KR102460875B1 - Pellicle container - Google Patents

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KR102460875B1
KR102460875B1 KR1020140172836A KR20140172836A KR102460875B1 KR 102460875 B1 KR102460875 B1 KR 102460875B1 KR 1020140172836 A KR1020140172836 A KR 1020140172836A KR 20140172836 A KR20140172836 A KR 20140172836A KR 102460875 B1 KR102460875 B1 KR 102460875B1
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pellicle
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reinforcing means
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카즈토시 세키하라
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신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤
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    • Y10S414/139—Associated with semiconductor wafer handling including wafer charging or discharging means for vacuum chamber

Abstract

[과제]
본 발명의 목적은 적어도 하나의 변 길이가 500㎜ 이상인 펠리클을 수납하기 위한 저비용이며 경량이고 또한 고강성인 펠리클 수납 용기를 제공하는 것이다.
[해결 수단]
본 발명은 적어도 하나의 변 길이가 500㎜ 이상인 펠리클을 적재하는 용기 본체와 이 용기 본체와 둘레 가장자리부에서 감합 록킹되는 덮개체를 포함하며 수지제 시트재를 성형해서 이루어지는 펠리클 수납 용기에 있어서, 상기 용기 본체는 외측으로부터 보아서 오목 형상으로 이루어지는 리브부를 가짐과 아울러 이 리브부의 외측에 리브부를 보강하는 보강 수단이 접속되어 있는 것을 특징으로 한다. 그리고, 그 보강 수단은 형상이 평판 형상, 대략 C자형 또는 대략 L자형의 단면 형상이 바람직하고, 평판 형상인 경우에는 리브부의 오목부를 덮도록 접속되며, 대략 C자형 또는 대략 L자형의 단면 형상인 경우에는 리브부 내에 전부 또는 일부가 감합되어 접속되는 것이 바람직하다.[assignment]
An object of the present invention is to provide a low-cost, lightweight, and high-rigidity pellicle storage container for accommodating a pellicle having at least one side length of 500 mm or more.
[Solution]
The present invention provides a pellicle storage container comprising a container body for loading a pellicle having at least one side length of 500 mm or more, and a cover body fitted and locked at the container body and a peripheral portion, wherein the pellicle storage container is formed by molding a resin sheet material. The container main body has a rib part which consists of a concave shape as seen from the outside, and the reinforcement means which reinforces a rib part is connected to the outer side of this rib part, It is characterized by the above-mentioned. And, the reinforcing means preferably has a flat plate shape, a substantially C-shape, or a substantially L-shaped cross-sectional shape, and in the case of a flat plate shape, is connected to cover the concave portion of the rib portion, and has an approximately C-shaped or approximately L-shaped cross-sectional shape. In this case, it is preferable that all or part of the ribs are fitted and connected.

Description

펠리클 수납 용기{PELLICLE CONTAINER}Pellicle storage container {PELLICLE CONTAINER}

본 발명은 반도체 디바이스, 프린트 기판 또는 액정 디스플레이 등을 제조할 때의 먼지 막이로서 사용되는 적어도 하나의 변 길이가 500㎜ 이상인 리소그래피용 펠리클을 수납, 보관, 수송하는 펠리클 수납 용기에 관한 것이다.The present invention relates to a pellicle storage container for accommodating, storing, and transporting a pellicle for lithography having at least one side length of 500 mm or more, which is used as a dust shield when manufacturing a semiconductor device, a printed circuit board, or a liquid crystal display.

LSI, 초LSI 등의 반도체 제조 또는 액정 디스플레이 등의 제조에 있어서는 반도체 웨이퍼 또는 디스플레이용 유리판에 광을 조사해서 패턴을 제작하지만, 이때에 사용하는 포토마스크 또는 레티클(reticle)(이하, 간단히 「포토마스크 」로 기술)에 먼지가 부착되어 있으면 이 먼지가 광을 흡수하거나 광을 굴절시켜 버리기 때문에 전사한 패턴이 변형되거나 에지가 거칠어지는 것 외에 하지(下地)가 검게 오염되거나 하는 등 치수, 품질, 외관 등이 손상된다는 문제가 있었다.In the production of semiconductors such as LSI and super LSI, or the production of liquid crystal displays, etc., a pattern is produced by irradiating light on a semiconductor wafer or a glass plate for a display, but a photomask or reticle (hereinafter simply referred to as "photomask") used in this case is used. '), the dust absorbs or refracts the light, so the transferred pattern is deformed, the edges are rough, and the underlying surface is blackened. There was a problem that the back was damaged.

그래서, 이들 작업은 통상 클린룸에서 행해지고 있지만 그래도 포토마스크를 항상 청정하게 유지하는 것이 어렵기 때문에 포토마스크 표면에 먼지 막이로서 펠리클을 부착한 후에 노광을 행하고 있다. 이 경우, 이물은 포토마스크의 표면에는 직접 부착되지 않고 펠리클 상에 부착되기 때문에 리소그래피시에 초점을 포토마스크의 패턴 상에 맞춰 두면 펠리클 상의 이물은 전사에 무관해진다.Therefore, although these operations are normally performed in a clean room, since it is difficult to always keep the photomask clean, exposure is performed after attaching the pellicle as a dust barrier to the surface of the photomask. In this case, since the foreign material is not directly attached to the surface of the photomask but is attached to the pellicle, if the focus is set on the pattern of the photomask during lithography, the foreign material on the pellicle becomes irrelevant to the transfer.

이 펠리클은 일반적으로 광을 잘 투과시키는 니트로셀룰로오스, 초산셀룰로오스 또는 불소 수지 등으로 이루어지는 투명한 펠리클막을 알루미늄, 스테인리스강 등으로 이루어지는 펠리클 프레임의 상단면에 접착해서 구성되어 있다. 또한, 이 펠리클 프레임의 하단에는 포토마스크에 장착하기 위한 폴리브덴 수지, 폴리초산비닐 수지, 아크릴 수지 등으로 이루어지는 점착층 및 점착층의 보호를 목적으로 한 이형층(세퍼레이터)이 형성되기 때문에, 이러한 펠리클은 마스크에 부착된 후에는 그것들이 형성하는 폐공간의 외부로부터 내부로의 이물 침입에 대해 효과적이다.This pellicle is constituted by adhering a transparent pellicle film made of nitrocellulose, cellulose acetate, or fluororesin, which generally transmits light well, to the top surface of a pellicle frame made of aluminum, stainless steel, or the like. In addition, at the lower end of the pellicle frame, an adhesive layer made of polybdenum resin, polyvinyl acetate resin, acrylic resin, etc. for mounting on a photomask and a release layer (separator) for the purpose of protecting the adhesive layer are formed. After the pellicles are attached to the mask, they are effective against intrusion of foreign substances from the outside to the inside of the closed space they form.

그러나, 펠리클 자체에 이물이 부착되고 또한 그것이 폐공간의 내부에 있을 경우에는 포토마스크로의 이물 부착을 방지하는 것은 곤란하다. 이 때문에, 펠리클 자체에 대해서는 높은 청정성이 요구되는 것은 물론이고 이 펠리클의 보관, 수송에 사용하는 펠리클 수납 용기에 대해서도 그 청정성을 유지할 수 있는 성능이 강하게 요구되고 있다. 구체적으로는, 뛰어난 대전 방지 성능의 재질이나 스쳤을 때에도 먼지 발생이 적은 재질인 것, 펠리클 및 구성 부품 간의 접촉을 최대한 방지하는 것이 가능한 구조인 것, 외력이 가해졌을 때의 변형을 방지하는 것이 가능한 고강성인 구조인 것 등이 요구되고 있다.However, when a foreign material is attached to the pellicle itself and it is inside the closed space, it is difficult to prevent the foreign material from adhering to the photomask. For this reason, not only high cleanliness is required for the pellicle itself, but also the pellicle storage container used for storage and transport of the pellicle is strongly required for performance capable of maintaining the cleanliness. Specifically, it should be made of a material with excellent antistatic performance or a material that generates little dust even when rubbed, a structure that can prevent contact between the pellicle and components as much as possible, and a material that can prevent deformation when an external force is applied It is calculated|required that it is a structure with high rigidity, etc.

이 펠리클 수납 용기는 통상 ABS, 아크릴 등의 수지를 사출 성형 또는 진공 성형함으로써 제조되고 있지만, 사출 성형 또는 진공 성형이라는 성형 방법이 이용되는 주된 이유로서는 표면이 평활해서 이물의 부착이나 먼지 발생의 우려가 적은 것, 일체 성형이기 때문에 이음매가 없어 먼지 발생이나 이물 침입의 우려가 적은 것, 복잡한 형상의 것도 용이하게 제조할 수 있는 것, 양산성이 뛰어나 저비용화가 가능한 것 등의 메리트가 있기 때문이다.This pellicle storage container is usually manufactured by injection molding or vacuum molding of resin such as ABS or acrylic, but the main reason for using a molding method such as injection molding or vacuum molding is that the surface is smooth and there is a risk of adhesion of foreign matter or dust generation. This is because there are advantages such as a small number of products, since they are integrally molded, there is no seam, so that there is little risk of dust generation or foreign matter intrusion, that complicated shapes can be easily manufactured, and that it is possible to reduce the cost due to excellent mass productivity.

예를 들면, 반도체용이나 프린트 기판용 펠리클 수납 용기는 외형의 변 길이가 대략 200~300㎜ 전후이며, 펠리클 수납 용기의 청정성 유지나 외력이 가해졌을 때에도 변형되기 어려운 고강성이 요구되기 때문에 통상 사출 성형법을 이용해서 제조되고 있지만, 변 길이가 200~300㎜ 정도 크기인 펠리클 수납 용기의 경우에는 그 강성의 문제는 거의 발생하는 경우가 없다. 왜냐하면, 변 길이가 200~300㎜ 정도 크기인 펠리클 수납 용기는 원래 소형으로 강성을 확보하기 쉬운데다가, 사출 성형법으로는 두께를 국소적으로 변경하는 것이 용이하기 때문에 필요 개소에 두꺼운 두께가 있는 보강을 추가해서 강성을 확보할 수 있기 때문이다.For example, a pellicle storage container for semiconductors or printed circuit boards has an external side length of about 200 to 300 mm, and high rigidity that is difficult to deform even when maintaining the cleanliness of the pellicle storage container or applying an external force is required. However, in the case of a pellicle storage container having a side length of about 200 to 300 mm, the problem of rigidity rarely occurs. This is because the pellicle storage container with a side length of about 200 to 300 mm is originally small and easy to secure rigidity. This is because it is possible to secure rigidity by adding it.

한편, 주로 액정이나 유기 EL 등의 디스플레이용 펠리클 수납 용기는 외형의 변 길이가 500㎜를 초과하는 대형이며, 통상 ABS, 아크릴 등의 합성 수지 시트를 진공 성형해서 제조되고 있다. 변 길이가 500㎜를 초과하는 대형 펠리클 수납 용기의 경우에는 1개소 또는 여러 개소의 게이트로부터 금형 내에 수지를 고속 주입하는 사출 성형법으로는 수지가 흐르는 거리가 지나치게 길어서 제법(製法)적으로 곤란하기 때문에 진공 성형법이 이용되고 있다. 이 진공 성형법에서는 금형에 가열한 수지 시트를 씌우고 진공 배기하는 것만으로 대형 성형품도 용이하게 성형할 수 있기 때문이다.On the other hand, a pellicle storage container for displays, such as liquid crystal or organic EL, is a large-sized container with an outer side length exceeding 500 mm, and is usually manufactured by vacuum molding a synthetic resin sheet such as ABS or acrylic. In the case of a large pellicle storage container with a side length exceeding 500 mm, the injection molding method in which the resin is injected into the mold at high speed from one or several gates is difficult in terms of manufacturing method because the distance through which the resin flows is too long. A vacuum forming method is used. This is because, in this vacuum molding method, a large molded article can be easily molded only by covering the mold with a heated resin sheet and evacuating the mold.

그러나, 이러한 진공 성형법을 이용해서 대형 펠리클 수납 용기를 제조할 경우에는 두께가 두꺼운 수납 용기를 성형할 수 없다는 문제가 있다. 이 두께의 문제는 리브를 성형해서 보강한다는 대책에 의해 어느 정도 해결되지만, 이 경우의 리브의 성형은 기본적으로는 동일한 판두께의 시트를 절곡하는 정도이므로 이 대책만으로는 높은 강성이 요구되는 펠리클 수납 용기를 제작하는 것은 곤란하다는 문제가 있다.However, when a large pellicle storage container is manufactured using such a vacuum forming method, there is a problem that a thick storage container cannot be formed. The problem of this thickness is solved to some extent by countermeasures such as forming and reinforcing ribs, but in this case, the forming of ribs is basically bending a sheet of the same thickness, so this countermeasure alone requires high rigidity for the pellicle storage container. There is a problem that it is difficult to manufacture.

이 때문에, 종래부터 변 길이가 500㎜를 초과하는 대형 수납 용기의 변형이나 휨 등을 방지하기 위해 보강재를 접합해서 강성을 높이는 대책이 이루어지고 있다. 예를 들면, 특허문헌 1에는 수납 용기의 좌우측 가장자리 및 중앙부에 알루미늄 등의 금속제 보강 띠형상체 또는 앵글재를 접합 배치한 대형 정밀 시트 형상 제품용 밀봉 용기가 기재되어 있다. 또한, 특허문헌 2에는 수납 용기의 이면에 알루미늄 등의 보강 금속 부품을 접합한 펠리클 수납 용기가 기재되어 있다.For this reason, conventionally, in order to prevent the deformation|transformation, bending, etc. of a large storage container whose side length exceeds 500 mm, a countermeasure is made|formed by joining a reinforcing material and raising rigidity. For example, Patent Document 1 describes a sealed container for a large-sized precision sheet-shaped product in which a metal reinforcing strip or angle material such as aluminum is bonded to the left and right edges and the central portion of the storage container. In addition, Patent Document 2 describes a pellicle storage container in which reinforcing metal parts such as aluminum are bonded to the back surface of the storage container.

일본 특허 공개 2005-170507Japanese Patent Laid-Open 2005-170507 일본 특허 제 4391435 호Japanese Patent No. 4391435

이러한 종래의 보강 대책에서는 알루미늄 합금 등의 고강성인 재료로 이루어지는 보강체를 조합시켜 日자형 또는 目자형 등으로 배치하는 방책이 사용되고 있지만, 이러한 방책으로는 그 보강의 양이 많아지면 보강 효과도 커진다고 할 수 있지만 한편으로 당연히 중량이나 비용이 증가하게 된다. 이용하는 재료를 경량이며 또한 고강성인 것으로 하는 것도 고려되지만 이러한 경량이며 또한 고강성인 재료는 일반적으로 그 가격이 높기 때문에 강성, 중량, 비용을 모두 균형지게 하는 것은 어렵다는 문제가 있다.In such a conventional reinforcement measure, a method of arranging a reinforcing body made of a high-rigidity material such as an aluminum alloy and arranging it in a sun-shape or 目-shape is used. However, on the other hand, of course, the weight and cost will increase. It is also considered that the material to be used is lightweight and highly rigid, but there is a problem in that it is difficult to balance rigidity, weight, and cost because such lightweight and high rigidity materials are generally expensive.

그래서, 본 발명은 상기 실정을 감안하여 이루어진 것으로서 그 목적은 저비용으로 경량이며 또한 고강성인 펠리클 수납 용기를 제공하는 것이다.Then, this invention is made in view of the said situation, and the objective is to provide the pellicle storage container which is low cost, light weight, and high rigidity.

본 발명자들은 상기 목적을 달성하기 위해 예의 검토를 행한 바, 리브부의 외측에 리브부를 보강하는 보강 수단을 접속(접합)하면 리브부의 개방 방향으로의 변형이나 비틀림 변형을 억제할 수 있기 때문에 리브부의 보강이라는 간이한 대책을 실시함으로써 경량으로도 높은 강성이 얻어지는 것을 지견하여 본 발명에 이른 것이다.The present inventors have intensively studied in order to achieve the above object. Since the deformation in the opening direction or torsional deformation of the rib portion can be suppressed by connecting (joining) reinforcing means for reinforcing the rib portion on the outside of the rib portion, reinforcement of the rib portion The present invention has been reached by discovering that high rigidity can be obtained even at light weight by implementing a simple countermeasure.

즉, 본 발명은 적어도 하나의 변 길이가 500㎜ 이상인 펠리클을 적재하는 용기 본체와 이 용기 본체와 둘레 가장자리부에서 감합 록킹되는 덮개체를 포함하며 수지제 시트재를 성형해서 이루어지는 펠리클 수납 용기에 있어서, 용기 본체는 외측으로부터 보아서 오목 형상으로 되는 리브부를 가짐과 아울러 이 리브부의 외측에 리브부를 보강하는 보강 수단이 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.That is, the present invention relates to a pellicle storage container comprising a container body for loading a pellicle having at least one side length of 500 mm or more, and a cover body fitted and locked at the container body and the periphery, and formed by molding a resin sheet material, , the container body has a rib portion that is concave when viewed from the outside, and a reinforcing means for reinforcing the rib portion is connected to the outside of the rib portion.

또한, 본 발명의 리브부는 그 높이가 용기 본체의 중앙측에 배치된 리브일수록 낮게 설정되어 있는 것이 바람직하고, 보강 수단은 복수의 리브가 접속된 부위에 부착되어 있는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the height of the rib portion of the present invention is set to be lower as the height of the rib disposed on the central side of the container body is lowered, and the reinforcing means is preferably attached to the portion where the plurality of ribs are connected.

또한, 본 발명의 보강 수단은 그 형상이 평판 형상이나 대략 C자형 또는 대략 L자형의 단면 형상이 바람직하고, 평판 형상인 경우에는 리브부의 오목부를 덮도록 접속되어 있는 것이 바람직하고, 대략 C자형 또는 대략 L자형의 단면 형상인 경우에는 리브부 내에 전부 또는 일부가 감합되어 접속되어 있는 것이 바람직하다.In addition, the reinforcing means of the present invention preferably has a flat plate shape or a substantially C-shaped or substantially L-shaped cross-sectional shape. In the case of a flat plate shape, it is preferable that the reinforcing means is connected so as to cover the concave portion of the rib portion, and is approximately C-shaped or In the case of a substantially L-shaped cross-sectional shape, it is preferable that all or part of the ribs are fitted and connected.

[발명의 효과][Effects of the Invention]

본 발명에 의하면, 오목 형상으로 되는 리브부의 외측에 리브부를 보강하는 보강 수단을 설치하여 리브부의 변형이나 비틀림 변형을 억제할 수 있기 때문에 종래 금속제의 보강 수단과 비교해서 동등 이상의 높은 강성을 갖고 또한 저비용으로 경량인 펠리클 수납 용기를 제공할 수 있다.According to the present invention, since a reinforcing means for reinforcing the rib portion is provided on the outside of the concave rib portion to suppress deformation or torsional deformation of the rib portion, it has higher rigidity equal to or higher than that of the conventional reinforcing means made of metal, and at a lower cost. It is possible to provide a lightweight pellicle storage container.

도 1은 본 발명의 제 1 실시형태를 나타내는 수납 용기의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 제 1 실시형태를 나타내는 수납 용기 본체의 상평면도이다.
도 3은 본 발명의 제 1 실시형태를 나타내는 수납 용기 본체의 AA 단면도이다.
도 4는 본 발명의 제 1 실시형태를 나타내는 수납 용기 본체의 BB 단면도이다.
도 5는 본 발명의 제 1 실시형태를 나타내는 수납 용기 본체의 하평면도이다.
도 6은 본 발명의 제 1 실시형태를 나타내는 수납 용기에 이용되는 대략 C자 형상 보강 수단의 단면도이다.
도 7은 본 발명의 제 1 실시형태를 나타내는 수납 용기에 이용되는 대략 L자 형상 보강 수단의 단면도이다.
도 8은 비교예의 수납 용기의 사시도이다.
도 9는 비교예의 수납 용기의 단면도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a perspective view of the storage container which shows 1st Embodiment of this invention.
It is a top plan view of the storage container main body which shows 1st Embodiment of this invention.
It is AA sectional drawing of the storage container main body which shows 1st Embodiment of this invention.
It is BB sectional drawing of the storage container main body which shows 1st Embodiment of this invention.
It is a bottom plan view of the storage container main body which shows 1st Embodiment of this invention.
Fig. 6 is a cross-sectional view of a substantially C-shaped reinforcing means used for the storage container according to the first embodiment of the present invention.
Fig. 7 is a cross-sectional view of a substantially L-shaped reinforcing means used for the storage container according to the first embodiment of the present invention.
8 is a perspective view of a storage container of a comparative example.
9 is a cross-sectional view of a storage container of a comparative example.

이하, 본 발명의 제 1 실시형태에 대해 도면을 참조해서 상세히 설명하지만, 본 발명은 이들에 한정되는 것은 아니다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, although 1st Embodiment of this invention is described in detail with reference to drawings, this invention is not limited to these.

도 1~도 5는 본 발명의 제 1 실시형태를 나타내는 것이며, 도 1은 본 발명의 펠리클 수납 용기(10)의 사시도이다. 도 2는 그 용기 본체(11)의 상평면도이며, 도 3은 도 2의 AA 단면도이고, 도 4는 도 2의 BB 단면도이다. 또한, 도 5는 용기 본체(11)를 외측(도 2의 이면측)으로부터 본 하평면도이다.1 to 5 show a first embodiment of the present invention, and Fig. 1 is a perspective view of a pellicle storage container 10 of the present invention. FIG. 2 is a top plan view of the container body 11 , FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line AA of FIG. 2 , and FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line BB of FIG. 2 . 5 is a bottom plan view of the container body 11 seen from the outside (the back side of FIG. 2).

펠리클 수납 용기(10)는 아크릴, ABS, PET, PS 등의 수지로 이루어지는 두께 2~6㎜ 정도인 시트재를 진공 성형한 용기 본체(11)와 덮개체(12)로 구성되어 있다. 그리고, 이 용기 본체(11)는 이물의 시인성 향상 등의 이유로부터 흑색으로 하는 것이 좋고, 덮개체(12)는 내부를 확인하기 위해 투명 또는 반투명으로 하는 것이 바람직하다.The pellicle storage container 10 is composed of a container body 11 and a lid 12 obtained by vacuum forming a sheet material having a thickness of about 2 to 6 mm made of a resin such as acrylic, ABS, PET, or PS. In addition, it is preferable that this container main body 11 be made into black for reasons, such as an improvement in the visibility of a foreign material, and it is preferable to make the cover body 12 transparent or semitransparent in order to confirm the inside.

이러한 용기 본체(11)와 덮개체(12)는 그 둘레 가장자리부에서 감합됨과 아울러 이 감합부는 점착 테이프 등으로 밀봉하거나 클립 등으로 고정해서(도시하지 않음) 그 내부를 밀폐 상태로 하고 있다.The container body 11 and the lid 12 are fitted at their peripheral edges, and the fitting portion is sealed with an adhesive tape or the like or fixed with a clip or the like (not shown) so that the inside thereof is sealed.

본 발명의 제 1 실시형태에서는 용기 본체(11)에 동일한 판재를 성형해서 형성한 리브부(13)(13a, 13b, 13c)가 형성되어 있다. 이들 리브부(13)는 용기 본체(11)의 외측으로부터 보아서 오목 형상, 즉 용기 본체(11)의 내측으로 볼록하게 돌출된 형상으로 되어 있는 것이 바람직하다. 이들 리브부(13)의 치수는 강성 확보 및 성형성의 관점으로부터 폭 20~100㎜, 깊이 10~100㎜의 범위로 하는 것이 바람직하다.In the first embodiment of the present invention, the container body 11 is provided with rib portions 13 (13a, 13b, 13c) formed by molding the same plate material. It is preferable that these ribs 13 have a concave shape when viewed from the outside of the container body 11 , that is, a shape protruding convexly to the inside of the container body 11 . The dimensions of these ribs 13 are preferably in the range of 20 to 100 mm in width and 10 to 100 mm in depth from the viewpoint of securing rigidity and formability.

또한, 펠리클 수납 용기(10)가 수송 중의 진동 등에 의해 흔들렸을 때에 펠리클막이 이 리브부(13)에 접촉하는 것을 방지하기 위해 이들 리브부(13)의 높이를 용기 본체(11)의 중앙측에 배치된 리브부일수록 낮게 하는 것이 바람직하다.In addition, in order to prevent the pellicle film from coming into contact with the ribs 13 when the pellicle storage container 10 is shaken due to vibration or the like during transportation, the heights of these ribs 13 are set on the central side of the container body 11 . It is preferable to make it lower as the rib part is arrange|positioned.

또한, 이 리브부(13)의 외측에는 리브부를 보강하는 보강 수단(14a, 14b)이 접속되어 있다. 그리고, 이들 보강 수단의 형상이 평판 형상일 경우에는 용기 본체(11)의 외측으로부터 리브부(13)의 오목 형상을 덮도록 접속되어 있는 것이 바람직하다. 이 보강 수단(14a, 14b)은 리브부(13)의 전체면 또는 용기 본체(11)의 전체면을 덮고 있어도 좋다. 이 경우에는 완전히 밀폐하지 않으면 세정시에 세정수가 침입해서 건조 등의 점에 있어서 문제가 발생하게 된다. 한편, 완전히 밀폐했을 경우에는 온도나 기압의 변화시에 변형이 발생할 우려가 있으므로 유의할 필요가 있다.Further, reinforcing means 14a and 14b for reinforcing the rib portion are connected to the outside of the rib portion 13 . And when the shape of these reinforcing means is a flat plate shape, it is preferable to connect so that the concave shape of the rib part 13 may be covered from the outer side of the container main body 11. As shown in FIG. The reinforcing means 14a and 14b may cover the entire surface of the rib portion 13 or the entire surface of the container body 11 . In this case, if it is not completely sealed, washing water enters at the time of washing|cleaning, and a problem arises in points, such as drying. On the other hand, when completely sealed, it is necessary to be careful because there is a possibility that deformation may occur when the temperature or atmospheric pressure is changed.

여기서, 가장 바람직한 실시형태로서는 보강 수단(14a, 14b)은 리브부(13)의 일부의 영역, 특히 복수의 리브가 접속된 부위에 접속되어 있는 것이 바람직하다. 도 5의 실시형태에서는 리브(13b, 13c)의 접속부에 평판 형상의 보강 수단(14a, 14b)이 접속되어 있다. 또한, 이 보강 수단(14a, 14b)이 접속되어 있는 영역에는 용기 본체(11) 표면과의 단차가 없게 되도록 도 3이나 도 7에 나타내는 굴입(掘入)부(16)를 형성하는 것도 바람직하다.Here, as the most preferable embodiment, the reinforcing means 14a and 14b are preferably connected to a portion of the rib portion 13, particularly, to a portion to which a plurality of ribs are connected. In the embodiment shown in Fig. 5, flat plate-shaped reinforcing means 14a and 14b are connected to the connecting portions of the ribs 13b and 13c. In addition, it is also preferable to provide the recessed portion 16 shown in Figs. 3 and 7 so that there is no step difference with the surface of the container body 11 in the region to which the reinforcing means 14a and 14b are connected. .

보강 수단(14a, 14b)의 접속(접합) 방법으로서는 접착제 등에 의한 접착, 열용착, 볼트 고정, 리벳 고정 등을 이용할 수 있다. 이 중 어느 방법을 선택할지는 그 보강 수단(14a, 14b)의 재질이나 형상에 따라 적절히 결정하면 좋지만 강도, 비용의 관점으로부터 접착제 등에 의한 접착이 특히 바람직하다.As a method of connecting (joining) the reinforcing means 14a and 14b, bonding with an adhesive or the like, heat welding, bolt fixing, riveting, or the like can be used. Which of these methods is selected may be appropriately determined according to the material and shape of the reinforcing means 14a, 14b, but adhesion by an adhesive or the like is particularly preferable from the viewpoint of strength and cost.

보강 수단(14a, 14b)의 재질로서는 알루미늄 합금, 스테인리스강 등의 금속을 비롯해 섬유 강화 수지 등을 사용할 수 있지만 접착성, 비용, 치수의 경시 안정성이나 흡습성 등의 관점으로부터 PVC, ABS, PC군으로부터 선택하는 것이 가장 바람직하다. 또한, 열팽창 계수도 고려하면 용기 본체와 동일한 재질의 것을 선택하는 것도 바람직하다.As the material of the reinforcing means 14a and 14b, metals such as aluminum alloy and stainless steel, as well as fiber-reinforced resins, etc. can be used, but from the viewpoint of adhesion, cost, dimensional stability over time and hygroscopicity, etc. It is best to choose Also, considering the coefficient of thermal expansion, it is also preferable to select a material of the same material as that of the container body.

무엇보다, 본 발명과 같은 보강 구조를 채용하면 충분한 보강 효과를 발휘할 수 있기 때문에 금속이나 섬유 강화 수지라는 재질에 비해 강성의 점에서 뒤떨어지는 수지 재료를 사용한 경우에도 용기 본체(11)로서의 강성의 점에서 손색이 없는 것이 얻어진다.Above all, since a sufficient reinforcing effect can be exhibited by employing a reinforcing structure as in the present invention, even when a resin material inferior in rigidity is used compared to a material such as metal or fiber-reinforced resin, the rigidity as the container body 11 is used. A comparable one is obtained from

도 6은 평판과 다른 형상의 다른 보강 수단(61)을 사용한 실시형태를 나타낸다. 이 보강 수단(61)은 단면 형상이 대략 C자형의 형상이며, 이 보강 수단(61)의 경우에는 리브부(13) 내에 끼워넣어 접합하는 것이 바람직하다. 이러한 실시형태에서는 매우 높은 보강 효과가 얻어지지만, 용기 본체(11) 및 보강 수단(61)은 모두 진공 성형으로 제작되기 때문에 치수 정밀도가 나빠서 제작할 때에 설계대로 감합되는 상태를 얻는 것이 어렵다는 문제가 있다.6 shows an embodiment in which another reinforcing means 61 having a shape different from that of a flat plate is used. The reinforcing means (61) has a substantially C-shaped cross-sectional shape, and in the case of this reinforcing means (61), it is preferable to fit it into the rib part (13) and join it. Although a very high reinforcing effect is obtained in this embodiment, since both the container body 11 and the reinforcing means 61 are manufactured by vacuum forming, dimensional accuracy is poor, and there is a problem that it is difficult to obtain a state that fits as designed when manufacturing.

이 때문에, 실제로 제작할 경우에는 보강 수단(61)을 약간 작게 제작하여 용기 본체(11)의 리브부(13) 내에 확실히 수용·고정하는 것이 가능하도록 연구함과 아울러 큰 간극을 충전하는 것이 가능한 접착제를 사용하는 등의 연구도 필요하다.For this reason, in the case of actual production, the reinforcement means 61 is made slightly smaller, and research is conducted so that it can be reliably accommodated and fixed in the rib portion 13 of the container body 11, and an adhesive capable of filling a large gap is used. Research on its use is also needed.

또한, 도 7은 또 다른 보강 수단(71)을 사용한 실시형태를 나타낸다. 이 보강 수단(71)은 단면 형상이 대략 L자형의 형상이며, 이 보강 수단(71)의 경우에는 리브부(13) 내에 일부를 끼워넣음과 아울러 그 일부를 저면에 접합하는 것이 바람직하다. 또한, 이 경우 용기 본체(11)의 저면에는 굴입부(16)를 형성하여 보강 수단(71)이 돌출되지 않도록 하는 것이 바람직하다. 이러한 실시형태에서도 리브부(13)의 보강 효과는 높아서 높은 강성을 기대할 수 있음과 아울러 도 6의 대략 C자형의 보강 수단(61)과 비교하여 그 접합이 용이하다는 이점도 있다.7 shows an embodiment using another reinforcing means 71 . The reinforcing means 71 has a substantially L-shaped cross-sectional shape, and in the case of the reinforcing means 71, it is preferable to fit a part in the rib part 13 and join the part to the bottom surface. In addition, in this case, it is preferable to form an indentation portion 16 on the bottom surface of the container body 11 so that the reinforcing means 71 does not protrude. Even in this embodiment, the reinforcing effect of the rib part 13 is high, and high rigidity can be expected, and there is also an advantage that the bonding is easy compared to the substantially C-shaped reinforcing means 61 of FIG. 6 .

[실시예][Example]

이하, 도 2~도 5에 나타내는 실시예에 대해 상세히 설명한다. 이 실시예에서는 우선 두께 5㎜의 대전 방지 ABS(흑색) 시트재를 이용하여 진공 성형법에 의해 도 2~도 5에 나타내는 형상의 용기 본체(11)를 제작했다. 이 용기 본체(11)의 외측 치수는 1350x1550x높이60㎜이며, 내측 방향으로 볼록하게 된 리브(13a, 13b, 13c)가 배치되어 있다.Hereinafter, the Example shown in FIGS. 2-5 is demonstrated in detail. In this Example, first, the container body 11 of the shape shown in FIGS. 2-5 was produced by the vacuum forming method using the antistatic ABS (black) sheet material of thickness 5mm. The outer dimension of this container body 11 is 1350x1550xheight 60mm, and the ribs 13a, 13b, 13c which became inwardly convex are arrange|positioned.

이 리브(13b, 13c)의 접속부의 외면측에는 ABS 수지로 이루어지는 치수 250x300x두께3㎜의 평판 형상의 보강 수단(14a)과 치수 180x200x두께3㎜의 평판 형상의 보강 수단(14b)이 접착제에 의해 접합되어 있다. 용기 본체(11)의 보강 수단(14a, 14b)이 접합되는 영역에는 보강 수단(14a, 14b)이 외측으로 돌출되지 않도록 깊이 3㎜의 굴입부(16)가 형성되어 있다.On the outer surface side of the connecting portion of the ribs 13b and 13c, flat plate-shaped reinforcing means 14a made of ABS resin with dimensions 250x300xthickness 3mm and flat plate-shaped reinforcing means 14b with dimensions 180x200xthickness 3mm are joined by an adhesive. has been In the region where the reinforcing means 14a and 14b of the container body 11 are joined, a recess 16 having a depth of 3 mm is formed so that the reinforcing means 14a and 14b do not protrude outward.

또한, 용기 본체(11)에는 그 위에 펠리클(20)을 고정하기 위해 스테인리스강 및 ABS 수지로 이루어지는 펠리클 지지핀(15a), 및 ABS 수지제의 핀지지 블록(15b)으로 이루어지는 펠리클 지지 수단(15)을 볼트(도시하지 않음)에 의해 4개소에 부착하고 있지만, 이 펠리클(20) 부착 수단은 다른 공지의 방법으로 하는 것도 가능하다.In addition, the container body 11 has a pellicle support means 15 made of a pellicle support pin 15a made of stainless steel and ABS resin, and a pin support block 15b made of ABS resin to fix the pellicle 20 thereon. ) is attached to four places with bolts (not shown), but this pellicle 20 attachment means can also be used by other known methods.

이어서, 두께 5㎜의 대전 방지 ABS(투명) 시트재를 이용하여 용기 본체(11)의 둘레 가장자리부에 감합되는 덮개체(12)를 진공 성형에 의해 제작했다. 도 1은 용기 본체(11)에 덮개체(12)를 감합한 상태의 펠리클 수납 용기(10)를 나타내는 것이며, 이때의 용기 치수는 외형 1350x1550㎜, 높이 120㎜이다.Next, the lid 12 fitted to the periphery of the container body 11 was produced by vacuum forming using an antistatic ABS (transparent) sheet material having a thickness of 5 mm. 1 shows a pellicle storage container 10 in a state in which the lid 12 is fitted to the container body 11, and the dimensions of the container at this time are 1350 x 1550 mm in outer shape and 120 mm in height.

이렇게 제작한 펠리클 수납 용기(10)를 Class10의 클린룸에 반입하여 계면 활성제와 순수로 잘 세정하고 완전히 건조시킨 후에 이 펠리클 수납 용기(10)에 펠리클(20)을 수납했다. 그리고, 이 수납된 펠리클(20)을 펠리클 프레임(21)의 외측면에 형성된 구멍(도시하지 않음)에 펠리클 지지핀(15a)을 삽입해서 용기 본체(11) 상에 고정하고 수송 시험을 행했다.The pellicle storage container 10 thus produced was brought into a class 10 clean room, washed well with a surfactant and pure water, and dried completely, and then the pellicle 20 was accommodated in the pellicle storage container 10 . Then, the stored pellicle 20 was fixed on the container body 11 by inserting a pellicle support pin 15a into a hole (not shown) formed in the outer surface of the pellicle frame 21, and a transport test was performed.

이 수송 시험에서는 외측 치수 1392x1146㎜, 내측 치수 1370x1124㎜, 높이 6㎜의 펠리클(20)을 이용했지만, 이 펠리클(20)은 도 3 및 도 4에 나타내는 바와 같이 알루미늄 합금제 펠리클 프레임(21)(재질 A6061 알루미늄 합금, 두께 4.8㎜, 표면 흑색 알루마이트 처리), 마스크 점착층(22) 및 펠리클막 접착층(23)(실리콘 수지), 펠리클막(24)(두께 약 2㎛의 불소 수지)으로 구성되고, 마스크 점착제(22) 표면에는 보호용 세퍼레이터(도시하지 않음)가 부착되어 있다.In this transport test, a pellicle 20 having an outer dimension of 1392x1146 mm, an inner dimension of 1370x1124 mm, and a height of 6 mm was used, but this pellicle 20 is an aluminum alloy pellicle frame 21 ( Material A6061 aluminum alloy, thickness 4.8 mm, surface black anodized treatment), mask adhesive layer 22, pellicle film adhesive layer 23 (silicone resin), pellicle film 24 (fluororesin with a thickness of about 2 μm) , a protective separator (not shown) is attached to the surface of the mask adhesive 22 .

이어서, 이 수송 시험에 대해서 구체적으로 설명한다. 우선, 펠리클(20)을 암실 내에서의 집광 램프에 의한 이물 검사를 거친 후에 상기 펠리클 수납 용기(10)에 수납하여 펠리클 고정 수단(15)에 의해 용기 본체(11) 상에 고정함과 아울러 덮개체(12)를 조심스럽게 용기 본체(11)에 감합해서 밀폐했다. 또한, 덮개체(12)와 용기 본체(11)의 둘레 가장자리부를 PVC제 점착 테이프(도시하지 않음)에 의해 부착해서 고정하고, 내부를 청정하게 클리닝한 대전 방지 PE제 대(袋)에 의해 2중으로 곤포하고, 내부에 쿠션재를 배치한 강화 판지(cardboard)제 곤포 상자(도시하지 않음)에 수납했다.Next, this transport test is demonstrated concretely. First, after the pellicle 20 is inspected for foreign matter by a condensing lamp in a dark room, it is accommodated in the pellicle storage container 10 and fixed on the container body 11 by the pellicle fixing means 15 and the cover. The sieve 12 was carefully fitted to the container body 11 and sealed. Further, the peripheral portions of the lid body 12 and the container body 11 were attached and fixed with a PVC adhesive tape (not shown), and the inside was cleaned with an antistatic PE strip that was cleaned. It packed inside and stored in the packing box (not shown) made from the reinforced cardboard which arrange|positioned the cushioning material inside.

이 펠리클 수납 용기(10)의 수송은 상기와 같은 곤포의 상태로 군마현으로부터 후쿠오카현까지 군마와 동경 사이는 트럭으로, 동경과 후쿠오카 사이는 항공기로 각각 왕복 수송을 행했다. 그 후, 펠리클 수납 용기를 클린룸에 반입하여 수납한 펠리클(20)의 상태를 검사한 바, 펠리클(20)에 손상이나 이물의 부착은 전혀 보여지지 않고 매우 청정한 상태가 유지되어 있었다.The pellicle storage container 10 was transported from Gunma Prefecture to Fukuoka Prefecture by truck between Gunma and Tokyo, and between Tokyo and Fukuoka by plane, respectively, in the state of packing as described above. After that, when the pellicle storage container was brought into the clean room and the state of the stored pellicle 20 was inspected, no damage or adhesion of foreign matter was observed on the pellicle 20, and a very clean state was maintained.

[비교예][Comparative example]

비교예에서는 도 8 및 도 9에 나타내는 펠리클 수납 용기(80)를 제작했다. 도 8은 그 사시도이며 도 9는 길이 방향에 대한 단면도이다. 이 비교예의 펠리클 수납 용기(80)는 그 외측 치수가 실시예의 것과 동일 치수이며 리브부(13)를 덮는 보강 수단(14)은 접속되어 있지 않다. 또한, 용기 본체(81)의 둘레 가장자리부에는 보강해서 강성을 향상시키기 위한 알루미늄 합금제의 보강 프레임(단면 15x30㎜)(83a, 83b)이 부착되어 있다. 이들 보강 프레임(83a, 83b)은 스테인리스강제의 접속 수단(84)을 이용해서 코너부에서 접속되어 전체적으로 프레임 형상의 보강 부재를 구성함과 아울러 용기 본체(81)와는 볼트(85)에 의해 체결되어 있다.In the comparative example, the pellicle storage container 80 shown in FIGS. 8 and 9 was produced. 8 is a perspective view thereof, and FIG. 9 is a cross-sectional view taken in the longitudinal direction. The pellicle storage container 80 of this comparative example has the same outer dimensions as those of the embodiment, and the reinforcing means 14 covering the ribs 13 is not connected. Further, on the peripheral edge of the container body 81, reinforcing frames (15x30 mm in cross section) 83a and 83b made of an aluminum alloy for reinforcing and improving rigidity are attached. These reinforcing frames 83a and 83b are connected at the corners using stainless steel connecting means 84 to constitute a frame-shaped reinforcing member as a whole, and are fastened to the container body 81 by bolts 85. have.

이 펠리클 수납 용기(80)에 대해 실시예와 동일한 조건으로 수송 시험을 행한 바, 펠리클(20)에 손상이나 이물의 부착은 보여지지 않고 청정한 상태가 유지되어 있었으므로 높은 강성을 갖는 것이 확인되었다. 한편, 실시예와 그 중량 및 비용을 비교하면 그 중량은 약 1.3배이며, 제작 비용은 약 1.5배였다.When the transport test was performed on the pellicle storage container 80 under the same conditions as in the example, no damage or adhesion of foreign matter was observed on the pellicle 20, and the clean state was maintained, so it was confirmed that it had high rigidity. On the other hand, when comparing the weight and cost of the Example, the weight was about 1.3 times, and the manufacturing cost was about 1.5 times.

이상의 결과로부터 본 발명과 같이 리브부의 외측에 리브부를 보강하는 보강 수단을 접속하면 종래의 보강 프레임과 동등 이상의 높은 강성이 얻어짐과 아울러 저비용으로 경량인 펠리클 수납 용기를 제작할 수 있는 것이 확인되었다.From the above results, it was confirmed that when a reinforcement means for reinforcing the rib portion is connected to the outside of the rib portion as in the present invention, high rigidity equivalent to or higher than that of the conventional reinforcement frame can be obtained, and a lightweight pellicle storage container can be manufactured at low cost.

10 : 펠리클 수납 용기 11 : 용기 본체
12 : 덮개체 13 : 리브부
13a : 리브 13b : 리브
13c : 리브 14a : 보강 수단
14b : 보강 수단 15 : 펠리클 지지 수단
15a : 펠리클 지지핀 15b : 핀지지 블록
16 : 굴입부 20 : 펠리클
21 : 펠리클 프레임 22 : 마스크 점착층
23 : 펠리클막 접착층 24 : 펠리클막
61 : 보강 수단 71 : 보강 수단
80 : 펠리클 수납 용기 81 : 펠리클 수납 용기 본체
82 : 덮개체 83a : 보강 프레임
83b : 보강 프레임 84 : 접속 수단
85 : 볼트10: pellicle storage container 11: container body
12: cover body 13: rib part
13a: rib 13b: rib
13c: rib 14a: reinforcement means
14b: reinforcement means 15: pellicle support means
15a: pellicle support pin 15b: pin support block
16: hole 20: pellicle
21: pellicle frame 22: mask adhesive layer
23: pellicle film adhesive layer 24: pellicle film
61: reinforcement means 71: reinforcement means
80: pellicle storage container 81: pellicle storage container body
82: cover body 83a: reinforcement frame
83b: reinforcing frame 84: connecting means
85: volt

Claims (7)

적어도 하나의 변 길이가 500㎜ 이상인 펠리클을 적재하는 용기 본체와, 상기 용기 본체와 둘레 가장자리부에서 감합 록킹되는 덮개체를 포함하는 펠리클 수납 용기에 있어서,
상기 용기 본체는,
상기 펠리클이 재치되는 측의 반대측으로부터 보아서 오목 형상이 되고, 펠리클이 재치되는 직사각형 프레임 형상의 리브부와,
상기 직사각형 프레임 형상의 리브부의 프레임 내에 설치되어, 상기 직사각형 프레임 형상의 리브부와 접속한 부위와 이간한 부위를 가지며, 상기 펠리클이 재치되는 측의 반대측에서 볼 때, 오목 형상이 되는 리브부를 가짐과 아울러,
상기 직사각형 프레임 형상의 리브부와 상기 프레임 내에 설치되어 있는 리브부가 접속되어 있는 부위에서의 상기 리브부의 오목 형상의 개방부를 덮도록 리브부를 보강하는 보강 수단이 접속되어 있고,
상기 보강 수단에 의해 덮여 있는 상기 리브부의 오목 형상의 내부는 빈 공간인 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기.A pellicle storage container comprising: a container body for loading a pellicle having at least one side length of 500 mm or more;
The container body,
a rib portion having a concave shape as viewed from the side opposite to the side on which the pellicle is placed and having a rectangular frame shape on which the pellicle is placed;
It is provided in the frame of the rib portion of the rectangular frame shape, has a portion connected to and separated from the rib portion of the rectangular frame shape, and has a rib portion that has a concave shape when viewed from the side opposite to the side on which the pellicle is placed; together,
Reinforcing means for reinforcing the rib portion are connected so as to cover the concave opening portion of the rib portion at a portion where the rib portion of the rectangular frame shape and the rib portion provided in the frame are connected,
The inside of the concave shape of the rib part covered by the reinforcing means is a pellicle storage container, characterized in that it is an empty space. 제 1 항에 있어서,
상기 프레임 내에 설치되어 있는 리브부의 높이가 상기 직사각형 프레임 형상의 리브부의 높이보다 낮게 설정되는 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기.The method of claim 1,
A pellicle storage container, characterized in that the height of the rib portion provided in the frame is set lower than the height of the rib portion of the rectangular frame shape. 제 1 항에 있어서,
상기 보강 수단은 그 형상이 상기 리브부의 오목 형상의 개방부를 덮도록 접속되는 평판 형상인 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기.The method of claim 1,
The reinforcing means is a pellicle storage container, characterized in that the shape is a flat plate connected so as to cover the concave opening of the rib portion. 제 1 항에 있어서,
상기 보강 수단은 그 형상이 C자형의 단면 형상이며 상기 리브부 내에 끼워넣어져 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기.The method of claim 1,
The reinforcing means has a C-shaped cross-sectional shape and is fitted and connected to the rib portion. 제 1 항에 있어서,
상기 보강 수단은 그 형상이 L자형의 단면 형상이며 상기 리브부 내에 그 일부가 꽂아넣어져 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기.The method of claim 1,
The reinforcing means has an L-shaped cross-sectional shape, and a part of the reinforcing means is inserted into and connected to the rib portion. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 기재된 펠리클 수납 용기에 적어도 하나의 변 길이가 500㎜ 이상인 펠리클을 수납한 것을 특징으로 하는 수납 구조물.A storage structure in which at least one pellicle having a side length of 500 mm or more is stored in the pellicle storage container according to any one of claims 1 to 5. 제 6 항에 기재된 수납 구조물에서 펠리클을 꺼내는 것을 특징으로 하는 펠리클 인출 방법.
A method of taking out a pellicle, characterized in that the pellicle is taken out from the storage structure according to claim 6 .
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