KR102208104B1 - 세라믹 전자부품용 소성로에서의 균온 분포 조성장치 - Google Patents

세라믹 전자부품용 소성로에서의 균온 분포 조성장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 세라믹 전자부품용 소성로에서의 균온 분포 조성장치에 있어서, 일정크기의 내부공간을 갖는 노본체와, 내부 공간에 세라믹 전자부품 성형물이 적재되는 한 개 이상의 세터와, 세라믹 전자부품 성형물이 적재된 내부공간에 열을 제공하는 메인 발열체와, 노본체의 내부공간이 균일한 온도구배를 유지하도록 노본체 내부공간중 상대적으로 온도편차를 나타내는 일부 공간에 근접된 노본체 벽부 위치에 노본체 외부에서 삽입가능하게 형성된 서랍형태 설치공과, 설치공에 삽입 장착되며 세라믹소재 서랍형 케이싱에 비발열부인 양측 다리부가 끼워지며 양측 다리부를 연결하는 연결부에 발열부가 존재하는 탄화규소 소재의 "ㄷ"자형 히터봉으로 구성된 서랍형 보조 발열체로 구성하여서, 소성로 노본체의 내부가 균일한 온도구배가 유지되게 한다.

Description

세라믹 전자부품용 소성로에서의 균온 분포 조성장치{BUILDUP APPARATUS BE MADE UP OF EVEN-TEMPERATURE IN SINTERRING FURNACE OF CERAMIC ELECTRONIC-PARTS}
본 발명은 세라믹 전자부품용 소성로에 관한 것으로, 특히 적층 세라믹 커패시터(Multilayer ceramic capacitor: MLCC) 등과 같은 세라믹 전자부품을 소성하는 소성로 내부의 온도편차를 최소화하여 소성시 온도구배차에 의한 제품의 특성 변화를 방지함과 동시에 제품의 수율이 향상되도록 할 수 있도록 하는 세라믹 전자부품용 소성로에서의 균온 분포 조성장치에 관한 것이다.
일반적으로 적층 세라믹 캐패시터(MLCC)나 압전체 등과 같은 세라믹 전자제품은 세라믹 원료를 소정 형상으로 성형하여 세라믹 성형물로 제조한 다음, 소성로에서 탈바인더 공정과 소성 공정 및 냉각 공정을 차례로 거침으로써 적층 세라믹 성형물의 제작이 완료된다.
보다 구체적으로 설명하면, 세라믹 성형물은 소성로에서 230℃~450℃의 온도로 가소(bake-out)되어 바인더 성분이 제거되는 탈바인더 공정과, 800℃~1300℃의 온도로 10~24시간 동안 소성하는 소성 공정, 및 소성 완료 후 저온으로 냉각하는 냉각공정을 연속적으로 거치게 된다. 이렇게 소성로에서 소성된 세라믹 성형물은 도금처리에서 그 외주면에 외부전극 및 단자전극을 도포형성함에 의해서 세라믹 제품으로 완성된다.
세라믹 성형물을 소성하는 소성로는 구조에 따라 배치형(batch type)과 터널형(tunnel type)으로 구분되며, 터널형 소성로는 세라믹 성형물을 소성로 내부로 진입시키는 방법에 따라 푸쉬형(push type)과 롤형(roller type)으로 구분된다.
배치형 소성로는 다양한 소성 조건 구현이 가능하여 다양한 크기와 특성의 칩 형태의 세라믹 부품을 소성하는데 유리하지만 급속 승온이 제한적인 특징이 있다. 그리고 터널형 소성로는 일정하게 발열되는 발열체 사이를 푸셔(pusher)나 롤러(roller)에 의해 피소성물이 이동하여 소성되기 때문에 소성로 내부의 온도와 분위기 안정성 면에서 우수하다.
이러한 여러 종류의 소성로에서는 다수 발열체들이 배치되어 있으나 소성로 본체 내부 전체에 고른 온도분포를 조성되기가 쉽지 않다. 예컨대 소성로 본체내부의 중심부와 측부 간이 온도편차가 발생하며 또 발열체들을 장기간 사용함에 따라 그 온도편차가 점점 더 커지는 경향이 있다.
결국 이러한 온도곡선 특성에 의한 온도 구배 발생으로 소성 거동이 달라지게 되는 문제가 있으며, 작업자가 온도가 대체로 균일한 영역으로만 세라믹 성형물을 편중시켜 얹어놓게 되므로 생산수율이 떨어지는 문제가 발생된다.
등록특허공보 제10-0896573호 "세라믹 소성로"
따라서 본 발명의 목적은 세라믹 전자부품을 소성하는 소성로 내부의 온도편차를 최소화하여 소성시 온도 구배차에 의한 제품의 특성 변화를 방지할 수 있도록 하는 세라믹 전자부품용 소성로에서의 균온 분포 조성장치를 제공함에 있다.
상기한 목적에 따른 본 발명은, 세라믹 전자부품용 소성로에서의 균온 분포 조성장치에 있어서, 일정크기의 내부공간을 갖는 노본체와, 상기 내부 공간에 세라믹 전자부품 성형물이 적재되는 한 개 이상의 세터와, 상기 세라믹 전자부품 성형물이 적재된 내부공간에 열을 제공하는 메인 발열체와, 상기 노본체의 내부공간이 균일한 온도구배를 유지하도록 노본체 내부공간중 상대적으로 온도편차를 나타내는 일부 공간에 근접된 노본체 벽부 위치에 노본체 외부에서 삽입가능하게 형성된 서랍형태 설치공과, 상기 설치공에 삽입 장착되며 세라믹소재 서랍형 케이싱에 비발열부인 양측 다리부가 끼워지며 양측 다리부를 연결하는 연결부에 발열부가 존재하는 탄화규소 소재의 "ㄷ"자형 히터봉으로 구성된 서랍형 보조 발열체로 구성함을 특징으로 한다.
또한 본 발명의 세라믹 전자부품용 소성로에서의 균온 분포 조성장치에 있어, 서랍형 보조발열체의 "ㄷ"자형 히터봉은 발열부의 길이가 100~200mm로 형성되게 구성하며, 또 발열부의 외경이 20~40mm로 형성되고 전기용량이 0.4~2kw로 구성함을 특징으로 한다.
본 발명은 소성부 노본체의 메인발열체 이외에 온도편차 발생하는 공간위치에 배치되게 서랍형 보조 발열체를 더 구비하여서 세라믹 전자부품을 소성하는 소성로 내부의 온도편차를 최소화함으로써 소성시 온도 구배차에 의한 제품의 특성 변화를 방지함과 동시에 제품의 수율을 향상시키는 장점이 있다.
도 1은 본 발명에 따른 실시 일예로 적용된 소성로 노본체의 정단면 구성도,
도 2는 본 발명에 따른 실시 일예로 적용된 소성로 노본체의 횡단면 구성도,
도 3은 도 1 및 도 2에 도시된 소성로 노본체에 추가 장착된 본 발명의 서랍형 보조발열체의 사시 구성도,
도 4는 도 3의 서랍형 보조발열체의 분해 사시 구성도,
도 5는 소성로 노본체에 서랍형 보조발열체가 적용된 온도구배 특성그래프와 온도편차를 보상하기 위한 본 발명의 소성로 노본체 제어장치 구성도.
이하 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
세라믹 성형물을 소성하는 여려 형태의 소성로에서 다층박막 세라믹 커패시터(MLCC)와 같은 세라믹 전자부품은 실제 제품의 온도 및 공정 중 온도변화율에 따라 불량률이 크게 달라진다.
예컨대, 다층박막 세라믹커패시터(MLCC) 제조에 대한 소성 공정의 경우, 3~4℃의 온도분포 변화에 대해 제품의 불량 여부가 결정되는 것인 바, 소성로 노본체 내부의 온도분포가 균일하게 유지되는 것이 매우 중요하다. 만일 제품불량이 한번 발생할 경우 개별 제품이 아닌 그 주변에 있는 제품 전체를 폐기해야 되는 것이므로 불량에 따른 경제적 손실이 크다.
소성로에서 세라믹 커패시터(MLCC)와 같은 피소성 전자부품 성형물을 분위기 소성하는 경우, 소성로내 분위기의 시간적 및 공간적 산포가 세라믹 소성체의 특성을 결정하는 중요한 공정변수로 작용하며, 이를 제어하기 위하여 소성로의 구조 및 공정조건 등에 대한 조절이나 변경이 고려되어야 한다. 특히 환원분위기 소성시 고온상태에서 세라믹 성형물에 존재하거나 그 세라믹 성형물을 적재하는 세터 내에 존재하는 산소가 방출되면서 소성로의 환원분위기를 제대로 조성하는 것이 더욱 어려워지게 된다.
그러므로 세라믹커패시터(MLCC)와 같은 피소성 세라믹 성형물을 소성 시에는 소성온도에 따른 로내 분위기를 엄격하게 제어하는 것이 요구되는바, 소성로의 각 영역에서의 분위기를 구분하여 제어하기 위하여 특히 소성로에 투입된 모든 피소성 세라믹 전자부품 성형물에 대한 고른 온도분포가 조성될 수 있도록 해야 한다.
이를 위해 본 발명에서는 도 1 및 도 2에 도시된 일예와 같이, 세라믹 성형물의 소성이 이루어지는 소성로 노본체(10)에 투입되는 모든 피소성 세라믹 전자부품 성형물(24)에 대한 고른 온포분포가 조성될 수 있도록 구현한다.
도 1은 본 발명에 따른 실시 일예로 적용된 소성로 노본체(10)의 정단면 구성도이고, 도 2는 본 발명의 따른 실시 일예로 적용된 소성로 노본체(10)의 횡단면 구성도이다.
도 1 및 도 2에 도시된 소성로의 일 예는 터널형 롤러컨베이어식 소성로로서, 소성로 노본체(10)에는 세라믹 전자부품 성형물(24)이 이송될 수 있도록 컨베이어식 이송롤(20)이 배열되어 있으며, 컨베이어식 이송롤(20)상에는 수 많은 세라믹 전자부품 성형물(24)을 담은 세터(22)들이 다수 적층된 상태로 열을 맞춰서 투입된다. 그리고 이송롤(20)상에 열을 맞춰진 세터(22)들에는 세라믹 전자부품 성형물이 담겨 있으며, 세라믹 전자부품 성형물에 대해서 고른 온도분포를 조성하기 위해서 이송롤(20)의 상방과 하방에 대응하여 상부 발열체(30)와 하부 발열체(32)가 메인 발열체로서 구비된다.
메인 발열체로 채용된 상부 및 하부 발열체(30)(32)는 전기식 봉형 발열체로서 소성로 노본체(10) 터널 내부의 좌우를 가로지르며 설치되며 전후방으로 일정 간격으로 배열되게 구성한다. 상기 봉형 발열체는 탄화규소(SiC)를 주 원료로 제조된 비금속 전기발열체가 주로 사용된다. 전기식 탄화규소 발열체는 팽창계수가 낮고 변형이 거의 없으며 화학적 안정성을 가지고 있고 수명이 길다. 또 설치와 보수가 용이한 장점이 있다.
탄화규소(SiC) 소재로 된 봉형태의 상부 및 하부 발열체(30)(32)들을 각기 좌우로 가로지르게 설치할 경우 도 5의 온도구배 특성곡선 그래프(a)에 나타낸 바와 같이 탄화규소 소재의 봉형 발열체의 특성상 소성로 터널의 좌우측부가 심부보다 상대적으로 낮은 온도를 나타내는 좌우 측방으로 온도곡선 특성을 나타낸다.
구체적으로 설명하면, 소성로 노본체(10)의 터널내 중심부와 좌우 측부 간에는 대략 6℃가량의 온도편차가 발생하며, 상부 및 하부 발열체(30)(32)를 장기간 사용함에 따라 그 온도편차가 점점 더 커지게 됨을 확인하였다. 그 온도편차가 10℃가량까지도 커지게 된다.
도 5의 온도구배 특성곡선 그래프(a)를 참조하여 예를 들면, 온도구배 특성곡선(TO)에서와 같이 소성로 노본체(10)의 터널내 중심부의 온도가 1000℃인데 반해 소성로 노본체(10)의 터널내 좌측 가장자리부와 우측 가장자리부의 온도가 994℃로서 심부와의 온도편차가 대략 6℃ 가량으로 나타낸다.
그러므로 도 1 및 도 2와 같은 소성로에서는 이러한 온도편차를 최소화시키되 도 5에서 "T1"과 같은 온도구배 특성곡선이 소성로 노본체(10)의 좌우측 가장자리부와 심부의 온도편차가 ±1℃가 될 수 있도록 구현해야 한다.
이를 위해 본 발명의 실시예에서는 상부 및 하부에서 열을 공급하는 상부 및 하부 발열체(30)(32)로 된 메인 발열체와 아울러 소성로 노본체(10)의 내부 전체가 균일한 온도구배를 유지하도록 온도편차를 보상하는 추가적인 보조 발열체를 더 구비한다.
소성로 노본체(10)에 보조 발열체를 설치하기 위해서는 온도편차를 나타내는 일부 공간을 찾아내고 그 공간에 인접한 노본체(10)에 보조 발열체를 장착할 공간을 확보해야 한다.
그런데 소성로 노본체(10)에는 무수히 많은 설비와 장비부품들이 촘촘하게 설치되어 있는 관계로 추가적인 보조 발열체를 설치할 공간확보가 쉽지 않다.
이에 따라 본 발명에서는 설치 공간확보가 용이함과 동시에 노본체 내부 전체에 균일한 온도구배가 가능케 하는 적합한 헝태의 보조발열체를 구현한다.
보조발열체는 본 발명에 따라 도 3 및 도 4와 함께 후술될 탄화규소 소재의 "ㄷ"자형 히터봉(44)을 갖는 서랍형 보조발열체(40)로 구성하며, 소성로 노본체(10)에는 협소한 면적에도 무리없이 서랍형 보조발열체(40)가 외부로부터 삽입 및 장착될 수 있는 위치에 서랍형 설치공(38)이 형성된다.
도 1 및 도 2에 일예에서는 소성로 노본체(10)의 빈 면적중 서랍형 설치공(38)이 형성되는 위치가 노본체(10)의 내부공간중 상대적으로 온도편차를 나타내는 일부 공간(터널 측부)에 근접된 노본체(10)의 측벽부이다.
도 1 및 도 2에서는 서랍형 설치공(38)이 노본체(10)의 측벽부에 형성된 예시를 보여주고 있지만, 소성로의 형태와 필요에 따라서 천장부이나 그 외 위치에도 형성될 수 있음을 이해해야 한다.
도 1 및 도 2에서, 미설명된 부호 "34"은 분위기가스 주입구이고, "36"은 분위기가스 배기구이다.
도 3은 도 1 및 도 2에 도시된 소성로 본체(10)에 추가 장착되는 서랍형 보조발열체(40)의 사시 구성도이고, 도 4는 도 3의 서랍형 보조발열체(40)의 분해 사시 구성도이다.
본 발명에서는 보조 발열체를 노본체(10)의 빈 면적을 찾아서 외부로부터 삽입 장착하고 필요시에 외부로부터 교환할 수 있도록 서랍형태로 보조 발열체 즉 도 3 및 도 4와 같은 서랍형 보조발열체(40)를 구성한다.
도 3 및 도 4를 함께 참조하면, 서랍형 보조발열체(40)는 노본체(10)중에서 좁은 빈 면적에 천공되어도 외부로부터 삽입될 수 있음과 동시에 장착된 발열체가 노본체(10)의 내부로 가능한 한 많은 발열량을 방열할 수 있는 형태를 갖는 세라믹소재 서랍형 케이싱(42)을 구비한다.
그리고 서랍형 케이싱(42)에는 탄화규소 소재로 된 "ㄷ"자형 히터봉(44)의 양측 다리부(44b)가 끼워져서 장착된다.
탄화규소 소재의 "ㄷ"자형 히터봉(44)은 비발열부인 양측 비발열 다리부(44b)와 양측 비발열 다리부(44b)간을 연결하는 연결부에 형성된 발열부(44a)를 포함하며, 양측 다리부(44b)의 후미에는 전기접속부(44c)가 형성된다.
본 발명에 따른 서랍형 보조발열체(40)의 "ㄷ"자형 히터봉(42)에서 발열부(44a)의 길이(L)가 100~200mm로 형성되고, 발열부(44a)의 외경(D)이 20~40mm로 형성되며, 전기용량(W)이 0.4~2kw로 구성한다. 그리고, 발열부(44a) 대비 비발열 다리부(44b)의 저항 비율은 10~17 : 1로 구성한다.
발열부(44a)의 길이(L)와 외경(D)을 크게 하면 탄화규소(SiC)소재로 된 히터봉(42)이 발열성능을 내는데 유리할 수 있지만 노본체(10)에서 서랍형 보조발열체(40)를 설치할 수 있는 협소한 면적을 고려해야 하므로 마냥 크게 할 수가 없다.
그리고 서랍형 보조발열체(40)의 "ㄷ"자형 히터봉(42)이 원하는 전기용량(0.4~2kw)에 맞게 또 히터의 수명도 장시간 보장될 수 있음과 동시에 히터봉(42)이 제대로 작동할 수 있도록 해야 하는데에 있어 본 발명에서 정한 발열부(44a)의 길이(L)와 외경(D), 발열부(44a) 대비 비발열 다리부(44b)의 저항 비율의 규정범위가 유의미하다. 히터봉(42)의 수명은 발열부(44a)의 표면부하밀도와 연관이 있으며, 그 값이 낮을수록 길다.
상기 표면부하밀도(와트밀도)는 열량(전기용량 W = 860cal)을 히터표면적(㎠)으로 나눈 값으로서 아래와 같이 표현된다.
[표현식]
표면부하밀도[W/㎠] = W/π×D×L
여기서, W: 전기용량(W), π: 3.14, D: 발열부(44a)의 직경, L; 발열부(44a)의 길이(cm)
표면부하밀도는 소성로의 분위기 가스환경에 대응된 안전한 권장 범위가 정해진다.
전술한 본 발명의 서랍형 보조 발열체(40)는 도 1 및 도 2에 도시된 터널형 컨베이어식 소성로의 일예로 적용하여 설명되었지만, 터널형 푸시식 소성로에 적용가능하며 또 터널형이 아닌 배치형 소성로에도 적용가능한 것이다.
또 본 발명에서는 상부 및 하부 발열체(30)(32)로 된 메인 발열체와 함께 서랍형 보조 발열체(40)가 소성로 노본체(10)의 터널 내부가 균일한 온도구배를 유지할 수 있도록 하기 위해서는, 도 6에 도시된 바와 같이 온도센서(50)(52)(54)들과 아울러 독립 온도제어부(56)를 포함한 제어수단이 구비된다.
상측 및 하측의 심부 온도센서(50)(52)는 노본체(10)의 터널 내부에 위치한 봉형태의 상부 및 하부 발열체(30)(32)의 심부 온도를 측정하여 측정온도값(S1)(S2)을 독립 온도제어부(56)에 제공하며, 좌우측의 가장자리부 온도센서(54)는 좌우측의 서랍형 보조 발열체(40)의 부근 온도 및 세터(22)의 부근 온도를 측정하여 측정온도값(S3)(S4)을 독립 온도제어부(56)에 제공한다.
독립 온도제어부(56)는 상측 심부 온도센서(50)와 하측 심부 온도센서(52), 좌우측 가장자리 온도센서(54)에 각각 대응하여 독립적으로 발열체(30)(32)(40)의 온도를 독립 제어하되(C1 ~ C4), 소성로 노본체(10)의 내부가 균일한 온도구배를 유지하도록 독립 제어한다.
그래서 본 발명에서는 도 5에 도시된 소성로 노본체 제어장치에 의해 소성로 노본체(10)의 좌우측 가장자리부와 심부의 온도편차가 ±1℃가 되게 제어하여 소성로 노본체(10)의 터널내부의 온도편차를 최소화시킴으로써 "T1"과 같은 온도구배 특성곡선을 갖게 한다.
상술한 본 발명의 설명에서는 구체적인 실시 예에 관해 설명하였으나, 여러 가지 변형이 본 발명의 범위에서 벗어나지 않고 실시할 수 있다. 따라서 본 발명의 범위는 설명된 실시 예에 의하여 정할 것이 아니고 특허청구범위 및 그 특허청구범위와 균등한 것에 의해 정해 져야 한다.
(2)-- 소성로 (4)-- 투입부
(6)-- 로체 터널로 (8)-- 배출부
(10)-- 소성로 노본체 (12)-- 단열재
(20)-- 컨베이어식 이송롤 (22)-- 세터
(24)-- 세라믹 전자부품 성형물 (30)-- 상부 발열체
(32)-- 하부 발열체 (34)-- 분위기가스 주입공
(36)-- 분위기가스 배기구 (38)-- 서랍형 설치공
(40)-- 서랍형 보조 발열체 (42)-- 서랍형 케이싱
(44)-- "ㄷ"자형 히터봉 (44a)-- 발열부
(44b)-- 비발열 다리부 (44c)-- 전기접속부
(50)(52)-- 심부 온도센서 (54)-- 가장자리부 온도센서
(56)-- 독립 온도제어부

Claims (3)

  1. 세라믹 전자부품용 소성로에서의 균온 분포 조성장치에 있어서,
    일정크기의 내부공간을 갖는 노본체와,
    상기 내부 공간에 세라믹 전자부품 성형물이 적재되는 한 개 이상의 세터와,
    상기 세라믹 전자부품 성형물이 적재된 내부공간에 열을 제공하는 메인 발열체와,
    상기 노본체의 내부공간이 균일한 온도구배를 유지하도록 노본체 내부공간중 상대적으로 온도편차를 나타내는 일부 공간에 근접된 노본체 벽부의 빈 면적 위치에 노본체 외부에서 삽입가능하게 형성된 서랍형 설치공과,
    상기 서랍형 설치공에 장착 및 교환이 가능하도록 외부로부터 삽입 장착되며, 세라믹소재 서랍형 케이싱에 비발열부인 양측 비발열 다리부가 끼워지며 양측 비발열 다리부를 연결하는 연결부에 발열부가 존재하는 탄화규소 소재의 "ㄷ"자형 히터봉으로 구성된 서랍형 보조 발열체로 구성하되,
    서랍형 보조 발열체의 "ㄷ"자형 히터봉에서 발열부의 길이가 100~200mm, 발열부의 외경이 20~40mm로 형성되며, 서랍형 보조발열체의 전기용량이 0.4~2kw로 구성하며,
    상기 메인 발열체에 의한 내부공간 심부온도에 대비해 상기 서랍형 보조 발열체의 부근의 온도편차가 ±1℃가 되도록 서랍형 보조 발열체 부근에서의 측정 온도에 대응하여 서랍형 보조 발열체를 독립 제어하는 독립 온도제어부를 구비함을 특징으로 하는 세라믹 전자부품용 소성로에서의 균온 분포 조성장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2000310491A (ja) * 1999-04-27 2000-11-07 Tokai Konetsu Kogyo Co Ltd 連続トンネル式電気焼成炉
KR100896573B1 (ko) 2007-09-18 2009-05-07 삼성전기주식회사 세라믹 소성로
JP2017150740A (ja) * 2016-02-24 2017-08-31 株式会社ノリタケカンパニーリミテド カーボンヒータを備える連続式超高温焼成炉

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000310491A (ja) * 1999-04-27 2000-11-07 Tokai Konetsu Kogyo Co Ltd 連続トンネル式電気焼成炉
KR100896573B1 (ko) 2007-09-18 2009-05-07 삼성전기주식회사 세라믹 소성로
JP2017150740A (ja) * 2016-02-24 2017-08-31 株式会社ノリタケカンパニーリミテド カーボンヒータを備える連続式超高温焼成炉

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