 방법 - Google Patents

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히로카즈 오쿠무라
타다시 타카하시
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니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤
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Abstract

유리판의 제조 방법(1)은 유리판을 가공하는 가공 공정(S2)과, 가공 공정(S2)에서 가공된 상기 유리판을 세정하는 세정 공정(S3)과, 세정 공정(S3)에서 세정된 상기 유리판의 결함을 검출하는 검사 공정(S4)을 구비한다. 검사 공정(S4)은 결함의 좌표를 특정하는 결함 좌표 특정 공정(S4a)과, 결함 좌표 특정 공정(S4a)에서 특정된 좌표의 결함의 내용을 특정하는 결함 내용 특정 공정(S4b)을 갖는다. 결함 좌표 특정 공정(S4a)의 라인수보다 결함 내용 특정 공정(S4b)의 라인수 쪽이 많고, 결함 좌표 특정 공정(S4a)의 라인을 통과한 상기 유리판은 결함 내용 특정 공정(S4b)의 라인에 할당된다.

Description

유리판의 제조 방법
본 발명은 유리판의 결함을 검출하는 검사 공정을 구비한 유리판의 제조 방법에 관한 것이다.
예를 들면, 액정 디스플레이용 유리 기판 등의 유리판의 제조 방법에는 유리판을 가공하는 가공 공정과, 상기 가공 공정에서 가공된 상기 유리판을 세정하는 세정 공정과, 상기 세정 공정에서 세정된 상기 유리판의 결함을 검사하는 검사 공정을 구비하는 것이다(예를 들면, 특허문헌 1참조). 검사 공정에서 검출되는 유리판의 결함에는, 예를 들면 유리 파티클, 크랙, 이물, 오염, 가공 불량 등이 포함된다.
(특허문헌 1) 일본 특허 공개 2015-141096호 공보
그런데, 검사 공정에는 결함의 유무뿐만 아니라, 결함의 내용까지 특정하는 것이 요구되는 경우가 있다. 그러나, 단순하게, 결함의 내용까지 특정하려고 하면, 검사 공정에 필요한 시간이 길어진다는 문제가 있었다.
본 발명은 상기 사정을 감안하여, 유리판의 결함을 검출하는 검사 공정에 있어서, 검사 시간을 억제하면서 결함의 내용을 특정하는 것을 기술적 과제로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해서, 본원 발명자는 예의검토를 거듭한 결과, 다음과 같은 지견을 얻었다. 즉, 검사 공정에서 결함의 내용까지 특정하는 경우, 검사 공정을 결함의 좌표를 특정하는 결함 좌표 특정 공정과, 이 결함 좌표 특정 공정에서 특정된 좌표의 결함의 내용을 특정하는 결함 내용 특정 공정으로 분할할 수 있다. 그 경우, 일반적으로 결함 좌표 특정 공정보다 결함 내용 특정 공정 쪽이 시간을 필요로 한다. 따라서, 결함 좌표 특정 공정의 라인수와 결함 내용 특정 공정의 라인수가 같은 경우, 결함 좌표 특정 공정을 완료한 유리판이 결함 내용 특정 공정을 기다려야 하는 사태가 발생한다.
이 지견에 의거하여 창안된 본 발명의 유리판의 제조 방법은 유리판을 가공하는 가공 공정과, 상기 가공 공정에서 가공된 상기 유리판을 세정하는 세정 공정과, 상기 세정 공정에서 세정된 상기 유리판의 결함을 검사하는 검사 공정을 구비한 유리판의 제조 방법으로서, 상기 검사 공정은 결함의 좌표를 특정하는 결함 좌표 특정 공정과, 상기 결함 좌표 특정 공정에서 특정된 좌표의 결함의 내용을 특정하는 결함 내용 특정 공정을 갖고, 상기 결함 좌표 특정 공정의 라인수보다 상기 결함 내용 특정 공정의 라인수 쪽이 많고, 상기 결함 좌표 특정 공정의 라인을 통과한 상기 유리판이 상기 결함 내용 특정 공정의 라인에 할당되는 것을 특징으로 한다.
이 구성에 의하면, 결함 좌표 특정 공정의 라인수보다 결함 내용 특정 공정의 라인수 쪽이 많고, 결함 좌표 특정 공정의 라인을 통과한 유리판이 결함 내용 특정 공정의 라인에 할당된다. 그 때문에, 결함 좌표 특정 공정을 완료한 유리판이 결함 내용 특정 공정을 기다려야 하는 사태를 회피할 수 있다. 이에 따라, 검사 공정 전체에 필요한 시간을 결함 좌표 특정 공정의 라인수와 결함 내용 특정 공정의 라인수가 같은 경우보다 짧게 할 수 있다. 즉, 본 발명의 유리판의 제조 방법에 의하면, 유리판의 결함을 검출하는 검사 공정에 있어서 검사 시간을 억제하면서 결함의 내용을 특정하는 것이 가능하다.
상기 구성에 있어서, 상기 결함 좌표 특정 공정에는 상기 유리판을 반송방향의 직각방향의 중간부에서 부상시켜 비접촉 지지함과 아울러, 상기 직각방향의 양단부에서 접촉 지지한 상태로 반송하면서 결함의 좌표를 특정하는 것이 바람직하다.
이 구성이면, 유리판을 반송하면서 결함의 좌표를 특정하므로, 결함 좌표 특정 공정에 필요한 시간을 보다 짧게 할 수 있다. 또한, 유리판을 중간부에서 부상시켜 비접촉 지지한 상태에서 반송하므로, 유리판에 결함이 새롭게 생기는 것을 억제할 수 있다. 또한, 유리판을 부상시킨 상태에서 반송하므로, 유리판에 자중에 의한 휨 등의 변형이 생기기 어려워 정밀도 좋게 결함의 좌표를 특정할 수 있다.
상기 구성에 있어서, 상기 결함 내용 특정 공정에는 상기 유리판을 면 접촉으로 지지하고 고정한 상태에서, 결함의 내용을 특정하는 것이 바람직하다.
유리판을 면 접촉으로 지지하고 고정한 상태이므로, 유리판의 위치가 안정하기 때문에, 결함 좌표 특정 공정에서 특정된 좌표에 보다 정확하게 조준이나 초점을 맞추어 촬상할 수 있다.
상기 구성에 있어서, 상기 결함 좌표 특정 공정의 라인수보다 상기 결함 내용 특정 공정의 라인수 쪽이 1~3개 많은 것이 바람직하다.
(발명의 효과)
이상과 같이, 본 발명에 의하면, 유리판의 결함을 검출하는 검사 공정에 있어서, 검사 시간을 억제하면서 결함의 내용을 특정할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시형태에 따른 유리판의 제조 방법을 나타내는 개략도이다.
도 2a는 결함 좌표 특정 공정을 나타내는 개략 평면도이다.
도 2b는 결함 좌표 특정 공정을 나타내는 개략 측면도이다.
도 3a는 결함 내용 특정 공정을 나타내는 개략 평면도이다.
도 3b는 결함 내용 특정 공정을 나타내는 개략 정면도이다.
이하, 본 발명을 실시하기 위한 형태에 대해서 도면에 의거하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시형태에 따른 유리판의 제조 방법을 도시한 개략도이다. 이 유리판의 제조 방법(이하, 간단히 제조 방법(1)으로 기재함)은 유리판에 대하여, 예를 들면 단면 가공 등의 가공을 행하는 것이다. 제조 방법(1)으로 제조되는 유리판은 그 크기가, 예를 들면 300×300mm~3500×3500mm이고, 그 판 두께가, 예를 들면 0.1~1.1mm이다.
이 제조 방법(1)은 유리판을 투입하는 투입 공정(S1)과, 투입 공정(S1)에서 투입된 상기 유리판을 가공하는 가공 공정(S2)과, 가공 공정(S2)에서 가공된 상기 유리판을 세정하는 세정 공정(S3)과, 세정 공정(S3)에서 세정된 상기 유리판의 결함을 검사하는 검사 공정(S4)과, 검사 공정(S4)에서 결함을 검사된 상기 유리판을 곤포하는 곤포 공정(S5)을 구비한다.
검사 공정(S4)은 결함의 좌표를 특정하는 결함 좌표 특정 공정(S4a)과, 결함 좌표 특정 공정(S4a)에서 특정된 좌표의 결함의 내용을 특정하는 결함 내용 특정 공정(S4b)을 갖는다. 그리고, 결함 좌표 특정 공정(S4a)의 라인의 수보다 결함 내용 특정 공정(S4b)의 라인의 수 쪽이 많고, 결함 좌표 특정 공정(S4a)의 라인을 통과한 유리판이 결함 내용 특정 공정(S4b)의 라인에 할당되도록 구성되어 있다.
도시예에서는 결함 좌표 특정 공정(S4a)을 포함하는 1개의 라인이 분기되어 결함 내용 특정 공정(S4b)을 포함하는 3개의 라인으로 되어 있다. 즉, 결함 좌표 특정 공정(S4a)의 라인수는 1개이고, 결함 내용 특정 공정(S4b)의 라인수는 3개이고, 결함 좌표 특정 공정(S4a)의 라인수보다 결함 내용 특정 공정(S4b)의 라인수 쪽이 2개 많다.
다음에, 제조 방법(1)의 공정에 대해서 순서에 따라 설명한다.
최초에, 투입 공정(S1)에서, 유리판을 투입한다. 다음에, 가공 공정(S2)에서, 투입 공정(S1)에서 투입된 유리판에 대하여, 예를 들면 단면 가공(모따기 가공 등) 등의 가공을 행한다. 그리고, 세정 공정(S3)에서, 가공 공정(S2)에서 가공된 유리판을, 예를 들면 고압수나 롤 브러쉬에 의해 세정한다.
세정 공정(S3)에서 결함 좌표 특정 공정(S4a)까지의 제 1 반송로(R1)에서는 도 2a 및 도 2b에 나타내는 반송 기구(2)에 의해 자동으로 유리판(3)은 반송된다.
반송 기구(2)는, 예를 들면 에어의 분출에 의해 유리판(3)을 부상시킨 상태로 하는 에어 플로트 등의 부상부(2a)와, 접촉하여 유리판(3)을 전송하는, 예를 들면 롤러 등의 전송부(2b)를 갖는다. 반송 기구(2)는 유리판(3)을 반송방향으로 직각한 방향의 중간부에서 부상시켜 비접촉 지지함과 아울러, 반송방향으로 직각한 방향의 양단부에서 접촉 지지한 상태로 반송한다. 유리판(3)은 부상부(2a)에 의해 부상부(2a)에 대하여 부상한 상태에서, 전송부(2b)에 의해 견인력을 부여하여 반송된다. 이 반송 중에는 유리판(3)은 수평 상태에서 하부로부터 연직 상방을 향하는 에어의 압력을 유리판(3)의 자중을 상쇄하도록 작용시킴으로써 보다 자연스러운 형상(평판 형상)을 유지한다.
다음에, 결함 좌표 특정 공정(S4a)에서, 유리판(3)의 결함의 수를 카운트함과 아울러, 결함의 좌표를 특정한다.
도 2a 및 도 2b에 나타내는 바와 같이, 결함 좌표 특정 공정(S4a)에서는 제 1 반송로(R1)로부터 계속되고, 반송 기구(2)에 의해 유리판(3)을 반송하면서 유리판(3)의 결함의 수의 카운트와 결함의 좌표의 특정을 행한다. 이 때, 유리판(3)은 부상부(2a)에 대하여 부상한 상태로 전송부(2b)에 전송되어 반송되고 있다.
결함 좌표 특정 공정(S4a)에서는 좌표 특정용 검사 장치(4)에 의해 유리판(3)의 결함을 검출하고 결함의 수를 자동으로 카운트함과 아울러, 결함의 좌표를 자동으로 특정한다. 좌표 특정용 검사 장치(4)는 도 2b에 나타내는 바와 같이, 광원(4a)과, 광원(4a)에 대하여 유리판(3)의 반송로를 통해서 대향 배치된, 예를 들면 카메라 등의 촬상부(4b)를 갖는다. 광원(4a)은 유리판(3)의 반송방향으로 직각한 방향을 따른 폭이 넓은 영역을 비춘다. 촬상부(4b)는 유리판(3)의 반송방향으로 직각한 방향을 따른 폭이 넓은 영역을 촬상한다. 좌표 특정용 검사 장치(4)는 촬상부(4b)가 고정된 상태에서, 유리판(3)이 반송로를 통과함으로써 유리판(3)의 전역을 촬상한다. 좌표 특정용 검사 장치(4)는 유리판(3)을 투과한 광으로 촬상하는 타입이다.
결함 좌표 특정 공정(S4a)에서 결함 내용 특정 공정(S4b)까지의 제 2 반송로(R2)에서는 유리판(3)은 자동으로, 예를 들면 롤러 컨베이어에 의해 접촉되면서 반송(접촉 반송)된다. 제 2 반송로(R2)에서, 결함 좌표 특정 공정(S4a)을 완료한 유리판(3)이 결함 내용 특정 공정(S4b)에 자동으로 할당될 수 있다.
다음에, 결함 내용 특정 공정(S4b)에서, 결함 좌표 특정 공정(S4a)에서 특정된 좌표에 의거하여 그 좌표의 결함의 내용을 특정한다.
도 3a 및 도 3b에 나타내는 바와 같이, 결함 내용 특정 공정(S4b)에서는 지지 부재(5)에 의해 유리판(3)을 면 접촉으로 지지하고 고정한 상태에서, 결함의 내용을 특정한다. 결함 내용 특정 공정(S4b)에서는 좌표 특정용 검사 장치(4)로부터 전달된 결함의 좌표 데이터에 의거하여 내용 특정용 검사 장치(6)에 의해 유리판(3)의 결함을 촬상하고, 결함의 내용을 특정한다.
내용 특정용 검사 장치(6)는, 예를 들면 현미경 등의 촬상부(6a)와, 촬상부(6a)를 지지하여 이동시키기 위한, 예를 들면 갠트리 등의 이동 기구(6b)를 갖는다. 내용 특정용 검사 장치(6)는 유리판(3)이 지지 부재(5) 상에 고정된 상태에서, 촬상부(6a)가 이동함으로써 유리판(3)의 결함을 촬상한다. 지지 부재(5)는 광을 투과하지 않고, 내용 특정용 검사 장치(6)는 유리판(3)에 반사한 광으로 촬상하는 타입이다. 또한, 지지 부재(5)는 위치 결정 전에는 에어를 분출하여 유리판(3)을 부상시키고 있지만, 위치 결정 후에는 유리판(3)을 흡착하도록 구성되어 있다.
결함의 내용의 특정은 촬상된 화상을 보고 사람이 판단해도 좋고, 촬상된 화상 데이터를 자동으로 처리하여 자동으로 판단하도록 해도 좋다.
결함 내용 특정 공정(S4b)을 나오고 나서 곤포 공정(S5)에 들어갈 때까지의 제 3 반송로(R3)에서는 유리판은 자동으로, 예를 들면 롤러 컨베이어에 의해 접촉 반송된다.
결함 내용 특정 공정(S4b) 후, 결함 좌표 특정 공정(S4a)의 검사 결과(결함의 수)와 결함 내용 특정 공정(S4b)의 검사 결과(결함의 내용)에 근거하여, 검사를 실시한 유리판(3)이 양품인지 여부의 판정을 도시하지 않은 판정부에서 행한다.
판정부에 의한 판정 결과에서, 양품으로 판정된 유리판(3)이 곤포 공정(S5)에서 양품으로서 곤포되어 출시된다. 한편, 불량품으로 판정된 유리판(3)은 불량품으로서 곤포된다.
이상과 같이 구성된 본 실시형태의 제조 방법(1)에 의하면, 결함 좌표 특정 공정(S4a)의 라인수보다 결함 내용 특정 공정(S4b)의 라인수 쪽이 많고, 결함 좌표 특정 공정(S4a)의 라인을 통과한 유리판이 결함 내용 특정 공정(S4b)의 라인에 할당된다. 그 때문에, 결함 좌표 특정 공정(S4a)을 완료한 유리판(3)이 결함 내용 특정 공정(S4b)을 기다려야 하는 사태를 회피할 수 있다. 이에 따라, 검사 공정(S4) 전체에 필요한 시간을 결함 좌표 특정 공정(S4a)의 라인수와 결함 내용 특정 공정(S4b)의 라인수가 같은 경우보다 짧게 할 수 있다. 즉, 본 실시예의 유리판의 제조 방법(1)에 의하면, 유리판의 결함을 검출하는 검사 공정에 있어서, 검사 시간을 억제하면서 결함의 내용을 특정하는 것이 가능하다.
환언하면, 제조 방법(1)에서는 검사 공정(S4)을 위치 정보와 결함의 유무만을 특정(단시간)하는 결함 좌표 특정 공정(S4a)(단시간)과, 결함 내용을 특정(장시간)하는 결함 내용 특정 공정(S4b)으로 분할하고 있다. 그리고, 검사 공정(S4)에 있어서의 장시간을 필요한 결함 내용 특정 공정(S4b)의 라인을 복선화한 레이아웃 구성하고 있다. 이에 따라, 검사 공정(S4)의 처리 능력을 향상시킬 수 있다.
또한, 세정 공정(S3)으로부터 나와 결함 좌표 특정 공정(S4a)까지의 사이는 유리판(3)의 이면을 비접촉으로 반송하므로, 유리판(3)의 표면에 결함이 새롭게 생기는 것을 억제할 수 있다. 또한, 세정 공정(S3)으로부터 나와 결함 내용 특정 공정(S4b)까지의 사이는 유리판(3)의 핸들링이나, 반송방향 전환을 위한 상하좌우의 유리판(3)의 이동이나 유리판(3)의 자세 변경은 극력 행하지 않도록 한다. 그 때문에, 유리판(3)에 새로운 결함이 발생하는 것을 억제할 수 있다. 이들의 상승 효과에 의해, 제조 방법(1)에 있어서 불필요한 결함이 생기기 어렵기 때문에, 양품률이 향상된다.
또한, 반송 기구(2)에 의한 반송에서, 유리판(3)의 자중에 해당하는 에어압을 가함으로써 유리판(3)의 자중에 의한 휨이나 변형을 억제할 수 있다. 그 결과, 반송 기구(2)에 의한 반송 중에 실시하는 결함 좌표 특정 공정(S4a)의 검사의 신뢰성이 향상된다.
본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니고, 그 기술적 사상의 범위 내에서 다양한 변형이 가능하다. 예를 들면, 상기 실시형태에서는 결함 좌표 특정 공정(S4a)을 완료한 유리판(3)의 결함 내용 특정 공정(S4b)으로의 할당은 제 2 반송로(R2)에 있어서 자동으로 행해지고 있었지만, 사람의 손이나 대차에 의해 행해져도 좋다. 또한, 상기 실시형태에서는 라인 내의 제 1 반송로(R1)나 제 3 반송로(R3)에서는 자동으로 유리판(3)이 반송되고 있지만, 사람의 손이나 대차에 의해 유리판(3)이 반송되어도 좋다.
또한, 상기 실시형태에서는 좌표 특정용 검사 장치(4)는 유리판(3)을 투과한 광으로 촬상하는 타입이지만, 유리판(3)에 반사한 광으로 촬상하는 타입이어도 좋다. 또한, 상기 실시형태에서는 내용 특정용 검사 장치(6)는 유리판(3)에 반사한 광으로 촬상하는 타입이지만, 유리판(3)을 투과한 광으로 촬상하는 타입이어도 좋다.
1 제조 방법 2 반송 기구
3 유리판 4 좌표 특정용 검사 장치
5 지지 부재 6 내용 특정용 검사 장치
S1 투입 공정 S2 가공 공정
S3 세정 공정 S4 검사 공정
S4a 결함 좌표 특정 공정 S4b 결함 내용 특정 공정
S5 곤포 공정

Claims (4)

  1. 유리판을 가공하는 가공 공정과, 상기 가공 공정에서 가공된 상기 유리판을 세정하는 세정 공정과, 상기 세정 공정에서 세정된 상기 유리판의 결함을 검사하는 검사 공정을 구비한 유리판의 제조 방법으로서,
    상기 검사 공정은 결함의 좌표를 특정하는 결함 좌표 특정 공정과, 상기 결함 좌표 특정 공정에서 특정된 좌표의 결함의 내용을 특정하는 결함 내용 특정 공정을 갖고,
    상기 세정 공정과 상기 결함 좌표 특정 공정 사이의 제 1 반송로 및 상기 결함 좌표 특정 공정에서는, 상기 유리판을 반송 방향의 직각 방향의 중간부에서 부상시켜 비접촉 지지함과 아울러, 상기 직각 방향의 양단부에서 접촉 지지한 상태로 상기 유리판을 반송하고,
    상기 결함 좌표 특정 공정과 상기 결함 내용 특정 공정 사이의 제 2 반송로에서는, 상기 유리판을 접촉 반송하고,
    상기 결함 좌표 특정 공정의 라인수보다 상기 결함 내용 특정 공정의 라인수 쪽이 많고,
    상기 결함 좌표 특정 공정의 라인을 통과한 상기 유리판이 상기 결함 내용 특정 공정의 라인에 할당되는 것을 특징으로 하는 유리판의 제조 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 결함 내용 특정 공정에서는 상기 유리판을 면 접촉으로 지지하고 고정한 상태에서, 결함의 내용을 특정하는 것을 특징으로 하는 유리판의 제조 방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 결함 좌표 특정 공정의 라인수보다 상기 결함 내용 특정 공정의 라인수 쪽이 1~3개 많은 것을 특징으로 하는 유리판의 제조 방법.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 검사 공정에서 결함이 검사된 상기 유리판을 곤포하는 곤포 공정을 더 갖고,
    상기 검사 공정과 상기 곤포 공정 사이의 제 3 반송로에서는, 상기 유리판을 접촉 반송하는 것을 특징으로 하는 유리판의 제조 방법.
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