KR102454770B1 - Apparatus for Replacing Polishing Tape Case - Google Patents
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Abstract
연마용 테이프 케이스 교체장치를 개시한다.
본 실시예의 일 측면에 의하면, 연마를 위해 연마장치에 장착되어 사용되는 테이프 케이스를 연마장치로 장착하거나 연마장치에서 분리하여 교체하는 연마용 테이프 케이스 교체장치를 제공한다.Disclosed is an abrasive tape case replacement device.
According to one aspect of the present embodiment, there is provided an abrasive tape case replacement apparatus for replacing a tape case used by being mounted on a polishing apparatus for polishing as a polishing apparatus or by being separated from the polishing apparatus.
Description
본 발명은 기판 내 발생한 결함을 연마하기 위한 연마용 테이프를 자동으로 교체하는 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for automatically replacing a polishing tape for polishing defects occurring in a substrate.
이 부분에 기술된 내용은 단순히 본 실시예에 대한 배경 정보를 제공할 뿐 종래기술을 구성하는 것은 아니다.The content described in this section merely provides background information for the present embodiment and does not constitute the prior art.
최근에는 핸드폰, 노트북, PDA(Personal Digital Assistants) 및 대형 TV와 같은 디스플레이의 수요가 증가함에 따라 두께가 얇고 가벼운 평판 디스플레이 (Flat Panel Display) 분야의 발전이 진행되고 있다.Recently, as the demand for displays such as cell phones, notebook computers, personal digital assistants (PDA), and large TVs increases, the development of a flat panel display with a thin and light thickness is progressing.
이러한 평판 디스플레이에는 액정표시장치(Liquid Crystal Display; LCD), 유기전계 발광 표시장치(Organic Light Emitting Display; OLED) 등이 있는데, 평판 디스플레이의 핵심은 투명한 기판 사이에 매트릭스 형태로 배열되는 다수개의 화소를 박막 형태로 증착하여 다양한 컬러를 구현하는 평판표시패널에 있다.Such flat panel displays include a liquid crystal display (LCD), an organic light emitting display (OLED), and the like. It is in a flat panel display panel that realizes various colors by depositing in the form of a thin film.
하지만, 박막을 형성하는 공정에서는 박막의 불균일성과 이물 등의 유입에 따라 돌기 형태의 결함이 빈번하게 발생될 수 있는데, 이와 같은 돌기 결함은 기판 사이의 높이 편차를 발생시키게 되어, 빛의 투과율을 방해하고 전기적인 단락 또는 단선을 초래할 수도 있다.However, in the process of forming a thin film, defects in the form of protrusions may occur frequently due to the non-uniformity of the thin film and the inflow of foreign substances. and may cause an electrical short or disconnection.
이에, 통상 연마용 테이프를 이용하여 기판 내 발생한 돌기 결함을 제거한다. 연마용 테이프를 케이스 내에 보관하며, 별도의 연마장치 등을 이용해 테이프를 일정한 속도로 감으면서 돌기를 식각하여 제거한다. Accordingly, protrusion defects generated in the substrate are usually removed using a polishing tape. The abrasive tape is stored in the case, and the projection is removed by etching the tape at a constant speed using a separate polishing device, etc.
다만, 종래에는 연마장치에 케이스가 장착되어 케이스 내부의 연마용 테이프가 연마에 사용되는 과정 및 테이프가 연마에 모두 사용된 후 케이스가 연마장치로부터 분리될 때까지 모두 관리자의 수작업으로 수행되어 왔다. 이에, 테이프가 모두 사용될 시점마다 일일이 관리자가 교체를 해야하는 불편이 존재해왔다.However, in the prior art, the case is mounted on the polishing apparatus and the polishing tape inside the case is used for polishing, and after the tape is all used for polishing, the case has been manually performed by an administrator until the case is separated from the polishing apparatus. Accordingly, there has been inconvenience in that the administrator has to replace the tapes one by one every time the tapes are used up.
본 발명의 일 실시예는, 연마를 위해 연마장치에 장착되어 사용되는 테이프 케이스를 연마장치로 장착하거나 연마장치에서 분리하여 교체하는 연마용 테이프 케이스 교체장치를 제공하는 데 일 목적이 있다.An embodiment of the present invention has an object to provide a polishing tape case replacement apparatus for mounting a tape case used by being mounted on the polishing apparatus for polishing as a polishing apparatus or by separating it from the polishing apparatus.
본 발명의 일 측면에 의하면, 기판 내 결함을 연마하기 위한 테이프 케이스를 교체하는 장치에 있어서, 연마에 사용되기 이전 테이프를 보관하는 사용 전 테이프 케이스 또는 연마에 사용된 후의 테이프를 보관하는 사용 후 테이프 케이스를 안착하는 팔레트(Pallet)와 상기 팔레트로부터 연마장치로 이송하기 위해 사용 전 테이프 케이스를 안착시켜두거나, 상기 연마장치로부터 상기 팔레트로 이송하기 위해 사용 후 테이프 케이스를 안착시켜두는 안착유닛과 테이프 케이스의 일 부분과 결합하여, 상기 팔레트로부터 사용 전 테이프 케이스를 상기 안착유닛으로 이송하거나 상기 안착유닛으로부터 사용 후 테이프 케이스를 상기 팔레트로 이송하는 제1 이송유닛과 상기 안착유닛에 안착되어 있는 사용 전 테이프 케이스와 결합하여 상기 연마장치로 이송하거나, 상기 연마장치에 결합되어 있는 사용 후 테이프 케이스와 결합하여 상기 안착유닛으로 이송하는 제2 이송유닛 및 상기 제1 이송유닛 및 상기 제2 이송유닛의 동작을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 케이스 교체장치를 제공한다.According to one aspect of the present invention, in an apparatus for replacing a tape case for polishing defects in a substrate, a pre-use tape case for storing a tape before being used for polishing or a post-use tape for storing a tape after being used for polishing A pallet and a tape case for seating the tape case before use in order to transfer the case from the pallet to the polishing device, or to seat the tape case after use to transport it from the polishing device to the pallet In combination with a portion of the first transfer unit that transfers the tape case before use from the pallet to the seating unit or transfers the tape case after use from the seating unit to the pallet and the tape before use that is seated on the seating unit The operation of the second transfer unit and the first transfer unit and the second transfer unit combined with the case and transferred to the polishing apparatus, or combined with the used tape case coupled to the polishing apparatus and transferred to the seating unit It provides a case replacement device comprising a control unit for controlling.
본 발명의 일 측면에 의하면, 상기 팔레트는 바닥면에서 연직상방으로 돌출된 돌기부를 포함하여, 테이프 케이스를 안착시켜 고정하는 것을 특징으로 한다.According to one aspect of the present invention, the pallet includes a protrusion protruding vertically upward from the bottom surface, and is characterized in that the tape case is seated and fixed.
본 발명의 일 측면에 의하면, 상기 팔레트는 중앙을 중심으로 일측에는 하나의 돌기부만을, 반대측에는 2개 이상의 돌기부를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to one aspect of the present invention, the pallet is characterized in that it includes only one protrusion on one side of the center, and two or more protrusions on the opposite side.
본 발명의 일 측면에 의하면, 상기 제1 이송유닛 및 상기 제2 이송유닛은 테이프 케이스에 접근하는지 여부를 센싱하는 센서를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to one aspect of the present invention, the first transfer unit and the second transfer unit is characterized in that it comprises a sensor for sensing whether or not approaching the tape case.
본 발명의 일 측면에 의하면, 상기 안착유닛은 테이프 케이스가 상기 안착유닛에 안착되었는지 여부를 센싱하는 센서를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to one aspect of the present invention, the seating unit is characterized in that it includes a sensor for sensing whether the tape case is seated on the seating unit.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 일 측면에 따르면, 연마를 위해 연마장치에 장착되어 사용되는 테이프 케이스를 연마장치로 장착하거나 연마장치에서 분리하여 교체함으로써, 관리자가 일일이 번거롭게 교체하지 않아도 되는 장점이 있다.As described above, according to one aspect of the present invention, by mounting a tape case mounted to and used in the polishing apparatus for polishing as a polishing apparatus or by separating and replacing it from the polishing apparatus, the administrator does not have to replace each one cumbersomely. have.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 결함 연마 시스템을 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 테이프 케이스의 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 테이프 케이스의 분해 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 휠의 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 케이스 교체장치의 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 팔레트의 사시도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 케이스 고정부를 도시한 도면이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 안착유닛을 도시한 도면이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 이송유닛을 도시한 도면이다.1 is a diagram illustrating a defect polishing system according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view of a tape case according to an embodiment of the present invention.
3 is an exploded perspective view of a tape case according to an embodiment of the present invention.
4 is a perspective view of a wheel according to an embodiment of the present invention;
5 is a perspective view of a case replacement device according to an embodiment of the present invention.
6 is a perspective view of a pallet according to an embodiment of the present invention.
7 is a view showing a case fixing unit according to an embodiment of the present invention.
8 is a view showing a seating unit according to an embodiment of the present invention.
9 is a view showing a second transfer unit according to an embodiment of the present invention.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다.Since the present invention can have various changes and can have various embodiments, specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail. However, this is not intended to limit the present invention to a specific embodiment, it should be understood to include all modifications, equivalents and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing each figure, like reference numerals have been used for like elements.
제1, 제2, A, B 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 동력 수단요소로 명명될 수 있고, 유사하게 동력 수단요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 및/또는 이라는 용어는 복수의 관련된 기재된 항목들의 조합 또는 복수의 관련된 기재된 항목들 중의 어느 항목을 포함한다.Terms such as first, second, A, and B may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The above terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, a first component may be named as a power means, and similarly, a power means may also be named as a first component. and/or includes a combination of a plurality of related listed items or any of a plurality of related listed items.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에서, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.When a component is referred to as being “connected” or “connected” to another component, it may be directly connected or connected to the other component, but it is understood that other components may exist in between. it should be On the other hand, when it is said that a certain element is "directly connected" or "directly connected" to another element, it should be understood that no other element is present in the middle.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서 "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used in the present application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. It should be understood that terms such as “comprise” or “have” in the present application do not preclude the possibility of addition or existence of features, numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof described in the specification in advance. .
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해서 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs.
일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Terms such as those defined in a commonly used dictionary should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related art, and should not be interpreted in an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in the present application. does not
또한, 본 발명의 각 실시예에 포함된 각 구성, 과정, 공정 또는 방법 등은 기술적으로 상호 간 모순되지 않는 범위 내에서 공유될 수 있다.In addition, each configuration, process, process or method included in each embodiment of the present invention may be shared within a range that does not technically contradict each other.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 결함 연마 시스템을 도시한 도면이다.1 is a diagram illustrating a defect polishing system according to an embodiment of the present invention.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 결함 연마 시스템(100)은 테이프 케이스(110), 케이스 교체장치(120) 및 연마장치(130)를 포함한다.Referring to FIG. 1 , the
테이프 케이스(110)는 기판 상에 발생한 돌기 결함을 제거하기 위한 연마용 테이프를 보관한다. 테이프 케이스(110)는 내부에 연마용 테이프가 장착되어 고정되며, 외부에 케이스 교체장치(120)나 연마장치(130)에 장착되어 이송되거나 결함을 연마할 수 있도록 고정될 수 있는 구조를 갖는다. 즉, 테이프 케이스(110) 내 연마용 테이프가 장착되는 것까지만 관리자의 손을 거치며, 테이프 케이스(110)가 케이스 교체장치(120)에 안착된 후부터는 케이스 교체장치(120)에 안정적으로 장착되어 이송되거나, 연마장치(130)에 장착되어 연마부위를 연마할 수 있도록 한다. 테이프 케이스(110)에 대한 구체적인 구조는 도 2 내지 4를 참조하여 후술하기로 한다.The
케이스 교체장치(120)는 연마장치(130)에 의해 모두 소비된 테이프 케이스(110)를 안착되어 있는 새 테이프 케이스(110)로 교체한다. 케이스 교체장치(120)는 관리자에 의해 연마용 테이프가 장착된 사용 전 케이스(이하에서, "사용 전 케이스"라 약칭함)와 연마장치(130)에 의해 연마용 테이프가 모두 사용된 사용 후 케이스(이하에서, "사용 후 케이스"라 약칭함)를 보관한다. 이때, 케이스 교체장치(120)는 보관중인 사용 전 케이스를 연마장치(130)로 이송하여 장착한다. 이 후, 연마장치(130)가 사용 전 케이스 내 연마용 테이프를 모두 사용한 경우, 연마장치(130)의 신호에 따라 케이스 교체장치(120)는 사용 후 케이스를 연마장치(130)로부터 분리하여 보관하고, 새로운 사용 전 케이스를 연마장치(130)로 이송하여 장착한다. 케이스 교체장치(120)에 대한 구체적인 구조는 도 5 내지 9를 참조하여 후술하기로 한다.The
연마장치(130)는 테이프 케이스(110) 내 연마용 테이프를 이용하여 기판 내 돌기 결함을 연마한다. 연마장치(130)는 기판 내 돌기 결함의 위치를 센싱하거나, 별도의 결함 검출장치로부터 결함의 위치정보를 수신한다. 연마장치(130)는 케이스 교체장치(120)로부터 이송되는 (사용 전) 테이프 케이스를 이송받아 고정하며, 돌기 결함의 위치로 연마용 테이프를 돌출시켜 결함을 연마한다. 연마장치(130)는 테이프 케이스(110) 내로 회전력을 가하여, 연마용 테이프가 배치된 위치에서는 일정한 속도로 풀리고 다른 위치에서 풀리는 연마용 테이프가 일정한 속도로 감기도록 한다. 이처럼, 풀리고 감기는 연마용 테이프가 돌기 결함과 접촉을 하게 되면, 연마용 테이프의 이동 속도에 의해 돌기 결함이 연마되게 된다. 이러한 특성을 이용하여, 연마장치(130)는 이송된 테이프 케이스를 고정한 후, 연마용 테이프를 일정한 속도로 풀리고 감기도록 테이프 케이스(110) 내로 회전력을 가하며, 연마용 테이프의 일 위치를 돌기 결함과 접촉시켜 결함을 연마시킨다. 연마 장치(130)는 결함의 연마를 위해 테이프 케이스(110) 내 연마용 테이프가 모두 사용되었는지 여부를 센싱하여, 테이프 케이스(110)의 교체여부를 판단한다. 테이프 케이스(110)의 교체가 필요하다 판단된 경우, 연마장치(130)는 케이스 교체장치(120)가 테이프 케이스(110)를 교체할 수 있도록 한다.The
이처럼, 케이스 교체장치(120)와 연마장치(130)가 동작하며, 테이프 케이스(110)가 각 장치(120, 130)에 장착되어 이송되거나 고정될 수 있는 구조를 가짐에 따라, 테이프 케이스(110)의 각 장치로의 장착과 교체가 관리자의 개입없이 자동으로 수행될 수 있다.As such, the
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 테이프 케이스의 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 테이프 케이스의 분해 사시도이다.Figure 2 is a perspective view of a tape case according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is an exploded perspective view of the tape case according to an embodiment of the present invention.
도 2 및 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 테이프 케이스(110)는 결합공(210), 제1 고정공(220), 제1 안착공(230), 제2 고정공(240), 연마부 유입공(250), 제2 안착공(260), 홈부(310, 315), 휠(320, 325), 고정부(340, 350), 프리 롤러(360) 및 텐션바(370)를 포함한다.2 and 3 , the
테이프 케이스(110)의 하우징(200)에는 결합공(210), 제1 고정공(220), 제1 안착공(230), 제2 고정공(240), 연마부 유입공(250), 제2 안착공(260) 및 홈부(310, 315)가 형성된다.The
결합공(210)은 하우징(200) 내 양 측면에 형성된 구조로서, 케이스 교체장치(120) 내 제1 이송유닛(도 5를 참조하여 후술)과 결합되기 위한 구조이다. 결합공(210)은 테이프 케이스(110)가 케이스 교체장치(120) 또는 연마장치(130)와 결합되는 면이 아닌 해당 면과 수직인 측면에 형성된다. 제1 이송유닛 내에는 결합공(210)과 결합되기 위한, 결합공의 지름과 동일 또는 유사한 지름으로 돌출된 구성이 포함된다, 결합공(210)은 제1 이송유닛 내의 전술한 구성(미도시)과 결합되어 제1 이송유닛에 의해 테이프 케이스(110) 전체가 이송될 수 있도록 한다. 이때, 제1 이송유닛은 주로, 테이프 케이스(110)와 케이스 (높이방향으로의) 상부에서 결합되어 테이프 케이스(110)를 높이 방향(z축 방향)으로 이송하기 때문에, 결합공(210)은 양 측면 내에서 (높이방향으로의) 상부에 형성될 수 있다. The coupling hole 210 is a structure formed on both sides of the
하우징(200)의 일 측면에는 하나의 결합공(210c)이, 다른 측면에는 2개 또는 그 이상의 결합공(210a, 210b)이 형성될 수 있다. 양 측면에 모두 하나의 결합공만이 형성되어 있을 경우라면, 제1 이송유닛이 결합공(210)과 결합되어 테이프 케이스(110)를 이송하는 과정에서 테이프 케이스(110)가 측면과 수직인 축으로 흔들릴 우려가 존재한다. 이를 방지하기 위해, 하우징(200)의 일 측면에는 2개 또는 그 이상의 결합공(210a, 210b)이 형성된다. 모든 측면에 2개 또는 그 이상의 결합공이 형성될 수 있으나, 이러할 경우, 결합공과 제1 이송유닛의 돌출된 구성의 결합시간이 상당히 길어지고, 결합의 정밀도가 상당히 요구된다. 이에, 이송 과정에서의 테이프 케이스(110)의 회전을 방지하며, 과도하게 결합과정에서 장시간이 소모되는 것도 방지하기 위해, 하우징(200)의 일 측면에는 하나의 결합공(210c)이, 다른 측면에는 2개 또는 그 이상의 결합공(210a, 210b)이 형성된다.One
제1 고정공(220)은 하우징(200) 내 케이스 교체장치(120)와 마주보는 면에 형성되며, 케이스 교체장치(120)와 결합되어 케이스 교체장치(120)가 테이프 케이스(110)를 고정할 수 있도록 한다. 제1 고정공(220)은 하우징(200) 내 케이스 교체장치(120)와 마주보는 면에, 일정 방향으로 길이가 긴 형태로 형성된다. 제1 고정공(220)과 결합될 케이스 교체장치(120) 내 구성은 마찬가지로 일정 방향으로 길이기 긴 형태로 구현되며 회전될 수 있다. 이에, 케이스 교체장치(120) 내 구성은 제1 고정공(220)으로 유입되며, 유입된 상태에서 회전하게 된다. 이에, 케이스 교체장치(120) 내 구성은 유입될 때의 방향으로 회전하지 않는 한, 제1 고정공(220)으로부터 나오지 못하게 된다. 이러한 구조로 제1 고정공(220)에 케이스 교체장치(120) 내 구성이 결합됨에 따라, 테이프 케이스(110)는 케이스 교체장치(120) 내 구성이 유입되는 방향(y축 방향)으로 이탈하지 않고 고정될 수 있다.The
제1 안착공(230)은 하우징 내 양 측면에 형성된 구조로서, 케이스 교체장치(120) 내 안착유닛(도 5를 참조하여 후술)과 결합되어 안착유닛에 안착되어 있을 수 있도록 한다. 제1 안착공(230)은 하우징 내 양 측면의 (높이 방향으로의) 하부에 형성된다. 케이스 교체장치(120) 내 안착유닛에는 제1 안착공(230)과 결합되기 위한, 제1 안착공(230)의 지름과 동일 또는 유사한 지름으로 돌출된 구성이 포함된다, 이에, 테이프 케이스(110)가 안착유닛에 안착되면, 제1 안착공(230)과 전술한 구성이 결합됨으로써, 테이프 케이스(110)가 안착유닛에 안착되어 제1 이송유닛 또는 제2 이송유닛(도 5를 참조하여 후술)와 결합하여 이송되기 전까지 고정되어 있을 수 있도록 한다.The first seating hole 230 is a structure formed on both sides of the housing, and is coupled to a seating unit (described later with reference to FIG. 5 ) in the
제2 고정공(240)은 하우징 내 연마장치(130)와 마주보는 면에 형성되며, 연마장치(130)와 결합되어 연마장치(130)가 테이프 케이스(110)를 고정할 수 있도록 한다. 연마장치(130) 내에는 제2 고정공(240)과 결합되기 위한, 제2 고정공(240)의 지름과 동일 또는 유사한 지름으로 돌출된 구성이 포함된다, 이에, 제2 고정공(240)은 테이프 케이스(110)가 연마장치(130)에 결합되어, 연마과정에서 이탈되지 않도록 한다.The
연마부 유입공(250)은 하우징 내 상면에 형성된 구조로서, 결함의 위치로 연마용 테이프를 돌출시키기 위한 연마장치(130) 내 구성이 유입될 수 있도록 한다. 연마부 유입공(250)은 연마장치(130) 내 전술한 구성과 동일하거나 유사한 크기로 구현된다. 연마부 유입공(250)은 연마장치(130)에 테이프 케이스(110)가 결합되어 고정된 후 전술한 구성이 연마용 테이프를 돌기 결함으로 돌출시킬 수 있도록 한다. The abrasive
제2 안착공(260)은 하우징 내 하면에 형성된 구조로서, 테이프 케이스(110)가 케이스 교체장치(120) 내 팔레트(도 5를 참조하여 후술)에 안착될 수 있도록 한다. 팔레트에는 제2 안착공(260)과 결합되기 위한, 제1 안착공(230)의 지름과 동일 또는 유사한 지름으로 돌출된 구성이 포함된다, 테이프 케이스(110)는 케이스 교체장치(120) 내 제1 이송유닛에 의해 팔레트로 이송되거나 관리자에 의해 최초로, 팔레트 내 전술한 구성과 제2 안착공(260)이 결합되도록 안착된다. 양 구성이 결합됨에 따라, 테이프 케이스(110)는 팔레트로부터 이탈하지 않고 팔레트 내에 안착된 상태를 유지할 수 있다.The second seating hole 260 is a structure formed on the lower surface of the housing, and allows the
하우징 내 하면의 일 측에 두개 또는 그 이상의 제2 안착공이(260a, 260b), 다른 일 측에는 하나의 제2 안착공(260c) 만이 형성될 수 있다. 관리자가 사용 전 케이스(110)를 케이스 교체장치(120) 내 팔레트로 안착시킨다. 이때, 관리자는 많은 테이프 케이스(110)를 팔레트로 안착시켜야 할 수 있으며, 이 과정에서 테이프 케이스(110)의 방향을 정확히 확인하지 못하고 팔레트로 안착시킬 수 있다. 테이프 케이스(110)는 케이스 교체장치(120)와 연마장치(130)가 결합하는 방향이 상이하기에, 정확한 방향으로 배치되어야 한다. 이에, 관리자가 최초로 팔레트에 사용 전 케이스(110)를 안착시킴에 있어, 굳이 일일이 방향을 정확히 확인하지 않더라도 팔레트에 배치할 수 있도록 한다.Two or more
홈부(310, 315)는 하우징 내 연마장치(130)와 마주보는 면에 형성된 관통공으로서, 휠(320, 325)로 연마장치(130) 내 구성이 진입할 수 있도록 한다. 홈부(310)는 휠(320, 325)이 배치될 장소에 각각 형성된 관통공으로서, 휠(320, 325)로 회전력을 제공하거나 휠(320, 325)과 결합되어 테이프 케이스(110)를 고정시킬 연마장치(130) 내 구성이 휠(320, 325)로 진입할 수 있도록 한다.The
휠(320, 325)은 연마용 테이프(330) 또는 연마용 테이프의 끝단이 안착되어, 외부로부터 회전력을 받아 테이프가 풀릴 수 있도록 한다. The
제1 휠(320)은 연마용 테이프(330)가 안착할 수 있는 구조를 가져, 연마용 테이프(330)를 안착시킨다. 통상, 연마용 테이프(330)는 회전력을 받아 풀리는 구조를 가지고 있어, 회전할 수 있도록 중앙에 관통공을 구비한다. 제1 휠(320)은 관통공에 결합될 수 있는 돌출구성을 가져, 연마용 테이프(330)가 안착될 수 있도록 한다.The
제2 휠(325)은 연마용 테이프의 끝단이 결합될 수 있는 구조를 가져, 외부로부터 회전력을 받아 연마용 테이프의 끝단을 감는다. 제2 휠(325)은 제1 휠(320)에 안착된 연마용 테이프(330)의 끝단이 결합된다. 이에, 제2 휠(325)이 회전력을 받아 연마용 테이프의 끝단을 감을 경우, 연마용 테이프(330)는 제1 휠(320) 내에서 풀린다. 제1 휠(320)과 제2 휠(325)의 동작에 따라, 연마용 테이프(330)는 일정한 속도로 풀릴 수 있다. 제1 휠(320)과 제2 휠(325)의 구체적인 구성은 도 4에 도시되어 있다. The
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 휠의 사시도이다.4 is a perspective view of a wheel according to an embodiment of the present invention;
도 4(a)를 참조하면, 제2 휠(325)은 제2 유입공(415)을 포함한다. 제2 유입공(415)으로는 홈부(315)를 거쳐 진입한 연마장치(130) 내 회전력을 전달하는 수단(이하에서, '동력 수단'으로 칭함, 미도시)이 유입된다. 동력 수단(미도시)이 제2 유입공(415)으로 유입되어 회전력을 가함으로써, 제2 휠(325)이 회전할 수 있다. 이때, 제2 유입공(415)은 동력 수단(미도시)이 원활하게 유입될 수 있도록, 각 끝단이 테이퍼링(Tapering)되어 있다. 또한, 동력 수단은 제2 유입공(415)과 온전한 결합을 위해, 연마장치(130)로부터 동력을 제공받아 적극적으로 위치를 가변할 수 있다. 동력 수단(미도시)이 제2 유입공(415)이 형성된 곳으로 한번에 진입하기는 어려움이 존재한다. 동력 수단(미도시)은 동력을 제공받아 적극적으로 위치를 가변하며 제2 유입공(415)으로 진입할 수 있다. 동력 수단(미도시)이 위치를 가변할 수 있기에, 제2 유입공(415)은 (제1 유입공에 비해) 상대적으로 작은 면적으로 구현되어, 추후 동력 수단(미도시)이 제2 휠(325)로 회전력을 가할 때 있어 보다 원활할 수 있도록 한다.Referring to FIG. 4A , the
제2 휠(325)은 중앙부에 연마장치(130) 내 테이프 케이스(110)를 고정하기 위한 구성이 유입될 수 있는 결합홀(425)을 포함한다. 결합홀(425)은 연마장치를 향하는 반대 방향으로 기 설정된 길이(연마용 테이프의 두께 이상)만큼 돌출되며, 연마장치(130)를 향한 방향으로는 전술한 구성이 유입될 수 있는 구멍을 가져, 전술한 구성이 일정 길이만큼 유입되며 연마용 테이프가 안착될 수 있도록 한다. 결합홀(425) 내로는 연마장치(130) 내 전술한 구성이 유입됨으로써, 제2 휠(325)이 회전하는 과정에서 높이방향으로 승·하강하거나 측면으로 벗어나지 않고 정위치에 고정되어 있을 수 있도록 한다. The
도 4(b)를 참조하면, 제1 휠(320)은 제1 유입공(410)을 포함한다. 제1 유입공(410)으로는 연마장치(130) 내 테이프 케이스(110)를 고정하기 위한 수단(이하에서, '고정 수단'이라 약칭함)이 유입된다. 어차피, 연마용 테이프(330)는 양 휠(320, 325)에 걸쳐 안착되어 있으며, 하나의 휠만이 회전하더라도 양 휠이 모두 회전할 수 있기에, 연마장치(130)는 양 휠 모두에 회전력을 가하기 위한 동력 수단과 동력 원을 구비할 필요가 없다. 이에, 제1 유입공(410)으로는 굳이 동력 수단이 유입되지 않고 고정 수단이 유입된다. Referring to FIG. 4B , the
제2 유입공(415)과 마찬가지로, 제1 유입공(410)도 각 끝단이 테이퍼링(Tapering)되어 있다. 다만, 제1 유입공(410)은 제2 유입공(415)보다 상대적으로 큰 면적을 갖는다. 전술한 대로, 제2 유입공(415)으로 유입되는 동력 수단은 적극적으로 위치를 가변할 수 있기에, 최초로 진입하는 위치가 제2 유입공(415)이 형성된 곳이 아니더라도 위치를 가변할 수 있다. 그러나 제1 유입공(410)으로는 동력 수단이 아닌 고정 수단이 유입된다. 고정 수단은 동력을 제공받는 구성이 아니어서 동력 수단과 같이 위치를 가변할 수 없다. 이에, 제1 유입공(410)이 제2 유입공(415)과 같이 동일한 면적으로 구현된다면 고정수단의 유입이 곤란한 경우가 발생할 수 있다. 이를 방지하기 위해, 제1 유입공(410)은 상대적으로 제2 유입공(415)에 비해 큰 면적을 갖는다.Like the
제1 휠(320)도 중앙부에 제2 휠(325)과 마찬가지로 결합홀(420)을 포함한다. 결합홀(420) 내로 연마장치(130) 내 테이프 케이스(110)를 고정하기 위한 구성이 유입된다.The
도 4에 도시된 바와 같이, 각 유입공(410, 415)은 각 결합홀(420, 425)의 주변에 형성될 수 있다.As shown in FIG. 4 , each of the inlet holes 410 and 415 may be formed around each of the coupling holes 420 and 425 .
다시 도 2 및 3을 참조하면, 고정부(340, 350)는 각 휠(320, 325)과 결합되어, 휠에 안착된 연마용 테이프(330)나 연마용 테이프의 끝단의 이탈을 방지한다. 연마용 테이프(330)가 휠에 안착되거나 연마용 테이프의 끝단이 휠에 결합되더라도, 회전 과정에서 연마용 테이프(330)나 연마용 테이프의 끝단이 원심력 등에 의해 유입되는 연마장치(130)와 멀어지는 방향(+y축 방향)으로 이탈할 수 있다. 이를 방지하기 위해, 고정부(340, 350)는 (연마장치를 향하는 방향의 반대방향에서) 각 휠의 결합홀(420, 425)과 결합된다. 고정부(340, 350)가 각 휠의 결합홀(420, 425)과 결합됨에 따라, 각 휠(320, 325)에 안착된 연마용 테이프(330)나 연마용 테이프의 끝단의 이탈을 방지한다. Referring back to FIGS. 2 and 3 , the fixing
각 고정부(340, 350)의 일 위치(예를 들어, 중앙)에는 연마장치의 각 구성이 유입되는 방향(+y축 방향)으로 돌출된 돌출부(345, 355)가 형성될 수 있다. 해당 방향으로 돌출부(345, 355)가 돌출됨으로써, 고정부(340, 350)와 텐션바(370)는 접촉면적을 줄일 수 있다. 고정부(340, 350)와 텐션바(370)가 직접 접촉을 하게되면 접촉면적이 커지게 된다. 접촉면적의 증가는 고정부(340, 350)가 연마용 테이프(330)를 가압하는 세기의 증가를 야기할 수 있어, 연마용 테이프(330)의 회전에 영향을 미칠 가능성이 있다. 이를 방지하기 위해, 각 고정부(340, 350)는 돌출부(345, 355)를 포함하여, 접촉면적을 줄인다.At one position (eg, the center) of each of the fixing
프리 롤러(360)는 테이프 케이스(110) 내 안착되어 풀어질 연마용 테이프(330)의 경로를 조정한다. 연마용 테이프(330)의 진행을 방해하지 않도록, 프리 롤러(360)는 원기둥 형태를 가지며 연마용 테이프(330)가 거쳐 지나가기를 원하는 경로 상에 배치된다. 제1 휠(320)에 안착되어 회전력을 받아 연마용 테이프(330)가 풀어지면, 프리 롤러(360)는 풀린 연마용 테이프(330)가 바로 제2 휠(325)로 감기는 것이 아니라 프리 롤러(360)를 거친 후 제2 휠(325)로 감기도록 한다. 프리 롤러(360)는 연마용 테이프(330)가 자신을 지나도록 함으로써 경로를 조정한다. 이때, 프리 롤러(360)는 테이프 배출구(380)가 위치한 하단에 위치할 수 있다. 이에, 연마용 테이프(330)는 각 프리 롤러(360)를 거치며 테이프 배출구(380)를 거쳐 외부로 드러나며 제2 휠(325)로 감길 수 있다. 테이프 배출구(380)에서 드러나도록 연마용 테이프(330)가 진행함에 따라, 연마부 유입공(250)으로 유입된 (연마용 테이프를 돌출시키기 위한) 연마장치(130) 내 구성에 의해 테이프 배출구(380)의 외부로 연마용 테이프(330)가 돌출될 수 있도록 한다.The
텐션바(370)는 일면으로는 테이프 케이스(110)의 하우징(200)과 접촉하고 타면으로는 고정부(340, 350)와 각각 접촉하여, 고정부(340, 350)의 이탈을 방지한다. 텐션바(370)는 텐션을 갖는 부재로 구현되어, 하우징(200)과 고정부(340, 350) 사이에 배치된다. 고정부(340, 350), 주로, 고정부(340)가 연마용 테이프(330)로부터 연마장치의 각 구성이 유입되는 방향(+y축 방향)으로 과도한 힘을 받는 경우가 존재할 수 있다. 아무리 고정부(340)와 제1 휠(320)이 결합되었다 하더라도, 결합력이 연마용 테이프(330)의 이탈을 방지하기 어려운 상황이 존재할 수 있다. 텐션바(370)는 고정부(340, 350)와 결합하는 반대측 면으로 테이프 케이스(110)의 하우징(200)과 접촉하고 있기에, 고정부(340, 350)의 이탈을 방지할 수 있다.The
텐션바(370)와 고정부(340, 350)가 접촉하는 부분의 반대측 면에는 완충부재(375)가 부착될 수 있다. 전술한 대로, 고정부(340, 350), 주로 고정부(340)로부터 과도한 힘이 작용하는 경우, 텐션바(370)와 고정부(340, 350)가 접촉하는 부분의 반대측 면은 하우징(200)과 강하게 충돌하게 된다. 이러할 경우나 이런 경우가 지속적으로 반복될 경우, 텐션바(370) 또는 하우징(200)에 악영향이 미칠 수 있다. 이를 방지하기 위해, 텐션바(370)와 고정부(340, 350)가 접촉하는 부분의 반대측 면에 완충부재(375)가 부착되어 충격을 완화한다. 완충부재(375)는 실리콘이나 젤과 같이 충격 흡수에 우수한 소재로 구현될 수 있다.A
전술한 대로, 테이프 케이스(110)는 하우징(200) 내에 구비된 다양한 구성들에 의해, 케이스 교체장치(120) 또는 연마장치(130)와 자동으로 결합됨에 있어 용이하게 결합되어 이송될 수 있다.As described above, the
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 케이스 교체장치의 사시도이다.5 is a perspective view of a case replacement device according to an embodiment of the present invention.
도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 케이스 교체장치(120)는 팔레트(510), 제1 이송유닛(520), 안착유닛(530), 제2 이송유닛(540) 및 제어부(미도시)를 포함한다.Referring to FIG. 5 , the
팔레트(510, Pallet)는 사용 전 케이스 또는 사용 후 케이스를 보관한다. 팔레트(510)는 관리자에 의해 안착된 사용 전 케이스를 보관하거나, 제1 이송유닛(520)에 의해 이송되어 온 사용 후 케이스를 보관한다. 팔레트(510)는 사용 전 케이스 또는 사용 후 케이스를 보관함에 있어, 케이스들의 이탈을 방지하기 위한 구조를 갖는다. 팔레트(510)의 구조는 도 6에 도시되어 있다.The pallet 510 (Pallet) stores the case before or after use. The
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 팔레트의 사시도이다.6 is a perspective view of a pallet according to an embodiment of the present invention.
도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 팔레트(510)는 돌기부(610)를 포함한다. Referring to FIG. 6 , the
돌기부(610)는 팔레트(510)의 바닥면으로부터 연직상방으로 돌출된 구성으로서, 테이프 케이스 내 안착공(260)과 결합하여 테이프 케이스를 고정시킨다. 안착공(260)과 대응되도록 돌기부(610) 역시 중앙을 중심으로 일측에는 2개 또는 그 이상의 돌기부(610a, 610b)가, 타측에는 하나의 돌기부(610c)가 형성된다. 서로 다른 개수의 돌기부(610)가 중앙을 중심으로 형성됨에 따라, 관리자가 사용 전 케이스(110)를 팔레트(510)에 안착시킴에 있어 앞·뒤 방향을 원활히 파악할 수 있도록 한다.The protrusion 610 is configured to protrude vertically upward from the bottom surface of the
다시 도 5를 참조하면, 제1 이송유닛(520)은 팔레트(510)에 안착된 사용 전 케이스를 안착유닛(530)으로 이동시키거나, 안착유닛(530)에 안착되어 있는 사용 후 케이스를 팔레트(510)로 이송한다. 팔레트(510)에는 복수 개의 테이프 케이스가 안착되어 있으며, 이 중 적절한 테이프 케이스가 선택적으로 이송되거나 이송되어 온다. 이에, 팔레트(510)에서 직접 연마장치(130)로의 이송과 장착은 어려움이 존재하고, 가능하더라도 상당한 시간이 소모된다. 이에, 제1 이송유닛(520)은 팔레트(510)에 안착되어 있는 사용 전 케이스들 중 적절한 케이스를 1차적으로 안착유닛(530)으로 이동시키고, 안착유닛(530)에 안착된 사용 후 케이스를 최종적으로 팔레트(510)로 이송한다. Referring back to FIG. 5 , the
전술한 대로, 팔레트(510)에 안착된 테이프 케이스들이 직접 연마장치(130)로 이송되는 것은 어려움이 존재하기도 하고 비효율적이기에, 팔레트(510)와 안착유닛(530)은 서로 상이한 위치에 배치되어 있다. 양자(510, 530)는 높이(z축 방향)도 상이하고, 전·후 방향(케이스 교체장치에 의해 테이프 케이스가 연마장치로 접근하는 방향, y축 방향)으로도 상이한 위치에 있을 수 있다. 이에, 제1 이송유닛(520)은 테이프 케이스를 고정하며 높이방향 및/또는 전·후 방향으로 이송하여 팔레트(510) 또는 안착유닛(530)으로 이송한다. As described above, it is difficult and inefficient for the tape cases seated on the
제1 이송유닛(520)은 케이스 고정부(522), 모터(524), 제1 이동레일(525) 및 제2 이동레일(528)을 포함한다.The
케이스 고정부(522)는 테이프 케이스(110) 내 결합공과 결합하여 테이프 케이스를 고정한다. 케이스 고정부(522)의 구체적인 구조는 도 7에 도시되어 있다.The
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 케이스 고정부를 도시한 도면이다.7 is a view showing a case fixing unit according to an embodiment of the present invention.
도 7을 참조하면, 케이스 고정부(522)는 결합수단(710), 돌출부(720), 센서(730) 및 모터(미도시)를 포함한다.Referring to FIG. 7 , the
결합수단(710)은 테이프 케이스(110)의 하우징 상부와 동일한 형상을 가져, 테이프 케이스(110)가 이탈하지 않고 온전히 고정될 수 있도록 한다. 결합수단(710)은 센서(730)를 중심으로 분리된 두 개의 구성(710a, 710b)으로 구현되며, 각 구성은 테이프 케이스(110)의 하우징 상부와 같이 'ㄱ'자 또는 그에 대칭되는 형상을 갖는다. 이에, 테이프 케이스(110) 내 결합공(210)과 돌출부(720)가 결합됨에 있어, 테이프 케이스(110)의 하우징 상부가 결합수단(710)에 방해를 받으며 온전히 결합되지 못하게 되는 문제를 방지한다.The coupling means 710 has the same shape as the upper portion of the housing of the
돌출부(720)는 결합수단(710)의 끝단에서 내측방향(각 결합수단이 서로를 마주보는 방향)으로 돌출된 구성으로, 테이프 케이스(110) 내 결합공(210)과 결합하여 테이프 케이스(110)를 고정한다. 돌출부(720)는 결합공(210)의 지름과 동일하거나 유사한 지름을 가져, 결합공(210)에 유입될 수 있다. 결합공(210)과 동일한 개수만큼 돌출부(720)도 형성된다. 특히, 결합공(210)이 (테이프 케이스의) 하우징의 양 측면에 서로 다른 개수로 형성된 것과 마찬가지로, 돌출부(720) 역시 서로 다른 개수로 형성된다. 이에 따라, 결합력과 테이프 케이스(110)의 흔들림을 방지함과 동시에, 결합과정에서 지나치게 오랜 시간이 소모되는 것을 방지할 수 있다.The protrusion 720 is configured to protrude from the end of the coupling means 710 in the inward direction (the direction in which each coupling means faces each other), and is coupled with the coupling hole 210 in the
센서(730)는 높이 방향에 있어 하면을 바라보는 방향으로 배치되어, 테이프 케이스(110)의 접근을 감지한다. 별도의 센싱없이 케이스 고정부(522)가 테이프 케이스(110)로 진행하게 된다면, 케이스 고정부(522)와 테이프 케이스(110)가 충돌하며 양자 또는 일방이 파손될 수 있다. 이를 방지하기 위해, 센서(730)가 전술한 방향으로 배치되어, 테이프 케이스(110)를 감지한다.The
모터(미도시)는 결합수단(710)의 양 구성(710a, 710b)간 간격을 조정하기 위한 동력을 제공한다. 결합수단(710)의 양 구성(710a, 710b)이 테이프 케이스(110)의 하우징 상부의 폭과 동일한 폭만큼 떨어져 테이프 케이스(110)로 접근을 한다면, 테이프 케이스를 고정함에 있어 상당한 시간이 소모될 수 있다. 이에, 모터(미도시)는 결합수단(710)의 양 구성(710a, 710b)간 간격을 조정하여 테이프 케이스를 고정하는 과정에 있어 고정의 난이도와 소모 시간을 감소시킨다. 최초, 테이프 케이스를 고정하기 위해 테이프 케이스(110)로 접근함에 있어서는, 양 구성 간 간격을 하우징 상부의 폭보다 넓게 함으로써 접근을 용이하게 한다. 적절한 위치까지 결합수단(710)이 접근을 한 경우, 하우징 상부의 폭만큼 양 구성의 폭을 좁힘으로써 돌출부(720)와 결합공(210)이 결합될 수 있도록 한다.A motor (not shown) provides power for adjusting the distance between both
다시 도 5를 참조하면, 모터(524)는 케이스 고정부(522)가 제1 이동레일(526) 또는 제2 이동레일(528)을 따라 이동할 수 있도록 하는 동력을 제공한다.Referring back to FIG. 5 , the
제1 이동레일(526)은 케이스 고정부(522)가 높이방향(z축 방향)으로 이동할 수 있도록 하는 경로를 제공한다. 제1 이동레일(526)은 높이방향으로 배치되어 있어, 케이스 고정부(522)가 모터(524)로부터 동력을 받아 제1 이동레일(526) 상을 이동할 수 있도록 한다. The first moving
제2 이동레일(528)은 제1 이동레일(526)의 높이방향으로의 하부와 연결되어, 제1 이동레일(526)을 전·후방향(y축 방향)으로 이동시킨다. 제2 이동레일(528)은 높이방향으로 배치되어 있어, 제1 이동레일(526)이 모터(524)로부터 동력을 받아 제2 이동레일(528) 상을 전·후방향으로 이동할 수 있도록 한다. The second moving
전술한 구성을 포함함에 따라, 제1 이송유닛(520)은 테이프 케이스(110)를 고정하여 팔레트(510) 및 안착유닛(530) 어느 하나에서 다른 하나로 이송할 수 있다.By including the above-described configuration, the
안착유닛(530)은 제1 이송유닛(520)에 의해 이송되는 사용 전 케이스가 연마장치(130)로 이송되기 전까지 또는 제2 이송유닛(540)에 의해 이송되는 사용 후 케이스가 팔레트(510)로 이송되기 전까지 각 테이프 케이스를 안착시킨다. 안착유닛(530)의 구조는 도 8에 상세히 도시되어 있다.The
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 안착유닛을 도시한 도면이다.8 is a view showing a seating unit according to an embodiment of the present invention.
도 8을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 안착유닛(530)은 결합수단(810), 이동레일(820), 센서(830) 및 모터(미도시)를 포함한다. Referring to FIG. 8 , the
결합수단(810)은 안착유닛(530)의 이동레일(820)로부터 연직상방으로 돌출된 구성으로서, 안착유닛(530)으로 안착되는 테이프 케이스와 결합하여 테이프 케이스를 고정시킨다. The coupling means 810 is configured to protrude vertically upward from the moving
결합수단(810)은 2개의 구성(810a, 810b)으로 구현되며, 양자가 서로 마주보는 방향의 면에 해당 방향으로 돌출된 돌출부(815)를 포함한다. 돌출부(815)는 양자가 서로 마주보는 방향으로 돌출되어, 안착유닛(530)의 이동레일(820)에 안착되는 테이프 케이스 내 제1 안착공(230)과 결합된다. 돌출부(815)는 제1 안착공(230)의 지름과 동일하거나 유사한 지름을 가져 제1 안착공(230)과 결합되며, 양자(230, 815)의 결합에 의해, 안착유닛(530)에 안착된 테이프 케이스(110)가 안착유닛(530)에 안착되어 고정된다. The coupling means 810 is implemented with two
이동레일(820)은 안착유닛(530)으로 이송되어 오는 테이프 케이스를 안착시키며, 결합수단(810)이 자신을 따라 이동할 수 있도록 한다.The moving
이동레일(820)은 테이프 케이스(110)가 자신의 상단에 온전히 안착될 수 있도록 한다. 이동레일(820)은 테이프 케이스(110) 하우징의 폭과 동일하거나 큰 폭을 갖는 동시에, 평평한 구조를 갖는다. 이에, 이동레일(820)은 테이프 케이스(110)가 자신의 상단에 온전히 안착될 수 있도록 하고, 안착이 되었을 경우 이탈하지 않도록 할 수 있다.The moving
이동레일(820)은 결합수단(810)의 각 구성이 멀어지거나 가까워지도록 하는 경로를 제공한다. 이에, 결합수단(810)의 각 구성(810a, 810b)은 모터(미도시)에 의해 동력을 제공받아 이동레일(820) 상을 이동할 수 있다. 테이프 케이스(110)가 안착유닛(530)으로 접근하여 이동레일(820) 상에 안착되려고 할 경우, 각 구성(810a, 810b)은 상호 간 간격을 벌려 용이하게 테이프 케이스(110)가 안착될 수 있도록 한다. 한편, 테이프 케이스(110)가 이동레일(820) 상에 온전히 안착된 경우, 각 구성(810a, 810b)은 상호 간 간격을 좁히며, 돌출부(815)와 제1 안착공(230)이 결합될 수 있도록 한다.The moving
센서(830)는 안착유닛(530) 내 이동레일(820)을 바라보는 방향으로 배치되어, 이동레일(820)로 접근하는 테이프 케이스를 센싱한다. 센서(830)는 이동레일(820)로의 테이프 케이스의 접근을 센싱하여, 접근 여부에 따라 결합수단(810)이 적절히 이동할 수 있도록 한다.The
다시 도 5를 참조하면, 제2 이송유닛(540)은 안착유닛(530)에 안착되어 있는 사용 전 케이스를 연마장치(130)로 이송하거나, 연마장치(130)로부터 사용 후 케이스를 안착유닛(530)으로 이송한다. 제2 이송유닛(540)은 연마장치(130)와 높이 방향(z축 방향)으로나 전·후 방향(y축 방향)을 기준으로 동일하거나 유사한 위치에 배치된다. 제2 이송유닛(540)은 안착유닛(530)에 비해 연마장치(130)로부터 먼 위치에 위치하여, 안착유닛(530)에 안착된 사용 전 케이스를 연마장치(130)로 이송하거나 사용 후 케이스를 연마장치(130)에서 안착유닛(530)으로 이송한다. 제2 이송유닛(540)에 대한 상세한 구조는 도 9에 도시되어 있다.Referring back to FIG. 5 , the
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 이송유닛을 도시한 도면이다.9 is a view showing a second transfer unit according to an embodiment of the present invention.
도 9를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 이송유닛(540)은 결합부(910), 샤프트(920), 가압부(930), 센서(940), 이송부(950), 이동레일(960) 및 모터(미도시)를 포함한다. Referring to FIG. 9 , the
결합부(910)는 테이프 케이스 내 제1 고정공(220)의 형상과 대응되는 형상을 구비하여, 테이프 케이스와 탈착된다. The
전술한 대로, 제1 고정공(220)은 일정 방향으로 길이가 긴 형태로 구현되며, 이와 마찬가지로, 결합부(910)도 제1 고정공(220) 내로 유입될 수 있도록 일정 방향으로 길이가 긴 형태로 구현된다. 최초, 결합부(910)는 긴 부분이 제1 고정공과 동일한 방향으로 위치한다. 이송부(950)가 프레임(900)을 안착유닛(530)에 안착된 테이프 케이스 가까이(+y축 방향)로 이송할 경우, 결합부(910)는 제1 고정공(220) 내부로 유입된다. 이후, 샤프트(920)에 의해 결합부(910)는 기 설정된 각도, 예를 들어, 일 방향으로 90도 각도만큼 회전한다. 결합부(910)가 제1 고정공(220)으로 유입된 후에 회전하게 되면, 길이가 긴 부분의 방향이 상호(220, 910) 간에 상이해진다. 이에, 테이프 케이스(110)는 케이스 교체장치(120)가 자신에 가까워지는 방향(+y축 방향)으로의 이탈이 방지된다. 또한, 결합부(910)가 제1 고정공(220) 내에 위치하고 있기 때문에, 제1 고정공(220)을 지탱하는 구조를 갖는다. 이에, 결합부(910)는 테이프 케이스(110)를 높이방향으로도 이탈하지 않도록 지지한다. As described above, the
한편, 전술한 대로 자신에 결합되어 있는 테이프 케이스가 분리되어야 하는 경우, 샤프트(920)에 의해 결합부(910)는 결합부(910)와 제1 고정공(220)의 길이가 긴 부분의 방향이 서로 동일하도록 다시 회전한다. 결합부(910)는 제1 고정공(220)으로부터 다시 분리되며, 결합부(910)에 의한 테이프 케이스의 고정도 해제된다.On the other hand, when the tape case coupled to itself as described above needs to be separated, the
샤프트(920)는 결합부(910)와 연결되어, 모터(미도시)로부터 동력을 받아 테이프 케이스와 가까워지거나 멀어지는 방향(y축 방향)으로 신축하거나, 회전한다. 샤프트(920)의 신축에 따라, 결합부(910)는 안착유닛(530)에 안착된 테이프 케이스에 가까워지거나 멀어질 수 있다. 샤프트(920)의 회전에 따라, 결합부(910)도 함께 회전하며, 결합부(910)가 제1 고정공(220)에 결합되거나 분리될 수 있다.The
가압부(930)는 테이프 케이스의 하우징과 접촉하여 테이프 케이스의 하우징을 가압한다. 가압부(930)는 프레임(900)으로부터 안착유닛(530)에 안착된 테이프 케이스를 향하는 방향(+y축 방향)으로 돌출된 구성이다. 가압부(930)는 테이프 케이스의 하우징과 접촉하여, 테이프 케이스의 하우징을 안착유닛(530)에 안착된 테이프 케이스를 향하는 방향(+y축 방향)으로 가압한다. 이에, 테이프 케이스는 가압부(930)의 가압에 의해, 케이스 교체장치(120)가 자신에 멀어지는 방향(-y축 방향)으로의 이탈이 방지된다. 테이프 케이스는 결합부(910)에 의해 높이방향으로의 이탈이나 케이스 교체장치(120)가 자신에 가까워지는 방향(+y축 방향)으로의 이탈이 방지되고, 가압부(930)에 의해 케이스 교체장치(120)가 자신에 멀어지는 방향(+y축 방향)으로의 이탈도 방지되므로, 제2 이송유닛(540)의 이송과정에서 움직임없이 온전히 연마장치(130)로 이송될 수 있다.The pressing part 930 contacts the housing of the tape case and presses the housing of the tape case. The pressing part 930 is configured to protrude from the
한편, 프레임(900)이 이송부(950)에 의해 안착유닛(530)에 안착된 테이프 케이스로부터 멀어질 경우, 가압부(930)에 의한 가압은 중단되며 테이프 케이스의 고정도 해제된다.On the other hand, when the
가압부(930)는 테이프 케이스를 가압함에 있어 테이프 케이스가 일정 각도로 틀어지지 않도록 복수의 구성으로 구현될 수 있다. 예를 들어, 가압부(930)는 도 9에 도시된 것과 같이, 3개의 구성(930a 내지 930c)이 삼각형을 이루며 배치될 수 있다. 다만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 테이프 케이스가 일정 각도로 틀어지지 않도록 가압할 수 있다면 다양한 개수의 가압부가 다양한 구조로 배치될 수 있다. The pressing unit 930 may be implemented in a plurality of configurations so that the tape case is not bent at a predetermined angle when pressing the tape case. For example, as shown in FIG. 9 , the pressing part 930 may have three
센서(940)는 프레임(900) 상에 안착유닛(530)을 향하는 방향으로 배치되어, 프레임(900)이 안착유닛(530)에 배치된 테이프 케이스(110)와 얼마나 근접하였는지를 센싱한다. 결합부(910)와 가압부(930)가 적절히 이동하여 테이프 케이스 내 각 구성과 결합할 수 있도록, 센서(940)는 테이프 케이스(110)와의 근접도를 센싱한다. The
이송부(950)는 모터(미도시)로부터 동력을 제공받아, 프레임(900)을 안착유닛(530)에 안착된 테이프 케이스와 가까워지거나 멀어지도록 이송한다. 전술한 대로, 결합부(910)가 제1 고정공(220)으로 유입되거나 가압부(930)가 테이프 케이스의 하우징을 가압할 수 있도록, 이송부(950)는 프레임(900)을 안착유닛(530)에 안착된 테이프 케이스 가까이로 이송한다. 반대로, 제2 이송유닛(540)으로부터 테이프 케이스의 분리를 위해, 결합부(910)가 제1 고정공(220)으로부터 분리되거나 가압부(930)가 테이프 케이스의 하우징에 대한 가압을 중단하도록, 이송부(950)는 프레임(900)이 안착유닛(530)에 안착된 테이프 케이스와 멀어지도록 이송한다. The
이동레일(960)은 모터(미도시)로부터 동력을 제공받아, 이송부(950)를 포함한 프레임(900) 전체가 연마장치(130)와 가까워지거나 멀어질 수 있도록 한다. 사용 전 케이스가 안착유닛(530)에 안착되어 있다면, 사용 전 케이스는 결합부(910) 및 가압부(930)에 의해 고정되어 결합된 채 연마장치(130)로 전달되어야 한다. 반대로, 연마장치(130)에서 연마용 테이프가 모두 사용된 경우라면, 사용 후 케이스는 결합부(910) 및 가압부(930)에 의해 고정되어 결합된 채 연마장치(130)로부터 안착유닛(530)으로 이송되어야 한다. 테이프 케이스가 연마장치(130) 또는 안착유닛(530)으로 이송될 수 있도록, 이동레일(960)은 모터(미도시)로부터 동력을 제공받아, 이송부(950)를 포함한 프레임(900) 전체가 연마장치(130)와 가까워지거나 멀어질 수 있도록 한다. The moving
다시 도 5를 참조하면, 제어부(미도시)는 케이스 교체장치(120) 내 각 구성의 동작을 제어한다. Referring back to FIG. 5 , the controller (not shown) controls the operation of each component in the
제어부(미도시)는 팔레트(510)의 위치, 팔레트(510) 내 각 돌기부의 위치, 안착유닛(530)의 위치 및 연마장치(130)의 위치를 모두 저장해둔다. 이에, 각 이송유닛(520, 540)이 테이프 케이스를 특정 위치에서 다른 위치로 이송할 수 있도록 한다. The control unit (not shown) stores all of the position of the
제어부(미도시)는 팔레트(미도시)에 안착되어 있는 사용 전 케이스를 안착유닛(530)으로 이송하도록 제1 이송유닛(520)을 제어한다. 제어부(미도시)는 제1 이송유닛(520)이 팔레트(미도시) 내 특정 사용 전 케이스의 위치로 이동하도록 제어한다. 이때, 제어부(미도시)는 제1 이송유닛(520) 내 센서(730)로부터 센싱값을 수신하여, 케이스 고정부(522)가 적절하 위치할 수 있도록 한다. 제어부(미도시)는 제1 이송유닛(520)이 사용 전 케이스를 안착유닛(530)으로 이송하도록 제어한다. 이때, 제어부(미도시)는 안착유닛(530) 내 센서(830)로부터 센싱값을 수신하여, 결합수단(810)이 적절한 간격만큼 벌어질 수 있도록 제어한다. 제어부(미도시)는 사용 전 케이스가 이동레일(820)에 안착된 후 고정될 수 있도록 제1 이송유닛(520)과 안착유닛(530) 내 결합수단(810)을 제어한다.The control unit (not shown) controls the
제어부(미도시)는 안착유닛(530)에 안착된 사용 전 케이스를 연마장치(130)로 이송하도록 제2 이송유닛(540)을 제어한다. 제어부(미도시)는 모터(미도시)를 제어하여 샤프트(920)에 의해 결합부(910)가 사용 전 케이스로 접근하도록 제어한다. 제어부(미도시)는 샤프트(920)가 기 설정된 각도만큼 회전하도록 모터(미도시)를 제어한다. 이후, 제어부(미도시)는 모터(미도시)를 제어하여 프레임(900)이 사용 전 케이스로 접근하도록 제어한다. 이때, 제어부(미도시)는 센서(940)로부터 센싱값을 수신하여 가압부(930)가 사용 전 케이스와 접촉할 수 있는 정도까지 이동하도록 모터(미도시)를 제어한다. 결합부(910)와 가압부(930)의 제어가 완료된 후, 제어부(미도시)는 모터(미도시)를 제어하여 이송부(950)를 포함한 프레임(900)이 이동레일(960)을 따라 연마장치(130)로 접근하도록 제어한다.The controller (not shown) controls the
반대로, 연마장치(130)에 의해 연마용 테이프의 사용이 완료된 경우, 제어부(미도시)는 연마장치(130)로부터 사용 후 케이스를 안착유닛(530)으로 이송하도록 제2 이송유닛(9540)을 제어한다. 제어부(미도시)는 이송부(950)를 포함한 프레임(900)이 연마장치(130)로 접근하도록 제어한 후, 전술한 동작에 따라 결합부(910)와 가압부(930)가 사용 후 케이스를 결합하도록 제어한다. 이후, 제어부(미도시)는 사용 후 케이스를 안착유닛(530)으로 이송하도록 제어한다.Conversely, when the use of the polishing tape is completed by the polishing
제어부(미도시)는 안착유닛(530)에 안착된 사용 후 케이스를 팔레트(510)로 이송하도록 제1 이송유닛(520)을 제어한다. 제어부(미도시)는 전술한 바와 같이 안착유닛(530) 및 제1 이송유닛(520)을 제어하여, 사용 후 케이스를 팔레트(510)로 이송한다.The controller (not shown) controls the
이상의 설명은 본 실시예의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 실시예가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 실시예들은 본 실시예의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 실시예의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 실시예의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 실시예의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The above description is merely illustrative of the technical idea of this embodiment, and various modifications and variations will be possible without departing from the essential characteristics of the present embodiment by those of ordinary skill in the art to which this embodiment belongs. Accordingly, the present embodiments are intended to explain rather than limit the technical spirit of the present embodiment, and the scope of the technical spirit of the present embodiment is not limited by these embodiments. The protection scope of this embodiment should be interpreted by the claims below, and all technical ideas within the scope equivalent thereto should be construed as being included in the scope of the present embodiment.
100: 결함 연마 시스템
110: 테이프 케이스
120: 케이스 교체장치
130: 연마장치
200: 하우징
210: 결합공
220: 제1 고정공
230: 제1 안착공
240: 제2 고정공
250: 연마부 유입공
260: 제2 안착공
310, 315: 홈부
320, 325: 휠
330: 연마용 테이프
340, 350: 고정부
345, 355: 돌출부
360: 프리롤러
370: 텐션 바
380: 테이프 배출구
410: 제1 유입공
415, 425: 결합홀
420: 제2 유입공
510: 팔레트
520: 제1 이송유닛
522: 케이스 고정부
524: 모터
526, 528, 820, 960: 이동레일
530: 안착유닛
540: 제2 이송유닛
610: 돌기부
710: 결합수단
720, 815: 돌출부
730, 830, 940: 센서
810: 결합수단
910: 결합부
920: 샤프트
930: 가압부
950: 이송부100: defect polishing system
110: tape case
120: case replacement device
130: polishing device
200: housing
210: coupling hole
220: first fixing hole
230: first seating hole
240: second fixing hole
250: abrasive inlet hole
260: second seating hole
310, 315: groove
320, 325: wheel
330: abrasive tape
340, 350: fixed part
345, 355: protrusions
360: pre-roller
370: tension bar
380: tape outlet
410: first inlet hole
415, 425: coupling hole
420: second inlet hole
510: palette
520: first transfer unit
522: case fixing part
524: motor
526, 528, 820, 960: moving rail
530: seating unit
540: second transfer unit
610: protrusion
710: coupling means
720, 815: protrusion
730, 830, 940: sensor
810: coupling means
910: coupling part
920: shaft
930: pressurized part
950: transfer unit
Claims (5)
연마에 사용되기 이전 테이프를 보관하는 사용 전 테이프 케이스 또는 연마에 사용된 후의 테이프를 보관하는 사용 후 테이프 케이스를 안착하는 팔레트(Pallet);
상기 팔레트로부터 연마장치로 이송하기 위해 사용 전 테이프 케이스를 안착시켜두거나, 상기 연마장치로부터 상기 팔레트로 이송하기 위해 사용 후 테이프 케이스를 안착시켜두는 안착유닛;
테이프 케이스의 결합공과 결합하여, 상기 팔레트로부터 사용 전 테이프 케이스를 상기 안착유닛으로 이송하거나 상기 안착유닛으로부터 사용 후 테이프 케이스를 상기 팔레트로 이송하는 제1 이송유닛;
상기 안착유닛에 안착되어 있는 사용 전 테이프 케이스와 결합하여 상기 연마장치로 이송하거나, 상기 연마장치에 결합되어 있는 사용 후 테이프 케이스와 결합하여 상기 안착유닛으로 이송하는 제2 이송유닛; 및
상기 제1 이송유닛 및 상기 제2 이송유닛의 동작을 제어하는 제어부
를 포함하는 것을 특징으로 하는 케이스 교체장치.An apparatus for replacing a tape case for polishing defects in a substrate, the apparatus comprising:
a pre-used tape case for storing the tape before being used for polishing or a pallet for seating the post-used tape case for storing the tape after being used for polishing;
a seating unit for seating the tape case before use to transfer it from the pallet to the polishing apparatus, or for seating the tape case after use to transfer it from the polishing apparatus to the pallet;
a first transfer unit for transferring the tape case before use from the pallet to the seating unit or transferring the tape case after use from the seating unit to the pallet in combination with the coupling hole of the tape case;
a second transfer unit coupled to the pre-use tape case seated on the mounting unit and transferred to the polishing device, or coupled to the post-use tape case coupled to the polishing device and transferred to the mounting unit; and
A control unit for controlling the operations of the first transfer unit and the second transfer unit
Case replacement device comprising a.
상기 팔레트는,
바닥면에서 연직상방으로 돌출된 돌기부를 포함하여, 테이프 케이스를 안착시켜 고정하는 것을 특징으로 하는 케이스 교체장치.According to claim 1,
The palette is
A case replacement device, comprising a protrusion protruding vertically upward from the bottom surface, to seat and fix the tape case.
상기 팔레트는,
중앙을 중심으로 일측에는 하나의 돌기부만을, 반대측에는 2개 이상의 돌기부를 포함하는 것을 특징으로 하는 케이스 교체장치.3. The method of claim 2,
The palette is
Case replacement device comprising only one protrusion on one side of the center and two or more protrusions on the opposite side.
상기 제1 이송유닛 및 상기 제2 이송유닛은,
테이프 케이스에 접근하는지 여부를 센싱하는 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 케이스 교체장치.According to claim 1,
The first transfer unit and the second transfer unit,
Case replacement device comprising a sensor for sensing whether or not to approach the tape case.
상기 안착유닛은,
테이프 케이스가 상기 안착유닛에 안착되었는지 여부를 센싱하는 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 케이스 교체장치.
According to claim 1,
The mounting unit is
Case replacement device comprising a sensor for sensing whether the tape case is seated on the mounting unit.
Priority Applications (2)
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|---|---|---|---|
| KR1020200165483A KR102454770B1 (en) | 2020-12-01 | 2020-12-01 | Apparatus for Replacing Polishing Tape Case |
| CN202110080359.4A CN114571356A (en) | 2020-12-01 | 2021-01-21 | Grinding belt box replacing device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| KR1020200165483A KR102454770B1 (en) | 2020-12-01 | 2020-12-01 | Apparatus for Replacing Polishing Tape Case |
Publications (2)
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Family
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