KR102215483B1 - 진공 챔버에서 캐리어를 핸들링하기 위한 장치, 진공 증착 시스템, 및 진공 챔버에서 캐리어를 핸들링하는 방법 - Google Patents

진공 챔버에서 캐리어를 핸들링하기 위한 장치, 진공 증착 시스템, 및 진공 챔버에서 캐리어를 핸들링하는 방법 Download PDF

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Abstract

진공 챔버에서 캐리어를 핸들링하기 위한 장치(100)가 설명된다. 장치(100)는 개구(106)를 갖는 벽(102)을 갖는 진공 챔버(101)를 포함한다. 제1 구동 유닛(142)이 진공 챔버(101) 외부에 배열되고, 그리고 진공 챔버(101) 내로 개구(106)를 통해 연장되는 제1 피구동부(143)를 이동시키도록 구성된다. 캐리어(30)를 홀딩 또는 이동시키기 위한 제1 컴포넌트(150)가 진공 챔버(101)에서 제1 피구동부(143)에 부착된다. 제1 피구동부(143)는 제1 컴포넌트(150)에 공급하기 위한 제1 공급 통로(147)를 제공한다. 추가로, 진공 증착 시스템, 및 캐리어를 핸들링하는 방법이 설명된다.

Description

진공 챔버에서 캐리어를 핸들링하기 위한 장치, 진공 증착 시스템, 및 진공 챔버에서 캐리어를 핸들링하는 방법
[0001] 본 개시내용의 실시예들은 진공 챔버에서 캐리어를 핸들링(handle)하기 위한 장치, 진공 증착 시스템, 및 진공 챔버에서 캐리어를 핸들링하는 방법에 관한 것이다. 특히, 본 개시내용의 실시예들은 진공 챔버에서 캐리어를 홀딩(hold) 또는 이동시키는 것에 관한 것이다. 더 구체적으로, 본 개시내용의 실시예들은 진공 챔버에서 정렬 방향으로 캐리어를 이동시키는 것 및 캐리어를 홀딩하는 것에 관한 것이다.
[0002] 본 개시내용의 실시예들은 특히, 캐리어에 의해 운반되는 기판 상에 재료를 증착하기 위한 진공 증착 시스템에 관한 것이며, 여기서, 기판은 증착 전에 마스크에 대하여 정렬된다. 본원에서 설명되는 방법들 및 장치들은 유기 발광 다이오드(OLED) 디바이스들의 제조에서 사용될 수 있다.
[0003] 기판 상의 층 증착을 위한 기법들은, 예컨대, 열 증발, 물리 기상 증착(PVD), 및 화학 기상 증착(CVD)을 포함한다. 코팅된 기판들은 여러 애플리케이션들에서 그리고 여러 기술 분야들에서 사용될 수 있다. 예컨대, 코팅된 기판들은 유기 발광 다이오드(OLED) 디바이스들의 분야에서 사용될 수 있다. OLED들은, 예컨대 정보를 디스플레이하기 위한, 텔레비전 스크린들, 컴퓨터 모니터들, 모바일 폰들, 다른 핸드-헬드 디바이스들 등의 제조를 위해 사용될 수 있다. OLED 디바이스, 이를테면 OLED 디스플레이는 2개의 전극들 사이에 위치된 유기 재료의 하나 이상의 층들을 포함할 수 있으며, 이들은 기판 상에 증착된다.
[0004] 기판 상으로의 코팅 재료의 증착 동안, 기판은 기판 캐리어에 의해 홀딩될 수 있고, 마스크는 기판의 전방에서 마스크 캐리어에 의해 홀딩될 수 있다. 재료 패턴, 예컨대 마스크의 개구 패턴에 대응하는 복수의 픽셀들이, 예컨대 증발에 의해, 기판 상에 증착될 수 있다.
[0005] OLED 디바이스의 기능성은 전형적으로, 유기 재료의 코팅 패턴 및 두께의 정확도(accuracy)에 따라 좌우되는데, 그 코팅 패턴 및 두께는 미리 결정된 범위 내에 있어야만 한다. 고-해상도 OLED 디바이스들을 획득하기 위해, 증발된 재료들의 증착에 대한 기술적 난제들이 극복될 필요가 있다. 특히, 진공 시스템을 통해 기판을 운반하는 기판 캐리어 및/또는 마스크를 운반하는 마스크 캐리어를 정확하게 그리고 매끄럽게 운송하는 것이 난제이다. 추가로, 예컨대 고-해상도 OLED 디바이스들을 생산하기 위한 고 품질 증착 결과들을 달성하는 데 있어서 마스크 캐리어에 대한 기판 캐리어의 정밀한 핸들링이 중요하다. 추가로, 공간-효율적 또는 공간-절약적 방식으로, 캐리어를 핸들링하기 위한 컴포넌트들을 공급(supply)하는 것이 유익할 것이다. 게다가, 코팅 재료의 효율적인 활용이 유익하고, 시스템의 유휴 시간들이 가능한 짧게 유지되어야 한다.
[0006] 상기된 바를 고려하여, 진공 챔버에서 기판들 및/또는 마스크들을 운반하기 위한 캐리어들을 정확하게 핸들링하기 위한, 장치들, 시스템들, 및 방법들을 제공하는 것이 유익할 것이다.
[0007] 상기된 바를 고려하여, 진공 챔버에서 캐리어를 핸들링하기 위한 장치, 진공 증착 시스템, 및 진공 챔버에서 캐리어를 핸들링하는 방법이 제공된다. 본 개시내용의 추가적인 양상들, 이익들, 및 특징들은 청구항들, 상세한 설명, 및 첨부 도면들로부터 명백하다.
[0008] 본 개시내용의 일 양상에 따르면, 진공 챔버에서 캐리어를 핸들링하기 위한 장치가 제공된다. 장치는 개구를 갖는 벽을 갖는 진공 챔버를 포함한다. 장치는, 진공 챔버 외부에 배열되어 있고, 진공 챔버 내로 개구를 통해 연장되는 제1 피구동부를 이동시키도록 구성된 제1 구동 유닛을 더 포함한다. 장치는 진공 챔버에서 제1 피구동부에 부착되어 있는, 캐리어를 홀딩 또는 이동시키기 위한 제1 컴포넌트를 더 포함한다. 제1 피구동부는 제1 컴포넌트에 공급하기 위한 제1 공급 통로를 제공한다.
[0009] 본 개시내용의 추가적인 양상에 따르면, 진공 증착 시스템이 제공된다. 진공 증착 시스템은 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 캐리어를 핸들링하기 위한 장치를 포함한다. 진공 증착 시스템은 증착 소스를 더 포함한다. 증착 소스는 진공 챔버의 증착 영역에 제공된다. 제1 컴포넌트는 증착 영역에서 캐리어를 홀딩 또는 이동시키도록 구성된다.
[0010] 본 개시내용의 추가적인 양상에 따르면, 진공 챔버에서 캐리어를 핸들링하는 방법이 제공된다. 진공 챔버는 개구를 갖는 벽을 갖는다. 제1 구동 유닛에 의해 이동될 수 있는 제1 피구동부가 진공 챔버 외부에 배열된다. 제1 피구동부는 개구를 통해 진공 챔버 내로 연장된다. 방법은 제1 피구동부에 부착된 제1 컴포넌트를 이용하여, 진공 챔버에서 제1 캐리어를 홀딩 또는 이동시키는 단계를 포함한다. 방법은 제1 피구동부에 제공된 제1 공급 통로를 통해 전력 또는 신호들 중 적어도 하나를 제1 컴포넌트에 공급하는 단계를 더 포함한다.
[0011] 실시예들은 또한, 개시되는 방법들을 수행하기 위한 장치들에 관한 것이고, 그리고 설명되는 방법 양상을 수행하기 위한 장치 파트들을 포함한다. 이들 방법 양상들은 하드웨어 컴포넌트들에 의해, 적절한 소프트웨어에 의해 프로그래밍된 컴퓨터에 의해, 이들 둘의 임의의 조합에 의해, 또는 임의의 다른 방식으로 수행될 수 있다. 게다가, 본 개시내용에 따른 실시예들은 또한, 설명되는 장치를 동작시키기 위한 방법들에 관한 것이다. 설명되는 장치를 동작시키기 위한 방법들은 장치의 모든 각각의 기능을 수행하기 위한 방법 양상들을 포함한다.
[0012] 본 개시내용의 상기 열거된 특징들이 상세히 이해될 수 있는 방식으로, 앞서 간략히 요약된 본 개시내용의 보다 구체적인 설명이 실시예들을 참조로 하여 이루어질 수 있다. 첨부 도면들은 본 개시내용의 실시예들에 관한 것이고, 아래에서 설명된다.
도 1은 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 캐리어를 핸들링하기 위한 장치의 개략적인 단면도를 도시한다.
도 2는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 캐리어를 핸들링하기 위한 장치의 개략적인 단면도를 도시한다.
도 3은 제1 포지션에 있는, 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 캐리어를 핸들링하기 위한 장치를 포함하는 진공 증착 시스템의 개략적인 단면도를 도시한다.
도 4a는 제2 포지션에 있는, 도 3의 캐리어를 핸들링하기 위한 장치를 도시한다.
도 4b는 제3 포지션에 있는, 도 3의 캐리어를 핸들링하기 위한 장치를 도시한다.
도 5는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 캐리어를 핸들링하기 위한 장치의 개략적인 단면도를 도시한다.
도 6은 도 5의 캐리어를 핸들링하기 위한 장치의 분해도를 도시한다.
도 7은 도 5의 캐리어를 핸들링하기 위한 장치의 사시도를 도시한다.
도 8은 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 진공 챔버에서 캐리어를 핸들링하는 방법을 예시하는 흐름도이다.
[0013] 이제, 본 개시내용의 다양한 실시예들이 상세히 참조될 것이고, 그 다양한 실시예들의 하나 이상의 예들이 도면들에 예시된다. 도면들의 아래의 설명 내에서, 동일한 참조 번호들은 동일한 컴포넌트들을 지칭한다. 일반적으로, 개별적인 실시예들에 대한 차이들만이 설명된다. 각각의 예는 본 개시내용의 설명으로서 제공되고, 본 개시내용의 제한으로서 의도되지 않는다.
[0014] 추가로, 일 실시예의 부분으로서 예시 또는 설명되는 특징들은 더 추가적인 실시예를 생성하기 위해 다른 실시예들과 함께 또는 다른 실시예들에 대해 사용될 수 있다. 본 설명이 그러한 변형들 및 변화들을 포함하는 것으로 의도된다.
[0015] 도 1은 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 진공 챔버(101)에서 캐리어를 핸들링하기 위한 장치(100)의 개략적인 단면도이다.
[0016] 본 개시내용에 따르면, "캐리어를 핸들링하는 것"은, 예컨대, 동작들, 이를테면, 캐리어를 이동시키는 것, 캐리어를 홀딩하는 것, 또는 캐리어를 정렬하는 것을 포함할 수 있다. 본 개시내용의 실시예들에서, 본원에서 설명되는 캐리어는 기판을 운반하도록 구성된 기판 캐리어일 수 있거나, 또는 마스크 또는 차폐부를 운반하도록 구성된 마스크 캐리어일 수 있다. 도 1은 기판(11)을 운반하는 기판 캐리어로서 캐리어(30)를 예시적으로 도시한다.
[0017] 일반적으로 말하자면, 본원에서 설명되는 캐리어는 기판 캐리어 또는 마스크 캐리어일 수 있다. 이하에서, "제1 캐리어"라는 용어는 기판을 운반하도록 구성된 기판 캐리어로서 캐리어를 특정한다. "제2 캐리어"라는 용어는 마스크를 운반하도록 구성된 마스크 캐리어로서 캐리어를 특정한다. 대안적으로, 제1 캐리어가, 마스크 또는 차폐부를 운반하도록 구성된 마스크 캐리어일 수 있음이 이해될 것이다.
[0018] 일반적으로 말하자면, 캐리어는 캐리어 운송 시스템에 의해 운송 경로를 따라 이동가능할 수 있다. 일부 실시예들에서, 캐리어는, 예컨대 자기 부상 시스템에 의해, 운송 동안 비접촉식으로 홀딩될 수 있다. 특히, 캐리어 운송 시스템은 진공 챔버에서 운송 경로를 따라 캐리어를 비접촉식으로 운송하도록 구성된 자기 부상 시스템일 수 있다. 캐리어 운송 시스템은, 정렬 시스템과 증착 소스가 내부에 배열되어 있는 진공 챔버의 증착 영역 내로 캐리어를 운송하도록 구성될 수 있다.
[0019] "기판 캐리어"는 진공 챔버(101)에서 기판(11)을 운반하도록 구성된 캐리어 디바이스에 관련된다. 예컨대, 기판 캐리어는 제1 방향으로 제1 운송 경로를 따라 기판을 운반하도록 구성될 수 있다. 기판 캐리어는 기판(11) 상으로의 코팅 재료의 증착 동안 기판(11)을 홀딩할 수 있다. 일부 실시예들에서, 예컨대, 캐리어를 이동시키는 동안, 운송 경로를 따라 캐리어를 운송하는 동안, 캐리어을 정렬하는 동안, 및/또는 증착 프로세스 동안, 기판(11)은 비-수평 배향, 특히 본질적인 수직 배향으로 기판 캐리어에 홀딩될 수 있다. 도 1에 도시된 실시예에서, 기판(11)은 본질적인 수직 배향으로 캐리어(30)에 홀딩된다. 예컨대, 기판 표면과 중력 벡터 사이의 각도는 10° 미만, 특히 5° 미만일 수 있다.
[0020] 예컨대, 기판(11)은 진공 챔버(101)를 통하는 운송 동안 캐리어의 홀딩 표면에 홀딩될 수 있다. 캐리어는, 구체적으로는 비-수평 배향, 더 구체적으로는 본질적인 수직 배향으로 기판(11)을 홀딩하도록 구성된 홀딩 표면을 갖는 캐리어 바디를 포함할 수 있다. 특히, 기판(11)은 척킹 디바이스, 예컨대 정전 척(ESC) 또는 자기 척에 의해 캐리어에 홀딩될 수 있다. 척킹 디바이스는 캐리어에 통합될 수 있고, 예컨대, 캐리어에 제공된 대기 인클로저(atmospheric enclosure)에 통합될 수 있다.
[0021] 본원에서 사용되는 바와 같은 "마스크 캐리어"는 진공 챔버에서 마스크 운송 경로를 따라 마스크를 운송하기 위해 마스크를 운반하도록 구성된 캐리어 디바이스에 관련된다. 마스크 캐리어는 운송 동안, 정렬 동안, 및/또는 마스크를 통한 기판 상으로의 증착 동안, 마스크를 운반할 수 있다. 일부 실시예들에서, 마스크는 운송 및/또는 정렬 동안, 비-수평 배향, 특히 본질적인 수직 배향으로 마스크 캐리어에 홀딩될 수 있다. 마스크는 척킹 디바이스, 예컨대 기계 척, 이를테면 클램프, 정전 척, 또는 자기 척에 의해 마스크 캐리어에 홀딩될 수 있다. 마스크 캐리어에 연결될 수 있거나 또는 마스크 캐리어에 통합될 수 있는 다른 타입들의 척킹 디바이스들이 사용될 수 있다.
[0022] 예컨대, 마스크는 에지 배제 마스크(edge exclusion mask) 또는 섀도우 마스크(shadow mask)일 수 있다. 에지 배제 마스크는 기판의 코팅 동안 하나 이상의 에지 구역들 상에 재료가 증착되지 않도록, 기판의 하나 이상의 에지 구역들을 마스킹하도록 구성된 마스크이다. 섀도우 마스크는 기판 상에 증착될 복수의 피처(feature)들을 마스킹하도록 구성된 마스크이다. 예컨대, 섀도우 마스크는 복수의 작은 개구들을 포함할 수 있고, 예컨대, 10,000개 이상의 개구들, 특히 1,000,000개 이상의 개구들을 갖는 개구 패턴을 포함할 수 있다.
[0023] 본원에서 사용되는 바와 같은 "본질적인 수직 배향"은 수직 배향, 즉 중력 벡터로부터의 10° 이하, 특히 5° 이하의 편차를 갖는 배향으로서 이해될 수 있다. 예컨대, 기판(또는 마스크)의 주 표면과 중력 벡터 사이의 각도는 +10° 내지 -10°, 특히 0° 내지 -5°일 수 있다. 일부 실시예들에서, 기판(또는 마스크)의 배향은 운송 동안 및/또는 증착 동안 정확하게 수직이 아니라, 예컨대 0° 내지 -5°, 특히 -1° 내지 -5°의 경사각으로, 수직 축에 대하여 약간 경사질 수 있다. 음의 각도는 기판(또는 마스크)이 하방으로 경사진 기판(또는 마스크)의 배향을 지칭한다. 증착 동안의 중력 벡터로부터의 기판 배향의 편차는 유익할 수 있고, 더 안정적인 증착 프로세스를 발생시킬 수 있거나, 또는 하방을 향하는 배향은 증착 동안 기판 상의 입자들을 감소시키는 데 적합할 수 있다. 그러나, 운송 동안 및/또는 증착 동안 정확한 수직 배향(+/-1°)이 또한 가능하다. 다른 실시예들에서, 기판들 및 마스크들은 비-수직 배향으로 운송될 수 있고, 그리고/또는 기판들은 비-수직 배향, 예컨대 본질적인 수평 배향으로 코팅될 수 있다.
[0024] 도 1에 도시된 바와 같이, 진공 챔버(101)의 벽(102)은 개구(106)를 갖는다. 진공 챔버(101)는 진공 챔버 볼륨 내부에 진공을 유지하도록 적응된다. 대기 환경(180), 예컨대 약 1 bar의 대기압을 갖는 대기 환경이 진공 챔버(101)를 둘러쌀 수 있다.
[0025] 장치(100)는 제1 구동 유닛(142)을 포함한다. 실시예들에서, 제1 구동 유닛(142)은 선형 액추에이터를 포함할 수 있다. 제1 구동 유닛(142)은 진공 챔버(101) 외부에 배열된다. 제1 구동 유닛(142)은 제1 피구동부(143)를 이동시키도록 구성된다. 예컨대, 제1 구동 유닛(142)에 의해 선형 이동이 제1 피구동부(143)에 전달될 수 있다. 제1 구동 유닛(142)은 제2 방향(Z)으로 제1 피구동부(143)를 이동시키도록 구성된 선형 Z-액추에이터일 수 있다.
[0026] 제1 피구동부(143)는 개구(106)를 통해 진공 챔버(101) 내로 연장된다. 다시 말하면, 제1 피구동부(143)는 진공 챔버 외부로부터, 예컨대 대기 환경으로부터 진공 챔버(101)의 벽(102)을 통과한다. 따라서, 벽(102)을 통해 연장되는 제1 피구동부(143)는 진공 챔버(101) 외부로부터 제1 구동 유닛(142)에 의해 구동된다. 진공 챔버(101) 외부로부터 제1 피구동부(143)를 구동시킴으로써, 구동 유닛의 유지보수 및 핸들링이 용이하게 될 수 있고, 장치의 유연성이 증가될 수 있다.
[0027] 개구(106)는, 제1 피구동부(143)의 축방향 이동이 가능하게 되면서, 가요성 엘리먼트, 특히, 축방향으로 편향가능한 엘리먼트, 예컨대 진공 벨로즈로 밀봉될 수 있다. 특히, 벽(102) 내의 개구(이 개구를 통해 제1 피구동부(143)가 연장됨)가 진공-밀폐 방식으로 밀봉되도록, 제1 피구동부(143)의 일부가 가요성 엘리먼트를 통해 진공 챔버의 벽(102)과 연결될 수 있다.
[0028] 제1 피동부(143)를 구동시키기 위한 제1 구동 유닛(142)이 진공 챔버 외부에, 즉 대기압 하의 대기 환경(180)에 배열될 수 있는 경우, 전형적으로 진공-양립가능 구동 유닛보다 더 비용-효율적이고 핸들링이 더 용이한 비-진공 양립가능 구동 유닛이 사용될 수 있다. 추가로, 예컨대 전기 모터 또는 스테퍼 모터를 포함하는 임의의 타입의 제1 구동 유닛(142)이 제공될 수 있다. 기계 베어링들을 포함할 수 있는 구동 유닛에 의한 진공 챔버 내부의 입자들의 생성이 방지될 수 있다. 구동 유닛의 유지보수가 용이하게 될 수 있다.
[0029] 장치(100)는 제1 컴포넌트(150)를 더 포함한다. 제1 컴포넌트(150)는 진공 챔버(101) 내부에, 즉 진공 챔버 볼륨의 진공 환경에 제공된다. 제1 컴포넌트(150)는 캐리어(30)를 홀딩 또는 이동시키도록 구성된다. 예컨대, 제1 컴포넌트(150)는 기판(11) 상으로의 코팅 재료의 증착 동안 캐리어(30)를 홀딩할 수 있다. 실시예들에서, 제1 컴포넌트(150)는 마스크를 운반하도록 구성된 마스크 캐리어를 홀딩하도록 구성될 수 있다. 다른 예에서, 제1 컴포넌트(150)는 적어도 하나의 방향, 특히 적어도 하나의 정렬 방향으로 캐리어를 이동시킬 수 있다. 적어도 하나의 정렬 방향은 증착 프로세스 전에 캐리어를 정렬하기 위한 방향일 수 있다.
[0030] 제1 컴포넌트(150)는 제1 피구동부(143)에 제공된다. 특히, 도 1에 도시된 바와 같이, 제1 컴포넌트(150)는 제1 피구동부(143)의 단부 부분에 부착될 수 있다. 제1 컴포넌트(150)는 하나 이상의 연결 엘리먼트들에 의해 제1 피구동부(143)에 부착될 수 있다. 일부 실시예들에서, 제1 컴포넌트(150)는 제1 피구동부(143)에 직접적으로 부착된다.
[0031] 제1 컴포넌트(150)가 제1 피구동부(143)에 부착되기 때문에, 제1 컴포넌트(150)는 제1 구동 유닛(142)에 의해 제1 피구동부(143)와 함께 이동될 수 있다. 진공 챔버(101) 외부에 제공되는 구동 유닛에 의해, 캐리어(30)를 홀딩 또는 이동시키기 위한 제1 컴포넌트(150)가 이동되는 경우, 외부로부터 용이하게 접근가능한 각각의 컴포넌트들의 유지보수 및 서비스가 용이하게 될 수 있다.
[0032] 제1 피구동부(143)는 제1 공급 통로(147)를 제공한다. 특히, 제1 공급 통로(147)는 제1 피구동부(143) 내부에 제공될 수 있다. 따라서, 제1 공급 통로(147)는 제1 피구동부(143)의 내측 볼륨에 의해 형성될 수 있다. 예컨대, 제1 공급 통로(147)는 제1 피구동부(143)의 제1 단부 부분으로부터 제1 피구동부(143)의 제2 단부 부분까지 연장될 수 있다. 제1 피구동부(143)의 제2 단부 부분은 제1 단부 부분과 대향할 수 있다.
[0033] 제1 공급 통로(147)는 제1 컴포넌트(150)에 공급하기 위한 제1 공급 통로(147)이다. 예컨대, 제1 컴포넌트(150)에 공급하는 것은, 전력 또는 신호들 중 적어도 하나를 제1 컴포넌트(150)에 공급하는 것을 포함할 수 있다. 특히, 하나 이상의 케이블들이 진공 챔버 외부로부터 제1 공급 통로(147)를 통해 제1 컴포넌트(150)까지 연장될 수 있고, 그에 따라, 제1 컴포넌트(150)는 진공 챔버 외부에 제공되는, 전력 공급부 및/또는 제어기에 연결될 수 있다.
[0034] 따라서, 제1 구동 유닛(142)을 통해 제2 방향(Z)으로 이동가능한 제1 컴포넌트(150)에 전력 및/또는 신호들이 공급될 수 있다. 예컨대, 제1 컴포넌트(150)는, 진공 챔버 외부로부터 제1 피구동부(143)를 통해 전력이 공급될 수 있는, 정렬 디바이스(151) 및/또는 자기 척을 포함할 수 있다.
[0035] 제1 피구동부(143)에 의해 제공되는 제1 공급 통로(147)를 이용하여, 진공 챔버 내부에 제공되는 제1 컴포넌트(150)는 진공 챔버 외부로부터 공급될 수 있다. 제1 컴포넌트(150)가 제1 피구동부(143)에 부착되기 때문에, 제1 컴포넌트(150)가 또한, 제1 구동 유닛(142)에 의해 제1 피구동부(143)와 함께 이동될 수 있다. 따라서, 제1 피구동부(143)는, 제1 컴포넌트(150)에 공급하는 것과 제1 컴포넌트(150)를 이동시키는 것 둘 모두를 위해 사용될 수 있다. 따라서, 제1 컴포넌트에 공급하기 위한, 진공 챔버 벽 내의 별개의 케이블 피드스루(feedthrough)가 생략될 수 있다. 이는 캐리어를 핸들링하기 위한 장치의 비용들을 감소시킬 수 있다.
[0036] 본원에서 설명되는 실시예들과 조합될 수 있는, 본 개시내용의 일부 실시예들에 따르면, 제1 피구동부는, 진공 챔버 외부로부터 제1 컴포넌트(150)에 전력 케이블과 신호 케이블 중 적어도 하나를 피드(feed)하도록 구성된 중공 샤프트를 포함한다.
[0037] 도 1에 도시된, 전력 케이블과 신호 케이블 중 적어도 하나는 진공 챔버(101) 내부에 제공된 제1 컴포넌트(150)에 연결된다. 이하에서, 전력 케이블과 신호 케이블 중 적어도 하나는 또한, 간단히 "케이블" 또는 "케이블(161)"이라고 지칭된다. 케이블(161)은 연결 소켓을 통해 제1 컴포넌트(150)에 연결될 수 있다. 연결 소켓은 제1 컴포넌트(150)의 하우징에 제공될 수 있다. 일부 실시예들에서, 연결 소켓은 제1 컴포넌트(150)의 하우징 내부에 제공된다. 도 1에 예시적으로 도시된 바와 같이, 케이블(161)은 제1 컴포넌트(150) 내부 내로 연장될 수 있다.
[0038] 본원에서 설명되는 일부 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 제1 공급 통로(147)는 진공 챔버 외부의 대기 환경(180)과 제1 컴포넌트(150) 내부 사이의 유체 연결을 제공한다. 예컨대, 제1 컴포넌트(150)의 하우징 내부와 대기 환경 사이에 유체 연결이 제공될 수 있다.
[0039] 제1 컴포넌트(150) 내부가 대기 환경에서 동작되도록 적응되는 경우, 제1 컴포넌트(150)는 제1 공급 통로(147)를 통해 공급될 수 있다. 예컨대, 전자 디바이스 또는 전자석 유닛이 진공 조건들 하에서 동작되도록 적응되지 않을 수 있다. 이 경우에, 전자석 유닛은, 적절하게 동작하도록, 진공 챔버 내부에서 제1 컴포넌트의 대기 인클로저, 특히 진공-밀폐 인클로저에 제공될 것이다. 따라서, 제1 공급 통로(147)를 통해 제1 컴포넌트(150) 내부에 대기 환경이 제공될 수 있다. 이 경우에, 제1 컴포넌트는 비-진공 양립가능 장비, 예컨대 비-진공 양립가능 전기 케이블링에 의해 공급될 수 있다. 취득 비용들 및/또는 유지보수 비용들이 감소될 수 있다. 추가로, 전기 케이블링, 예컨대 케이블(161)이 진공 챔버(101) 내부에서 진공 환경에 노출되지 않기 때문에, 진공 챔버 내의 입자 생성이 감소될 수 있다. 추가로, 예컨대, 제1 컴포넌트(150) 내부, 또는 제1 컴포넌트(150)에 배열된 전자 디바이스들이 진공-양립가능하지 않은 경우, 제1 공급 통로를 통해 제1 컴포넌트에 공급함으로써, 진공 챔버 내의 진공 환경의 오염이 감소 또는 방지될 수 있다.
[0040] 실시예들에서, 진공-밀폐 방식으로 제1 피구동부(143)가 통과하는, 벽(102)의 개구(106)에 가요성 엘리먼트, 특히, 축방향으로 확장가능한(expandable) 엘리먼트가 제공된다. 축방향으로 확장가능한 엘리먼트의 길이방향 축은 제2 방향(Z)으로 연장될 수 있다. 예컨대, 벽(102) 내의 개구(이 개구를 통해 제1 피구동부(143)가 연장됨)가 진공-밀폐 방식으로 폐쇄되도록, 확장가능한 엘리먼트, 이를테면 벨로즈 엘리먼트가 제1 피구동부의 일부를 벽(102)과 연결할 수 있다.
[0041] 본원에서 설명되는 실시예들과 조합될 수 있는, 본 개시내용의 실시예들에서, 제1 구동 유닛은 제2 방향(Z)으로 제1 피구동부를 이동시킬 수 있다. 제2 방향은 진공 챔버의 벽, 예컨대 측벽에 실질적으로 수직일 수 있고, 그리고/또는 캐리어 운송 시스템의 운송 경로에 실질적으로 수직일 수 있다.
[0042] 본원에서 설명되는 실시예들과 조합될 수 있는, 본 개시내용의 일부 실시예들에 따르면, 제1 컴포넌트(150)는 탑재부, 특히, 캐리어를 홀딩하도록 구성된 자기 탑재부일 수 있다. 자기 탑재부는 캐리어 상에 자기 인력을 가함으로써 캐리어를 홀딩할 수 있다. 일부 실시예들에서, 제1 컴포넌트는 전기영구 자석(electropermanent magnet)을 갖는 자기 탑재부일 수 있다. 케이블(161)은 탑재부의 전자석에 전력을 공급하는 전력 케이블, 및/또는 자기 탑재부를 제어하도록 구성된 신호 케이블일 수 있다. 전자석은 자기 탑재부의 하우징 내부의 대기압으로 제공될 수 있다.
[0043] 일부 실시예들에서, 제1 컴포넌트(150)는 정렬 디바이스이다. 특히, 정렬 디바이스는 적어도 하나의 정렬 방향으로 캐리어를 이동시키도록 구성된 압전 액추에이터를 포함할 수 있다. 일부 실시예들에서, 압전 액추에이터는 추가로, 제1 정렬 방향을 횡단하는 제2 정렬 방향, 및/또는 제1 및 제2 정렬 방향들을 횡단하는 제3 정렬 방향으로 캐리어를 이동시키도록 구성될 수 있다.
[0044] "정렬"이라는 용어는, 진공 챔버 내의 미리 결정된 포지션, 특히 제2 캐리어에 대한 미리 결정된 포지션에 정확하게 캐리어를 포지셔닝하는 것을 지칭한다. 캐리어는 적어도 하나의 정렬 방향, 특히, 서로에 대하여 본질적으로 수직일 수 있는 2개 또는 3개의 정렬 방향들로 정렬될 수 있다.
[0045] 본원에서 설명되는 실시예들과 조합될 수 있는, 본 개시내용의 실시예들에 따르면, 진공 챔버에서 캐리어를 핸들링하는 장치는 진공 챔버 외부에 배열된 제2 구동 유닛을 포함할 수 있다. 제2 구동 유닛은 진공 챔버 내로 개구를 통해 연장되는 제2 피구동부를 이동시키도록 구성될 수 있다. 장치는 진공 챔버에서 제2 피구동부에 부착되어 있는, 캐리어를 홀딩 또는 이동시키기 위한 제2 컴포넌트를 더 포함할 수 있다. 실시예들에서, 제2 피구동부는 제2 컴포넌트에 공급하기 위한 제2 공급 통로를 제공할 수 있다.
[0046] 도 2는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 진공 챔버(101)에서 캐리어를 핸들링하기 위한 장치(200)의 개략적인 단면도이다. 장치(200)는 도 1에 도시된 장치(100)와 유사하고, 그에 따라, 여기서 반복되지 않는 위의 설명들이 참조될 수 있다.
[0047] 장치(200)는 제1 캐리어(10)를 홀딩 또는 이동시키기 위한 제1 컴포넌트(150), 및 제2 캐리어(20)를 홀딩 또는 이동시키기 위한 제2 컴포넌트(155)를 포함한다. 제1 컴포넌트(150)는 제1 캐리어(10)를 홀딩 또는 이동시키도록 구성된다. 제2 컴포넌트(155)는 제2 캐리어(20)를 홀딩 또는 이동시키도록 구성된다. 도 2에 도시된 장치(200)는 진공 챔버(101) 외부에 배열된 제2 구동 유닛(145)을 더 포함한다. 제2 구동 유닛(145)은 제2 피구동부(146)를 이동시키도록 구성된다.
[0048] 이하에서, 제1 구동 유닛(142) 및 제1 피구동부(143)를 포함하는 조립체는 종종, "제1 시프팅 디바이스(141)"라고 지칭된다. 유사하게, 제2 구동 유닛(145) 및 제2 피구동부(146)를 포함하는 조립체는 종종, "제2 시프팅 디바이스(144)"라고 지칭된다. 이하에서, 특히 제2 캐리어(20)에 대하여 제1 캐리어(10)를 정렬하도록 구성된 시스템은 종종, "정렬 시스템(130)"이라고 지칭된다. 정렬 시스템(130)은 제1 구동 유닛(142) 및 제1 피구동부(143)를 포함하며, 여기서, 제1 캐리어를 홀딩 또는 이동시키기 위한 제1 컴포넌트(150)는 제1 피구동부(143)에 제공된다. 정렬 시스템(130)은 제2 구동 유닛(145) 및 제2 피구동부(146) 뿐만 아니라, 제2 피구동부(146)에 제공된, 제2 캐리어를 홀딩 또는 이동시키기 위한 제2 컴포넌트(155)를 더 포함할 수 있다.
[0049] 도 2에서, 제2 컴포넌트(155)는 제2 피구동부(146)에 부착된다. 제1 피구동부(143)와 유사하게, 제2 피구동부(146)는, 특히 전력과 신호들 중 적어도 하나를 제2 컴포넌트(155)에 공급하기 위한 공급 통로, 즉 도 2에 도시된 바와 같은 제2 공급 통로(149)를 제공할 수 있다.
[0050] 일부 실시예들에서, 제2 피구동부(146)는 진공 챔버 내부에 배열된 컴포넌트, 예컨대 진공 챔버 내부에서 제2 피구동부(146)의 단부 부분에 제공된 컴포넌트에 공급 엘리먼트, 이를테면 케이블을 피드하도록 구성된다. 예컨대, 진공 챔버 외부로부터 피구동부(146)를 통해, 제2 캐리어(20)를 홀딩 또는 이동시키기 위한 제2 컴포넌트(155)에 전력이 공급될 수 있다.
[0051] 실시예들에서, 제2 피구동부(146)는 진공 챔버(101) 외부로부터 제2 컴포넌트(155)에 전력 케이블과 신호 케이블 중 적어도 하나를 피드하도록 구성된 중공 샤프트를 포함한다.
[0052] 본원에서 설명되는 실시예들과 조합될 수 있는, 본 개시내용의 일부 실시예들에 따르면, 장치(200)는 제1 공급 통로(147)에 진공 피드스루(170)를 포함할 수 있다. 진공 피드스루(170)는 진공 챔버(101) 외부의 대기 환경(180)과 제1 컴포넌트(150) 내부의 진공 환경을 분리하도록 구성될 수 있다.
[0053] 본원에서 설명되는 실시예들과 조합될 수 있는, 본 개시내용의 일부 실시예들에 따르면, 제1 컴포넌트 내부는 진공 환경을 위해 구성될 수 있으며, 제1 공급 통로에 진공 피드스루가 제공된다. 부가적으로 또는 대안적으로, 제2 컴포넌트 내부는 대기 환경을 위해 구성되며, 제2 공급 통로는 진공 챔버 외부의 대기 환경과 제2 컴포넌트 내부 사이의 유체 연결을 제공한다.
[0054] 본원에서 설명되는 실시예들과 조합될 수 있는, 본 개시내용의 실시예들에 따르면, 제1 컴포넌트(150)는 적어도 하나의 정렬 방향으로 제1 캐리어를 이동시키도록 구성된 정렬 디바이스일 수 있으며, 제2 컴포넌트(155)는 제1 캐리어 옆에 나란히 제2 캐리어를 홀딩하도록 구성된 자기 탑재부일 수 있다. 특히, 제1 컴포넌트(150)는 하나 이상의 정렬 방향들로 제1 캐리어(10)를 정렬하기 위한 하나 이상의 압전 액추에이터들을 포함할 수 있으며, 제2 컴포넌트(155)는 제2 컴포넌트(155)에 제2 캐리어(20)를 홀딩하도록 구성된 탑재부, 특히 자기 탑재부를 포함할 수 있다. 제1 공급 통로(147)를 통해 연장되는 하나 이상의 케이블들이 하나 이상의 압전 액추에이터들에 공급될 수 있으며, 제2 공급 통로(149)를 통해 연장되는 하나 이상의 케이블들이, 제2 캐리어를 홀딩하기 위한 자기 탑재부에 공급될 수 있다.
[0055] 일부 실시예들에서, 장치(200)는 캐리어를 홀딩 또는 이동시키기 위한 제3 컴포넌트(157)를 더 포함할 수 있다. 도 2에서, 제3 컴포넌트(157)는 제1 컴포넌트(150)에 제1 캐리어(10)를 홀딩하도록 구성된다. 특히, 제3 컴포넌트(157)는 정렬 디바이스에 제1 캐리어(10)를 홀딩하도록 구성된 자기 탑재부일 수 있다.
[0056] 장치(200)는 제3 컴포넌트(157)에 공급하기 위한 케이블 피드스루(109)를 진공 챔버(101)의 벽(102)에 포함할 수 있다. 실시예들에서, 제3 컴포넌트(157)는 제1 컴포넌트(150)에 캐리어, 즉 제1 캐리어(10)를 홀딩하도록 구성된 자기 탑재부일 수 있다. 제1 컴포넌트(150)는 제1 캐리어(10)를 정렬하도록 구성된 정렬 디바이스일 수 있으며, 제3 컴포넌트(157)는 정렬 디바이스에 제1 캐리어(10)를 홀딩하도록 구성될 수 있다.
[0057] 제1 피구동부(143) 및 제2 피구동부(146)는 진공 챔버의 측벽에 제공된 동일한 개구를 통해 연장될 수 있다. 개구는 가요성 엘리먼트, 특히 벨로즈 엘리먼트에 의해 진공-밀봉될 수 있다.
[0058] 도 3은 진공 증착 시스템(350)의 개략적인 단면도이다. 진공 증착 시스템은, 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 진공 챔버(101)에서 캐리어를 핸들링하기 위한 장치(300)를 포함한다. 장치(300)는 도 2에 도시된 장치(200)와 유사하고, 그에 따라, 여기서 반복되지 않는 위의 설명들이 참조될 수 있으며, 차이들만이 아래에서 논의될 것이다.
[0059] 도 3에서, 제1 컴포넌트는 정렬 디바이스(151), 특히, 적어도 하나의 압전 액추에이터를 포함하는 정렬 디바이스이다. 제2 컴포넌트는 제2 캐리어(20)를 홀딩하도록 구성된 자기 탑재부(152)이다. 자기 탑재부(152)는 자기 탑재부(152) 내부에 제공된 대기 인클로저를 포함한다. 특히, 자기 탑재부(152) 내부는 제2 공급 통로(149)를 통해 대기 환경(180)과 유체 연결된다. 따라서, 자기 탑재부(152)는, 자기 탑재부(152) 내부에 대기 조건이 유지되면서, 진공 챔버 외부로부터 공급될 수 있다.
[0060] 도 3에 도시된 바와 같이, 전력 케이블 또는 신호 케이블일 수 있는 케이블(163)이 진공 챔버 외부로부터 제2 공급 통로(149)를 통해 자기 탑재부(152) 내부까지 통과한다.
[0061] 실시예들에서, 정렬 디바이스(151)는 진공 조건들 하에서 동작하도록 적응될 수 있으며, 즉, 정렬 디바이스(151)는 진공 양립가능할 수 있다. 정렬 디바이스(151) 내부는 진공 챔버(101)의 진공에 노출될 수 있다. 제1 공급 통로(147)에 진공 피드스루(170)를 제공함으로써, 정렬 디바이스(151) 내부의 진공 환경은 진공 챔버 외부의 대기 환경(180)과 분리될 수 있다. 따라서, 정렬 디바이스(151) 내부의 진공 환경이 유지될 수 있으면서, 정렬 디바이스(151)는 외부로부터의 전력 및/또는 신호 케이블에 의해 공급될 수 있다.
[0062] 실시예들에서, 캐리어를 핸들링하기 위한 장치는 제1 캐리어를 홀딩 또는 이동시키기 위한 제3 컴포넌트를 포함할 수 있다. 도 3에서, 제3 컴포넌트는 위에서 설명된 자기 탑재부(152)와 유사할 수 있는 자기 탑재부이며, 자기 탑재부(152)에 대한 차이들만이 설명될 것이다. 아래에서, 제3 컴포넌트는 "제1 탑재부(153)"라고 지칭되며, 자기 탑재부(152)는 "제2 탑재부(152)"라고 지칭된다.
[0063] 제1 탑재부(153)는 전형적으로, 제1 캐리어(10)를 홀딩하도록 구성된다. 특히, 제1 탑재부(153)는 정렬 디바이스(151)에 제1 캐리어(10)를 홀딩하도록 구성될 수 있다. 더 구체적으로, 제1 탑재부(153)는 정렬 디바이스(151)에 연결된다. 따라서, 제1 탑재부(153)는 제1 구동 유닛(142)에 의해 정렬 디바이스(151)와 함께 이동될 수 있다.
[0064] 실시예들에서, 제1 탑재부(153) 내부에 대기 인클로저가 제공된다. 전형적으로, 제1 탑재부(153) 내부는, 제1 탑재부(153) 내부에 대기압을 유지하기 위해 진공-밀폐 방식으로 밀봉된다.
[0065] 본원에서 설명되는 바와 같이, 제2 탑재부(152)는 제2 공급 통로(149)를 통해 공급될 수 있다. 실시예들에서, 제1 탑재부(153)는 케이블 피드스루(109)를 통해 피드되는 전력 또는 신호 케이블(165)에 의해 공급받는다. 전력 케이블 또는 신호 케이블(165)은 케이블 피드스루(109)를 통해 진공 챔버(101) 내부 내로 피드될 수 있다. 전력 또는 신호 케이블(165)은 제1 탑재부(153)의 연결 박스를 통해 제1 탑재부(153)에 공급할 수 있다. 제1 탑재부(153), 그리고 특히 연결 박스는 전형적으로, 제1 탑재부(153) 내부를 밀봉하도록 구성되고, 그에 따라, 제1 탑재부(153) 내부에 대기압이 유지되면서, 전력 케이블 또는 신호 케이블(165)이 진공 챔버(101) 내의 진공 환경으로부터 제1 탑재부(153) 내부와 연결될 수 있다.
[0066] 본원에서 설명되는 실시예들과 조합될 수 있는, 본 개시내용의 실시예들에 따르면, 전력 또는 신호 케이블(165)은 진공 환경들에서 사용하기 위한 재료를 갖는 전기 케이블링이다. 예컨대, 전력 또는 신호 케이블(165)은 진공-내(in-vacuum) 케이블, 이를테면, 진공 양립가능 절연체(vacuum compatible insulation)를 갖는 구리 와이어일 수 있다. 특히, 전력 또는 신호 케이블(165)은 낮은 레이트의 아웃개싱(outgassing)을 갖는 전기 케이블링일 수 있다.
[0067] 진공 증착 시스템은 제1 캐리어(10)에 의해 운반되는 기판 상에 하나 이상의 재료들을 증착하도록 구성될 수 있다. 증착 소스(105), 특히, 유기 재료를 증발시키도록 구성된 증기 소스가 진공 챔버에 제공될 수 있다. 증착 소스(105)는, 재료가, 증착 소스(105)로부터, 제1 탑재부(153)에 탑재된 제1 캐리어(10) 쪽으로 지향될 수 있도록 배열될 수 있다.
[0068] 진공 증착 시스템(350)은 진공 챔버(101)의 증착 영역에 제공된 증착 소스(105)를 포함한다. 일부 실시예들에서, 제1 컴포넌트는 증착 영역에서 캐리어를 홀딩 또는 이동시키도록 구성된다.
[0069] 진공 증착 시스템(350)은 제1 캐리어(10)에 의해 운반되는 기판 상에 하나 이상의 재료들을 증착하도록 구성된 진공 증착 시스템일 수 있다.
[0070] 증착 소스(105), 특히, 유기 재료를 증발시키도록 구성된 증기 소스가 진공 챔버에 제공될 수 있다. 증착 소스(105)는, 재료가, 증착 소스(105)로부터, 정렬 시스템의 제1 탑재부(153)에 탑재된 제1 캐리어(10) 쪽으로 지향될 수 있도록 배열될 수 있다.
[0071] 대안적으로 또는 부가적으로, 증착 소스는 증기 배출구들이 제공된 회전가능 분배 파이프를 포함할 수 있다. 분배 파이프는 본질적으로 수직 방향으로 연장될 수 있고, 본질적인 수직 회전 축을 중심으로 회전가능할 수 있다. 증착 재료는 증발 소스의 도가니에서 증발될 수 있고, 그리고 분배 파이프에 제공된 증기 배출구들을 통해 기판 쪽으로 지향될 수 있다.
[0072] 특히, 증착 소스(105)는 본질적인 수직 방향으로 연장되는 라인 소스로서 제공될 수 있다. 수직 방향의 증착 소스(105)의 높이는, 제1 방향(X)으로 기판을 지나서 증착 소스(105)를 이동시킴으로써 기판이 코팅될 수 있도록, 수직으로 배향된 기판의 높이에 적응될 수 있다.
[0073] 도 3에서, 제1 캐리어(10)는 코팅될 기판(11)을 운반하는 기판 캐리어이며, 제2 캐리어(20)는 증착 동안 기판(11)의 전방에 배열될 마스크(21)를 운반하는 마스크 캐리어이다. 제1 시프팅 디바이스(141)를 이용하여, 제1 캐리어(10)와 제2 캐리어(20)가 서로에 대하여 정렬될 수 있고, 그에 따라, 마스크에 의해 정의되는 바와 같은, 기판 상의 미리 결정된 패턴으로, 증발 재료가 정확하게 증착될 수 있다.
[0074] 특히, 제2 시프팅 디바이스(144)를 이용하여, 제2 탑재부(152)에 탑재된 제2 캐리어(20)가 제2 방향(Z)으로, 미리 결정된 포지션까지 이동될 수 있다. 제1 시프팅 디바이스(141)를 이용하여, 제1 캐리어(10)가 제2 방향(Z)으로, 제2 캐리어(20)에 인접한 미리 결정된 포지션까지 이동될 수 있다. 이어서, 정렬 디바이스(151)를 이용하여, 제1 캐리어(10)가 정렬 방향, 특히 제2 방향(Z)으로, 그리고/또는 선택적으로는 하나 이상의 추가적인 정렬 방향들로 정렬될 수 있다.
[0075] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에서, 정렬 시스템(130)은 진공 챔버(101)의 벽(102), 특히 측벽을 통해 연장되고, 그리고 정렬 시스템(130)과 측벽 사이에 방진(vibration isolation)을 제공하기 위한 방진 엘리먼트(103)를 통해 측벽에 유연하게 연결된다. 방진 엘리먼트는 축방향으로 확장가능한 엘리먼트, 이를테면 벨로즈 엘리먼트일 수 있다.
[0076] 본원에서 설명되는 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 캐리어를 핸들링하기 위한 장치는 진공 챔버에서 제1 방향(X)으로 캐리어를 운송하도록 구성된 캐리어 운송 시스템을 포함할 수 있다. 제1 구동 유닛은 제1 방향을 횡단하는 제2 방향(Z)으로 제1 피구동부를 이동시키도록 구성될 수 있다.
[0077] 도 3에 도시된 장치(300)는 제1 방향(X)으로 제1 운송 경로를 따라 제1 캐리어를 운송하도록 구성된 제1 캐리어 운송 시스템(120)을 포함한다. 제2 방향(Z)은 제1 방향(X)에 본질적으로 수직일 수 있으며, 그 제1 방향(X)을 따라, 제1 캐리어가 제1 캐리어 운송 시스템(120)에 의해 운송된다. 제1 방향(X)으로의 제1 캐리어의 운송 후에, 제1 캐리어는 제1 탑재부(153)에 탑재될 수 있고, 그리고 제2 방향(Z)으로, 제1 운송 경로로부터 멀어지게, 예컨대, 증착 소스(105) 쪽으로, 또는 마스크를 운반하는 제2 캐리어(20) 쪽으로 시프팅될 수 있다.
[0078] 제1 캐리어 운송 시스템(120)은, 적어도 하나의 자석 유닛(121), 특히, 가이딩 구조물에 제1 캐리어(10)를 비접촉식으로 홀딩하도록 구성된 적어도 하나의 능동 제어식 자석 유닛을 갖는 자기 부상 시스템을 포함할 수 있다.
[0079] 일부 실시예들에서, 적어도 하나의 정렬 방향은 본질적으로 제2 방향(Z)에 대응할 수 있다. 따라서, 제1 캐리어는 제1 시프팅 디바이스(141)에 의해 그리고 정렬 디바이스(151)에 의해 제2 방향(Z)으로 이동될 수 있다. 제1 시프팅 디바이스(141)는 제2 방향(Z)으로의 제1 캐리어의 조악(coarse) 포지셔닝을 수행하도록 구성될 수 있으며, 정렬 디바이스(151)는 제2 방향(Z)으로의 제1 캐리어의 정밀(fine) 정렬을 수행하도록 구성될 수 있다.
[0080] 일부 실시예들에서, 정렬 디바이스(151)는 제2 방향(Z)으로, 그리고 선택적으로는 제1 방향(X)과, 제1 및 제2 방향을 횡단하는 제3 방향(Y) 중 적어도 하나의 방향으로, 제2 탑재부(152)를 이동시키도록 구성된다. 제3 방향(Y)은 본질적인 수직 방향일 수 있다. 따라서, 제1 캐리어는 제1 방향(X), 제2 방향(Z), 및/또는 제3 방향(Y)으로 정렬 디바이스(151)에 의해 정확하게 포지셔닝될 수 있다. 다른 실시예들에서, 정렬 디바이스(151)는 2개의 방향들, 예컨대 제2 방향(Z) 및 제3 방향(Y)으로만 제1 탑재부(153)를 이동시킬 수 있다. 추가적인 실시예들에서, 정렬 디바이스(151)는 하나의 방향, 특히 제2 방향(Z)으로만 제1 탑재부(153)를 이동시킬 수 있다.
[0081] 정렬 디바이스(151) 및 제1 탑재부(153)는 제1 시프팅 디바이스(141)의 피구동부(143)에 고정될 수 있고, 그에 따라, 정렬 디바이스(151) 및 제1 탑재부(153)는 제2 방향(Z)으로 제1 시프팅 디바이스(141)에 의해 이동될 수 있다. 제1 시프팅 디바이스(141)는 제1 구동 유닛(142), 및 제2 방향(Z)으로 제1 구동 유닛(142)에 의해 이동될 수 있는 제1 피구동부(143)를 포함한다. 제1 탑재부(153)와 함께 정렬 디바이스(151)는, 제2 방향(Z)으로 피구동부(143)와 함께 이동가능하게 되도록, 피구동부(143), 예컨대 피구동부(143)의 선단부에 제공될 수 있다. 피구동부(143)는, 제2 방향(Z)으로 진공 챔버 외부로부터 진공 챔버 내로 연장되는 선형 연장 바 또는 암을 포함할 수 있고, 제1 구동 유닛(142)에 의해 이동될 수 있다.
[0082] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에서, 제1 시프팅 디바이스(141)의 제1 구동 유닛(142)은, 10 mm 이상, 구체적으로는 20 mm 이상, 더 구체적으로는 30 mm 이상의 거리만큼, 제2 방향(Z)으로 피구동부(143)를 이동시키도록 구성된 선형 액추에이터를 포함할 수 있다. 예컨대, 제1 구동 유닛(142)은, 10 mm 이상의 거리만큼 제2 방향(Z)으로 피구동부(143)를 이동시키도록 구성된, 기계 액추에이터, 전기-기계 액추에이터, 예컨대 스테퍼 모터, 전기 모터, 유압 액추에이터, 및/또는 공압 액추에이터를 포함할 수 있다.
[0083] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에서, 정렬 디바이스(151)는, 적어도 하나의 정렬 방향으로 제1 탑재부를 이동시키도록 구성된 적어도 하나의 정밀 액추에이터, 예컨대 적어도 하나의 압전 액추에이터를 포함할 수 있다. 특히, 정렬 디바이스(151)는 2개 또는 3개의 정렬 방향들로 제1 탑재부를 이동시키도록 구성된 2개 또는 3개의 압전 액추에이터들을 포함한다. 정렬 디바이스(151)의 압전 액추에이터는 제2 방향(Z)으로, 그리고 선택적으로는 제1 방향(X) 및/또는 제3 방향(Y)으로, 제1 탑재부(153)를 이동시키도록 구성될 수 있다. 정렬 디바이스(151)는 적어도 하나의 정렬 방향으로의, 제1 캐리어(10)가 상부에 탑재된 제1 탑재부(153)의 정밀 포지셔닝(또는 정밀 정렬)을 위해 구성될 수 있다. 예컨대, 정렬 디바이스는 5-μm-미만 정확도(sub-5-μm accuracy), 특히 μm-미만 정확도로 제1 캐리어를 포지셔닝하도록 구성될 수 있다. 따라서, 제1 시프팅 디바이스의 피구동부(143)에 제1 탑재부(153)와 함께 정렬 디바이스(151)가 제공되게 함으로써, 제1 시프팅 디바이스(141)에 의해 제1 탑재부의 조악 포지셔닝이 수행될 수 있고, 그리고 정렬 디바이스(151)에 의해 제1 탑재부의 정밀 포지셔닝이 제공될 수 있다.
[0084] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에서, 제1 탑재부(153)는 제1 탑재부(153)에 제1 캐리어(10)를 자기적으로 홀딩하도록 구성된 자기 척을 포함한다. 예컨대, 제1 탑재부(153)는 제1 탑재부에 제1 캐리어를 자기적으로 홀딩하도록 구성된 전기영구 자석 디바이스를 포함할 수 있다. 전기영구 자석 디바이스는, 전기영구 자석 디바이스의 코일에 전기 펄스를 인가함으로써, 홀딩 상태와 릴리징 상태 사이에서 스위칭될 수 있다. 특히, 전기영구 자석 디바이스의 적어도 하나의 자석의 자화는 전기 펄스를 인가함으로써 변화될 수 있다.
[0085] 도 3에 도시된 정렬 시스템(130)은, 진공 챔버에 제공된, 예컨대, 진공 챔버의 상단 벽에 부착된 지지부(110)에 (견고하게) 고정될 수 있다. 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에서, 지지부(110)는 제1 방향(X)으로 연장되고, 그리고 제1 캐리어 운송 시스템(120)의 적어도 하나의 자석 유닛(121)을 운반 또는 지지한다. 따라서, 적어도 하나의 자석 유닛(121)과 정렬 시스템(130) 둘 모두가 진공 챔버 내부에서 동일한 기계 지지부에 고정되고, 그에 따라, 진공 챔버의 진동들 또는 다른 움직임들이 자기 부상 시스템의 부상 자석들 및 정렬 시스템(130)에 동일한 정도로 전달된다. 정렬 정확도가 더 개선될 수 있으며, 캐리어 운송이 용이하게 될 수 있다.
[0086] 일부 실시예들에서, 증착 소스(105)는 증착 영역 내로 코팅 재료를 지향시키기 위한 복수의 증기 개구들 또는 노즐들을 갖는 분배 파이프를 포함할 수 있다. 추가로, 증착 소스는 코팅 재료를 가열 및 증발시키도록 구성된 도가니를 포함할 수 있다. 도가니는, 이를테면 분배 파이프와 유체 연통하도록, 분배 파이프에 연결될 수 있다.
[0087] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에서, 증착 소스는 회전가능할 수 있다. 예컨대, 증착 소스는, 증착 소스의 증기 개구들이 증착 영역 쪽으로 지향되는 제1 배향으로부터, 증기 개구들이 제2 증착 영역 쪽으로 지향되는 제2 배향으로 회전가능할 수 있다. 증착 영역 및 제2 증착 영역은 증착 소스의 대향 측들에 위치될 수 있고, 증착 소스는 증착 영역과 제2 증착 영역 사이에서 약 180°의 각도로 회전가능할 수 있다.
[0088] 제1 캐리어 운송 시스템(120)은 진공 챔버(101)에서 제1 캐리어(10)를 비접촉식으로 운송하도록 구성될 수 있다. 예컨대, 제1 캐리어 운송 시스템(120)은 자기력들에 의해 제1 캐리어(10)를 홀딩 및 운송할 수 있다. 특히, 제1 캐리어 운송 시스템(120)은 자기 부상 시스템을 포함할 수 있다.
[0089] 도 3의 예시적인 실시예에서, 제1 캐리어 운송 시스템(120)은 적어도 하나의 자석 유닛(121)을 포함하며, 그 적어도 하나의 자석 유닛(121)은 제1 캐리어(10) 위에 적어도 부분적으로 배열되고, 그리고 제1 캐리어(10)의 중량의 적어도 일부를 운반하도록 구성된다. 적어도 하나의 자석 유닛(121)은 제1 캐리어(10)를 비접촉식으로 홀딩하도록 구성된 능동 제어식 자석 유닛을 포함할 수 있다. 제1 캐리어 운송 시스템(120)은 제1 방향(X)으로 제1 캐리어(10)를 비접촉식으로 이동시키도록 구성된 구동 디바이스를 더 포함할 수 있다. 일부 실시예들에서, 구동 디바이스는 제1 캐리어(10) 아래에 적어도 부분적으로 배열될 수 있다. 구동 디바이스는, 제1 캐리어 상에 자기력을 가함으로써 제1 캐리어를 이동시키도록 구성된 구동부, 이를테면 선형 모터(미도시)를 포함할 수 있다.
[0090] 일부 실시예들에서, 정렬 시스템(130)은 진공 챔버 내부에 제공된 지지부(110)에 고정된 메인 바디(131)를 포함한다. 제1 시프팅 디바이스(141)의 제1 구동 유닛(142) 및 제2 시프팅 디바이스(144)의 제2 구동 유닛(145)은 정렬 시스템(130)의 메인 바디(131)에 고정될 수 있다. 정렬 시스템(130)의 메인 바디(131)는, 제1 시프팅 디바이스의 피구동부(143) 및 제2 시프팅 디바이스의 제2 피구동부(146)를 위한, 벽(102)을 통하는 피드-스루를 제공할 수 있다. 정렬 시스템(130)의 메인 바디(131)는 방진 엘리먼트(103)를 통해 진공 챔버(101)의 벽(102)에 유연하게 연결될 수 있다.
[0091] 정렬 시스템(130)의 메인 바디(131)는 지지부(110)에 고정될 수 있다. 지지부(110)는 진공 챔버의 상단 벽에 (직접적으로 또는 간접적으로) 고정될 수 있고, 그리고/또는 제1 방향(X)으로 연장될 수 있는, 지지 레일 또는 지지 거더(girder)로서 제공될 수 있다. 전형적으로, 진공 챔버의 상단 벽은 수직 연장 측벽들보다 더 강하게 보강되고, 덜 이동가능하다.
[0092] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에서, 제1 캐리어 운송 시스템(120)은 제1 방향(X)으로 제1 운송 경로를 따라 제1 캐리어를 운송하도록 제공될 수 있으며, 제2 캐리어 운송 시스템(122)은 제1 방향(X)으로, 제1 운송 경로에 평행한 제2 운송 경로를 따라 제2 캐리어(20)를 운송하도록 제공될 수 있다. 제1 캐리어 운송 시스템(120) 및/또는 제2 캐리어 운송 시스템(122)은 비접촉식 캐리어 운송을 위한 자기 부상 시스템들로서 구성될 수 있다. 특히, 제1 캐리어 운송 시스템(120)은 제1 캐리어(10)를 비접촉식으로 홀딩하기 위한 적어도 하나의 자석 유닛(121), 특히 능동 제어식 자석 유닛을 포함할 수 있다. 제2 캐리어 운송 시스템(122)은 제2 캐리어(20)를 비접촉식으로 홀딩하기 위한 적어도 하나의 제2 자석 유닛(123), 특히 능동 제어식 자석 유닛을 포함할 수 있다. 전형적으로, 각각의 자기 부상 시스템은, 본질적으로 동일한 간격으로, 제1 방향(X)을 따라 배열될 수 있는 복수의 능동 제어식 자석 유닛들을 포함한다. 예컨대, 능동 제어식 자석 유닛들은 지지부(110)에 고정될 수 있다.
[0093] 도 3에서, 제1 캐리어(10) 및 제2 캐리어(20)는, 제1 캐리어 운송 시스템(120) 및 제2 캐리어 운송 시스템(122)의 능동 제어식 자석 유닛들에 의해 비접촉식으로 홀딩된다. 제1 탑재부(153)는 제2 방향(Z)으로 제1 캐리어(10)로부터 일정 거리에 제공되며, 제2 탑재부(152)는 제2 방향(Z)으로 제2 캐리어(20)로부터 일정 거리에 제공된다.
[0094] 도 4a는 제2 포지션에 있는, 도 3의 장치(300)를 도시한다. 제2 방향(Z)으로 제2 캐리어(20)까지 제2 탑재부를 이동시킴으로써, 그리고 제2 탑재부(152)에 제2 캐리어(20)를 자기적으로 부착함으로써, 제2 캐리어(20)가 제2 탑재부(152)에 탑재되었다. 이어서, 제2 캐리어(20)는 제2 시프팅 디바이스(144)에 의해, 제2 방향(Z)으로, 미리 결정된 포지션까지, 예컨대 20 mm 이상의 거리만큼 이동된다. 특히, 제2 캐리어(20)에 의해 운반되는 마스크(21)는 증착 소스(105)와 대면하는 미리 결정된 포지션에 포지셔닝된다.
[0095] 도 4a에 추가로 도시된 바와 같이, 기판(11)을 운반하는 제1 캐리어(10)는 제1 캐리어 운송 시스템(120)에 의해 증착 영역 내로 운송되고, 그리고 제1 시프팅 디바이스(141)를 이용하여 제1 캐리어(10)까지 제1 탑재부(153)를 이동시킴으로써, 제1 탑재부(153)가 제1 캐리어에 탑재된다.
[0096] 도 4b에 개략적으로 도시된 바와 같이, 이어서, 제1 캐리어(10)는, 기판(11)이 마스크(21) 근처에 포지셔닝될 때까지, 제1 시프팅 디바이스(141)에 의해 제2 방향(Z)으로 제2 캐리어(20) 쪽으로 이동된다. 후속하여, 정렬 디바이스(151)를 이용하여, 제1 캐리어(10)는 적어도 하나의 정렬 방향, 특히 제2 방향(Z)으로 정렬된다. 제1 캐리어(10)는 하나 이상의 압전 액추에이터들을 포함할 수 있는 정렬 디바이스(151)에 의해, 미리 결정된 포지션에 정확하게 포지셔닝될 수 있다.
[0097] 증착 소스(105)에 의해 하나 이상의 재료들이 마스크(21)의 개구들을 통해 기판(11) 상에 증착될 수 있다. 정확한 재료 패턴이 기판 상에 증착될 수 있다.
[0098] 도 5는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 캐리어를 핸들링하기 위한 장치(400)의 단면도이다. 도 6은 도 5의 장치(400)의 정렬 시스템(130)의 분해도이다. 도 7은 도 5의 장치(400)의 정렬 시스템(130)의 사시도이다. 장치(400)는 도 3에 도시된 장치(300)와 유사하고, 그에 따라, 여기서 반복되지 않는 위의 설명들이 참조될 수 있다.
[0099] 제1 구동 유닛(142)(예컨대, 제1 Z-액추에이터) 및 제2 구동 유닛(145)(예컨대, 제2 Z-액추에이터)이 진공 챔버(101) 외부에 제공된다. 제1 및 제2 구동 유닛은 메인 바디(131)에 고정된다. 일부 실시예들에서, 메인 바디(131)는, 예컨대 스크루들 또는 볼트들(108)을 통해, (도 5에 도시되지 않은) 진공 챔버 내부의 지지부에 견고하게 고정되고, 벽(102)에 유연하게 연결된다.
[00100] 제1 구동 유닛(142)은, 제2 방향(Z)으로 메인 바디(131)를 통해 진공 챔버 내로 연장되는 제1 피구동부(143)를 이동시키도록 구성되며, 제2 구동 유닛(145)은, 제2 방향(Z)으로 메인 바디(131)를 통해 진공 챔버 내로 연장되는 제2 피구동부(146)를 이동시키도록 구성된다. 정렬 시스템에 제1 캐리어를 탑재하기 위한 제1 탑재부(153)는 제1 피구동부(143)의 선단부에 제공되며, 정렬 시스템에 제2 캐리어를 탑재하기 위한 제2 탑재부(152)는 제2 피구동부(146)의 선단부에 제공된다. 따라서, 제2 탑재부(152) 및 제1 탑재부(153)는, 제2 방향(Z)으로 각각의 미리 결정된 포지션들에 제1 및 제2 캐리어들을 포지셔닝하기 위해, 각각의 시프팅 디바이스에 의해 제2 방향(Z)으로 서로 독립적으로 이동될 수 있다.
[00101] 제2 피구동부(146)는 제1 피구동부(143)보다 진공 챔버 내로 더 돌출되고, 그에 따라, 제1 캐리어 및 제2 캐리어는, 피구동부들의 선단부들에 제공된, 제1 탑재부 및 제2 탑재부에 서로 인접하게 홀딩될 수 있다.
[00102] 제1 탑재부(153)는, 특히 적어도 하나의 압전 액추에이터를 포함하는 정렬 디바이스(151)를 통해, 제1 피구동부(143)에 연결된다. 따라서, 정렬 디바이스(151)를 이용하여 제1 탑재부(153)를 미리 결정된 포지션에 정확하게 포지셔닝함으로써, 제2 캐리어에 대한 제1 캐리어의 정밀 포지셔닝(또는 정밀 정렬)이 수행될 수 있다.
[00103] 도 7에서, 정렬 시스템(130)의 메인 바디(131)와 진공 챔버의 벽(102) 사이에 작은 갭이 제공되고, 그에 따라, 예컨대, 진공 챔버 내부의 압력 변화로 인해 측벽이 움직이는 경우 또는 측벽이 진동되는 경우, 메인 바디(131)가 벽(102)과 함께 움직이지 않게 된다.
[00104] 일부 실시예들에서, 장치는 증착 영역에서 제1 방향(X)으로 서로 이격된 2개 이상의 정렬 시스템들을 포함한다. 각각의 정렬 시스템은 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 정렬 시스템(130)에 따라 구성될 수 있다. 예컨대, 제1 정렬 시스템의 제2 탑재부는 제1 캐리어의 상부 전방 부분을 홀딩하도록 구성될 수 있으며, 제2 정렬 시스템의 제1 탑재부는 제1 캐리어의 상부 후방 부분을 홀딩하도록 구성될 수 있다. 각각의 정렬 시스템은, 각각의 시프팅 디바이스들의 각각의 구동 유닛들이 진공 챔버 외부에 포지셔닝되도록, 진공 챔버의 측벽을 통해 연장될 수 있다. 추가로, 각각의 정렬 시스템은 각각의 방진 엘리먼트를 통해 진공 시스템의 측벽에 유연하게 연결될 수 있다. 일부 실시예들에서, 각각의 정렬 시스템은, 진공 챔버 내부에 제공된, 예컨대 진공 챔버의 상단 벽에 고정된 동일한 지지부에 기계적으로 고정된다.
[00105] 제1 정렬 시스템의 정렬 디바이스는 제1 방향(X), 제2 방향(Z), 및 제3 방향(Y)으로 제1 캐리어를 정렬하도록 구성될 수 있으며, 제2 정렬 시스템의 정렬 디바이스는 제1 방향(Z) 및 제3 방향(Y)으로 제1 캐리어를 정렬하도록 구성될 수 있다. 추가적인 정렬 디바이스들을 갖는 추가적인 정렬 시스템들이 제공될 수 있다. 따라서, 3-차원 물체인 제1 캐리어가 증착 영역에서 제2 캐리어에 대하여, 미리 결정된 병진 및 회전 포지션에 정확하게 포지셔닝 및 회전될 수 있다.
[00106] 도 8은 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 진공 챔버에서 캐리어를 핸들링하는 방법을 예시하는 흐름도이다.
[00107] 박스(720)에서, 제1 피구동부에 부착된 제1 컴포넌트를 이용하여 진공 챔버(101)에서 제1 캐리어가 이동된다. 제1 컴포넌트는, 특히, 하나 이상의 정렬 방향들로 제1 캐리어를 정렬하기 위한 하나 이상의 압전 액추에이터들을 포함하는 정렬 디바이스일 수 있다. 진공 챔버(101)는 개구를 갖는 벽을 갖는다. 제1 피구동부는 진공 챔버 외부에 배열된 제1 구동 유닛에 의해 이동될 수 있고, 개구를 통해 진공 챔버 내로 연장된다. 제1 캐리어는 기판 캐리어일 수 있다.
박스(720)에서, 제1 컴포넌트를 이용하여, 마스크를 홀딩하는 제2 캐리어에 대하여 기판 캐리어가 정렬될 수 있다. 제1 피구동부에 제공된 제1 공급 통로를 통해 전력 또는 신호들 중 적어도 하나가 제1 컴포넌트에 공급된다.
[00108] 선택적인 박스(710)에서, 제2 피구동부에 부착된 제2 컴포넌트를 이용하여 진공 챔버에서 제2 캐리어가 홀딩된다. 제2 피구동부는 진공 챔버 외부에 배열된 제2 구동 유닛에 의해 이동될 수 있으며, 제2 피구동부는 제1 피구동부와 동일한 개구를 통해 진공 챔버(101) 내로 연장된다. 제2 캐리어는 자기력들에 의해 제2 컴포넌트에 홀딩될 수 있는 마스크 캐리어일 수 있다.
제2 피구동부에 제공된 제2 공급 통로를 통해 전력 또는 신호들 중 적어도 하나가 제2 컴포넌트에 공급된다. 제2 컴포넌트는 자기 탑재부일 수 있다.
[00109] 본원에서 설명되는 장치는 OLED 디바이스들의 제조를 위해, 예컨대 유기 재료를 증발시키도록 구성될 수 있다. 예컨대, 증착 소스는 증발 소스, 특히, OLED 디바이스의 층을 형성하기 위해 기판 상에 하나 이상의 유기 재료들을 증착하기 위한 증발 소스일 수 있다.
[00110] 본원에서 설명되는 실시예들은, 예컨대 OLED 디스플레이 제조를 위한 대면적 기판들 상의 증발을 위해 활용될 수 있다. 구체적으로, 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 구조들 및 방법들이 제공되는 기판들은, 예컨대 0.5 m2 또는 그 초과, 특히 1 m2 또는 그 초과의 표면적을 갖는 대면적 기판들이다. 예컨대, 대면적 기판 또는 캐리어는, 약 0.67 m2(0.73 x 0.92 m)의 표면적에 대응하는 GEN 4.5, 약 1.4 m2(1.1 m x 1.3 m)의 표면적에 대응하는 GEN 5, 약 4.29 m2(1.95 m x 2.2 m)의 표면적에 대응하는 GEN 7.5, 약 5.7 m2(2.2 m x 2.5 m)의 표면적에 대응하는 GEN 8.5, 또는 심지어, 약 8.7 m2(2.85 m x 3.05 m)의 표면적에 대응하는 GEN 10일 수 있다. GEN 11 및 GEN 12와 같은 한층 더 큰 세대들 및 대응하는 표면적들이 유사하게 구현될 수 있다. GEN 세대들의 절반 사이즈들이 또한, OLED 디스플레이 제조에 제공될 수 있다.
[00111] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 기판 두께는 0.1 mm 내지 1.8 mm일 수 있다. 기판 두께는 약 0.9 mm 이하, 이를테면 0.5 mm일 수 있다. 본원에서 사용되는 바와 같은 "기판"이라는 용어는 특히, 실질적인 비가요성 기판들, 예컨대 웨이퍼, 사파이어 등과 같은 투명 결정의 슬라이스들, 또는 유리 플레이트를 포괄할 수 있다. 그러나, 본 개시내용은 이에 제한되지 않고, "기판"이라는 용어는 또한, 웹 또는 포일과 같은 가요성 기판들을 포함할 수 있다. "실질적인 비가요성"이라는 용어는 "가요성"에 대해 구별하기 위한 것으로 이해된다. 구체적으로, 실질적인 비가요성 기판, 예컨대 0.9 mm 이하, 이를테면 0.5 mm 이하의 두께를 갖는 유리 플레이트는 어느 정도의 가요성을 가질 수 있는데, 여기서, 실질적인 비가요성 기판의 가요성은 가요성 기판들과 비교하여 작다.
[00112] 본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, 기판은 재료 증착에 적합한 임의의 재료로 제조될 수 있다. 예컨대, 기판은, 유리(예컨대, 소다-석회 유리, 붕규산염 유리 등), 금속, 폴리머, 세라믹, 화합물 재료들, 탄소 섬유 재료들, 또는 증착 프로세스에 의해 코팅될 수 있는 임의의 다른 재료 또는 재료들의 조합으로 구성된 그룹으로부터 선택되는 재료로 제조될 수 있다.
[00113] 본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, 진공 챔버에서 기판 캐리어 및 마스크 캐리어를 운송 및 정렬하기 위한 방법은, 컴퓨터 프로그램들, 소프트웨어, 컴퓨터 소프트웨어 제품들, 및 상관된 제어기들을 사용하여 실시될 수 있는데, 그 상관된 제어기들은 CPU, 메모리, 사용자 인터페이스, 및 장치의 대응하는 컴포넌트들과 통신하는 입력 및 출력 디바이스들을 가질 수 있다.
[00114] 일부 실시예들에서, 마스크 캐리어들과 기판 캐리어들은 상이하게 사이즈가 설정될 수 있다. 예컨대, 도 3에 개략적으로 도시된 바와 같이, 마스크 캐리어들은, 특히 수직 방향으로, 기판 캐리어들보다 더 클 수 있다.
[00115] 전술한 바가 본 개시내용의 실시예들에 관한 것이지만, 본 개시내용의 다른 및 추가적인 실시예들이 본 개시내용의 기본적인 범위로부터 벗어나지 않으면서 고안될 수 있고, 본 개시내용의 범위는 다음의 청구항들에 의해 결정된다.

Claims (15)

  1. 진공 챔버에서 캐리어를 핸들링(handle)하기 위한 장치(100)로서,
    개구(106)를 갖는 벽(102)을 갖는 진공 챔버(101);
    상기 진공 챔버(101) 외부에 배열되어 있고, 상기 진공 챔버(101) 내로 상기 개구(106)를 통해 연장되는 제1 피구동부(143)를 이동시키도록 구성된 제1 구동 유닛(142);
    상기 진공 챔버(101)에서 상기 제1 피구동부(143)에 부착되어 있는, 제1 캐리어(10)를 홀딩(hold) 또는 이동시키기 위한 제1 컴포넌트(150);
    상기 진공 챔버(101) 외부에 배열되어 있고, 상기 진공 챔버(101) 내로 상기 개구(106)를 통해 연장되는 제2 피구동부(146)를 이동시키도록 구성된 제2 구동 유닛(145); 및
    상기 진공 챔버(101)에서 상기 제2 피구동부(146)에 부착되어 있는, 제2 캐리어(20)를 홀딩 또는 이동시키기 위한 제2 컴포넌트(155)를 포함하며,
    상기 제1 피구동부(143)는 상기 제1 컴포넌트(150)에 공급(supply)하기 위한 제1 공급 통로(147)를 제공하고, 상기 제2 피구동부(146)는 상기 제2 컴포넌트(155)에 공급하기 위한 제2 공급 통로(149)를 제공하고,
    상기 제1 캐리어(10)는 상기 제1 컴포넌트(150)에 의해 상기 제2 캐리어(20)에 대하여 이동되는,
    진공 챔버에서 캐리어를 핸들링하기 위한 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 컴포넌트(150)는 상기 제1 캐리어(10)를 홀딩하도록 구성된 자기 탑재부인,
    진공 챔버에서 캐리어를 핸들링하기 위한 장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 컴포넌트(150)는 적어도 하나의 정렬 방향으로 상기 제1 캐리어(10)를 이동시키도록 구성된 정렬 디바이스(151)인,
    진공 챔버에서 캐리어를 핸들링하기 위한 장치.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 피구동부(143)는 상기 진공 챔버(101) 외부로부터 상기 제1 컴포넌트(150)에 전력 케이블과 신호 케이블(161, 163) 중 적어도 하나를 피드(feed)하도록 구성된 중공 샤프트를 포함하는,
    진공 챔버에서 캐리어를 핸들링하기 위한 장치.
  5. 제1 항 내지 제4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 진공 챔버(101) 외부의 대기 환경(180)과 상기 제1 컴포넌트(150) 내부의 진공 환경을 분리하도록 구성된, 상기 제1 공급 통로(147) 내의 진공 피드스루(feedthrough)(170)를 더 포함하는,
    진공 챔버에서 캐리어를 핸들링하기 위한 장치.
  6. 제1 항 내지 제4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 공급 통로(147)는 상기 제1 컴포넌트(150) 내부와 상기 진공 챔버 외부의 대기 환경(180) 사이의 유체 연결을 제공하는,
    진공 챔버에서 캐리어를 핸들링하기 위한 장치.
  7. 삭제
  8. 제1 항에 있어서,
    상기 제2 피구동부(146)는 상기 진공 챔버(101) 외부로부터 상기 제2 컴포넌트(155)에 전력 케이블과 신호 케이블(161, 163) 중 적어도 하나를 피드하도록 구성된 중공 샤프트를 포함하는,
    진공 챔버에서 캐리어를 핸들링하기 위한 장치.
  9. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 컴포넌트(150)는 적어도 하나의 정렬 방향으로 상기 제1 캐리어(10)를 이동시키도록 구성된 정렬 디바이스(151)이며, 상기 제2 컴포넌트는 상기 제1 캐리어(10) 옆에 나란히 상기 제2 캐리어(20)를 홀딩하도록 구성된 자기 탑재부(152)인,
    진공 챔버에서 캐리어를 핸들링하기 위한 장치.
  10. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 컴포넌트(150) 내부가 진공 환경을 위해 구성되며, 상기 제1 공급 통로(147)에 진공 피드스루(170)가 제공되는 것, 및
    상기 제2 컴포넌트(155) 내부가 대기 환경을 위해 구성되며, 상기 제2 공급 통로(149)가 상기 제2 컴포넌트(155) 내부와 상기 진공 챔버(101) 외부의 대기 환경 사이의 유체 연결을 제공하는 것
    중 적어도 하나인,
    진공 챔버에서 캐리어를 핸들링하기 위한 장치.
  11. 제1 항 내지 제4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 캐리어(10)를 홀딩 또는 이동시키기 위한 제3 컴포넌트(157)에 공급하기 위한, 상기 진공 챔버(101)의 벽(102) 내의 적어도 하나의 케이블 피드스루(109)를 더 포함하며,
    진공 챔버에서 캐리어를 핸들링하기 위한 장치.
  12. 제1 항 내지 제4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 진공 챔버에서 제1 방향으로 상기 제1 캐리어(10)를 운송하도록 구성된 캐리어 운송 시스템(120)을 더 포함하며,
    상기 제1 구동 유닛(142)은 상기 제1 방향을 횡단하는 제2 방향으로 상기 제1 피구동부(143)를 이동시키도록 구성되는,
    진공 챔버에서 캐리어를 핸들링하기 위한 장치.
  13. 진공 증착 시스템(350)으로서,
    제1 항 내지 제4 항 중 어느 한 항에 기재된 장치; 및
    상기 진공 챔버(101)의 증착 영역에 제공된 증착 소스(105)
    를 포함하며,
    상기 제1 컴포넌트(150)는 상기 증착 영역에서 상기 제1 캐리어(10)를 홀딩 또는 이동시키도록 구성되는,
    진공 증착 시스템.
  14. 진공 챔버(101)에서 캐리어를 핸들링하기 위한 방법으로서,
    상기 진공 챔버(101)는 개구(106)를 갖는 벽을 갖고,
    상기 진공 챔버(101) 외부에 배열된 제1 구동 유닛(142)에 의해 이동될 수 있는 제1 피구동부(143)는 상기 개구(106)를 통해 상기 진공 챔버 내로 연장되며, 상기 진공 챔버(101) 외부에 배열된 제2 구동 유닛(145)에 의해 이동될 수 있는 제2 피구동부(146)가 상기 개구(106)를 통해 상기 진공 챔버(101) 내로 연장되며,
    상기 방법은,
    상기 제1 피구동부(143)에 부착된 제1 컴포넌트(150)를 이용하여, 상기 진공 챔버(101)에서 제1 캐리어(10)를 홀딩 또는 이동시키는 단계;
    상기 제1 피구동부(143)에 제공된 제1 공급 통로(147)를 통해 전력 또는 신호들 중 적어도 하나를 상기 제1 컴포넌트(150)에 공급하는 단계;
    상기 제2 피구동부(146)에 부착된 제2 컴포넌트(155)를 이용하여, 상기 진공 챔버에서 제2 캐리어(20)를 홀딩하는 단계; 및
    상기 제2 피구동부(146)에 제공된 제2 공급 통로(149)를 통해 전력 또는 신호들 중 적어도 하나를 상기 제2 컴포넌트(155)에 공급하는 단계를 포함하고,
    상기 제1 캐리어(10)는 상기 제1 컴포넌트(150)에 의해 상기 제2 캐리어(20)에 대하여 이동되는,
    진공 챔버에서 캐리어를 핸들링하기 위한 방법.
  15. 삭제
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