JP2545969Y2 - 搬送用ロボット装置 - Google Patents

搬送用ロボット装置

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JP2545969Y2
JP2545969Y2 JP10811691U JP10811691U JP2545969Y2 JP 2545969 Y2 JP2545969 Y2 JP 2545969Y2 JP 10811691 U JP10811691 U JP 10811691U JP 10811691 U JP10811691 U JP 10811691U JP 2545969 Y2 JP2545969 Y2 JP 2545969Y2
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JP
Japan
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glass substrate
arm
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slide
movable
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JP10811691U
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治道 広瀬
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Shibaura Mechatronics Corp
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Shibaura Mechatronics Corp
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Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本考案は、液晶表示器に使用する
ガラス基板を搬送するための搬送用ロボット装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】
【0003】
【考案が解決しようとする課題】従来、液晶表示器には
ガラス基板が使用されており、このガラス基板に塵埃な
どの不純物が付着していると、液晶表示器に組立てた
際、液晶表示器の品質や性能が低下するなど不良品の原
因となる。
【0004】このため従来では第8図に示すような洗浄
ラインを使用してガラス基板の洗浄を行なっている。す
なわち、矢印a方向よりラインへ搬入されたガラス基板
は、まずローダbによりシャワー工程cへ搬入されて処
理液がかけられ、次にブラシ洗浄工程dでブラシにより
洗浄された後、液切工程eでガラス基板に付着した処理
液の液切りが行なわれる。
【0005】その後、ジェット洗浄工程fでジェット流
により洗浄され、さらにシャワー工程g、US工程hを
経て乾燥工程iで乾燥された後、アンローダjにより乾
燥工程iより搬出されるようになっている。
【0006】また洗浄すべきガラス基板はライン上に設
けられた搬送装置のスピンカップ内へ位置決めした状態
で載置して各工程へ搬送しており、従来ではコンベアに
より洗浄ラインの上流側に搬入されたガラス基板を整列
させた後、ローダb部に設けたロボットを使用してスピ
ンカップ内へ収容していた。
【0007】
【考案が解決しようとする課題】しかし近年では、液晶
表示器の用途の拡大に伴い種々のサイズの液晶表示器が
使用されるようになったため、これに使用するガラス基
板のサイズも多種となっており、このため従来のロボッ
トではガラス基板のサイズが変る毎にこれを把持する爪
体をサイズに応じて変換したり、機構の一部を変更しな
ければならず、作業が面倒であった。
【0008】また、ロボットによる整列方向も搬送方向
に対して前後または左右の一方向のみのため、コンベア
により搬入されたガラス基板を予め整列させる必要があ
り、このためコンベア部分にガラス基板を位置決めする
ための手段を必要として構造が複雑になると共に、ロボ
ットハンドの上下動をエアシリンダにより行なっている
ため、上限及び下限付近で加速度が最大となり、その結
果スタート時や停止時に振動が発生する不具合があっ
た。
【0009】本考案は上記不具合を改善するためになさ
れたもので、各種サイズのガラス基板に対応でき、かつ
搬送方向に対して前後及び左右方向に位置決めが可能な
搬送用ロボット装置を提供することを目的とするもので
ある。
【0010】
【課題を解決するための手段】本考案は、上記目的を達
成するために、洗浄すべきガラス基板の搬送方向へ移動
自在な支持部材に上下動自在に昇降部材を設け、この昇
降部材に搬送方向と直交する方向へ移動自在にスライド
を設け、かつこのスライドに、搬送方向と直交する方向
に接離移動自在な一対のクランプアームを設けて、これ
らクランプアームにより搬送方向にガラス基板の位置決
めを行なうと共に、上記スライドに、搬送方向に開閉す
る一対の旋回アームを設けて、これら旋回アームにより
搬送方向と直交する方向にガラス基板の位置決めを行な
うようにしたものである。
【0011】
【作用】かかる構成によって洗浄ラインの上流側に搬入
されたガラス基板は、クランプアームと旋回アームの4
方よりクランプされることにより、搬送方向及びこれと
直交する方向の位置決めが行なえるため、その状態で洗
浄ラインの搬送装置へ積込むことにより、搬送方向及び
これと直交する方向へ整列させることができる。
【0012】
【実施例】以下、本考案の実施例を図1乃至図7に示す
図面を参照して詳述する。
【0013】図1は搬送用ロボット装置の平面図、図2
は同側面図、図3は同背面図、図4はアーム開閉機構の
拡大図を示すものである。
【0014】図1において1はガラス基板2の搬送方向
に布設されたガイドレール3に沿って移動自在な支持部
材、4は該支持部材1に対して上下動自在な昇降部材、
5は搬送方向と直交する方向へ移動自在なスライド、6
は搬送方向と直交する方向へガラス基板2を位置決めす
るクランプアーム、7は搬送方向に位置決めする旋回ア
ームを示す。
【0015】上記支持部材1は下部が走行用モータ10
に捲載されたタイミングベルト11に固着されていて、
走行用モータ10の駆動によりロッドガイドレール3に
沿って搬送方向へ移動されると共に、支持部材1の上部
に昇降部材4側に設けられたガイドレール4aが支承さ
れている。
【0016】また、支持部材1の背部に突設された受け
台1a上にエアモータよりなるロータリアクチュエータ
12が取付けられていて、このロータリアクチュエータ
12の回転軸12aにクランク13を介してコンロッド
14の下端が枢支されている。
【0017】上記コンロッド14の上端は昇降部材4に
枢支されていて、ロータリアクチュエータ12により上
記昇降部材4が上下動されると共に、昇降部材4の上部
には水平方向に支持台4bが設けられていて、この支持
台4b上に布設されたガイドレール4cにスライド5が
支承されている。
【0018】上記スライド5は上段スライド5aと下段
スライド5bの2段構成となっていて、下段スライド5
b側にクランプアーム6の長い方のアーム6aの基端部
が固着され、上段のスライド5aにクランプアーム6の
短い方のアーム6bの基端部が固着されている。
【0019】上記上段スライド5aと下段スライド5b
の各側面にはナット部材5c,5dが突設されていて、
これらナット部材5c,5dにスライド5の移動方向に
沿って布設された送りねじ16が螺合されている。
【0020】上記送りねじ16はナット部材5cの螺合
部とナット部材5dの螺合部が逆ねじとなっていて、送
りねじ16の一端側に接続されたクランプモータ17に
より送りねじ16を回転させることにより、上下段スラ
イド5a,5bが逆方向へ移動されるようになってお
り、これによって上下段スライド5a,5bに取付けら
れた長いアーム6aと、短いアーム6bもそれぞれ逆方
向へ移動されて各アーム6a,6bの先端に設けれた爪
体6c,6dの間でガラス基板2がクランプできるよう
になっている。
【0021】一方、上段スライド5aは3分割されてい
て、中央のスライド5a´は他の上段スライド5aと独
立して移動自在となっており、この中央スライド5a´
は上段スライド5a上に設けられたクランプシリンダ2
0により移動できるようになっていると共に、中央スラ
イド5a´の両端に一対のリンク21の一端側が枢着さ
れている。
【0022】そして、上記各リンク21の他端側は一対
の旋回アーム7の基端側に枢着されている。上記旋回ア
ーム7は基端側がアーム6b側に設けられた支持部6e
にピン22を介して枢着されていて、これらピン22を
中心に水平方向へ回動自在となっていると共に、各旋回
アーム7の先端側は搬送方向と直交する方向に突設さ
れ、先端部にガラス基板2をクランプする爪体7aが突
設されている。なお、図4中23はアーム6a側より突
設されたドッグ6fにより動作される複数のセンサで、
このセンサ23により検出された信号によりガラス基板
2のサイズの切換えを行なうようになっている。
【0023】次に作用を説明すると、図示しないベルト
コンベアにより洗浄ラインの上流側に搬入されたガラス
基板2は、ロボットによりクランプされて洗浄ラインに
設けられた搬送装置のスピンカップ内へ整列されて収容
されるが、ガラス基板2をクランプするに当って、まず
クランプアーム6及び旋回アーム7がクランプすべきガ
ラス基板2上へ移動され、次にロタリアクチュエータ1
2により昇降部材4が下降される。
【0024】その後、クランプモータ17により送りね
じ16が回転されてクランプアーム6の各アーム6a,
6bが図5に示すように逆方向へ移動され、各アーム6
a,6bに設けられた爪体6c,6dがガラス基板2を
搬送方向と直交する方向よりクランプして、搬送方向の
位置決めを行なう。同時にクランプシリンダ20により
中央スライド5a´が前進されるため、リンク21を介
して各旋回アーム7がピン22を中心に図6に示す矢印
方向へ回動され、ガラス基板2を搬送方向よりクランプ
して、搬送方向と直角な方向の位置決めを行なう。
【0025】そして各アーム6,7の爪体6c,6d,
7aがガラス基板2をクランプした状態でロータリアク
チュエータ12により昇降部材4が所定高さまでに上昇
された後、走行用モータ10により全体が搬送方向へ移
動され、搬送装置に設けられたスピンカップ内へ整列し
た状態でガラス基板2が収容される。
【0026】以下、上記動作を繰返すことにより、コン
ベアにより搬入されたガラス基板2を搬送方向及び搬送
方向と直交する方向へ整列させて搬送装置へと積込むも
ので、ガラス基板2のサイズが種々変っても、クランプ
アーム6がガラス基板2をクンラプした際、センサ23
によりサイズが検出されて、サイズの切換えを自動的に
行うため、種々のサイズのガラス基板2に対応できるよ
うになる。
【0027】またガラス基板2を4方向から位置決めす
る際、2方向はセンサ23からの信号により各サイズ毎
の位置決めを行うが、他の2方向については、クランプ
シリンダ20により押えるようにしたことから、移動中
のガラス基板2の振動が防止できると共に、万一ガラス
基板2が障害物に当っても、旋回アーム7が開放して衝
撃を逃すため、ガラス基板2が破損するのを防止するこ
とができる。
【0028】なお、上記実施例では洗浄するガラス基板
2のサイズが6種類だったため、複数のセンサ23によ
りサイズ検出を行なうようにしたが、サイズがさらに多
種となる場合は、リニアスケールのような検出器を用い
るようにしてもよい。
【0029】また上記実施例では、クランプアーム6を
送りねじ21により駆動させたが、第7図に示すように
ラック24及びピニオン25を用いて駆動するようにし
てもよい。
【0030】
【考案の効果】本考案は以上詳述したように、洗浄ライ
ンの上流側に搬入されたガラス基板を搬送方向及び搬送
方向と直交する方向よりクランプして両方向の位置決め
を行なった後、洗浄ラインの搬送装置へ搬入するように
したことから、従来のようにコンベア側に位置決め手段
を設けて、事前に整列させる必要がない。
【0031】これによって装置が簡単になると共に、ガ
ラス基板のサイズが多種であっても、爪体を交換した
り、一部機構を変更して対応する必要がないため、サイ
ズ変更に伴う対応が従来のものに比べて容易となる。
【0032】またアーム部分の上下動をクランク機構に
より行なうようにすれば、上下動に伴う加速度がサイン
カーブとなるため、スタート時及び停止時の加速度をほ
ぼ0とすることが可能で、これによってアーム部分を振
動させることなく上限点及び下限点に停止できるため、
クランプしたガラス基板を落下させるなどの不具合も解
消することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本考案の一実施例を示す平面図である。同側面
図である。
【図2】同側面図である。
【図3】同背面図である。
【図4】アーム開閉機構の拡大図である。
【図5】クランプアームの動作説明図である。
【図6】旋回アームの動作説明図である。
【図7】本考案の他の実施例を示す説明図である。
【図8】従来の洗浄ラインの説明図である。
【符号の説明】
1 支持部材 2 ガラス基板 4 昇降部材 5 スライド 6 クランプアーム 7 旋回アーム

Claims (1)

    (57)【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】 洗浄すべきガラス基板の搬送方向へ移動
    自在な支持部材に上下動自在に昇降部材を設け、この昇
    降部材に搬送方向と直交する方向へ移動自在にスライド
    を設け、かつこのスライドに、搬送方向と直交する方向
    に接離移動自在な一対のクランプアームを設けて、これ
    らクランプアームにより搬送方向にガラス基板の位置決
    めを行なうと共に、上記スライドに、搬送方向に開閉す
    る一対の旋回アームを設けて、これら旋回アームにより
    搬送方向と直交する方向にガラス基板の位置決めを行な
    うようにしてなる搬送用ロボット装置。
JP10811691U 1991-12-04 1991-12-04 搬送用ロボット装置 Expired - Lifetime JP2545969Y2 (ja)

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JP10811691U JP2545969Y2 (ja) 1991-12-04 1991-12-04 搬送用ロボット装置

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JPH0549288U JPH0549288U (ja) 1993-06-29
JP2545969Y2 true JP2545969Y2 (ja) 1997-08-27

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012065704A (ja) * 2010-09-21 2012-04-05 Dainippon Printing Co Ltd 歩行補助装置、歩行補助方法、及び歩行補助プログラム等

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP6701007B2 (ja) * 2016-06-27 2020-05-27 川崎重工業株式会社 ワーク保持機構
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012065704A (ja) * 2010-09-21 2012-04-05 Dainippon Printing Co Ltd 歩行補助装置、歩行補助方法、及び歩行補助プログラム等

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JPH0549288U (ja) 1993-06-29

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