KR102253409B1 - 워크 유지 기구 - Google Patents

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KR102253409B1
KR102253409B1 KR1020197001261A KR20197001261A KR102253409B1 KR 102253409 B1 KR102253409 B1 KR 102253409B1 KR 1020197001261 A KR1020197001261 A KR 1020197001261A KR 20197001261 A KR20197001261 A KR 20197001261A KR 102253409 B1 KR102253409 B1 KR 102253409B1
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케이타 사사키
타츠히로 우토
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카와사키 주코교 카부시키 카이샤
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Abstract

워크 유지 기구(1)는, 제1면부(11a)를 가지는 제1 지지체(11)와, 제2면부(12a)를 가지는 제2 지지체(12)와, 제1면부보다 제2면부 측에 위치하며, 제1면부의 하단에 상당하는 높이 위치에 있는 제3면부(13a)를 가지는 제3 지지체(13)와, 제2면부보다 제1면부 측에 위치하며, 제2면부의 하단에 상당하는 높이 위치에 있는 제4면부(14a)를 가지는 제4 지지체(14)와, 제1면부의 제1방향 일단에서, 제1면부보다 제2면부 측에 위치하는 한편 제3면부보다 상방에 위치하는 제5면부(15a)를 가지는 제5 지지체(15)와, 제1면부의 제1방향의 타단과 마주보는 제2면부의 단부에서, 제2면부보다 제1면부 측에 위치하는 한편, 제4면부보다 상방에 위치하는 제6면부(16a)를 가지는 제6 지지체(16)를 구비하며, 제3면부와 제4면부 중 적어도 어느 한쪽은, 제1방향으로 연장되는 하나의 면 또는 복수의 면에 의해서 구성된다.

Description

워크 유지 기구
본 발명은 기판 등의 워크 유지 기구에 관한 것이다.
기판 반송 로봇은, 기판을 유지한 암(arm)을 3차원 방향으로 공간 이동하여 기판을 반송한다. 반도체 기판은 프린트 기판 등의 기판 모양의 전자부품과 비교하여 강도가 약하기 때문에, 일반적으로 반도체 기판을 반송할 때에는, 기판 반송용 블레이드(blade)의 주면(主面) 상에 기판을 올려놓도록 하여 기판을 유지한다. 예를 들면, 특허문헌 1 및 특허문헌 2에는, 오목부에 기판을 끼워넣은 상태로 기판을 유지함과 함께 기판의 위치 결정을 수행하는 기판 반송용 블레이드가 개시되어 있다.
그런데 최근, 생산성 향상의 관점에서, 종래는 인간에 의해서 수행되고 있던 작업 현장에 로봇을 도입하고, 로봇과 작업자가 같은 작업공간 내에서 공동으로 작업을 수행하는 것이 제안되어 있다.
일본 특허공개 특개평8-316287호 공보 일본 특허공개 특개2002-141389호 공보
그러나 상기 종래의 기판 반송 로봇을, 전자부품의 조립 현장에 도입한 경우, 가로 눕혀 쌓아놓은 프린트 기판을 픽업하여 소정의 위치까지 반송하는 것은 블레이드의 구성상 곤란하다. 이와 같은 과제는 상기 종래의 블레이드에 의해서 워크를 유지할 경우에 공통된다.
그래서 본 발명은, 얼라이먼트(alignment) 기능을 갖춘 워크 유지 기구를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 한 형태에 따른 워크 유지 기구는, 3차원 공간 내에서 이동 가능하게 구성된 제1 암 및 제2 암을 구비한 워크 유지 기구로서, 상기 제1 암의 선단에 설치되고, 수평면 내의 제1방향으로 연장되는 하나의 면, 또는, 상기 제1방향으로 병설된 복수의 면에 의해 구성되는 제1면부를 가지는 제1 지지체와; 상기 제2 암의 선단에 설치되고, 상기 제1면부와 마주보는 한편, 상기 제1방향으로 연장되는 하나의 면 또는 상기 제1방향으로 병설된 복수의 면에 의해서 구성되는 제2면부를 가지는 제2 지지체와; 상기 제1 지지체에 설치되고, 상기 제1면부보다 상기 제2면부 측에 위치하며, 상기 제1면부의 하단에 상당하는 높이 위치에 있는 제3면부를 가지는 제3 지지체와; 상기 제2 지지체에 설치되고, 상기 제2면부보다 상기 제1면부 측에 위치하며, 상기 제2면부의 하단에 상당하는 높이 위치에 있는 제4면부를 가지는 제4 지지체와; 상기 제1 지지체에 설치되고, 상기 제1면부의 제1방향 일단에서, 해당 제1면부보다 상기 제2면부 측에 위치하는 한편, 상기 제3면부보다 상방에 위치하는 제5면부를 가지는 제5 지지체와; 상기 제2 지지체에 설치되고, 상기 제1면부의 제1방향의 타단과 마주보는 상기 제2면부의 단부에서, 해당 제2면부보다 상기 제1면부 측에 위치하는 한편, 상기 제4면부보다 상방에 위치하는 제6면부를 가지는 제6 지지체; 를 구비하며, 상기 제3면부와 상기 제4면부 중 적어도 어느 한쪽은, 상기 제1방향으로 연장되는 하나의 면 또는 상기 제1방향으로 병설된 복수의 면에 의해서 구성된다.
상기 구성에 의하면, 제1면부와 제2면부가 서로 평행한 상태를 유지하는 한편, 제3면부와 제4면부의 높이를 동일한 상태로 유지하면서, 제1면부와 제2면부의 거리를 조정하도록 제1 지지체에 대해서 상대적으로 제2 지지체를 이동시키는 것에 의해, 기판의 높이를 수평으로 조정하면서 기판의 좌우 양단을 지지할 수 있다. 이때, 상기 제1면부와 상기 제2면부가 서로 평행한 상태를 유지하는 한편, 상기 제3면부와 제4면부의 높이를 동일한 상태로 유지하면서, 상기 제1 지지체에 대해서 상대적으로 제2 지지체를 제1방향으로 이동시키는 것에 의해, 기판의 전후 양단을 지지할 수가 있다. 이것에 의해, 기판의 평면에서 바라본 회전 방향, 기울기, 높이의 어긋남이 조정된 상태에서 기판을 유지할 수 있으므로, 기판을 3차원 공간 내의 소정의 위치로 반송할 수 있다. 예를 들면, 가로 눕혀 쌓아놓은 기판을 검사 장치(예를 들면, ICT)에 세팅할 수 있다.
또한, 상기 워크 유지 기구는, 상기 제1면부와 상기 제2면부가 서로 평행한 상태를 유지하는 한편, 상기 제3면부와 제4면부의 높이를 동일한 상태로 유지하면서, 상기 제1면부와 상기 제2면부의 거리를 조정하도록 상기 제1 지지체에 대해서 상대적으로 제2 지지체가 이동하여도 좋다.
또한, 상기 워크 유지 기구는, 상기 제1면부와 상기 제2면부가 서로 평행한 상태를 유지하는 한편, 상기 제3면부와 제4면부의 높이를 동일한 상태로 유지하면서, 상기 제1 지지체에 대해서 상대적으로 제2 지지체가 제1방향으로 이동하여도 좋다.
상기 워크 유지 기구는, 상기 제1 암 및 제2 암을 구비한 로봇에 의해 구성되어 있어도 좋다.
본 발명에 의하면, 얼라이먼트 기능을 갖춘 워크 유지 기구를 제공할 수가 있다.
본 발명의 상기 목적, 다른 목적, 특징 및 이점은, 첨부도면 참조하에, 이하의 바람직한 실시형태의 상세한 설명으로부터 명확해진다.
도 1은, 본 발명의 제1 실시형태에 따른 기판 유지 기구의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 2는, 도 1의 기판 유지 기구의 평면도이다.
도 3은, 로봇의 구성을 나타낸 정면도이다.
도 4는, 제어 장치의 개략 구성을 나타내는 블록도 이다.
도 5는, 로봇 작업 현장의 일례를 나타낸 측면도이다.
도 6은, 로봇의 제1동작을 모식적으로 나타낸 도면이다.
도 7은, 로봇의 제2동작을 모식적으로 나타낸 도면이다.
도 8은, 로봇의 제3동작을 모식적으로 나타낸 도면이다.
도 9는, 본 발명의 제2 실시형태에 따른 기판 유지 기구의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 10은, 도 9의 기판 유지 기구의 평면도이다.
도 11은, 로봇의 동작을 모식적으로 나타낸 도면이다.
본 발명의 실시형태에 관하여, 도면을 참조하면서 설명한다. 이하에서는, 모든 도면을 통해서 동일 또는 상당하는 요소에는 동일한 부호를 붙이고, 중복하는 설명은 생략한다.
(제1 실시형태)
도 1은, 본 발명의 제1 실시형태에 따른 기판 유지 기구의 구성을 나타내는 사시도이다. 도 2는, 도 1의 기판 유지 기구의 평면도이다. 기판 유지 기구(1)는, 로봇(100)의 제1 로봇 암(2R)(이하, '제1 암(2R)'이라고 함) 및 제2 로봇 암(2L)(이하, '제2 암(2L)'이라고 함)의 선단에 장착된 툴(tool)이다. 기판 유지 기구(1)는, 기판 모양의 전자부품(워크)을 유지하는 한편, 기판(워크)의 얼라이먼트 기능을 구비하고 있다. 도 1 및 도 2에서는 서로 직교하는 3개의 X, Y, Z축이 정의된다. 이들 X, Y, Z축은 제1 암(2R) 및 제2 암(2L)의 선단을 기준으로 하여 정의되는 손끝 좌표계와 일치하고 있다.
기판 유지 기구(1)는, 제1 암(2R)의 선단에 설치된 제1 지지체(11)와, 제2 암(2L)의 선단에 설치된 제2 지지체(12)와, 제1 지지체(11)에 설치된 제3 지지체(13)와, 제2 지지체(12)에 설치된 제4 지지체(14)와, 제1 지지체(11)에 설치된 제5 지지체(15)와, 제2 지지체(12)에 설치된 제6 지지체(16)를 구비한다.
제1 지지체(11)는, 여기에서는 직육면체의 형상을 가진다. 이 직육면체의 단부의 상면은, 2개의 장착구를 통해 제1 암(2R)에 고정되어 있다. 이 직육면체의 일 측면(Y축의 양(+)의 방향 측)은, 수평면 내(X-Y 평면)의 제1방향(X축 방향)으로 연장되는 띠 모양의 면(제1면부(11a))을 형성한다.
제2 지지체(12)는, 여기에서는 직육면체의 형상을 가진다. 이 직육면체의 단부의 상면은, 2개의 장착구를 통해 제2 암(2L)에 고정되어 있다. 이 직육면체의 일 측면(Y축의 음(-)의 방향 측)은, 제1면부(11a)와 마주보는 한편, 제1방향(본 도면에서는 X축 방향)으로 연장되는 띠 모양의 면(제2면부(12a))을 형성한다.
제3 지지체(13)는, 여기에서는 평판 형상을 가진다. 이 평판의 일 측면(Y축의 양(+)의 방향 측)은 제1면부(11a)에 접하여 고정되어 있다. 이 평판의 상면은, 제1면부(11a)의 하단으로부터 제2면부(12a) 쪽을 향해서 돌출하는 한편, 제1면부(11a)와 동일 방향(X축 방향)으로 연장되는 제3면부(13a)를 형성한다. 제3면부(13a)는, 제1면부(11a)보다 제2면부(12a) 측에 위치하고, 제1면부(11a)의 하단에 상당하는 높이 위치에 있다.
제4 지지체(14)는, 여기에서는 평판 형상을 가진다. 이 평판의 일 측면(Y축의 음(-)의 방향 측)은 제2면부(12a)에 접하여 고정되어 있다. 이 평판의 상면은, 제2면부(12a)의 하단으로부터 상기 제1면부(11a) 쪽을 향해서 돌출하는 한편, 제2면부(12a)와 동일 방향으로 연장되는 제4면부(14a)를 형성한다. 제4면부(14a)는, 제2면부(12a)보다 제1면부(11a) 측에 위치하고, 제2면부(12a)의 하단에 상당하는 높이 위치에 있다. 본 실시형태에서는, 제3면부(13a)와 제4면부(14a) 양쪽이, 제1방향(X축의 양(+)의 방향)으로 연장되는 하나의 면에 의해서 구성된다.
제5 지지체(15)는, 여기에서는 직육면체의 형상을 가진다. 이 직육면체의 일 측면(Y축의 양(+)의 방향 측)은 제1면부(11a)에 접하여 고정되어 있다. 이 직육면체의 다른 측면(X축의 양(+)의 방향 측)은, 제1면부(11a)의 제1방향(X 방향)의 일단에서, 제1면부(11a)보다 제2면부(12a) 측에 위치하는 한편, 제3면부(13a)보다 위쪽에 위치하는 제5면부(15a)를 형성한다.
제6 지지체(16)는, 여기에서는 직육면체의 형상을 가진다. 이 직육면체의 일 측면(Y축의 음(-)의 방향 측)은 제2면부(12a)에 접하여 고정되어 있다. 이 직육면체의 다른 측면(X축의 음(-)의 방향 측)은, 제1면부(11a)의 제1방향의 타단과 마주보는 제2면부(12a)의 단부에서, 제2면부(12a)보다 제1면부(11a) 측에 위치하는 한편, 제4면부(14a)보다 위쪽에 위치하는 제6면부(16a)를 형성한다.
또한, 도 1 및 도 2에서는, 제1면부(11a)와 제2면부(12a)는, 서로 마주보는 한편, 평행으로(동일 방향으로 연장되게) 도시하고 있으나, 제1 암(2R)과 제2 암(2L)은 제1 지지체(11)와 제2 지지체(12)를 3차원 공간 내에서 이동 가능하며, 제1면부(11a)와 제2면부(12a)는 임의의 각도로 변경 가능하다.
다음으로, 기판 유지 기구(1)를 구비한 로봇(100)의 구성에 관하여 설명한다. 도 3은, 로봇(100)의 구성을 나타낸 정면도이다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 로봇(100)은, 베이스(4)와, 베이스(4)에 지지 된 한 쌍의 제1 암(2R) 및 제2 암(2L)과, 베이스(4) 내에 수납된 제어 장치(3)를 구비하고 있다. 좌우의 제1 암(2R) 및 제2 암(2L)은, 3차원 공간 내에서 이동 가능하게 구성된다. 제1 암(2R) 및 제2 암(2L)은, 독립하여 동작하거나, 서로 연관하여 동작할 수 있다. 제1 암(2R) 및 제2 암(2L)은 일반적인 수평 다관절 형 로봇 암을 채용할 수 있고, 그 구성은 공지이므로, 제1 암(2R) 및 제2 암(2L)에 관한 상세한 설명은 생략한다. 또한, 본 실시형태에서는 툴(1)은 장착구를 통하여 제1 암(2R) 및 제2 암(2L)의 선단에 고정되었지만, 메커니컬 인터페이스를 통하여 제1 암(2R) 및 제2 암(2L)의 선단에 착탈 가능하게 장착되어도 좋다.
다음으로, 제어 장치(3)에 관하여 설명한다. 도 4는, 제어 장치(3)의 개략 구성을 나타내는 블록도 이다. 도 4에 나타낸 바와 같이 제어 장치(3)는, CPU 등의 연산부(301)와, ROM, RAM 등의 기억부(302)와, 서보 제어부(303)를 구비한다. 제어 장치(3)는, 예를 들면, 마이크로 컨트롤러 등의 컴퓨터를 구비한 로봇 컨트롤러이다. 또한, 제어 장치(3)는, 집중 제어하는 단독의 제어 장치에 의해서 구성되어 있어도 좋고, 서로 협동하여 분산 제어하는 복수의 제어 장치에 의해서 구성되어 있어도 좋다. 기억부(302)에는, 로봇 컨트롤러로서의 기본 프로그램, 각종 고정 데이터 등의 정보가 기억되어 있다. 연산부(301)는, 기억부(302)에 기억된 기본 프로그램 등의 소프트웨어를 읽어내어 실행하는 것에 의해, 로봇(100)의 각종 동작을 제어한다. 즉, 연산부(301)는, 로봇(100)의 제어 지령을 생성하고, 이것을 서보 제어부(303)에 출력한다. 서보 제어부(303)는, 연산부(301)에 의해 생성된 제어 지령에 의거하여, 로봇(100)의 제1 암(2R) 및 제2 암(2L)의 각 관절축에 대응하는 서보 모터의 구동을 제어하도록 구성되어 있다. 또한, 툴(1)을 제1 암(2R) 및 제2 암(2L)에 장착하는 메커니컬 인터페이스 등의 다른 부재가 동작을 수행하도록 구성되어 있을 경우에는, 그 동작 제어도 제어 장치(3)에 의해서 수행되어도 좋다. 즉, 제어 장치(3)는, 로봇(100) 전체의 동작 제어를 수행한다.
도 5는, 로봇(100)의 작업 현장의 일례를 나타낸 측면도이다. 도 5에 나타낸 바와 같이, 로봇(100)은 전자부품의 조립 현장에 도입된다. 로봇(100)의 우측에는 기판 임시 적치대(30)가 설치된다. 기판 임시 적치대(30) 위에 프린트 기판(40)이 가로 눕혀 쌓여 있다. 각 프린트 기판(40)은, 기판 측을 아래로 회로 측을 위로 향한 상태로 배치된다. 로봇(100)의 좌측에는 검사 장치(20)가 설치되어 있다. 검사 장치(20)는, 본 실시형태에서는, 인-서킷 테스터(ICT : In-circuit Tester)이다. ICT는, 기판을 동작시키지 않고, 기판에 실장 된 각각의 부품의 특성을 미소 전력으로 전기적으로 검사를 수행하여, 육안검사로 발견이 어려운 불량을 발견한다. 로봇(100)은, 프린트 기판(40)의 검사 작업의 중요한 부분을 담당한다. 로봇(100)은, 기판 임시 적치대(30) 위에 가로 눕혀 쌓아놓은 2장의 프린트 기판(40)을 위로부터 차례로 픽업하고, 검사 장치(20)의 검사대(20a)의 소정 위치까지 반송한다.
다음으로, 로봇의 동작에 관하여 설명한다. 이하에 도시하는 도면에서는 서로 직교하는 3개의 X, Y, Z축이 정의된다. 이들 X, Y, Z축은 제1 암(2R) 및 제2 암(2L)의 선단을 기준으로 하여 정의되는 손끝 좌표계와 일치하고 있다. 먼저, 제어 장치(3)는, 제1 암(2R) 및 제2 암(2L)의 동작을 제어하여, 기판 임시 적치대(30) 상의 프린트 기판(40)에 위치를 맞춘다(로봇의 제1동작). 도 6은, 로봇의 제1동작을 모식적으로 나타낸 도면이다. 도 6의 '(A)'는, 제1동작에서의 기판 유지 기구(1)와 프린트 기판(40)의 평면도이다. 도 6의 '(B)'는, Ⅵ-Ⅵ선 단면도이다. 도 6에서는 간략하게 기판 유지 기구(1)와 최상위에 위치하는 프린트 기판(40)만을 나타내었다. 제어 장치(3)는, 도 6에 나타낸 바와 같이, 프린트 기판(40)이 제1면부(11a)와 제2면부(12a) 사이에 위치하도록 제1 지지체(11)와 제2 지지체(12)를 이동시킨다. 기판 임시 적치대(30)의 위치는, 미리 기억부(302)에 기억되어도 좋고, 수동으로 원격 조작되어도 좋다.
그런데 사람이 아무렇게나 기판 임시 적치대(30) 상에 프린트 기판(40)을 가로 눕혀 쌓아놓았을 경우에는, 도 6에 나타낸 바와 같이, 최상위의 프린트 기판(40)은 회전 방향(X-Y 평면) 및 높이 방향(Z 방향)으로 어긋남이 생기는 경우가 있다. 또한, 프린트 기판(40)의 회로 측에는 다양한 부품이 실장 된다. 이 때문에, 회로 측의 표면 형상은 고르지 않아 이와 같은 어긋남이 생기기 쉽다.
다음으로, 제어 장치(3)는, 제1 암(2R) 및 제2 암(2L)의 동작을 제어하여, 기판 임시 적치대(30) 위의 프린트 기판(40)의 좌우 양단을 지지한다(로봇의 제2동작). 도 7은, 로봇(100)의 제2동작을 모식적으로 나타낸 도면이다. 도 7의 '(A)'는, 제1동작에서의 기판 유지 기구(1)와 프린트 기판(40)의 평면도이다. 도 7의 '(B)'는, Ⅶ-Ⅶ선 단면도이다. 제어 장치(3)는, 도 7에 나타낸 바와 같이, 제1면부(11a)와 제2면부(12a)가 서로 평행한 상태를 유지하는 한편, 제3면부(13a)와 제4면부(14a)의 높이를 동일한 상태로 유지하면서, 제1면부(11a)와 제2면부(12a)의 거리를 조정하도록 제1 지지체(11)에 대해서 상대적으로 제2 지지체(12)를 이동시킨다. 이것에 의해, 프린트 기판(40)의 높이를 수평으로 조정하면서 프린트 기판(40)의 좌우 양단을 지지할 수 있다.
다음으로, 제어 장치(3)는, 제1 암(2R) 및 제2 암(2L)의 동작을 제어하여, 기판 임시 적치대(30) 위의 프린트 기판(40)의 전후 양단을 지지한다(로봇의 제3동작). 도 8은, 로봇의 제3동작을 모식적으로 나타낸 도면이다. 도 8의 '(A)'는, 제1동작에서의 기판 유지 기구(1)와 프린트 기판(40)의 평면도이다. 도 8의 '(B)'는, Ⅶ-Ⅶ선 단면도이다. 제어 장치(3)는, 도 8에 나타낸 바와 같이, 제1면부(11a)와 제2면부(12a)가 서로 평행한 상태를 유지하는 한편, 제3면부(13a)와 제4면부(14a)의 높이를 동일한 상태로 유지하면서, 제1 지지체(11)에 대해서 상대적으로 제2 지지체(12)가 제1방향으로 이동하게 한다. 이것에 의해, 프린트 기판(40)의 회전 방향, 높이 방향의 어긋남이 조정된 상태로 기판을 유지할 수 있으므로, 프린트 기판(40)을 검사 장치(20)의 검사대(30a) 위의 소정 위치로 반송할 수 있다. 이와 같이, 본 실시형태에 의하면, 로봇(100)에 의해, 가로 눕혀 쌓아놓은 프린트 기판(40)을 검사 장치(20)에 세팅할 수 있다.
(제2 실시형태)
이하, 제2 실시형태에 관하여 설명한다. 본 실시형태의 기판 유지 기구(1)의 기본적인 구성은, 제1 실시형태와 동일하다. 이하에서는, 제1 실시형태와 공통되는 구성의 설명은 생략하고, 다른 구성에 관해서만 설명한다.
도 9는, 본 발명의 제2 실시형태에 따른 기판 유지 기구(1A)의 구성을 나타내는 사시도이다. 도 10은, 도 9의 기판 지지 기구(1A)의 평면도이다. 본 실시형태의 기판 유지 기구(1A)는, 제1 실시형태와 비교하면, 제1면부(11a) ~ 제6면부(16a)가, 작은 반구(半球)형 부재의 정점의 극소 면으로 구성되는 점이 다르다.
도 9 및 도 10에 나타낸 바와 같이, 제1면부(11a)는 제1방향(X축의 양(+)의 방향)으로 병설된 2개의 반구형 부재의 정점의 극소 면에 의해서 구성된다. 제2면부(12a)는, 제1면부(11a)와 마주보는 한편, 제1방향(X축의 양(+)의 방향)으로 병설된 2개의 반구형 부재의 정점의 극소 면에 의해서 구성된다. 제3면부(13a)는, 하나의 반구형 부재의 정점의 극소 면에 의해서 구성된다. 제4면부(14a)는, 제1방향(X축의 양(+)의 방향)으로 병설된 2개의 반구형 부재의 정점의 극소 면에 의해서 구성되어 있다. 제5면부(15a) 및 제6면부(16a)는 하나의 반구형 부재의 정점의 극소 면에 의해서 구성된다.
본 실시형태에서도, 제어 장치(3)는, 제1 암(2R) 및 제2 암(2L)의 동작을 제어하는 것에 의해(제1동작 내지 제3동작), 도 11에 나타낸 바와 같이, 기판 유지 기구(1A)는, 프린트 기판(40)의 회전 방향, 높이 방향의 어긋남이 조정된 상태로 기판을 붙들어 유지할 수 있다. 이것에 의해, 프린트 기판(40)을 검사 장치(20)의 검사대(30a) 위의 소정 위치로 반송할 수가 있다.
또한, 제1면부(11a) 및 제2면부(12a)는, 제1방향(X축 방향)으로 병설된 3개 이상의 복수의 면에 의해서 구성되어도 좋다.
또한, 제3면부(13a)와 제4면부(14a) 중 적어도 어느 한쪽이, 제1방향(X축 방향)으로 연장되는 하나의 면, 또는, 제1방향으로 병설된 복수의 극소 면에 의해서 구성되어도 좋다.
또한, 상기 각 실시형태에서는, 워크는, 프린트 기판(40)이지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 연성 프린트 기판, 경성 프린트 기판, 액정 디스플레이의 유리 기판 등의 기판 모양의 전자부품이어도 좋다. 또한, 반도체 기판보다 비교적 강도가 강한 워크라면, 상기 각 실시형태와 동일한 구성에 의해, 워크를 유지함과 함께, 워크의 얼라이먼트를 실현할 수가 있다.
또한, 상기 각 실시형태에서는, 검사 장치(20)는 인-서킷 테스터였지만, 기판상의 전자부품을 검사하는 장치라면, 예를 들어 보드 테스터(Board Tester) 등의 다른 검사 장치여도 좋다.
상기 설명으로부터, 통상의 기술자에게는, 본 발명의 많은 개량이나 다른 실시형태가 분명하다. 따라서, 상기 설명은, 예시로서만 해석되어야 하며, 본 발명을 실행하는 최선의 형태를 통상의 기술자에게 교시할 목적으로 제공된 것이다. 본 발명의 정신을 벗어나지 않고, 그 구조 및 기능의 양쪽 또는 한쪽의 상세 내용을 실질적으로 변경할 수 있다.
본 발명은, 종래는 인간에 의해 수행되고 있던 작업 현장에 로봇을 도입할 때 유용하다.
1 : 기판 유지 기구(툴)
2L, 2R : 암
3 : 제어 장치
4 : 베이스
11 : 제1 지지체
12 : 제2 지지체
13 : 제3 지지체
14 : 제4 지지체
15 : 제5 지지체
16 : 제6 지지체
11a : 제1면부
12a : 제2면부
13a : 제3면부
14a : 제4면부
15a : 제5면부
16a : 제6면부
20 : 검사 장치
20a : 검사대
30 : 기판 임시 적치대
40 : 프린트 기판(워크)
100 : 로봇
301 : 연산부
302 : 기억부
303 : 서보 제어부

Claims (5)

  1. 3차원 공간 내에서 이동 가능하게 구성된 제1 암 및 제2 암을 구비한 워크 유지 기구로서,
    상기 제1 암의 선단에 설치되고, 수평면 내의 제1방향으로 연장되는 하나의 면, 또는, 상기 제1방향으로 병설된 복수의 면에 의해 구성되는 제1면부를 가지는 제1 지지체와,
    상기 제2 암의 선단에 설치되고, 상기 제1면부와 마주보는 한편, 상기 제1방향으로 연장되는 하나의 면 또는 상기 제1방향으로 병설된 복수의 면에 의해서 구성되는 제2면부를 가지는 제2 지지체와,
    상기 제1 지지체에 설치되고, 상기 제1면부보다 상기 제2면부 측에 위치하며, 상기 제1면부의 하단에 상당하는 높이 위치에 있는 제3면부를 가지는 제3 지지체와,
    상기 제2 지지체에 설치되고, 상기 제2면부보다 상기 제1면부 측에 위치하며, 상기 제2면부의 하단에 상당하는 높이 위치에 있는 제4면부를 가지는 제4 지지체와,
    상기 제1 지지체에 설치되고, 상기 제1면부의 제1방향 일단에서, 해당 제1면부보다 상기 제2면부 측에 위치하는 한편, 상기 제3면부보다 상방에 위치하는 제5면부를 가지는 제5 지지체와,
    상기 제2 지지체에 설치되고, 상기 제1면부의 제1방향의 타단과 마주보는 상기 제2면부의 단부에서, 해당 제2면부보다 상기 제1면부 측에 위치하는 한편, 상기 제4면부보다 상방에 위치하는 제6면부를 가지는 제6 지지체를 구비하며,
    상기 제3면부와 상기 제4면부 중 적어도 어느 한쪽은, 상기 제1방향으로 연장되는 하나의 면 또는 상기 제1방향으로 병설된 복수의 면에 의해서 구성되고,
    상기 제1면부와 상기 제2면부가 서로 평행한 상태를 유지하는 한편, 상기 제3면부와 제4면부의 높이를 동일한 상태로 유지하면서, 상기 제1 지지체에 대해서 상대적으로 제2 지지체가 제1방향으로 이동하는 것을 특징으로 하는 워크 유지 기구.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1면부와 상기 제2면부가 서로 평행한 상태를 유지하는 한편, 상기 제3면부와 제4면부의 높이를 동일한 상태로 유지하면서, 상기 제1면부와 상기 제2면부의 거리를 조정하도록 상기 제1 지지체에 대해서 상대적으로 제2 지지체가 이동하는 것을 특징으로 하는 워크 유지 기구.
  3. 삭제
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제1 암 및 제2 암을 구비한 로봇에 의해 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 워크 유지 기구.
  5. 삭제
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