KR102384120B1 - Fine pattern roll manufacturing system, and method of manufacturing fine pattern roll using the same - Google Patents

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Abstract

실시간 정렬이 가능한 미세패턴 롤 제작시스템, 및 이를 이용한 미세패턴 롤 제작방법에서, 상기 미세패턴 롤 제작시스템은 스테이지, 패턴시트, 롤러, 측정유닛 및 제어부를 포함한다. 상기 스테이지는 제1 방향으로 이송된다. 상기 패턴시트는 상기 스테이지 상에 위치하며, 상면에 복수의 시트마크들이 형성된다. 상기 롤러는 표면에 복수의 롤러마크들이 형성되고, 회전함에 따라 상기 패턴시트가 상기 표면에 감긴다. 상기 측정유닛은 상기 패턴시트와 상기 롤러의 위치 또는 방향을 실시간으로 측정한다. 상기 제어부는 상기 측정유닛의 측정정보를 바탕으로, 상기 패턴시트 및 상기 롤러 사이의 정렬(align)을 제어한다. In a fine pattern roll manufacturing system capable of real-time alignment, and a fine pattern roll manufacturing method using the same, the fine pattern roll manufacturing system includes a stage, a pattern sheet, a roller, a measuring unit, and a control unit. The stage is transferred in a first direction. The pattern sheet is positioned on the stage, and a plurality of sheet marks are formed on the upper surface. A plurality of roller marks are formed on the surface of the roller, and as the roller rotates, the pattern sheet is wound on the surface. The measuring unit measures the position or direction of the pattern sheet and the roller in real time. The control unit controls alignment between the pattern sheet and the roller based on the measurement information of the measuring unit.

Figure R1020190076358
Figure R1020190076358

Description

실시간 정렬이 가능한 미세패턴 롤 제작시스템, 및 이를 이용한 미세패턴 롤 제작방법{FINE PATTERN ROLL MANUFACTURING SYSTEM, AND METHOD OF MANUFACTURING FINE PATTERN ROLL USING THE SAME}A fine pattern roll manufacturing system capable of real-time alignment, and a fine pattern roll manufacturing method using the same

본 발명은 미세패턴 롤 제작시스템, 및 이를 이용한 미세패턴 롤 제작방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 미세 패턴이 형성된 패턴 시트를 롤러에 감아 제작되는 미세패턴 롤의 제작에 있어, 패턴 시트와 롤러 사이의 정렬을 실시간으로 수행함으로써 정밀한 위치 및 방향 보정이 가능한 미세패턴 롤 제작시스템, 및 이를 이용한 미세패턴 롤 제작방법에 관한 것이다.The present invention relates to a system for manufacturing a fine pattern roll, and a method for manufacturing a fine pattern roll using the same, and more particularly, in manufacturing a fine pattern roll manufactured by winding a pattern sheet on which a fine pattern is formed on a roller, between the pattern sheet and the roller It relates to a fine pattern roll manufacturing system capable of precise position and direction correction by performing the alignment in real time, and a fine pattern roll manufacturing method using the same.

최근 유연 전자제품의 보다 효과적인 생산을 위해, 미세패턴 롤의 제작이 필요하며, 이러한 미세패턴 롤은 롤(roll)을 이용한 다양한 롤-투-롤(roll-to-roll) 패터닝 장비에 사용되고 있다. Recently, for the more effective production of flexible electronic products, it is necessary to manufacture a fine pattern roll, and such a fine pattern roll is used in various roll-to-roll patterning equipment using a roll.

이 때, 미세패턴 롤(roll)이란, 원통형 롤러(roller)의 외주면에 소정의 미세 패턴이 형성된 패턴 시트(sheet)가 감겨 형성되는 것으로, 이렇게 제작된 미세패턴 롤은, 패터닝 장비로 이동되어 유연 전자제품의 생산을 위해 사용된다. At this time, the fine pattern roll is formed by winding a pattern sheet having a predetermined fine pattern on the outer circumferential surface of a cylindrical roller, and the fine pattern roll thus produced is moved to patterning equipment and is flexible Used for the production of electronic products.

이러한 미세패턴 롤의 제작방법으로는, 롤러에 레이저 등을 이용하여 노광 후 에칭하여 제작하는 방법, 롤러의 외면상에 미세 패턴을 레이저나 가공기를 이용하여 직접 형성하는 방법 등이 적용되고 있으나, 곡면인 롤러의 외주면 상에 가공을 수행하는 것이 용이하지는 않으며, 특히 패턴의 크기가 작아지는 미세패턴의 경우 적용이 제한적인 한계가 있다. As a manufacturing method of such a fine pattern roll, a method of manufacturing by etching after exposure using a laser or the like on the roller, a method of directly forming a fine pattern on the outer surface of the roller using a laser or a processing machine, etc. are applied, but a curved surface It is not easy to perform processing on the outer circumferential surface of the in-roller, and in particular, in the case of a fine pattern in which the size of the pattern becomes small, there is a limited application.

그리하여, 대한민국 등록특허 제10-1692065호 등을 통해, 롤러의 외주면을 따라 패턴 시트를 감아 미세패턴 롤을 제작하는 기술이 개발되고 있다. Thus, through Korean Patent Registration No. 10-1692065, etc., a technique for manufacturing a fine pattern roll by winding a pattern sheet along the outer circumferential surface of the roller is being developed.

다만, 도 1에 도시된 바와 같이, 롤러(2)의 외주면에 패턴시트(3)를 감아 미세패턴 롤(1)을 제작하는 경우, 도시된 바와 같이, 롤러마크(4)와 시트마크(5)가 서로 불일치하는, 즉 패턴시트(3)가 롤러(2)의 외주면 상에 정확하게 정렬되지 못하는 문제가 야기될 수 있으며, 이는 결과적으로 미세패턴 롤(1)의 품질을 저하시키게 된다. However, as shown in FIG. 1, in the case of manufacturing the fine pattern roll 1 by winding the pattern sheet 3 on the outer circumferential surface of the roller 2, as shown in the figure, the roller mark 4 and the sheet mark 5 ) may be mismatched with each other, that is, the pattern sheet 3 may not be accurately aligned on the outer peripheral surface of the roller 2 , which will result in lowering the quality of the fine pattern roll 1 .

대한민국 등록특허 제10-1692065호Republic of Korea Patent Registration No. 10-1692065

이에, 본 발명의 기술적 과제는 이러한 점에서 착안된 것으로 본 발명의 목적은 패턴 시트와 롤러 사이의 정렬을 실시간으로 수행함으로써, 정밀한 위치 보정 및 방향 보정이 가능하여, 보다 정밀하게 미세패턴 롤을 제작할 수 있는 미세패턴 롤 제작시스템을 제공하는 것이다. Accordingly, the technical task of the present invention was conceived in this regard, and the object of the present invention is to perform the alignment between the pattern sheet and the roller in real time, so that precise position correction and direction correction are possible, so that a fine pattern roll can be manufactured more precisely. It is to provide a fine pattern roll manufacturing system that can.

또한, 본 발명의 다른 목적은 상기 미세패턴 롤 제작시스템을 이용한 미세패턴 롤 제작방법을 제공하는 것이다. In addition, another object of the present invention is to provide a method for manufacturing a fine pattern roll using the fine pattern roll manufacturing system.

상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 일 실시예에 의한 미세패턴 롤 제작시스템은 스테이지, 패턴시트, 롤러, 측정유닛 및 제어부를 포함한다. 상기 스테이지는 제1 방향으로 이송된다. 상기 패턴시트는 상기 스테이지 상에 위치하며, 상면에 복수의 시트마크들이 형성된다. 상기 롤러는 표면에 복수의 롤러마크들이 형성되고, 회전함에 따라 상기 패턴시트가 상기 표면에 감긴다. 상기 측정유닛은 상기 패턴시트와 상기 롤러의 위치 또는 방향을 실시간으로 측정한다. 상기 제어부는 상기 측정유닛의 측정정보를 바탕으로, 상기 패턴시트 및 상기 롤러 사이의 정렬(align)을 제어한다. A fine pattern roll manufacturing system according to an embodiment for realizing the object of the present invention includes a stage, a pattern sheet, a roller, a measuring unit and a control unit. The stage is transferred in a first direction. The pattern sheet is positioned on the stage, and a plurality of sheet marks are formed on the upper surface. A plurality of roller marks are formed on the surface of the roller, and as the roller rotates, the pattern sheet is wound on the surface. The measuring unit measures the position or direction of the pattern sheet and the roller in real time. The control unit controls alignment between the pattern sheet and the roller based on the measurement information of the measuring unit.

일 실시예에서, 상기 측정유닛은, 상기 시트마크들을 촬영하는 제1 카메라, 상기 롤러마크들을 촬영하는 제2 카메라, 상기 패턴시트의 상면까지의 거리를 측정하는 제1 거리센서, 및 상기 롤러의 표면까지의 거리를 측정하는 제2 거리센서를 포함할 수 있다. In one embodiment, the measurement unit, a first camera for photographing the sheet marks, a second camera for photographing the roller marks, a first distance sensor for measuring the distance to the upper surface of the pattern sheet, and the roller It may include a second distance sensor for measuring the distance to the surface.

일 실시예에서, 상기 제어부는, 상기 제1 및 제2 카메라들에서 촬영된 정보를 바탕으로, 상기 패턴시트와 상기 롤러 사이의 수평방향의 위치를 제어하는 위치 제어부를 포함할 수 있다. In an embodiment, the control unit may include a position control unit for controlling a horizontal position between the pattern sheet and the roller based on information photographed by the first and second cameras.

일 실시예에서, 상기 위치 제어부는, 상기 제1 거리센서에서 측정된 정보를 바탕으로, 상기 패턴시트와 상기 롤러 사이의 수직방향의 위치를 제어할 수 있다. In one embodiment, the position control unit, based on the information measured by the first distance sensor, may control the vertical position between the pattern sheet and the roller.

일 실시예에서, 상기 측정유닛은, 상기 제1 및 제2 카메라들, 및 상기 제1 및 제2 거리센서들이 고정되는 베이스부를 더 포함하며, 상기 베이스부는 상기 패턴시트의 상부에서 상기 제1 방향 또는 상기 제1 방향에 수직인 제2 방향으로 이송될 수 있다. In an embodiment, the measurement unit further includes a base to which the first and second cameras and the first and second distance sensors are fixed, and the base portion is positioned above the pattern sheet in the first direction. Alternatively, it may be transferred in a second direction perpendicular to the first direction.

일 실시예에서, 상기 제어부는, 상기 베이스부가 상기 제2 방향으로 이송되며 상기 제1 카메라 또는 상기 제2 카메라에서 촬영된 정보를 바탕으로, 상기 패턴시트와 상기 롤러 사이의 제1 회전방향(θx)을 제어하는 회전 제어부를 포함할 수 있다. In one embodiment, the control unit, the base portion is transferred in the second direction, based on the information photographed by the first camera or the second camera, a first rotational direction (θx) between the pattern sheet and the roller ) may include a rotation control unit to control the.

일 실시예에서, 상기 회전 제어부는, 상기 베이스부가 상기 제2 방향으로 이송되며 상기 제2 거리센서에서 측정된 정보를 바탕으로, 상기 패턴시트와 상기 롤러 사이의 제3 회전방향(θz)을 제어할 수 있다. In an embodiment, the rotation control unit controls the third rotation direction θz between the pattern sheet and the roller based on the information measured by the base portion being transferred in the second direction and the second distance sensor. can do.

일 실시예에서, 상기 롤러의 양 측에 구비되어, 상기 롤러와 상기 패턴시트 사이의 압력을 측정하는 압력 측정부를 더 포함할 수 있다. In one embodiment, provided on both sides of the roller, it may further include a pressure measuring unit for measuring the pressure between the roller and the pattern sheet.

일 실시예에서, 상기 제어부의 회전 제어부는, 상기 압력 측정부의 측정된 정보를 바탕으로, 상기 패턴시트와 상기 롤러 사이의 제1 회전방향(θx)을 제어할 수 있다. In an embodiment, the rotation control unit of the control unit may control the first rotation direction θx between the pattern sheet and the roller based on the measured information of the pressure measurement unit.

일 실시예에서, 상기 패턴시트를 냉각 또는 가열하는 가열부를 더 포함하고, 상기 제어부는, 상기 가열부를 제어하여 상기 패턴시트 및 상기 롤러 사이의 정렬(align)을 제어할 수 있다. In one embodiment, further comprising a heating unit for cooling or heating the pattern sheet, the control unit may control the heating unit to control the alignment (alignment) between the pattern sheet and the roller.

일 실시예에서, 상기 패턴시트의 시작단에 인접하도록 위치한 제1 측정부, 및 상기 패턴시트의 끝단에 인접하도록 위치한 제2 측정부를 포함하는 초기위치 측정부를 더 포함하며, 상기 제1 및 제2 측정부들은 상기 패턴시트의 초기 위치를 측정할 수 있다. In one embodiment, further comprising an initial position measuring unit comprising a first measuring unit positioned adjacent to the start end of the pattern sheet, and a second measuring unit positioned adjacent to the end of the pattern sheet, the first and second The measuring units may measure an initial position of the pattern sheet.

일 실시예에서, 상기 스테이지의 상면에는 점착 필름이 형성되어, 상기 패턴시트를 상기 스테이지에 고정시키고, 상기 롤러의 표면에는 점착력을 갖는 블랭킷이 형성되어, 상기 패턴시트가 상기 스테이지로부터 상기 롤러로 전사되어 부착될 수 있다. In one embodiment, an adhesive film is formed on the upper surface of the stage, the pattern sheet is fixed to the stage, and a blanket having adhesive force is formed on the surface of the roller, and the pattern sheet is transferred from the stage to the roller and can be attached.

일 실시예에서, 상기 스테이지를 향하는 상기 패턴시트의 저면에 미세패턴들이 형성될 수 있다. In one embodiment, fine patterns may be formed on the bottom surface of the pattern sheet facing the stage.

일 실시예에서, 상기 패턴시트는, 금속 재질 또는 폴리머 재질을 포함할 수 있다. In an embodiment, the pattern sheet may include a metal material or a polymer material.

상기한 본 발명의 다른 목적을 실현하기 위한 일 실시예에 의한 미세패턴 롤 제작방법에서, 패턴시트를 스테이지에 초기 위치로 고정한다. 상기 패턴시트의 시트마크의 위치를 측정한다. 상기 패턴시트의 위치를 바탕으로 롤러를 초기 위치로 이동시킨다. 상기 스테이지가 제1 방향으로 이송되고 상기 롤러가 회전하면서, 상기 롤러에 패턴시트를 감는다. 상기 패턴시트와 상기 롤러 사이의 정렬을 실시간으로 제어한다. 상기 패턴시트의 시작단과 끝단을 접합한다. In the method of manufacturing a fine pattern roll according to an embodiment for realizing another object of the present invention, the pattern sheet is fixed to the initial position on the stage. The position of the sheet mark of the pattern sheet is measured. Based on the position of the pattern sheet, the roller is moved to the initial position. As the stage is transferred in the first direction and the roller rotates, the pattern sheet is wound around the roller. The alignment between the pattern sheet and the roller is controlled in real time. The start and end of the pattern sheet are joined together.

일 실시예에서, 상기 패턴시트를 접합하는 단계에서, 상기 시작단과 상기 끝단을 용접 또는 UV 레진 경화 방법으로 접합할 수 있다. In one embodiment, in the step of bonding the pattern sheet, the starting end and the end may be bonded by welding or UV resin curing method.

본 발명의 실시예들에 의하면, 미세패턴 롤의 제작에 있어, 롤러와 패턴시트 사이의 위치 또는 방향을 실시간으로 측정하여 정렬을 제어함으로써, 보다 정확하고 정밀하게 미세패턴 롤을 제작할 수 있다. According to embodiments of the present invention, in the manufacture of the fine pattern roll, by measuring the position or direction between the roller and the pattern sheet in real time to control the alignment, it is possible to produce a fine pattern roll more accurately and precisely.

구체적으로, 롤러에 형성되는 롤러마크와, 패턴시트에 형성되는 시트마크를 카메라를 통해 각각 측정하여 이를 바탕으로 수평방향의 상대 위치를 제어할 수 있으며, 거리센서를 이용한 시트마크까지의 거리 측정을 통해 수직방향의 상대 위치를 제어할 수 있어, 공간상에서의 롤러와 패턴시트 사이의 위치 제어를 실시간으로 정확하게 수행할 수 있다. Specifically, the roller mark formed on the roller and the sheet mark formed on the pattern sheet can be measured through a camera, and the relative position in the horizontal direction can be controlled based on this, and the distance to the sheet mark can be measured using a distance sensor. Through this, the relative position in the vertical direction can be controlled, and the position control between the roller and the pattern sheet in space can be accurately performed in real time.

또한, 측정유닛은 이송이 가능하도록 구비되며, 상기 측정유닛의 이송에 따라 카메라에서 촬영된 정보 또는 거리센서에서 측정된 정보를 바탕으로 패턴시트와 롤러사이의 상대적인 회전방향을 제어할 수 있어, 공간상에서의 롤러와 패턴시트 사이의 방향 제어를 실시간으로 정확하게 수행할 수 있다. In addition, the measuring unit is provided to be transportable, and according to the transport of the measuring unit, it is possible to control the relative rotation direction between the pattern sheet and the roller based on the information photographed by the camera or the information measured by the distance sensor, The direction control between the roller and the pattern sheet on the bed can be accurately performed in real time.

나아가, 압력 측정부가 롤러의 양 측에 구비되어, 롤러와 패턴시트 사이의 압력을 측정하여, 상기 롤러가 상대적으로 회전하였는지의 여부를 측정하여, 마찬가지로, 공간상에서의 롤러와 패턴시트 사이의 방향 제어를 실시간으로 정확하게 수행할 수 있다. Furthermore, pressure measuring units are provided on both sides of the roller to measure the pressure between the roller and the pattern sheet to measure whether the roller has rotated relatively, similarly to control the direction between the roller and the pattern sheet in space can be performed accurately in real time.

한편, 초기 위치 측정부를 통해 패턴시트의 초기 위치를 측정하여, 상기 패턴시트를 초기 설정 위치에 정확하게 위치시킬 수 있어, 위치 오차를 최소화할 수 있다. On the other hand, by measuring the initial position of the pattern sheet through the initial position measuring unit, it is possible to accurately position the pattern sheet at the initial setting position, it is possible to minimize the position error.

또한, 상기 패턴시트가 스테이지와 함께 이송될 수 있도록 점착 필름이 형성되며, 상기 패턴시트가 상기 롤러로 용이하게 전사되도록 블랭킷이 형성되며, 이 경우, 블랭킷과 패턴시트와의 점착력을 점착 필름과 패턴시트와의 점착력보다 크게 함으로써, 상기 패턴시트의 상기 롤러로의 전사를 보다 용이하게 수행할 수 있다. In addition, an adhesive film is formed so that the pattern sheet can be transported together with the stage, and a blanket is formed so that the pattern sheet is easily transferred to the roller. By making it larger than the adhesive force with the sheet, the transfer of the pattern sheet to the roller can be performed more easily.

또한, 미세패턴 롤의 경우, 상기 롤러로 전사된 상기 패턴시트의 시작단과 끝단을 접합시킴으로써, 상기 롤러 상에 패턴시트를 완전히 고정시킬 수 있어, 상기 미세패턴 롤을 별도의 패터닝 장비에서 보다 안정적으로 사용될 수 있다. In addition, in the case of a fine pattern roll, by bonding the start and end of the pattern sheet transferred to the roller, the pattern sheet can be completely fixed on the roller, so that the fine pattern roll can be more stably performed in separate patterning equipment can be used

도 1은 종래기술에 의해 제작된 미세패턴 롤을 도시한 사시도이다.
도 2는 미세패턴 롤 제작에서 야기될 수 있는, 위치 오차 또는 회전 오차의 예를 도시한 모식도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 미세패턴 롤 제작시스템을 도시한 모식도이다.
도 4는 도 3의 미세패턴 롤 제작시스템을 상부에서 관찰한 평면도이다.
도 5는 도 3의 미세패턴 롤 제작시스템을 이용한 미세패턴 롤 제작방법을 도시한 흐름도이다.
도 6은 도 5의 미세패턴 롤 제작방법에서 패턴 시트의 끝단을 접합한 상태를 도시한 사시도이다. 1 is a perspective view showing a fine pattern roll produced by the prior art.
2 is a schematic diagram illustrating an example of a position error or rotation error that may be caused in the manufacture of a fine pattern roll.
Figure 3 is a schematic diagram showing a fine pattern roll manufacturing system according to an embodiment of the present invention.
4 is a plan view of the fine pattern roll manufacturing system of FIG. 3 observed from the top.
5 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a fine pattern roll using the fine pattern roll manufacturing system of FIG. 3 .
6 is a perspective view illustrating a state in which the ends of the pattern sheets are joined in the method of manufacturing the fine pattern roll of FIG. 5 .

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예들을 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. Since the present invention can have various changes and can have various forms, embodiments will be described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to the specific disclosed form, it should be understood to include all modifications, equivalents and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing each figure, like reference numerals have been used for like elements. Terms such as first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms.

상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. The above terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. The terms used in the present application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, terms such as "comprises" or "consisting of" are intended to designate that a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification is present, but one or more other features It is to be understood that it does not preclude the possibility of the presence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

본 실시예에 의한 미세패턴 롤 제작시스템(10)을 설명하기 전에, 미세패턴 롤의 제작에 있어, 롤러(100)와 패턴시트(300) 사이에서의 위치 또는 방향의 정렬 오차의 종류에 대하여 설명한다. Before describing the fine pattern roll manufacturing system 10 according to this embodiment, in the manufacture of the fine pattern roll, the type of alignment error in the position or direction between the roller 100 and the pattern sheet 300 will be described do.

도 2는 미세패턴 롤 제작에서 야기될 수 있는, 위치 오차 또는 회전 오차의 예를 도시한 모식도이다. 2 is a schematic diagram illustrating an example of a position error or rotation error, which may be caused in the manufacture of a fine pattern roll.

즉, 도 2에는, 상기 패턴시트(300)가 제1 방향(X)을 따라 이송되어 상기 제1 방향에 수직인 제2 방향(Y)을 회전축으로 회전하는 상기 롤러(100)의 외주면에 감기는 경우, 상기 패턴시트(300)와 상기 롤러(100) 사이의 정렬의 오차의 예를 도시한다. That is, in FIG. 2 , the pattern sheet 300 is transported along the first direction (X) and wound around the outer peripheral surface of the roller 100 rotating in the second direction (Y) perpendicular to the first direction as a rotation axis. , shows an example of an error in alignment between the pattern sheet 300 and the roller 100 .

도 2를 참조하면, 상기 패턴시트(300)와 상기 롤러(100)는 상기 패턴시트(300)의 진행방향인 상기 제1 방향(X)을 따라 오차(Ex)가 발생할 수 있다. 즉, 상기 패턴시트(300)가 상기 롤러(100)에 정해진 속도보다 빨리 감기거나 늦게 감기는 경우라면, 상기 제1 방향(X)을 따른 오차(Ex)가 발생할 수 있다. Referring to FIG. 2 , an error Ex may occur between the pattern sheet 300 and the roller 100 along the first direction X, which is a moving direction of the pattern sheet 300 . That is, when the pattern sheet 300 is wound faster or slower than the speed determined by the roller 100 , an error Ex along the first direction X may occur.

또한, 상기 패턴시트(300)와 상기 롤러(100)는 상기 패턴시트(300)의 진행방향에 수직인 상기 제2 방향(Y)을 따라 오차(Ey)가 발생할 수 있다. 즉, 상기 패턴시트(300)가 상기 롤러(100)에 상기 제2 방향(Y)을 따라 위치 오차가 발생하면서 감기는 경우라면, 상기 제2 방향(Y)을 따른 오차(Ey)가 발생할 수 있다. In addition, the pattern sheet 300 and the roller 100 may have an error Ey along the second direction Y perpendicular to the moving direction of the pattern sheet 300 . That is, if the pattern sheet 300 is wound on the roller 100 while a position error is generated along the second direction (Y), an error (Ey) along the second direction (Y) may occur. there is.

또한, 상기 패턴시트(300)와 상기 롤러(100)는 상기 제1 및 제2 방향들(X, Y)에 모두 수직인, 제3 방향(Z)을 따라 오차(Ez)가 발생할 수 있다. 즉, 상기 롤러(100)에 인가되는 압력이 변화함에 따라, 상기 롤러(100)와 상기 패턴시트(300) 사이의 간격이 변화하게 되면, 상기 제3 방향(Z)을 따른 오차(Ez)가 발생할 수 있다. Also, the pattern sheet 300 and the roller 100 may have an error Ez along the third direction Z, which is perpendicular to both the first and second directions X and Y. That is, as the pressure applied to the roller 100 changes, when the distance between the roller 100 and the pattern sheet 300 changes, the error Ez along the third direction Z is can occur

이와 같이, 상기 패턴시트(300)가 상기 롤러(100)의 외주면에 감기는 경우, 상기 패턴시트(300)와 상기 롤러(100)의 사이에서는 X-Y-Z 공간 좌표 상에서 각각의 방향으로 위치 오차가 발생할 수 있다. In this way, when the pattern sheet 300 is wound around the outer circumferential surface of the roller 100, a position error may occur between the pattern sheet 300 and the roller 100 in each direction on the X-Y-Z spatial coordinates. there is.

한편, 상기 패턴시트(300)와 상기 롤러(100)는 상기 제1 방향(X)을 회전축으로 제1 회전방향(θx)으로 상대적으로 회전하여 제1 회전오차가 발생할 수 있다. 예를 들어, 상기 롤러(100)와 상기 패턴시트(300) 사이의 상기 제3 방향(Z)을 따른 위치가 상기 롤러(100)의 양 끝단에서 서로 다르게 유지된다면, 상기 롤러(100)는 상기 패턴시트(300)에 대하여 상기 제1 방향을 회전축으로 회전하는 효과가 유발되며, 이에 따라 상기 제1 회전오차가 발생할 수 있다. On the other hand, the pattern sheet 300 and the roller 100 may relatively rotate in the first direction (X) as the rotation axis in the first rotation direction (θx), so that a first rotation error may occur. For example, if the positions along the third direction Z between the roller 100 and the pattern sheet 300 are maintained differently at both ends of the roller 100, the roller 100 is the An effect of rotating the pattern sheet 300 in the first direction as a rotation axis is induced, and accordingly, the first rotation error may occur.

또한, 상기 패턴시트(300)와 상기 롤러(100)는 상기 제3 방향(Z)을 회전축으로 제3 회전방향(θz)으로 상대적으로 회전하여 제3 회전오차가 발생할 수 있다. 예를 들어, 상기 롤러(100)와 상기 패턴시트(300) 사이의 상기 제1 방향(X)을 따른 위치가 상기 롤러(100)의 양 끝단에서 서로 다르게 유지된다면, 상기 롤러(100)는 상기 패턴시트(300)에 대하여 상기 제3 방향을 회전축으로 회전하는 효과가 유발되며, 이에 따라 상기 제3 회전오차가 발생할 수 있다. In addition, the pattern sheet 300 and the roller 100 may relatively rotate in the third direction (θz) with the third direction (Z) as the rotation axis, so that a third rotation error may occur. For example, if the positions along the first direction (X) between the roller 100 and the pattern sheet 300 are maintained differently at both ends of the roller 100, the roller 100 is the An effect of rotating the pattern sheet 300 in the third direction as a rotation axis is induced, and accordingly, the third rotation error may occur.

한편, 상기 패턴시트(300)와 상기 롤러(100)는 상기 제2 방향(Y)을 회전축으로 제2 회전방향(θy)으로 회전하는 량이 상기 롤러(100)의 양 끝단에서 서로 다르게 유지된다면 제2 회전오차가 발생할 수는 있으나, 상기 롤러(100)가 균일하게 상기 제2 방향(Y)을 회전축으로 회전하도록 제어하면, 상기 제2 회전오차의 발생을 최소화할 수 있다. 이에, 이하에서는 상기 제2 회전오차에 대한 제어 및 실시간 보정에 대한 설명은 생략한다. On the other hand, if the pattern sheet 300 and the roller 100 are rotated in the second rotation direction (θy) with the second direction (Y) as the rotation axis are maintained differently at both ends of the roller (100), the first Although two rotation errors may occur, if the roller 100 is controlled to rotate uniformly in the second direction Y as a rotation axis, the occurrence of the second rotation error can be minimized. Accordingly, a description of the control and real-time correction of the second rotation error will be omitted below.

이와 같이, 상기 패턴시트(300)가 상기 롤러(100)의 외주면에 감기는 경우, 상기 패턴시트(300)와 상기 롤러(100)의 사이에서는 θx 방향 또는 θz 방향으로 회전방향의 오차가 발생할 수 있다. In this way, when the pattern sheet 300 is wound around the outer circumferential surface of the roller 100, an error in the rotation direction may occur in the θx direction or the θz direction between the pattern sheet 300 and the roller 100. there is.

이하에서는, 본 실시예에 의한 미세패턴 롤 제작시스템(10) 및 이를 이용한 미세패턴 롤 제작방법에 대하여 구체적으로 설명한다. Hereinafter, the fine pattern roll manufacturing system 10 and the fine pattern roll manufacturing method using the same according to this embodiment will be described in detail.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 미세패턴 롤 제작시스템을 도시한 모식도이다. 도 4는 도 3의 미세패턴 롤 제작시스템을 상부에서 관찰한 평면도이다. Figure 3 is a schematic diagram showing a fine pattern roll manufacturing system according to an embodiment of the present invention. 4 is a plan view of the fine pattern roll manufacturing system of FIG. 3 observed from the top.

우선, 도 3 및 도 4를 참조하면, 본 실시예에 의한 미세패턴 롤 제작시스템(10)은, 롤러(100), 스테이지(200), 패턴시트(300), 측정유닛(400), 초기 위치 측정부(500), 압력 측정부(600), 가열부(700) 및 제어부(800)를 포함한다. First, referring to FIGS. 3 and 4 , the fine pattern roll manufacturing system 10 according to this embodiment is a roller 100 , a stage 200 , a pattern sheet 300 , a measurement unit 400 , an initial position It includes a measuring unit 500 , a pressure measuring unit 600 , a heating unit 700 , and a control unit 800 .

상기 롤러(100)는 실린더 형상을 가지며, 상기 제2 방향(Y)을 회전축으로 회전하여 표면에 상기 패턴시트(300)가 감겨 점착된다.The roller 100 has a cylindrical shape, and the pattern sheet 300 is wound and adhered to the surface by rotating in the second direction Y as a rotation axis.

이 경우, 상기 롤러(100)의 표면에는 소정 두께를 가지는 블랭킷(110)이 형성되며, 상기 블랭킷(110)은 소정의 점착력을 가져, 상기 패턴시트(300)가 상기 블랭킷(110)으로 전사되는 경우, 상기 패턴시트(300)를 상기 롤러(100)의 표면상에 점착 및 고정시키게 된다. In this case, a blanket 110 having a predetermined thickness is formed on the surface of the roller 100 , and the blanket 110 has a predetermined adhesive force, so that the pattern sheet 300 is transferred to the blanket 110 . In this case, the pattern sheet 300 is adhered and fixed on the surface of the roller 100 .

이 경우, 상기 블랭킷(110)과 상기 패턴시트(300) 사이의 점착력은, 후술되는 상기 스테이지(200) 상의 점착 필름(210)과 상기 패턴시트(300) 사이의 점착력보다 크게 형성될 수 있으며, 이에 따라, 상기 패턴시트(300)는 상기 블랭킷(110)으로 보다 용이하게 전사될 수 있다. In this case, the adhesive force between the blanket 110 and the pattern sheet 300 may be greater than the adhesive force between the adhesive film 210 on the stage 200 and the pattern sheet 300 to be described later, Accordingly, the pattern sheet 300 may be more easily transferred to the blanket 110 .

또한, 상기 블랭킷(110)은 후술되는 상기 점착 필름(210)과 함께 소정의 탄성력을 가지는 재료로 형성되므로, 상기 패턴시트(300)가 상기 롤러(100)로 전사되는 경우, 상기 패턴시트(300)와 상기 롤러(100) 사이의 압력을 일정하게 유지할 수 있도록 한다. In addition, since the blanket 110 is formed of a material having a predetermined elastic force together with the adhesive film 210 to be described later, when the pattern sheet 300 is transferred to the roller 100 , the pattern sheet 300 ) and the roller 100 to maintain a constant pressure.

한편, 상기 롤러(100)의 표면에는, 도 4에 도시된 바와 같이, 서로 일정한 간격으로 복수의 롤러마크들(101)이 형성될 수 있으며, 상기 롤러마크들(101)은 예를 들어, 격자 배열로 배열될 수 있다. On the other hand, on the surface of the roller 100, as shown in FIG. 4, a plurality of roller marks 101 may be formed at regular intervals from each other, and the roller marks 101 are, for example, a grid. It can be arranged in an array.

상기 스테이지(200)는 상기 제1 방향(X)을 따라 연장되는 플레이트 형상을 가지며, 상기 스테이지(200)의 상부에는 상기 패턴시트(300)가 위치한다. The stage 200 has a plate shape extending along the first direction X, and the pattern sheet 300 is positioned on the stage 200 .

이 경우, 상기 스테이지(200)의 상면 상에는 상기 점착 필름(210)이 부착되며, 상기 패턴시트(300)는 상기 점착 필름(210)의 상면에 점착된 상태로 위치하게 된다. In this case, the pressure-sensitive adhesive film 210 is attached to the upper surface of the stage 200 , and the pattern sheet 300 is positioned while being attached to the upper surface of the pressure-sensitive adhesive film 210 .

상기 점착 필름(210)은 상기 패턴시트(300)의 저면, 즉 상기 스테이지(200)를 향하는 면에 형성된 미세패턴(310)이 상기 스테이지(200)에 직접 접촉함에 따라, 상기 미세패턴(210)이 손상되는 것을 방지하기 위한 것이며, 이에 따라, 상기 점착 필름(210)은 점착력이 상대적으로 높지는 않으며, 상기 패턴시트(300)를 상기 스테이지(200)의 이송에 따라 동시에 이송시킬 정도이면 충분하다. The adhesive film 210 is formed on the bottom surface of the pattern sheet 300 , that is, on the surface facing the stage 200 , as the micro-pattern 310 directly contacts the stage 200 , the micro-pattern 210 . This is to prevent this damage, and accordingly, the adhesive film 210 does not have a relatively high adhesive strength, and it is sufficient to simultaneously transport the pattern sheet 300 according to the transport of the stage 200 . .

그리하여, 상기 스테이지(200)가 상기 제1 방향(X)을 따라 이송하게 되면, 상기 패턴시트(300)도 동시에 상기 제1 방향(X)을 따라 이송된다. Thus, when the stage 200 is transported along the first direction (X), the pattern sheet 300 is also transported along the first direction (X) at the same time.

다만, 상기 패턴시트(300)는 상기 롤러(100)의 블랭킷(110)과 접촉됨에 따라, 상기 스테이지(200)로부터 상기 블랭킷(110)으로 전사된다. However, as the pattern sheet 300 comes into contact with the blanket 110 of the roller 100 , it is transferred from the stage 200 to the blanket 110 .

상기 패턴시트(300)는 전술한 바와 같이, 저면에는 상기 미세 패턴(310)이 형성되며, 상면에는 복수의 시트마크들(301)이 서로 일정한 간격으로 형성될 수 있다. As described above, the pattern sheet 300 may have the micro-patterns 310 formed on its bottom surface, and a plurality of sheet marks 301 may be formed on its top surface at regular intervals from each other.

이 경우, 상기 시트마크들(301)도 도시된 바와 같이, 서로 격자 배열로 형성될 수 있으며, 상기 시트마크들(301)의 배열 및 간격은, 상기 롤러마크들(101)의 배열 및 간격과 실질적으로 동일하게 형성될 수 있다. In this case, as shown, the sheet marks 301 may also be formed in a grid arrangement with each other, and the arrangement and spacing of the sheet marks 301 are the same as those of the roller marks 101 . It may be formed substantially the same.

그리하여, 상기 시트마크들(301)과 상기 롤러마크들(101)이 서로 일치되도록 위치하는 가의 여부를 바탕으로, 상기 롤러(100)와 상기 패턴시트(300) 사이의 정렬 여부를 판단할 수 있다. Thus, based on whether the sheet marks 301 and the roller marks 101 are positioned to match each other, it can be determined whether the alignment between the roller 100 and the pattern sheet 300 is .

한편, 본 실시예에서의 미세패턴 롤 제작시스템(10)을 통해 제작되는 미세패턴 롤(도 6 참조)(20)은 상기 롤러(100)의 외주면에 상기 패턴시트(300)가 1회 감겨 형성되는 것으로, 상기 패턴시트(300)의 상기 제1 방향(X)으로의 길이는 상기 롤러(100)의 외주연의 길이와 동일하게 형성될 수 있다. On the other hand, the fine pattern roll (refer to FIG. 6) 20 manufactured through the fine pattern roll manufacturing system 10 in this embodiment is formed by winding the pattern sheet 300 on the outer peripheral surface of the roller 100 once. As a result, the length of the pattern sheet 300 in the first direction (X) may be the same as the length of the outer periphery of the roller 100 .

그리하여, 상기 패턴시트(300)는 상기 롤러(100)의 외주면에 1회 감겨 형성되고, 이를 통해 상기 패턴시트(300)가 표면에 부착되어, 궁극적으로 미세패턴(310)이 상기 롤러(100)의 외주면 상에 형성된, 소위 미세패턴 롤(20)을 제작할 수 있다. Thus, the pattern sheet 300 is wound once on the outer circumferential surface of the roller 100 , and through this, the pattern sheet 300 is attached to the surface, and ultimately the fine pattern 310 is formed on the roller 100 . It is possible to manufacture a so-called fine pattern roll 20 formed on the outer peripheral surface of the.

상기 측정유닛(400)은 상기 패턴시트(300)와 상기 롤러(100)의 위치 또는 방향을 실시간으로 측정하고, 측정된 결과를 상기 제어부(800)로 제공한다. The measuring unit 400 measures the position or direction of the pattern sheet 300 and the roller 100 in real time, and provides the measured result to the control unit 800 .

구체적으로, 상기 측정유닛(400)은, 베이스부(410), 제1 및 제2 카메라들(420, 430), 및 제1 및 제2 거리센서들(440, 450)을 포함한다. Specifically, the measurement unit 400 includes a base portion 410 , first and second cameras 420 and 430 , and first and second distance sensors 440 and 450 .

상기 베이스부(410)는 사각 블록 형상인 것을 도시하였으나, 상기 제1 및 제2 카메라들(420, 430), 및 상기 제1 및 제2 거리센서들(440, 450)이 고정될 수 있는 다양한 형태로 형성될 수 있음은 자명하다. Although the base part 410 is shown to have a rectangular block shape, the first and second cameras 420 and 430 and the first and second distance sensors 440 and 450 can be fixed in various ways. It is obvious that it can be formed in a shape.

한편, 상기 베이스부(410)는, 도시하지는 않았으나, 별도의 고정부나 이송부에 의해 지지되거나 이송될 수 있으며, 상기 롤러(100)의 롤러마크들(101)과 상기 패턴시트(300)의 시트마크들(301)을 각각 촬상할 수 있도록, 상기 롤러(100)에 인접하면서, 상기 패턴시트(300)의 상부에 위치할 수 있다. Meanwhile, although not shown, the base part 410 may be supported or transported by a separate fixing part or a transport part, and the roller marks 101 of the roller 100 and the sheet marks of the pattern sheet 300 . Each of the 301 may be located on the pattern sheet 300 while being adjacent to the roller 100 so as to be imaged.

상기 제1 카메라(420) 및 상기 제1 거리센서(440)는 상기 베이스부(410)로부터, 상기 패턴시트(300)를 향하는 방향으로 돌출되어 고정되며, 상기 제2 카메라(430) 및 상기 제2 거리센서(450)는 상기 베이스부(410)로부터, 상기 롤러(100)를 향하는 방향으로 돌출되어 고정된다. The first camera 420 and the first distance sensor 440 protrude from the base part 410 in a direction toward the pattern sheet 300 and are fixed, and the second camera 430 and the second distance sensor 440 are fixed. 2 The distance sensor 450 protrudes from the base part 410 in a direction toward the roller 100 and is fixed.

그리하여, 상기 제1 카메라(420)는 상기 패턴시트(300)의 상면에 형성되는 상기 시트마크들(301)을 촬상하며, 상기 제1 거리센서(440)는 상기 패턴시트(300)까지의 거리를 센싱한다. Thus, the first camera 420 captures the sheet marks 301 formed on the upper surface of the pattern sheet 300 , and the first distance sensor 440 measures the distance to the pattern sheet 300 . to sense

또한, 상기 제2 카메라(430)는 상기 롤러(100)의 표면에 형성되는 상기 롤러마크들(101)을 촬상하며, 상기 제2 거리센서(450)는 상기 롤러(100)까지의 거리를 센싱한다. In addition, the second camera 430 images the roller marks 101 formed on the surface of the roller 100 , and the second distance sensor 450 senses the distance to the roller 100 . do.

즉, 상기 제1 카메라(420)는 상기 시트마크(301)를 측정(촬상)하여 상기 제어부(800)로 제공하고, 상기 제1 거리센서(440)는 상기 패턴시트(300)까지의 시트거리를 측정하여 상기 제어부(800)로 제공한다. That is, the first camera 420 measures (images) the sheet mark 301 and provides it to the control unit 800 , and the first distance sensor 440 provides a sheet distance to the pattern sheet 300 . is measured and provided to the control unit 800 .

또한, 상기 제2 카메라(430)는 상기 롤러마크(101)를 측정(촬상)하여 상기 제어부(800)로 제공하고, 상기 제2 거리센서(450)는 상기 롤러(100)까지의 롤러거리를 측정하여 상기 제어부(800)로 제공한다. In addition, the second camera 430 measures (images) the roller mark 101 and provides it to the control unit 800 , and the second distance sensor 450 measures the roller distance to the roller 100 . It is measured and provided to the control unit 800 .

이 경우, 상기 제1 및 제2 카메라들(420, 430)은 각각 비전 카메라(vision camera)일 수 있으며, 상기 제1 및 제2 거리센서들(440, 450)은 각각 갭 센서(gap sensor), 레이저 거리센서, 공초점 센서(confocal sensor) 등일 수 있다. In this case, the first and second cameras 420 and 430 may be vision cameras, respectively, and the first and second distance sensors 440 and 450 are gap sensors, respectively. , a laser distance sensor, a confocal sensor, and the like.

상기 초기 위치 측정부(500)는 상기 패턴시트(300)의 초기 위치를 측정하는 것으로, 이를 통해, 상기 제어부(800)에서는, 상기 패턴시트(300)가 상기 스테이지(200) 상의 점착 필름(210) 상에 정확한 위치에 고정되었는지의 여부를 판단할 수 있다. The initial position measuring unit 500 measures the initial position of the pattern sheet 300 . Through this, in the control unit 800 , the pattern sheet 300 moves the pressure-sensitive adhesive film 210 on the stage 200 . ), it can be determined whether it is fixed in the correct position.

앞서 설명한 바와 같이, 상기 측정부(500)는 상기 롤러(100)의 외주연의 길이와 동일한 길이를 가지도록 형성되며, 상기 롤러(100)에의 전사가 시작되는 시작단(305)과 마지막으로 전사되는 끝단(306)을 포함하게 된다. As described above, the measuring part 500 is formed to have the same length as the length of the outer periphery of the roller 100 , the starting end 305 from which the transfer to the roller 100 starts, and the final transfer It will include an end 306 that is.

이에, 상기 초기 위치 측정부(500)는, 상기 패턴시트(300)의 초기 위치 측정을 위해, 상기 패턴시트(300)의 시작단(305)의 위치를 측정하는 한 쌍의 제1 측정부들(510), 및 상기 패턴시트(300)의 끝단(306)의 위치를 측정하는 한 쌍의 제2 측정부들(520)을 포함할 수 있다. Accordingly, the initial position measuring unit 500, for measuring the initial position of the pattern sheet 300, a pair of first measuring units ( 510 ), and a pair of second measurement units 520 for measuring the position of the end 306 of the pattern sheet 300 .

이 경우, 상기 제1 측정부들(510)은 상기 시작단(305)의 양 측, 즉 상기 제2 방향(Y)을 따른 양 측에 각각 위치하여, 상기 시작단(305)의 초기 위치를 측정하게 되며, 상기 제2 측정부들(520)은 상기 끝단(306)의 양 측, 즉 상기 제2 방향(Y)을 따른 양 측에 각각 위치하여, 상기 끝단(306)의 초기 위치를 측정하게 된다. In this case, the first measuring units 510 are respectively located on both sides of the start end 305 , that is, on both sides along the second direction Y, to measure the initial position of the start end 305 . The second measuring units 520 are respectively located on both sides of the end 306, that is, on both sides along the second direction Y, to measure the initial position of the end 306. .

그리하여, 상기 두 쌍의 측정부들의 측정 결과를 바탕으로, 상기 패턴시트(300)가 상기 제1 방향(X) 및 상기 제2 방향(Y)으로 정확한 위치에 위치하는 가의 여부, 또한 상기 패턴시트(300)가 상기 제1 내지 제3 방향들(X, Y, Z)을 회전축으로 회전하였는가의 여부를 판단할 수 있다. Thus, based on the measurement results of the two pairs of measurement units, whether the pattern sheet 300 is positioned at the correct position in the first direction (X) and the second direction (Y), and also the pattern sheet It may be determined whether 300 rotates in the first to third directions X, Y, and Z as a rotation axis.

또한, 상기 판단 결과를 바탕으로, 상기 패턴시트(300)의 초기 위치를 위치하여야 위치로 다시 설정하거나, 상기 제어부(800)는 상기 패턴시트(300)의 초기 위치 정보를 바탕으로, 상기 롤러(100)의 위치, 회전 방향 또는 회전 속도 등을 상기 패턴시트(300)의 초기 위치 정보와 동기화될 수 있도록 제어할 수 있다. In addition, based on the determination result, the initial position of the pattern sheet 300 must be positioned again to be set back to the position, or the control unit 800 based on the initial position information of the pattern sheet 300, the roller ( 100) may be controlled to be synchronized with the initial position information of the pattern sheet 300, such as the position, rotation direction, or rotation speed.

한편, 도면에서는 상기 초기 위치 측정부(500)가 상기 패턴시트(300)의 측부에 각각 형성되는 것을 예시하였으나, 상기 패턴시트(300)의 네 모서리의 상부에 각각 위치하여, 상기 패턴시트(300)에 형성된 시트마크들(301)을 측정함으로써, 상기 패턴시트(300)의 초기 위치를 측정할 수 있다. On the other hand, in the drawings, the initial position measuring unit 500 is exemplified to be formed on the side of the pattern sheet 300, respectively, but located on the upper portions of the four corners of the pattern sheet 300, respectively, the pattern sheet 300 ), by measuring the sheet marks 301 formed on the pattern sheet 300, it is possible to measure the initial position.

상기 압력 측정부(600)는 상기 롤러(100)와 상기 패턴시트(300) 사이의 압력을 측정하는 것으로, 상기 롤러(100)와 상기 패턴시트(300) 사이의 압력이 일정하지 않은 경우라면, 상기 롤러(100)와 상기 패턴시트(300) 사이의 정렬의 오차가 발생할 수 있기 때문에 이를 추적하기 위해서 구비된다. The pressure measuring unit 600 measures the pressure between the roller 100 and the pattern sheet 300, and if the pressure between the roller 100 and the pattern sheet 300 is not constant, Since an error in alignment between the roller 100 and the pattern sheet 300 may occur, it is provided to track this.

이 경우, 상기 압력 측정부(600)는 도시된 바와 같이, 상기 롤러(100)의 내부에 구비될 수도 있으나, 상기 패턴시트(300)의 저면, 또는 상기 스테이지(200)의 저면 등, 상기 롤러(100)와 상기 패턴시트(300) 사이의 압력을 측정할 수 있는 위치라면 다양한 위치에 구비될 수 있다. In this case, the pressure measuring unit 600 may be provided inside the roller 100 as shown, but the bottom surface of the pattern sheet 300 or the bottom surface of the stage 200, such as the roller If it is a position capable of measuring the pressure between the 100 and the pattern sheet 300, it may be provided at various positions.

한편, 상기 압력 측정부(600)는, 한 쌍으로 구비되어, 상기 롤러(100)의 상기 제2 방향(Y)을 따른 양 끝단에 위치할 수 있다. Meanwhile, the pressure measuring unit 600 may be provided as a pair, and may be located at both ends of the roller 100 in the second direction (Y).

그리하여, 상기 롤러(100)의 양 끝단에서의 압력을 각각 측정함으로써, 상기 롤러(100)와 상기 패턴시트(300) 사이의 정렬의 오차를 추적할 수 있다. 이 경우, 도시하지는 않았으나, 상기 롤러(100)의 중앙에 추가로 상기 압력 측정부가 구비되어, 보다 정확하게 상기 롤러(100)와 상기 패턴시트(300) 사이의 압력을 측정할 수도 있다. Thus, by measuring the pressure at both ends of the roller 100 , it is possible to track the alignment error between the roller 100 and the pattern sheet 300 . In this case, although not shown, the pressure measuring unit is additionally provided at the center of the roller 100 to more accurately measure the pressure between the roller 100 and the pattern sheet 300 .

한편, 상기 압력 측정부(600)에서 측정된 상기 압력에 대한 정보는 상기 제어부(800)로 제공된다. Meanwhile, information on the pressure measured by the pressure measurement unit 600 is provided to the control unit 800 .

상기 가열부(700)는 상기 패턴시트(300)에 인접하도록 위치하여, 상기 패턴시트(300)를 가열 또는 냉각한다. The heating unit 700 is positioned adjacent to the pattern sheet 300 to heat or cool the pattern sheet 300 .

상기 패턴시트(300)는 금속 재료 또는 폴리머 재료로 형성될 수 있는데, 상기 패턴시트(300)가 금속 또는 폴리머를 포함하는 경우, 상기 가열부(700)에 의해 상기 패턴시트(300)에 열이 인가되면, 상기 패턴시트(300)는 길이(또는 면적)가 팽창하게 된다. The pattern sheet 300 may be formed of a metal material or a polymer material. When the pattern sheet 300 includes a metal or a polymer, heat is applied to the pattern sheet 300 by the heating unit 700 . When applied, the pattern sheet 300 expands in length (or area).

이와 달리, 상기 가열부(700)에 의해 상기 패턴시트(300)로부터 열이 제거되면, 즉 상기 패턴시트(300)가 냉각되면, 상기 패턴시트(300)는 길이(또는 면적)가 축소하게 된다. On the other hand, when heat is removed from the pattern sheet 300 by the heating unit 700 , that is, when the pattern sheet 300 is cooled, the length (or area) of the pattern sheet 300 is reduced. .

이상과 같이, 상기 패턴시트(300)의 길이(또는 면적)가 팽창 또는 축소하게 되면, 결국 상기 패턴시트(300)의 상기 시트마크(301)의 위치를 변화시키는 것으로, 이를 통해 상기 롤러(100)와 상기 패턴시트(300)의 위치 또는 방향의 정렬을 제어할 수 있다. As described above, when the length (or area) of the pattern sheet 300 is expanded or reduced, the position of the sheet mark 301 of the pattern sheet 300 is eventually changed, through which the roller 100 ) and the alignment of the position or direction of the pattern sheet 300 can be controlled.

이에, 본 실시예에서는, 상기 제어부(800)는 상기 가열부(700)를 제어함으로써, 상기 패턴시트(300)를 가열 또는 냉각시켜, 상기 롤러(100)와 상기 패턴시트(300)의 위치 또는 방향의 정렬을 제어할 수 있다. Accordingly, in the present embodiment, the control unit 800 controls the heating unit 700 to heat or cool the pattern sheet 300, so that the position of the roller 100 and the pattern sheet 300 or You can control the alignment of the direction.

상기 제어부(800)는 상기 측정유닛(400), 상기 압력 측정부(600) 및 상기 초기위치 측정부(500)의 측정 정보를 바탕으로, 상기 패턴시트(300) 및 상기 롤러(100)의 상대적인 위치를 정렬(align)한다. The control unit 800 is based on the measurement information of the measuring unit 400, the pressure measuring unit 600, and the initial position measuring unit 500, the relative of the pattern sheet 300 and the roller 100 align the position.

보다 구체적으로, 앞서 설명한 바와 같이, 상기 제어부(800)는, 상기 측정유닛(400)의 제1 카메라(420)로부터 상기 시트마크(301)에 대한 측정 결과를 제공받으며, 상기 제2 카메라(430)로부터 상기 롤러마크(101)에 대한 측정 결과를 제공받는다. More specifically, as described above, the control unit 800 receives the measurement result for the sheet mark 301 from the first camera 420 of the measurement unit 400, and the second camera 430 ) receives the measurement result for the roller mark 101 from.

또한, 상기 제어부(800)는, 상기 측정유닛(400)의 제1 거리센서(440)로부터 상기 패턴시트(300)까지의 거리의 측정 결과를 제공받으며, 상기 제2 거리센서(450)로부터 상기 패턴시트(100)까지의 거리의 측정 결과를 제공받는다. In addition, the control unit 800 receives the measurement result of the distance from the first distance sensor 440 of the measuring unit 400 to the pattern sheet 300 , and receives the measurement result from the second distance sensor 450 . A measurement result of the distance to the pattern sheet 100 is provided.

나아가, 상기 제어부(800)는, 상기 압력 측정부(600)로부터 상기 롤러(100)가 상기 패턴시트(300)에 인가하는 압력에 대한 측정 결과를 제공받으며, 상기 초기위치 측정부(500)로부터 상기 패턴시트(300)의 상기 스테이지(200) 상의 초기위치에 대한 측정 결과를 제공받는다. Furthermore, the control unit 800 receives a measurement result of the pressure applied to the pattern sheet 300 by the roller 100 from the pressure measurement unit 600 , and receives the measurement result from the initial position measurement unit 500 . A measurement result of the initial position of the pattern sheet 300 on the stage 200 is provided.

이 경우, 상기 제어부(800)는 회전 제어부(810) 및 위치 제어부(820)를 포함한다. 그리하여, 상기 회전 제어부(810) 및 상기 위치 제어부(820)는, 상기 제공된 측정 결과들을 바탕으로, 상기 패턴시트(300)와 상기 롤러(100) 사이의 회전방향의 정렬, 및 위치의 정렬을 실시간으로 수행하게 된다. In this case, the control unit 800 includes a rotation control unit 810 and a position control unit 820 . Thus, the rotation control unit 810 and the position control unit 820, based on the provided measurement results, the alignment of the rotation direction between the pattern sheet 300 and the roller 100, and the alignment of the position in real time will be performed with

예를 들어, 상기 위치 제어부(820)는, 상기 패턴시트(300)와 상기 롤러(100) 사이의 수평방향(X-Y 평면 방향)의 위치 제어는 물론, 상기 패턴시트(300)와 상기 롤러(100) 사이의 수직방향(Z 방향)의 위치 제어를 수행할 수 있다. For example, the position control unit 820 may control the position in the horizontal direction (X-Y plane direction) between the pattern sheet 300 and the roller 100 , as well as the pattern sheet 300 and the roller 100 . ) in the vertical direction (Z direction) between the positions can be controlled.

즉, 상기 위치 제어부(820)는, 상기 제1 카메라(420)를 통해 제공받은 상기 시트마크(301)의 위치에 대한 정보와, 상기 제2 카메라(430)를 통해 제공받은 상기 롤러마크(101)의 위치에 대한 정보를 서로 비교하여, 상기 패턴시트(300)와 상기 롤러(100) 사이에서 수평방향, 즉 제1 방향(X)으로의 위치 오차(도 2에서 설명한, Ex), 제2 방향(Y)으로의 위치 오차(도 2에서 설명한, Ey)를 실시간으로 보정할 수 있다. That is, the position control unit 820 includes the information on the position of the sheet mark 301 provided through the first camera 420 and the roller mark 101 provided through the second camera 430 . ) by comparing the information on the position with each other, the horizontal direction between the pattern sheet 300 and the roller 100, that is, the position error in the first direction (X) (described in FIG. 2, Ex), the second A position error (Ey, described in FIG. 2 ) in the direction Y can be corrected in real time.

또한, 상기 위치 제어부(820)는, 상기 제1 거리센서(440)에서 측정된 상기 패턴시트(300)까지의 거리 정보를 바탕으로, 상기 패턴시트(300)와 상기 롤러(100) 사이에서 수직방향, 즉 제3 방향(Z)으로의 위치 오차(도 2에서 설명한, Ez)를 실시간으로 보정할 수 있다. In addition, the position control unit 820 is vertical between the pattern sheet 300 and the roller 100 based on the distance information from the first distance sensor 440 to the pattern sheet 300 . A position error (Ez, described in FIG. 2 ) in the direction, that is, in the third direction Z, may be corrected in real time.

한편, 상기 회전 제어부(810)는, 상기 패턴시트(300)와 상기 롤러(100) 사이의 제1 회전방향(θx) 및 제3 회전방향(θz)의 방향 제어를 수행할 수 있다. Meanwhile, the rotation control unit 810 may perform direction control of the first rotational direction θx and the third rotational direction θz between the pattern sheet 300 and the roller 100 .

즉, 상기 회전 제어부(810)는, 상기 베이스부(410)가 상기 제2 방향(Y)을 따라 이송되며 상기 제1 카메라(420) 또는 상기 제2 카메라(430)를 통해 제공받은 상기 시트마크들(301) 또는 상기 롤러마크들(101)의 위치에 대한 정보를 바탕으로, 상기 패턴시트(300)와 상기 롤러(100) 사이에서 제1 회전방향(θx)으로의 제1 회전오차를 실시간으로 보정할 수 있다. That is, in the rotation control unit 810 , the base unit 410 is transferred along the second direction Y and the sheet mark is provided through the first camera 420 or the second camera 430 . Based on the information on the positions of the poles 301 or the roller marks 101, a first rotational error in the first rotational direction θx between the pattern sheet 300 and the roller 100 is measured in real time. can be corrected with

이 경우, 상기 제1 카메라(420)가 상기 제2 방향(Y)을 따라 이송되며 상기 시트마크들(301)을 촬영하게 되면, 상기 시트마크들(301)의 정렬 상태를 파악할 수 있으며, 마찬가지로 상기 제2 카메라(430)가 상기 제2 방향(Y)을 따라 이송되며 상기 롤러마크들(101)을 촬영하게 되면, 상기 롤러마크들(101)의 정렬 상태를 파악할 수 있으므로, 상기와 같은 제1 회전오차를 식별하여 이를 보정할 수 있다. In this case, when the first camera 420 is transported along the second direction Y and the sheet marks 301 are photographed, the alignment state of the sheet marks 301 can be grasped, similarly When the second camera 430 is transported along the second direction (Y) and the roller marks 101 are photographed, the alignment state of the roller marks 101 can be grasped, so that 1 Rotation error can be identified and corrected.

또한, 상기 회전 제어부(810)는, 상기 베이스부(410)가 상기 제2 방향(Y)을 따라 이송되며 상기 제2 거리센서(450)를 통해 제공받은 상기 롤러(100)의 표면까지의 위치에 대한 정보를 바탕으로, 상기 패턴시트(300)와 상기 롤러(100) 사이에서 제3 회전방향(θz)으로의 제3 회전오차를 실시간으로 보정할 수 있다. In addition, the rotation control unit 810, the base portion 410 is transported along the second direction (Y), the position to the surface of the roller 100 provided through the second distance sensor 450 Based on the information on , a third rotational error in the third rotational direction θz between the pattern sheet 300 and the roller 100 may be corrected in real time.

이 경우, 상기 제2 거리센서(450)가 상기 제2 방향(Y)을 따라 이송되며 상기 롤러(100)까지의 거리를 촬영하게 되면, 상기 롤러(100)가 상기 제3 회전방향(θz)으로 회전되었는지의 여부를 파악할 수 있으며, 이를 통해, 상기와 같은 제3 회전오차를 식별하여 이를 보정할 수 있다. In this case, when the second distance sensor 450 is transferred along the second direction Y and the distance to the roller 100 is photographed, the roller 100 moves in the third rotation direction θz It is possible to determine whether or not the rotation has been performed, and through this, it is possible to identify and correct the third rotation error as described above.

나아가, 상기 위치 제어부(820)에서는, 상기 초기위치 측정부(500)에서 측정된 상기 패턴시트(300)의 초기 위치에 대한 측정 결과를 바탕으로, 상기 패턴시트(300)의 공간상에서의 위치 오차(Ex, Ey, Ez)를 보정할 수 있다. Furthermore, in the position control unit 820 , based on the measurement result of the initial position of the pattern sheet 300 measured by the initial position measurement unit 500 , the position error of the pattern sheet 300 in space (Ex, Ey, Ez) can be corrected.

이 경우, 상기 회전 제어부(810)에서도, 상기 초기위치 측정부(500)에서 측정된 상기 패턴시트(300)의 초기 위치에 대한 측정 결과를 바탕으로, 상기 패턴시트(300)의 공간상에서의 회전 오차(제1 내지 제3 회전오차들)를 보정할 수 있다. In this case, the rotation control unit 810 also rotates the pattern sheet 300 in space based on the measurement result of the initial position of the pattern sheet 300 measured by the initial position measurement unit 500 . Errors (first to third rotation errors) may be corrected.

또한, 상기 회전 제어부(810)에서는, 상기 압력 측정부(600)에서 측정된 상기 롤러(100)와 상기 패턴시트(300) 사이의 압력에 대한 측정 결과를 바탕으로, 상기 롤러(100)와 상기 패턴시트(300) 사이에서의 상기 제1 회전방향(θx)으로의 오차, 즉 상기 제1 회전오차를 실시간으로 보정할 수 있다. In addition, in the rotation control unit 810 , based on the measurement result of the pressure between the roller 100 and the pattern sheet 300 measured by the pressure measurement unit 600 , the roller 100 and the An error in the first rotation direction θx between the pattern sheets 300 , that is, the first rotation error may be corrected in real time.

즉, 상기 압력 측정부(600)는, 앞서 설명한 바와 같이, 상기 롤러(100)의 양 끝단의 압력을 각각 측정하는 것으로, 상기 양 끝단의 압력이 서로 다른 것으로 계측되면, 상기 롤러(100)는 상기 제1 회전방향(θx)을 따라 회전된 것으로 간주될 수 있으며, 이에 상기 회전 제어부(810)에서는 상기 제1 회전오차를 실시간으로 보정할 수 있다. That is, as described above, the pressure measuring unit 600 measures the pressures at both ends of the roller 100, and when the pressures at both ends are measured to be different from each other, the roller 100 is The rotation may be regarded as being rotated along the first rotation direction θx, and accordingly, the rotation control unit 810 may correct the first rotation error in real time.

한편, 상기 회전 제어부(810) 또는 상기 위치 제어부(820)에서는, 상기 제공되는 측정 결과를 바탕으로, 상기 가열부(700)의 동작을 제어할 수 있다. 즉, 상기 가열부(700)를 제어하여, 상기 패턴시트(300)를 가열함으로써, 상기 패턴시트(300)의 팽창을 유도할 수 있으며, 이와 달리 상기 패턴시트(300)를 냉각함으로써, 상기 패턴시트(300)의 축소를 유도할 수 있다. Meanwhile, the rotation control unit 810 or the position control unit 820 may control the operation of the heating unit 700 based on the provided measurement result. That is, by controlling the heating unit 700 to heat the pattern sheet 300 , expansion of the pattern sheet 300 can be induced. In contrast, by cooling the pattern sheet 300 , the pattern A reduction in the sheet 300 may be induced.

그리하여, 상기 패턴시트(300)의 위치 오차 또는 방향 오차를 보정할 수 있다. 특히, 상기 패턴시트(300)는 금속 또는 폴리머를 포함하는 것으로, 가열 또는 냉각에 의한 팽창 또는 축소가 용이하게 수행되며, 이를 통해 오차의 제어가 보다 용이할 수 있다. Thus, it is possible to correct a position error or a direction error of the pattern sheet 300 . In particular, the pattern sheet 300 includes a metal or a polymer, and expansion or contraction by heating or cooling is easily performed, thereby making it easier to control an error.

한편, 앞선 예를 통해, 상기 패턴시트(300)의 위치 오차 또는 회전방향 오차의 발생 예, 및 이를 실시간으로 보정하는 제어의 예를 설명하였으나, 이에 한정되지는 않으며, 상기 설명된 예 외에도, 추가적인 오차가 발생할 수 있으며, 이러한 오차는, 상기 제어부(800)에서 제공받은 측정 정보를 바탕으로 실시간으로 제어가 가능할 수 있다. On the other hand, through the preceding example, an example of the occurrence of a position error or rotational direction error of the pattern sheet 300 and an example of a control for correcting it in real time have been described, but the present invention is not limited thereto, and in addition to the above-described example, additional An error may occur, and the error may be controlled in real time based on the measurement information provided by the control unit 800 .

이하에서는, 상기 미세패턴 롤 제작 시스템(10)을 이용한 미세패턴 롤 제작방법에 대하여 설명한다. Hereinafter, a method for manufacturing a fine pattern roll using the fine pattern roll manufacturing system 10 will be described.

도 5는 도 3의 미세패턴 롤 제작시스템을 이용한 미세패턴 롤 제작방법을 도시한 흐름도이다. 도 6은 도 5의 미세패턴 롤 제작방법에서 패턴 시트의 끝단을 접합한 상태를 도시한 사시도이다. 5 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a fine pattern roll using the fine pattern roll manufacturing system of FIG. 3 . 6 is a perspective view showing a state in which the ends of the pattern sheets are joined in the method of manufacturing the fine pattern roll of FIG. 5 .

우선, 도 5를 참조하면, 상기 미세패턴 롤 제작방법에서는, 상기 패턴시트(300)를 상기 스테이지(200) 상에 초기 위치로 고정한다(단계 S10). First, referring to FIG. 5 , in the method for manufacturing a fine pattern roll, the pattern sheet 300 is fixed to an initial position on the stage 200 (step S10 ).

본 실시예의 경우, 상기 패턴시트(300)는 상기 스테이지(200)에 고정된 상태에서 상기 스테이지(200)와 함께 이송되는 것으로, 이에, 상기 패턴시트(300)를 상기 스테이지(200) 상에 정 위치에 고정시키는 것이 필요하다. In the present embodiment, the pattern sheet 300 is transferred together with the stage 200 in a state fixed to the stage 200 , and thus the pattern sheet 300 is fixed on the stage 200 . It needs to be fixed in place.

한편, 상기 스테이지(200)의 상면에는 상기 점착 필름(210)이 형성되므로, 상기 패턴시트(300)는, 저면에 형성된 미세패턴(310)이 상기 점착 필름(210) 상에 위치하도록, 상기 스테이지(200)의 상면 상에 고정된다. On the other hand, since the adhesive film 210 is formed on the upper surface of the stage 200 , the pattern sheet 300 is formed on the stage 200 so that the fine pattern 310 formed on the bottom surface is positioned on the adhesive film 210 . It is fixed on the top surface of 200.

이 후, 상기 패턴시트(300)의 상면에 형성된 상기 시트마크(301)의 위치를 측정한다(단계 S20). After that, the position of the sheet mark 301 formed on the upper surface of the pattern sheet 300 is measured (step S20).

상기 시트마크(301)의 위치는, 상기 초기위치 측정부(500)를 통해 측정할 수 있으며, 이렇게 측정된 정보는 상기 제어부(800)로 제공되며, 구체적인 측정 방법은 앞서 설명한 바와 같다. The position of the sheet mark 301 may be measured through the initial position measuring unit 500 , and the measured information is provided to the control unit 800 , and a specific measuring method is as described above.

또한, 상기 제어부(800)에서는 상기 측정된 정보를 바탕으로, 상기 패턴시트(300)의 초기 위치 또는 방향의 오차가 존재하는 경우, 이를 보정하여 정 위치에 위치시킨다. In addition, when there is an error in the initial position or direction of the pattern sheet 300 based on the measured information, the control unit 800 corrects it and places it in the correct position.

이 후, 상기 패턴시트(300)의 초기 위치를 바탕으로, 상기 롤러(100)를 상기 초기 위치로 이동시킨다(단계 S30). Then, based on the initial position of the pattern sheet 300, the roller 100 is moved to the initial position (step S30).

이 경우, 상기 롤러(100)를 위치시키는 초기 위치는, 결국 상기 패턴시트(300)의 시작단(305)의 상부에 상기 롤러(100)를 위치시키는 것으로, 상기 롤러(100)를 이송시켜 상기 초기 위치로 이동시킬 수도 있으나, 이와 달리, 상기 스테이지(200)를 이송시켜 상기 롤러(100)가 상기 시작단(305)의 상부에 위치하도록 할 수도 있다. In this case, the initial position of locating the roller 100 is to position the roller 100 on the upper portion of the starting end 305 of the pattern sheet 300, and the roller 100 is transferred to the It may be moved to the initial position, but alternatively, the stage 200 may be transferred so that the roller 100 is positioned above the starting end 305 .

이 후, 상기 롤러(100)에 상기 패턴시트(300)를 감는다(단계 S40). After that, the pattern sheet 300 is wound around the roller 100 (step S40).

이 경우, 상기 패턴시트(300)는 상기 점착 필름(210)으로부터 탈착되어, 상기 롤러(100)의 외주면에 부착된 블랭킷(110) 상으로 전사되며, 이 경우, 상기 블랭킷(110)과 상기 패턴시트(300) 사이의 점착력이 더 크므로, 상기 전사는 자연스럽게 수행될 수 있음은 이미 설명한 바와 같다. In this case, the pattern sheet 300 is detached from the adhesive film 210 and transferred onto the blanket 110 attached to the outer circumferential surface of the roller 100 . In this case, the blanket 110 and the pattern Since the adhesive force between the sheets 300 is greater, the transfer can be performed naturally as described above.

또한, 상기 감는 단계에서, 상기 패턴시트(300)는 상기 스테이지(200)의 이송에 따라 이송되며, 상기 스테이지(200)의 이송 속도와 동일한 선속도를 가지도록 상기 롤러(100)가 회전함에 따라, 상기 패턴시트(300)는 균일하게 상기 롤러(100)로 전사되며, 상기 롤러(100)의 외주면에 감기게 된다. In addition, in the winding step, the pattern sheet 300 is transported according to the transport of the stage 200 , and as the roller 100 rotates to have the same linear velocity as the transport speed of the stage 200 . , the pattern sheet 300 is uniformly transferred to the roller 100 and wound around the outer peripheral surface of the roller 100 .

이 경우, 상기 롤러(100)에 상기 패턴시트(300)를 감는 단계에서, 상기 패턴시트(300)와 상기 롤러(100) 사이의 상대 위치 및 방향을 실시간으로 제어한다(단계 S50). In this case, in the step of winding the pattern sheet 300 on the roller 100 , the relative position and direction between the pattern sheet 300 and the roller 100 is controlled in real time (step S50 ).

즉, 상기 제어부(800)에서는, 상기 측정유닛(400) 및 상기 압력 측정부(600)를 통해 제공받은 측정 정보를 바탕으로, 상기 위치 제어부(820)를 통해 상기 롤러(100)와 상기 패턴시트(300) 사이의 위치 오차를 실시간으로 제어하며, 이와 동시에 상기 회전 제어부(810)를 통해 상기 롤러(100)와 상기 패턴시트(300) 사이의 회전 오차를 실시간으로 제어하게 된다. That is, in the control unit 800 , the roller 100 and the pattern sheet through the position control unit 820 based on the measurement information provided through the measurement unit 400 and the pressure measurement unit 600 . The position error between 300 is controlled in real time, and at the same time, the rotation error between the roller 100 and the pattern sheet 300 is controlled in real time through the rotation control unit 810 .

이 경우, 상기 제어부(800)에서의 위치 오차 및 회전 오차의 제어에 대하여는 앞서 상세히 설명하였으므로 중복되는 설명은 이를 생략한다. In this case, since the control of the position error and the rotation error in the control unit 800 has been described in detail above, a redundant description thereof will be omitted.

이상과 같이, 상기 제어부(800)를 통해 상기 롤러(100)와 상기 패턴시트(300) 사이의 오차가 실시간으로 보정되며, 상기 롤러(100)의 외주면에 상기 패턴시트(300)가 모두 감기게 되면, 상기 패턴시트(300)의 시작단(305)과 끝단(306)을 접합한다(단계 S60). As described above, the error between the roller 100 and the pattern sheet 300 is corrected in real time through the control unit 800, and the pattern sheet 300 is all wound around the outer peripheral surface of the roller 100. When done, the start end 305 and the end 306 of the pattern sheet 300 are joined (step S60).

즉, 도 6을 참조하면, 상기 패턴시트(300)가 상기 롤러(100)의 외주면에 모두 감기는 경우, 상기 패턴시트(300)의 시작단(305)과 상기 패턴시트(300)의 끝단(306)은 서로 마주하게 된다. That is, referring to FIG. 6 , when the pattern sheet 300 is all wound around the outer circumferential surface of the roller 100 , the start end 305 of the pattern sheet 300 and the end of the pattern sheet 300 ( 306) face each other.

이에, 본 실시예에서는, 상기 롤러(100) 상에 상기 패턴시트(300)를 보다 안정적으로 고정하기 위해, 상기 시작단(305)과 상기 끝단(306)을 서로 접합시키며, 이를 통해 상기 접합부(350)가 형성된다. Therefore, in this embodiment, in order to more stably fix the pattern sheet 300 on the roller 100, the start end 305 and the end end 306 are joined to each other, and through this, the joint portion ( 350) is formed.

상기 시작단(305)과 상기 끝단(306)을 서로 접합시키는 방법으로는, 용접, UV레진 경화법 등의 방법이 적용될 수 있다. As a method of bonding the start end 305 and the end 306 to each other, a method such as welding or UV resin curing may be applied.

상기와 같은 단계를 통해, 상기 롤러(100) 상에 상기 패턴시트(300)가 부착된, 미세패턴 롤(20)이 제작되며, 본 실시예를 통해 제작된 미세패턴 롤(20)의 경우, 도시된 바와 같이, 시트마크(301)와 롤러마크(101)는 서로 일치하도록 정렬된다. Through the steps as described above, the pattern sheet 300 is attached on the roller 100, the fine pattern roll 20 is produced, in the case of the fine pattern roll 20 produced through this embodiment, As shown, the sheet mark 301 and the roller mark 101 are aligned to coincide with each other.

그리하여, 상기 제작된 미세패턴 롤(20)은, 다양한 패터닝 장비로 이동되어 유연 전자제품의 생산을 위해 사용된다. Thus, the manufactured fine pattern roll 20 is moved to various patterning equipment and used for the production of flexible electronic products.

상기와 같은 본 발명의 실시예들에 의하면, 미세패턴 롤의 제작에 있어, 롤러와 패턴시트 사이의 위치 또는 방향을 실시간으로 측정하여 정렬을 제어함으로써, 보다 정확하고 정밀하게 미세패턴 롤을 제작할 수 있다. According to the embodiments of the present invention as described above, in the production of the fine pattern roll, by measuring the position or direction between the roller and the pattern sheet in real time to control the alignment, it is possible to produce a fine pattern roll more accurately and precisely there is.

구체적으로, 롤러에 형성되는 롤러마크와, 패턴시트에 형성되는 시트마크를 카메라를 통해 각각 측정하여 이를 바탕으로 수평방향의 상대 위치를 제어할 수 있으며, 거리센서를 이용한 시트마크까지의 거리 측정을 통해 수직방향의 상대 위치를 제어할 수 있어, 공간상에서의 롤러와 패턴시트 사이의 위치 제어를 실시간으로 정확하게 수행할 수 있다. Specifically, the roller mark formed on the roller and the sheet mark formed on the pattern sheet can be measured with a camera, and the relative position in the horizontal direction can be controlled based on this, and the distance to the sheet mark can be measured using a distance sensor. Through this, the relative position in the vertical direction can be controlled, and the position control between the roller and the pattern sheet in space can be accurately performed in real time.

또한, 측정유닛은 이송이 가능하도록 구비되며, 상기 측정유닛의 이송에 따라 카메라에서 촬영된 정보 또는 거리센서에서 측정된 정보를 바탕으로 패턴시트와 롤러사이의 상대적인 회전방향을 제어할 수 있어, 공간상에서의 롤러와 패턴시트 사이의 방향 제어를 실시간으로 정확하게 수행할 수 있다. In addition, the measuring unit is provided to be transportable, and according to the transport of the measuring unit, it is possible to control the relative rotation direction between the pattern sheet and the roller based on the information photographed by the camera or the information measured by the distance sensor, The direction control between the roller and the pattern sheet on the bed can be accurately performed in real time.

나아가, 압력 측정부가 롤러의 양 측에 구비되어, 롤러와 패턴시트 사이의 압력을 측정하여, 상기 롤러가 상대적으로 회전하였는지의 여부를 측정하여, 마찬가지로, 공간상에서의 롤러와 패턴시트 사이의 방향 제어를 실시간으로 정확하게 수행할 수 있다. Furthermore, pressure measuring units are provided on both sides of the roller to measure the pressure between the roller and the pattern sheet to measure whether the roller is relatively rotated, and similarly, to control the direction between the roller and the pattern sheet in space can be performed accurately in real time.

한편, 초기 위치 측정부를 통해 패턴시트의 초기 위치를 측정하여, 상기 패턴시트를 초기 설정 위치에 정확하게 위치시킬 수 있어, 위치 오차를 최소화할 수 있다. On the other hand, by measuring the initial position of the pattern sheet through the initial position measuring unit, it is possible to accurately position the pattern sheet at the initial setting position, it is possible to minimize the position error.

또한, 상기 패턴시트가 스테이지와 함께 이송될 수 있도록 점착 필름이 형성되며, 상기 패턴시트가 상기 롤러로 용이하게 전사되도록 블랭킷이 형성되며, 이 경우, 블랭킷과 패턴시트와의 점착력을 점착 필름과 패턴시트와의 점착력보다 크게 함으로써, 상기 패턴시트의 상기 롤러로의 전사를 보다 용이하게 수행할 수 있다. In addition, an adhesive film is formed so that the pattern sheet can be transported together with the stage, and a blanket is formed so that the pattern sheet is easily transferred to the roller. By making it larger than the adhesive force with the sheet, the transfer of the pattern sheet to the roller can be performed more easily.

또한, 미세패턴 롤의 경우, 상기 롤러로 전사된 상기 패턴시트의 시작단과 끝단을 접합시킴으로써, 상기 롤러 상에 패턴시트를 완전히 고정시킬 수 있어, 상기 미세패턴 롤을 별도의 패터닝 장비에서 보다 안정적으로 사용될 수 있다. In addition, in the case of a fine pattern roll, by bonding the start end and the end of the pattern sheet transferred to the roller, the pattern sheet can be completely fixed on the roller, so that the fine pattern roll is more stable in a separate patterning equipment can be used

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to the preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the claims below. You will understand that you can.

10 : 미세패턴 롤 제작시스템
100 : 롤러 101 : 롤러 마크
110 : 블랭킷 200 : 스테이지
210 : 점착 필름 300 : 패턴시트
301 : 패턴 마크 310 : 미세패턴
400 : 측정유닛 420, 430 : 카메라
440, 450 : 거리 센서 500 : 초기위치 측정부
600 : 압력 측정부 700 : 가열부
800 : 제어부 810 : 회전 제어부
820 : 위치 제어부10: fine pattern roll production system
100: roller 101: roller mark
110: blanket 200: stage
210: adhesive film 300: pattern sheet
301: pattern mark 310: fine pattern
400: measurement unit 420, 430: camera
440, 450: distance sensor 500: initial position measurement unit
600: pressure measuring unit 700: heating unit
800: control unit 810: rotation control unit
820: position control

Claims (16)

제1 방향으로 이송되는 스테이지;
상기 스테이지 상에 위치하며, 상면에 복수의 시트마크들이 형성된 패턴시트;
표면에 복수의 롤러마크들이 형성되고, 회전함에 따라 상기 패턴시트가 상기 표면에 1회 감기는 롤러;
상기 시트마크들 및 상기 롤러마크들을 카메라를 이용하여 촬영하고, 상기 패턴시트의 상면까지의 거리 및 상기 롤러 표면까지의 거리를 거리센서로 측정하여, 상기 패턴시트와 상기 롤러의 위치 또는 방향을 실시간으로 측정하는 측정유닛; 및
상기 측정유닛의 측정정보를 바탕으로, 상기 패턴시트 및 상기 롤러 사이의 정렬(align)을 제어하는 제어부를 포함하는 미세패턴 롤 제작시스템. a stage transferred in a first direction;
a pattern sheet positioned on the stage and having a plurality of sheet marks formed thereon;
a roller on which a plurality of roller marks are formed on the surface, and the pattern sheet is wound once on the surface as it rotates;
The sheet marks and the roller marks are photographed using a camera, and the distance to the upper surface of the pattern sheet and the distance to the roller surface are measured with a distance sensor, so that the position or direction of the pattern sheet and the roller is measured in real time. Measuring unit to measure; and
Based on the measurement information of the measurement unit, fine pattern roll production system comprising a control unit for controlling the alignment (align) between the pattern sheet and the roller. 제1항에 있어서, 상기 측정유닛은,
상기 시트마크들을 촬영하는 제1 카메라;
상기 롤러마크들을 촬영하는 제2 카메라;
상기 패턴시트의 상면까지의 거리를 측정하는 제1 거리센서; 및
상기 롤러의 표면까지의 거리를 측정하는 제2 거리센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 롤 제작시스템. According to claim 1, wherein the measurement unit,
a first camera for photographing the sheet marks;
a second camera for photographing the roller marks;
a first distance sensor for measuring the distance to the upper surface of the pattern sheet; and
A fine pattern roll manufacturing system, characterized in that it comprises a second distance sensor for measuring the distance to the surface of the roller. 제2항에 있어서, 상기 제어부는,
상기 제1 및 제2 카메라들에서 촬영된 정보를 바탕으로, 상기 패턴시트와 상기 롤러 사이의 수평방향의 위치를 제어하는 위치 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 롤 제작시스템. According to claim 2, wherein the control unit,
Based on the information photographed by the first and second cameras, a fine pattern roll production system comprising a position control unit for controlling the horizontal position between the pattern sheet and the roller. 제3항에 있어서, 상기 위치 제어부는,
상기 제1 거리센서에서 측정된 정보를 바탕으로, 상기 패턴시트와 상기 롤러 사이의 수직방향의 위치를 제어하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 롤 제작시스템. According to claim 3, wherein the position control unit,
Based on the information measured by the first distance sensor, a fine pattern roll manufacturing system, characterized in that for controlling the position in the vertical direction between the pattern sheet and the roller. 제2항에 있어서, 상기 측정유닛은,
상기 제1 및 제2 카메라들, 및 상기 제1 및 제2 거리센서들이 고정되는 베이스부를 더 포함하며,
상기 베이스부는 상기 패턴시트의 상부에서 상기 제1 방향 또는 상기 제1 방향에 수직인 제2 방향으로 이송되는 것을 특징으로 하는 미세패턴 롤 제작시스템. According to claim 2, wherein the measurement unit,
The first and second cameras, and a base portion to which the first and second distance sensors are fixed,
The base portion is a fine pattern roll manufacturing system, characterized in that the transfer in the first direction or a second direction perpendicular to the first direction from the upper portion of the pattern sheet. 제5항에 있어서, 상기 제어부는,
상기 베이스부가 상기 제2 방향으로 이송되며 상기 제1 카메라 또는 상기 제2 카메라에서 촬영된 정보를 바탕으로, 상기 패턴시트와 상기 롤러 사이의 제1 회전방향(θx)을 제어하는 회전 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 롤 제작시스템. According to claim 5, wherein the control unit,
The base part is transferred in the second direction and based on the information photographed by the first camera or the second camera, comprising a rotation control unit for controlling a first rotation direction (θx) between the pattern sheet and the roller A fine pattern roll manufacturing system, characterized in that. 제6항에 있어서, 상기 회전 제어부는,
상기 베이스부가 상기 제2 방향으로 이송되며 상기 제2 거리센서에서 측정된 정보를 바탕으로, 상기 패턴시트와 상기 롤러 사이의 제3 회전방향(θz)을 제어하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 롤 제작시스템. The method of claim 6, wherein the rotation control unit,
The base part is transported in the second direction and based on the information measured by the second distance sensor, a third rotational direction θz between the pattern sheet and the roller is controlled. . 제1항에 있어서,
상기 롤러의 양 측에 구비되어, 상기 롤러와 상기 패턴시트 사이의 압력을 측정하는 압력 측정부를 더 포함하는 미세패턴 롤 제작시스템. According to claim 1,
Provided on both sides of the roller, fine pattern roll production system further comprising a pressure measuring unit for measuring the pressure between the roller and the pattern sheet. 제8항에 있어서, 상기 제어부의 회전 제어부는,
상기 압력 측정부의 측정된 정보를 바탕으로, 상기 패턴시트와 상기 롤러 사이의 제1 회전방향(θx)을 제어하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 롤 제작시스템. The method of claim 8, wherein the rotation control unit of the control unit,
Based on the measured information of the pressure measuring unit, a fine pattern roll manufacturing system, characterized in that for controlling the first rotational direction (θx) between the pattern sheet and the roller. 제1항에 있어서,
상기 패턴시트를 냉각 또는 가열하는 가열부를 더 포함하고,
상기 제어부는, 상기 가열부를 제어하여 상기 패턴시트 및 상기 롤러 사이의 정렬(align)을 제어하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 롤 제작시스템. According to claim 1,
Further comprising a heating unit for cooling or heating the pattern sheet,
The control unit, fine pattern roll manufacturing system, characterized in that by controlling the heating unit to control the alignment (alignment) between the pattern sheet and the roller. 제1항에 있어서,
상기 패턴시트의 시작단에 인접하도록 위치한 제1 측정부, 및 상기 패턴시트의 끝단에 인접하도록 위치한 제2 측정부를 포함하는 초기위치 측정부를 더 포함하며,
상기 제1 및 제2 측정부들은 상기 패턴시트의 초기 위치를 측정하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 롤 제작시스템. According to claim 1,
Further comprising an initial position measuring unit comprising a first measuring unit positioned adjacent to the start end of the pattern sheet, and a second measuring unit positioned adjacent to the end of the pattern sheet,
The first and second measurement units fine pattern roll manufacturing system, characterized in that for measuring the initial position of the pattern sheet. 제1항에 있어서,
상기 스테이지의 상면에는 점착 필름이 형성되어, 상기 패턴시트를 상기 스테이지에 고정시키고,
상기 롤러의 표면에는 점착력을 갖는 블랭킷이 형성되어, 상기 패턴시트가 상기 스테이지로부터 상기 롤러로 전사되어 부착되는 것을 특징으로 하는 미세패턴 롤 제작시스템. According to claim 1,
An adhesive film is formed on the upper surface of the stage to fix the pattern sheet to the stage,
A blanket having an adhesive force is formed on the surface of the roller, and the pattern sheet is transferred from the stage to the roller and attached thereto. 제1항에 있어서,
상기 스테이지를 향하는 상기 패턴시트의 저면에 미세패턴들이 형성되는 것을 특징으로 하는 미세패턴 롤 제작시스템. According to claim 1,
A fine pattern roll manufacturing system, characterized in that fine patterns are formed on the bottom surface of the pattern sheet facing the stage. 제1항에 있어서, 상기 패턴시트는,
금속 재질 또는 폴리머 재질을 포함하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 롤 제작시스템. According to claim 1, wherein the pattern sheet,
A fine pattern roll manufacturing system, characterized in that it includes a metal material or a polymer material. 패턴시트를 스테이지에 초기 위치로 고정하는 단계;
상기 패턴시트의 시트마크의 위치를 측정하는 단계;
상기 패턴시트의 위치를 바탕으로 롤러를 초기 위치로 이동시키는 단계;
상기 스테이지가 제1 방향으로 이송되고 상기 롤러가 회전하면서, 상기 롤러에 패턴시트를 감는 단계;
상기 패턴시트와 상기 롤러 사이의 정렬을 실시간으로 제어하는 단계; 및
상기 패턴시트의 시작단과 끝단을 접합하는 단계를 포함하는 미세패턴 롤 제작방법. fixing the pattern sheet to the initial position on the stage;
measuring the position of the sheet mark of the pattern sheet;
moving the roller to an initial position based on the position of the pattern sheet;
winding the pattern sheet on the roller while the stage is transferred in the first direction and the roller rotates;
controlling the alignment between the pattern sheet and the roller in real time; and
A method of manufacturing a fine pattern roll comprising the step of bonding the starting end and the end of the pattern sheet. 제15항에 있어서, 상기 패턴시트를 접합하는 단계에서,
상기 시작단과 상기 끝단을 용접 또는 UV 레진 경화 방법으로 접합하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 롤 제작방법. The method of claim 15, wherein in the step of bonding the pattern sheet,
A method of manufacturing a fine pattern roll, characterized in that the starting end and the end are joined by welding or UV resin curing method.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014024289A (en) 2012-07-30 2014-02-06 Nittoc Constr Co Ltd Solidifying material jet system
KR101692065B1 (en) * 2016-06-07 2017-01-03 한국기계연구원 A method and apparatus for forming a fine pattern roll

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3334091B2 (en) * 1997-07-23 2002-10-15 川崎製鉄株式会社 Roll roll profile measurement method
KR101590102B1 (en) * 2009-05-07 2016-01-29 삼성전자 주식회사 Roll to roll patterning apparatus and patterning system having the same
JP5218352B2 (en) * 2009-09-09 2013-06-26 株式会社Ｉｈｉ Offset printing method and apparatus
CN107405824A (en) * 2015-03-17 2017-11-28 综研化学株式会社 Relief pattern forms the manufacture method and imprinting apparatus of body
JP6220918B2 (en) * 2016-04-22 2017-10-25 株式会社写真化学 Transfer device for electronic device and transfer method for electronic device

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014024289A (en) 2012-07-30 2014-02-06 Nittoc Constr Co Ltd Solidifying material jet system
KR101692065B1 (en) * 2016-06-07 2017-01-03 한국기계연구원 A method and apparatus for forming a fine pattern roll

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