KR102440363B1 - 필름 프레임, 디스플레이 기판 제조 시스템 및 디스플레이 기판 제조 방법 - Google Patents

필름 프레임, 디스플레이 기판 제조 시스템 및 디스플레이 기판 제조 방법 Download PDF

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Abstract

일부 실시예들에 따른 임프린트용 필름을 적재할 수 있도록 구성된 필름 프레임은 제1 방향으로 연장되며 서로 정렬되어 배치된 한 쌍의 프레임 멤버들; 상기 한 쌍의 프레임 멤버들에 연결되며, 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 연장되는 고정단 클램프; 및 상기 한 쌍의 프레임 멤버들의 사이에 배치되되, 상기 제2 방향으로 연장되고 상기 한 쌍의 프레임 멤버들에 대해 결합하고 분리될 수 있도록 구성된 자유단 클램프를 포함하고, 상기 고정단 클램프는 상기 제2 방향으로 연장되는 제1 자기 고정 유닛 및 상기 제1 자기 고정 유닛 상에 배치된 제2 자기 고정 유닛을 포함하고, 상기 자유단 클램프는 상기 제2 방향으로 연장되는 제3 자기 고정 유닛 및 상기 제3 자기 고정 유닛 상에 배치된 제4 자기 고정 유닛을 포함하는 것을 특징한다.

Description

필름 프레임, 디스플레이 기판 제조 시스템 및 디스플레이 기판 제조 방법 {Film frame, display substrate manufacturing system and display substrate manufacturing method}
본 발명은 필름 프레임, 디스플레이 기판의 제조 시스템 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 임프린트 필름이 적재되는 필름 프레임, 임프린트 필름을 이용한 디스플레이 기판의 제조 시스템 및 방법에 관한 것이다.
임프린트 기술은 반도체 장치의 생산을 위한 리소그래피 기술 중 하나이다. 임프린트 기술은 미세한 요철 패턴이 형성된 몰드(예컨대 임프린트 필름)를 원판으로 사용하여, 실리콘 기판 또는 유리 기판 등의 기판 상에 요철 패턴을 형성하는 기술이다.
본 발명이 이루고자 하는 과제중 하나는 디스플레이 기판의 제조 과정을 자동화하여 디스플레이 기판의 제조 효율 및 신뢰도를 제고하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제들은 이상에서 언급한 과제에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상술한 과제를 해결하기 위한, 일부 실시예들에 따른 임프린트용 필름을 적재할 수 있도록 구성된 필름 프레임은 제1 방향으로 연장되며 서로 정렬되어 배치된 한 쌍의 프레임 멤버들; 상기 한 쌍의 프레임 멤버들에 연결되며, 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 연장되는 고정단 클램프; 및 상기 한 쌍의 프레임 멤버들의 사이에 배치되되, 상기 제2 방향으로 연장되고 상기 한 쌍의 프레임 멤버들에 대해 결합하고 분리될 수 있도록 구성된 자유단 클램프를 포함하고 상기 고정단 클램프는 상기 제2 방향으로 연장되는 제1 자기 고정 유닛 및 상기 제1 자기 고정 유닛 상에 배치된 제2 자기 고정 유닛을 포함하고, 상기 자유단 클램프는 상기 제2 방향으로 연장되는 제3 자기 고정 유닛 및 상기 제3 자기 고정 유닛 상에 배치된 제4 자기 고정 유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다.
다른 일부 실시예들에 따른 디스플레이 기판 제조 시스템은 필름 로딩 스테이지; 상기 필름 로딩 스테이지에서 임프린트 필름을 적재할 수 있도록 구성된 필름 프레임; 및 상기 임프린트 필름으로 디스플레이 기판에 임프린트 공정을 수행하는 임프린트 스테이지를 포함하는 디스플레이 제조 시스템에 있어서, 상기 필름 로딩 스테이지는; 사각 평판 형태의 필름 로딩 척; 및 상기 필름 로딩 척의 대향하는 한 쌍의 제1 가장자리들에 인접하게 배치된 접착성 롤 및 몰드를 포함하고, 상기 필름 로딩 스테이지 및 상기 임프린트 스테이지 사이에서 상기 필름 프레임을 이동시킬 수 있도록 구성된 이송 수단;을 포함한다.
다른 일부 실시예들에 따른 디스플레이 기판 제조 방법은, 필름 프레임을 필름 로딩 스테이지에 제공하는 단계; 임프린트 필름을 상기 필름 로딩 스테이지에 제공하는 단계; 상기 임프린트 필름을 상기 필름 프레임에 대해 정렬시키는 단계; 상기 임프린트 필름을 상기 필름 프레임에 고정시키는 단계; 및 상기 임프린트 필름을 디스플레이 기판상에 임프린트 하는 단계를 포함하되, 상기 임프린트 필름을 제공하는 단계는 탄성력을 이용하여 상기 임프린트 필름에 부착된 보호 필름과 상기 임프린트 필름을 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 기술적 사상에 따르면, 임프린트 필름을 필름 프레임에 적재하는 단계를 자동화할 수 있다. 이에 따라서 디스플레이 기판의 생산 효율을 향상시키고 신뢰도를 제고할 수 있다.
도 1은 일부 실시예들에 따른 디스플레이 기판 제조 시스템을 도시한 블록도이다.
도 2는 일부 실시예들에 따른 필름 로딩 스테이지(1)를 도시한 평면도이다.
도 3a 및 3b는 도 2의 절단선 I-I'에 대응하는 단면도이다.
도 3c는 일부 실시예들에 따른 보호 필름 분리를 설명하기 위한 그래프이다.
도 4는 도 2의 절단선 II-II'에 대응하는 단면도이다.
도 5a는 일부 실시예들에 따른 필름 프레임을 설명하기 위한 분해 사시도이다.
도 5b는 일부 실시예들에 따른 필름 프레임을 설명하기 위한 사시도이다.
도 5c는 도 5b의 절단선 III-III'를 따라 취한 단면도이다.
도 6a 내지 6c는 일부 실시예들에 따른 필름 프레임을 설명하기 위한 사시도들이다.
도 7a 내지 7c는 일부 실시예들에 따른 필름 프레임을 설명하기 위한 단면도들이다.
도 8a 및 8b는 일부 실시예들에 따른 임프린트 스테이지를 설명하기 위한 평면도들이다.
도 9는 일부 실시예들에 따른 디스플레이 기판 제조 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명한다. 도면 상의 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 사용하고, 이들에 대한 중복된 설명은 생략한다.
도 1은 일부 실시예들에 따른 디스플레이 기판 제조 시스템(1000)을 도시한 블록도이다.
도 1을 참조하면 디스플레이 기판 제조 시스템(1000)은 필름 로딩 스테이지(1) 및 임프린트 스테이지(2)를 포함할 수 있다. 도시되지 않았으나, 디스플레이 기판 제조 시스템(1000)은 임프린트 필름(IF, 도 3a 참조)이 적재되는 필름 프레임(200, 5a 참조)을 더 포함할 수 있다. 임프린트 필름(IF, 도 3a 참조)은 필름 로딩 스테이지(1)에서 필름 프레임(200, 5a 참조)에 적재될 수 있다. 임프린트 필름(IF, 도 3a 참조)이 적재된 필름 프레임(200, 5a 참조)은 임프린트 스테이지(2)로 이동하여 디스플레이 기판에 임프린트 공정을 수행할 수 있다.
임프린트 공정은, 주형(예컨대, 임프린트 필름)의 요철 패턴을 기판 등에 전사하는 공정이다. 기판 상에 광경화성 약액층(예컨대, 자외선 경화 물질)을 도포하고, 주형을 사용하여 약액층 상에 요철 패턴을 형성한다. 요철 패턴이 형성된 약액층에 광(예를 들어, 자외선)을 조사하여 약액층을 경화한 후 주형을 경화된 약액층로부터 분리한다.
도 2는 일부 실시예들에 따른 필름 로딩 스테이지(1)를 설명하기 위한 평면도이다. 도 3a 및 3b는 도 2의 절단선 I-I'에 대응하는 단면도이고, 도 4는 도 2의 절단선 II-II'에 대응하는 단면도이다.
다만, 도 3a, 3b 및 도 4에서는 일부 실시예들의 이해를 위해 도 2와 달리 필름 로딩 스테이지(1) 상에 추가적으로 제공된 임프린트 필름(IF) 및 필름(PF)이 도시되어있다.
도 2를 참조하면 필름 로딩 스테이지(1)는 필름 로딩 척(110), 보호 필름 분리 수단(120), 필름 고정 수단(130), 기준단(141), 정렬자(143) 및 정렬자 구동 수단(145)을 포함한다.
필름 로딩 척(110)은 후술하는 필름 프레임(200, 도 5a 참조)에 임프린트 필름(IF, 도 3a 참조)을 적재하는 동안 임프린트 필름(IF, 도 3a 참조)을 지지하도록 구성된 평판 형태의 척이다. 필름 로딩 척(110)은 적어도 두 쌍의 대향하는 가장자리들을 포함할 수 있다. 필름 로딩 척(110)은 대략 사각 평판 형태로 실질적으로 서로 수직한 두 방향으로 연장될 수 있고, 본 명세서에서는 이를 각각 제1, 제2 방향(X, Y)이라 지칭한다. 또한 필름 로딩 척(110)의 상면에 실질적으로 수직한 방향을 제3 방향(Z)이라고 지칭한다. 도면상에 화살표로 표시된 방향과 이의 반대 방향은 동일 방향으로 지칭한다. 일반적으로 필름 로딩 스테이지(1)는 필름 로딩 척(110)의 상면이 지면에 대해 평행하도록 배치될 수 있다. 도 2를 참조하면 필름 로딩 척(110)의 제1 방향(X)에 따른 길이가 제2 방향(Y)에 따른 길이보다 더 긴 것으로 도시되었으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 예컨대, 필름 로딩 척(110)의 제1 방향(X)에 따른 길이가 제2 방향(Y)에 따른 길이와 같거나 더 작은 것도 가능하다.
필름 로딩 척(110)의 제2 방향(Y)에 따라 연장되는 두 가장자리에 인접하게 보호 필름 분리 수단(120)이 배치될 수 있다. 보호 필름 분리 수단(120)은 후술하듯 임프린트 필름(IF)의 공정면 상에 제공된 보호 필름(PF)을 분리할 수 있도록 구성된다. 여기서 임프린트 필름(IF)의 공정면은 디스플레이 기판(505, 도 8b 참조) 상에 제공된 약액층(510, 도 8b 참조)에 요철 패턴을 형성하도록 기형성된 요철 패턴을 포함하는 면이다.
필름 로딩 척(110)의 제1 방향(X)에 따라 연장되는 가장자리 중 어느 하나, 즉 제2 방향(Y)에 따른 일단에, 기준단(141)이 연결될 수 있다. 필름 로딩 척(110)의 제1 방향(X)에 따라 연장되는 가장자리 중 다른 하나에 인접하게 정렬자(143)가 배치될 수 있다. 정렬자(143)는 필름 로딩 척(110)과 연결된 정렬자 구동 수단(145)에 연결될 수 있다. 정렬자(143)는 정렬자 구동 수단(145)에 의해 제2 방향(Y)을 따라 이동할 수 있다.
필름 로딩 척(110) 위에 필름 고정 수단(130)이 제공될 수 있다. 필름 고정 수단(130)은 소정의 구동 수단에 의해 제3 방향(Z)을 따라 이동할 수 있다.
이제 도 2 및 3a를 참조하면, 필름 로딩 스테이지(1) 상에 임프린트 필름(IF)이 제공될 수 있다. 임프린트 필름(IF)은 전술한 임프린트 공정의 주형에 해당할 수 있다. 도시되지 않았으나, 임프린트 필름(IF)의 공정면은 미세 요철 패턴을 포함할 수 있다. 보호 필름(PF)은 임프린트 필름(IF)의 공정면의 미세 입자에 의해 오염되거나 외부 충격에 의한 미세 요철 패턴의 손상되는 것을 방지하도록 임프린트 필름의 공정면 상에 제공될 수 있다. 따라서 임프린트 필름(IF)을 후술하는 필름 프레임(200, 도 5a 참조)에 적재하기 전, 보호 필름(PF)을 분리할 필요가 있다.
필름 로딩 척(110)은 필름 로딩 척(110) 상에 배치된 임프린트 필름(IF) 및 보호 필름(PF)을 부상시키도록 구성될 수 있다. 하지만 이에 제한되는 것은 아니고, 필름 로딩 척(110)은 보호 필름(PF)에 접촉하여 보호 필름(PF) 및 임프린트 필름(IF)을 지지할 수 있다. 필름 로딩 척(110)의 구성에 대해서는 이후에 더욱 자세히 기술하도록 한다.
필름 고정 수단(130)은 후술하듯 임프린트 필름(IF)을 필름 프레임(200, 도 5a 참조)에 대해 정렬한 후, 임프린트 필름(IF)을 안정적으로 고정할 수 있다. 필름 고정 수단(130)은 예컨대 공압식일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
보호 필름 분리 수단(120)은 접착성 롤(121)과 주형(126)을 포함할 수 있다. 접착성 롤(121)의 표면은 접착성을 가질 수 있다. 접착성 롤(121)의 표면은 접착성 롤(121)에 접촉한 보호 필름(PF)이 접착성 롤(121)에 부착되도록 충분히 강한 접착력을 가질 수 있다. 접착성 롤(121)은 예컨대, 원기둥형일 수 있고, 그 단면 프로파일은 원형일 수 있다. 접착성 롤(121)의 단면 프로파일이 원형인 경우 접착성 롤(121)의 반지름은 약 20mm 이하일 수 있다. 하지만 이에 제한되는 것은 아니고, 접착성 롤(121)의 단면 프로파일은 다양한 곡면 프로파일 및/또는 다각형 프로파일을 가질 수 있다.
주형(126)은 접착성 롤(121) 상에 배치되되, 제3 방향(Z)을 따라 이동 가능하도록 구성될 수 있다. 하지만 이에 제한되는 것은 아니고, 필름 로딩 척(110), 접착성 롤(121) 및 필름 고정 수단(130)이 제3 방향(Z)을 따라 이동 가능하도록 구성될 수 있다. 접착성 롤(121) 및 주형(126)은 제3 방향(Z)으로 서로 상대 운동하도록 구성될 수 있다. 일부 실시예들에 따르면 주형(126)의 일부분은 접착성 롤(121)에 대응하는 프로파일을 가질 수 있다. 일부 실시예들에 따르면 주형(126)의 접착성 롤(121)과 대향하는 면은 접착성 롤(121)의 표면과 맞물릴 수 있도록 구성된 프로파일을 가질 수 있다. 예컨대, 접착성 롤(121)의 단면 프로파일이 원형인 경우, 주형(126)의 단면 프로파일의 일부는 이에 대응되어 호(arc)를 포함할 수 있다. 또한 접착성 롤(121)의 단면 프로파일이 다양한 곡면 프로파일 및/또는 다각형 프로파일을 가지는 경우, 주형(126)의 단면 프로파일의 일부는 이에 대응하여 다양한 곡면 프로파일 및/또는 다각형 프로파일을 가질 수 있다. 접착성 롤(121) 및 주형(126)을 이용한 보호 필름(PF)의 분리 방법은 뒤에 구체적으로 설명하기로 한다.
도 2 및 3b를 참조하면, 일부 실시예들에 따른 보호 필름 분리 수단(120')은 접착성 롤(121') 및 주형(126')을 포함할 수 있다. 접착성 롤(121')은 보호 필름의 일단으로부터 타단으로 제1 방향(X)을 따라 이동할 수 있도록 구성된다. 일부 실시예들에 따르면 평판 형태의 주형(126')이 제공될 수 있다.
이제 도 2 및 도 4를 참조하면, 필름 로딩 척(110) 상에 보호 필름(PF, 도 3a 참조)이 분리된 임프린트 필름(IF)이 제공될 수 있다. 도시되지 않았으나, 필름 로딩 척(110)은 행과 열을 따라 배치된 복수개의 기체 유출구를 포함할 수 있다. 기체 유출구를 통해 상방으로 출사된 기체는 임프린트 필름(IF)을 필름 로딩 척(110)의 상면 상에 부상시킬 수 있다. 이에 따라 임프린트 필름(IF)은 필름 로딩 척(110)으로부터 이격되어 필름 로딩 척(110)의 상면에 접하지 않을 수 있다.
기준단(141)은 필름 로딩 척(110)의 제2 방향(Y)에 따른 일단에 연결될 수 있다. 기준단(141)은 제1 방향(X)으로 연장되는 막대 형상을 가질 수 있고, 기준단(141)의 상면은 필름 로딩 척(110)의 상면보다 높을 수 있다. 기준단(141)의 필름 로딩 척(110)과 접하는 면은 필름 로딩 척(110)의 상면에 대해 실질적으로 수직할 수 있다.
정렬자(143)는 필름 로딩 척(110)의 제2 방향(Y)에 따른 타단에 연결될 수 있다. 정렬자(143)와 기준단(141)은 필름 로딩 척(110)을 사이에 두고 이격되어 배치될 수 있다. 정렬자(143)는 제1 방향(X)으로 연장되는 막대형상을 갖고, 정렬자(143)의 상면은 필름 로딩 척(110)의 상면보다 높을 수 있다. 정렬자(143)의 상면은 기준단(141)의 상면과 실질적으로 동일 레벨에 배치될 수 있다.
정렬자 구동 수단(145)은 필름 로딩 척(110) 및 정렬자에 연결될 수 있다. 정렬자 구동 수단(145)은 제2 방향(Y)으로 이동할 수 있도록 구성되어, 정렬자 구동 수단(145)의 이동에 따라 정렬자(143) 또한 이동할 수 있다. 정렬자 구동 수단(145)은 모터식 구동 장치, 공압식 구동 장치, 볼 스크류 구동 장치등을 포함할 수 있으나 이에 제한되지 않는다. 정렬자 구동 수단(145)은 제2 방향(Y)으로 이동함에 따라 필름 로딩 척(110) 내로 삽입될 수 있다. 이에 따라 정렬자(143)의 일면은 필름 로딩 척(110)과 접할 수 있다.
도 5a는 일부 실시예들에 따른 필름 프레임을 설명하기 위한 분해 사시도이다. 도 5b는 일부 실시예들에 따른 필름 프레임을 설명하기 위한 사시도이다. 도 5c는 도 5b의 절단선 III-III'를 따라 취한 단면도이다.
도 5a 내지 5c를 참조하면, 필름 프레임(200)은 한 쌍의 제1 프레임 멤버들(201) 및 한 쌍의 제1 프레임 멤버들(201)의 일단 사이에 연결된 제2 프레임 멤버(202)를 포함할 수 있다. 한 쌍의 제1 프레임 멤버들(201) 및 제2 프레임 멤버(202)는 소정의 방향으로 연장되는 막대 형상일 수 있다. 제1 프레임 멤버들(201)은 각각 제2 프레임 멤버(202)에 인접하게 형성된 자유단 결합 홈(205)을 포함할 수 있다. 자유단 결합 홈(205)은 후술하는 자유단 샤프트들(249, 도 5a 참조)이 삽입될 수 있도록 소정의 크기 및 형상을 갖도록 형성될 수 있다. 필름 프레임(200)이 필름 로딩 척(110) 상에 배치될 때, 제1 프레임 멤버들(201)은 제1 방향(X)에 실질적으로 평행하게 연장될 수 있고, 제2 프레임 멤버(202)는 제2 방향(Y)에 실질적으로 평행하게 연장될 수 있다. 이하에서는 방향을 지칭함에 있어서, 필름 프레임(200)이 필름 로딩 척(110) 상에 배치될 때의 방향을 기준으로 하여 도 2 및 도 3a 내지 3b 에서 정의된 방향과 일치하도록 설명한다.
일부 실시예들에 따르면 필름 프레임(200)은 프레임 상면으로부터 돌출된 복수개의 이송 로봇 결합 수단들(206)을 포함할 수 있다. 이송 로봇 결합 수단들(206)은 이송 로봇이 필름 프레임(200)에 결합할 수 있도록 구성된다. 이송 로봇 결합 수단들(206) 중 일부는 제1 프레임 멤버들(201)의 타단, 즉 제1 프레임 멤버들(201)의 단부 중 제2 프레임 멤버(202)로부터 이격된 단부에 배치될 수 있다. 이송 로봇 결합 수단들(206) 중 다른 일부는 제2 프레임 멤버(202)의 제2 방향(Y) 중심에 배치될 수 있다. 도 5a 및 5b를 참조하면 세 개의 이송 로봇 결합 수단들(206)이 제공되었으나, 이에 제한되는 것은 아니고, 1개, 2개 또는 4개 이상의 이송 로봇 결합 수단이 제공될 수 있다. 또한 이송 로봇 결합 수단의 형상 및 배치는 예시적인 것으로서 어떠한 의미에서도 본 발명을 제한하지 않는다.
한 쌍의 제1 프레임 멤버들(201)의 타단 사이에 제1 자기 고정 유닛(210)이 배치될 수 있다. 즉, 제1 자기 고정 유닛(210)은 제1 프레임 멤버들(201)의 단부들 중 제2 프레임 멤버(202)로부터 이격된 단부들 사이에 배치될 수 있다. 제1 자기 고정 유닛(210)은 제1 프레임 멤버들(201)에 연결될 수 있다. 제2 자기 고정 유닛(220)은 제1 자기 고정 유닛(210)상에 배치될 수 있다. 제2 자기 고정 유닛(220)은 제1 자기 고정 유닛(210)과 자기적으로 결합할 수 있도록 구성된다. 제2 자기 고정 유닛(220)은 소정의 구동 수단에 의해 제1 자기 고정 유닛(210)에 대해 상대적으로 이동할 수 있다. 제1 및 제2 자기 고정 유닛들(210, 220)은 제2 방향(Y)으로 연장될 수 있다. 제1 및 제2 자기 고정 유닛들(210, 220)은 고정단 클램프를 구성할 수 있다.
제3 자기 고정 유닛(230)은 제1 프레임 멤버들(201)에 대하여 결합되고 분리될 수 있도록 구성된다. 제3 자기 고정 유닛(230)은 자유단 샤프트들(249)을 포함할 수 있다. 제3 자기 고정 유닛(230)이 제1 프레임 멤버들(201)에 결합되는 경우 자유단 샤프트들(249)은 자유단 결합 홈(205)에 삽입될 수 있다. 자유단 샤프트들(249)은 예컨대 제3 자기 고정 유닛(230)으로부터 돌출되어 제2 방향(Y)으로 연장되는 막대형상 또는 원기둥 형상일 수 있으나 이에 제한되지 않는다. 제3 자기 고정 유닛(230)이 제1 프레임 멤버들(201)에 결합한 경우, 제3 자기 고정 유닛(230)은 제2 프레임 멤버(202)에 인접한 소정의 위치에 배치될 수 있다. 제4 자기 고정 유닛(240)은 제3 자기 고정 유닛(230)상에 배치될 수 있다. 제4 자기 고정 유닛(240)은 제3 자기 고정 유닛(230)과 자기적으로 결합할 수 있도록 구성될 수 있다. 제4 자기 고정 유닛(240)은 제3 자기 고정 유닛에 대해서 상대적으로 이동 가능하도록 소정의 구동수단에 연결될 수 있다. 제3 및 제4 자기 고정 유닛들(230, 240)은 제2 방향(Y)으로 연장될 수 있다. 제3 및 제4 자기 고정 유닛들(230, 240)은 함께 자유단 클램프를 구성할 수 있다. 자유단 클램프와 고정단 클램프가 각각 임프린트 필름(IF)의 제1 방향(X)에 따른 단부들을 홀드할 수 있도록, 제1 자기 고정 유닛(210), 그리고 필름 프레임(200)에 결합된 제3 자기 고정 유닛(230)은 서로 충분히 이격되어 배치될 수 있다.
도 5b 및 도 5c를 참조하면 필름 프레임(200)은 필름 로딩 척(110) 상에 배치될 수 있다. 필름 프레임(200)은 임프린트 필름(IF)을 적재할 수 있다. 임프린트 필름(IF)의 일단은 고정단 클램프, 즉 제1 및 제2 자기 고정 유닛들(210, 220)에 의해 고정될 수 있다. 임프린트 필름(IF)의 타단은 자유단 클램프, 즉 제3 및 제4 자기 고정 유닛들(230, 240)에 의해 고정될 수 있다.
제1 자기 고정 유닛(210)은 제1 자기 유닛(211) 및 제1 자기 유닛(211)을 커버하는 제1 커버 유닛(215)을 포함할 수 있다. 제2 자기 고정 유닛(220)은 제2 자기 유닛(221) 및 제2 자기 유닛(221)을 커버하는 제2 커버 유닛(225)을 포함할 수 있다. 제3 자기 고정 유닛(230)은 제3 자기 유닛(231) 및 제3 자기 유닛(231)을 커버하는 제3 커버 유닛(235)을 포함할 수 있다. 제4 자기 고정 유닛(240)은 제4 자기 유닛(241) 및 제4 자기 유닛(241)을 커버하는 제4 커버 유닛(245)을 포함할 수 있다.
일부 실시예들에 따르면, 제1 및 제2 자기 유닛들(211, 221) 중 하나는 자석을 포함하고, 다른 하나는 자석 또는 자성체 중 어느 하나를 포함할 수 있다. 제3 및 제4 자기 유닛들(231, 241) 중 하나는 자석을 포함하고, 다른 하나는 자석 또는 자성체 중 어느 하나를 포함할 수 있다. 제1 내지 제4 자기 유닛들(211, 221, 231, 241) 중 일부는 전자석 또는 영구 자석을 포함할 수 있으나 이에 제한되지 않는다. 제1 내지 제4 자기 유닛들(211, 221, 231, 241)의 제1 내지 제4 커버 유닛들(215, 225, 235, 245)에 인접한 부분은 제1 내지 제4 커버 유닛들(215, 225, 235, 245)에 이격된 부분과 서로 다른 극에 해당할 수 있다. 예컨대, 제1 내지 제4 자기 유닛들(211, 221, 231, 241)의 제1 내지 제4 커버 유닛들(215, 225, 235, 245)에 인접한 부분은 N극에 해당하는 경우 제1 내지 제4 커버 유닛들(215, 225, 235, 245)에 이격된 부분은 S극에 해당할 수 있고, 그 반대의 경우도 가능하다. 제1 내지 제4 자기 유닛들(211, 221, 231, 241)에 대한 자세한 설명은 도 7a 내지 7c를 참조하여 후술하도록 한다. 제1 및 제2 자기 유닛들(211, 221)은 서로 자기적으로 상호작용할 수 있다. 제1 및 제2 자기 유닛들(211, 221)은 서로 인력을 작용할 수 있다. 이에 따라 제1 및 제2 커버 유닛들(215, 225)이 임프린트 필름(IF)을 사이에 두고 맞물린 상태에서 임프린트 필름에 수직 항력을 작용하여 임프린트 필름(IF)의 일단을 고정할 수 있다. 제3 및 제4 자기 유닛들(231, 241)은 서로 자기적으로 상호작용할 수 있다. 제3 및 제4 자기 유닛들(231, 241)은 서로 인력을 작용할 수 있다. 이에 따라 제3 및 제4 커버 유닛들(235, 245)이 임프린트 필름(IF)을 사이에 두고 맞물린 상태에서 임프린트 필름에 수직 항력을 작용하여 임프린트 필름(IF)의 타단을 고정할 수 있다. 이때 임프린트 필름(FI)의 공정면 중 제1 및 제3 커버 유닛들(215, 235)과 접하는 부분은 요철 패턴이 형성되지 않은 영역에 해당할 수 있다.
기존에는 필름 프레임에 임프린트 필름의 고정을 위해, 수동으로 볼트를 조작하는 방식의 고정 방법이 사용되었다. 이에 따라 임프린트 필름의 고정의 신뢰도 및 재현성이 저하되었다. 일부 실시예들에 따르면 자기력을 이용한 자유단 클램프 및 고정단 클램프를 제공하므로, 균일한 세기의 임프린트 필름(IF)의 고정을 제공할 수 있고 고정에 대한 신뢰도를 제고할 수 있다. 또한 강한 세기의 고정력을 사용하면서 임프린트 필름(IF)의 주름을 최소화할 수 있으며, 공정 중 발생하는 임프린트 필름(IF) 상의 장력에 의한 임프린트 필름(IF) 미끄러짐을 방지할 수 있다.
도 6a 내지 6c는 일부 실시예들에 따른 필름 프레임에 포함되는 제1 내지 제4 커버 유닛들(210, 220, 230, 240)을 설명하기 위한 사시도들이다.
도 6a를 참조하면 제1 및 제2 커버 유닛들(215, 225)은 각각 서로 맞물리도록 구성된 대향면들을 갖고, 제3 및 제4 커버 유닛들(235, 245)은 각각 서로 맞물리도록 구성된 대향면들을 가질 수 있다. 제1 내지 제4 커버 유닛(215, 225, 235, 245)은 경사면들을 포함할 수 있다. 제1 및 제3 커버 유닛들(215, 235)의 경사면들은 서로 대향할 수 있다.
제1 내지 제4 커버 유닛들(215, 225, 235, 245)은 직각 삼각 기둥형일 수 있다. 제1 및 제3 커버 유닛들(215, 235)의 수평 단면적, 즉 제1 및 제2 방향(X, Y)에 수평한 단면적은 아래 방향으로 갈수록 증가할 수 있다. 제1 내지 제4 커버 유닛들(215, 225, 235, 245)의 수평 단면적은 제3 방향(Z)을 따라 연속적으로 변할 수 있다. 하지만 이에 제한되는 것은 아니고, 제1 내지 제4 커버 유닛들(215, 225, 235, 245)의 하단으로부터 이격된 부분의 수평 단면적은 제3 방향(Z)을 따라 불연속하게 변할 수 있다. 이때 아래 방향이라 함은, 필름 프레임(200)이 필름 로딩 척 상에 배치되었을 때, 제3 방향(Z)으로 필름 프레임에 가까워지는 방향에 해당할 수 있다.
도 6b를 참조하면, 도 6a와 달리 제1, 제2 커버 유닛들(215, 225)이 서로 대향하는 면들 및 제3, 제4 커버 유닛들(235, 245)이 서로 대향하는 면들은 곡면에 해당할 수 있다. 일부 실시예들에 따르면 제1 및 제3 커버 유닛들(215, 225)의 제2 및 제4 커버 유닛들(225, 245)과 대향하는 면들은 볼록한 면에 해당할 수 있다. 제2 및 제4 커버 유닛들(225, 245)의 제1 및 제3 커버 유닛들(215, 235)과 대향하는 면들은 오목한 면에 해당할 수 있다.
도 6c를 참조하면, 일부 실시예들에 따르면 제1 및 제3 커버 유닛들(215, 225)의 제2 및 제4 커버 유닛들(225, 245)과 대향하는 면들은 오목한 면에 해당할 수 있다. 제2 및 제4 커버 유닛들(225, 245)의 제1 및 제3 커버 유닛들(215, 235)과 대향하는 면들은 볼록한 면에 해당할 수 있다. 도 6a 내지 6c에 도시된 제1 내지 제4 커버 유닛들의 형상은 예시적인 것들로서, 제1 내지 제4 커버 유닛들의 대향면들은 임의의 적절한 형상을 가질 수 있다.
도 7a 내지 7c는 일부 실시예들에 따른 제1 내지 제4 자기 유닛을 설명하기 위한 단면도들이다.
도 7a를 참조하면, 제1 내지 제4 자기 유닛들이 자석에 해당할 때, 제1 내지 제4 자기 유닛들(211, 221, 231, 241)은 정렬되어 배치된 복수개의 자석들을 포함할 수 있다. 자석들은 제1 극(A) 및 제2 극(B)을 포함할 수 있다. 제1 극(A)과 제2 극(B)은 서로 다른 극에 해당할 수 있다. 예컨대, 제1 극(A)이 N극에 해당하는 경우 제2 극(B)이 S극에 해당할 수 있고, 제1 극(A)이 S극에 해당하는 경우 제2 극(B)이 N극에 해당할 수 있다. 도면상 상하로 배치된 두 개의 극이 하나의 자석을 이룰 수 있으나 이에 제한되는 것은 아니다. 일부 실시예들에 따르면, 제1 내지 제4 자기 유닛들(211, 221, 231, 241) 중 적어도 일부는 제2 방향(Y)을 따라 극방향이 교대로 배치된 극성의 복수개의 자석들을 포함할 수 있다. 예컨대 제2 방향(Y)에 따른 일단에 배치된 자석의 위에 배치된 극성이 제1 극(A)인 경우 그에 이웃한 자석의 위에 배치된 극성은 제2 극(B)일 수 있다. 도 7A를 참조하면 복수개의 자석이 연속적으로 형성된 것으로 도시되었으나, 복수개의 자석들은 소정의 간격을 가지고 이격되어 배치될 수 있다.
일부 실시예들에 따르면 자기 유닛들은 제2 방향(Y)을 따라 정렬되어 배치된 복수개의 자석들을 포함하는데, 임프린트 필름을 고정하는 힘은 복수개의 자석들의 배열에 의존할 수 있다. 일부 실시예들에 따르면 제2 방향(Y)을 따라 교대로 배치된 복수개의 자석들이 제공된 경우, 동일한 극성의 극들을 인접하게 배치하는 것에 비해 약 2배 이상의 고정력을 제공할 수 있다.
하지만 이에 제한되는 것은 아니고, 도 7b처럼 제1 내지 제4 자기 유닛(211', 221', 231', 241')은 동일한 극성의 극들이 인접하게 배치된 복수개의 자석들을 포함할 수 있고, 도 7c처럼 제1 내지 제4 자기 유닛들(211", 221", 231", 241")은 하나의 연속된 자석을 포함할 수 있다.
도 8a는 임프린트 스테이지 및 임프린트 스테이지 상에 배치된 필름 프레임(200)을 도시한 평면도이다. 도 8b는 이를 측면에서 바라본 평면도이다.
도 8a 및 도 8b를 참조하면, 임프린트 스테이지(2)는 임프린트 척(501), 약액층(510)이 제공된 디스플레이 기판(505), 가압부(520) 및 자유단 후크(530)를 포함할 수 있다. 임프린트 스테이지(2)에 임프린트 필름(IF)이 적재된 필름 프레임(200)이 제공될 수 있다. 전술했듯, 이송로봇(미도시)은 임프린트 필름(IF)이 적재된 필름 프레임(200)을 필름 로딩 스테이지(1, 도 1 참조)에서 임프린트 스테이지(2)로 이송할 수 있다.
약액층(510)은 예를 들어 자외선 등의 특정 파장 범위의 높은 에너지(예를 들어 수~수백 mW/cm2)를 가지는 광을 조사하면 짧은 시간 내에 경화반응이 진행되는 광경화성 레진에 해당할 수 있다. 약액층(510)은 예컨대, 광경화성 아크릴계 레진, 광경화성 비닐에테르계 레진 등일 수 있다.
가압부(520)는 임프린트 필름(IF)을 디스플레이 기판(505) 상에 도포된 약액층(510)에 가압하여 임프린트 필름(IF) 상에 형성된 미세 요철 패턴을 약액층(510)에 전사할 수 있다. 가압부(520)는 예를 들어, 임프린트 필름(IF)을 디스플레이 기판(505)에 가압하는 가압 롤러에 해당할 수 있다.
가압 과정에서 제1 및 제2 자기 고정 유닛들(210, 220)로 구성된 고정단 클램프는 소정의 위치를 유지할 수 있다. 제3 및 제4 자기 고정 유닛들(230, 240)로 구성된 자유단 클램프는 소정의 궤도를 따라 이동할 수 있다. 제3 자기 고정 유닛(230)의 자유단 샤프트(249)는 자유단 후크(530)와 결합될 수 있다. 자유단 후크(530)가 소정의 구동 수단에 의해 소정의 궤도로 이동함에 따라, 자유단 클램프 또한 이동할 수 있다.
임프린트 필름(IF)이 디스플레이 기판(505)에 가압된 상태로 유지되는 동안에 소정의 광원으로부터 소정의 광(예를 들어, 자외선 광)이 약액층에 조사되어, 경화과정이 진행될 수 있다. 이에 의하여, 디스플레이 기판(505) 상에 임프린트 필름(IF)에 대응되는 요철 패턴이 형성될 수 있다.
도 9는 일부 실시예들에 따른 디스플레이 기판 제조 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 1, 도 3a 및 도 9를 참조하면 공정 P1010에서 임프린트 필름(IF) 및 필름 프레임(200)을 필름 로딩 스테이지(1)에 제공할 수 있다.
전술했듯 임프린트 필름(IF)의 공정면 상에는 공정면을 보호하기 위한 보호 필름(PF)이 부착될 수 있으므로 필름 프레임(200, 도 5a참조)에 임프린트 필름(IF)을 장착하기 전에 보호 필름(PF)을 분리할 수 있다.
도 3a를 참조하면 보호 필름(PF)을 분리하기 위해 주형(126)을 접착성 롤(121)에 대해 상대적으로 이동시킬 수 있다. 주형(126)과 접착성 롤(121)이 보호 필름(PF) 및 임프린트 필름(IF)을 사이에 두고 맞물리도록, 접착성 롤(121)에 대해 주형(126)을 제3 방향(Z)으로 상대적으로 이동시킨다. 이어서 주형(126)을 임프린트 필름(IF)에 대해 이격시키면 보호 필름(PF) 접착성 롤(121) 사이에 부착력이 작용하고, 임프린트 필름(IF)에 탄성 복원력이 작용하므로, 보호 필름(PF)이 임프린트 필름(IF)로부터 분리될 수 있다. 이에 따라 임프린트 필름(IF)을 지지하는 별도의 진공 장치나 접착성 롤(121)에 대한 부가적인 구동장치 없이 용이하게 보호 필름의 분리를 자동화할 수 있다.
도 3b를 참조하면, 도 3a와 달리, 접착성 롤은 보호 필름(PF)의 일단에서 보호 필름과 접촉하는 위치에 제공된 후 제1 방향(X)을 따라 타단으로 이동할 수 있다. 이에 따라 접착성 롤(121)의 부착력에 의해 보호 필름(PF)이 접착성 롤(121)에 순차적으로 부착된다. 이때 보호 필름(PF)과 함께 변형된 임프린트 필름(IF)에 탄성 복원력이 작용하므로, 임프린트 필름(IF)이 보호 필름(PF)으로부터 분리될 수 있다.
도 3c는 예시적인 실시예들에 따른 보호 필름의 분리를 설명하기 위한 그래프이다. 도 3c를 참조하면 원기둥 형상의 접착성 롤(121, 도 3a 참조)의 반경에 따른 이형력(separation force)이 도시되어 있다. 그래프의 가로축과 세로축의 단위는 각각 임의의 단위(arbitrary unit)를 갖도록 도시되어있다. 접착성 롤(121, 도 3a 참조)의 반경이 작을수록 이형력이 커지는 것을 확인할 수 있다. 임의의 유닛을 일부 실시예들에 따르면 30mN/mm 정도의 이형력을 가지는 보호 필름(PF)의 경우 반경이 약 20mm의 주형을 이용할 경우 임프린트 필름(IF)과 보호필름을 분리할 수 있다.
도 1, 도 4 및 도 9를 참조하면 공정 P1020에서 임프린트 필름(IF)을 필름 프레임(200)에 대해 정렬시킬 수 있다. 이때 임프린트 필름(IF)을 필름 프레임(200)에 정렬시키는 것은, 임프린트 필름을 기준단(141)에 대해 정렬시키는 것을 통해 수행될 수 있다.
필름 로딩 척(110)에 형성된 기체 유출구에서 출사되는 기체에 의해 보호 필름(PF, 도 3a참조)이 분리된 임프린트 필름(IF)은 부상될 수 있다. 이에 따라 임프린트 필름(IF)의 공정면은 필름 로딩 척(110)의 상면으로부터 이격될 수 있고, 오염원에 대한 접촉으로부터 보호될 수 있다. 정렬자(143)는 전술했듯 정렬자 구동 수단(145)에 의해 구동되어 임프린트 필름(IF)을 기준단(141)에 대해 정렬시킬 수 있다.
종래의 임프린트 필름 정렬은 작업자에 의해 수동으로 수행되었다. 따라서 임프린트 필름 정렬시 척과의 마찰에 의한 정전기 발생 및 척과의 접촉에 의한 입자 오염 등의 문제가 있었다. 일부 실시예들에 따르면, 임프린트 필름(IF)은 필름 로딩 척(110)과 접촉하지 않은 상태에서 정렬을 수행함으로써 마찰에 의한 접촉성 오염 입자, 마찰 정전기 및 박리 정전기 등의 발생을 사전에 방지할 수 있다. 또한 필름 로딩 척(110)과의 마찰력이 0에 가까우므로 작은 힘으로 용이하게 임프린트 필름(IF)을 정렬할 수 있다. 정렬된 임프린트 필름(IF)은 부상된 상태를 유지한 채 고정 수단(130, 도 2 참조)에 의해 고정될 수 있다.
이어서, 도 5b, 5c 및 도 9를 참조하면, 공정 P1030에서 도 5b 및 5c를 이용하여 설명했던 방식을 이용해 임프린트 필름(IF)을 필름 프레임(200)에 대해 고정할 수 있다.
이어서, 도 1 및 9를 참조하면, 공정 P1040에서 소정의 이송 로봇에 의해 필름 로딩 스테이지에 배치된 임프린트 필름이 적재된 필름 프레임을 임프린트 스테이지로 이송할 수 있다.
이어서, 도 8a, 8b 및 도9를 참조하면, 공정 P1050에서 도 8a 및 8b를 이용하여 설명했던 방식을 이용하여, 디스플레이 기판에 임프린트 필름을 임프린트할 수 있다.
대면적 임프린트 공정에서는 나노급 패턴의 균일한 전사를 위해 몰드와 기판간 순차적인 접촉이 이루어져야 하며, 이를 위해서는 대면적 필름의 정렬 및 적재 기술이 공정 성능을 결정하는 중요한 요소이다. 현재 임프린트의 피딩(Feeding)에서 시작하여 절단, 이송/고정, 정렬, 고정에 이르는 일련의 순차적 공정이 대부분 작업자의 수동에 의해 진행되고 있다. 이에 따라 작업 재현성 저하로 인하여 공정 영향 인자 제어에 어려움이 있다. 또한 임프린트 필름을 이송한 후 고정하고 정렬하는 과정에서 발행하는 접촉 및 마찰에 의한 정전기 발생, 작업자에 의한 외부 오염 가능성, 택트 타임(Tact time) 제어의 어려움 등의 문제점이 발생할 수 있다. 일부 실시예들에 따르면 임프린트 설비에서의 필름 적재 공정의 자동화 방법 및 장치를 구현함으로써 공정 재현성 및 양산성 확보가 가능하다.
지금까지, 본 발명을 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
1: 필름 로딩 스테이지, 2: 임프린트 스테이지, 110: 기판 로딩 척, 120: 보호 필름 분리 수단, 121: 접착성 롤, 126: 주형 130: 필름 고정 수단, 200: 필름 프레임, 201: 제1 프레임 멤버 202: 제2 프레임 멤버, 205: 자유단 결합 홈, 이송 로봇 결합 수단, 210, 220, 230, 240: 자기 고정 유닛, 211, 221, 231, 241: 자기 유닛, 215, 225, 235, 245: 커버 유닛, 249: 자유단 샤프트 501: 임프린트 척 505: 디스플레이 기판, 510: 약액층, 520: 가압부, 530: 자유단 후크, IF:임프린트 필름, PF: 보호 필름, 1000: 디스플레이 기판 제조 시스템

Claims (10)

  1. 임프린트용 필름을 적재할 수 있도록 구성된 필름 프레임에 있어서,
    제1 방향으로 연장되며 서로 정렬되어 배치된 한 쌍의 프레임 멤버들;
    상기 한 쌍의 프레임 멤버들에 연결되며, 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 연장되고 임프린트 필름의 일 끝단인 제1 단부에 수직항력을 가하도록 구성된 고정단 클램프; 및
    상기 한 쌍의 프레임 멤버들의 사이에 배치되되, 상기 제2 방향으로 연장되고 상기 한 쌍의 프레임 멤버들에 대해 결합되고 분리되며 상기 임프린트 필름의 일 끝단에 대향하는 다른 일 끝단인 제2 단부에 수직항력을 가하도록 구성된 자유단 클램프를 포함하고,
    상기 고정단 클램프는 상기 제2 방향으로 연장되는 제1 자기 고정 유닛 및 상기 제1 자기 고정 유닛 상에 배치된 제2 자기 고정 유닛을 포함하고, 상기 자유단 클램프는 상기 제2 방향으로 연장되는 제3 자기 고정 유닛 및 상기 제3 자기 고정 유닛 상에 배치된 제4 자기 고정 유닛을 포함하며,
    상기 필름 프레임은 상기 임프린트 필름의 상기 제1 단부 및 상기 제2 단부만을 고정하는 것을 특징으로 하는 필름 프레임.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 자기 고정 유닛은 제1 자기 유닛 및 상기 제1 자기 유닛을 커버하는 제1 커버 유닛을 포함하고,
    상기 제2 자기 고정 유닛은 제2 자기 유닛 및 상기 제2 자기 유닛을 커버하는 제2 커버 유닛을 포함하고,
    상기 제3 자기 고정 유닛은 제3 자기 유닛 및 상기 제3 자기 유닛을 커버하는 제3 커버 유닛을 포함하고, 및
    상기 제4 자기 고정 유닛은 제4 자기 유닛 및 상기 제4 자기 유닛을 커버하는 제4 커버 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 프레임.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 내지 제4 자기 유닛 중 적어도 하나는 상기 제2 방향을 따라 극 방향이 교대로 배치된 복수개의 자석들을 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 프레임.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 커버 유닛은 각각 서로 맞물리도록 구성된 대향면들을 갖고, 상기 제3 및 제4 커버 유닛은 각각 서로 맞물리도록 구성된 대향면들을 가지며,상기 제1 및 제3 커버유닛들의 상기 제1 및 제2 방향에 수평한 단면적은 아래로 갈수록 증가하는 것을 특징으로 하는 필름 프레임.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제1 내지 제4 커버 유닛의 상기 제1 및 제2 방향에 수평한 단면적은 연속적으로 변하는 것을 특징으로 하는 필름 프레임.
  6. 필름 로딩 스테이지;
    상기 필름 로딩 스테이지에서 임프린트 필름을 적재할 수 있도록 구성된 필름 프레임;
    상기 임프린트 필름으로 디스플레이 기판에 임프린트 공정을 수행하는 임프린트 스테이지; 및
    상기 필름 로딩 스테이지 및 상기 임프린트 스테이지 사이에서 상기 필름 프레임을 이동시킬 수 있도록 구성된 이송 수단을 포함하고,
    상기 필름 프레임은 임프린트 필름의 일 끝단인 제1 단부에 자기력을 이용하여 수직항력을 가하도록 구성된 고정단 클램프 및 상기 임프린트 필름의 일 끝단에 대향하는 다른 일 끝단인 제2 단부에 자기력을 이용하여 수직항력을 가하도록 구성된 자유단 클램프를 포함하고, 상기 임프린트 필름의 상기 제1 단부 및 상기 제2 단부만을 고정하며,
    상기 필름 로딩 스테이지는,
    적어도 두 쌍의 대향하는 가장자리를 갖는 평판 형태의 필름 로딩 척; 및
    상기 필름 로딩 척의 대향하는 한 쌍의 가장자리인 제1 가장자리들에 인접하게 배치된 접착성 롤 및 몰드를 포함하는 것을 특징으로 디스플레이 기판 제조 시스템.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 필름 로딩 척은,
    상기 필름 로딩 척의 상기 제1 가장자리들과 다르며, 서로 대향하는 제2 가장자리들 중 어느 하나에 연결된 기준단;
    상기 제2 가장자리들 중 다른 하나에 연결된 정렬자 구동 수단; 및
    상기 정렬자 구동 수단에 연결된 정렬자를 포함하고,
    상기 필름 로딩 척은 복수개의 기체 유출구를 포함하여 상기 필름 로딩 척 상에 배치되는 임프린트 필름을 부상(floating)시킬 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 디스플레이 기판 제조 시스템.
  8. 디스플레이 기판 제조 방법에 있어서,
    필름 프레임을 필름 로딩 스테이지에 제공하는 단계;
    임프린트 필름을 상기 필름 로딩 스테이지에 제공하는 단계;
    상기 임프린트 필름을 상기 필름 프레임에 대해 정렬시키는 단계;
    상기 임프린트 필름을 상기 필름 프레임에 고정시키는 단계; 및
    상기 임프린트 필름을 디스플레이 기판상에 임프린트 하는 단계를 포함하되,
    상기 임프린트 필름을 제공하는 단계는 탄성력을 이용하여 상기 임프린트 필름에 부착된 보호 필름과 상기 임프린트 필름을 분리하는 단계를 포함하고,
    상기 임프린트 필름을 상기 필름 프레임에 고정시키는 단계는 자기력을 이용하여 상기 임프린트 필름의 대향하는 양 끝단만을 고정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 기판 제조 방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 보호 필름과 상기 임프린트 필름을 분리하는 단계는,
    상기 보호 필름과 접착성 롤을 부착시키는 단계; 및
    상기 보호 필름을 탄성 변형시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 기판 제조 방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 접착성 롤은 소정의 프로파일을 갖고,
    상기 보호 필름 및 상기 임프린트 필름을 탄성 변형시키는 단계는,
    상기 접착성 롤의 프로파일에 대응되는 프로파일을 갖는 주형 사이에 상기 임프린트 필름을 제공하는 단계; 및
    상기 접착성 롤과 상기 주형이 상기 임프린트 필름을 사이에 두고 서로 맞물리도록 접근시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 기판 제조 방법.
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110989293B (zh) * 2019-12-18 2022-04-12 京东方科技集团股份有限公司 纳米压印结构、其控制方法、纳米压印装置及构图方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5117751A (en) 1988-07-28 1992-06-02 Thompson Carl D Clamping apparatus and method for positioning a printing screen over a screen table
US5765476A (en) 1996-10-15 1998-06-16 Stretch Devices, Inc. Device for setup of off-contact in screen printing machines

Family Cites Families (50)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4038920A (en) * 1975-05-07 1977-08-02 Evana Tool & Engineering Inc. Screen positioning and squeegee drive means for screen printer
DE2635457C2 (de) * 1976-08-04 1985-06-05 Schering AG, 1000 Berlin und 4709 Bergkamen Katalytischer Lack und seine Verwendung zur Herstellung von gedruckten Schaltungen
DE3143995A1 (de) * 1981-11-05 1983-05-19 Preh, Elektrofeinmechanische Werke, Jakob Preh, Nachf. Gmbh & Co, 8740 Bad Neustadt Dickschichtkondensator in druckschaltungstechnik
US4415282A (en) * 1982-01-21 1983-11-15 Pako Corporation Slide mount data printer
US4394094A (en) * 1982-01-21 1983-07-19 Pako Corporation Slide motion sensor for slide mount data printer
US4529477A (en) * 1983-05-02 1985-07-16 Kollmorgen Technologies Corporation Process for the manufacture of printed circuit boards
US4785333A (en) * 1986-06-20 1988-11-15 Fuji Photo Film Co., Ltd. Blip marking recorder in a microfilm duplicating apparatus
JP3402681B2 (ja) * 1993-06-02 2003-05-06 サンエー技研株式会社 露光における位置合わせ方法
US5463948A (en) * 1993-10-26 1995-11-07 Stretch Devices, Inc. Mug imprinting roller frame
DE69733909T2 (de) * 1996-05-08 2006-04-06 Fuji Photo Film Co., Ltd., Minami-Ashigara Vorrichtung und Verfahren zum Bearbeiten und Befestigen von fotografischem Filmmaterial
US5875949A (en) * 1996-09-17 1999-03-02 Gerber Scientific Products, Inc. Apparatus for retaining sheet material as it is advanced out of a processing apparatus
US5957048A (en) * 1998-02-27 1999-09-28 Newman, Jr.; Eugene Frank Clamping strips and locking channels
JP2001049422A (ja) * 1999-08-09 2001-02-20 Hitachi Ltd メタルマスクの基板への保持固定構造、保持固定治具、その補助具、及びトレイ
GB0016505D0 (en) * 2000-07-06 2000-08-23 Wygnanski Wladyslaw Improved electro-magnetic device
US6490971B2 (en) * 2001-02-16 2002-12-10 Steven S. Rosenberg Apparatus and method for framing a printing screen
US6578304B1 (en) * 2001-04-09 2003-06-17 David Bruce Lytle Magnetic frame
US6708828B2 (en) * 2001-12-20 2004-03-23 Rampage Ventures Inc. Magnetically fastenable magnetic wedge separator
US20030230665A1 (en) * 2002-06-13 2003-12-18 Small David M. Gift wrap cutting and holding system
CA2397400A1 (en) * 2002-06-26 2003-12-26 Seppo Ilmari Leppanen Method and apparatus for clamping a printing media
US20040216345A1 (en) * 2003-04-29 2004-11-04 Wadusky Krystal Leigh Quad mount support frame
CN100439101C (zh) * 2004-06-01 2008-12-03 东远精技工业股份有限公司 悬臂式双台面网印机
JP2006199998A (ja) * 2005-01-20 2006-08-03 Seiko Epson Corp 成膜装置、成膜方法
FR2905300B1 (fr) * 2006-09-04 2008-10-17 Mollertech Sas Soc Par Actions Dispositif ameliore de fabrication d'une piece multicouche comprenant une couche d'aspect a surface granulee
KR100892088B1 (ko) 2007-02-14 2009-04-06 주식회사 엠엠티 에어 플로팅을 이용한 비접촉식 필름 검사장치
US9105673B2 (en) * 2007-05-09 2015-08-11 Brooks Automation, Inc. Side opening unified pod
KR101377005B1 (ko) * 2007-06-01 2014-03-26 삼성디스플레이 주식회사 탑 샤시, 이를 포함하는 액정 표시 장치 및 이의 조립방법
US20090100732A1 (en) * 2007-10-19 2009-04-23 Concept Workshop Worldwide, Llc Magnetic display device
WO2009084623A1 (ja) * 2007-12-27 2009-07-09 Canon Anelva Corporation 処理装置、並びに電子放出素子及び有機ｅｌディスプレイの生産方法
KR101040353B1 (ko) 2008-09-29 2011-06-10 (주)와이티에스 레이저를 이용한 편광필름 절단시스템의 편광필름 흡착장치
KR101087975B1 (ko) 2009-06-01 2011-12-01 엘아이지에이디피 주식회사 필름정렬장치
JP2011009362A (ja) * 2009-06-24 2011-01-13 Tokyo Electron Ltd インプリントシステム、インプリント方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体
KR101742039B1 (ko) 2010-11-05 2017-05-31 주식회사 디엠에스 스탬프 분리장치
KR20120109878A (ko) 2011-03-28 2012-10-09 주식회사 디엠에스 임프린트 장치
KR101960896B1 (ko) * 2012-07-09 2019-03-22 삼성디스플레이 주식회사 클램프
KR20150028960A (ko) * 2012-09-06 2015-03-17 에베 그룹 에. 탈너 게엠베하 구조 스탬프 및 구조 스탬프를 엠보싱하기 위한 장치 및 방법
WO2014063874A1 (en) * 2012-10-26 2014-05-01 Asml Holding N.V. Patterning device support and lithographic apparatus
KR20140109624A (ko) * 2013-03-06 2014-09-16 삼성전자주식회사 대면적 임프린트 장치 및 방법
JP6335882B2 (ja) * 2013-03-26 2018-05-30 三井化学東セロ株式会社 積層フィルムの製造方法
KR101525661B1 (ko) * 2013-04-12 2015-06-04 (주)에스티아이 반송 지그에 플렉시블 기판을 장착하는 장치
JP6120678B2 (ja) 2013-05-27 2017-04-26 キヤノン株式会社 インプリント方法、インプリント装置及びデバイス製造方法
KR102131659B1 (ko) * 2013-07-08 2020-07-09 삼성디스플레이 주식회사 마스크 클램핑 장치 및 마스크 제조 방법
WO2015058042A1 (en) * 2013-10-19 2015-04-23 Ryan Collette Magnetic frame assembly and magnetic frame
KR102211969B1 (ko) * 2014-01-03 2021-02-05 삼성디스플레이 주식회사 증착 장치
JP2015170815A (ja) 2014-03-10 2015-09-28 キヤノン株式会社 インプリント装置、アライメント方法及び物品の製造方法
JP6549834B2 (ja) 2014-11-14 2019-07-24 キヤノン株式会社 インプリント装置及び物品の製造方法
KR102311586B1 (ko) * 2014-12-26 2021-10-12 삼성디스플레이 주식회사 증착 장치 및 증착 장치 내 기판 정렬 방법
KR101615581B1 (ko) 2015-01-13 2016-05-13 (주) 에스엘테크 미세제어 보호필름 커팅장치
CN104894534B (zh) * 2015-06-26 2017-12-29 京东方科技集团股份有限公司 气相沉积设备
KR102541450B1 (ko) * 2015-10-29 2023-06-09 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법
CN205722609U (zh) * 2016-03-28 2016-11-23 深圳市奥拓电子股份有限公司 显示装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5117751A (en) 1988-07-28 1992-06-02 Thompson Carl D Clamping apparatus and method for positioning a printing screen over a screen table
US5765476A (en) 1996-10-15 1998-06-16 Stretch Devices, Inc. Device for setup of off-contact in screen printing machines

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