KR102480683B1

KR102480683B1 - Apparatus for Polishing Defects Using Polishing Tapes

Info

Publication number: KR102480683B1
Application number: KR1020200165391A
Authority: KR
Inventors: 정도순; 최영섭; 우정제
Original assignee: 주식회사 에이치비테크놀러지
Priority date: 2020-12-01
Filing date: 2020-12-01
Publication date: 2022-12-23
Also published as: CN114571364A; KR20220076664A

Abstract

연마용 테이프를 이용한 결함 연마장치를 개시한다.
본 실시예의 일 측면에 의하면, 테이프 케이스 내 테이프를 권취하여 결함을 연마하는 장치에 있어서, 테이프 케이스 내 제1 휠과 결합되며, 동력을 제공받아 회전하여 제1 휠로 테이프를 권취하는 제1 회전부와 테이프 케이스 내 제2 휠과 결합되며, 회전하여 제2 휠에 권취된 테이프가 상기 제1 회전부에 의해 상기 제1 휠로 권취될 수 있도록 하는 제2 회전부와 상기 제1 회전부로 동력을 제공하는 제1 모터와 테이프 케이스가 접근하는지 여부를 센싱하는 제1 센서와 결함부위와 멀어지거나 가까워지도록 이동하며, 상기 제2 회전부로부터 상기 제1 회전부로 권취되는 테이프를 결함부위로 돌출시키는 팁과 상기 팁이 상기 결함부위로 멀어지거나 가까워지도록 동력을 제공하는 제2 모터 및 상기 제1 센서의 센싱값을 토대로 상기 제1 모터 및 상기 제2 모터의 동작을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 결함 연마장치를 제공한다.Disclosed is a defect polishing apparatus using an abrasive tape.
According to one aspect of the present embodiment, in the apparatus for winding a tape in a tape case and polishing a defect, a first rotation unit coupled to a first wheel in the tape case and rotating by receiving power to wind the tape with the first wheel; A second rotation unit that is coupled to a second wheel in the tape case and rotates so that the tape wound around the second wheel can be wound around the first wheel by the first rotation unit and a first rotation unit that provides power to the first rotation unit. A first sensor that senses whether the motor and the tape case are approaching, a tip that moves away from or closer to the defective portion, and protrudes the tape wound from the second rotating portion to the first rotating portion to the defective portion, and the tip A defect polishing apparatus comprising a second motor for providing power to move away from or closer to the defect and a control unit for controlling the operation of the first motor and the second motor based on the sensing values of the first sensor. to provide.

Description

연마용 테이프를 이용한 결함 연마장치{Apparatus for Polishing Defects Using Polishing Tapes}Apparatus for Polishing Defects Using Polishing Tapes}

본 발명은 연마용 테이프를 이용하여 결함을 연마하는 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for polishing defects using an abrasive tape.

이 부분에 기술된 내용은 단순히 본 실시예에 대한 배경 정보를 제공할 뿐 종래기술을 구성하는 것은 아니다.The contents described in this part merely provide background information on the present embodiment and do not constitute prior art.

최근에는 핸드폰, 노트북, PDA(Personal Digital Assistants) 및 대형 TV와 같은 디스플레이의 수요가 증가함에 따라 두께가 얇고 가벼운 평판 디스플레이 (Flat Panel Display) 분야의 발전이 진행되고 있다.Recently, as the demand for displays such as mobile phones, laptop computers, PDAs (Personal Digital Assistants) and large TVs increases, the development of thin and light flat panel displays is progressing.

이러한 평판 디스플레이에는 액정표시장치(Liquid Crystal Display; LCD), 유기전계 발광 표시장치(Organic Light Emitting Display; OLED) 등이 있는데, 평판 디스플레이의 핵심은 투명한 기판 사이에 매트릭스 형태로 배열되는 다수개의 화소를 박막 형태로 증착하여 다양한 컬러를 구현하는 평판표시패널에 있다.These flat displays include Liquid Crystal Displays (LCDs) and Organic Light Emitting Displays (OLEDs). The core of a flat panel display is a plurality of pixels arranged in a matrix form between transparent substrates. It is in the flat panel display panel that is deposited in the form of a thin film to realize various colors.

하지만, 박막을 형성하는 공정에서는 박막의 불균일성과 이물 등의 유입에 따라 돌기 형태의 결함이 빈번하게 발생될 수 있는데, 이와 같은 돌기 결함은 기판 사이의 높이 편차를 발생시키게 되어, 빛의 투과율을 방해하고 전기적인 단락 또는 단선을 초래할 수도 있다.However, in the process of forming a thin film, defects in the form of protrusions may frequently occur due to the non-uniformity of the thin film and the inflow of foreign substances. and may cause an electrical short or disconnection.

이에, 통상 연마용 테이프를 이용하여 기판 내 발생한 돌기 결함을 제거한다. 연마용 테이프를 케이스 내에 보관하며, 별도의 연마장치 등을 이용해 테이프를 일정한 속도로 감으면서 돌기를 식각하여 제거한다. Accordingly, protrusion defects generated in the substrate are removed using a conventional polishing tape. The polishing tape is stored in the case, and the protrusions are etched and removed while the tape is wound at a constant speed using a separate polishing device.

다만, 종래에는 연마장치에 케이스가 장착되어 케이스 내부의 연마용 테이프가 연마에 사용되는 과정 및 테이프가 연마에 모두 사용된 후 케이스가 연마장치로부터 분리될 때까지 모두 관리자의 수작업으로 수행되어 왔다. 이에, 테이프가 모두 사용될 시점마다 일일이 관리자가 교체를 해야하는 불편이 존재해왔다.However, in the prior art, the process of using the polishing tape inside the case after the case is mounted on the polishing device and the process of using the polishing tape inside the polishing device until the case is separated from the polishing device after the tape is used for polishing have all been performed manually by a manager. Accordingly, it is inconvenient for a manager to have to replace the tapes one by one whenever all the tapes are used.

본 발명의 일 실시예는, 센싱된 결함과 연마용 테이프를 접촉시키면서 결함을 연마시켜 제거하는 결함 연마장치를 제공하는 데 일 목적이 있다.An object of one embodiment of the present invention is to provide a defect polishing device that polishes and removes a defect while bringing the sensed defect into contact with a polishing tape.

본 발명의 일 측면에 의하면, 테이프 케이스 내 테이프를 권취하여 결함을 연마하는 장치에 있어서, 테이프 케이스 내 제1 휠과 결합되며, 동력을 제공받아 회전하여 제1 휠로 테이프를 권취하는 제1 회전부와 테이프 케이스 내 제2 휠과 결합되며, 회전하여 제2 휠에 권취된 테이프가 상기 제1 회전부에 의해 상기 제1 휠로 권취될 수 있도록 하는 제2 회전부와 상기 제1 회전부로 동력을 제공하는 제1 모터와 테이프 케이스가 접근하는지 여부를 센싱하는 제1 센서와 결함부위와 멀어지거나 가까워지도록 이동하며, 상기 제2 회전부로부터 상기 제1 회전부로 권취되는 테이프를 결함부위로 돌출시키는 팁과 상기 팁이 상기 결함부위로 멀어지거나 가까워지도록 동력을 제공하는 제2 모터 및 상기 제1 센서의 센싱값을 토대로 상기 제1 모터 및 상기 제2 모터의 동작을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 결함 연마장치를 제공한다.According to one aspect of the present invention, in an apparatus for winding a tape in a tape case and polishing a defect, a first rotation unit coupled to a first wheel in the tape case and rotating by receiving power to wind the tape with the first wheel; A second rotation unit that is coupled to a second wheel in the tape case and rotates so that the tape wound around the second wheel can be wound around the first wheel by the first rotation unit and a first rotation unit that provides power to the first rotation unit. A first sensor that senses whether the motor and the tape case are approaching, a tip that moves away from or closer to the defective portion, and protrudes the tape wound from the second rotating portion to the first rotating portion to the defective portion, and the tip A defect polishing apparatus comprising a second motor for providing power to move away from or closer to the defect and a control unit for controlling the operation of the first motor and the second motor based on the sensing values of the first sensor. to provide.

본 발명의 일 측면에 의하면, 상기 결함 연마장치는 상기 팁과 연결되어 상기 팁을 결합부위와 멀어지거나 가까워지도록 이동시키는 몸체를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.According to one aspect of the present invention, the defect polishing device is characterized in that it further comprises a body that is connected to the tip and moves the tip away from or closer to the coupling portion.

본 발명의 일 측면에 의하면, 상기 결함 연마장치는 상기 제2 모터로부터 동력을 제공받아, 상기 몸체를 밀거나 당김으로써 상기 몸체에 의해 상기 팁이 결함부위와 멀어지거나 가까워지도록 이동시키는 실린더를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.According to one aspect of the present invention, the defect polishing device further includes a cylinder that receives power from the second motor and moves the tip away from or closer to the defect portion by the body by pushing or pulling the body. It is characterized by doing.

본 발명의 일 측면에 의하면, 상기 제2 모터는 상기 실린더가 상기 몸체를 밀거나 당기도록 동력을 제공하는 것을 특징으로 한다.According to one aspect of the present invention, the second motor is characterized in that the cylinder provides power to push or pull the body.

본 발명의 일 측면에 의하면, 상기 결함 연마장치는 상기 제2 휠에 권취된 테이프가 상기 팁 상을 지나 상기 제1 휠로 권취되도록 테이프의 이동경로를 형성하는 테이프 고정부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.According to one aspect of the present invention, the defect polishing device further comprises a tape fixing unit forming a moving path of the tape so that the tape wound around the second wheel passes over the tip and is wound around the first wheel. do.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 일 측면에 따르면, 센싱된 결함과 연마용 테이프를 접촉시키면서 결함을 연마시켜 제거할 수 있는 장점이 있다.As described above, according to one aspect of the present invention, there is an advantage in that the detected defect can be polished and removed while contacting the polishing tape.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 결함 연마 시스템을 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 테이프 케이스의 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 테이프 케이스의 분해 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 휠의 사시도이다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 연마장치의 구성을 도시한 도면이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 연마장치의 일 부분을 확대한 도면이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 연마장치 내 팁의 후면을 확대한 도면이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 연마장치의 동작을 도시한 모식도이다.1 is a diagram illustrating a defect polishing system according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view of a tape case according to an embodiment of the present invention.
3 is an exploded perspective view of a tape case according to an embodiment of the present invention.
4 is a perspective view of a wheel according to an embodiment of the present invention.
5 and 6 are diagrams showing the configuration of a polishing device according to an embodiment of the present invention.
7 is an enlarged view of a portion of a polishing device according to an embodiment of the present invention.
8 is an enlarged view of the rear surface of the tip in the polishing device according to an embodiment of the present invention.
9 is a schematic diagram showing the operation of a polishing device according to an embodiment of the present invention.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다.Since the present invention can make various changes and have various embodiments, specific embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail. However, this is not intended to limit the present invention to specific embodiments, and should be understood to include all modifications, equivalents, or substitutes included in the spirit and technical scope of the present invention. Like reference numerals have been used for like elements throughout the description of each figure.

제1, 제2, A, B 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 동력 수단요소로 명명될 수 있고, 유사하게 동력 수단요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 및/또는 이라는 용어는 복수의 관련된 기재된 항목들의 조합 또는 복수의 관련된 기재된 항목들 중의 어느 항목을 포함한다.Terms such as first, second, A, and B may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. These terms are only used for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, a first component may be termed a power means element, and similarly, a power means element may also be termed a first element. The terms and/or include any combination of a plurality of related recited items or any of a plurality of related recited items.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에서, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.It is understood that when an element is referred to as being "connected" or "connected" to another element, it may be directly connected or connected to the other element, but other elements may exist in the middle. It should be. On the other hand, when an element is referred to as “directly connected” or “directly connected” to another element, it should be understood that no intervening element exists.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서 "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.Terms used in this application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. It should be understood that terms such as "include" or "having" in this application do not exclude in advance the possibility of existence or addition of features, numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof described in the specification. .

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해서 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which the present invention belongs.

일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Terms such as those defined in commonly used dictionaries should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related art, and unless explicitly defined in the present application, they should not be interpreted in an ideal or excessively formal meaning. don't

또한, 본 발명의 각 실시예에 포함된 각 구성, 과정, 공정 또는 방법 등은 기술적으로 상호 간 모순되지 않는 범위 내에서 공유될 수 있다.In addition, each configuration, process, process or method included in each embodiment of the present invention may be shared within a range that does not contradict each other technically.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 결함 연마 시스템을 도시한 도면이다.1 is a diagram illustrating a defect polishing system according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 결함 연마 시스템(100)은 테이프 케이스(110), 케이스 교체장치(120) 및 연마장치(130)를 포함한다.Referring to FIG. 1 , a defect polishing system 100 according to an embodiment of the present invention includes a tape case 110 , a case replacement device 120 and a polishing device 130 .

테이프 케이스(110)는 기판 상에 발생한 돌기 결함을 제거하기 위한 연마용 테이프를 보관한다. 테이프 케이스(110)는 내부에 연마용 테이프가 장착되어 고정되며, 외부에 케이스 교체장치(120)나 연마장치(130)에 장착되어 이송되거나 결함을 연마할 수 있도록 고정될 수 있는 구조를 갖는다. 즉, 테이프 케이스(110) 내 연마용 테이프가 장착되는 것까지만 관리자의 손을 거치며, 테이프 케이스(110)가 케이스 교체장치(120)에 안착된 후부터는 케이스 교체장치(120)에 안정적으로 장착되어 이송되거나, 연마장치(130)에 장착되어 연마부위를 연마할 수 있도록 한다. 테이프 케이스(110)에 대한 구체적인 구조는 도 2 내지 4를 참조하여 후술하기로 한다.The tape case 110 stores polishing tape for removing protrusion defects on a substrate. The tape case 110 has a structure in which a polishing tape is mounted and fixed therein, and is externally mounted in the case changer 120 or the polishing apparatus 130 so that it can be transported or fixed to polish defects. That is, only the mounting of the abrasive tape in the tape case 110 goes through the manager's hands, and after the tape case 110 is seated on the case replacement device 120, it is stably mounted on the case replacement device 120 and transported. Or, it is mounted on the polishing device 130 so that the polishing part can be polished. A detailed structure of the tape case 110 will be described later with reference to FIGS. 2 to 4 .

케이스 교체장치(120)는 연마장치(130)에 의해 모두 소비된 테이프 케이스(110)를 안착되어 있는 새 테이프 케이스(110)로 교체한다. 케이스 교체장치(120)는 관리자에 의해 연마용 테이프가 장착된 사용 전 케이스(이하에서, "사용 전 케이스"라 약칭함)와 연마장치(130)에 의해 연마용 테이프가 모두 사용된 사용 후 케이스(이하에서, "사용 후 케이스"라 약칭함)를 보관한다. 이때, 케이스 교체장치(120)는 보관중인 임의의 사용 전 케이스를 고정하여 연마장치(130)로 이송하여, 연마장치(130)의 장착위치에 장착한다. 연마장치(130)가 사용 전 케이스 내 연마용 테이프를 모두 사용한 경우, 연마장치(130)의 신호에 따라 케이스 교체장치(120)는 사용 후 케이스를 연마장치(130)로부터 분리한다. 케이스 교체장치(120)는 분리된 사용후 케이스를 케이스의 보관장소로 이송하여 보관하고, (필요 시) 새로운 사용 전 케이스를 다시 연마장치(130)로 이송하여 연마장치(130)의 장착위치에 장착한다. The case replacement device 120 replaces the tape case 110 consumed by the polishing device 130 with a new tape case 110 installed thereon. The case replacement device 120 includes a case before use in which the polishing tape is mounted by the manager (hereinafter, abbreviated as "case before use") and a case after use in which the polishing tape is all used by the polishing device 130. (hereinafter, abbreviated as "after use case") is stored. At this time, the case replacement device 120 fixes any pre-use cases in storage, transfers them to the polishing device 130, and mounts them to the mounting position of the polishing device 130. When the polishing device 130 uses all the polishing tapes in the case before use, the case replacement device 120 separates the used case from the polishing device 130 according to a signal from the polishing device 130 . The case replacement device 120 transfers and stores the separated case after use to a storage place of the case, and (if necessary) transfers the case before new use to the polishing device 130 to place it in the mounting position of the polishing device 130. Mount it.

연마장치(130)는 테이프 케이스(110) 내 연마용 테이프를 이용하여 기판 내 돌기 결함을 연마한다. 연마장치(130)는 별도의 결함 검출장치로부터 결함의 위치정보를 수신한다. 연마장치(130)는 케이스 교체장치(120)로부터 이송되는 (사용 전) 테이프 케이스를 이송받아 고정하며, 돌기 결함의 위치로 연마용 테이프를 돌출시켜 결함을 연마한다. 연마장치(130)는 테이프 케이스(110) 내로 회전력을 가하여, 연마용 테이프가 배치된 위치에서는 일정한 속도로 풀리고 다른 위치에서 풀리는 연마용 테이프가 일정한 속도로 감기도록 한다. 이처럼, 풀리고 감기는 연마용 테이프가 돌기 결함과 접촉을 하게 되면, 연마용 테이프의 이동 속도에 의해 돌기 결함이 연마되게 된다. 이러한 특성을 이용하여, 연마장치(130)는 이송된 테이프 케이스를 고정한 후, 연마용 테이프를 일정한 속도로 풀리고 감기도록 테이프 케이스(110) 내로 회전력을 가하며, 연마용 테이프의 일 위치를 돌기 결함과 접촉시켜 결함을 연마시킨다. 연마 장치(130)는 결함의 연마를 위해 테이프 케이스(110) 내 연마용 테이프가 모두 사용되었는지 여부를 센싱하여, 테이프 케이스(110)의 교체여부를 판단한다. 테이프 케이스(110)의 교체가 필요하다 판단된 경우, 연마장치(130)는 케이스 교체장치(120)가 테이프 케이스(110)를 교체할 수 있도록 한다. The polishing device 130 polishes protrusion defects in the substrate using the polishing tape in the tape case 110 . The polishing device 130 receives defect location information from a separate defect detection device. The polishing device 130 receives and fixes the tape case transported from the case changing device 120 (before use), and polishes the defect by extruding the polishing tape to the position of the projection defect. The polishing device 130 applies rotational force into the tape case 110 so that the abrasive tape is unwound at a constant speed at a position where the polishing tape is disposed and the polishing tape unwound at another position is wound at a constant speed. In this way, when the unwound and wound polishing tape comes into contact with the projection defect, the projection defect is polished by the moving speed of the polishing tape. Using this characteristic, the polishing device 130 fixes the transferred tape case, applies a rotational force into the tape case 110 to unwind and wind the polishing tape at a constant speed, and moves one position of the polishing tape to a protrusion defect. Contact to polish defects. The polishing device 130 senses whether all the polishing tapes in the tape case 110 have been used to polish the defect, and determines whether the tape case 110 is replaced. When it is determined that the tape case 110 needs to be replaced, the polishing device 130 allows the case changing device 120 to replace the tape case 110 .

이처럼, 케이스 교체장치(120)와 연마장치(130)가 동작하며, 테이프 케이스(110)가 각 장치(120, 130)에 장착되어 이송되거나 고정될 수 있는 구조를 가짐에 따라, 테이프 케이스(110)의 각 장치로의 장착과 교체가 관리자의 개입없이 자동으로 수행될 수 있다. 연마장치에 대한 구체적인 설명은 도 5 내지 9를 참조하여 후술하기로 한다. As such, the case replacement device 120 and the polishing device 130 operate, and the tape case 110 has a structure that can be transported or fixed by being mounted on each of the devices 120 and 130, so that the tape case 110 ) of each device can be installed and replaced automatically without administrator intervention. A detailed description of the polishing device will be described later with reference to FIGS. 5 to 9 .

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 테이프 케이스의 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 테이프 케이스의 분해 사시도이다.2 is a perspective view of a tape case according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is an exploded perspective view of the tape case according to an embodiment of the present invention.

도 2 및 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 테이프 케이스(110)는 결합공(210), 제1 고정공(220), 제1 안착공(230), 제2 고정공(240), 연마부 유입공(250), 제2 안착공(260), 홈부(310, 315), 휠(320, 325), 고정부(340, 350), 프리 롤러(360) 및 텐션바(370)를 포함한다.2 and 3, the tape case 110 according to an embodiment of the present invention includes a coupling hole 210, a first fixing hole 220, a first seating hole 230, and a second fixing hole 240. ), grinding part inlet hole 250, second seating hole 260, grooves 310 and 315, wheels 320 and 325, fixing parts 340 and 350, free roller 360 and tension bar 370 ).

테이프 케이스(110)의 하우징(200)에는 결합공(210), 제1 고정공(220), 제1 안착공(230), 제2 고정공(240), 연마부 유입공(250), 제2 안착공(260) 및 홈부(310, 315)가 형성된다.The housing 200 of the tape case 110 includes a coupling hole 210, a first fixing hole 220, a first seating hole 230, a second fixing hole 240, a polishing part inlet hole 250, 2 seating holes 260 and grooves 310 and 315 are formed.

결합공(210)은 하우징(200) 내 양 측면에 형성된 구조로서, 케이스 교체장치(120) 내 제1 이송유닛(도 5를 참조하여 후술)과 결합되기 위한 구조이다. 결합공(210)은 테이프 케이스(110)가 케이스 교체장치(120) 또는 연마장치(130)와 결합되는 면이 아닌 해당 면과 수직인 측면에 형성된다. 제1 이송유닛 내에는 결합공(210)과 결합되기 위한, 결합공의 지름과 동일 또는 유사한 지름으로 돌출된 구성이 포함된다, 결합공(210)은 제1 이송유닛 내의 전술한 구성(미도시)과 결합되어 제1 이송유닛에 의해 테이프 케이스(110) 전체가 이송될 수 있도록 한다. 이때, 제1 이송유닛은 주로, 테이프 케이스(110)와 케이스 (높이방향으로의) 상부에서 결합되어 테이프 케이스(110)를 높이 방향(z축 방향)으로 이송하기 때문에, 결합공(210)은 양 측면 내에서 (높이방향으로의) 상부에 형성될 수 있다. The coupling hole 210 is a structure formed on both sides of the housing 200 and is a structure for coupling with the first transfer unit (described later with reference to FIG. 5 ) in the case replacement device 120 . The coupling hole 210 is formed on a side perpendicular to the corresponding side, not the side where the tape case 110 is coupled to the case changer 120 or the polishing device 130 . In the first transfer unit, a component protruding with a diameter equal to or similar to that of the coupling hole for coupling with the coupling hole 210 is included. The coupling hole 210 is the above-described configuration in the first transfer unit (not shown). ), so that the entire tape case 110 can be transferred by the first transfer unit. At this time, since the first transfer unit is mainly coupled to the tape case 110 and the upper portion of the case (in the height direction) to transfer the tape case 110 in the height direction (z-axis direction), the coupling hole 210 It can be formed at the top (in the height direction) in both sides.

하우징(200)의 일 측면에는 하나의 결합공(210c)이, 다른 측면에는 2개 또는 그 이상의 결합공(210a, 210b)이 형성될 수 있다. 양 측면에 모두 하나의 결합공만이 형성되어 있을 경우라면, 제1 이송유닛이 결합공(210)과 결합되어 테이프 케이스(110)를 이송하는 과정에서 테이프 케이스(110)가 측면과 수직인 축으로 흔들릴 우려가 존재한다. 이를 방지하기 위해, 하우징(200)의 일 측면에는 2개 또는 그 이상의 결합공(210a, 210b)이 형성된다. 모든 측면에 2개 또는 그 이상의 결합공이 형성될 수 있으나, 이러할 경우, 결합공과 제1 이송유닛의 돌출된 구성의 결합시간이 상당히 길어지고, 결합의 정밀도가 상당히 요구된다. 이에, 이송 과정에서의 테이프 케이스(110)의 회전을 방지하며, 과도하게 결합과정에서 장시간이 소모되는 것도 방지하기 위해, 하우징(200)의 일 측면에는 하나의 결합공(210c)이, 다른 측면에는 2개 또는 그 이상의 결합공(210a, 210b)이 형성된다.One coupling hole 210c may be formed on one side of the housing 200 and two or more coupling holes 210a and 210b may be formed on the other side. If only one coupling hole is formed on both sides, the first transfer unit is coupled to the coupling hole 210 to transport the tape case 110, and the tape case 110 moves along an axis perpendicular to the side surface. There is a risk of being shaken by To prevent this, two or more coupling holes 210a and 210b are formed on one side of the housing 200 . Two or more coupling holes may be formed on all sides, but in this case, the coupling time of the coupling holes and the protruding configuration of the first transfer unit is considerably long, and the coupling precision is considerably required. Accordingly, in order to prevent rotation of the tape case 110 during the transportation process and to prevent excessive consumption of a long time in the coupling process, one coupling hole 210c is provided on one side of the housing 200, and on the other side In the two or more coupling holes (210a, 210b) are formed.

제1 고정공(220)은 하우징(200) 내 케이스 교체장치(120)와 마주보는 면에 형성되며, 케이스 교체장치(120)와 결합되어 케이스 교체장치(120)가 테이프 케이스(110)를 고정할 수 있도록 한다. 제1 고정공(220)은 하우징(200) 내 케이스 교체장치(120)와 마주보는 면에, 일정 방향으로 길이가 긴 형태로 형성된다. 제1 고정공(220)과 결합될 케이스 교체장치(120) 내 구성은 마찬가지로 일정 방향으로 길이기 긴 형태로 구현되며 회전될 수 있다. 이에, 케이스 교체장치(120) 내 구성은 제1 고정공(220)으로 유입되며, 유입된 상태에서 회전하게 된다. 이에, 케이스 교체장치(120) 내 구성은 유입될 때의 방향으로 회전하지 않는 한, 제1 고정공(220)으로부터 나오지 못하게 된다. 이러한 구조로 제1 고정공(220)에 케이스 교체장치(120) 내 구성이 결합됨에 따라, 테이프 케이스(110)는 케이스 교체장치(120) 내 구성이 유입되는 방향(y축 방향)으로 이탈하지 않고 고정될 수 있다.The first fixing hole 220 is formed on the surface of the housing 200 facing the case replacement device 120, and is coupled with the case replacement device 120 so that the case replacement device 120 fixes the tape case 110. make it possible The first fixing hole 220 is formed in a long shape in a certain direction on a surface facing the case changer 120 in the housing 200 . The components within the case changer 120 to be coupled with the first fixing hole 220 are similarly implemented in a long shape in a certain direction and can be rotated. Accordingly, the components inside the case replacement device 120 flow into the first fixing hole 220 and rotate in the flowed state. Accordingly, components within the case replacement device 120 cannot come out of the first fixing hole 220 unless they are rotated in the direction in which they are introduced. As the components inside the case changer 120 are coupled to the first fixing hole 220 in this structure, the tape case 110 does not deviate in the direction (y-axis direction) in which the components inside the case changer 120 flow in. and can be fixed.

제1 안착공(230)은 하우징 내 양 측면에 형성된 구조로서, 케이스 교체장치(120) 내 안착유닛(도 5를 참조하여 후술)과 결합되어 안착유닛에 안착되어 있을 수 있도록 한다. 제1 안착공(230)은 하우징 내 양 측면의 (높이 방향으로의) 하부에 형성된다. 케이스 교체장치(120) 내 안착유닛에는 제1 안착공(230)과 결합되기 위한, 제1 안착공(230)의 지름과 동일 또는 유사한 지름으로 돌출된 구성이 포함된다, 이에, 테이프 케이스(110)가 안착유닛에 안착되면, 제1 안착공(230)과 전술한 구성이 결합됨으로써, 테이프 케이스(110)가 안착유닛에 안착되어 제1 이송유닛 또는 제2 이송유닛(도 5를 참조하여 후술)와 결합하여 이송되기 전까지 고정되어 있을 수 있도록 한다.The first seating hole 230 is a structure formed on both sides of the housing, and is combined with a seating unit (described later with reference to FIG. 5 ) in the case replacement device 120 so that it can be seated in the seating unit. The first seating hole 230 is formed at the bottom (in the height direction) of both sides of the housing. The seating unit in the case replacement device 120 includes a configuration protruding with a diameter identical to or similar to that of the first seating hole 230 to be coupled with the first seating hole 230. Thus, the tape case 110 ) is seated on the seating unit, the first seating hole 230 and the above configuration are coupled, so that the tape case 110 is seated on the seating unit and the first transfer unit or the second transfer unit (described later with reference to FIG. 5 ) is seated on the seating unit. ) so that it can be fixed until transported.

제2 고정공(240)은 하우징 내 연마장치(130)와 마주보는 면에 형성되며, 연마장치(130)와 결합되어 연마장치(130)가 테이프 케이스(110)를 고정할 수 있도록 한다. 연마장치(130) 내에는 제2 고정공(240)과 결합되기 위한, 제2 고정공(240)의 지름과 동일 또는 유사한 지름으로 돌출된 구성이 포함된다, 이에, 제2 고정공(240)은 테이프 케이스(110)가 연마장치(130)에 결합되어, 연마과정에서 이탈되지 않도록 한다.The second fixing hole 240 is formed on the surface facing the polishing device 130 in the housing, and is coupled with the polishing device 130 so that the polishing device 130 can fix the tape case 110 . In the polishing device 130, a configuration protruding with the same or similar diameter as the diameter of the second fixing hole 240 is included to be coupled with the second fixing hole 240. Thus, the second fixing hole 240 The silver tape case 110 is coupled to the polishing device 130 to prevent it from being separated during the polishing process.

연마부 유입공(250)은 하우징 내 상면에 형성된 구조로서, 결함의 위치로 연마용 테이프를 돌출시키기 위한 연마장치(130) 내 구성이 유입될 수 있도록 한다. 연마부 유입공(250)은 연마장치(130) 내 전술한 구성과 동일하거나 유사한 크기로 구현된다. 연마부 유입공(250)은 연마장치(130)에 테이프 케이스(110)가 결합되어 고정된 후 전술한 구성이 연마용 테이프를 돌기 결함으로 돌출시킬 수 있도록 한다. The inlet hole 250 of the polishing unit is a structure formed on the upper surface of the housing, and allows components inside the polishing device 130 to protrude the polishing tape to the location of the defect to flow in. The polishing unit inlet hole 250 has the same or similar size as the above-described configuration in the polishing device 130 . After the tape case 110 is coupled to and fixed to the polishing device 130, the inlet hole 250 of the polishing unit allows the polishing tape to protrude through protrusion defects.

제2 안착공(260)은 하우징 내 하면에 형성된 구조로서, 테이프 케이스(110)가 케이스 교체장치(120) 내 팔레트(도 5를 참조하여 후술)에 안착될 수 있도록 한다. 팔레트에는 제2 안착공(260)과 결합되기 위한, 제1 안착공(230)의 지름과 동일 또는 유사한 지름으로 돌출된 구성이 포함된다, 테이프 케이스(110)는 케이스 교체장치(120) 내 제1 이송유닛에 의해 팔레트로 이송되거나 관리자에 의해 최초로, 팔레트 내 전술한 구성과 제2 안착공(260)이 결합되도록 안착된다. 양 구성이 결합됨에 따라, 테이프 케이스(110)는 팔레트로부터 이탈하지 않고 팔레트 내에 안착된 상태를 유지할 수 있다.The second seating hole 260 is a structure formed on the lower surface of the housing, and allows the tape case 110 to be seated on a pallet (described later with reference to FIG. 5 ) in the case replacement device 120 . The pallet includes a configuration protruding with the same or similar diameter as the diameter of the first seating hole 230 for being coupled with the second seating hole 260. The tape case 110 is It is transported to a pallet by 1 transfer unit or initially seated by a manager so that the above-described configuration in the pallet and the second seating hole 260 are combined. As both components are combined, the tape case 110 can remain seated in the pallet without departing from the pallet.

하우징 내 하면의 일 측에 두개 또는 그 이상의 제2 안착공이(260a, 260b), 다른 일 측에는 하나의 제2 안착공(260c) 만이 형성될 수 있다. 관리자가 사용 전 케이스(110)를 케이스 교체장치(120) 내 팔레트로 안착시킨다. 이때, 관리자는 많은 테이프 케이스(110)를 팔레트로 안착시켜야 할 수 있으며, 이 과정에서 테이프 케이스(110)의 방향을 정확히 확인하지 못하고 팔레트로 안착시킬 수 있다. 테이프 케이스(110)는 케이스 교체장치(120)와 연마장치(130)가 결합하는 방향이 상이하기에, 정확한 방향으로 배치되어야 한다. 이에, 관리자가 최초로 팔레트에 사용 전 케이스(110)를 안착시킴에 있어, 굳이 일일이 방향을 정확히 확인하지 않더라도 팔레트에 배치할 수 있도록 한다.Two or more second seating holes 260a and 260b may be formed on one side of the lower surface of the housing, and only one second seating hole 260c may be formed on the other side. A manager places the case 110 on a pallet in the case replacement device 120 before use. At this time, the manager may need to seat many tape cases 110 on a pallet, and in this process, the direction of the tape case 110 may not be accurately confirmed and may be seated on a pallet. The tape case 110 should be arranged in the correct direction because the directions in which the case changer 120 and the polishing device 130 are coupled are different. Accordingly, when the manager first places the case 110 on the pallet before use, it is possible to place the case 110 on the pallet without having to accurately check the direction one by one.

홈부(310, 315)는 하우징 내 연마장치(130)와 마주보는 면에 형성된 관통공으로서, 휠(320, 325)로 연마장치(130) 내 구성이 진입할 수 있도록 한다. 홈부(310)는 휠(320, 325)이 배치될 장소에 각각 형성된 관통공으로서, 휠(320, 325)로 회전력을 제공하거나 휠(320, 325)과 결합되어 테이프 케이스(110)를 고정시킬 연마장치(130) 내 구성이 휠(320, 325)로 진입할 수 있도록 한다.The grooves 310 and 315 are through-holes formed on the surface facing the polishing device 130 in the housing, and allow components inside the polishing device 130 to enter into the wheels 320 and 325 . The grooves 310 are through-holes formed at locations where the wheels 320 and 325 are to be placed, and provide rotational force to the wheels 320 and 325 or are combined with the wheels 320 and 325 to fix the tape case 110. Components in the polishing device 130 allow entry into the wheels 320 and 325.

휠(320, 325)은 연마용 테이프(330) 또는 연마용 테이프의 끝단이 안착되어, 외부로부터 회전력을 받아 테이프가 풀릴 수 있도록 한다. The wheels 320 and 325 allow the abrasive tape 330 or the ends of the abrasive tape to be seated and receive a rotational force from the outside to unwind the tape.

제1 휠(320)은 연마용 테이프(330)가 안착할 수 있는 구조를 가져, 연마용 테이프(330)를 안착시킨다. 통상, 연마용 테이프(330)는 회전력을 받아 풀리는 구조를 가지고 있어, 회전할 수 있도록 중앙에 관통공을 구비한다. 제1 휠(320)은 관통공에 결합될 수 있는 돌출구성을 가져, 연마용 테이프(330)가 안착될 수 있도록 한다.The first wheel 320 has a structure in which the abrasive tape 330 can be seated and the abrasive tape 330 is seated thereon. In general, the abrasive tape 330 has a structure in which it is unwound by receiving a rotational force, and has a through hole in the center to be rotated. The first wheel 320 has a protruding structure that can be coupled to the through hole, so that the abrasive tape 330 can be seated thereon.

제2 휠(325)은 연마용 테이프의 끝단이 결합될 수 있는 구조를 가져, 외부로부터 회전력을 받아 연마용 테이프의 끝단을 감는다. 제2 휠(325)은 제1 휠(320)에 안착된 연마용 테이프(330)의 끝단이 결합된다. 이에, 제2 휠(325)이 회전력을 받아 연마용 테이프의 끝단을 감을 경우, 연마용 테이프(330)는 제1 휠(320) 내에서 풀린다. 제1 휠(320)과 제2 휠(325)의 동작에 따라, 연마용 테이프(330)는 일정한 속도로 풀릴 수 있다. 제1 휠(320)과 제2 휠(325)의 구체적인 구성은 도 4에 도시되어 있다. The second wheel 325 has a structure to which the end of the polishing tape can be coupled, and winds the end of the polishing tape by receiving rotational force from the outside. The second wheel 325 is coupled to the end of the abrasive tape 330 seated on the first wheel 320 . Accordingly, when the second wheel 325 receives rotational force and winds the end of the polishing tape, the polishing tape 330 is unwound within the first wheel 320 . According to the operation of the first wheel 320 and the second wheel 325, the abrasive tape 330 may be unwound at a constant speed. A detailed configuration of the first wheel 320 and the second wheel 325 is shown in FIG. 4 .

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 휠의 사시도이다.4 is a perspective view of a wheel according to an embodiment of the present invention.

도 4(a)를 참조하면, 제2 휠(325)은 제2 유입공(415)을 포함한다. 제2 유입공(415)으로는 홈부(315)를 거쳐 진입한 연마장치(130) 내 회전력을 전달하는 수단(이하에서, '동력 수단'으로 칭함, 미도시)이 유입된다. 동력 수단(미도시)이 제2 유입공(415)으로 유입되어 회전력을 가함으로써, 제2 휠(325)이 회전할 수 있다. 이때, 제2 유입공(415)은 동력 수단(미도시)이 원활하게 유입될 수 있도록, 각 끝단이 테이퍼링(Tapering)되어 있다. 또한, 동력 수단은 제2 유입공(415)과 온전한 결합을 위해, 연마장치(130)로부터 동력을 제공받아 적극적으로 위치를 가변할 수 있다. 동력 수단(미도시)이 제2 유입공(415)이 형성된 곳으로 한번에 진입하기는 어려움이 존재한다. 동력 수단(미도시)은 동력을 제공받아 적극적으로 위치를 가변하며 제2 유입공(415)으로 진입할 수 있다. 동력 수단(미도시)이 위치를 가변할 수 있기에, 제2 유입공(415)은 (제1 유입공에 비해) 상대적으로 작은 면적으로 구현되어, 추후 동력 수단(미도시)이 제2 휠(325)로 회전력을 가할 때 있어 보다 원활할 수 있도록 한다.Referring to FIG. 4( a ) , the second wheel 325 includes a second inlet hole 415 . A means (hereinafter, referred to as a 'power means', not shown) for transmitting rotational force within the polishing device 130 entered through the groove part 315 is introduced into the second inlet hole 415 . The second wheel 325 may rotate when a power means (not shown) flows into the second inlet hole 415 and applies rotational force. At this time, each end of the second inlet hole 415 is tapered so that a power means (not shown) can be smoothly introduced therein. In addition, the power unit may receive power from the polishing device 130 to positively change its position in order to perfectly couple with the second inlet hole 415 . It is difficult for the power means (not shown) to enter at once into the place where the second inlet hole 415 is formed. The power unit (not shown) may receive power and actively change its position and enter the second inlet hole 415 . Since the position of the power means (not shown) can be varied, the second inlet hole 415 is implemented with a relatively small area (compared to the first inlet hole), so that the power means (not shown) can be used later on the second wheel ( 325) to make it more smooth when applying rotational force.

제2 휠(325)은 중앙부에 연마장치(130) 내 테이프 케이스(110)를 고정하기 위한 구성이 유입될 수 있는 결합홀(425)을 포함한다. 결합홀(425)은 연마장치를 향하는 반대 방향으로 기 설정된 길이(연마용 테이프의 두께 이상)만큼 돌출되며, 연마장치(130)를 향한 방향으로는 전술한 구성이 유입될 수 있는 구멍을 가져, 전술한 구성이 일정 길이만큼 유입되며 연마용 테이프가 안착될 수 있도록 한다. 결합홀(425) 내로는 연마장치(130) 내 전술한 구성이 유입됨으로써, 제2 휠(325)이 회전하는 과정에서 높이방향으로 승·하강하거나 측면으로 벗어나지 않고 정위치에 고정되어 있을 수 있도록 한다. The second wheel 325 includes a coupling hole 425 into which a component for fixing the tape case 110 in the polishing device 130 can be introduced in the central portion. The coupling hole 425 protrudes by a predetermined length (more than the thickness of the polishing tape) in the opposite direction toward the polishing device, and has a hole through which the above-mentioned components can flow in the direction toward the polishing device 130, The above configuration allows a certain length to be introduced and the abrasive tape to be seated. The above-described components in the polishing device 130 are introduced into the coupling hole 425 so that the second wheel 325 can be fixed in place without moving up or down in the height direction or sideways while rotating. do.

도 4(b)를 참조하면, 제1 휠(320)은 제1 유입공(410)을 포함한다. 제1 유입공(410)으로는 연마장치(130) 내 테이프 케이스(110)를 고정하기 위한 수단(이하에서, '고정 수단'이라 약칭함)이 유입된다. 어차피, 연마용 테이프(330)는 양 휠(320, 325)에 걸쳐 안착되어 있으며, 하나의 휠만이 회전하더라도 양 휠이 모두 회전할 수 있기에, 연마장치(130)는 양 휠 모두에 회전력을 가하기 위한 동력 수단과 동력 원을 구비할 필요가 없다. 이에, 제1 유입공(410)으로는 굳이 동력 수단이 유입되지 않고 고정 수단이 유입된다. Referring to FIG. 4( b ) , the first wheel 320 includes the first inlet hole 410 . A means for fixing the tape case 110 in the polishing device 130 (hereinafter, abbreviated as 'fixing means') is introduced into the first inlet hole 410 . Anyway, the polishing tape 330 is seated across both wheels 320 and 325, and both wheels can rotate even if only one wheel rotates, so the polishing device 130 applies rotational force to both wheels. There is no need to provide a power means and a power source for Accordingly, the power means is not necessarily introduced into the first inlet hole 410, but the fixing means is introduced.

제2 유입공(415)과 마찬가지로, 제1 유입공(410)도 각 끝단이 테이퍼링(Tapering)되어 있다. 다만, 제1 유입공(410)은 제2 유입공(415)보다 상대적으로 큰 면적을 갖는다. 전술한 대로, 제2 유입공(415)으로 유입되는 동력 수단은 적극적으로 위치를 가변할 수 있기에, 최초로 진입하는 위치가 제2 유입공(415)이 형성된 곳이 아니더라도 위치를 가변할 수 있다. 그러나 제1 유입공(410)으로는 동력 수단이 아닌 고정 수단이 유입된다. 고정 수단은 동력을 제공받는 구성이 아니어서 동력 수단과 같이 위치를 가변할 수 없다. 이에, 제1 유입공(410)이 제2 유입공(415)과 같이 동일한 면적으로 구현된다면 고정수단의 유입이 곤란한 경우가 발생할 수 있다. 이를 방지하기 위해, 제1 유입공(410)은 상대적으로 제2 유입공(415)에 비해 큰 면적을 갖는다.Like the second inlet hole 415, each end of the first inlet hole 410 is tapered. However, the first inlet hole 410 has a relatively larger area than the second inlet hole 415 . As described above, since the power means introduced into the second inlet hole 415 can actively change its position, even if the first entry position is not the place where the second inlet hole 415 is formed, the position can be varied. However, a fixing means, not a power means, flows into the first inlet hole 410 . Since the fixing means is not configured to receive power, the position cannot be changed like the power means. Therefore, if the first inlet hole 410 is implemented with the same area as the second inlet hole 415, it may be difficult to introduce the fixing means. To prevent this, the first inlet hole 410 has a relatively larger area than the second inlet hole 415 .

제1 휠(320)도 중앙부에 제2 휠(325)과 마찬가지로 결합홀(420)을 포함한다. 결합홀(420) 내로 연마장치(130) 내 테이프 케이스(110)를 고정하기 위한 구성이 유입된다.The first wheel 320 also includes a coupling hole 420 at the center like the second wheel 325 . A component for fixing the tape case 110 in the polishing device 130 is introduced into the coupling hole 420 .

도 4에 도시된 바와 같이, 각 유입공(410, 415)은 각 결합홀(420, 425)의 주변에 형성될 수 있다.As shown in FIG. 4 , each inlet hole 410 or 415 may be formed around each coupling hole 420 or 425 .

다시 도 2 및 3을 참조하면, 고정부(340, 350)는 각 휠(320, 325)과 결합되어, 휠에 안착된 연마용 테이프(330)나 연마용 테이프의 끝단의 이탈을 방지한다. 연마용 테이프(330)가 휠에 안착되거나 연마용 테이프의 끝단이 휠에 결합되더라도, 회전 과정에서 연마용 테이프(330)나 연마용 테이프의 끝단이 원심력 등에 의해 유입되는 연마장치(130)와 멀어지는 방향(+y축 방향)으로 이탈할 수 있다. 이를 방지하기 위해, 고정부(340, 350)는 (연마장치를 향하는 방향의 반대방향에서) 각 휠의 결합홀(420, 425)과 결합된다. 고정부(340, 350)가 각 휠의 결합홀(420, 425)과 결합됨에 따라, 각 휠(320, 325)에 안착된 연마용 테이프(330)나 연마용 테이프의 끝단의 이탈을 방지한다. Referring back to FIGS. 2 and 3 , the fixing parts 340 and 350 are coupled to the respective wheels 320 and 325 to prevent the abrasive tape 330 seated on the wheel or the end of the abrasive tape from escaping. Even if the abrasive tape 330 is seated on the wheel or the end of the abrasive tape is coupled to the wheel, during the rotation process, the abrasive tape 330 or the end of the abrasive tape moves away from the abrasive device 130 introduced by centrifugal force or the like. It can deviate in the direction (+y-axis direction). To prevent this, the fixing parts 340 and 350 are coupled to the coupling holes 420 and 425 of each wheel (in a direction opposite to the direction toward the polishing device). As the fixing parts 340 and 350 are combined with the coupling holes 420 and 425 of each wheel, the abrasive tape 330 seated on each wheel 320 and 325 or the tip of the abrasive tape is prevented from being separated. .

각 고정부(340, 350)의 일 위치(예를 들어, 중앙)에는 연마장치의 각 구성이 유입되는 방향(+y축 방향)으로 돌출된 돌출부(345, 355)가 형성될 수 있다. 해당 방향으로 돌출부(345, 355)가 돌출됨으로써, 고정부(340, 350)와 텐션바(370)는 접촉면적을 줄일 수 있다. 고정부(340, 350)와 텐션바(370)가 직접 접촉을 하게되면 접촉면적이 커지게 된다. 접촉면적의 증가는 고정부(340, 350)가 연마용 테이프(330)를 가압하는 세기의 증가를 야기할 수 있어, 연마용 테이프(330)의 회전에 영향을 미칠 가능성이 있다. 이를 방지하기 위해, 각 고정부(340, 350)는 돌출부(345, 355)를 포함하여, 접촉면적을 줄인다.Protrusions 345 and 355 may be formed at one position (eg, the center) of each fixing part 340 and 350 and protrude in a direction (+y-axis direction) into which each component of the polishing device flows. As the protruding parts 345 and 355 protrude in the corresponding direction, the contact area between the fixing parts 340 and 350 and the tension bar 370 can be reduced. When the fixing parts 340 and 350 and the tension bar 370 come into direct contact, the contact area increases. An increase in the contact area may cause an increase in the strength with which the fixing parts 340 and 350 press the abrasive tape 330, and may affect the rotation of the abrasive tape 330. To prevent this, each of the fixing parts 340 and 350 includes protrusions 345 and 355 to reduce the contact area.

프리 롤러(360)는 테이프 케이스(110) 내 안착되어 풀어질 연마용 테이프(330)의 경로를 조정한다. 연마용 테이프(330)의 진행을 방해하지 않도록, 프리 롤러(360)는 원기둥 형태를 가지며 연마용 테이프(330)가 거쳐 지나가기를 원하는 경로 상에 배치된다. 제1 휠(320)에 안착되어 회전력을 받아 연마용 테이프(330)가 풀어지면, 프리 롤러(360)는 풀린 연마용 테이프(330)가 바로 제2 휠(325)로 감기는 것이 아니라 프리 롤러(360)를 거친 후 제2 휠(325)로 감기도록 한다. 프리 롤러(360)는 연마용 테이프(330)가 자신을 지나도록 함으로써 경로를 조정한다. 이때, 프리 롤러(360)는 테이프 배출구(380)가 위치한 하단에 위치할 수 있다. 이에, 연마용 테이프(330)는 각 프리 롤러(360)를 거치며 테이프 배출구(380)를 거쳐 외부로 드러나며 제2 휠(325)로 감길 수 있다. 테이프 배출구(380)에서 드러나도록 연마용 테이프(330)가 진행함에 따라, 연마부 유입공(250)으로 유입된 (연마용 테이프를 돌출시키기 위한) 연마장치(130) 내 구성에 의해 테이프 배출구(380)의 외부로 연마용 테이프(330)가 돌출될 수 있도록 한다.The free roller 360 adjusts the path of the abrasive tape 330 to be seated in the tape case 110 and released. In order not to hinder the progress of the polishing tape 330, the free roller 360 has a cylindrical shape and is disposed on a desired path for the polishing tape 330 to pass through. When the abrasive tape 330 is unwound by being seated on the first wheel 320 and receiving rotational force, the free roller 360 does not directly wind the unwound abrasive tape 330 onto the second wheel 325, but the free roller 360. After passing through (360), it is wound by the second wheel (325). The free roller 360 adjusts the path of the abrasive tape 330 by passing it. At this time, the free roller 360 may be located at the bottom where the tape outlet 380 is located. Accordingly, the abrasive tape 330 passes through each free roller 360 and is exposed to the outside through the tape outlet 380 and may be wound around the second wheel 325 . As the polishing tape 330 proceeds to be exposed from the tape outlet 380, the tape outlet ( The polishing tape 330 protrudes to the outside of 380.

텐션바(370)는 일면으로는 테이프 케이스(110)의 하우징(200)과 접촉하고 타면으로는 고정부(340, 350)와 각각 접촉하여, 고정부(340, 350)의 이탈을 방지한다. 텐션바(370)는 텐션을 갖는 부재로 구현되어, 하우징(200)과 고정부(340, 350) 사이에 배치된다. 고정부(340, 350), 주로, 고정부(340)가 연마용 테이프(330)로부터 연마장치의 각 구성이 유입되는 방향(+y축 방향)으로 과도한 힘을 받는 경우가 존재할 수 있다. 아무리 고정부(340)와 제1 휠(320)이 결합되었다 하더라도, 결합력이 연마용 테이프(330)의 이탈을 방지하기 어려운 상황이 존재할 수 있다. 텐션바(370)는 고정부(340, 350)와 결합하는 반대측 면으로 테이프 케이스(110)의 하우징(200)과 접촉하고 있기에, 고정부(340, 350)의 이탈을 방지할 수 있다.The tension bar 370 contacts the housing 200 of the tape case 110 on one side and contacts the fixing parts 340 and 350 on the other surface, respectively, to prevent the fixing parts 340 and 350 from being separated. The tension bar 370 is implemented as a member having tension and is disposed between the housing 200 and the fixing parts 340 and 350 . There may be cases in which the fixing parts 340 and 350, mainly the fixing part 340, receive excessive force in the direction (+y-axis direction) in which each component of the polishing device flows from the polishing tape 330. No matter how much the fixing part 340 and the first wheel 320 are coupled, there may be a situation in which it is difficult to prevent separation of the abrasive tape 330 by the coupling force. Since the tension bar 370 is in contact with the housing 200 of the tape case 110 on the opposite side to which the fixing parts 340 and 350 are coupled, separation of the fixing parts 340 and 350 can be prevented.

텐션바(370)와 고정부(340, 350)가 접촉하는 부분의 반대측 면에는 완충부재(375)가 부착될 수 있다. 전술한 대로, 고정부(340, 350), 주로 고정부(340)로부터 과도한 힘이 작용하는 경우, 텐션바(370)와 고정부(340, 350)가 접촉하는 부분의 반대측 면은 하우징(200)과 강하게 충돌하게 된다. 이러할 경우나 이런 경우가 지속적으로 반복될 경우, 텐션바(370) 또는 하우징(200)에 악영향이 미칠 수 있다. 이를 방지하기 위해, 텐션바(370)와 고정부(340, 350)가 접촉하는 부분의 반대측 면에 완충부재(375)가 부착되어 충격을 완화한다. 완충부재(375)는 실리콘이나 젤과 같이 충격 흡수에 우수한 소재로 구현될 수 있다.A buffer member 375 may be attached to a surface opposite to a portion where the tension bar 370 and the fixing parts 340 and 350 contact each other. As described above, when excessive force is applied from the fixing parts 340 and 350, mainly from the fixing part 340, the opposite side of the contact part between the tension bar 370 and the fixing parts 340 and 350 is the housing 200 ) and strongly collide with it. In this case or when this case is continuously repeated, adverse effects may be exerted on the tension bar 370 or the housing 200 . In order to prevent this, a buffer member 375 is attached to the opposite side of the contact portion between the tension bar 370 and the fixing parts 340 and 350 to mitigate the impact. The buffer member 375 may be implemented with a material excellent in shock absorption, such as silicone or gel.

전술한 대로, 테이프 케이스(110)는 하우징(200) 내에 구비된 다양한 구성들에 의해, 케이스 교체장치(120) 또는 연마장치(130)와 자동으로 결합됨에 있어 용이하게 결합되어 이송될 수 있다.As described above, the tape case 110 can be easily coupled and transported in being automatically coupled to the case replacement device 120 or the polishing device 130 by various components provided in the housing 200 .

도 5 및 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 연마장치의 구성을 도시한 도면이고, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 연마장치의 일 부분을 확대한 도면이며, 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 연마장치 내 팁의 후면을 확대한 도면이며, 5 and 6 are diagrams showing the configuration of a polishing device according to an embodiment of the present invention, FIG. 7 is an enlarged view of a portion of the polishing device according to an embodiment of the present invention, and FIG. It is an enlarged view of the rear surface of the tip in the polishing device according to an embodiment of the invention,

도 5 내지 도 8을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 연마장치(130)는 제1 회전부(510), 제2 회전부(520), 제1 센서(530), 테이프 고정부(540), 팁(550), 돌출부(560), 실린더(570), 제1 모터(610), 엔코더(620), 제2 모터(630), 제2 센서(710), 제3 센서(720), 커넥터(810), 흡입구(820) 및 제어부(미도시)를 포함한다. 5 to 8, the polishing device 130 according to an embodiment of the present invention includes a first rotation unit 510, a second rotation unit 520, a first sensor 530, and a tape fixing unit 540. , tip 550, protrusion 560, cylinder 570, first motor 610, encoder 620, second motor 630, second sensor 710, third sensor 720, connector 810, a suction port 820 and a controller (not shown).

제1 회전부(510)는 테이프 케이스(110) 내 휠(325)과 결합되어, 제1 모터(610)로부터 동력을 제공받아 휠(325)을 회전시킨다. 제1 회전부(510)는 테이프 케이스(110)에 형성된 홈부(315)로 유입되어, 휠(325)과 결합된다. 제1 회전부(510)는 홀 결합부(514) 및 유입공 결합부(518)를 포함하여, 휠(325)과 결합될 수 있다.The first rotation unit 510 is coupled to the wheel 325 in the tape case 110 and receives power from the first motor 610 to rotate the wheel 325 . The first rotating part 510 flows into the groove part 315 formed in the tape case 110 and is coupled with the wheel 325 . The first rotation unit 510 may include a hole coupling unit 514 and an inlet hole coupling unit 518, and may be coupled to the wheel 325.

홀 결합부(514)는 제1 회전부(510)의 중앙부에서 위치하여 바깥쪽(결합될 테이프 케이스를 향하는 방향, +y축)으로 돌출된 구조로서, 휠(325)의 결합홀(425)과 결합된다. 홀 결합부(514)가 결합홀(425)로 유입되어 양자(420, 514)가 결합될 수 있으며, 이에 휠(325)이 제1 회전부(510)에 결합되어 이탈하지 않을 수 있다.The hole coupling portion 514 is located at the center of the first rotating portion 510 and protrudes outward (direction toward the tape case to be coupled, +y axis), and is formed through the coupling hole 425 of the wheel 325 and are combined The hole coupling portion 514 flows into the coupling hole 425 so that both 420 and 514 may be coupled, and thus the wheel 325 may be coupled to the first rotating portion 510 and not be separated.

유입공 결합부(518)은 홀 결합부((514)로부터 기 설정된 반경 상에 하나 이상 위치하여, 휠(325)의 제1 유입공(415)과 결합한다. 유입공 결합부(518)도 홀 결합부(514)와 같이 바깥쪽(결합될 테이프 케이스를 향하는 방향, +y축)으로 돌출된 구조이어서 제1 유입공(415)으로 유입되며 결합될 수 있다. 다만, 제1 유입공(415)은 (제2 유입공(410)에 비해) 상대적으로 작은 면적을 복수 개로 구분되어 있다. 유입공 결합부(518)가 제1 유입공(415) 내로 잘 유입될 수도 있으나, 경우에 따라서는 유입공이 형성되지 않은 부분(인접한 제1 유입공(415)들의 사이)으로 유입되는 경우도 존재할 수 있다. 이러한 문제를 방지하기 위해, 유입공 결합부(518)의 끝단(돌출된 부분)은 테이퍼링되어 있다. 또한, 유입공 결합부(518)는 테이프 케이스(110)가 근접해 오는 경우, 일 위치에 정지해 있는 것이 아니라 제1 모터(610)로부터 동력을 받아 일정한 각도 내에서 왕복하며 움직인다. 유입공 결합부(518)는 휠(325)이 제1 회전부(510)에 장착되어 회전할 때의 속도보다 현저히 느린 속도로 왕복하며 움직임으로써, 유입공이 형성된 부분으로 유입될 수 있도록 한다. 유입공 결합부(518)의 끝단과 제1 유입공(415)이 테이퍼링되어 있기에, 유입공 결합부(518)가 왕복 이동하며 제1 유입공(415)의 근처로 접근함으로써 원활히 제1 유입공(415) 내로 유입될 수 있다.One or more inlet hole coupling parts 518 are located on a predetermined radius from the hole coupling part 514, and are engaged with the first inlet hole 415 of the wheel 325. The inlet hole coupling part 518 also Since it has a structure that protrudes outward (direction toward the tape case to be coupled, +y axis) like the hole coupling part 514, it can flow into the first inlet hole 415 and be coupled. However, the first inlet hole ( 415) is divided into a plurality of relatively small areas (compared to the second inlet hole 410). The inlet hole coupling part 518 may well flow into the first inlet hole 415, but in some cases may be introduced into a portion where an inlet hole is not formed (between adjacent first inlet holes 415). To prevent this problem, the end (protruding part) of the inlet coupling part 518 is In addition, when the tape case 110 approaches, the inlet hole coupling part 518 does not stop at one position but receives power from the first motor 610 and reciprocates within a certain angle. The inlet coupling part 518 reciprocates and moves at a significantly slower speed than when the wheel 325 is mounted on the first rotating part 510 and rotates, so that the inlet hole can be introduced into the part where the inlet hole is formed. Since the end of the coupling portion 518 and the first inlet hole 415 are tapered, the inlet coupling portion 518 reciprocates and approaches the first inlet hole 415 smoothly, so that the first inlet hole 415 ) can be introduced into

마찬가지로, 제2 회전부(520)도 테이프 케이스(110) 내 휠(320)과 결합된다. 제2 회전부(520)와 결합될 휠(320)에는 연마가 되기 이전의 테이프가 권취되어 있으며, 제1 회전부(510)와 결합될 휠(325)로 연마된 후의 테이프가 권취된다. 제2 회전부(520)는 제1 모터(610)에 의해 동력을 제공받는 것은 아니고, 제1 회전부(510)의 회전에 의해 테이프(330)가 휠(320)에서 휠(325)로 권취되며 회전하게 된다. 제2 회전부(520)도 제1 회전부(510)와 같이 홀 결합부(524) 및 유입공 결합부(528)를 포함하여, 휠(320)과 결합될 수 있다. 홀 결합부(524)는 홀 결합부(514)와 구조와 동작이 동일하다. 유입공 결합부(528)는 유입공 결합부(518)와 구조는 동일하나, 다만, 제2 회전부(520)는 모터로부터 동력을 제공받는 것이 아니기에 유입공 결합부(528)는 일정한 각도 내에서 왕복하며 움직일 수 없다. 이러한 원인에 따라, 전술한 대로, 제1 유입공(410)은 제2 유입공(415)에 비해 상대적으로 넓은 면적을 갖는다. 이에, 유입공 결합부(528)가 정지되어 있더라도 유입공이 형성되지 않는 부분으로 진입하는 것을 최소화할 수 있다.Similarly, the second rotating part 520 is also coupled to the wheel 320 in the tape case 110 . The tape before polishing is wound around the wheel 320 to be coupled with the second rotating unit 520, and the tape after polishing is wound around the wheel 325 to be coupled with the first rotating unit 510. The second rotation unit 520 is not powered by the first motor 610, and the tape 330 is wound around the wheel 320 and rotated by the rotation of the first rotation unit 510. will do Like the first rotation unit 510, the second rotation unit 520 may include a hole coupling unit 524 and an inlet hole coupling unit 528, and may be coupled to the wheel 320. The hole coupling unit 524 has the same structure and operation as the hall coupling unit 514 . The inlet hole coupling part 528 has the same structure as the inlet hole coupling part 518, but since the second rotating part 520 does not receive power from the motor, the inlet hole coupling part 528 has a certain angle It bounces around and cannot move. For this reason, as described above, the first inlet hole 410 has a relatively larger area than the second inlet hole 415 . Thus, even if the inlet coupling part 528 is stopped, it is possible to minimize entry into a portion where the inlet hole is not formed.

제1 센서(530)는 연마장치(130)와 결합을 위해 접근하는 테이프 케이스(110)와의 거리를 센싱한다. 제어부(미도시)가 테이프 케이스(110)가 접근하는지 여부 및 온전히 장착되었는지를 알 수 있어야, 제1 모터(610)나 제2 모터(630)의 동작을 제어할 수 있다. 이에, 제1 센서(530)는 접근하는 테이프 케이스(110)와의 거리를 센싱한다. The first sensor 530 senses the distance between the polishing device 130 and the tape case 110 approaching for coupling. The control unit (not shown) can control the operation of the first motor 610 or the second motor 630 only when it can know whether the tape case 110 is approaching and whether it is fully mounted. Accordingly, the first sensor 530 senses the distance to the tape case 110 approaching.

테이프 고정부(540)는 각 회전부(510)의 회전에 의해 풀리는 테이프(330)가 일정한 경로로 풀릴 수 있도록 테이프의 이동 경로를 형성한다. 각 회전부(510, 520)의 회전에 의해 어느 하나의 휠에서 다른 하나의 휠로 권취되는 테이프(330)는 팁(550) 부분을 지나야, 테이프(330)와 결함부위가 마찰하며 연마될 수 있다. 이에, 테이프 고정부(540)는 연마장치(130) 내 테이프(330)의 이동 경로 상에 형성되어, 어느 하나의 휠에서 다른 하나의 휠로 권취되는 테이프(330)가 일정한 경로 상을 이동할 수 있도록 한다. 특히, 테이프 고정부(540)는 복수 개가 형성될 수 있으며, 테이프(330)가 팁(550)을 지나도록 경로를 형성한다.The tape fixing unit 540 forms a moving path of the tape so that the tape 330 that is unwound by the rotation of each rotation unit 510 can be unwound along a certain path. The tape 330, which is wound from one wheel to the other by the rotation of the rotating parts 510 and 520, has to pass through the tip 550 so that the tape 330 and the defective part can be rubbed and polished. Accordingly, the tape fixing part 540 is formed on the moving path of the tape 330 in the polishing device 130 so that the tape 330 wound from one wheel to another can move along a certain path. do. In particular, a plurality of tape fixing parts 540 may be formed, and a path is formed so that the tape 330 passes through the tip 550 .

팁(550)은 제2 모터(630)에 의해 결함과 가까워지거나 멀어지는 방향으로 이동한다. 제어부(미도시)의 제어에 따라, 팁(550)은 실린더(570)와 후술할 몸체(910)에 의해 제2 모터(630)로부터 제공되는 동력으로 결함과 가까워지거나 멀어지도록(z축 방향) 이동할 수 있다. 전술한 대로, 팁(550) 상을 지나도록 테이프(330)가 권취되기 때문에, 팁(550)이 제어부(미도시)의 제어에 따라 결함과 가까워지는 방향(-z축 방향)으로 이동할 경우 테이프(330)가 팁(550) 함께 이동하며 결함과 가까워지며 최종적으로 접촉할 수 있다. 팁(550)에 의해 테이프(330)가 결함과 접촉하는 동시에, 제1 회전부(510) 및 제2 회전부(520)에 의해 테이프(330)가 권취되기 때문에, 결함은 연마될 수 있다. 결함의 연마가 완료된 경우, 팁(550)은 제어부(미도시)의 제어에 따라 결함과 멀어지는 방향으로 이동함으로써 연마를 중단한다.The tip 550 moves toward or away from the defect by the second motor 630 . Under the control of a controller (not shown), the tip 550 moves closer to or away from the defect with power provided from the second motor 630 by the cylinder 570 and the body 910 to be described later (z-axis direction). can move As described above, since the tape 330 is wound to pass over the tip 550, when the tip 550 moves in a direction closer to the defect (-z-axis direction) under the control of a controller (not shown), the tape 330 moves along with tip 550 to get closer to the defect and finally contact it. Since the tape 330 is brought into contact with the defect by the tip 550 and the tape 330 is wound by the first rotating portion 510 and the second rotating portion 520 at the same time, the defect can be polished. When polishing of the defect is completed, the tip 550 stops polishing by moving in a direction away from the defect under the control of a controller (not shown).

돌출부(560)는 바깥쪽(결합될 테이프 케이스를 향하는 방향, +y축)으로 돌출된 구조로서, 테이프 케이스(110)의 제2 고정공(240)과 결합하여 결합력을 향상시킨다.The protruding portion 560 is a structure protruding outward (direction toward the tape case to be coupled, +y axis), and is combined with the second fixing hole 240 of the tape case 110 to improve bonding force.

실린더(570)는 제2 모터(630)로부터 동력을 제공받아 몸체(910)를 밀어내거나 당긴다. 팁(550)은 몸체(910)와 연결되어 있어, 몸체(910)의 이동에 따라 결함부위와 가까워지거나 멀어질 수 있다. 실린더(570)는 몸체(910)를 밀어내거나 당김으로써, 팁(550)의 이동을 유도할 수 있다.The cylinder 570 receives power from the second motor 630 to push or pull the body 910 . The tip 550 is connected to the body 910 and can move closer to or farther from the defective part according to the movement of the body 910 . The cylinder 570 may induce movement of the tip 550 by pushing or pulling the body 910 .

제1 모터(610)는 제1 회전부(510)가 회전할 수 있도록 하는 동력을 제공한다. 제1 모터(610)는 제1 회전부(510)로 동력을 제공하여, 제1 회전부(510)로 안착된 휠(325)이 회전할 수 있도록 한다. 주로, 테이프(330)는 제2 회전부(520)에 안착된 휠(320)로부터 제1 회전부(510)로 안착된 휠(325)로 권취될 수 있다. 이에, 제1 모터(610)는 제1 회전부(510)로 동력을 제공하여 휠(325)을 회전시킴으로써, 제2 회전부(520)가 별도로 동력을 제공받지 않더라도 테이프(330)가 권취될 수 있도록 한다.The first motor 610 provides power to enable the first rotation unit 510 to rotate. The first motor 610 provides power to the first rotation unit 510 so that the wheel 325 seated on the first rotation unit 510 can rotate. Mainly, the tape 330 may be wound from the wheel 320 seated on the second rotation unit 520 to the wheel 325 seated on the first rotation unit 510 . Accordingly, the first motor 610 supplies power to the first rotation unit 510 to rotate the wheel 325 so that the tape 330 can be wound even if the second rotation unit 520 is not separately powered. do.

엔코더(620)는 제2 회전부(520)의 회전수를 센싱한다. 제2 회전부(520)에는 연마가 되기 이전의 테이프(330)가 권취되어 있는 휠(320)이 결합된다. 이에, 엔코더(620)는 제2 회전부(520)의 회전수를 센싱하여, 제어부(미도시)가 제2 회전부(520)의 회전수를 토대로 휠(320)에 권취되어 있는 테이프(330)가 모두 풀렸는지를 확인할 수 있도록 한다.The encoder 620 senses the number of revolutions of the second rotation unit 520 . The wheel 320 on which the tape 330 before polishing is wound is coupled to the second rotating part 520 . Accordingly, the encoder 620 senses the number of revolutions of the second rotation unit 520, and the controller (not shown) detects the number of rotations of the second rotation unit 520 so that the tape 330 wound around the wheel 320 Make sure everything is unlocked.

제2 모터(630)는 실린더(570)가 몸체(910)를 밀어내거나 당길 수 있도록 실린더(570)로 동력을 제공한다.The second motor 630 provides power to the cylinder 570 so that the cylinder 570 can push or pull the body 910 .

제2 센서(710) 및 제3 센서(720)는 제2 회전부(520)에 결합되어 있는 휠(320)에 테이프(330)가 모두 풀렸는지 여부를 센싱한다. 어느 하나의 센서는 광을 조사하며, 다른 하나의 센서는 조사되는 광을 수광한다. 이때, 제2 센서(710) 및 제3 센서(720)는 홀 결합부(524)에 인접하게 광을 조사하며 이를 수광하는 각도로 배치된다. 이에, 제2 회전부(520)에 휠(320)이 결합되어 테이프(330)가 존재하는 경우에는 어느 하나의 센서에서 조사되는 광이 다른 하나의 센서로 수광되지 못하게 된다. 제2 회전부(520)에 결합된 휠(320)에 테이프(330)가 모두 휠(325)로 권취된 경우에 비로소 제2 센서(710) 및 제3 센서(720)는 광을 조사하고 수광할 수 있다. 이에, 제어부(미도시)는 어느 하나의 센서에서 조사된 광이 다른 하나의 센서에 수광되는지 여부로 테이프(330)가 모두 풀렸는지를 정확히 판단할 수 있다. 제어부(미도시)는 엔코더(620)와 제2 센서(710)/제3 센서(720)로부터 사용전 테이프의 잔량과 모두 사용되었는지 여부를 파악할 수 있다.The second sensor 710 and the third sensor 720 sense whether the tape 330 is completely unwound on the wheel 320 coupled to the second rotating part 520 . One sensor irradiates light, and the other sensor receives the irradiated light. At this time, the second sensor 710 and the third sensor 720 are arranged at an angle to irradiate and receive light adjacent to the hall coupling part 524 . Accordingly, when the wheel 320 is coupled to the second rotation unit 520 and the tape 330 exists, the light emitted from one sensor is not received by the other sensor. The second sensor 710 and the third sensor 720 emit and receive light only when the tape 330 is wound around the wheel 320 coupled to the second rotating part 520. can Accordingly, the controller (not shown) may accurately determine whether all the tapes 330 are unwound by determining whether light emitted from one sensor is received by another sensor. The controller (not shown) can determine the remaining amount of the tape before use and whether all of the tape has been used from the encoder 620 and the second sensor 710/third sensor 720 .

커넥터(810)는 흡기장치(미도시)가 외부로부터 연결될 수 있도록 한다. 커넥터(810)는 흡기장치(미도시)가 외부로부터 연결되어, 흡입구(820)로 흡입력을 제공할 수 있도록 한다.The connector 810 allows an intake device (not shown) to be connected from the outside. The connector 810 allows an intake device (not shown) to be connected from the outside to provide a suction force to the suction port 820 .

흡입구(820)는 외부로부터 흡입력을 전달받아 버(Burr) 등을 흡입한다. 팁(550)이 결함부위와 근접하며 테이프(330)에 의해 연마가 진행될 경우, 결함부위로부터 버(Burr)가 발생하게 된다. 흡입구(820)는 팁(550)과 인접한 위치(기 설정된 반경 내)에 형성되어, 테이프(330)의 연마로부터 발생하는 버를 흡입하여 기판에 연마로 인한 버가 쌓이지 않도록 한다. The suction port 820 receives a suction force from the outside and sucks a burr or the like. When the tip 550 is close to the defective portion and polishing is performed by the tape 330, a burr is generated from the defective portion. The suction hole 820 is formed at a position adjacent to the tip 550 (within a predetermined radius) to suck in burrs generated from polishing of the tape 330 to prevent burrs from being accumulated on the substrate.

제어부(미도시)는 센서(530, 710, 720) 및 엔코더(620)의 센싱값을 토대로, 제1 모터(610)와 제2 모터(630)의 동작을 제어한다.A controller (not shown) controls the operation of the first motor 610 and the second motor 630 based on the sensing values of the sensors 530 , 710 , and 720 and the encoder 620 .

제어부(미도시)는 제1 센서(530)로부터 센싱값을 수신하여, 제1 모터(610)의 동작을 제어한다. 제어부(미도시)는 제1 센서(530)로부터 테이프 케이스(110)가 접근하는지 여부를 판단한 후, 제1 회전부(510)가 일정한 각도 내에서 왕복하며 움직이도록 제어한다. 이에, 제1 회전부(510) 내 유입공 결합부(518)가 온전히 제2 유입공(415)으로 유입될 수 있다. 또한, 제어부(미도시)는 제1 센서(530)로부터 테이프 케이스(110)가 최대한 근접한 것을 확인(테이프 케이스가 제1 회전부나 돌출부에 장착되어 고정)한 경우, 제1 회전부(510)를 회전시켜 테이프(330)를 권취하도록 제1 모터(610)를 제어한다. 이에, 제어부(미도시)는 휠(320)에 권취되어 있는 테이프(330)가 휠(325)로 권취되며 팁(550) 상을 이동할 수 있도록 한다.A controller (not shown) receives a sensed value from the first sensor 530 and controls the operation of the first motor 610 . After determining whether the tape case 110 is approaching from the first sensor 530, the controller (not shown) controls the first rotation unit 510 to reciprocate and move within a predetermined angle. Accordingly, the inlet hole coupler 518 in the first rotating part 510 may be fully introduced into the second inlet hole 415 . In addition, when the control unit (not shown) confirms that the tape case 110 is as close as possible to the first sensor 530 (the tape case is mounted on and fixed to the first rotational unit or protrusion), the first rotational unit 510 is rotated. to control the first motor 610 to wind the tape 330. Accordingly, the controller (not shown) allows the tape 330 wound around the wheel 320 to move along the tip 550 while being wound around the wheel 325 .

이와 동시에, 제어부(미도시)는 제2 모터(630)를 제어하여 팁(550)이 결함부위로 근접하거나 멀어지도록 제어한다. 제1 회전부(510)의 동작에 의해 팁(550) 상을 테이프(330)가 이동하는 경우, 제어부(미도시)는 결함부위(미도시)까지 팁(550)이 돌출되도록 제2 모터(630)를 제어한다. 제어부(미도시)는 미리 별도의 결함 검출장치로부터 결함의 위치정보를 수신해 둔다. 이에, 제어부(미도시)는 제2 모터(630)를 제어하여, 실린더(570) 및 몸체(910)를 거쳐 팁(550)이 결함부위로 돌출되도록 제어한다. 제어부(미도시)는 결함부위의 연마가 완료된 경우, 제2 모터(630)를 제어하여 팁(550)이 결함부위로부터 멀어지도록 제어한다. At the same time, the controller (not shown) controls the second motor 630 so that the tip 550 approaches or moves away from the defective part. When the tape 330 moves on the tip 550 by the operation of the first rotation unit 510, the controller (not shown) controls the second motor 630 so that the tip 550 protrudes to the defective part (not shown). ) to control. The control unit (not shown) receives defect location information from a separate defect detection device in advance. Accordingly, the controller (not shown) controls the second motor 630 so that the tip 550 protrudes to the defective part via the cylinder 570 and the body 910 . When the polishing of the defective portion is completed, the controller (not shown) controls the second motor 630 to move the tip 550 away from the defective portion.

또한, 제어부(미도시)는 결함부위의 연마가 모두 완료되어 팁(550)이 결함부위에서 멀어지거나, 제2 회전부(520)에 결합된 휠(320)의 테이프(330)가 모두 휠(325)로 권취된 경우, 제1 모터(610)가 동력 제공을 중단하도록 제어한다. 결함부위의 연마가 완료되었거나, 휠(320)의 테이프(330)가 휠(325)로 모두 권취된 경우, 더 이상 제1 회전부(510)가 회전할 필요가 존재하지 않는다. 이에, 제어부(미도시)는 제1 회전부(510)의 회전을 중단하도록 제1 모터(610)를 정지시켜 제1 회전부(510)로의 동력 제공을 중단한다.In addition, the control unit (not shown) determines whether the tip 550 moves away from the defective area when all polishing of the defective area is completed, or the tape 330 of the wheel 320 coupled to the second rotating unit 520 is completely removed from the wheel 325. ), the first motor 610 is controlled to stop providing power. When the polishing of the defective part is completed or the tape 330 of the wheel 320 is all wound around the wheel 325, there is no need to rotate the first rotating part 510 any more. Accordingly, the controller (not shown) stops the first motor 610 to stop the rotation of the first rotation unit 510 to stop providing power to the first rotation unit 510 .

도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 연마장치의 동작을 도시한 모식도이다.9 is a schematic diagram showing the operation of a polishing device according to an embodiment of the present invention.

도 9(a)와 같이, 제2 모터(630)에 의해 실린더(550)가 몸체(910)를 밀어내지 않을 경우, 팁(550)은 결함부위로 근접하지 못한다. 이에, 테이프(330)가 결함부위와 접촉하며 결함부위를 연마시키지 못한다. 또는, 제2 모터(630)에 의해 실린더(550)가 몸체(910)를 당길 경우, 팁(550)은 몸체(910)에 의해 결함부위로부터 멀어지도록 이동한다. 이에, 연마가 완료된 경우, 팁(550)은 이와 같은 동작에 의해 결함부위로부터 멀어질 수 있다.As shown in FIG. 9(a) , when the cylinder 550 does not push the body 910 by the second motor 630, the tip 550 does not approach the defective part. Thus, the tape 330 contacts the defective portion and does not polish the defective portion. Alternatively, when the cylinder 550 pulls the body 910 by the second motor 630, the tip 550 moves away from the defective part by the body 910. Accordingly, when the polishing is completed, the tip 550 may be moved away from the defective part by such an operation.

반면, 도 9(b)와 같이, 제2 모터(630)에 의해 실린더(550)가 몸체(910)를 밀어낼 경우, 팁(550)은 몸체(910)에 의해 결함부위에 근접하게 이동한다. 팁(550)의 이동으로 테이프(330)와 결함부위가 접촉하며 테이프(330)의 권취로 연마가 진행된다.On the other hand, as shown in FIG. 9(b), when the cylinder 550 pushes the body 910 by the second motor 630, the tip 550 is moved closer to the defective part by the body 910. . The movement of the tip 550 brings the tape 330 into contact with the defective portion, and polishing is performed by winding the tape 330 .

몸체(910)는 몸체(910) 내 일 부분에 텐션(Tension)부(920)를 포함한다. 텐션부(920)는 탄성을 갖는 재질로 구현되며, 몸체(910)를 텐션부(920)를 기준으로 두 구성으로 분리하며 양자를 연결한다. 실린더(550)에 의해 몸체(910)가 밀리거나 당겨짐으로써, 몸체(910) 자체나 팁(550)이 충격을 받을 수 있으며 어느 하나 또는 모두가 파손되는 경우가 발생할 수 있다. 텐션부(920)는 몸체(910) 내 일 부분에서 이와 같은 충격을 흡수하여 일 구성 또는 양 구성(550, 910) 모두가 파손되는 것을 방지한다.The body 910 includes a tension part 920 at one part of the body 910 . The tension unit 920 is made of a material having elasticity, and separates the body 910 into two components based on the tension unit 920 and connects the two components. As the body 910 is pushed or pulled by the cylinder 550, the body 910 itself or the tip 550 may be impacted, and any one or all of them may be damaged. The tension unit 920 absorbs such an impact in one portion of the body 910 to prevent one or both components 550 and 910 from being damaged.

전술한 설명에서는 팁(550)과 몸체부(910)가 별개의 구성인 것처럼 설명하고 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 몸체부(910)의 실린더(570)와 먼 끝단이 팁(550)으로 구현될 수 있다.In the above description, the tip 550 and the body portion 910 are described as being separate components, but are not necessarily limited thereto, and the cylinder 570 and the far end of the body portion 910 are formed by the tip 550. can be implemented

이상의 설명은 본 실시예의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 실시예가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 실시예들은 본 실시예의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 실시예의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 실시예의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 실시예의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The above description is merely an example of the technical idea of the present embodiment, and various modifications and variations can be made to those skilled in the art without departing from the essential characteristics of the present embodiment. Therefore, the present embodiments are not intended to limit the technical idea of the present embodiment, but to explain, and the scope of the technical idea of the present embodiment is not limited by these embodiments. The scope of protection of this embodiment should be construed according to the claims below, and all technical ideas within the scope equivalent thereto should be construed as being included in the scope of rights of this embodiment.

100: 결함 연마 시스템
110: 테이프 케이스
120: 케이스 교체장치
130: 연마장치
200: 하우징
210: 결합공
220: 제1 고정공
230: 제1 안착공
240: 제2 고정공
250: 연마부 유입공
260: 제2 안착공
310, 315: 홈부
320, 325: 휠
330: 연마용 테이프
340, 350: 고정부
345, 355: 돌출부
360: 프리롤러
370: 텐션 바
380: 테이프 배출구
410: 제1 유입공
415, 425: 결합홀
420: 제2 유입공
510, 520: 회전부
514, 524: 홀 결합부
518, 528: 유입공 결합부
530, 710, 720: 센서
540: 테이프 고정부
550: 팁
560: 돌출부
570: 실린더
610, 630: 모터
620: 엔코더
810: 커넥터
820: 흡입구
910: 몸체
920: 텐션부100: defect polishing system
110: tape case
120: case replacement device
130: polishing device
200: housing
210: coupling hole
220: first fixed hole
230: first settling hole
240: second fixed hole
250: grinding part inlet hole
260: second seating hole
310, 315: groove part
320, 325: wheel
330: abrasive tape
340, 350: fixing part
345, 355: projections
360: pre-roller
370: tension bar
380: tape outlet
410: first inlet hole
415, 425: coupling hole
420: second inlet hole
510, 520: rotating part
514, 524: hole coupling part
518, 528: inlet hole coupling part
530, 710, 720: sensor
540: tape fixing unit
550: tip
560: protrusion
570: cylinder
610, 630: motor
620: encoder
810: connector
820: inlet
910: body
920: tension unit

Claims

테이프 케이스 내 테이프를 권취하여 결함을 연마하는 결함 연마장치에 있어서,
테이프 케이스 내 제1 휠과 결합되며, 동력을 제공받아 회전하여 제1 휠로 테이프를 권취하는 제1 회전부;
테이프 케이스 내 제2 휠과 결합되며, 회전하여 제2 휠에 권취된 테이프가 상기 제1 회전부에 의해 상기 제1 휠로 권취될 수 있도록 하는 제2 회전부;
상기 제1 회전부로 동력을 제공하는 제1 모터;
테이프 케이스가 상기 결함 연마장치로 접근하는지 여부를 센싱하는 제1 센서;
결함부위와 멀어지거나 가까워지도록 이동하며, 상기 제2 회전부로부터 상기 제1 회전부로 권취되는 테이프를 결함부위로 돌출시키는 팁;
상기 팁이 상기 결함부위의 상부로 멀어지거나 가까워지도록 동력을 제공하는 제2 모터;
어느 하나는 광을 조사하고, 나머지 하나는 조사되는 광을 수광하여, 상기 제2 회전부에 결합되어 있는 휠에 테이프가 모두 풀렸는지 여부를 센싱하는 제2 센서 및 제3 센서;
흡기장치가 외부에서 연결될 수 있도록 하는 커넥터;
상기 팁으로부터 기 설정된 반경 내 형성되어, 상기 커넥터로부터 흡입력을 전달받아 버(Burr)를 흡입하는 흡입구; 및
상기 제1 센서의 센싱값을 토대로 상기 제1 모터 및 상기 제2 모터의 동작을 제어하는 제어부를 포함하며,
상기 제1 회전부는 상기 제1 회전부의 중앙부에 돌출된 구조로서 상기 제1 휠의 결합홀과 결합되는 홀 결합부 및 상기 홀 결합부로부터 기 설정된 반경 상에 하나 이상 위치하여, 상기 제1 휠의 제1 유입공과 결합하는 유입공 결합부를 포함하며,
상기 제2 회전부도 홀 결합부 및 유입공 결합부를 포함하는 것을 특징으로 하는 결함 연마장치.A defect polishing device for polishing defects by winding a tape in a tape case,
A first rotating unit coupled to a first wheel in the tape case and rotating by receiving power to wind the tape with the first wheel;
a second rotating unit that is coupled to a second wheel in the tape case and rotates so that the tape wound around the second wheel can be wound around the first wheel by the first rotating unit;
a first motor providing power to the first rotating unit;
a first sensor for sensing whether a tape case is approaching the defect polishing device;
a tip that moves away from or closer to the defective portion and protrudes the tape wound from the second rotating portion to the first rotating portion toward the defective portion;
a second motor providing power so that the tip moves away from or approaches the top of the defective part;
a second sensor and a third sensor configured to sense whether all the tapes are unwound from the wheel coupled to the second rotating part by irradiating light with one of them and receiving the light with the other being irradiated;
A connector that allows the intake device to be connected from the outside;
a suction port formed within a predetermined radius from the tip and receiving a suction force from the connector to suck a burr; and
And a control unit for controlling the operation of the first motor and the second motor based on the sensing value of the first sensor,
The first rotating part has a structure protruding from the central portion of the first rotating part, and is positioned on a hole coupling portion coupled to a coupling hole of the first wheel and at least one location on a predetermined radius from the hole coupling portion, so that the first wheel Including an inlet hole coupling part coupled to the first inlet hole,
The defect polishing apparatus according to claim 1, wherein the second rotating part also includes a hole coupling portion and an inlet hole coupling portion.

제1항에 있어서,
상기 팁과 연결되어 상기 팁을 결합부위의 상부와 멀어지거나 가까워지도록 이동시키는 몸체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 결함 연마장치.According to claim 1,
The defect polishing apparatus further comprises a body connected to the tip and moving the tip away from or closer to the upper portion of the coupling portion.

제2항에 있어서,
상기 제2 모터로부터 동력을 제공받아, 상기 몸체를 밀거나 당김으로써 상기 몸체에 의해 상기 팁이 결함부위와 멀어지거나 가까워지도록 이동시키는 실린더를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 결함 연마장치.According to claim 2,
and a cylinder receiving power from the second motor and pushing or pulling the body to move the tip away from or closer to the defective part by the body.

제3항에 있어서,
상기 제2 모터는,
상기 실린더가 상기 몸체를 밀거나 당기도록 동력을 제공하는 것을 특징으로 하는 결함 연마장치.According to claim 3,
The second motor,
The defect polishing device, characterized in that the cylinder provides power to push or pull the body.

제1항에 있어서,
상기 제2 휠에 권취된 테이프가 상기 팁 상을 지나 상기 제1 휠로 권취되도록 테이프의 이동경로를 형성하는 테이프 고정부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 결함 연마장치

According to claim 1,
and a tape fixing unit forming a moving path of the tape so that the tape wound around the second wheel passes over the tip and is wound around the first wheel.