KR101450683B1 - Pellicle container - Google Patents

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KR101450683B1
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카즈토시 세키하라
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신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤
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Abstract

본 발명은 시트재를 성형한 것이면서 다른 보강체를 사용하지 않더라고 보관, 수송 중의 외력에 견디고, 내부에 수납된 펠리클로의 이물 부착을 방지하는 충분한 강성을 갖는 경량 또한 저비용의 펠리클 수납 용기를 제공하는 것을 과제로 한다.The present invention relates to a pellicle storage container which is formed by molding a sheet material and which does not use any other reinforcing member but which is resistant to external force during storage and transportation and which has sufficient rigidity to prevent foreign matter from adhering to the pellicle stored therein, And the like.

이를 위해 용기 본체 및 덮개체는 수지의 시트재를 성형한 것이며, 그 외주 장변과 외주 단변의 접속부는 평면 방향으로 본 경우에 장변과 이루는 각도가 30°이상 60°미만이며, 또한, 길이 50㎜ 이상의 직선 형상 또는 반경 40㎜ 이상의 원호 형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 한다. 또한, 용기 본체의 서로 평행한 2변이 측면 방향에서 본 경우에 외주부가 적어도 2단의 입면을 갖는 형상으로 형성되어 있는 것도 좋다.For this purpose, the container body and the lid body are formed of a sheet material made of a resin, and the angle between the outer circumferential side and the outer circumferential short side of the container body and the lid body is 30 ° or more and less than 60 °, Or an arc shape having a radius of 40 mm or more. Further, in the case where two mutually parallel sides of the container main body are viewed from the side direction, the outer peripheral portion may be formed into a shape having at least two elevation surfaces.

펠리클 수납 용기 Pellicle storage container

Description

펠리클 수납 용기{PELLICLE CONTAINER}[0001] PELLICLE CONTAINER [0002]

본 발명은 반도체 디바이스, 프린트 기판 또는 액정 디스플레이 등을 제조할 때의 먼지 막이로서 사용되는 리소그래피용 펠리클을 수납, 보관, 수송하는 펠리클 수납 용기에 관한 것이다.The present invention relates to a pellicle storage container for storing, storing, and transporting a lithographic pellicle used as a dust film in manufacturing a semiconductor device, a printed substrate, a liquid crystal display or the like.

LSI, 초LSI 등의 반도체 제조 또는 액정 디스플레이 등의 제조에 있어서는 반도체 웨이퍼 또는 액정용 원판에 광을 조사해서 패턴을 제작하지만 이 때에 사용하는 포토마스크 또는 레티클(이하, 짧게 포토마스크라고 함)에 먼지가 부착되어 있으면 이 먼지가 광을 흡수하거나 광을 구부려 버리기 때문에 전사된 패턴이 변형되거나 에지가 덜렁거리는 것으로 되는 이외에 하지가 검게 더러워지거나 하는 등, 치수, 품질, 외관 등이 손상된다는 문제가 있었다.In the manufacture of semiconductors, such as LSI and super LSI, or the manufacture of liquid crystal displays and the like, a semiconductor wafer or a liquid crystal disk is irradiated with light to produce a pattern. A photomask or a reticle (hereinafter referred to as a short photomask) The dust absorbs light or curves the light, so that the transferred pattern is deformed or the edge becomes dull, and the legs become dirty and the size, quality, and appearance are damaged.

이 때문에 이들 작업은 통상 클린룸에서 행해지고 있지만 그래도 포토마스크를 항상 청정하게 유지하는 것이 어렵다. 그래서, 포토마스크 표면에 먼지 막이로서 펠리클을 부착한 후에 노광을 행하고 있다. 이 경우, 이물은 포토마스크의 표면에는 직접 부착되지 않고, 펠리클 상에 부착되기 때문에 리소그래피시에 초점을 포토마스크의 패턴 상에 맞춰 두면 펠리클 상의 이물은 전사에 무관계하게 된다.For this reason, these operations are usually performed in a clean room, but it is difficult to always keep the photomask clean. Thus, the pellicle is attached to the surface of the photomask as a dust film, followed by exposure. In this case, the foreign matter does not directly adhere to the surface of the photomask but attaches to the pellicle, so that when the focus is adjusted on the pattern of the photomask during lithography, the foreign matter on the pellicle becomes irrelevant to the transfer.

일반적으로 펠리클은 광을 잘 투과시키는 니트로셀룰로오스, 초산 셀룰로오스 또는 불소 수지 등으로 이루어지는 투명한 펠리클막을 알루미늄, 스테인레스, 폴리에틸렌 등으로 이루어지는 펠리클 프레임의 상단면에 부착 내지 접착한다. 또한, 펠리클 프레임의 하단에는 포토마스크에 장착하기 위한 폴리부덴 수지, 폴리초산 비닐 수지, 아크릴 수지 등으로 이루어지는 점착층 및 점착층의 보호를 목적으로 한 이형층(세퍼레이터)이 형성된다.Generally, a transparent pellicle film made of nitrocellulose, cellulose acetate, fluorocarbon resin, or the like, which transmits light well, is attached or adhered to the upper surface of a pellicle frame made of aluminum, stainless steel, polyethylene or the like. At the lower end of the pellicle frame, a pressure-sensitive adhesive layer composed of a polybutene resin, a polyvinyl acetate resin, an acrylic resin or the like and a release layer (separator) for protecting the pressure-sensitive adhesive layer are formed.

그러나, 펠리클은 마스크에 부착한 후에는 이들이 형성하는 폐쇄 공간의 외부로부터 내부로의 이물 침입 저지 효과는 있지만 펠리클 자체에 이물이 부착되고, 또한 그것이 폐쇄 공간의 내부에 있는 경우에는 포토마스크로의 이물 부착을 방지하는 것은 곤란하다. 그 때문에 펠리클 자체에 높은 청정성이 요구되는 것은 물론, 보관, 수송에 사용하는 펠리클 수납 용기에도 그 청정성을 유지할 수 있는 성능이 강하게 요구된다. 구체적으로는 대전 방지 성능이 우수하여 마찰되었을 때에도 발진이 적은 재질, 펠리클 및 구성 부품간의 접촉을 최대한 방지하는 구조, 외력이 가해졌을 때의 변형을 방지할 수 있는 강성이 높은 구조라는 점이 요구된다.However, after the pellicle is attached to the mask, foreign matter is prevented from entering the inside from the outside of the closed space formed by the pellicle, but if the pellicle is attached to the inside of the closed space, It is difficult to prevent adhesion. Therefore, not only pellicle itself is required to have high cleanliness, but also a pellicle storage container used for storage and transportation is strongly required to maintain its cleanliness. Concretely, it is required that it has a structure which has excellent antistatic performance and which prevents contact between the material, pellicle and constituent parts which are less in oscillation even when rubbed, and a structure with high rigidity that can prevent deformation when an external force is applied.

펠리클 수납 용기는 통상, ABS, 아크릴 등의 수지를 사출 성형 또는 진공 성형함으로써 제조된다. 이들 성형 방법이 이용되는 것은 표면이 평활하여 이물의 부착이나 발진의 우려가 적은 것, 일체 성형이기 때문에 이음매가 없어 발진이나 이물 침입의 우려가 적은 것, 복잡한 형상인 것도 용이하게 제조할 수 있는 것, 양산성이 우수하여 저비용화가 가능한 것이라는 메리트가 있기 때문이다.The pellicle storage container is usually manufactured by injection molding or vacuum molding a resin such as ABS or acrylic. These molding methods are used because they have a smooth surface and are less susceptible to adhesion or oscillation of foreign matter. They are integrally molded, so there are no joints and there is less risk of occurrence of rashes or foreign matter penetration. , Which is advantageous in that it is excellent in mass productivity and can be reduced in cost.

반도체용이나 프린트 기판용의 펠리클의 수납 용기는 외형의 변 길이가 대체 로 200~300㎜ 전후이며, 이들은 통상, 사출 성형을 이용해서 제조된다. 상기한 바와 같이, 펠리클 수납 용기의 청정성을 유지하기 위해서 외력이 가해졌을 때에도 변형되기 어려운 고강성이 요구되지만 이들 변 길이가 200~300㎜인 펠리클 수납 용기에 있어서는 강성이 문제가 되는 일은 적다. 원래, 소형이며 강성을 확보하기 쉬운 것에 추가해서 사출 성형에서는 두께를 국소적으로 바꾸는 것이 용이하며, 요소에 두께가 있는 보강을 추가할 수 있기 때문이다.The pellicle storage containers for semiconductors and printed boards are generally 200 to 300 mm in side lengths, and these are usually manufactured using injection molding. As described above, in order to maintain the cleanliness of the pellicle storage container, it is required to have high rigidity that is not easily deformed even when an external force is applied. However, the stiffness of the pellicle storage container having the side lengths of 200 to 300 mm is rarely a problem. In addition to being small in size and easy to assure rigidity, it is easy to locally change the thickness in injection molding, and it is possible to add thick reinforcement to the element.

한편, 주로 액정용 펠리클에 사용되는 변 길이가 500㎜를 초과하는 대형의 펠리클 수납 용기는 일반적으로 ABS, 아크릴 등의 합성 수지 시트를 진공 성형한 것이 사용된다. 이것은 1개소 또는 수개소의 게이트로부터 금형 내에 수지를 고속 주입하는 사출 성형에서는 수지가 흐르는 거리가 너무 길기 때문에 제법적으로 곤란하기 때문이다. On the other hand, a large-sized pellicle storage container mainly used for a liquid crystal pellicle having a side length exceeding 500 mm is generally formed by vacuum-forming a synthetic resin sheet such as ABS or acrylic. This is because, in the injection molding in which the resin is injected at a high speed into the mold from one or several gates, it is difficult to formulate the resin because the distance over which the resin flows is too long.

진공 성형은 금형으로 가열한 수지 시트를 씌워서 진공 처리하는 것만으로 대형품도 용이하게 성형이 가능하다. 그러나, 진공 성형의 경우, 두께가 두꺼운 것을 성형할 수 없는 것, 리브인 정도의 보강은 할 수 있지만 기본적으로 동일한 판두께의 시트를 구부리는 것뿐이므로 고강성의 것을 만들기 어렵다는 문제가 있다.Vacuum molding can be easily accomplished by covering a resin sheet heated with a mold and performing vacuum processing. However, in the case of vacuum forming, there is a problem in that it is difficult to form a sheet having a high thickness because it can only be formed by bending a thick sheet,

이러한 리브의 예는 용기 본체에 대해서는 예를 들면, 특허문헌1 등에 예시되어 있다. Examples of such ribs are exemplified in, for example, Patent Document 1 for the container main body.

종래 이용되어 온 보강용 리브는 도 4에 나타내는 바와 같은 기본적으로 외형의 대각선(44a, 44b)을 따라 설치된 X자형의 것이 주로 채용되어 왔다. 그러나, 이 서로 교차하는 X자형의 리브에서는 그 교차부(연속부)(49)가 존재함으로써 예 기(預期)에 반해서 비틀어짐 방향의 강성이 극도로 저하되고, 도 5에 나타내는 바와 같이, 어느 한쪽의 대각선을 따라 트레이가 비틀어져 대정점(對頂点)이 가까워지도록 구부러져 버린다.The reinforcing ribs that have been conventionally used are basically of the X-shape provided along the diagonal lines 44a and 44b as shown in Fig. However, in the X-shaped ribs intersecting with each other, the presence of the intersection (continuous portion) 49 extremely lowers the rigidity in the direction of twisting opposite to the preliminary stage, and as shown in Fig. 5 The tray is twisted along one diagonal line and bent so that the vertex is near.

진공 성형법에 의해 제작된 이러한 리브는 본래적으로 리브의 종방향의 면에 의해 강성을 확보하는 것이지만 리브가 서로 교차하거나 접속(가지 분리)된 경우에는 그 교차(접속)된 다른 리브에 의해 이 종방향의 면이 절단되어 버리기 때문에 이 종방향의 면이 갖고 있는 강성이 저하되는 것으로 생각된다. 이 때문에, 상술한 강성의 저하·비틀어짐이 발생되는 것으로 생각된다. 그 뿐만 아니라 이 리브는 상대의 리브를 절단해서 효과를 없애버릴 뿐만 아니라 그 자체가 굴곡점(선)이 되어 변형의 정도를 크게 한다.These ribs produced by the vacuum forming method are originally intended to ensure rigidity by the longitudinal surface of the ribs. However, when the ribs cross each other or are connected (branched), the other ribs crossed It is considered that the rigidity of the surface in the longitudinal direction is lowered. Therefore, it is considered that the above-described stiffness is reduced or distorted. In addition, this rib not only cuts off the effect of the opponent's rib, but also becomes a bending point (line), which increases the degree of deformation.

진공 성형법에 의해 제작된 이러한 리브에 있어서 교차부의 존재에 의해 강성이 저하되는 것은 시트가 구부러져 형성되어 있기 때문이다. 그리고, 이 리브는 상대의 리브를 절단해서 효과를 없애버릴 뿐만 아니라 그 자체가 굴곡점(선)이 되어 변형의 정도를 크게 한다.The reason why the stiffness is lowered by the presence of the intersection in such a rib produced by the vacuum forming method is that the sheet is bent and formed. The rib not only cuts off the effect of the rib but also becomes a bending point (line), thereby increasing the degree of deformation.

그 때문에 리브만으로는 충분한 강성을 확보할 수 없고, 예를 들면, 특허문헌2에 나타내는 바와 같이, 별도의 보강체와 체결해서 강성을 확보하는 것도 행해지고 있었다. 그러나, 별도의 보강체를 이용한 경우, 강도적으로는 충분한 것이 얻어지지만 운용상에는 여러가지 문제가 발생된다.As a result, sufficient rigidity can not be ensured with only the ribs, and for example, as shown in Patent Document 2, it has also been attempted to secure rigidity by fastening with a separate reinforcing member. However, when a separate reinforcing member is used, sufficient strength can be obtained, but various problems arise in operation.

그 가장 큰 것은 중량의 증가이며, 충분한 강성을 확보하기 위해서는 대부분의 경우에 있어서 용기 본체보다 보강체 쪽이 무거워진다. 그리고, 중량의 증가에 의해 곤포, 운반 등의 장소에 있어서 취급이 매우 불편해진다.The largest is the increase in weight, and in most cases, the reinforcing member is heavier than the container main body in order to secure sufficient rigidity. Further, due to the increase in weight, handling becomes very inconvenient in places such as packing and transporting.

또한, 보강체 자체 뿐만 아니라 보강체를 용기 본체에 체결하기 위한 부품이 필요해지고 또한, 그것을 용기 본체에 장착하는 공정도 필요해지기 때문에 용기 본체만의 경우와 비교해서 비용이 대폭 증가한다. 또한, 이 밖에 보강체와 용기 본체의 간극의 세정이 곤란하다는 청정도에 관한 문제도 있다.Further, there is a need for a component for fastening the reinforcing member to the container body as well as the reinforcing member itself, and a process for attaching the reinforcing member to the container body is also required. In addition, there is also a problem concerning cleanliness that it is difficult to clean the gap between the reinforcing member and the container main body.

그러나, 지금까지는 보강체를 사용하지 않고 용기 본체만으로 충분한 강성을 갖도록 하는 펠리클 수납 용기의 강성 향상책은 존재하고 있지 않았다.However, up to now, there has been no improvement in the rigidity of the pellicle housing container which allows the container body to have sufficient rigidity without using a reinforcement member.

[특허문헌1] 일본 특허공개 2000-173887호 공보[Patent Document 1] Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2000-173887

[특허문헌2] 일본 특허공개 2006-267179호 공보 [Patent Document 2] JP-A-2006-267179

이상의 것으로부터 본 발명의 목적은 시트재를 성형한 것이면서 다른 보강체를 사용하지 않더라도 보관, 수송 중의 외력에 견디고, 내부에 수납한 펠리클로의 이물 부착을 방지하는 충분한 강성을 갖는 경량 또한 저비용의 펠리클 수납 용기를 제공하는 것에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION It is therefore an object of the present invention to provide a lightweight, low-cost, high-rigidity, high-rigidity material having sufficient rigidity to withstand the external force during storage and transportation and to prevent foreign matter from adhering to the pellicle stored therein, And to provide a pellicle storage container.

본 발명은 펠리클을 탑재하는 용기 본체와, 펠리클을 피복함과 아울러 용기 본체와 둘레 가장자리부에서 끼워 맞춰져 록킹되는 덮개체로 이루어지는 펠리클 수납 용기에 있어서, 용기 본체 및 덮개체는 수지의 시트재를 성형한 것이며, 그 외주 장변과 외주 단변의 접속부는 평면 방향으로 본 경우에 장변과 이루는 각도가 30°이상 60°미만이며, 또한, 길이 50㎜ 이상의 직선 형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 한다(청구항 1).A pellicle storage container comprising a container body on which a pellicle is mounted, a cover body which covers the pellicle and is fitted and locked by a peripheral edge portion of the container body, wherein the container body and the cover body are formed by molding And the connecting portion between the outer circumferential long side and the short outer circumferential side is formed to have a straight line shape with an angle of 30 degrees or more and less than 60 degrees and a length of 50 mm or more when viewed in the planar direction (Claim 1) .

또한, 상기 장변과 단변의 접속부는 평면 방향으로 본 경우에 반경 40㎜ 이상의 원호 형상으로 형성하는 것을 특징으로 한다(청구항 2).The connecting portion between the long side and the short side is formed in an arc shape having a radius of 40 mm or more when viewed in a planar direction (Claim 2).

또한, 용기 본체의 서로 평행한 2변은 측면 방향에서 본 경우에 외주부가 적어도 2단의 입면을 갖는 형상으로 형성되어 있는 것도 좋다(청구항 3, 4).Further, the two sides parallel to each other of the container body may be formed in a shape having at least two elevation surfaces when viewed from the side direction (Claims 3 and 4).

(발명의 효과)(Effects of the Invention)

본 발명에 의하면 보강체를 사용하지 않더라도 용기 본체의 강성, 특히는 비틀어짐 방향의 강성을 현저하게 높일 수 있어 경량 또한 고강성의 펠리클 수납 용기를 저비용으로 얻을 수 있다.According to the present invention, the rigidity of the container body, particularly the rigidity in the torsional direction, can be remarkably increased without using a reinforcement member, and a lightweight and highly rigid pellicle storage container can be obtained at low cost.

본 발명은 한 변이 500㎜를 초과하는 대형의 펠리클 수납 용기에 대해서 적용한 경우에 특히 효과가 크다. 그러나, 이 크기에 한정되는 것은 아니고, 수지의 시트재를 성형한 펠리클 수납 용기이면 한 변이 200㎜라는 소형인 것이라도 적용할 수 있다. 소형인 것에서는 강성의 문제는 적지만 구조에 의해 강성을 보다 높일 수 있으면 시트 두께를 얇게 할 수 있어 대형인 것과 마찬가지로 경량화, 비용 저감이 가능해진다.The present invention is particularly effective when applied to a large pellicle storage container having one side exceeding 500 mm. However, the present invention is not limited to this size, and a pellet storage container in which a sheet member of a resin is molded can be applied even if it is small in size of 200 mm on one side. In the case of a small size, the problem of rigidity is small, but if the rigidity can be further increased by the structure, the sheet thickness can be made thin, and the weight and cost can be reduced as in the case of a large size.

이하, 본 발명의 펠리클 수납 용기의 실시형태를 첨부 도면에 기초해서 설명한다.DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of a pellicle storage container of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1 및 도 2는 본 발명의 펠리클 수납 용기(본체)의 2예를 나타내는 개략 설명도, 도 3은 본 발명의 펠리클 수납 용기의 전체 구성을 나타내는 사시도이다. 또한, 도 4는 종래 이용되어 온 용기 본체의 리브 구조의 일례를 나타내는 개략 설명도, 도 5는 도 4의 용기 본체의 모서리부를 들어올렸을 때의 변형의 형태를 나타낸 것이다.Fig. 1 and Fig. 2 are schematic explanatory views showing two examples of a pellicle storage container (main body) of the present invention, and Fig. 3 is a perspective view showing the entire configuration of a pellicle storage container of the present invention. Fig. 4 is a schematic explanatory view showing an example of a rib structure of a container body which has been conventionally used, and Fig. 5 shows a form of deformation when the edge portion of the container body of Fig. 4 is lifted.

종래의 용기 본체(도 4)에 있어서 비틀어짐 방향으로 외력이 가해진 경우, 예를 들면, 모서리부(47)를 상방으로 들어올리고자 하는 힘이 가해진 경우(도 5), 이 용기 본체는 대각선(44b)으로 구부러지려고 한다. 이 때, 본래는 이 비틀어짐 변형에 리브(43b)가 대항한다고 생각되어 있었지만 교차하는 리브(43a)에 의해 이 리브(43b)가 교차 위치(49)에서 절단되어 있기 때문에 충분한 저항력을 발휘할 수 없는 것을 알 수 있었다.When an external force is applied in the direction of twisting in the conventional container body (Fig. 4), for example, when a force is applied to lift the corner portion 47 upward (Fig. 5) ). At this time, although it was originally thought that the rib 43b would oppose this twist deformation, since the rib 43b is cut at the intersection position 49 by the intersecting rib 43a, sufficient resistance can not be exhibited .

또한, 교차하는 리브(43a)는 대각선(44b)과 거의 일치하고 있기 때문에 이 리브(43a) 자체가 가장 굴곡되기 쉬워져 도 5에 나타내는 바와 같이, 변형의 기점이 되어 버린다. 그러나, 이 리브(43a)를 삭제해 버리면 비틀어짐 방향 이외의 강성 저하를 초래하고, 또한, 용기 본체 전체의 평면도가 악화된다는 문제가 있다.In addition, since the intersecting ribs 43a substantially coincide with the diagonal lines 44b, the ribs 43a themselves are most likely to bend and become a starting point of deformation as shown in Fig. However, if the rib 43a is removed, the rigidity is reduced except for the direction of torsion, and the flatness of the entire container body is deteriorated.

본 발명은 이 점을 감안해서 이루어진 것이며, 본 발명자는 여러가지의 형상을 시작(試作)해서 비교 검토한 결과, 용기의 강성 향상에는 비틀어짐 변형시의 굴곡점을 없애는 것에 추가해서 특히는 외주부의 강성 향상이 중요한 것을 발견하여 본 발명을 완성시켰다.The present invention has been made in view of this point. As a result of comparison and examination of various shapes, the inventor of the present invention has found that, in addition to eliminating the bending point at the time of twisting deformation in the rigidity improvement of the container, And the present invention has been accomplished.

도 3에 있어서 용기 본체(31) 상에는 펠리클(도시하지 않음)이 탑재되고, 덮개체(32)에 의해 덮여 있다. 그리고, 덮개체와 용기 본체는 점착 테이프 등(도시하지 않음)에 의해 밀봉 고정하거나 클립(33) 등의 체결구에 의해 고정된다.3, a pellicle (not shown) is mounted on the container body 31 and covered with a cover body 32. [ Then, the lid body and the container body are fixed by sealing with an adhesive tape or the like (not shown) or by a fastener such as a clip 33 or the like.

용기 본체(31), 덮개체(32)는 합성 수지 시트를 이용해서 진공 성형법에 의해 제작된다. 진공 성형법에 한정되지 않고, 예를 들면, 수지판재의 접착에 의해 제작할 수도 있지만 청정도, 양산성의 면에서 진공 성형법에 의해 제작되는 것이 바람직하다. 또한, 덮개체, 용기 본체의 재질은 아크릴, ABS, PVC 등의 수지로부터 적당하게 선택할 수 있지만 대전에 의한 이물 부착을 저감하기 위해서 대전 방지 재료를 사용하는 것이 바람직하다.The container body 31 and the cover body 32 are manufactured by a vacuum molding method using a synthetic resin sheet. It is not limited to the vacuum forming method, and for example, it can be produced by bonding a resin plate material, but it is preferable that it is produced by vacuum forming method in terms of cleanliness and mass productivity. The material of the lid body and the container body can be appropriately selected from resins such as acryl, ABS and PVC, but it is preferable to use an antistatic material in order to reduce foreign matter adhesion by electrification.

그리고, 덮개체는 내부를 확인하기 쉽게 하기 위해서 투명 또는 반투명인 것, 용기 본체는 부착된 이물을 확인하기 쉽도록 흑색인 것이 바람직하다.It is preferable that the cover body is transparent or translucent in order to make the inside easily visible, and the container body is preferably black so as to make it easy to identify the attached foreign body.

덮개체(32)는 용기 본체(31)의 둘레 가장자리부에서 끼워 맞춰지도록 되어 있고, 이 간극은 외부로부터의 이물 침입을 방지하기 위해서 가능한 한 좁게 할 수 있는 것이 바람직하다. 또한, 끼워 맞춤 형태는 도시의 예에 한정되지 않는다.The lid body 32 is fitted in the peripheral edge portion of the container body 31. It is preferable that the lid body 32 can be as narrow as possible in order to prevent intrusion of foreign matter from the outside. The fitting shape is not limited to the example shown in the drawings.

그리고, 용기 본체(31) 및 덮개체(32)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 장변의 외주부(13)와 단변의 외주부(14)의 접속부는 장변과 이루는 각도(a)가 30~60°이며, 또한, 길이(L)가 50㎜ 이상으로 되는 직선 형상으로 형성되어 있는 것이 바람직하다. 또한, 이 직선 접속 대신에 도 2에 나타내는 바와 같이, 원호 형상으로 접속하는 것도 좋지만, 이 때는 이 반경(R)을 40㎜ 이상으로 하는 것이 필요하다.1, the connecting portion between the outer peripheral portion 13 of the long side and the outer peripheral portion 14 of the short side has an angle a of 30 to 60 degrees with the long side, And is formed in a straight line shape having a length L of 50 mm or more. In addition, as shown in Fig. 2, instead of this linear connection, it is also possible to connect in an arc shape. In this case, it is necessary to set this radius R to 40 mm or more.

종래의 펠리클 수납 용기에서도 이 부분을 원호 접속으로 하는 예는 존재했지만 통상, 그 반경은 5~20㎜ 정도였다.Even in a conventional pellicle storage container, there is an example in which this portion is connected by a circular arc, but the radius thereof is usually about 5 to 20 mm.

이러한 형상으로 함으로써 비틀어질 때에 있어서의 외주 장단변 접속부로의 응력 집중이 분산되어 이 부분이 굴곡점으로 되는 것이 방지된다. 그 결과, 비틀어질 때의 변형량이 작아진다.By such a shape, the concentration of stress to the outer circumferential end side connection portion at the time of twisting is dispersed, and this portion is prevented from becoming a bending point. As a result, the deformation amount at the time of twisting becomes small.

또한, 도 1 중의 AA 단면도에 나타내는 바와 같이, 용기 본체의 서로 평행한 2변이 측면 방향에서 본 경우에 외주부가 적어도 2단의 입면을 갖는 형상으로 형성되어 있는 것도 좋다. 단차의 높이 방향의 치수(c)나 깊이 방향의 치수(d)는 용기 본체의 크기나 외주부의 높이 치수(b)의 크기에 따라 적당히 설계하면 좋지만 대체로 c는 b의 1/2전후, d는 10~30㎜ 정도인 것이 적당하다. 이 단차는 적어도 서로 평행한 2변에 있으면 효과가 있지만 가장 바람직하게는 외주 전체 둘레에 걸쳐 연속해서 형성되어 있는 것이 바람직하다. 또한, 단차의 단수는 도 1에서는 2단의 예를 나타내고 있지만 3단 등 기타 단수라도 좋고, 주변의 치수나 끼워 맞춰지는 클립의 디자인 등에 맞춰서 결정하면 좋다.Further, as shown in a sectional view taken along the line AA in Fig. 1, when the two parallel sides of the container body are viewed from the side direction, the outer peripheral portion may be formed in a shape having at least two stages of elevation. The dimension c in the height direction of the step and the dimension d in the depth direction may be suitably designed in accordance with the size of the container main body or the size of the height b of the outer peripheral portion, It is appropriate that it is about 10 to 30 mm. This step difference is effective if it exists at least two sides parallel to each other, but it is most preferable that it is formed continuously over the entire circumference of the outer circumference. Although the number of stages of the step is shown in Fig. 1 as an example of two stages, it may be determined in accordance with the dimensions of the periphery, the design of the clip to be fitted, or the like.

이 단차는 외주부의 강성을 전체적으로로 높일 수 있고, 또한 비틀어질 때의 변형도 억제한다. 또한, 취급시의 손가락 걸기가 좋아져 핸들링성이 향상되는 것 외에 덮개체와의 클립 체결에 이용한 경우, 용기 본체 하면에 클립이 돌출되지 않는다는 이점이 있다.This step difference increases the rigidity of the outer peripheral portion as a whole and also suppresses deformation when it is twisted. In addition, handling is improved by better finger engagement at the time of handling, and there is an advantage that a clip does not protrude from the bottom surface of the container when the clip is fastened to the lid.

또한, 도 1 및 도 2의 예에서는 용기 본체의 중앙면 내에는 리브를 설치하고 있지 않지만 물론, 여기에 여러가지 형의 리브를 설치해서 본 발명과 조합하는 것도 가능하며, 적절한 형상의 리브와 조합한 경우에는 강성이 더 높은 용기를 얻을 수 있다.In the examples of Figs. 1 and 2, ribs are not provided in the center plane of the container body. However, it is also possible to combine the ribs with various types of ribs in combination with the present invention. A container having a higher rigidity can be obtained.

(실시예)(Example)

이하, 본 발명의 실시예를 설명하지만 본 발명은 이들에 한정되는 것은 아니다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described, but the present invention is not limited thereto.

[실시예1][Example 1]

대전 방지 ABS(흑색){도레이(주)제 상품명: 토요락파렐}의 시트재를 이용해서 진공 성형법에 의해 도 7에 나타내는 형상의 용기 본체(71) 및 이것과 끼워 맞춰지는 덮개체(도시하지 않음)를 제작했다. 덮개체와 끼워 맞춰진 상태는 도 3과 같이 된다. 이 용기의 크기는 외형 890×690㎜, 높이 38㎜, 시트의 두께는 5㎜로 했다. 그리고, 외주 장변(73), 단변(74)의 접속부 형상은 장변과 이루는 각도(a)= 45°, 길이(L)= 70㎜로 했다. 또한, 외주에는 연속된 단차를 형성하고, 그 치수는 외주부의 높이(b)= 38㎜, 단차의 높이(c)= 20㎜, 깊이(d)= 15㎜로 했다.A container body 71 having a shape shown in Fig. 7 and a lid body (not shown in the drawing) fitted to the container body 71 are formed by a vacuum molding method using a sheet member made of antistatic ABS (black) (trade name: ). The state in which the cover body is fitted is as shown in Fig. The size of the container was 890 x 690 mm in outer diameter, 38 mm in height, and 5 mm in thickness of the sheet. The shape of the connecting portion of the outer circumferential long side 73 and the short side 74 is such that the angle a with the long side is 45 deg. And the length L is 70 mm. A continuous step was formed on the outer periphery, and the dimensions thereof were such that the height b of the outer periphery was 38 mm, the height c of the step was 20 mm, and the depth d was 15 mm.

그리고, 이 용기 본체에 펠리클을 고정하기 위해서 수납하는 펠리클의 위치 에 맞춰서 PPS제의 고정핀(75) 및 ABS제의 핀 홀더(76)를 볼트(도시하지 않음)에 의해 부착했다. 핀(75)은 핀 홀더(76) 안에 삽입 유지되지만 잠금 기구에 의해 탈착이 가능한 구조로 되어 있다. 핀(75)의 선단은 펠리클(77)의 측면에 형성된 지그 구멍(도시하지 않음)에 삽입 가능한 구조로 되어 있고, 펠리클 프레임과의 접촉면에는 발진 방지를 위해서 링상의 불소 고무 완충재{듀폰엘라스토머(주)제, 상품명: 바이톤}(도시하지 않음)를 부착했다. 그 후, 클린룸 내에서 청정하게 순수 세정을 행하고, 완성된 용기 본체에 실제로 펠리클(77)을 탑재하고, 핀(75)에 의해 고정했다.The fixing pin 75 made of PPS and the pin holder 76 made of ABS were attached by bolts (not shown) in accordance with the position of the pellicle to be stored in the container body for fixing the pellicle. The pin 75 is held in the pin holder 76, but is structured to be detachable by a locking mechanism. A tip of the pin 75 is insertable into a jig hole (not shown) formed in the side surface of the pellicle 77. A ring-shaped fluorine rubber cushioning material {DuPont Elastomer (Trade name: Viton) (not shown). Thereafter, pure cleaning was carried out cleanly in the clean room, and the pellicle 77 was actually mounted on the completed container body and fixed by the pin 75. [

그리고, 용기 본체를 수평한 정반 상에 두고, 용기 본체의 1개소의 코너부를 상방으로 조금 들어올려 보았다. 그 결과, 용기 본체에는 수㎜의 비틀어짐 변형이 확인되었지만 탑재된 펠리클은 용기 본체 표면에 단단히 고정된 상태이며, 특별히 변화는 보여지지 않았다. 또한, 핀(75)을 인출하여 펠리클(77)의 핀(75)이 삽입되어 있던 지그 구멍을 관찰했지만 특별히 오염은 보여지지 않았다. 그리고, 이 용기 본체의 중량은 3.2㎏이었다.Then, the container body was placed on a horizontal platen, and one corner portion of the container body was lifted up slightly. As a result, it was confirmed that the container body was twisted by several millimeters, but the mounted pellicle was firmly fixed to the surface of the container body, and no particular change was observed. In addition, although the pin 75 was taken out and the jig hole into which the pin 75 of the pellicle 77 was inserted was observed, no particular contamination was observed. The weight of the container body was 3.2 kg.

[실시예2][Example 2]

상기 실시예1과 마찬가지로 해서 대전 방지 ABS(흑색)의 시트재를 이용해서 진공 성형법에 의해 도 8에 나타내는 형상의 용기 본체(81) 및 이것과 끼워 맞춰지는 덮개체(도시하지 않음)를 제작했다. 덮개체와 끼워 맞춰진 상태는 도 3과 같이 되지만 용기 본체(81) 중앙에 저면으로부터의 높이 20㎜의 리브(83, 84)가 설치되어 있는 것 외에는 실시예1과 완전히 동일한 형상이다. 여기에서, 이 리브의 형상 은 비틀어질 때에 굴곡점으로 되지 않도록 비틀어짐 방향으로 대항하면서도 구부러지는 대각선 상에 배치하지 않고, 또한 리브끼리가 교차해서 서로를 절단하는 일이 없도록 배려되어 있다.A container body 81 having a shape shown in Fig. 8 and a cover body (not shown) fitted with the container body 81 were produced by a vacuum molding method using an antistatic ABS (black) sheet material in the same manner as in Example 1 . 3 except that ribs 83 and 84 each having a height of 20 mm from the bottom face are provided at the center of the container main body 81. In this embodiment, Here, the shapes of the ribs are designed so as not to be arranged on the diagonal line bent while opposing the direction of twisting so as not to become a bending point when twisted, and to prevent the ribs from crossing each other.

이 펠리클 수납 용기에 대해서 클린룸 내에서 청정하게 순수 세정을 행하고, 완성된 용기 본체에 실제로 펠리클(87)을 탑재하고, 핀 홀더(86) 안에 삽입 고정된 핀(85)에 의해 고정했다.This pellicle storage container was cleanly and cleanly cleaned in a clean room and the pellicle 87 was actually mounted on the completed container body and fixed by a pin 85 inserted and fixed in the pin holder 86. [

그리고, 용기 본체를 수평한 정반 상에 두고, 본체의 1개소의 코너부를 상방으로 조금 들어올려 보았다. 그 결과, 용기 본체에는 거의 비틀어짐 변형은 확인되지 않고, 또한, 탑재된 펠리클도 용기 본체 표면에 단단히 고정된 상태이며, 특별히 변화는 보여지지 않았다. 또한, 핀(85)을 인출해서 펠리클(87)의 핀(85)이 삽입되어 있던 지그 구멍을 관찰했지만 특별히 오염은 보여지지 않았다. 그리고, 이 용기 본체의 중량은 3.2㎏이었다.Then, the container body was placed on a horizontal platen, and one corner portion of the main body was slightly lifted upward. As a result, almost no twisting deformation was confirmed in the container main body, and the mounted pellicle was also firmly fixed to the container main body surface, and no particular change was observed. Further, although the pin 85 was pulled out to observe the jig hole into which the pin 85 of the pellicle 87 was inserted, no particular contamination was observed. The weight of the container body was 3.2 kg.

[비교예1][Comparative Example 1]

상기 실시예와 마찬가지로 해서, 진공 성형법에 의해 도 9에 나타내는 형상의 펠리클 수납 용기 본체(91)를 제작하고, 고정핀(94) 및 핀 홀더(95)를 부착했다. 그 후, 클린룸 내에서 청정하게 순수 세정을 행하고, 완성된 용기 본체에 실제로 펠리클(96)을 탑재하고, 핀(94)에 의해 고정했다.In the same manner as in the above embodiment, the pellicle container body 91 having the shape shown in Fig. 9 was produced by the vacuum molding method, and the fixing pin 94 and the pin holder 95 were attached. Thereafter, pure cleaning was carried out cleanly in the clean room, and the pellicle 96 was actually mounted on the completed container body and fixed by the pin 94.

평가로서 상기 실시예와 마찬가지로, 이 용기 본체를 수평으로 정치(靜置)한 후, 본체의 1개소의 코너부를 조금 상방으로 들어올려 보았다. 그러면, 이 용기 본체는 리브(93)를 따라 크게 도 5와 같이 구부러짐이 발생되었다. 이 때, 탑재되어 있던 펠리클(96)을 관찰하면 이 방향(대각선 방향)으로 용기 본체의 변형과 동일한 구부러짐이 발생되고, 펠리클막의 일부에는 주름이 발생되어 있었다. 또한, 펠리클(96)의 지그 구멍으로부터 핀(94)을 뽑은 결과, 지그 구멍 내에는 핀이 강하게 마찰되어 발생된 이물이 형광등하에서도 바로 알 수 있을 정도로 다수 부착되어 있고, 이것은 청정도 유지의 점에서 전혀 허용할 수 없는 것이었다.As evaluation, the container body was horizontally held in the same manner as in the above embodiment, and then one corner portion of the main body was slightly lifted up. Then, the container main body was bent along the rib 93 as shown in Fig. At this time, when the mounted pellicle 96 was observed, bending was generated in the same direction as the deformation of the container body in this direction (diagonal direction), and wrinkles were generated in a part of the pellicle film. As a result of pulling out the pin 94 from the jig hole of the pellicle 96, a large number of foreign substances generated by the friction of the fins in the jig hole are attached to the jig hole so that they can be immediately recognized even under fluorescent lamps. I could not allow it at all.

[비교예2][Comparative Example 2]

상기 실시예1, 2, 비교예1과 마찬가지로 해서, 진공 성형법에 의해 도 6에 나타내는 형상의 펠리클 수납 용기 본체(61)를 제작하고, 고정핀(62) 및 핀 홀더(63)를 부착했다. 또한, 이 용기 본체의 외측에는 보강을 위해서 6000계 알루미늄 합금의 막대상 보강체(65, 66)(폭 40㎜×두께 5㎜)를 日자형으로 조합하고, ABS 수지제의 핀 홀더(63), 보강체 고정구(64) 및 용기 본체(61)와 볼트(도시하지 않음)에 의해 단단히 체결해서 용기 본체를 완성시켰다.The pellicle container main body 61 having the shape shown in Fig. 6 was produced by the vacuum molding method in the same manner as in Examples 1 and 2 and Comparative Example 1, and the fixing pin 62 and the pin holder 63 were attached. In addition, on the outer side of the container body, 6000 aluminum alloy film target reinforcements 65 and 66 (width 40 mm x thickness 5 mm) were assembled in a diagonal shape, and an ABS resin pin holder 63, The reinforcement body fixture 64, and the container body 61 and the bolt (not shown), thereby completing the container main body.

그 후, 클린룸 내에서 청정하게 순수 세정을 행하고, 완성된 용기 본체에 실제로 펠리클(67)을 탑재하고, 고정핀(62)에 의해 고정했다. Thereafter, pure cleaning was carried out in a clean room, and the pellicle 67 was actually mounted on the completed container body, and fixed by the fixing pin 62.

그리고, 상기 실시예, 비교예1과 마찬가지로 해서, 용기 본체를 수평한 정반상에 두고, 본체의 1개소의 코너부를 상방으로 조금 들어올려 보았다. 그 결과, 용기 본체에는 거의 비틀어짐 변형은 확인되지 않고, 또한, 탑재된 펠리클도 용기 본체 표면에 단단히 고정된 상태이며, 외관상도 특별히 문제는 확인되지 않았다. 그리고, 고정핀(62)을 펠리클(67)의 지그 구멍으로부터 뽑아서 암실 내의 할로겐 램프에 의해 관찰했지만 지그 구멍 주변은 완전히 청정한 상태였다.Then, in the same manner as in the above-described Example and Comparative Example 1, the container body was placed on a horizontal plane, and one corner portion of the main body was slightly lifted upward. As a result, almost no twisting deformation was confirmed in the container main body, and the mounted pellicle was also firmly fixed on the surface of the container main body, and no apparent problem was specifically confirmed. Then, the fixing pin 62 was pulled out from the jig hole of the pellicle 67 and observed by the halogen lamp in the dark room, but the periphery of the jig hole was completely clean.

이 용기 본체의 중량은 4.2㎏이었다.The weight of this container body was 4.2 kg.

본 발명에 의하면 수지의 시트재로 경량이고 또한 강성을 갖는 대형의 펠리클 수납 용기를 형성할 수 있고, 또한, 성형에 있어서도 간이한 제법을 채용할 수 있으므로 대형 펠리클 용기를 저렴하게 대량으로 공급할 수 있어 펠리클을 이용하는 기술 분야에 공헌하는 바가 크다.According to the present invention, it is possible to form a large-sized pellicle storage container that is lightweight and rigid as a sheet material of a resin, and a simple production method can be adopted for molding, so that a large pellicle container can be supplied in large quantities at low cost There is a great deal of contribution to the technical field using the pellicle.

도 1은 본 발명의 펠리클 수납 용기의 용기 본체의 일례를 나타내는 개략 설명도이다.1 is a schematic explanatory view showing an example of a container main body of a pellicle storage container of the present invention.

도 2는 본 발명의 펠리클 수납 용기의 용기 본체의 변형예를 평면 방향에서 본 개략 설명도이다.Fig. 2 is a schematic explanatory view of a modified example of the container main body of the pellicle storage container of the present invention, viewed from a plan view. Fig.

도 3은 본 발명의 펠리클 수납 용기의 전체 구성을 나타내는 사시도이다.3 is a perspective view showing the entire structure of a pellicle storage container of the present invention.

도 4는 종래 이용되어 온 펠리클 수납 용기의 용기 본체의 리브 구조의 일례를 나타내는 개략 설명도이다.4 is a schematic explanatory view showing an example of a rib structure of a container body of a conventionally used pellicle storage container.

도 5는 종래 이용되어 온 펠리클 수납 용기의 용기 본체에 있어서의 변형의 형태를 나타낸 사시 설명도이다.Fig. 5 is an explanatory view showing a modification of a container body of a conventionally used pellicle storage container. Fig.

도 6은 종래 이용되어 온 알루미늄제 보강체를 이용한 펠리클 수납 용기의 용기 본체의 일례를 나타내는 개략 설명도이다.6 is a schematic explanatory view showing an example of a container main body of a pellicle storage container using a conventional aluminum reinforcing member.

도 7은 본 발명에 의한 펠리클 수납 용기의 용기 본체의 일실시예를 나타내는 개략 설명도이다.7 is a schematic explanatory view showing an embodiment of a container body of a pellicle storage container according to the present invention.

도 8은 본 발명에 의한 펠리클 수납 용기의 용기 본체의 일실시예를 나타내는 개략 설명도이다.8 is a schematic explanatory view showing an embodiment of a container body of a pellicle storage container according to the present invention.

도 9는 종래 이용되어 온 리브 구조를 이용한 펠리클 수납 용기의 용기 본체의 일례를 나타내는 개략 설명도이다.Fig. 9 is a schematic explanatory view showing an example of a container main body of a pellicle storage container using a conventionally used rib structure. Fig.

(도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명) DESCRIPTION OF THE REFERENCE NUMERALS (S)

11: 펠리클 수납 용기 본체 12: 펠리클 탑재대11: Pellicle storage container body 12: Pellicle mounting base

13: 외주(장변) 14: 외주(단변)13: Outer (long side) 14: Outer (short side)

a: 외주 접속부의 변이 장변과 이루는 각도 L: 외주 접속부의 변의 길이a: Angle with the long side of the outer circumferential connection part L: Length of the side of the outer circumferential connection part

21: 펠리클 수납 용기 본체 22: 펠리클 탑재대21: Pellicle storage container body 22: Pellicle mounting base

23: 외주(장변) 24: 외주(단변)23: Outer (long side) 24: Outer (short side)

R: 외주 접속부의 반경 31: 펠리클 수납 용기 본체R: radius of the outer circumferential connection part 31: pellicle storage container body

32: 덮개체 33: 클립32: cover body 33: clip

41: 펠리클 수납 용기 본체 42: 펠리클 탑재대41: Pellicle storage container body 42: Pellicle mounting table

43a, 43b: 리브 43a, 43b:

44a, 44b: 용기 본체 외형에 기초한 대각선44a, 44b: diagonal line based on the outer shape of the container body

45, 46, 47, 48: 용기 본체 코너부 49: 리브의 교차점45, 46, 47, 48: container body corner portion 49: intersection of ribs

61: 펠리클 수납 용기 본체 62: 펠리클 고정핀61: pellicle storing container main body 62: pellicle holding pin

63: 핀 홀더 64: 보강체 고정구63: pin holder 64: reinforcing body fastener

65: 알루미늄 합금제 보강체(짧은 것) 66: 알루미늄제 보강체(긴 것)65: Aluminum alloy reinforcement (short) 66: Aluminum reinforcement (long)

67: 펠리클 71: 펠리클 수납 용기 본체67: Pellicle 71: Pellicle storage container body

72: 펠리클 탑재대 73: 외주(장변)72: pellicle mounting base 73: outer circumference (long side)

74: 외주(단변) 75: 펠리클 고정핀74: Outer (short side) 75: Pellicle fixing pin

76: 핀 홀더 77: 펠리클76: pin holder 77: pellicle

81: 펠리클 수납 용기 본체 82: 펠리클 탑재대81: Pellicle storage container body 82: Pellicle mounting table

83: 리브 84: 리브83: rib 84: rib

85: 펠리클 고정핀 86: 핀 홀더85: Pellicle fixing pin 86: Pin holder

87: 펠리클 91: 펠리클 수납 용기 본체87: Pellicle 91: Pellicle storage container body

92: 펠리클 탑재대 93: 리브92: Pellicle mount stand 93: Rib

94: 펠리클 고정핀 95: 핀 홀더94: Pellicle fixing pin 95: Pin holder

96: 펠리클96: Pellicle

Claims (4)

펠리클을 탑재하는 용기 본체(81)와, 펠리클을 피복함과 아울러 상기 용기 본체(81)와 둘레 가장자리부에서 끼워 맞춰져 록킹되는 덮개체로 이루어지는 하나 이상의 변의 길이가 500mm를 초과하는 펠리클 수납 용기에 있어서: A pellicle container comprising a container body (81) on which a pellicle is mounted, and a lid body which covers the pellicle and which is fitted and locked by the peripheral edge of the container body (81) 상기 용기 본체(81) 및 덮개체는 수지의 시트재를 성형한 것이며,The container body 81 and the lid body are formed by molding a sheet material of resin, 용기 본체(81)에는 4개 이상의 리브(83)가 마름모 형상으로 배치되고, 상기 리브(83) 각각은 상기 용기 본체(81) 외형의 대각선을 가로지름과 동시에 다른 리브(83)와는 서로 교차하지 않으며, 각 리브(83)의 단부가 서로 다른 리브(83) 또는 상기 펠리클을 탑재하는 받침대(82)에 접속되어 있고,Four or more ribs 83 are arranged in a rhombic shape in the container body 81. Each of the ribs 83 crosses the diagonal line of the outer shape of the container body 81 and intersects with the other ribs 83 And the ends of the ribs 83 are connected to ribs 83 which are different from each other or to a pedestal 82 on which the pellicle is mounted, 상기 용기 본체(81) 및 덮개체의 외주 장변(73)과 외주 단변(74)의 접속부는 평면 방향으로 본 경우에 상기 외주 장변(73)과 이루는 각도(a)가 30°이상 60°미만이며, 또한 길이(L)가 50㎜ 이상의 직선 형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기.The connecting portion between the outer circumferential long side 73 and the outer circumferential short side 74 of the container body 81 and the lid body has an angle a between the outer circumferential long side 73 and the connecting long side 73 in the plan view, , And a length (L) of 50 mm or more. 제1항에 있어서, The method according to claim 1, 상기 용기 본체(81)의 서로 평행한 두 개의 변의 외주부(13, 14)는 측면 방향에서 본 경우에 상기 덮개체와 끼워 맞춰져 록킹된 둘레 가장자리부의 내측에 2단 이상의 입면을 갖는 계단 형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기.The outer peripheral portions 13 and 14 of two sides parallel to each other of the container body 81 are formed in a stepped shape having two or more steps in the inner side of the circumferential edge portion which is locked with the cover body when viewed from the side direction Wherein the pellet storage container is a pellet container. 삭제delete 삭제delete
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