JP2012046239A - Corner clip for pellicle container case - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a corner clip for a pellicle container case that can minimize abrasion powder.SOLUTION: The corner clip used for a pellicle container case is composed of a tray on which pellicle is laid and a cover which engages with the tray to cover the pellicle. The corner clip is made of a resin having a durometer hardness of from D58 to D64.

Description

本発明は摩擦による磨耗粉の発生を抑止することのできる収納ケースに関し、特に、半導体製造におけるフォトリソグラフィー工程で使用するレチクル又はフォトマスク防塵用のペリクルを収納するための、収納ケース用コーナークリップに関する。   The present invention relates to a storage case that can suppress the generation of wear powder due to friction, and more particularly to a corner clip for a storage case for storing a reticle or photomask dust-proof pellicle used in a photolithography process in semiconductor manufacturing. .

近年、半導体装置における高密度化及び高集積化の要求に伴い、フォトリソグラフィー工程におけるパターンの微細化が進行した。これにともなって、フォトマスク上に付着した微細な異物でも転写パターンの欠陥になるようになったため、このフォトマスクヘの異物の付着を防止するために、フォトマスクにペリクルを装着することが現在では不可欠となっている。   In recent years, with the demand for higher density and higher integration in semiconductor devices, pattern miniaturization has progressed in the photolithography process. As a result, even fine foreign matter adhering to the photomask has become defective in the transfer pattern, so it is currently possible to attach a pellicle to the photomask to prevent the foreign matter from adhering to the photomask. It is indispensable.

このペリクルは、ペリクル膜となる透明薄膜を金属フレームの片面に張設したものであるが、これをフォトマスクに装着すると透明薄膜とフォトマスク面の距離だけ露光時の焦点がずれることになるので、透明薄膜上には比較的大きな異物の付着まで許容される。   In this pellicle, a transparent thin film that becomes a pellicle film is stretched on one side of a metal frame. When this pellicle is attached to a photomask, the focal point during exposure is shifted by the distance between the transparent thin film and the photomask surface. Even a relatively large foreign matter is allowed to adhere to the transparent thin film.

しかしながら、ペリクルの製造時又は搬送時に、ペリクル膜又は金属フレーム内部に異物が付着すると、使用中に異物がフォトマスク上に落下する可能性があり、これが半導体チップの不良を招く原因となるため、ペリクルの搬送は、ペリクルの清浄度を保つように設計されたプラスチック製のケースに収納して行なわれるのが一般的である。   However, if foreign matter adheres to the inside of the pellicle film or metal frame during manufacture or transportation of the pellicle, the foreign matter may fall on the photomask during use, which causes a semiconductor chip failure. The pellicle is generally transported by being housed in a plastic case designed to keep the pellicle clean.

図１は公知のペリクル収納ケースを示す図である。図示されているように、ペリクル4をトレイ2の上に置き、その上からペリクル4にかぶせるようにカバー3を置いて、カバー3でペリクル4の上肩部を固定する(特許文献１)。しかしながらこのままではトレイ2とカバー3の固定ができないので、コーナークリップ5を用いてこれらを固定することが行われている。   FIG. 1 is a view showing a known pellicle storage case. As shown in the drawing, the pellicle 4 is placed on the tray 2, the cover 3 is placed so as to cover the pellicle 4 from above, and the upper shoulder of the pellicle 4 is fixed by the cover 3 (Patent Document 1). However, since the tray 2 and the cover 3 cannot be fixed as they are, the corner clips 5 are used to fix them.

図２は公知のコーナークリップである。このコーナークリップには、図示されているようにペリクルトレイ2とカバー3を嵌合させた状態のペリクル収納ケース1における四隅の角部を挿入する貫通穴5hが開けられており、貫通穴5h内部には、押圧部5lや、カバー周縁リブ3uに引っ掛ける構造を有する突起状の係止部5uが設けられている（特許文献２）。   FIG. 2 is a known corner clip. The corner clip has through holes 5h for inserting the corners of the four corners of the pellicle storage case 1 with the pellicle tray 2 and the cover 3 fitted as shown in the figure. Is provided with a protruding portion 5u having a structure to be hooked on the pressing portion 5l or the cover peripheral rib 3u (Patent Document 2).

コーナークリップ5を嵌めるには、収納ケース１の抵抗力に対応する必要があるため、その材料としては、ペリクル収納ケースに使用される材料である、ＡＢＳ樹脂、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリプロピレン等の樹脂類よりも、弾性のある材料が採用されている。そのため、コーナークリップ5をペリクル収納ケース1に嵌める際に、コーナークリップ5の押圧部5l、係止部5uとペリクル収納ケース1の間で摩擦が生じ、磨耗粉が発生するという問題がある。   In order to fit the corner clip 5, it is necessary to cope with the resistance force of the storage case 1. As the material, ABS resin, acrylic resin, polycarbonate resin, polyethylene, polystyrene, which are materials used for the pellicle storage case, are used. A material that is more elastic than resins such as polypropylene is used. Therefore, when the corner clip 5 is fitted into the pellicle storage case 1, there is a problem that friction occurs between the pressing portion 5l and the locking portion 5u of the corner clip 5 and the pellicle storage case 1, and wear powder is generated.

実開平１-１２０１４８号公報Japanese Utility Model Publication No. 1-120148 実用新案第３０４２６９６号公報Utility Model No. 3042696

本発明者は、上記の課題を解決すべく鋭意検討した結果、コーナークリップ5の材料として、デュロメータ硬度がD58〜D64である樹脂を使用することにより、ペリクル収納ケース1にコーナークリップ5を嵌める際の摩擦による磨耗粉の発生を抑止することができることを見出し、本発明に到達した。
したがって本発明の目的は、ペリクル収納ケース1にコーナークリップ5を嵌める際の摩擦による磨耗粉の発生を抑止することができる、コーナークリップを提供することにある。 As a result of intensive studies to solve the above problems, the present inventor has used a resin having a durometer hardness of D58 to D64 as a material for the corner clip 5 to fit the corner clip 5 into the pellicle storage case 1. The present inventors have found that the generation of wear powder due to the friction of can be suppressed, and reached the present invention.
Accordingly, an object of the present invention is to provide a corner clip that can suppress the generation of wear powder due to friction when the corner clip 5 is fitted to the pellicle storage case 1.

すなわち本発明は、ペリクルを載置するトレイと、ペリクルを覆うように前記トレイと嵌合するカバーとで構成されるペリクル収納ケースに用いるコーナークリップであって、該コーナークリップの素材が、デュロメータ硬度がD58〜D64の樹脂であることを特徴とするペリクル収納ケース用コーナークリップである。
本発明においては、特に成形容易性の観点からウレタン樹脂又はポリエチレンが好ましいが、特に高密度ポリエチレンを使用することが好ましい。 That is, the present invention is a corner clip used in a pellicle storage case including a tray on which a pellicle is placed and a cover that fits the tray so as to cover the pellicle, and the material of the corner clip has a durometer hardness Is a corner clip for a pellicle storage case, characterized in that is a resin of D58 to D64.
In the present invention, urethane resin or polyethylene is particularly preferable from the viewpoint of ease of molding, but high-density polyethylene is particularly preferable.

ペリクルを載置するトレイとペリクルを覆うようにトレイと嵌合するカバーで構成されるペリクル収納ケースに本発明のコーナークリップを使用した場合には、コーナークリップとペリクル収納ケースとの間の摩擦による磨耗粉の発生を抑止することができる。   When the corner clip of the present invention is used in a pellicle storage case composed of a tray on which the pellicle is placed and a cover that fits the tray so as to cover the pellicle, the friction between the corner clip and the pellicle storage case Generation of wear powder can be suppressed.

ペリクル収納ケースにコーナークリップを使用した状態を説明する図であり、Ａ図は平面図、Ｂ図は側面図、Ｃ図はＡ−Ａ断面図である。It is a figure explaining the state which uses the corner clip for the pellicle storage case, A figure is a top view, B figure is a side view, C figure is AA sectional drawing. ペリクル収納ケース用コーナークリップの構造を説明する図である。It is a figure explaining the structure of the corner clip for pellicle storage cases.

図1はペリクル収納ケースの使用状態を説明する図である。図中の符号1はペリクル収納ケース、２はトレイ、２lはトレイ周縁裏面、３はカバー、３uはカバー周縁リブ、４はペリクル、５はクリップ、５aは内側開口部、５bは外側開口部、５hは貫通穴、５oは外側リブ、５iは内側リブ、５uは係止部、５lは押圧部である。   FIG. 1 is a diagram for explaining a usage state of a pellicle storage case. Reference numeral 1 in the figure is a pellicle storage case, 2 is a tray, 2l is a tray peripheral back surface, 3 is a cover, 3u is a cover peripheral rib, 4 is a pellicle, 5 is a clip, 5a is an inner opening, 5b is an outer opening, 5h is a through hole, 5o is an outer rib, 5i is an inner rib, 5u is a locking portion, and 5l is a pressing portion.

図１から明らかなように、ペリクル収納ケースは、トレイ２にペリクル４を載置した後、カバー３をペリクル４に覆い被せ、トレイ２の接続部とカバー３の接続部を互いに嵌合させて使用するケースである。この時、内部に収容されたペリクル４が動かないように、カバー３でペリクル４の上肩部を固定する（Ｃ図）。   As is clear from FIG. 1, the pellicle storage case is formed by placing the pellicle 4 on the tray 2, covering the cover 3 with the pellicle 4, and fitting the connection portion of the tray 2 and the connection portion of the cover 3 to each other. This is the case to use. At this time, the upper shoulder of the pellicle 4 is fixed by the cover 3 so that the pellicle 4 accommodated therein does not move (FIG. C).

本発明のペリクル収納ケース用コーナークリップ５は、ペリクル４を収納したケースが、その移動中に意図に反して開くことがないようにロックするためのクリップであり、このクリップを、Ａ図に示したようにケースの四隅に装着することによって、収納ケースへのペリクルの収納を完了する。   The corner clip 5 for the pellicle storage case of the present invention is a clip for locking the case storing the pellicle 4 so that it does not open unintentionally during its movement. This clip is shown in FIG. As described above, the pellicle is completely stored in the storage case by attaching it to the four corners of the case.

図２に示されているように、コーナークリップには、トレイ２とカバーを嵌合させたペリクル収納ケースの角部を挿入することのできる貫通穴５hが設けられている。また、その内側上部には、カバー周縁リブ３uに系止させてコーナークリップ５が外れないようにするための係止部５uが設けられ、その内側下部には、トレイ周縁裏面２lを押し付けて、ズレを防止するための押圧部５lが設けられている。   As shown in FIG. 2, the corner clip is provided with a through hole 5 h into which a corner portion of a pellicle storage case in which the tray 2 and the cover are fitted can be inserted. Further, a locking portion 5u is provided at the inner upper portion so as to prevent the corner clip 5 from coming off by being secured to the cover peripheral rib 3u, and the tray peripheral back surface 21 is pressed against the inner lower portion, A pressing portion 5l is provided for preventing displacement.

本発明のコーナークリップには、デュロメータ硬度がD52以上の樹脂材料を使用する。このような樹脂材料は適度な弾性を有するので、これにより、コーナークリップ５を手で変形させてペリクル収納ケース1に嵌めることが可能となり、コーナークリップと収納ケースとの間の摩擦を低減することができるので、摩耗粉の発生が抑制される。本発明においては、射出成型の成形性が良いという観点から、特に、ポリエチレン又はポリウレタン樹脂を使用することが好ましい。   The corner clip of the present invention uses a resin material having a durometer hardness of D52 or more. Since such a resin material has an appropriate elasticity, it is possible to deform the corner clip 5 by hand and fit it in the pellicle storage case 1, thereby reducing friction between the corner clip and the storage case. Therefore, the generation of wear powder is suppressed. In the present invention, it is particularly preferable to use polyethylene or polyurethane resin from the viewpoint of good moldability of injection molding.

本発明のコーナークリップに使用する材料の硬さは、軟らかければペリクル収納ケースに嵌めやすいという利点がある一方、クリップ表面が擦れて磨耗粉を発生しやすいという問題があるため、磨耗粉の発生を抑止するために、本発明ではデュロメータ硬度がD58以上の樹脂材料を使用する。一方、硬すぎた場合には、ペリクルケースにダメージを与えてしまいペリクルケースから磨耗粉を発生するという問題があるため、D64以下の樹脂材料を使用する。これは、密度で表現すると、0.94g/cm3〜0.95g/cm3の樹脂材料を使用することが好ましいこととほぼ同等である。
以下、本発明を実施例及び比較例によって更に詳細に説明するが、本発明はこれらによって限定されるものではない。 The hardness of the material used for the corner clip of the present invention has an advantage that it is easy to fit in the pellicle storage case if it is soft, but there is a problem that the clip surface is rubbed and easily generates wear powder. In order to prevent this, a resin material having a durometer hardness of D58 or higher is used in the present invention. On the other hand, if it is too hard, the pellicle case is damaged and wear powder is generated from the pellicle case. Therefore, a resin material of D64 or less is used. This is expressed by the density, is substantially equivalent to that it is preferable to use a resin material of 0.94g / cm 3 ~0.95g / cm 3 .
EXAMPLES Hereinafter, although an Example and a comparative example demonstrate this invention further in detail, this invention is not limited by these.

実施例１，２及び比較例１，２
本実験に用いたペリクル収納ケースは図1に示したものと同じであり、ペリクル４を載置するトレイ２と、トレイ２を覆うようにトレイ２と嵌合するカバー３、及び、前記トレイ２とカバー３を嵌合させた状態の、ペリクル収納ケース１における四隅の角部を挿入する貫通穴５hが開けられたコーナークリップ５によって構成した。 Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2
The pellicle storage case used in this experiment is the same as that shown in FIG. 1, the tray 2 on which the pellicle 4 is placed, the cover 3 that fits the tray 2 so as to cover the tray 2, and the tray 2 The corner clip 5 is formed with through holes 5h into which the corners of the four corners of the pellicle storage case 1 are inserted in a state where the cover 3 is fitted.

本実験に用いたコーナークリップは図２に示したものと同じであり、トレイ２とカバー３を嵌合させた状態の、ペリクル収納ケースにおける四隅の角部を挿入する貫通穴５h、その内側上部にカバー３の周縁リブ３uに系止させてコーナークリップ５が外れないようにするための係止部５uを有すると共に、その内側下部にトレイ２の周縁裏面２lを押し付けて、ズレを防止するための押圧部５lが設けられているものを使用した。   The corner clip used in this experiment is the same as that shown in FIG. 2, and the through hole 5h for inserting the corners of the four corners of the pellicle storage case with the tray 2 and the cover 3 fitted together, the inner upper part thereof In order to prevent the slippage by pressing the peripheral back surface 2l of the tray 2 against the inner lower portion of the cover 3 and locking the peripheral clip 3u to the peripheral rib 3u of the cover 3 to prevent the corner clip 5 from coming off. The one provided with the pressing portion 5l was used.

トレイ２、カバー３、及びクリップ５は、共に射出成型により製造し、材質としては、それぞれＡＢＳ系帯電防止樹脂、ＰＭＭＡ系帯電防止樹脂、又はポリエチレン樹脂を使用した。   The tray 2, the cover 3, and the clip 5 were all manufactured by injection molding, and ABS-based antistatic resin, PMMA-based antistatic resin, or polyethylene resin was used as a material, respectively.

コーナークリップに用いたポリエチレン樹脂としては、デュロメータ硬度が、それぞれ、D46、D52、D58、D64、D70、D78（密度0.92、0.93、0.94、0.95、0.96、0.97g/cm3）の６種類の樹脂を準備してテストした。 The polyethylene resin used for the corner clip has six types of durometer hardness: D46, D52, D58, D64, D70, D78 (density 0.92, 0.93, 0.94, 0.95, 0.96, 0.97 g / cm 3 ). Prepared and tested.

実験は、まずサイズが149×122×6.3mmのペリクル用トレイ２、カバー３、及びコーナークリップ５を、クラス1000のクリーンルームに入れ、界面活性剤、純水にて超音波洗浄を行い、その後、クラス1のクリーンルーム中でペリクル４をトレイ２に載置した後、カバー３を被せ、コーナークリップ５を嵌めてペリクル４を収納させた。次いで、クリーン手袋をした手でコーナークリップ５を外したり嵌めたりする作業を１０回繰り返し、暗室で、300ルクスの集光ランプをカバー３とトレイ２に照射しながら、付着した異物の数を目視で計測した。その結果は表1に示した通りである。   In the experiment, the pellicle tray 2, the cover 3 and the corner clip 5 having a size of 149 × 122 × 6.3 mm were first placed in a class 1000 clean room, and ultrasonically cleaned with a surfactant and pure water. After the pellicle 4 was placed on the tray 2 in a class 1 clean room, the cover 3 was put on and the corner clip 5 was fitted to accommodate the pellicle 4. Next, the work of removing and fitting the corner clip 5 with hands wearing clean gloves was repeated 10 times, and the number of adhered foreign matters was visually observed while irradiating the cover 3 and the tray 2 with a 300 lux condensing lamp in a dark room. Measured with. The results are as shown in Table 1.

Figure 2012046239
Figure 2012046239

デュロメータ硬度がD52以下である、比較例1及び２のコーナークリップ５の場合には、クリップ材料が軟らかいため、係止部５uとカバー周縁リブ３uとの摩擦、及び押圧部５lとカバー周縁裏面２lとの摩擦により、クリップ磨耗粉の発生が確認された。一方、デュロメータ硬度がD64を超える、比較例3及び4のコーナークリップ５の場合には、クリップ材料が硬いため、係止部５uとカバー周縁リブ３uとの摩擦、及び押圧部５lとカバー周縁裏面２lとの摩擦により、ケースの磨耗粉の発生が確認された。これに対し、デュロメータ硬度がD58以上D64以下である本発明のコーナークリップ５の場合には、材料が適度に硬いため、磨耗粉の発生が確認されなかった。   In the case of the corner clip 5 of Comparative Examples 1 and 2 in which the durometer hardness is D52 or less, since the clip material is soft, the friction between the locking portion 5u and the cover peripheral rib 3u, and the pressing portion 5l and the cover peripheral back surface 2l. The generation of clip wear powder was confirmed due to friction. On the other hand, in the case of the corner clip 5 of Comparative Examples 3 and 4 in which the durometer hardness exceeds D64, since the clip material is hard, the friction between the locking portion 5u and the cover peripheral rib 3u, and the pressing portion 5l and the cover peripheral back surface Generation of abrasion powder in the case due to friction with 2 l was confirmed. On the other hand, in the case of the corner clip 5 of the present invention having a durometer hardness of D58 or more and D64 or less, since the material is moderately hard, generation of wear powder was not confirmed.

本発明のコーナークリップを使用することにより、コーナークリップをペリクル収納ケースに嵌める際に生じる磨耗粉の発生を抑制することができるので、本発明は特にフォトリソグラフィーの分野において有用である。   By using the corner clip of the present invention, it is possible to suppress the generation of wear powder generated when the corner clip is fitted into the pellicle storage case, and thus the present invention is particularly useful in the field of photolithography.

1・・・ペリクル収納ケース
2・・・トレイ
2l・・トレイ周縁裏面
3・・・カバー
3u・・カバー周縁リブ
4・・・ペリクル
5・・・クリップ
5a・・内側開口部
5b・・外側開口部
5h・・貫通穴
5o・・外側リブ
5i・・内側リブ
5u・・係止部
5l・・押圧部 1 ... Pellicle storage case
2 ... Tray
2l ... Tray peripheral back
3 ... Cover
3u ・ ・ Cover edge rib
4 ... Pellicle
5 ... Clip
5a ... Inside opening
5b ・ ・ Outside opening
5h ・ ・ Through hole
5o ・ ・ Outside rib
5i ・ ・ Inner rib
5u ・ ・ Locking part
5l ・ ・ Pressing part

Claims (3)

ペリクルを載置するトレイと、ペリクルを覆うように前記トレイと嵌合するカバーとで構成されるペリクル収納ケースに用いるコーナークリップであって、該コーナークリップの素材が、デュロメータ硬度がD58〜D64の樹脂であることを特徴とするペリクル収納ケース用コーナークリップ。 A corner clip used in a pellicle storage case that includes a tray on which a pellicle is placed and a cover that fits the tray so as to cover the pellicle, and the material of the corner clip has a durometer hardness of D58 to D64 Corner clip for pellicle storage case, which is made of resin. 前記樹脂が、ウレタン樹脂又はポリエチレンである、請求項1に記載されたペリクル収納ケース用コーナークリップ。 2. The corner clip for a pellicle storage case according to claim 1, wherein the resin is urethane resin or polyethylene. 前記樹脂が高密度ポリエチレンである、請求項1に記載されたペリクル収納ケース用コーナークリップ。 The corner clip for a pellicle storage case according to claim 1, wherein the resin is high-density polyethylene.
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5684752B2 (en) * 2012-03-29 2015-03-18 信越化学工業株式会社 Pellicle storage container
KR200473341Y1 (en) * 2012-08-09 2014-07-04 주식회사 에프에스티 Keeping case for pellicle container
KR102460875B1 (en) * 2014-04-17 2022-10-31 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 Pellicle container
US9758288B2 (en) * 2014-11-21 2017-09-12 Michael Bornstein System and method for encapsulating a comic book
JP6494111B2 (en) * 2015-11-09 2019-04-03 信越化学工業株式会社 Pellicle storage container packaging structure and packaging method thereof

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007128030A (en) * 2005-10-07 2007-05-24 Shin Etsu Polymer Co Ltd Pellicle storing container

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56140978U (en) * 1980-03-25 1981-10-24
DE8218184U1 (en) * 1982-06-25 1982-11-04 Basf Ag, 6700 Ludwigshafen TAPE CASSETTE AND SPRING ELEMENT FOR THIS
JPH0756237Y2 (en) * 1989-08-31 1995-12-25 三菱マテリアル株式会社 Precious metal composite plate
JP3200776B2 (en) * 1992-08-06 2001-08-20 大日本印刷株式会社 PCB holding case
JP3042696U (en) * 1997-02-03 1997-10-31 旭化成電子株式会社 Corner clip for storage case and storage case
JP4391435B2 (en) * 2005-03-22 2009-12-24 信越化学工業株式会社 Pellicle storage container
JP5202557B2 (en) * 2010-03-05 2013-06-05 信越化学工業株式会社 Pellicle handling jig

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007128030A (en) * 2005-10-07 2007-05-24 Shin Etsu Polymer Co Ltd Pellicle storing container

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