KR102287009B1 - 면상 발열 히터 제조방법 및 이에 의해 제조되는 면상 발열 히터 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일실시예는 편평도가 높고, 균일한 발열이 가능한 면상 발열 히터를 제조할 수 있는 면상 발열 히터 제조방법 및 면상 발열 히터를 제공한다. 여기서, 면상 발열 히터 제조방법은 기판의 하면에 제1절연물질을 코팅하고 열경화시켜 제1절연층을 마련하는 단계와, 기판의 상면에 제2절연물질을 코팅하고 열경화시켜 제2절연층을 마련하는 단계와, 제2절연층의 상면에 도선을 패터닝하는 단계와, 제2절연층의 상면에 도선과 연결되는 저항선을 패터닝하는 단계와, 도선 및 저항선의 상부에 제3절연물질을 코팅하고 열경화시켜 제3절연층을 마련하는 단계를 포함한다.

Description

면상 발열 히터 제조방법 및 이에 의해 제조되는 면상 발열 히터{METHOD OF MANUFACTURING PLATE HEATER AND PLATE HEATER MANUFACTURED THEREBY}
본 발명은 면상 발열 히터 제조방법 및 면상 발열 히터에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 편평도가 높고, 균일한 발열이 가능한 면상 발열 히터를 제조할 수 있는 면상 발열 히터 제조방법 및 면상 발열 히터에 관한 것이다.
면상 발열 히터(plate heater)는 냉동 진열장의 유리 표면, 창호 시스템, 자동차 유리 표면, 욕실 거울 등과 같은 제품에서 뿐만 아니라, 세정된 반도체 기판을 건조하는 건조 공정에서와 같은 제품의 제조공정에서도 사용되고 있다. 즉, 면상 발열 히터는 예시한 사례들에 있어 주변 온도 차이로 인한 김서림이나, 결로 현상으로 인하여 발생하는 불편함을 제거하기 위한 목적뿐만 아니라, 제조공정 중의 수분을 제거하기 위한 목적으로도 사용되고 있다.
통상적으로, 면상 발열 히터는 부도체 기판에 전도성 발열 물질을 코팅하고, 전도성 발열 물질의 일측부에는 제1 전극을 설치하고, 타측부에는 제2 전극을 설치하는 구조로 설계되는 것이 일반적이다. 제1 전극 및 제2 전극에 직류 또는 교류 전압을 걸어주면 전도성 발열 물질에 전류가 흐르게 되면서 발열하게 된다.
그리고, 부도체 기판은 기판의 표면에 절연층이 코팅되어 형성될 수 있는데, 통상적으로 절연층은 페이스트 상태의 절연물질을 열경화하여 제조된다. 그런데, 절연물질을 열경화하는 과정에서 절연물질의 수축이 발생하게 되면 기판이 벤딩되는 현상이 발생하게 된다. 기판의 벤딩은 특히 대면적의 면상 발열 히터의 편평도를 저해하는 문제점이 된다.
또한, 종래 면상 발열 히터는 국부적인 과열 현상이 일어나서(특히 중앙부에 열이 집중됨) 면상 발열 히터 전면에 걸쳐 발열이 균일하게 일어나지 않는 문제점이 있다. 이러한 문제점은 김서림이나 결로 현상을 제거하거나, 제조공정 중의 수분을 제하는 효율을 저하시키는 원인이 된다.
따라서, 면상 발명 히터의 편평도를 높이고, 면상 발열 히터 전체적으로 균일한 발열이 가능하도록 하기 위한 기술이 요구된다.
대한민국 공개특허공보 제2013-0046104호(2013.05.07. 공개)
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 편평도가 높고, 균일한 발열이 가능한 면상 발열 히터를 제조할 수 있는 면상 발열 히터 제조방법 및 면상 발열 히터를 제공하는 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일실시예는 기판의 하면에 제1절연물질을 코팅하고 열경화시켜 제1절연층을 마련하는 제1절연층 마련단계; 상기 기판의 상면에 제2절연물질을 코팅하고 열경화시켜 제2절연층을 마련하는 제2절연층 마련단계; 상기 제2절연층의 상면에 도선을 패터닝하는 도선 패터닝단계; 상기 제2절연층의 상면에 상기 도선과 연결되는 저항선을 패터닝하는 저항선 패터닝단계; 그리고 상기 도선 및 상기 저항선의 상부에 제3절연물질을 코팅하고 열경화시켜 제3절연층을 마련하는 제3절연층 마련단계를 포함하는 면상 발열 히터 제조방법을 제공한다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 제1절연물질 및 상기 제3절연물질 열경화 시에 수축되는 제1수축률을 가지고, 상기 제2절연물질은 상기 제1수축률보다 작은 제2수축률을 가질 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 제1절연층 마련단계에서 상기 제1절연층이 수축 형성되면서 상기 기판은 하측으로 벤딩되고, 상기 제2절연층 마련단계에서 상기 제2절연층이 수축 형성되면서 상기 기판은 상측으로 벤딩되어 초기의 편평한 상태로 복원될 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 제1절연층 마련단계에서 상기 제1절연물질은 845 내지 855℃의 온도에서 열경화될 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 제2절연층 마련단계에서 상기 제2절연물질은 845 내지 855℃의 온도에서 열경화되고, 상기 열경화되는 공정은 복수 회 반복될 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 제3절연층 마련단계는 상기 도선의 파손이 방지되도록 상기 제3절연물질을 815 내지 825℃의 온도에서 복수 회 예비 열경화하는 예비 열경화 단계와, 예비 열경화된 상기 제3절연물질을 845 내지 855℃의 온도에서 열경화하는 후속 열경화 단계를 가질 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 도선 패터닝단계에서, 상기 도선은 플러스 전원이 연결되는 제1도선과, 접지되는 제2도선으로 패터닝되고, 상기 저항선 패터닝단계에서, 저항선은 상기 제1도선에 통전 시에 발열되도록, 상기 제1도선 및 상기 제2도선을 연결하도록 패터닝될 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 저항선 패터닝단계에서, 상기 저항선은 적어도 일부분이 절단된 절단부를 더 가지도록 패터닝되고, 상기 저항선 패터닝단계 이후에, 상기 절단부에 패터닝되어 이웃하는 저항선을 연결하는 연결 도선을 패터닝하는 연결 도선 패터닝단계를 더 포함할 수 있다.
한편, 상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일실시예는 기판; 상기 기판의 하면에 마련되는 제1절연층; 상기 기판의 상면에 마련되는 제2절연층; 상기 제2절연층의 상면에 패터닝되는 도선; 상기 제2절연층의 상면에 상기 도선과 연결되도록 패터닝되는 저항선; 그리고 상기 도선 및 상기 저항선의 상부에 마련되는 제3절연층을 포함하는 면상 발열 히터를 제공한다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 도선은 플러스 전원이 연결되는 제1도선과, 접지되는 제2도선을 가지고, 상기 저항선은 상기 제1도선 및 상기 제2도선을 연결하도록 마련되어 상기 제1도선에 통전 시에 발열할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 저항선은 적어도 일부분이 절단된 절단부를 더 가지고, 상기 도선은 상기 절단부에 패터닝되어 이웃하는 저항선을 연결하는 연결 도선을 더 가질 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 제1절연물질이 경화되면서 기판이 하측으로 벤딩되더라도 이후 제2절연물질이 제2절연층으로 수축 형성되는 과정에서 기판이 상측으로 벤딩되면서 초기의 편평한 상태로 복원될 수 있기 때문에, 면상 발열 히터의 편평도가 높아질 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 제1도선 및 제2도선을 연결하는 저항선이 복수개로 마련되기 때문에, 각각의 저항선에서의 발열온도는 균일할 수 있으며, 면상 발열 히터 전체적으로 봤을 때 발열이 균일해질 수 있다.
본 발명의 효과는 상기한 효과로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 상세한 설명 또는 청구범위에 기재된 발명의 구성으로부터 추론 가능한 모든 효과를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 면상 발열 히터 제조방법을 나타낸 흐름도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 면상 발열 히터 제조방법 중 제3절연층 마련단계를 나타낸 흐름도이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 면상 발열 히터 제조공정을 나타낸 공정도이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 면상 발열 히터를 나타낸 예시도이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 면상 발열 히터의 저항선 형태를 비교하기 위한 예시도이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 면상 발열 히터의 다른 예를 나타낸 예시도이다.
이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 따라서 여기에서 설명하는 실시예로 한정되는 것은 아니다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 “연결(접속, 접촉, 결합)”되어 있다고 할 때, 이는 “직접적으로 연결”되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 부재를 사이에 두고 “간접적으로 연결”되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 “포함”한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 구비할 수 있다는 것을 의미한다.
본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, “포함하다” 또는 “가지다” 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 면상 발열 히터 제조방법을 나타낸 흐름도이고, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 면상 발열 히터 제조방법 중 제3절연층 마련단계를 나타낸 흐름도이고, 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 면상 발열 히터 제조공정을 나타낸 공정도이고, 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 면상 발열 히터를 나타낸 예시도이다.
도 1 내지 도 4에서 보는 바와 같이, 면상 발열 히터 제조방법은 제1절연층 마련단계(S110), 제2절연층 마련단계(S120), 도선 패터닝단계(S130), 저항선 패터닝단계(S140) 그리고 제3절연층 마련단계(S160)를 포함할 수 있다.
제1절연층 마련단계(S110)는 기판(210)의 하면에 제1절연물질(220)을 코팅하고 열경화시켜 제1절연층(221)을 마련하는 단계일 수 있다.
기판(210)은 평판 형태일 수 있다. 기판(210)의 소재는 특정하게 한정되지는 않는다. 예컨대, 기판(210)은 금속 기판일 수 있으며, 이 경우 알루미늄 또는 스틸 소재가 사용될 수 있다. 또는 기판(210)은 세라믹 소재로 형성될 수도 있다.
제1절연물질(220)은 페이스트(Paste) 형태일 수 있다. 제1절연물질(220)은 특정하게 한정되는 것은 아니며, 예를 들면, 미세 유리(Glass frit) 및 바인딩 물질을 포함하는 형태로 이루어질 수 있다.
제1절연물질(220)이 기판(210)의 하면에 코팅된 후, 열경화되면 소성 변형되면서 제1절연층(221)이 될 수 있다. 제1절연물질(220)은 열경화되면서 기판(210)에 접착될 수 있고, 또한 동시에 수축될 수 있으며, 제1절연물질(220)이 제1절연층(221)이 되는 과정에서 기판(210)은 하측으로 벤딩될 수 있다. 즉, 제1절연층(221)은 수축 형성될 수 있다. 제1절연물질(220)은 845 내지 855℃의 온도에서 열경화될 수 있다.
제2절연층 마련단계(S120)는 기판(210)의 상면에 제2절연물질(230)을 코팅하고 열경화시켜 제2절연층(231)을 마련하는 단계일 수 있다.
제2절연물질(230)은 페이스트(Paste) 형태일 수 있다. 제2절연물질(230)은 특정하게 한정되는 것은 아니며, 예를 들면, 미세 유리 및 바인딩 물질을 포함하는 형태로 이루어질 수 있다. 다만, 제2절연물질(230)은 제1수축률보다는 작은 제2수축률을 가질 수 있다.
제2절연물질(230)도 845 내지 855℃의 온도에서 열경화될 수 있다. 그리고, 제2절연물질(230)을 열경화하는 공정은 복수 회 반복될 수 있으며, 바람직하게는 6회 반복될 수 있다.
제2절연물질(230)은 열경화되면서 기판(210)에 접착될 수 있고, 또한 동시에 수축될 수 있다. 제2절연물질(230)이 제2절연층(231)으로 수축 형성되는 과정에서 기판(210)은 상측으로 벤딩될 수 있으며, 이를 통해, 기판(210)은 초기의 편평한 상태로 복원될 수 있다.
도선 패터닝단계(S130)는 제2절연층(231)의 상면에 도선(240)을 패터닝하는 단계일 수 있다.
도선 패터닝단계(S130)에서 도선(240)은 플러스 전원이 연결되는 제1도선(241)과, 접지되는 제2도선(242)으로 패터닝될 수 있다. 도선(240)은 금(Au), 은(Ag), 팔라듐(Pd)으로 형성될 수 있다.
저항선 패터닝단계(S140)는 제2절연층(231)의 상면에 도선(240)과 연결되는 저항선(250)을 패터닝하는 단계일 수 있다.
저항선(250)은 제1도선(241)에 통전 시에 발열되도록, 제1도선 및 제2도선(242)을 연결하도록 패터닝될 수 있다.
저항선 패터닝단계(S140)에서 저항선(250)은 적어도 일부분이 절단된 절단부(251)를 더 가지도록 패터닝될 수 있으며, 면상 발열 히터 제조방법은 저항선 패터닝단계(S140) 이후에 수행되는 연결 도선 패터닝단계(S150를 더 포함할 수 있다.
연결 도선 패터닝단계(S150는 절단부(251)에 패터닝되어 이웃하는 저항선을 연결하는 연결 도선(243)을 패터닝하는 단계일 수 있으며, 연결 도선(243)은 도선(240)과 같은 소재일 수 있다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 면상 발열 히터의 저항선 형태를 비교하기 위한 예시도인데, 도 5의 (a)는 제1도선(41) 및 제2도선(42)을 연결하는 저항선(25)이 길이가 긴 단일의 저항선(25)인 형태를 나타낸 것이고, 도 5의 (b)는 본 발명의 일실시예에서와 같이 복수의 저항선에 의헤 제1도선(241) 및 제2도선(242)이 연결되는 형태를 나타낸 것이다.
먼저, 도 5의 (a)를 참조하면, 제1도선(41) 및 제2도선(42)을 연결하는 복수의 행(A1,B2,A3)에 각각 마련되는 저항선(25)이 길이가 긴 단일의 형태로 마련되는 경우, 단일의 저항선(25) 내에서도 부분별로 발열온도가 달라질 수 있다. 따라서, 각각의 행(A1,B2,A3)에서 발생하는 열이 서로 달라지게 되고, 면상 발열 히터 전체적으로 봤을 때, 발열이 불균일할 수 있다.
반면, 도 5의 (b)에서 보는 바와 같이, 제1도선(241) 및 제2도선(242)을 연결하는 행(A1,B2,A3)에 각각 마련되는 저항선(250)이 복수개로 마련되는 경우, 각 저항선(250)의 길이는 전술한 저항선(25)보다 짧아질 수 있다. 따라서, 각각의 저항선(250)에서의 발열온도는 균일할 수 있으며, 면상 발열 히터 전체적으로 봤을 때 발열이 균일해질 수 있다.
제3절연층 마련단계(S160)는 도선(240) 및 저항선(250)의 상부에 제3절연물질(260)을 코팅하고 열경화시켜 제3절연층(261)을 마련하는 단계일 수 있다.
제3절연물질(260)은 제1절연물질(220)과 동일할 수 있다. 따라서, 제1절연물질(220)과 같은 제1수축률을 가질 수 있다. 제3절연물질(260)은 열경화되면 소성 변형되면서 제3절연층(261)이 될 수 있다.
제3절연층 마련단계(S160)는 예비 열경화 단계(S161) 및 후속 열경화 단계(S162)를 가질 수 있다.
예비 열경화 단계(S161)는 제3절연물질(260)을 815 내지 825℃의 온도에서 복수 회 예비 열경화하는 단계일 수 있다. 예비 열경화 공정은 바람직하게는 2회 반복될 수 있다.
도선(240)의 소재로 사용되는 금, 은 또는 팔라듐은 830℃ 이상에서 유동이 발생할 수 있다. 따라서, 제3절연물질(260)을 바로 845 내지 855℃의 온도에서 열경화게 되면, 도선(240)을 이루는 소재의 유동으로 패터닝된 도선(240)이 터짐 현상이 발생할 수 있다.
그러나, 예비 열경화 단계(S161)는 금, 은 또는 팔라듐의 유동이 발생하지 않는 온도 범위에서 진행되기 때문에, 도선(240)의 파손을 방지하면서 제3절연물질(260)의 열경화를 유도할 수 있다.
후속 열경화 단계(S162)는 예비 열경화된 제3절연물질(260)을 845 내지 855℃의 온도에서 열경화하는 단계일 수 있다. 후속 열경화 단계(S162)를 통해 제3절연물질(260)은 제3절연층(261)으로 형성될 수 있다.
제3절연물질(260)은 예비 열경화 단계(S161)를 거치기 때문에, 열경화 공정 시에 수축이 상대적을 적다. 또한, 제3절연물질(260)은 제1절연물질(220) 및 제2절연물질(230)보다 기판(210)으로부터 상대적으로 더 멀리 마련되고, 기판(210)에 직접 접촉되는 것이 아니기 때문에, 기판(210)이 상측으로 벤딩되는 현상은 발생하기 않거나 미미할 수 있으며, 면상 발열 히터의 편평도는 높아질 수 있다.
이러한 방법으로 제조되는 면상 발열 히터(200)는 기판(210)과, 기판(210)의 하면에 마련되는 제1절연층(221)과, 기판(210)의 상면에 마련되는 제2절연층(231)을 포함할 수 있다. 또한, 면상 발열 히터(200)는 제2절연층(231)의 상면에 패턴되는 도선(240)과, 제2절연층(231)의 상면에 도선(240)과 연결되도록 패터닝되는 저항선(250)과, 도선(240) 및 저항선(250)의 상부에 마련되는 제3절연층(261)을 포함할 수 있다.
도선(240)은 플러스 전원이 연결되는 제1도선(241)과, 접지되는 제2도선(242)을 가질 수 있으며, 저항선(250)은 제1도선(241) 및 제2도선(242)을 연결하도록 마련되어 제1도선(241)에 통전 시에 발열할 수 있다.
여기서, 저항선(250)은 적어도 일부분이 절단된 절단부(251)를 더 가질 수 있으며, 도선(240)은 절단부(251)에 패터닝되어 이웃하는 저항선(250)을 연결하는 연결 도선(243)을 더 가질 수 있다.
한편, 도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 면상 발열 히터의 다른 예를 나타낸 예시도이다.
도 6에서 보는 바와 같이, 면상 발열 히터(200)는 도 4에 도시된 바와 같은 제1발열부(B1)와, 제1발열부(B1)에 이웃하게 마련되는 제2발열부(B2)를 더 가지도록 형성될 수 있다.
제2발열부(B2)는 제1발열부(B1)의 제1도선(241)이 연장되어 마련되는 제1연장도선(241a)과, 제2발열부(B2)의 제2도선(242)이 연장되어 마련되는 제2연장도선(242a)과, 제1연장도선(241a) 및 제2연장도선(242a)을 연결하는 복수의 저항선(250a)과, 이웃하는 저항선(250a)을 연결하는 연결 도선(243a)을 가질 수 있다.
즉, 제2발열부(B2)는 제1발열부(B1)의 제1도선(241) 및 제2도선(242)이 연장되도록 하고, 이렇게 연장된 도선에 저항선을 마련함으로써 형성될 수 있으며, 이러한 방법을 통해 면상 발열 히터는 더 많은 발열부를 가지도록 형성될 수 있다.
전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
본 발명의 범위는 후술하는 청구범위에 의하여 나타내어지며, 청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
200: 면상 발열 히터 210: 기판
220: 제1절연물질 221: 제1절연층
230: 제2절연물질 231: 제2절연층
240: 도선 241: 제1도선
241a: 제1연장도선 242: 제2도선
242a: 제2연장도선 243,243a: 연결 도선
250,250a: 저항선 251: 절단부
260: 제3절연물질 261: 제3절연층

Claims (11)

  1. 기판의 하면에 제1절연물질을 코팅하고 열경화시켜 제1절연층을 마련하는 제1절연층 마련단계;
    상기 기판의 상면에 제2절연물질을 코팅하고 열경화시켜 제2절연층을 마련하는 제2절연층 마련단계;
    상기 제2절연층의 상면에 도선을 패터닝하는 도선 패터닝단계;
    상기 제2절연층의 상면에 상기 도선과 연결되는 저항선을 패터닝하는 저항선 패터닝단계; 그리고
    상기 도선 및 상기 저항선의 상부에 제3절연물질을 코팅하고 열경화시켜 제3절연층을 마련하는 제3절연층 마련단계를 포함하고,
    상기 제1절연층 마련단계에서 제1수축률을 가지는 상기 제1절연물질이 수축 형성되면서 상기 기판은 하측으로 벤딩되고,
    상기 제2절연층 마련단계에서 상기 제2절연물질은 상기 제1수축률보다 작은 제2수축률을 가지고, 상기 제2절연물질이 열경화되는 공정이 복수 회 반복되어 수축 형성되도록 함으로써 상기 기판이 상측으로 벤딩되어 초기의 편평한 상태로 복원되도록 하며,
    상기 제3절연층 마련단계는
    상기 도선의 파손이 방지되도록 상기 제3절연물질을 상기 도선 소재의 유동이 발생하지 않은 온도 범위에서 복수 회 예비 열경화하는 예비 열경화 단계를 가지는 것을 특징으로 하는 면상 발열 히터 제조방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제3절연물질은 상기 제1수축률을 가지는 것을 특징으로 하는 면상 발열 히터 제조방법.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제1절연층 마련단계에서 상기 제1절연물질은 845 내지 855℃의 온도에서 열경화되는 것을 특징으로 하는 면상 발열 히터 제조방법.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제2절연층 마련단계에서 상기 제2절연물질은 845 내지 855℃의 온도에서 열경화되는 것을 특징으로 하는 면상 발열 히터 제조방법.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 예비 열경화 단계는 815 내지 825℃의 온도에서 진행되고,
    상기 제3절연층 마련단계는
    예비 열경화된 상기 제3절연물질을 845 내지 855℃의 온도에서 열경화하는 후속 열경화 단계를 가지는 것을 특징으로 하는 면상 발열 히터 제조방법.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 도선 패터닝단계에서, 상기 도선은 플러스 전원이 연결되는 제1도선과, 접지되는 제2도선으로 패터닝되고,
    상기 저항선 패터닝단계에서, 저항선은 상기 제1도선에 통전 시에 발열되도록, 상기 제1도선 및 상기 제2도선을 연결하도록 패터닝되는 것을 특징으로 하는 면상 발열 히터 제조방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 저항선 패터닝단계에서, 상기 저항선은 적어도 일부분이 절단된 절단부를 더 가지도록 패터닝되고,
    상기 저항선 패터닝단계 이후에, 상기 절단부에 패터닝되어 이웃하는 저항선을 연결하는 연결 도선을 패터닝하는 연결 도선 패터닝단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 면상 발열 히터 제조방법.
  9. 제1항, 제2항, 제4항 내지 제8항 중 어느 하나의 항에 기재된 면상 발열 히터 제조방법에 의해 제조되는 면상 발열 히터로서,
    상기 기판;
    상기 기판의 하면에 마련되는 제1절연층;
    상기 기판의 상면에 마련되는 제2절연층;
    상기 제2절연층의 상면에 패터닝되는 상기 도선;
    상기 제2절연층의 상면에 상기 도선과 연결되도록 패터닝되는 상기 저항선; 그리고
    상기 도선 및 상기 저항선의 상부에 마련되는 상기 제3절연층을 포함하는 면상 발열 히터.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 도선은 플러스 전원이 연결되는 제1도선과, 접지되는 제2도선을 가지고,
    상기 저항선은 상기 제1도선 및 상기 제2도선을 연결하도록 마련되어 상기 제1도선에 통전 시에 발열하는 것을 특징으로 하는 면상 발열 히터.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 저항선은 적어도 일부분이 절단된 절단부를 더 가지고,
    상기 도선은 상기 절단부에 패터닝되어 이웃하는 저항선을 연결하는 연결 도선을 더 가지는 것을 특징으로 하는 면상 발열 히터.
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