KR102557957B1 - 필터 및 멀티플렉서 - Google Patents

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KR102557957B1
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장경진
토시히코 카와모토
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(주)와이솔
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Abstract

신호 배선과 그라운드 배선 사이의 결합 용량의 조정 폭의 확대에 의해 아이솔레이션 특성을 개선한다.
신호 배선(23)과 그라운드 배선(22)의 근접부(24)에서, 신호 배선(23)과 그라운드 배선(22)은 각각 2차 전극(40)이 1차 전극(30) 상에 적층되어 형성되고, 근접부(24)에는 신호 배선(23) 및 그라운드 배선(22)의 1차 전극(30) 상에 형성되어, 당해 1차 전극(30) 사이에 형성되는 간극(d1)을 덮고, 또한, 신호 배선(23) 및 그라운드 배선(22)의 2차 전극(40)에 의해 부분적으로 피복된 층간 절연막(50)을 설치함으로써, 신호 배선(23) 및 그라운드 배선(22)의 1차 전극(30)끼리의 간극을 작게 할 수 있도록 하였다.

Description

필터 및 멀티플렉서{Filter and multiplexer}
본 발명은 모바일 통신에 이용되는 송수신 신호를 분리하는 필터 및 이를 이용한 멀티플렉서에 관한 것이다.
종래부터, 모바일 통신에 이용되는 송수신 신호를 분리하는 SAW 필터 등으로 이루어지는 멀티플렉서로서 다양한 타입의 것이 제안되어 있다(예를 들어, 특허 문헌 1).
예를 들어, 듀플렉서(duplexer)는 송신 필터와 수신 필터가 하나의 안테나 단자를 공유하고, 송신되는 신호는 송신 필터를 통해서 안테나 단자에서 송신되고, 수신되는 신호는 안테나 단자에서 수신 필터를 통해서 수신되게 되어 있다. 이때, 송신 필터에서 송신되는 신호가 수신 필터를 통해서 수신되는 것을 차단(아이솔레이션)하기 위하여, 송신 필터와 수신 필터로서, 다른 투과 주파수대를 가지는 SAW 필터가 이용되고 있다.
SAW 필터는 빗살무늬(sinking comb) 패턴(IDT)의 빗살무늬 피치로 결정되는 투과 주파수대의 신호만을 투과하는 샤프 컷 필터(Sharp Cut Filter)이지만, 투과 주파수대 이외에서의 감쇠 특성이 충분하지 않은 경우가 있고, 또한, 이 감쇠 특성은 SAW 필터를 포함하는 회로의 인덕턴스(inductance)나 캐패시턴스(capacitance)에 의해 영향을 받는 경우가 있다.
이 감쇠 특성을 개선하여 아이솔레이션(isolation) 특성을 개선하기 위하여, SAW 필터를 포함하는 회로의 인덕턴스(L)와 캐패시턴스의 조정(L/C 조정)이 이루어지고 있다. 이 L/C 조정 방법의 하나로서, 신호 배선과 그라운드 배선의 간격이나 인접 길이를 조정함으로써, 신호 배선과 그라운드 배선 전극 사이의 결합 용량을 조정하는 방법이 이루어지고 있다.
국제 특허 공보 WO2014/167752A1
그러나, 신호 배선과 그라운드 배선은, 각각, 두꺼운 Cu층인 2차 전극을, 리프트 오프(Lift-Off) 공정 등에 의해 패터닝하여 형성하기 위하여, 그 최소 간격은, 예를 들어 10μm로 제한되어 있다. 아이솔레이션 특성을 개선하기 위하여 더욱 결합 용량의 확대가 필요한 경우, 이 2차 전극의 최소 간격이 장애가 되었던 적이 있었다.
본 발명은 상기 과제를 해결하는 것으로, 본 발명은 신호 배선과 그라운드 배선 사이의 결합 용량의 조정 폭의 확대에 의해 아이솔레이션 특성을 개선하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 해결하기 위하여, 본 발명의 필터는 압전 기판과, 상기 압전 기판 상에 형성되고, 복수의 탄성 표면파 공진기를 포함하는 래더형 필터로 이루어지는, 일단끼리 서로 접속된 제1 및 제2의 필터 회로를 가지는 필터로서,
상기 제1 및 제2의 필터 회로의 각각은,
상기 복수의 탄성 표면파 공진기를 형성하기 위한 1차 전극과,
상기 복수의 탄성 표면파 공진기의 일부를 그라운드 전위에 접속하는 그라운드 배선 및 당해 그라운드 배선 이외의 모든 신호 배선을 구성하는 2차 전극을 가지며,
상기 제1 및 제2의 필터 회로 사이에는 상기 제1 및 제2의 필터 회로의 일측의 신호 배선과 타측의 그라운드 배선이 서로 근접하는 근접부가 형성되고,
상기 근접부에서, 상기 신호 배선과 상기 그라운드 배선은 각각 상기 2차 전극이 상기 1차 전극 상에 적층되어 형성되고,
상기 근접부에는 상기 신호 배선 및 상기 그라운드 배선의 1차 전극 상에 형성되어, 당해 1차 전극 사이에 형성되는 간극을 덮고, 또한, 상기 신호 배선 및 상기 그라운드 배선의 2차 전극에 의해 부분적으로 피복된 층간 절연막이 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.
상기 1차 전극의 막의 두께는 상기 2차 전극의 막의 두께보다 작은 것이 바람직하다.
상기 근접부에 있어서의 상기 신호 배선의 1차 전극과 상기 그라운드 배선의 1차 전극 사이에 형성되는 간극은 상기 신호 배선의 2차 전극과 상기 그라운드 배선의 2차 전극 사이에 형성되는 간극보다 작은 구성을 바람직하게 채용할 수 있다.
상기 신호 배선 및 상기 그라운드 배선의 1차 전극은 상기 압전 기판의 표면에 따른 방향에서, 공기를 사이에 두고 대향하고 있으며,
상기 신호 배선 및 그라운드 배선의 2차 전극은 압전 기판의 표면에 따른 방향에서, 공기 및 층간 절연막을 사이에 두고 대향하고 있는 구성을 바람직하게 채용할 수 있다.
상기 근접부에서, 상기 신호 배선 및 상기 그라운드 배선의 일측의 2차 전극은 상기 압전 기판의 표면에 직교하는 방향에서, 당해 일측의 2차 전극의 일부가 상기 층간 절연막을 통해 상기 신호 배선 및 상기 그라운드 배선의 타측의 1차 전극에 마주보도록 형성되어 있을 수도 있다.
상기 근접부에 있어서의 상기 신호 배선의 2차 전극과 상기 그라운드 배선의 2차 전극 사이에 형성되는 간극은 상기 신호 배선 및 상기 그라운드 배선의 타측의 1차 전극 상에 상기 층간 절연막을 통해 형성되어 있을 수도 있다.
상기 신호 배선 및 그라운드 배선의 1차 전극은 상기 압전 기판의 표면에 따른 방향에서, 공기를 사이에 두고 대향하고 있으며,
상기 신호 배선 및 그라운드 배선의 2차 전극은 상기 압전 기판의 표면에 따른 방향에서, 공기 및 상기 층간 절연막을 사이에 두고 대향하고 있으며,
상기 신호 배선 및 그라운드 배선의 일측의 2차 전극은 상기 압전 기판의 표면에 직교하는 방향에서, 상기 신호 배선 및 그라운드 배선의 타측의 1차 전극과 대향하고 있는 구성을 바람직하게 채용할 수 있다.
본 발명의 멀티플렉서는 상기 어느 하나에 기재된 필터를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 멀티플렉서에 있어서, 상기 제1 및 제2의 필터 회로의 일측이 송신 필터 회로이며, 상기 제1 및 제2의 필터 회로의 타측이 수신 필터 회로인 구성을 바람직하게 채용할 수 있다.
본 발명에 의하면, 신호 배선과 그라운드 배선의 근접부에서, 신호 배선과 그라운드 배선은 각각 2차 전극이 1차 전극 상에 적층되어 형성되고, 근접부에는 신호 배선 및 그라운드 배선의 1차 전극 상에 형성되어, 당해 1차 전극 사이에 형성되는 간극을 덮고, 또한, 신호 배선 및 그라운드 배선의 2차 전극에 의해 부분적으로 피복된 층간 절연막을 설치하였으므로, 신호 배선 및 그라운드 배선의 1차 전극끼리의 간극을 작게 할 수 있다. 이에 따라 결합 용량을 확대하여, 감쇠 특성과 아이솔레이션 특성을 개선할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1의 실시 형태에 따른 필터(듀플렉서)의 회로 구성을 모식적으로 나타내는 회로도이다.
도 2는 도 1의 필터를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
도 3은 도 2의 A부를 확대한 평면도이다.
도 4는 도 2의 A부의 단면 구조를 모식적으로 나타내는 단면도이다.
도 5는 도 4의 구조가 형성하는 결합 용량의 등가 회로를 나타내는 도면이다.
도 6은 제1의 실시 형태의 필터의 아이솔레이션 특성을 나타내는 도면이다.
도 7은 본 발명의 제2의 실시 형태에 따른 필터(듀플렉서)의 배선 근접부를 확대한 평면도이다.
도 8은 도 7의 배선 근접부의 단면 구조를 모식적으로 나타내는 단면도이다.
도 9는 도 8의 구조가 형성하는 결합 용량의 등가 회로를 나타내는 도면이다.
도 10은 제2의 실시 형태의 필터의 아이솔레이션 특성을 나타내는 도면이다.
도 11은 종래의 필터(듀플렉서)의 배선 근접부를 확대한 평면도이다.
도 12는 도 11의 배선 근접부의 단면 구조를 모식적으로 나타내는 단면도이다.
도 13은 도 12의 구조가 형성하는 결합 용량의 등가 회로를 나타내는 도면이다.
(제1의 실시 형태)
이하, 본 발명의 실시 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 도 1은 본 발명의 제1의 실시 형태에 따른 필터(듀플렉서)의 회로 구성을 모식적으로 나타내는 회로도이고, 도 2는 그 필터를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
본 실시 형태의 필터(100)는 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 압전 기판(10)과, 제1 및 제2의 필터 회로(20a, 20b)를 포함하는 듀플렉서이다.
압전 기판(10)은 압전 재료로 이루어지는 기판으로, 본 실시 형태에서는, LN 기판을 사용하고 있다. 다만, 이에 한정되지 않고, 수정이나 LiTaO3, LiNbO3 등으로 이루어지는 기판을 이용할 수도 있다.
제1 및 제2의 필터 회로(20a, 20b)는 압전 기판(10) 상에 형성되고, 복수의 탄성 표면파 공진기(21;21a~21i)를 포함하는 래더형 필터로 이루어지고, 일단끼리 서로 접속되어 있다. 본 실시 형태에서는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 제1 및 제2의 필터 회로(20a, 20b)는 각각 송신 필터 회로(송신 필터 회로(20a) 라고도 함)와 수신 필터 회로(수신 필터 회로(20b)라고도 함)이며, 송신 필터 회로(20a)의 출력 단자와 수신 필터 회로(20b)의 입력 단자가 접속되어, 안테나 단자(ANT)를 구성하고 있다.
송신 필터 회로(20a)는 래더형의 회로 구성을 가지며, 송신 단자(TX)와 안테나 단자(ANT)를 연결하는 신호 배선(23)과, 이에 따라 직렬로 접속된 탄성 표면파 공진기(이하, 단순히 "공진기"라고도 함)(21a~21c)와, 신호 배선(23)과 그라운드 전위 사이에 병렬로 배치된 공진기(21d, 21e)와, 이들 공진기(21d, 21e)를 그라운드 단자(G)에 접속하는 그라운드 배선(22)을 포함한다.
수신 필터 회로(20b)도 래더형의 회로 구성을 가지며, 수신 단자(RX)와 안테나 단자(ANT)를 연결하는 신호 배선(23)을 따라 직렬로 접속된 공진기(21f, 21g)와, 신호 배선과 그라운드 전위 사이에 병렬로 배치된 공진기(21h, 21i)와, 이들 공진기(21h, 21i)를 그라운드 단자(G)에 접속하는 그라운드 배선(22)을 포함한다.
이들 구성요소 중, 공진기(21a~21i)는 압전 기판(10) 상에, 예를 들어 Cu로 이루어지는 박막의 1차 전극(30)으로 형성되고, 한편, 신호 배선(23), 그라운드 배선(22), 그라운드 단자(G), 안테나 단자(ANT), 송신 단자(TX), 및 수신 단자(RX)는, 예를 들어 Al로 이루어지는 두꺼운 2차 전극(40)으로 형성되어 있다. 1차 전극(30)은 2차 전극(40)과의 접속부를 제외하여 층간 절연막(50)(도 4 참조)으로 피복되어 있으며, 2차 전극(40)은 장소에 따라, 압전 기판(10) 상에 직접 형성되고, 또는 1차 전극(30) 혹은 층간 절연막(50) 상에 적층되어 있다.
여기서, 송신 필터 회로(20a)와 수신 필터 회로(20b) 사이에, 일측의 신호 배선(23)과 타측의 그라운드 배선(22)이 서로 근접하는 근접부(24)가 형성되어 있다.
본 실시 형태에서는, 도 1 및 도 2의 A부가 근접부(24)이고, 송신 필터 회로(20a)의 공진기(21b, 21c, 21e)를 T자형으로 연결하는 신호 배선((23a(23))과, 수신 필터 회로(20b)의 공진기(21i)와 그라운드 단자(G)를 연결하는 그라운드 배선((22b(22))이 근접하여 있다.
도 3은 이 근접부(24)를 확대한 평면도이다.
압전 기판(10) 상에, 송신 필터 회로(20a)의 공진기(21e)와 수신 필터 회로(20b)의 공진기(21i)가 대향 배치되고, 이들 공진기(21e, 21i)에서 각각 게시한 파선으로 나타내는 신호 배선(23) 및 그라운드 배선(22)의 1차 전극(30)이 작은 간극(d1)을 사이에 두고 대향하고 있다. 이들 1차 전극(30) 위에, 일부 실선 일부 파선으로 나타낸 층간 절연막(50)이 배치되고, 상기 간극(d1)과 그 양측 부분을 덮고 있다. 또한, 이들 상에, 공진기(21e, 21i)로 접속되는 신호 배선(23) 및 그라운드 배선(22)의 2차 전극(40)이 배치되고, 간극(d2)을 사이에 두고 대향하고 있다. 평면에서 보아, 간극(d2)은 간극(d1)을 범위 내에 포함하고 있다.
도 4는 근접부(24)의 단면 구조를 모식적으로 나타내는 단면도이다. 근접부(24)에서, 송신 필터 회로(20a)의 신호 배선(23)과 수신 필터 회로(20b)의 그라운드 배선(22)은 각각 2차 전극(40)이 1차 전극(30) 상에 적층되어 형성되어 있다.
여기서, 신호 배선(23) 및 상기 그라운드 배선(22)의 1차 전극(30, 30)은 소정의 간극(d1)을 두고 대향 배치되어 있지만, 이 간극(d1)과 그 양측 부분의 1차 전극(30, 30)을 덮도록 층간 절연막(50)이 설치되어 있다. 이 층간 절연막(50)의 상측은 서로 근접하는 신호 배선(23) 및 그라운드 배선(22)의 2차 전극(40)에 의해 부분적으로 피복되어 있다.
이러한 본 실시 형태의 구성은 이하의 장점을 가진다.
1차 전극(30)은 박막으로, 2차 전극(40)이나 층간 절연막(50)으로 피복되어 보호될 필요가 있기 때문에, 1차 전극(30)의 상에 2차 전극(40)이 직접 적층된 종래의 배선에서는, 1차 전극(30)이 2차 전극(40)에서 벗어나 서로 근접할 수는 없었다.
본 실시 형태에서는, 근접부(24)에서, 1차 전극(30)과 2차 전극(40) 사이에 1차 전극(30)을 보호하는 층간 절연막(50)을 설치하였으므로, 1차 전극(30)은 2차 전극(40)에서 벗어나 서로 근접할 수 있다. 1차 전극(30)은 박막이기 때문에, 포토리소그래피 등에 의한 미세한 가공이 가능하여, 1차 전극(30)끼리의 간극은 2차 전극(40)끼리의 간격보다 작게 할 수 있다.
따라서, 종래 구조(도 11, 도 12 참조)과 비교하여, 2차 전극(40)끼리의 간극(d2)은 바꿀 수 없어도, 1차 전극(30)끼리의 간극(d1)을 보다 작게 할 수 있다.
본 실시 형태의 근접부(24)의 결합 용량을, 종래 구조의 결합 용량과 비교하여 검토한다.
우선, 종래 구조의 근접부(24)(도 11, 도 12 참조)에서는, 압전 기판(10)의 표면에 따른 방향에서, 2차 전극(40)의 공기를 사이에 두고 서로 마주보는 단면(41)에 의해, 하나의 용량이 형성되어 있다고 생각된다. 따라서, 등가 회로는, 도 13에 나타낸 바와 같이 되고, 이로 인해 생기는 결합 용량(C0)은 하기 식(1)로 표시된다.
C0=ε0·S0/d0…(1)
여기서, ε0은 공기의 유전율, S0은 신호 배선과 그라운드 배선의 2차 전극(40)끼리의 마주보는 단면(41)의 면적, d0은 단면(41)간의 간극이다.
한편, 본 실시 형태의 근접부(24)(도 3, 도 4 참조)에서는, 압전 기판(10)의 표면에 따른 방향에서, 1차 전극(30)의 공기를 사이에 두고 서로 마주보는 단면(31)에 의해 형성되는 용량(C1)과, 2차 전극(40)의 공기를 사이에 두고 서로 마주보는 단면(42)에 의해 형성되는 용량(C2)과, 2차 전극(40)의 층간 절연막(50)을 통해 서로 마주보는 단면(43)에 의해 형성되는 용량(C3)이 형성되고, 등가 회로는, 도 5에 나타낸 바와 같이 된다. 각각의 용량(C1~C3)은 하기 식(2)~(4)로 표시된다.
C1=ε0·S1/d1…(2)
C2=ε0·S2/d2…(3)
C3=ε1·S3/d3…(4)
여기서, ε0은 공기의 유전율, S1은 1차 전극(30)의 서로 마주보는 단면(31)의 면적, d1은 단면(31)간의 간극, S2는 2차 전극(40)의 공기를 사이에 두고 서로 마주보는 단면(42)의 면적, d2는 단면(42)간의 간극, ε1은 층간 절연막(50)의 유전율, S3은 2차 전극(40)의 층간 절연막(50)을 통해 서로 마주보는 단면(43)의 면적, d3은 단면(43)간의 간극이다.
이 중, C3은 작다고 생각되고, 또한, C2는 C0에 가깝다고 생각된다. 따라서, 본 실시 형태에 있어서의 근접부(24)의 결합 용량(C1+C2+C3)은 종래의 결합 용량(C0)에 비해 거의 C1(1차 전극(30)끼리 사이에 형성되는 용량)분 크다고 생각된다.
다음에, 이렇게 구성된 본 실시 형태의 필터(100)의 특성에 대하여 설명한다.
도 6은 필터(듀플렉서)(100)의 아이솔레이션 특성의 일례를 나타내는 도면이다.
도 6에서, 실선의 곡선은 본 실시 형태의 필터(100)의 아이솔레이션 특성(송신 단자(TX)에서 수신 단자(RX)로 통과하는 신호의 감쇠율)를 나타내고, 파선의 곡선은 종래의 필터의 아이솔레이션 특성을 나타낸다. 이 종래의 필터는 도 11, 12에 나타내는 근접부(24)의 구조를 가지며, 그 외의 구성은 필터(100)와 동일하다.
도 6에서 알 수 있듯이, 본 실시 형태의 필터(100)에서는, 종래의 필터에 비해, 1850-1910MHz 영역에서 1dB~3dB 아이솔레이션 특성이 개선되고, 1930-1990MHz 영역에서도 1dB~3dB 아이솔레이션 특성이 개선된다.
또한, 본 실시 형태에서는, 송신 필터 회로(20a)의 신호 배선(23)과 수신 필터 회로(20b)의 그라운드 배선(22) 사이에 근접부(24)를 설치하여, 결합 용량(C)을 형성하였다. 그러나, 이에 한정되지 않고, 송신 필터 회로(20a)의 신호 배선(23)과 송신 필터 회로(20a)의 그라운드 배선(22) 사이에 근접부(24)를 설치하여, 결합 용량(C)을 형성할 수도 있다.
또한, 본 실시 형태에서는, 대향 배치된 2개의 공진기(21) 사이에 근접부(24)를 설치하였지만, 이 형태에 한정되지 않고, 상기 제1 및 제2의 필터 회로(20a, 20b)의 일측의 신호 배선(23)과 타측의 그라운드 배선(22)이 서로 근접하는 곳이라면, 어느 곳이라도 근접부(24)를 설치할 수 있다.
(제2의 실시 형태)
제2의 실시 형태는, 근접부(24)에서, 신호 배선(23) 및 그라운드 배선(22)의 일측의 2차 전극(40)은 압전 기판(10)의 표면에 직교하는 방향에서, 당해 일측의 2차 전극(40)의 일부가 층간 절연막(50)을 통해 신호 배선(23) 및 그라운드 배선(22)의 타측의 1차 전극(30)에 마주보도록 형성되어 있는 형태이다.
이 형태에서는, 근접부(24)에 있어서의 신호 배선(23)의 2차 전극(40)과 그라운드 배선(22)의 2차 전극(40) 사이에 형성되는 간극은 신호 배선(23) 및 그라운드 배선(22)의 타측의 1차 전극(30) 상에 층간 절연막(50)을 통해 형성되어 있다.
도 7은 본 실시 형태의 필터(듀플렉서)(200)의 근접부(24)를 확대한 평면도이고, 도 8은 근접부(24)의 단면 구조를 모식적으로 나타내는 단면도이다. 또한, 필터(200)의 근접부(24) 이외의 구성은 제1의 실시 형태의 필터(100)와 동일하므로, 그 설명은 생략한다.
도 7, 도 8의 구조는, 도 3, 도 4에 나타내는 제1의 실시 형태의 구조와 동일하지만, 송신 필터 회로(20a)의 신호 배선(23)의 2차 전극(40)이 수신 필터 회로(20b)의 그라운드 배선(22)의 1차 전극(30)의 범위까지 밀어내고, 압전 기판(10)의 표면에 직교하는 방향에서 층간 절연막(50)을 통해 상기 1차 전극(30)에 대향하고 있다. 그 결과, 송신 필터 회로(20a)의 신호 배선(23)과 수신 필터 회로(20b)의 그라운드 배선(22)의 2차 전극(40)끼리의 간극(d2)은 층간 절연막(50)을 사이에 두고 수신 필터 회로(20b)의 그라운드 배선(22)의 1차 전극(30)의 범위 내에 형성되어 있다.
본 실시 형태의 근접부(24)의 결합 용량을, 종래 구조의 결합 용량과 비교하여 검토한다.
본 실시 형태의 근접부(24)(도 7, 도 8 참조)에서는, 제1의 실시 형태의 구성(도 3, 도 4 참조)으로 형성되는 3개의 용량(C1~C3)에 더하여, 송신 필터 회로(20a)의 신호 배선(23)의 2차 전극(40)이 층간 절연막(50)을 통해 수신 필터 회로(20b)의 그라운드 배선(22)의 1차 전극(30)에, 압전 기판(10)의 표면에 직교하는 방향에서 마주봄으로써 형성되는 용량(C4)이 형성된다고 생각된다. 따라서, 등가 회로는, 도 9에 나타낸 바와 같이 된다고 생각된다. 결합 용량(C4)은 하기 식(5)로 표시된다.
C4=ε1·S4/d4…(5)
여기서, ε1은 층간 절연막의 유전율, S4는 송신 필터 회로(20a)의 신호 배선(23)의 2차 전극(40)이, 수신 필터 회로(20b)의 그라운드 배선(22)의 1차 전극(30)과 마주보는 면적, d4는 층간 절연막(50)의 두께이다.
따라서, 본 실시 형태의 결합 용량은 C1+C2+C3+C4가 되고, 제1의 실시 형태의 결합 용량(C1+C2+C3)보다 거의 결합 용량(C4)분 크다고 생각된다.
다음에, 이렇게 구성된 본 실시 형태의 필터(200)의 특성에 대하여 설명한다.
도 10은 제2의 실시 형태의 필터의 아이솔레이션 특성을 나타내는 도면이다.
도 10에서 알 수 있듯이, 본 실시 형태의 필터(100)에서는, 종래의 필터에 비해, 1850-1910MHz 영역에서 1dB~3dB 아이솔레이션 특성이 개선되고, 1930-1990MHz 영역에서도 1dB~3dB 아이솔레이션 특성이 개선된다.
또한, 본 발명은 상술한 실시예에 한정되지 않는다. 당업자라면, 본 발명의 범위 내에서, 다양한 추가나 변경 등을 수행할 수 있다.
예를 들어, 상기 각 실시 형태에서는, 본 발명의 필터를, 송신 필터 회로와 수신 필터 회로를 가지는 듀플렉서에 적용한 예에 대하여 설명하였지만, 이에 한정되지 않고, 3 이상의 다른 필터 회로를 가지는 멀티플렉서에 적용할 수도 있다.
10 : 압전 기판
20a : 송신 필터 회로(제1의 필터 회로)
20b : 수신 필터 회로(제2의 필터 회로)
21 : 탄성 표면파 공진기
21a~21i : 탄성 표면파 공진기(공진기)
22, 22b : 그라운드 배선
23, 23a : 신호 배선
24 : 근접부
30 : 1차 전극
40 : 2차 전극
31, 41, 42, 43 : 단면
50 : 층간 절연막
100, 200 : 필터(듀플렉서)
C1~C4 : 용량(결합 용량)
d1, d2 : 간극
ANT : 안테나 단자
G : 그라운드 단자
TX : 송신 단자
RX : 수신 단자

Claims (9)

  1. 압전 기판과,
    상기 압전 기판 상에 형성되고, 복수의 탄성 표면파 공진기를 포함하는 래더형 필터로 이루어지는, 일단끼리 서로 접속된 제1 및 제2의 필터 회로를 가지는 필터로서,
    상기 제1 및 제2의 필터 회로의 각각은,
    상기 복수의 탄성 표면파 공진기를 형성하기 위한 1차 전극과,
    상기 복수의 탄성 표면파 공진기의 일부를 그라운드 전위에 접속하는 그라운드 배선 및 당해 그라운드 배선 이외의 모든 신호 배선을 구성하는 2차 전극을 가지며,
    상기 제1 및 제2의 필터 회로 사이에는 상기 제1 및 제2의 필터 회로의 일측의 신호 배선과 타측의 그라운드 배선이 서로 근접하는 근접부가 형성되고,
    상기 근접부에서, 상기 신호 배선과 상기 그라운드 배선은 각각 상기 2차 전극이 상기 1차 전극 상에 적층되어 형성되고,
    상기 근접부에는 상기 신호 배선 및 상기 그라운드 배선의 1차 전극 상에 형성되어, 당해 1차 전극 사이에 형성되는 간극을 덮고, 또한, 상기 신호 배선 및 상기 그라운드 배선의 2차 전극에 의해 부분적으로 피복된 층간 절연막이 설치되어 있고,
    상기 신호 배선 및 상기 그라운드 배선의 1차 전극은 상기 압전 기판의 표면에 따른 방향에서, 공기를 사이에 두고 대향하고 있으며,
    상기 신호 배선 및 그라운드 배선의 2차 전극은 압전 기판의 표면에 따른 방향에서, 공기 및 층간 절연막을 사이에 두고 대향하고 있는, 필터.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 1차 전극의 막의 두께는 상기 2차 전극의 막의 두께보다 작은, 필터.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 근접부에 있어서의 상기 신호 배선의 1차 전극과 상기 그라운드 배선의 1차 전극 사이에 형성되는 간극은 상기 신호 배선의 2차 전극과 상기 그라운드 배선의 2차 전극 사이에 형성되는 간극보다 작은, 필터.
  4. 삭제
  5. 제3항에 있어서,
    상기 근접부에서, 상기 신호 배선 및 상기 그라운드 배선의 일측의 2차 전극은 상기 압전 기판의 표면에 직교하는 방향에서, 당해 일측의 2차 전극의 일부가 상기 층간 절연막을 통해 상기 신호 배선 및 상기 그라운드 배선의 타측의 1차 전극에 마주보도록 형성되어 있는, 필터.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 근접부에 있어서의 상기 신호 배선의 2차 전극과 상기 그라운드 배선의 2차 전극 사이에 형성되는 간극은 상기 신호 배선 및 상기 그라운드 배선의 타측의 1차 전극 상에 상기 층간 절연막을 통해 형성되는, 필터.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 신호 배선 및 그라운드 배선의 1차 전극은 상기 압전 기판의 표면에 따른 방향에서, 공기를 사이에 두고 대향하고 있으며,
    상기 신호 배선 및 그라운드 배선의 2차 전극은 상기 압전 기판의 표면에 따른 방향에서, 공기 및 상기 층간 절연막을 사이에 두고 대향하고 있으며,
    상기 신호 배선 및 그라운드 배선의 일측의 2차 전극은 상기 압전 기판의 표면에 직교하는 방향에서, 상기 신호 배선 및 그라운드 배선의 타측의 1차 전극과 대향하고 있는, 필터.
  8. 제1항, 제2항, 제3항, 제5항, 제6항, 및 제7항 중의 어느 한 항의 필터를 포함하는, 멀티플렉서.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 제1 및 제2의 필터 회로의 일측이 송신 필터 회로이고,
    상기 제1 및 제2의 필터 회로의 타측이 수신 필터 회로인, 멀티플렉서.
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