KR102328561B1 - 웨이퍼 정 위치 측정 장치 및 이를 이용한 웨이퍼 이송 로봇 암 교정 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 웨이퍼 정 위치 측정 장치 및 이를 이용한 웨이퍼 이송 로봇 암 교정 방법에 관한 것으로, 정전척의 외부 둘레를 따라 배치될 수 있는 장착부, 그리고 상기 정전척의 정 중앙을 동심으로 하여 상기 장착부에 간격을 두고 복수 배치되어 있고 상기 정전척에 놓이는 웨이퍼의 위치를 측정하는 측정부를 포함한다.
복수 배치된 상기 측정부는 90° 및 180° 간격으로 배치되어 상기 웨이퍼의 외부 둘레면과의 거리를 측정한다.

Description

웨이퍼 정 위치 측정 장치 및 이를 이용한 웨이퍼 이송 로봇 암 교정 방법{Measurement apparatus for wafer position thereof and wafer transferring robot arm calibration method using the same}
본 발명은 웨이퍼 이송용 로봇의 교정 작업을 위한 웨이퍼 정 위치 측정 장치 및 이를 이용한 웨이퍼 이송 로봇 암 교정 방법에 관한 것이다.
반도체 소자를 생산하는 공정은 노광, 식각, 확산, 증착 등의 공정을 선택적으로 수행하는 일련의 과정에 의해서 이루어진다. 이러한 반도체 제조 공정을 순차적으로 수행하기 위하여 웨이퍼를 반도체 제조 장비의 요구되는 위치에 로딩시키거나 언-로딩시키는 과정이 필요하다.
반도체 제조 장비에서 웨이퍼를 이송시키기 위하여 로봇 암이 사용된다. 로봇 암의 동작은 사전에 정해진 위치 설정에 의해서 정확한 동작이 반복된다. 그러나 반도체 제조 장비를 장시간 사용하면 로봇 암의 위치가 조금씩 변경되어 웨이퍼의 이송이 원활하지 못하고 에러가 발생하여 공정이 중단되는 경우가 있다. 이 경우 로봇 암의 동작 위치를 인식시켜 주기 위한 로봇 암 위치 교정(Robot calibration)을 실시한다.
또한, 웨이퍼 이송 계통의 문제로 점검 수리를 할 경우 공정 챔버내 정전척(Electro Static Chuck; ESC)에 웨이퍼가 정확하게 정 위치가 되도록 조정 및 확인을 위해 로봇 암 교정 작업을 진행한다.
로봇 암 교정 작업을 대기압(Atmosphere; ATM) 상태에서 하게 되면서 웨이퍼를 정전척에 안착시킬 때 웨이퍼가 미세하게 움직이게(Sliding) 되면서 정확한 정 위치 작업이 어려웠다.
이와 같은 문제로 인해 정확한 웨이퍼의 정 위치 작업을 위해 공정 진행 조건과 같은 진공상태에서 로봇 암 교정을 하면서 웨이퍼의 정 위치 확인 작업을 진행하고 있다.
진공 상태에서 로봇 암 교정 작업은 공정 챔버 진공상태에서 FOUP(Front-Opening Unified Pods)에서 챔버까지 웨이퍼를 이송한다. 웨이퍼가 정전척의 위에 있는 상태에서 육안으로 웨이퍼가 정전척의 중앙에 정 위치되었는지 확인한다. 정 위치가 안될 시 웨이퍼가 올려진 로봇 암을 얼라이너(Aligner)까지 언-로딩(Un-loading)한다. 그리고 로봇 위치 설정값(Radius, Theta)을 수정한 후 챔버로 다시 로딩(Loading)한다. 웨이퍼가 정전척의 중앙에 정 위치할 때까지 반복하게 된다.
그러나 이와 같은 방법은 웨이퍼 정 위치 상태를 육안으로 확인하고, 더욱이 웨이퍼가 정전척의 위에 놓인 상태에서 육안으로 확인하면 시야각의 차이로 오차가 발생하므로 정확한 측정이 어려웠다.
또한, 웨이퍼가 정전척 중앙에 정 위치가 안될 경우 얼라이너까지 언-로딩 후 로봇 위치 설정값 수정 후 재 로딩하는 과정을 반복하므로 작업시간이 과다하게 소요되었다.
대한민국 공개특허 제10-2019-0005568호 (2019.01.16.) 대한민국 등록특허 제10-0802289호 (2008.01.31.)
본 발명은 웨이퍼가 놓인 로봇 암이 정전척의 위에 있는 상태에서 웨이퍼의 위치를 측정하여 웨이퍼가 정 위치에 위치하지 않은 경우 로봇 암의 위치 설정값을 교정할 수 있도록 한 웨이퍼 정 위치 측정 장치를 제공한다.
본 발명의 한 실시예에 따른 웨이퍼 정 위치 측정 장치는 정전척의 외부 둘레를 따라 배치될 수 있는 장착부, 그리고 상기 정전척의 정 중앙을 동심으로 하여 상기 장착부에 간격을 두고 복수 배치되어 있고 상기 정전척에 놓이는 웨이퍼의 위치를 측정하는 측정부를 포함한다.
복수 배치된 상기 측정부는 90° 및 180° 간격으로 배치되어 상기 웨이퍼의 외부 둘레면과의 거리를 측정할 수 있다.
상기 장착부는 상기 정전척의 일측 외부 둘레를 감싸며 상기 측정부가 90° 간격으로 배치된 장착바디, 상기 정전척의 타측 외부 둘레를 감싸며 양단이 상기 장착바디의 양단과 연결된 고정바디 및 상기 고정바디의 양단을 각각 관통하여 상기 장착바디의 양단에 각각 체결된 결합수단을 포함할 수 있다.
복수의 상기 측정부는 각각, 상기 장착부와 연결된 베이스, 그리고 상기 베이스에 위치하고 상기 웨이퍼를 측정하는 측정부재를 포함할 수 있다.
상기 측정부는 상기 측정부재와 결합되어 있는 설치 플레이트, 그리고 상기 설치 플레이트를 상하 방향으로 이동시키는 위치 조절부를 더 포함할 수 있다.
상기 위치 조절부는 상기 설치 플레이트와 상기 베이스에 체결되어 회전할 수 있는 조절부재, 그리고 상기 설치 플레이트를 관통하여 상기 베이스에 고정된 가이드를 포함할 수 있다.
상기 가이드는 상기 조절부재가 회전할 때 상기 설치 플레이트가 따라 회전하지 않도록 할 수 있다.
본 발명의 한 실시예에 따른 웨이퍼 이송 로봇 암 교정 방법은, 상기와 같이 구성된 웨이퍼 정 위치 측정 장치를 대기압 상태에서 정전척에 장착하는 단계; 로봇 암을 이용하여 상기 정전척으로 웨이퍼를 이송하는 단계; 상기 웨이퍼가 올려진 상기 로봇 암이 상기 정전척의 위에 있는 상태에서 상기 웨이퍼 정 위치 측정 장치의 측정부들이 상기 웨이퍼의 둘레면을 감지하여 거리를 측정하도록 상기 측정부들의 위치를 조절하는 단계; 상기 측정부들과 상기 웨이퍼의 둘레면의 거리를 측정하는 단계; 및 상기 측정부들의 측정값이 동일하게 나오면 웨이퍼가 상기 정전척의 정 중앙에 있다고 판단하여 다음 단계;를 진행하고, 상기 측정부들의 측정값이 동일하지 않으면 동일한 거리 값이 나오도록 상기 로봇 암의 위치 설정값을 수정하는 단계;를 포함한다.
상기 웨이퍼 이송 로봇 암 교정 방법은, 상기 로봇 암의 위치 설정값 수정 후 상기 웨이퍼를 언-로딩/로딩 후 상기 로봇 암에 상기 웨이퍼가 위치한 상태에서 정전척 위에 상기 웨이퍼를 위치시켜 정 위치를 확인하는 단계; 정 위치 측정 장치를 상기 정전척에서 분리하고 챔버를 진공상태로 형성하여 상기 웨이퍼를 정전척 위에 안착시켜 정 위치를 재확인하는 단계; 및 웨이퍼 제조 설비를 백업하는 단계;를 더 포함할 수 있다
본 발명의 실시예에 따르면, 측정부재를 통해 웨이퍼의 치우침을 확인하므로 웨이퍼의 정 위치 여부를 정확하게 확인할 수 있다. 또한 로봇 암이 정전척의 위에 있는 상태에서 로봇 암 위치 설정값을 교정하므로 언-로딩/로딩을 반복하는 작업이 발생하지 않아 로봇 암 위치 설정값 교정에 따른 작업 시간을 단축할 수 있다.
도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 웨이퍼 정 위치 측정 장치가 정전척에 설치된 상태를 나타낸 개략도.
도 2는 도 1의 웨이퍼 정 위치 측정 장치를 나타낸 분해도.
도 3은 도 2의 측정부를 나타낸 분해도.
도 4는 도 1의 정면도.
도 5는 도 1의 평면도.
도 6은 도 5의 일측 측정부 확대도.
이하, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참고로 하여 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다.
그러면 본 발명의 한 실시예에 따른 웨이퍼 정 위치 측정 장치에 대하여 도 1 내지 도 6을 참고하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 웨이퍼 정 위치 측정 장치가 정전척에 설치된 상태를 나타낸 개략도이고, 도 2는 도 1의 웨이퍼 정 위치 측정 장치를 나타낸 분해도이며, 도 3은 도 2의 측정부를 나타낸 분해도이고, 도 4는 도 1의 정면도이며, 도 5는 도 1의 평면도이며, 도 6은 도 5의 일측 측정부 확대도이다.
도 1 내지 도 6을 참고하면, 본 실시예에 따른 웨이퍼 정 위치 측정 장치(100)는 장착부(10), 그리고 측정부(20a, 20b, 20c)를 포함하며 웨이퍼가 놓인 로봇 암이 정전척의 위에 있는 상태에서 웨이퍼가 정전척의 정 위치에 있는지 측정하고, 웨이퍼가 정 위치에 있지 않는 경우 로봇 암이 정전척의 위에 있는 상태에서 로봇 암의 위치 설정값을 교정할 수 있도록 한다.
장착부(10)는 장착바디(11), 고정바디(12) 및 결합수단(13)을 포함하며 웨이퍼 정 위치 측정 장치(100)의 기본 구조를 형성하며 정전척(1)의 외부 둘레에 장착된다.
장착바디(11)와 고정바디(12)는 결합수단(13)을 통해 분리할 수 있게 결합되어 있다. 장착바디(11)와 고정바디(12)는 서로 분리된 상태에서 장착바디(11)는 정전척(1)의 일측 외부 둘레를 감싼다. 고정바디(12)는 로봇 암(2)의 이동 경로인 정전척(1)의 타측 외부 둘레를 감싼다. 여기서, 장착바디(11)는 정전척(1)의 일측 전반을 감싸는 곡선부분(111)과 곡선부분(111)의 양단에서 수직하게 기설정된 길이로 돌출되어 정전척(1)의 외부 둘레와 접하지 않은 직선부분(112)을 포함한다.
한편, 직선부분(112)의 돌출로 고정바디(12)는 정전척(1)의 1/3을 감싸고 있으며 양단이 장착바디(11)의 양단인 직선부분(112)의 끝과 접한 상태에서 결합수단(13)이 고정바디(12)를 관통하여 직선부분(112)에 체결된다. 결합수단(13)은 공지의 볼트를 포함한다. 결합수단(13)은 고정바디(12)와 결합되어 있는 고리와 장착바디(11)에 결합되어 고리가 걸리는 훅을 포함할 수도 있다. 한편, 장착바디(11)와 고정바디(12)가 정전척(1)의 외부 둘레에 장착될 때 그 상면은 정전척(1)의 상면과 동일 평면상에 위치한다.
장착바디(11)의 곡선부분(111)이 정전척(1)의 둘레 1/2을 감싸고 고정바디(12)가 정전척(1)의 둘레 1/3을 감싸는 형태로 결합되므로 장착부(10)를 정전척(1)의 외부 둘레에 쉽게 결합할 수 있다. 즉, 정전척(1)을 사이에 두고 장착바디(11)와 고정바디(12)를 마주하게 배치한 상태에서 장착부(10)를 정전척(1)에 결합하므로 웨이퍼 정 위치 측정 장치(100)를 정전척(1)에 쉽게 결합할 수 있다.
측정부(20a, 20b, 20c)는 3개로 이루어져 있으며 장착바디(11)에 90° 등간격으로 배치되어 있다. 측정부(20a, 20b, 20c)가 고정바디(12)에 배치되어 있지 않아 첫 번째 측정부(20a)와 세 번째 측정부(20c)의 간격은 180° 이다. 측정부(20a, 20b, 20c)들이 고정바디(12)에 배치되어 있지 않아 정전척(1)의 위로 이동하는 로봇 암(2)과 간섭되지 않는다. 아울러 측정부(20a, 20b, 20c)의 개수를 3개로 한정하는 것은 아니다. 측정부(20a, 20b, 20c)의 개수는 3개 이상을 포함할 수도 있다. 이 경우 측정부들의 등간격은 개수에 따라 달라진다.
이러한 측정부(20a, 20b, 20c)는 각각 베이스(21), 측정부재(22), 설치 플레이트(23) 및 위치 조절부(24)를 포함하며 로봇 암(2)에 의해 정전척(1)의 위로 이송된 웨이퍼(W)의 둘레면과의 거리를 측정한다.
베이스(21)는 기설정된 넓이를 가지며 장착바디(11)의 외부 둘레면에 체결수단으로 분리할 수 있게 결합되어 있다. 그러나 베이스(21)는 장착바디(11)와 일체로 형성될 수 있다.
측정부재(22)는 수광부, 발광부를 가지는 공지의 거리측정센서를 포함하며 베이스(21)에 위치하고 있다. 측정부재(22)는 레이저를 이용할 수 있다.
측정부(20a, 20b, 20c)들의 측정부재(22)는 정전척(1)의 정 중앙을 동심으로 배치되어 있다. 이에 측정부재(22)의 수광부/발광부는 정전척(1)의 정 중앙에서 동일한 거리로 떨어져 있다. 측정부재(22)는 수광부/발광부를 통해 로봇 암(2)에 올려져 정전척(1)의 위에 있는 웨이퍼(W)의 둘레면과의 거리를 측정한다. 측정부(20a, 20b, 20c)들은 컨트롤러(도시하지 않음)와 연결되어 있으며 측정된 거리를 표시한다.
설치 플레이트(23)는 베이스(21)의 위에 배치되어 있으며 측정부재(22)가 하면에 배치되어 있으며 위치 조절부(24)에 의해 상하 방향으로 움직일 수 있다. 그러나 측정부재(22)는 설치 플레이트(23)의 상면에 배치될 수도 있다. 측정부재(22)의 배치 위치는 측정부(20a, 20b, 20c)의 설계에 따라 다양하게 변경될 수 있다.
설치 플레이트(23)의 움직임으로 측정부재(22) 또한 상하 방향으로 움직인다. 측정부재(22)의 수광부/발광부와 웨이퍼(W)의 둘레면과 일치하지 않으면 위치 조절부(24)로 설치 플레이트(23)의 위치를 조절하여 수광부/발광부와 웨이퍼(W)의 둘레면이 일치하도록 한다.
위치 조절부(24)는 조절부재(241), 그리고 가이드(242)를 포함한다.
가이드(242)는 한 쌍으로 이루어져 측정부재(22)를 사이에 두고 설치 플레이트(23)를 관통하여 베이스(21)에 체결되어 있다. 가이드(242)의 외부 둘레와 설치 플레이트(23)의 관통홀(231)의 둘레 사이에는 틈새가 형성된다.
조절부재(241)는 볼트를 포함하며 설치 플레이트(23)와 베이스(21)에 체결되어 있다. 그러나 조절부재(241)는 설치 플레이트(23)에 체결되고 베이스(21)에 회전할 수 있게 연결될 수도 있다.
조절부재(241)를 회전시키면 설치 플레이트(23)는 조절부재(241)를 따라 회전하려고 한다. 이때 가이드(242)에 의해 설치 플레이트(23)는 회전하지 못하고 상승 또는 하강하게 된다. 설치 플레이트(23)의 위치 이동으로 측정부재(22)의 수광부/발광부가 웨이퍼(W)의 둘레면과 일치하도록 위치를 조절한다. 설치 플레이트(23)의 상승 또는 하강은 조절부재(241)의 회전 방향에 따라 달라진다. 측정부재(22)의 수광부/발광부가 웨이퍼(W)의 둘레면보다 아래에 있으면 설치 플레이트(23)를 상승시켜 측정부재(22)의 위치를 조절한다. 이와 반대로 수광부/발광부가 웨이퍼(W)의 둘레면보다 위에 있으면 설치 플레이트(23)를 하강시켜 측정부재(22)의 위치를 조절한다.
이처럼 웨이퍼 정 위치 측정 장치(100)가 정전척(1)에 장착되고, 웨이퍼(W)가 올려진 로봇 암(2)이 정전척(1)의 위로 이동한 상태에서 웨이퍼 정 위치 측정 장치(100)의 측정부(20a, 20b, 20c)들은 웨이퍼(W)와의 거리를 측정한다. 이때 측정부(20a, 20b, 20c)들이 측정한 거리가 동일하면 웨이퍼(W)는 정전척(1)의 정 위치에 위치한다. 그러나 측정부(20a, 20b, 20c)들이 측정한 거리가 서로 다르면 웨이퍼(W)는 정전척(1)의 정 위치를 벗어나 일측으로 치우친 상태가 된다. 이때 웨이퍼(W)가 정전척(1)의 정 위치에 위치하도록 로봇 암(2)의 위치 설정값을 교정한다.
다음으로 웨이퍼 정 위치 측정 장치를 이용한 웨이퍼 이송 로봇 암 교정 방법에 대해 설명한다.
본 실시예에 따른 웨이퍼 이송 로봇 암 교정 방법은 웨이퍼 정 위치 측정 장치 장착단계(S10), 웨이퍼 이송단계(S20), 측정부 위치 조절단계(S30), 거리 측정단계(S40), 로봇 암 위치 설정값 수정 단계(S50)를 포함한다.
반도체 제조 장치에서 로봇 암 위치 교정을 진행해야 할 경우 정전척(1)에 웨이퍼 정 위치 측정 장치(100)를 장착한다. 이때 장착부(10)의 장착바디(11)와 고정바디(12)를 분리한 상태에서 정전척(1)을 사이에 두고 서로 마주하도록 한다. 그리고 장착바디(11)와 고정바디(12)가 정전척(1)의 외부 둘레에 감싸도록 배치하여 장착바디(11)와 고정바디(12)의 양단이 서로 접하도록 한다. 결합수단(13)으로 장착바디(11)와 고정바디(12)를 결합하여 장착부(10)를 정전척(1)의 외부 둘레에 고정한다(S10).
풉(Foup)에 적재된 웨이퍼(W)를 로봇 암(2)을 이용하여 정전척(1)의 위로 이송한다(S20).
웨이퍼(W)가 놓인 로봇 암(2)이 정전척(1)의 위에 있는 상태에서 측정부(20a, 20b, 20c)들의 위치를 조절한다. 측정부(20a, 20b, 20c)들은 각각의 위치 조절부(24)를 통해 측정부재(22)의 수광부/발광부가 웨이퍼(W)의 둘레면과 일치하도록 하여 웨이퍼(W)를 감지하도록 위치를 조절한다. 이때 웨이퍼(W)의 위치에 따라 측정부재(22)는 상승 또는 하강한다(S30).
측정부재(22)의 수광부/발광부가 웨이퍼(W)의 둘레면과 일치하면 측정부재(22)는 웨이퍼(W)와의 거리를 측정한다(S40). 측정된 거리 값은 컨트롤러를 통해 표시된다.
이때 측정부(20a, 20b, 20c)들의 측정부재(22)가 정전척(1)의 정 중앙을 동심으로 배치되어 있으므로 웨이퍼(W)가 정전척(1)의 정 중앙에 위치하면 측정부(20a, 20b, 20c)들의 측정부재(22)가 측정한 거리는 동일하게 측정된다. 이 경우 로봇 암 위치 설정값의 교정이 발생하지 않는다.
그러나 웨이퍼(W)가 정전척(1)의 정 중앙을 벗어나 일측으로 치우친 상태로 위치하면 일측 측정부(20a)의 측정부재(22)가 측정한 거리와 타측 측정부(20c)의 측정부재(22)가 측정한 거리는 다르다. 이 경우 로봇 암(2)이 정전척(1)의 위에서 일측으로 치우친 상태이므로 타측으로 이동할 수 있도록 로봇 암 위치 설정값을 수정(교정)한다(S50).
본 실시예에 따른 웨이퍼 이송 로봇 암 교정 방법은 웨이퍼의 정 위치를 확인하는 단계(S60), 재확인하는 단계(S70) 및 제조 설비를 백업하는 단계(S80)를 더 포함한다.
로봇 암 위치 설정값 수정 후 로봇 암은 웨이퍼를 정전척의 위에 위치시키며 이때 작업자는 정전척 위에 있는 웨이퍼의 정 위치를 확인한다(S60).
작업자는 웨이퍼의 정 위치 확인 후 웨이퍼 정 위치 측정 장치(100)를 정전척에서 분리한다. 마지막으로 작업자는 챔버를 진공상태로 하여 웨이퍼의 정 위치를 재확인한다(S70). 그리고 제조 설비를 백업한다(S80).
이에 따라 수광부/발광부를 가지는 측정부재(22)를 통해 웨이퍼의 치우침을 확인하므로 웨이퍼의 정 위치 여부를 정확하게 확인할 수 있다. 또한 로봇 암(2)이 정전척(1)의 위에 있는 상태에서 로봇 암 위치 설정값을 교정하므로 언-로딩/로딩을 반복하는 작업이 발생하지 않아 로봇 암 위치 설정값 교정에 따른 작업 시간을 단축할 수 있다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
1: 정전척 2: 로봇 암
W: 웨이퍼 100: 웨이퍼 정 위치 측정 장치
10: 장착부 11: 장착바디
111: 곡선부분 112: 직선부분
12: 고정바디 13: 결합수단
20a, 20b, 20c: 측정부 21: 베이스
22: 측정부재 23: 설치 플레이트
231: 관통홀 24: 위치 조절부
241: 조절부재 242: 가이드

Claims (7)

  1. 정전척의 외부 둘레를 따라 배치될 수 있는 장착부, 그리고
    상기 정전척의 정 중앙을 동심으로 하여 상기 장착부에 간격을 두고 복수 배치되어 있고 상기 정전척에 놓이는 웨이퍼의 위치를 측정하는 측정부
    를 포함하며,
    복수의 상기 측정부는 각각
    상기 장착부와 연결된 베이스,
    상기 베이스에 위치하고 상기 웨이퍼를 측정하는 측정부재,
    상기 측정부재와 결합되어 있는 설치 플레이트 및
    상기 설치 플레이트를 상하 방향으로 이동시키는 위치 조절부
    를 포함하며
    복수 배치된 상기 측정부는 상기 웨이퍼의 외부 둘레면과의 거리를 측정하는
    웨이퍼 정 위치 측정 장치.
  2. 제1항에서,
    상기 장착부는,
    상기 정전척의 일측 외부 둘레를 감싸며 상기 측정부가 90° 간격으로 배치된 장착바디;
    상기 정전척의 타측 외부 둘레를 감싸며 양단이 상기 장착바디의 양단과 연결된 고정바디; 및
    상기 고정바디의 양단을 각각 관통하여 상기 장착바디의 양단에 각각 체결된 결합수단;
    을 포함하는
    웨이퍼 정 위치 측정 장치.
  3. 제1항에서,
    복수 배치된 상기 측정부는 90° 및 180° 간격으로 배치되어 있는 웨이퍼 정 위치 측정 장치.
  4. 삭제
  5. 제1항에서,
    상기 위치 조절부는,
    상기 설치 플레이트와 상기 베이스에 체결되어 회전할 수 있는 조절부재; 그리고
    상기 설치 플레이트를 관통하여 상기 베이스에 고정된 가이드;
    를 포함하며,
    상기 가이드는 상기 조절부재가 회전할 때 상기 설치 플레이트가 따라 회전하지 않도록 하는
    웨이퍼 정 위치 측정 장치.
  6. 제1항 내지 제3항 및 제5항 중 선택된 어느 한 항에 정의되어 있는 웨이퍼 정 위치 측정 장치를 대기압 상태에서 정전척에 장착하는 단계;
    로봇 암을 이용하여 상기 정전척으로 웨이퍼를 이송하는 단계;
    상기 웨이퍼가 올려진 상기 로봇 암이 상기 정전척의 위에 있는 상태에서 상기 웨이퍼 정 위치 측정 장치의 측정부들이 상기 웨이퍼의 둘레면을 감지하여 거리를 측정하도록 상기 측정부들의 위치를 조절하는 단계;
    상기 측정부들과 상기 웨이퍼의 둘레면의 거리를 측정하는 단계; 및
    상기 측정부들의 측정값이 동일하게 나오면 웨이퍼가 상기 정전척의 정 중앙에 있다고 판단하여 다음 단계를 진행하고, 상기 측정부들의 측정값이 동일하지 않으면 동일한 거리 값이 나오도록 상기 로봇 암의 위치 설정값을 수정하는 단계;
    를 포함하는 웨이퍼 이송 로봇 암 교정 방법.
  7. 제6항에서,
    상기 로봇 암의 위치 설정값 수정 후 상기 웨이퍼를 언-로딩/로딩 후 상기 로봇 암에 상기 웨이퍼가 위치한 상태에서 정전척 위에 상기 웨이퍼를 위치시켜 정 위치를 확인하는 단계;
    상기 정 위치 측정 장치를 상기 정전척에서 분리하고 챔버를 진공상태로 형성하여 상기 웨이퍼를 정전척 위에 안착시켜 정 위치를 재확인하는 단계; 및
    웨이퍼 제조 설비를 백업하는 단계
    를 더 포함하는
    웨이퍼 이송 로봇 암 교정 방법.
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