KR100621620B1 - 웨이퍼 이송 기구 및 이를 포함하는 폴리싱 장치 - Google Patents
웨이퍼 이송 기구 및 이를 포함하는 폴리싱 장치 Download PDFInfo
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- 웨이퍼가 놓여지는 경사부를 갖는 원형의 트레이;상기 트레이의 원주 방향으로 배치되는 가이드; 및상기 웨이퍼의 측벽을 센싱하여 상기 웨이퍼가 상기 트레이에 적합하게 마운팅되어 있는지 여부를 감지하는 복수개의 센서;를 포함하고, 상기 복수개의 센서는 각각 발광부와 수광부를 포함하며, 상기 발광부와 수광부는 센싱하는 웨이퍼의 가장자리 측벽 두께 방향과 동일한 방향으로 배치되거나 또는 이와 수직한 방향으로 배치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 기구.
- 웨이퍼를 홀딩하는 웨이퍼 홀딩부를 포함하는 연마부; 및웨이퍼가 놓여지는 경사부를 갖는 원형의 트레이와, 상기 트레이의 원주 방향으로 배치되는 가이드와, 상기 가이드와 트레이를 상하 방향으로 이동시키는 푸셔와, 복수개의 센서를 포함하는 웨이퍼 이송 기구를 포함하며,상기 복수개의 센서는 상기 웨이퍼가 상기 트레이에 적합한 마운팅 위치에 있는 경우 상기 웨이퍼의 측벽에 광을 조사하고 상기 측벽으로부터 반사되는 광을 수용함으로써 상기 웨이퍼의 적합한 마운팅 위치를 감지하는 것을 특징으로 하는 폴리싱 장치.
- 제9항에 있어서,상기 복수개의 센서 각각은 상기 트레이에 수용되는 웨이퍼의 원주 방향으로 등간격으로 배치되는 것을 특징으로 하는 폴리싱 장치.
- 제9항에 있어서,상기 복수개의 센서는 적어도 2개의 센서이고, 상기 적어도 2개의 센서 각각은 상기 트레이에 수용되는 웨이퍼의 원주 방향으로 소정의 거리를 가지고 위치하는 것을 특징으로 하는 폴리싱 장치.
- 제9항에 있어서,상기 복수개의 센서는 적어도 2개의 센서이고, 상기 적어도 2개의 센서 각각은 상기 트레이에 수용되는 웨이퍼 중심을 기준으로 서로 마주보는 위치에 있는 것을 특징으로 하는 폴리싱 장치.
- 제9항에 있어서,상기 복수개의 센서는 각각 발광부와 수광부를 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리싱 장치.
- 제13항에 있어서,상기 발광부와 수광부는 일체형인 것을 특징으로 하는 폴리싱 장치.
- 제13항에 있어서,상기 발광부와 수광부는 분리형인 것을 특징으로 하는 폴리싱 장치.
- 제13항에 있어서,상기 발광부와 수광부는 센싱하는 웨이퍼의 가장자리 측벽 두께 방향과 동일한 방향으로 배치되거나 또는 이와 수직한 방향으로 배치되는 것을 특징으로 하는 폴리싱 장치.
- 제9항에 있어서,웨이퍼가 적재된 적재부와;상기 적재부로부터 상기 웨이퍼 이송부로 웨이퍼를 건네주는 제1로봇과;연마된 웨이퍼를 세정하는 세정부와;연마된 웨이퍼를 상기 웨이퍼 이송 기구로부터 건네받아 상기 세정부로 건네주는 제2로봇과;상기 웨이퍼 이송 기구가 이동되는 공간을 제공하는 이동로를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리싱 장치.
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