KR102499992B1 - 지지 장치 - Google Patents

Abstract

[과제] 물체의 위치 및 자세의 조정을 가능하게 하면서 해당 물체를 높은 강성으로 지지한다.
[해결 수단] 물체를 지지한다는 것은, 상기 물체의 서로 다른 개소를 각각 지지하는 3개의 지지 기구를 구비하고, 상기 3개의 지지 기구의 각각은, 조정 기구와, 상기 조정 기구에 의해 지지되는 응력 흡수 기구를 포함하고, 상기 조정 기구는, 고정 부재와, 상기 고정 부재에 의해 지지된 가동 부재를 포함하고, 상기 응력 흡수 기구는, 상기 물체를 지지하는 지지 부재와, 제1 방향에 평행한 제1 축의 둘레의 회전, 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향, 상기 제2 방향에 평행한 제2 축의 둘레의 회전, 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 직교하는 제3 방향에 평행한 제3 축의 둘레의 회전에 관하여 자유도를 갖고, 상기 제1 방향 및 상기 제3 방향에 관해서는 자유도를 갖지 않도록 상기 가동 부재와 상기 지지 부재를 결합하는 결합 부재를 포함하고, 상기 가동 부재는, 상기 제1 방향으로 자유도를 갖는 한편, 적어도 상기 제3 방향으로 자유도를 갖지 않도록 상기 고정 부재에 의해 지지되고, 상기 3개의 지지 기구는, 상기 3개의 지지 기구가 각각 배치된 위치를 정점으로 하는 삼각형의 외접원의 내측으로 각각의 상기 제2 방향이 향하도록 배치된다.

Description

지지 장치 {SUPPORT APPARATUS}

본 발명은, 물체를 지지하는 지지 장치에 관한 것이다.

물체를 변형시키지 않고, 물체의 표면의 법선 방향과 그것에 직교하는 2방향에 각각 평행한 2축의 둘레의 회전에 관하여 물체의 위치 및 자세를 조정 가능하고, 높은 강성을 갖는 지지 장치가 요구되고 있다. 특허문헌 1에는, 3개의 압전 액추에이터를 사용하여 θZ 스테이지 상에 메인 스테이지를 보유 지지하는 정밀 스테이지 장치가 기재되어 있다. 각 압전 액추에이터는, 적층 압전 소자와, 적층 압전 소자에 의해 구동되는 구면 힌지를 가지며, 구면 힌지가 메인 스테이지에 결합되어 있다. 구면 힌지는, 적층 압전 소자의 구동 방향에 관해서는 높은 강성을 갖고, 다른 방향에 관해서는 약한 탄성을 갖는다.

일본 특허 제2780817호 공보

특허문헌 1에 기재된 정밀 스테이지 장치에서는, 메인 스테이지가 기울 때, 메인 스테이지로부터 구면 힌지에 대해서 XY 평면 방향의 힘이 작용한다. 이때, 구면 힌지는, 용이하게 XY 평면 방향으로 탄성 변형하므로, 메인 스테이지 자체에 과대한 변형 응력이 발생하는 경우가 없다. 그러나, 구면 힌지는, 적층 압전 소자의 구동 방향 이외의 방향(XY 평면 방향)에 대해서는 강성이 작으므로, 메인 스테이지를 높은 강성으로 지지할 수 없다.

본 발명은, 물체의 위치 및 자세의 조정을 가능하게 하면서 해당 물체를 높은 강성으로 지지하기 위해서 유리한 기술을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 하나의 측면은, 물체를 지지하는 지지 장치에 관련되며, 상기 지지 장치는, 상기 물체의 서로 다른 개소를 각각 지지하는 3개의 지지 기구를 구비하고, 상기 3개의 지지 기구의 각각은, 조정 기구와, 상기 조정 기구에 의해 지지되는 응력 흡수 기구를 포함하고, 상기 조정 기구는, 고정 부재와, 상기 고정 부재에 의해 지지된 가동 부재를 포함하고, 상기 응력 흡수 기구는, 상기 물체를 지지하는 지지 부재와, 제1 방향에 평행한 제1 축의 둘레의 회전, 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향, 상기 제2 방향에 평행한 제2 축의 둘레의 회전, 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 직교하는 제3 방향에 평행한 제3 축의 둘레의 회전에 관하여 자유도를 갖고, 상기 제1 방향 및 상기 제3 방향에 관해서는 자유도를 갖지 않도록 상기 가동 부재와 상기 지지 부재를 결합하는 결합 부재를 포함하고, 상기 가동 부재는, 상기 제1 방향으로 자유도를 갖는 한편, 적어도 상기 제3 방향으로 자유도를 갖지 않도록 상기 고정 부재에 의해 지지되고, 상기 3개의 지지 기구는, 상기 3개의 지지 기구가 각각 배치된 위치를 정점으로 하는 삼각형의 외접원의 내측으로 각각의 상기 제2 방향이 향하도록 배치되어 있다.

본 발명에 따르면, 물체의 위치 및 자세의 조정을 가능하게 하면서 해당 물체를 높은 강성으로 지지하기 위해서 유리한 기술이 제공된다.

도 1은, 본 발명의 하나의 실시 형태의 지지 장치의 구성을 나타내는 도면이다.
도 2는, 본 발명의 하나의 실시 형태의 지지 장치에 있어서의 하나의 지지 기구의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 3은, 본 발명의 하나의 실시 형태의 지지 장치에 있어서의 하나의 지지 기구의 구성을 나타내는 단면도이다.
도 4는, 지지 장치에 있어서의 3개의 지지 기구의 배치의 하나의 예를 나타내는 도면이다.
도 5는, 지지 장치에 있어서의 3개의 지지 기구의 배치의 다른 예를 나타내는 도면이다.
도 6은, 지지 기구에 있어서의 조정 기구의 변형예를 나타내는 도면이다.
도 7은, 지지 기구에 있어서의 응력 흡수 기구의 변형예를 나타내는 도면이다.
도 8은, 지지 기구에 있어서의 응력 흡수 기구의 다른 변형예를 나타내는 도면이다.

이하, 첨부 도면을 참조하면서 본 발명을 그 예시적인 실시 형태를 통해 설명한다.

도 1에는, 본 발명의 하나의 실시 형태의 지지 장치(10)의 구성이 나타나 있다. 지지 장치(10)는, 물체(12)를 지지한다. 물체(12)는, 예를 들어 스테이지 또는 척 등의 부재 또는 구조물이어도 되고, 미러 등의 광학 부품이어도 되지만, 이들에 한정되는 것은 아니다. 지지 장치(10)는, 물체(12)의 위치 및 자세를 조정 가능하게 구성될 수 있다. 예를 들어, 지지 장치(10)는, 물체(12)의 표면의 법선 방향에 있어서의 물체(12)의 위치와, 해당 법선 방향에 직교하는 두 방향에 각각 평행한 두 축의 둘레에 있어서의 물체(12)의 자세(기울기)의 3 자유도를 조정 가능하게 구성될 수 있다. 혹은, 지지 장치(10)는, 지지 장치(10)가 설치된 구조체의 표면의 법선 방향에 있어서의 물체(12)의 위치와, 해당 법선 방향에 직교하는 두 방향에 각각 평행한 두 축의 둘레에 있어서의 물체(12)의 자세(기울기)의 3 자유도를 조정 가능하게 구성될 수 있다.

지지 장치(10)는, 물체(12)의 서로 다른 개소를 각각 지지하는 3개의 지지 기구(11)를 구비할 수 있다. 지지 장치(10)는, 추가의 1 이상의 지지 기구(11)를 구비해도 된다. 환언하면, 지지 장치(10)는, 물체(12)의 서로 다른 개소를 각각 지지하는 4 이상의 지지 기구(11)를 구비해도 된다. 일례에 있어서, 지지 장치(10)는, 물체(12)의 서로 다른 개소에 각각 고정된 3개의 결합부(13) 각각을 3개의 지지 기구(11) 중 대응하는 지지 기구(11)가 지지하도록 구성될 수 있다.

도 2에는, 하나의 지지 기구(11)의 구성이 예시되어 있다. 도 3에는, 도 2에 나타난 지지 기구(11)의 단면의 구성이 예시되어 있다. 여기서, 본 명세서 및 도면에서는, 방향을 표현하는 용어로서, 서로 직교하는 방향을 나타내는 제1 방향, 제2 방향, 제3 방향이라는 용어가 사용된다. 제1 방향은, 물체(12)의 표면의 법선 방향 또는, 지지 장치(10)가 설치된 구조체의 표면의 법선 방향일 수 있다. 제1 방향은, 복수의 지지 기구(11)에 있어서 공통되는 방향을 나타내는 용어로서 사용되지만, 제2 방향 및 제3 방향은, 개개의 지지 기구(11)에 있어서의 방향을 나타내는 용어로서 사용된다. 예를 들어, 어떤 지지 기구(11)에 있어서의 제2 방향 및 제3 방향은, 다른 지지 기구(11)에 있어서의 제2 방향 및 제3 방향과는 각각 상이할 수 있다.

각 지지 기구(11)는, 조정 기구(111)와, 조정 기구(111)에 의해 지지되는 응력 흡수 기구(112)를 포함할 수 있다. 응력 흡수 기구(112)는, 결합부(13)를 개재하여 물체(12)를 지지한다. 조정 기구(111)는, 고정 부재(1113)와, 가동 부재(1112)를 포함한다. 도 2의 예에서는, 고정 부재(1113)는, 지지 장치(10)를 설치해야 할 바닥, 하우징, 다이 등의 구조체에 고정될 수 있다. 가동 부재(1112)는, 제1 방향으로만 자유도를 갖도록 고정 부재(1113)에 의해 지지될 수 있다. 조정 기구(111)는, 가동 부재(1112)가 제1 방향으로만 자유도를 갖도록 고정 부재(1113)와 가동 부재(1112)를 결합하는 제1 탄성 부재(1111)를 포함할 수 있다. 제1 방향에 있어서의 가동 부재(1112)의 변위는, 화살표 AR1에 의해 나타나 있다. 제1 탄성 부재(1111)는, 일례에 있어서, 복수의 판 스프링으로 구성되는 평행 링크 구조를 가질 수 있다. 도 2의 예에서는, 제1 탄성 부재(1111)는, 4장의 판 스프링으로 구성되는 평행 링크 구조를 갖는다. 제1 탄성 부재(1111)가 평행 링크 구조를 가짐으로써, 가동 부재(1112)는, 제1 방향으로만 자유도를 갖는다. 즉, 가동 부재(1112)는, 제1 방향 이외의 방향 및 회전에 관해서는, 높은 강성을 갖는다(자유도를 갖지 않음). 단, 후술하는 바와 같이, 가동 부재(1112)는, 제1 방향으로 자유도를 갖는 한편, 적어도 제3 방향으로 자유도를 갖지 않도록 고정 부재(1113)에 의해 지지되어도 된다.

가동 부재(1112)를 제1 방향으로 변위시키는 구성, 환언하면, 제1 방향에 있어서의 가동 부재(1112)의 위치를 조정하기 위한 구성으로서, 나사 기구를 채용할 수 있다. 도 3의 예에서는, 수나사를 갖는 볼트(114)가, 암나사를 갖는 고정 부재(1113)에 고정되어 있다. 볼트(114)의 선단은, 가동 부재(1112)에 맞닿아 있다. 볼트(114)를 회전시킴으로써, 제1 방향에 있어서의 가동 부재(1112)의 위치가 조정될 수 있다. 나사 기구 대신에, 제1 방향에 있어서의 가동 부재(1112)의 위치를 조정하기 위한 구성으로서, 고정 부재(1113)와 가동 부재(1112)의 거리를 조정할 수 있도록, 모터 또는 압전 소자 등의 액추에이터가 마련되어도 된다.

응력 흡수 기구(112)는, 조정 기구(111)의 가동 부재(1112)에 결합된 기초 부재(1125)와, 물체(12)를 지지하는 지지 부재(1124)와, 기초 부재(1125)와 지지 부재(1124)를 결합하는 결합 부재(1120)를 포함할 수 있다. 이 예에서는, 기초 부재(1125)를 개재하여 가동 부재(1112)와 지지 부재(1124)가 결합 부재(1120)에 의해 결합되어 있다. 이 대신에, 기초 부재(1125)를 마련하지 않고, 조정 기구(111)의 가동 부재(1112)와 지지 부재(1124)를 결합 부재(1120)에 의해 직접 결합해도 된다. 결합 부재(1120)는, 제1 방향에 평행한 제1 축의 둘레의 회전, 제2 방향, 제2 방향에 평행한 제2 축의 둘레의 회전, 제3 방향에 평행한 제3 축의 둘레의 회전에 관하여 자유도를 갖도록 가동 부재(1112)(기초 부재(1125))와 지지 부재(1124)를 결합한다. 또한. 결합 부재(1120)는, 제1 방향 및 제3 방향에 관해서는 자유도를 갖지 않도록 가동 부재(1112)(기초 부재(1125))와 지지 부재(1124)를 결합한다.

제1 방향에 평행한 제1 축의 둘레에 있어서의 지지 부재(1124)의 회전은, 화살표 AR4에 의해 나타나 있다. 제2 방향에 있어서의 지지 부재(1124)의 변위는, 화살표 AR5에 의해 나타나 있다. 제2 방향에 평행한 제2 축의 둘레에 있어서의 지지 부재(1124)의 회전은, 화살표 AR2에 의해 나타나 있다. 제3 방향에 평행한 제3 축의 둘레에 있어서의 지지 부재(1124)의 회전은, 화살표 AR3에 의해 나타나 있다.

결합 부재(1120)는, 제2 탄성 부재(1121), 제3 탄성 부재(1122) 및 제4 탄성 부재(1123)를 포함할 수 있다. 제1 탄성 부재(1121)는, 지지 부재(1124)에 대해서 제2 방향에 평행한 제2 축의 둘레의 회전(AR2)의 자유도를 부여하도록, 기초 부재(1125)와 지지 부재(1124)를 결합한다. 제3 탄성 부재(1122)는, 지지 부재(1124)에 대해서 제3 방향에 평행한 제3 축의 둘레의 회전(AR3)의 자유도를 부여하도록, 기초 부재(1125)와 지지 부재(1124)를 결합한다. 제4 탄성 부재(1123)는, 지지 부재(1124)에 대해서 제2 방향의 변위(AR5)의 자유도를 부여하도록, 기초 부재(1125)와 지지 부재(1124)를 결합한다. 제2 탄성 부재(1121) 및 제3 탄성 부재(1122) 중 적어도 한쪽은, 지지 부재(1124)에 대해서 제1 방향에 평행한 제1 축의 둘레의 회전(AR4)의 자유도를 부여하도록 기초 부재(1125)와 지지 부재(1124)를 결합할 수 있다. 제2 탄성 부재(1121), 제3 탄성 부재(1122) 및 제4 탄성 부재(1123)는, 지지 부재(1124)와 기초 부재(1125)의 사이에 직렬로 접속되어 있다.

도 2의 예에 있어서, 제2 탄성 부재(1121)는, 화살표 AR2의 방향으로의 가요성을 갖는 판 스프링으로 구성되어, 지지 부재(1124)가 화살표 AR2의 방향으로 회전하는 것을 가능하게 한다. 또한, 도 2의 예에 있어서, 제3 탄성 부재(1122)는, 화살표 AR3의 방향으로 가요성을 갖는 판 스프링으로 구성되어, 지지 부재(1124)가 화살표 AR3의 방향으로 회전하는 것을 가능하게 한다. 또한, 제2 탄성 부재(1121) 및 제3 탄성 부재(1122)는, 화살표 AR4의 방향으로 비틀림을 가능하게 하는 길이를 가져, 이에 의해 지지 부재(1124)가 화살표 AR4의 방향으로 회전하는 것을 가능하게 한다. 제1 방향에 있어서의 제2 탄성 부재(1121) 및 제3 탄성 부재(1122)의 길이는 동일해도 되고, 한쪽을 다른 쪽보다 충분히 길게 하여, 비틀림의 기능을 당해 한쪽에 부여해도 된다. 또한, 도 2의 예에 있어서, 제4 탄성 부재(1123)는, 제2 방향으로의 가요성을 갖는 네 판 스프링을 사용한 평행 링크 구조를 갖고, 지지 부재(1124)가 화살표 AR5의 방향으로 변위하는 것을 가능하게 한다. 이상의 구성에 의해, 응력 흡수 기구(112)는, 지지 부재(1124)가 화살표 AR2, AR3, AR4, AR5의 방향 자유도를 부여하고, 다른 방향에 관해서는 자유도를 부여하지 않는다.

도 4에는, 지지 장치(10)에 있어서의 3개의 지지 기구(11)의 배치의 하나의 예가 나타나 있다. 도 4에 예시되는 바와 같이, 3개의 지지 기구(11)는, 당해 3개의 지지 기구(11)가 각각 배치된 위치를 정점으로 하는 삼각형의 외접원의 내측으로 각각의 제2 방향이 향하도록 배치될 수 있다. 또한, 3개의 지지 기구(11)는, 당해 3개의 지지 기구(11)가 각각 배치된 위치를 정점으로 하는 삼각형의 외접원의 중심으로 각각의 제2 방향이 향하도록 배치될 수 있다. 또한, 다른 관점에 있어서, 3개의 지지 기구(11)는, 당해 3개의 지지 기구(11)가 각각 배치된 위치를 정점으로 하는 삼각형의 무게 중심에 각각의 제2 방향이 향하도록 배치될 수 있다. 3개의 지지 기구(11)가 각각 배치된 위치를 정점으로 하는 삼각형은, 일례에 있어서, 정삼각형이다.

도 2에 있어서의 화살표 AR2, AR3, AR4의 방향에 관한 지지 부재(1124)의 자유도는, 3개의 지지 기구(11)에 의해 지지되는 물체(12)를 기울인 경우에 물체(12)에 있어서 발생하는 응력을 흡수하여, 물체(12)의 변형을 저감하도록 기능한다. 도 2에 있어서의 화살표 AR5의 방향에 관한 지지 부재(1124)의 자유도는, 3개의 지지 기구(11)에 의해 지지되는 물체(12)를 기울인 경우에 3개의 지지 기구(11)의 각각의 지지 부재(1124)의 상호의 간격의 변화를 허용한다. 따라서, 도 2에 있어서의 화살표 AR5의 방향에 관한 지지 부재(1124)의 자유도도, 물체(12)에 있어서 발생하는 응력을 흡수하여, 물체(12)의 변형을 저감하도록 기능한다.

물체(12)를 기울일 경우, 3개의 지지 기구(11)를 각각 정점으로 하는 삼각형은, 그 중심을 향해서 축소하도록 변형할 수 있다. 따라서, 3개의 지지 기구(11) 중 적어도 하나의 지지 기구(11)는, 그 제2 방향이 외접원의 중심 또는 삼각형의 무게 중심을 향하도록 배치되는 것이 바람직하다. 또한, 3개의 지지 기구(11) 중 2개의 지지 기구(11)는, 그 제2 방향이 외접원의 중심 또는 삼각형의 무게 중심을 향하도록 배치되는 것이 보다 바람직하다. 또한, 3개의 지지 기구(11)의 모든 제2 방향이 외접원의 중심 또는 삼각형의 무게 중심을 향하도록 배치되는 것이 가장 바람직하다.

도 5에는, 3개의 지지 기구(11)의 배치의 다른 예가 나타나 있다. 도 5에서는, 3개의 지지 기구(11)를 서로 구별하기 위한 부호 11a, 11b, 11c가 붙어 있다. 도 5의 예에서는, 3개의 지지 기구(11)를 각각 정점으로 하는 삼각형 및 그 외접원을 생각할 수 있다. 도 5의 예에서는, 3개의 지지 기구(11a, 11b, 11c) 중 하나의 지지 기구(11a)는, 그 제2 방향이 삼각형의 무게 중심 및 외접원의 중심으로 향하도록 배치되어 있다. 또한, 3개의 지지 기구(11a, 11b, 11c) 중 2개의 지지 기구(11b, 11c)는, 그것들의 제2 방향이 지지 기구(11a)의 제2 방향에 직교하도록 배치되어 있다. 이와 같은 구성에 있어서도, 물체(12)를 기울인 경우에 있어서의 물체(12)의 변형을 저감할 수 있다.

여기서, 도 4, 도 5는, 3개의 지지 기구(11) 중 적어도 하나의 지지 기구(11)의 제2 방향이 삼각형의 내측을 향하고, 또한, 3개의 지지 기구(11) 중 적어도 하나의 지지 기구(11)의 제2 방향이 다른 지지 기구(11)의 제2 방향과 평행하지 않은 구성을 예시하고 있다. 혹은, 도 4, 도 5는, 3개의 지지 기구(11) 중 적어도 하나의 지지 기구(11)의 제2 방향이 삼각형의 중앙부를 향하고, 또한, 3개의 지지 기구(11) 중 적어도 하나의 지지 기구(11)의 제2 방향이 다른 지지 기구(11)의 제2 방향과 평행하지 않은 구성을 예시하고 있다. 여기서, 삼각형의 중앙부는, 예를 들어 삼각형의 무게 중심을 중심으로 하는 원이며 해당 삼각형의 면적의 30％ 또는 20％ 또는 10％의 면적을 갖는 원 안의 영역일 수 있다.

본 실시 형태의 지지 장치(10)는, 그것에 의해 지지되는 물체(12)의 변형을 억제하면서, 물체(12)의 표면의 법선 방향에 있어서의 물체(12)의 위치와 해당 법선 방향에 직교하는 두 방향에 각각 평행한 두 축의 둘레에 있어서의 물체(12)의 자세를 조정할 수 있다.

도 6에는, 지지 기구(11)에 있어서의 조정 기구(111)의 변형예가 나타나 있다. 도 6의 예에서는, 제1 탄성 부재(1111)는, 가동 부재(1112)가 제1 방향 및, 제3 방향에 평행한 제3 축의 둘레의 회전에만 자유도를 갖도록 고정 부재(1113)와 가동 부재(1112)를 결합한다. 제1 탄성 부재(1111)는, 가동 부재(1112)가 제3 축의 둘레로 회전할 수 있도록 고정 부재(1113)와 가동 부재(1112)를 결합하는 판 스프링일 수 있다. 도 3에 예시되는 나사 기구, 또는, 액추에이터에 의해 가동 부재(1112)를 도 6의 백색 화살표의 방향으로 압박함으로써, 가동 부재(1112)는, 제3 축의 둘레로 회전하면서 제1 방향으로 변위할 수 있다. 도 6에 나타난 예에 있어서도, 조정 기구(111)는, 고정 부재(1113)와, 제1 방향으로 자유도를 갖는 한편, 적어도 제3 방향으로 자유도를 갖지 않도록 고정 부재(1113)에 의해 지지된 가동 부재(1112)를 포함한다.

도 7에는, 응력 흡수 기구(112)의 변형예가 나타나 있다. 도 7의 예에서는, 제4 탄성 부재(1123)는, 지지 부재(1124)에 대해서 제2 방향, 및 제3 방향에 평행한 제3 축의 둘레의 회전만의 자유도를 부여하도록 조정 기구(111)(가동 부재(1112))와 지지 부재(1124)를 결합하는 판 스프링으로 구성되어 있다.

도 8에는, 응력 흡수 기구(112)의 변형예가 나타나 있다. 도 8의 예에서도, 도 7의 예와 마찬가지로, 제4 탄성 부재(1123)는, 지지 부재(1124)에 대해서 제2 방향, 및 제3 방향에 평행한 제3 축의 둘레의 회전만의 자유도를 부여하도록 조정 기구(111)(가동 부재(1112))와 지지 부재(1124)를 결합하는 판 스프링으로 구성되어 있다. 도 8의 예에서는, 제4 탄성 부재(1123)가 제3 탄성 부재(1122)에 대해서 직접 접속되어 있고, 하나의 긴 판 스프링 구조가 구성되어 있다.

이상, 본 발명의 바람직한 실시 형태에 대해서 설명했지만, 본 발명은, 이들 실시 형태에 한정되지 않고, 그 요지의 범위 내에서 여러 가지 변형 및 변경이 가능하다.

10: 지지 장치
11: 지지 기구
12: 물체
13: 결합부
111: 조정 기구
1111: 제1 탄성 부재
1112: 가동 부재
1113: 고정 부재
1114: 볼트
112: 응력 흡수 기구
1120: 결합 부재
1121: 제2 탄성 부재
1122: 제3 탄성 부재
1123: 제4 탄성 부재
1124: 지지 부재

Claims (10)

1. 물체를 지지하는 지지 장치이며,
   상기 물체의 서로 다른 개소를 각각 지지하는 3개의 지지 기구를 구비하고,
   상기 3개의 지지 기구의 각각은, 조정 기구와, 상기 조정 기구에 의해 지지되는 응력 흡수 기구를 포함하고,
   상기 조정 기구는, 고정 부재와, 상기 고정 부재에 의해 지지된 가동 부재와, 상기 가동 부재가 제1 방향으로만 자유도를 갖도록 상기 고정 부재와 상기 가동 부재를 결합하는 제1 탄성 부재를 포함하고,
   상기 응력 흡수 기구는, 상기 물체를 지지하는 지지 부재와, 상기 제1 방향에 평행한 제1 축의 둘레의 회전, 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향, 상기 제2 방향에 평행한 제2 축의 둘레의 회전, 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 직교하는 제3 방향에 평행한 제3 축의 둘레의 회전에 관하여 자유도를 갖고, 상기 제1 방향 및 상기 제3 방향에 관해서는 자유도를 갖지 않도록 상기 가동 부재와 상기 지지 부재를 결합하는 결합 부재를 포함하고,
   상기 가동 부재는, 상기 제1 방향으로 자유도를 갖는 한편, 적어도 상기 제3 방향으로 자유도를 갖지 않도록 상기 고정 부재에 의해 지지되고,
   상기 3개의 지지 기구는, 상기 3개의 지지 기구가 각각 배치된 위치를 정점으로 하는 삼각형의 외접원의 내측으로 각각의 상기 제2 방향이 향하도록 배치되고,
   상기 결합 부재는, 상기 지지 부재에 대해서 상기 제2 축의 둘레의 회전의 자유도를 부여하도록 상기 가동 부재와 상기 지지 부재를 결합하는 제2 탄성 부재와, 상기 지지 부재에 대해서 상기 제3 축의 둘레의 회전의 자유도를 부여하도록 상기 가동 부재와 상기 지지 부재를 결합하는 제3 탄성 부재와, 상기 지지 부재에 대해서 상기 제2 방향의 자유도를 부여하도록 상기 가동 부재와 상기 지지 부재를 결합하는 제4 탄성 부재를 포함하는
   것을 특징으로 하는 지지 장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 제1 탄성 부재는, 평행 링크 구조를 갖는
   것을 특징으로 하는 지지 장치.
3. 제1항에 있어서,
   상기 제2 탄성 부재 및 상기 제3 탄성 부재 중 적어도 한쪽이, 상기 지지 부재에 대해서 상기 제1 축의 둘레의 회전의 자유도를 부여하도록 상기 가동 부재와 상기 지지 부재를 결합하는
   것을 특징으로 하는 지지 장치.
4. 제1항에 있어서,
   상기 제4 탄성 부재는, 상기 지지 부재에 대해서 상기 제2 방향만의 자유도를 부여하도록 상기 가동 부재와 상기 지지 부재를 결합하는 평행 링크 구조를 갖는
   것을 특징으로 하는 지지 장치.
5. 제1항에 있어서,
   상기 제4 탄성 부재는, 상기 지지 부재에 대해서 상기 제2 방향, 및 상기 제3 방향에 평행한 상기 제3 축의 둘레의 회전만의 자유도를 부여하도록 상기 가동 부재와 상기 지지 부재를 결합하는 판 스프링인
   것을 특징으로 하는 지지 장치.
6. 제1항에 있어서,
   상기 3개의 지지 기구 중 적어도 하나의 지지 기구의 상기 제2 방향이 상기 삼각형의 중앙부를 향하고, 또한, 상기 3개의 지지 기구 중 적어도 하나의 지지 기구의 상기 제2 방향이 다른 지지 기구의 상기 제2 방향과 평행하지 않은
   것을 특징으로 하는 지지 장치.
7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 3개의 지지 기구는, 상기 삼각형의 중심으로 각각의 상기 제2 방향이 향하도록 배치되어 있는
   것을 특징으로 하는 지지 장치.
8. 삭제
9. 삭제
10. 삭제

Images