KR102111369B1 - 영상보정 테라헤르츠파 물체검사장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 피검사체를 이송시키는 이송모듈; 상기 이송모듈의 상측에 배치되고, 일직선으로 테라헤르츠파를 출력하여 피검사체에 라인형태로 조사하는 출력모듈; 상기 이송모듈을 이동하는 피검사체의 하측에 배치되고, 상기 출력모듈에서 출력되어 피검사체를 투과한 테라헤르츠파를 수신하는 제1수신모듈; 상기 피검사체의 표면에서 반사된 테라헤르츠파를 수신하도록 상기 출력모듈과 대칭하게 배치되는 제2수신모듈; 상기 이송모듈의 상부에 배치되어 상기 이송모듈을 이동하는 피검사체의 표면을 검사하는 비젼카메라; 및 상기 출력모듈, 상기 제1수신모듈, 상기 제2수신모듈 및 상기 비젼카메라와 연동되고, 상기 제1수신모듈 및 상기 제2수신모듈에서 수신된 테라헤르츠파를 평균값으로 보정하고, 노이즈제거 및 신호증폭하여 피검사체에 포함된 이물질을 탐지해 탐지된 이물질을 디스플레이모듈에 출력하는 제어모듈을 포함하는 영상보정 테라헤르츠파 물체검사장치에 관한 것이다. 이러한 본 발명에 따르면 피검사체가 테라헤르츠파로 진입하기 전에, 제1수신모듈 및 제2수신모듈에서 수신된 테라헤르츠파의 세기를 평균값으로 보정하므로 기준값으로 설정할 수 있어 영상을 선명하게 나타내어 검사정확도를 향상시킬 수 있다.

Description

영상보정 테라헤르츠파 물체검사장치 { Image Correction TerahertzWave Object Inspection Apparatus }
본 발명은 물체검사장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 테라헤르츠파를 이용하여 물체를 검사하는 영상보정 테라헤르츠파 물체검사장치에 관한 것이다.
테라헤르츠파(Terahertz wave) 적외선과 마이크로파의 사이 영역에 위치한 전자기파로서, 일반적으로 0.1THz에서 10THz 사이의 진동수를 가지며 이러한 파장 대역을 테라헤르츠 갭(terahertz gap)이라 부르기도 한다.
현재 테라헤르츠파에 대한 지속적인 연구 개발이 이루어져 왔으나, 아직까지 다른 파장 대역의 전자기파에 비해 그 연구는 상대적으로 미진한 상태이다.
하지만, 지속적인 개발 노력과 함께 광자 공학이나 나노기술 등의 발전이 동반되면서, 최근 테라헤르츠파에 대한 기술은 더욱 향상되고 있다.
특히, 직진성, 물질에 대한 투과성, 생체에 대한 안전성, 정성적 확인 가능성 등 여러 특성으로 인해, 테라헤르츠파에대한 관심은 계속해서 높아져 가고 있다.
이로 인해, 테라헤르츠파는 공항이나 보안 시설의 검색장치, 식품이나 제약 회사의 품질 검사 장치, 반도체 검사 장치, 치과용 검사장비, 가스 검출 장치, 폭발물 검사 장치, Lab-on-a-chip 검출기 등 여러 분야에 적용되고 있다.
그럼에도 불구하고, 종래 기술에 의하면 물체 검사시 소요되는 시간이 너무 길고, 검사의 정확성이 낮다는 문제가 있다.
뿐만 아니라, 피검물이나 그에 포함된 이물질의 종류나 재질은 매우 다양할 수 있는데, 종래 기술에 의하면 이와 같이 다양한 재질이나 종류의 피검물에 대하여 모두 만족할만한 검사 성능을 보여주지는 못하고 있다.
특히, 피검물이 식품인 경우, 식품마다 수분 함량 등의 특성이 다를 수 있고, 식품에는 경질이나 연질 등 다양한 재질의 이물질이 포함될 수 있다.
따라서, 다양한 종류의 식품 및 이물질을 검사하기에 문제점이 있다.
한국공개특허 제10-2017-0039956호 (2017.04.12) "테라헤르츠 펄스 레이저를 이용한 시추공 매질의 수분 측정장비" 한국공개특허 제10-2018-0021631호 (2018.03.05) "테라헤르츠 펄스를 이용한 생계면활성제 분석 장치 및 방법"
본 발명의 목적은 피검사체가 테라헤르츠파로 진입하기 전에 수신모듈에서 수신되는 테라헤르츠파의 세기를 평균값으로 보정하여 기준값으로 설정해 영상을 보정하는 영상보정 테라헤르츠파 물체검사장치를 제공하는 것이다.
상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 영상보정 테라헤르츠파 물체검사장치는, 피검사체를 이송시키는 이송모듈; 상기 이송모듈의 상측에 배치되고, 일직선으로 테라헤르츠파를 출력하여 피검사체에 라인형태로 조사하는 출력모듈; 상기 이송모듈을 이동하는 피검사체의 하측에 배치되고, 상기 출력모듈에서 출력되어 피검사체를 투과한 테라헤르츠파를 수신하는 제1수신모듈; 상기 피검사체의 표면에서 반사된 테라헤르츠파를 수신하도록 상기 출력모듈과 대칭하게 배치되는 제2수신모듈; 상기 이송모듈의 상부에 배치되어 상기 이송모듈을 이동하는 피검사체의 표면을 검사하는 비젼카메라; 및 상기 출력모듈, 상기 제1수신모듈, 상기 제2수신모듈 및 상기 비젼카메라와 연동되고, 상기 제1수신모듈 및 상기 제2수신모듈에서 수신된 테라헤르츠파를 평균값으로 보정하고, 노이즈제거 및 신호증폭하여 피검사체에 포함된 이물질을 탐지해 탐지된 이물질을 디스플레이모듈에 출력하는 제어모듈을 포함한다.
상기 이송모듈은, 제1컨베이어벨트; 및 상기 제1컨베이어벨트와 일정거리 이격되어 이격공간을 형성하며 배치되고, 상기 제1컨베이어벨트로부터 상기 피검사체를 전달받아 이송시키는 제2컨베이어벨트를 포함하고,
상기 제1수신모듈은, 상기 이격공간의 하부에 배치될 수 있다.
그리고, 상기 제어모듈은, 상기 비젼카메라에서 촬영되는 피검사체의 표면을 디스플레이모듈에 출력할 수 있다.
또한, 상기 제1수신모듈 및 상기 제2수신모듈은, 안테나 집적된 복수의 검출소자를 구비하여 테라헤르츠파를 검출하는 검출부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제어모듈은, 한 쌍으로 구비되어 상기 이송모듈의 일측에 일정거리 이격되어 배치되고, 상기 이송모듈을 통해 이송되는 피검사체를 감지하는 감지센서를 포함할 수 있다.
그리고, 상기 제어모듈은, 한 쌍의 상기 감지센서 중 어느 하나에 피검사체가 감지되면, 테라헤르츠파로 상기 피검사체가 진입하기 전에 상기 제1수신모듈 및 상기 제2수신모듈의 상기 검출부의 복수의 상기 검출소자 각각에서 수신되는 테라헤르츠파의 세기를 평균값으로 평준화하는 노멀라이즈부; 상기 제1수신모듈 및 상기 제2수신모듈로 수신된 상기 피검사체를 통과한 테라헤르츠파의 노이즈를 제거하고 신호를 증폭하는 신호증폭부; 상기 신호증폭부와 연동되고, 이물탐지 알고리즘에 의해 노이즈제거 및 신호증폭 된 테라헤르츠파를 분석하는 파장분석부; 및 상기 파장분석부와 연동되고, 분석된 테라헤르츠파를 영상 좌표에 맞는 픽셀 값으로 바꿔 이를 상기 디스플레이모듈에 2차원 영상으로 출력하는 이물영상부를 포함할 수 있다.
한 쌍의 상기 감지센서는 상기 제1수신모듈의 양측에 배치될 수 있다.
그리고, 상기 출력모듈은, 테라헤르츠파를 출력하는 출력부; 상기 출력부의 출력단에 배치되어 상기 출력부에서 출력되는 테라헤르츠파를 방사형으로 조사하는 제1렌즈; 및 상기 제1렌즈와 일직선상에 배치되어 제1렌즈에서 방사형으로 조사된 테라헤르츠파를 집속시켜 피검사체에 라인형상으로 조사하는 제2렌즈를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면,
첫째, 피검사체가 테라헤르츠파로 진입하기 전에, 제1수신모듈 및 제2수신모듈에서 수신된 테라헤르츠파의 세기를 평균값으로 보정하므로 기준값으로 설정할 수 있어 영상을 선명하게 나타내어 검사정확도를 향상시킬 수 있다.
둘째, 한 쌍의 감지센서에 의해 피검사체와 피검사체에 해당되는 영상을 정확하게 매칭할 수 있다.
셋째, 제1수신모듈 및 제2수신모듈을 이용하여 피검사체를 투과되는 테라헤르츠파 뿐만아니라 반사되는 테라헤르츠파 모두를 이용해 검사하므로 피검사체의 성분 및 재질에 관계 없이 검사할 수 있어 적용할 수 있는 피검사체의 범위를 확대할 수 있다.
도 1은 본 발명의 영상보정 테라헤르츠파 물체검사장치를 대략적으로 나타낸 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 영상보정 테라헤르츠파 물체검사장치의 측면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 제1수신모듈 및 제2수신모듈의 사시도이다.
도 4는 본 발명의 출력모듈에서 출력되는 테라헤르츠파를 나타낸다.
도 5는 본 발명의 영상보정 테라헤르츠파 물체검사장치를 개략적으로 나타낸 블럭도이다.
도 6은 도 5에 도시된 제어모듈을 개략적으로 나타낸 블럭도이다.
도 7은 시간에 따라 수신되는 테라헤르츠파의 세기를 나타낸 그래프이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 영상보정 테라헤르츠파 물체검사장치를 대략적으로 나타낸 사시도이다.
도 9는 도 8에 도시된 영상보정 테라헤르츠파 물체검사장치의 측면도이다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명한다. 이때, 첨부된 도면에서 동일한 구성 요소는 가능한 동일한 부호로 나타내고 있음에 유의한다. 또한, 본 발명의 요지를 흐리게 할 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략할 것이다. 마찬가지 이유로 첨부 도면에 있어서 일부 구성 요소는 과장되거나 생략되거나 개략적으로 도시되었다.
도 1은 본 발명의 영상보정 테라헤르츠파 물체검사장치를 대략적으로 나타낸 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 영상보정 테라헤르츠파 물체검사장치의 측면도이며, 도 3은 도 1에 도시된 제1수신모듈 및 제2수신모듈의 사시도이고, 도 4는 본 발명의 출력모듈에서 출력되는 테라헤르츠파를 나타내는 단면도이며, 도 5는 본 발명의 영상보정 테라헤르츠파 물체검사장치를 개략적으로 나타낸 블럭도이고, 도 6은 도 5에 도시된 제어모듈을 개략적으로 나타낸 블럭도이며, 도 7은 시간에 따라 수신되는 테라헤르츠파의 세기를 나타낸 그래프이다.
도 1 내지 도 7을 참조하면, 본 발명의 영상보정 테라헤르츠파 물체검사장치(100)는 이송모듈(110), 출력모듈(120), 제1수신모듈(130), 제2수신모듈(140), 비젼카메라(150), 제어모듈(160)을 포함한다.
이송모듈(110)은 피검사체(10)를 이송시킨다.
출력모듈(120)은 이송모듈(110)의 상측에 배치되고, 일직선으로 테라헤르츠파를 출력하여 피검사체(10)에 라인형태로 조사한다.
출력모듈(120)은 출력부(121), 제1렌즈(122) 및 제2렌즈(123)를 포함한다.
출력부(121)는 테라헤르츠파를 출력하고, 제1렌즈(122)는 출력부(121)의 출력단에 배치되어 출력부(121)에서 출력되는 테라헤르츠파를 방사형으로 조사한다.
출력부(131)는 테라헤르츠파(T)를 생성하는 장치로써, 테라헤르츠파(T)란 테라헤르츠 영역의 전자기파를 의미하는 것으로, 대략 0.1THz ~ 10THz의 진동수를 가지나, 이러한 범위를 크게 벗어나지 않는 영역에 대해서는 테라헤르츠파로 인정될 수 있다.
여기서, 출력부(131)는 건 다이오드(gunn diode)를 이용하여 테라헤르츠파를 출력할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
건 다이오드는 건 효과(gunn effect)를 이용하여 전자기파를 발진하는 다이오드로서, 저가이면서도 부피를 최소화할 수 있는 장점이 있다.
건 다이오드에 의해 발생된 테라헤르츠파는 혼(horn)을 통해 방사될 수 있다.
그리고, 제2렌즈(123)는 제1렌즈(122)와 일직선상에 배치되어 제1렌즈(122)에서 방사형으로 조사된 테라헤르츠파(T)를 집속시켜 피검사체(10)에 라인형상으로 조사한다.
여기서, 제2렌즈(123)에서 조사된 테라헤르츠파(T)는 도 4의 (a)에 도시된 것처럼 형상으로 형성된다.
그리고, 제2렌즈(123)에서 조사된 테라헤르츠파(T)는 피검사체(10)의 이동방향을 기준으로, 정면에서 봤을 때는 도 4의 (b)에 도시된 것처럼 사다리꼴 형상으로 형성되고, 측면에서 봤을 때는 도 4의 (c)에 도시된 것처럼 역삼각형 형상으로 형성되어 제1수신모듈(130)에 라인 형상으로 조사된다.
즉, 테라헤르츠파(T)의 끝단부는 평면상 라인형태로 제1수신모듈(130)의 길이방향으로 길게 형성되어 제1수신모듈(130)이 원활하게 수신할 수 있다.
그리고, 제1렌즈(122)와 제2렌즈(123)는 테라헤르츠파(T)가 일직선상으로 조사되도록 일직선상에 설치되고, 상호 간에 거리를 조정하여 최종 테라헤르츠파(T)의 길이와 포커싱 거리를 조절하여 설치될 수 있다.
여기서, 제1렌즈(132)와 제2렌즈(133) 간에 거리는 본 발명의 영상보정 테라헤르츠파 물체검사장치치(100)의 크기와, 이송모듈(110)의 높이 및 피검사체(10)의 크기에 따라 변경이 가능하다.
제1수신모듈(130)은 이송모듈(110)을 이동하는 피검사체(10)의 하측에 배치되고, 출력모듈(120)에서 출력되어 피검사체(10)를 투과한 테라헤르츠파를 수신한다.
제2수신모듈(140)은 피검사체(10)의 표면에서 반사된 테라헤르츠파(T')를 수신하도록 출력모듈(120)과 대칭하게 배치된다.
그리고, 제1수신모듈(130) 및 제2수신모듈(140)은 검출부(131, 141)를 포함한다.
검출부(131, 141)는 안테나 집적된 복수의 검출소자(E)를 구비하여 테라헤르츠파(T, T')를 검출한다.
여기서, 복수의 검출소자(E)는 n×m 배열로 배치될 수 있다.
또한, 제2수신모듈(140)은, 피검사체(10)의 표면에서 반사된 테라헤르츠파(T')를 집속시키는 반사집광렌즈(143)를 포함한다.
여기서, 반사집광렌즈(143)는 피검사체(10)의 표면에서 반사된 테라헤르츠파(T')가 확산되는 것을 집속하여 제2수신모듈(140)에 라인형태로 전달한다.
이때, 반사집광렌즈(151)는 피검사체(10)의 표면에서 반사된 테라헤르츠파(T')가 라인형태로 조사되도록 마련될 수 있다.
비젼카메라(150)는 이송모듈(110)의 상부에 배치되어 이송모듈(110)을 이동하는 피검사체(10)의 표면을 검사한다.
여기서, 비젼카메라(150)는 복수로 구비될 수 있다.
제어모듈(160)은 제1수신모듈(130), 제2수신모듈(140) 및 비젼카메라(150)와 연동되고, 제1수신모듈(130) 및 상기 제2수신모듈(140)에서 수신된 테라헤르츠파를 평균값으로 보정하고, 노이즈제거 및 신호증폭하여 피검사체(10)에 포함된 이물질을 탐지해 탐지된 이물질을 디스플레이모듈(170)에 출력한다.
또한, 제어모듈(160)은 비젼카메라(150)에서 촬영되는 피검사체(10)의 표면을 디스플레이모듈(170)에 출력한다.
그리고, 제어모듈(160)은 감지센서(161, 162), 노멀라이즈부(163), 신호증폭부(164), 파장분석부(165) 및 이물영상부(166)를 포함한다.
감지센서(161, 162)는 한 쌍으로 구비되어 이송모듈(110)의 일측면에 일정거리 이격되어 배치되고, 이송모듈(110)을 통해 이송되는 피검사체(10)를 감지한다.
그리고, 한 쌍의 감지센서(161, 162)는 도 1에 도시된 것처럼 제1수신모듈(130)의 양측에 배치된다.
설명의 편의상 감지센서(161, 162)를 제1감지센서(161)와 제2감지센서(162)로 나타내었다.
제1감지센서(161)는 이송모듈(110)을 이동하는 피검사체(10)를 먼저 감지하고, 제2감지센서(162)는 테라헤르츠파(T)를 통과한 피검사체(10)를 감지한다.
노멀라이즈부(163)는 제1감지센서(161)에서 피검사체(10)가 감지되면, 테라헤르츠파로 피검사체(10)가 진입하기 전에 제1수신모듈(130) 및 제2수신모듈(140)의 검출부(131, 141)의 복수의 검출소자(E) 각각에서 수신되는 테라헤르츠파(T, T')의 세기를 평균값으로 평준화한다.
본 발명의 영상보정 테라헤르츠파 물체검사장치(100)는 도 7의 (a)에 도시된 것처럼 복수의 검출소자(E) 각각에서 수신되는 테라헤르츠파(T, T')의 세기가 일정하게 유지되지 않는다.
이는, 이송모듈(110)의 컨베이에벨트 상의 이물질이나, 공기 중의 이물질 등으로 테라헤르츠파가 산란되어 나타날 수 있다.
도 7의 (a)에 도시된 것처럼 복수의 검출소자(E) 각각에서 수신되는 테라헤르츠파의 세기는 다르게 나타나는데,
이 상태에서 피검사체(10)가 테라헤르츠파(T)로 진입하게 되면 복수의 검출소자(E) 각각에서 수신되는 테라헤르츠파의 세기가 다르므로 정확한 검사가 이루어질 수 없다.
따라서, 도 7의 (b)에 나타난 것처럼 복수의 검출소자(E) 각각에서 수신되는 테라헤르츠파를 평균값으로 보정해 복수의 검출소자(E) 모두를 기준값으로 설정하여 피검사체(10)를 통과한 테라헤르츠파의 세기를 정확하게 파악할 수 있다.
여기서, 도 7의 (a) 및 (b)의 X축은 복수의 검출소자(E)를 나타내고, Y축은 수신된 테라헤르츠파의 세기를 나타낸다.
예를들어, 검출소자1에서 수신된 테라헤르츠파의 세기가 3으로 나타나고, 검출소자2에서 수신된 테라헤르츠파의 세기가 1로 나타난다고 가정하면,
테라헤르츠파가 피검사체(10)를 통과한 후에 검출소자1과 검출소자2로 수신될 때, 검출소자1로 수신되는 테라헤르츠파는 피검사체(10)에 포함된 이물질 부분을 통과하여 0.5의 세기로 수신되고, 검출소자2로 수신되는 테라헤르츠파는 이물질이 없는 부분을 통과하여 2의 세기로 수신되면
그러면, 검출소자1과 검출소자2에서 수신되는 테라헤르츠파의 세기가 기본값으로 같게 설정되어 있지 않으므로, 검출소자1에서는 3.5로 나타나고 검출소자2에서는 3으로 나타나 피검사체를 통과한 테라헤르츠파의 세기가 유사하게 나타날 수 있어 정확한 검사가 이루어질 수 없다.
하지만, 피검사체(10)가 테라헤르츠파(T)로 진입하기 전에 복수의 검출소자에서 수신되는 테라헤르츠파의 세기를 평균값을 보정하여 기준값을 설정해두면,
이물질 부분을 통과한 테라헤르츠파와 이물질이 없는 부분을 통과한 테라헤르츠파의 세기가 명확하게 다르게 나타나므로 정확한 검사를 수행할 수 있다.
신호증폭부(164)는 제1수신모듈(130) 및 상기 제2수신모듈(140)로 수신된 테라헤르츠파의 노이즈를 제거하고 신호를 증폭한다.
파장분석부(165)는 노멀라이즈부(163)와 연동되고, 이물탐지 알고리즘에 의해 노이즈 제거 및 신호증폭 된 테라헤르츠파를 분석한다.
이물영상부(166)는 파장분석부(165)와 연동되고, 분석된 테라헤르츠파를 영상 좌표에 맞는 픽셀 값으로 바꿔 이를 디스플레이모듈(170)에 2차원 영상으로 출력한다.
제어모듈(160)은 제1감지센서(161)에서 피검사체(10)가 감지되면 노멀라이즈부(163)를 이용하여 복수의 검출소자(E)에서 수신되는 테라헤르츠파의 세기를 평균값으로 보정하여 기준값을 설정하고,
테라헤르츠파(T)에 피검사체(10)가 진입하자마자 신호증폭부(164), 파장분석부(165) 및 이물영상부(166)를 이용하여 영상데이터를 생성하여 디스플레이모듈(170)로 출력한다.
그리고, 한 쌍의 감지센서(161, 162)에 의해 피검사체(10)와 피검사체에 해당되는 영상을 정확하게 매칭 할 수 있다.
피검사체(10)가 제2감지센서(162)를 통과하면 피검사체(10)의 이동이 확인되므로 출력된 영상과 매칭할 수 있다.
제어부(167)는 제어모듈(160)의 전반적인 작동을 제어한다.
이렇게, 본 발명의 영상보정 테라헤르츠파 물체검사장치(100)는 시간이 지날수록 출력모듈(120)에서 출력되는 테라헤르츠파(T)의 출력률이 일정하지 유지되지 않을 수 있다.
제1수신모듈(130) 및 제2수신모듈(140)에서 수신되는 테라헤르츠파(T, T')를 이용하여 생성되는 영상데이터에 노이즈가 많이 생기게 되어 검사가 정확히 이루어지지 않을 수 있다.
따라서, 제어모듈(160)은 제1수신모듈(130) 및 제2수신모듈(140)에서 수신되는 테라헤르츠파(T, T')의 파장을 노멀라이즈해 파장을 평균값으로 보정하여 기준값으로 설정하므로, 디스플레이모듈(170)에서 출력되는 피검사체(10)의 영상을 선명하게 나타낼 수 있어 검사의 정확도를 향상시킬 수 있다.
그리고, 제1수신모듈(130)과 제2수신모듈(140)에 의해 반사법과 투과법이 모두 이용되어 물체검사가 수행된다.
따라서, 피검사체(10)의 재질이나 종류에 제한을 받지 않고 다양한 종류와 재질에 대해 검사를 할 수 있다.
그러므로, 피검사체(10)의 수분 함량이나 원료 등에 영향을 받지 않고, 경질이물질과 연질이물질에 관계없이 검사할 수 있다.
비젼카메라(150)는 이격공간(S)의 상부에 배치되고 이송모듈(110)을 통해 이송되는 피검사체(10)의 표면을 촬영한다.
도 7은 다른 실시예에 따른 영상보정 테라헤르츠파 물체검사장치를 나타낸 사시도이고, 도 8은 도 7에 도시된 영상보정 테라헤르츠파 물체검사장치의 측면도이다.
본 실시예에 다른 영상보정 테라헤르츠파 물체검사장치(200)는 앞선 실시예에 따른 영상보정 테라헤르츠파 물체검사장치(100)와 이송모듈(210)을 제외한 다른 구성은 동일하므로 자세한 설명은 생략한다.
본 실시예에 다른 영상보정 테라헤르츠파 물체검사장치(200)의 이송모듈(210)은 제1컨베이어벨트(211) 및 제2컨베이어벨트(212)를 포함한다.
제1컨베이어벨트(211)는 피검사체(10)를 이동시키고, 제2컨베이어벨트(212)는 제1컨베이어벨트(211)와 일정거리 이격되어 이격공간(S)을 형성하며 배치되며, 제1컨베이어벨트(211)로부터 피검사체(10)를 전달받아 이송시킨다.
여기서, 이격공간(S)은 피검사체(10)가 제1컨베이어벨트(211)에서 제2컨베이어벨트(212)으로 이동 중 바닥으로 떨어져 이탈하지 않는 너비로 형성된다.
그리고, 제1컨베이어벨트(211) 및 제2컨베이어벨트(212)는 테라헤르츠파(T)가 통과될 수 있는 재질로 구비될 수 있다.
그리고, 제1수신모듈(230)은 상기 이격공간(S)의 하측에 배치되고, 출력모듈(130)에서 출력되어 피검사체(10)를 투과한 테라헤르츠파(T)를 수신한다.
이상 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
110...이송모듈 120...출력모듈
121...출력부 122...제1렌즈
123...제2렌즈 130...제1수신모듈
131...검출부 140...제2수신모듈
141...검출부 150...비젼카메라
160...제어모듈 161, 162...감지센서
163...노멀라이즈부 164...신호증폭부
165...파장분석부 166...이물영상부

Claims (8)

  1. 피검사체를 이송시키는 이송모듈;
    상기 이송모듈의 상측에 배치되고, 일직선으로 테라헤르츠파를 출력하여 피검사체에 라인형태로 조사하는 출력모듈;
    상기 이송모듈을 이동하는 피검사체의 하측에 배치되고, 상기 출력모듈에서 출력되어 피검사체를 투과한 테라헤르츠파를 수신하는 제1수신모듈;
    상기 피검사체의 표면에서 반사된 테라헤르츠파를 수신하도록 상기 출력모듈과 대칭하게 배치되는 제2수신모듈;
    상기 이송모듈의 상부에 배치되어 상기 이송모듈을 이동하는 피검사체의 표면을 검사하는 비젼카메라;
    상기 제1수신모듈, 상기 제2수신모듈 및 상기 비젼카메라와 연동되고, 상기 제1수신모듈 및 상기 제2수신모듈에서 수신된 테라헤르츠파를 평균값으로 보정하고, 노이즈제거 및 신호증폭하여 피검사체에 포함된 이물질을 탐지해 탐지된 이물질을 디스플레이모듈에 출력하는 제어모듈을 포함하되,
    상기 제1수신모듈 및 상기 제2수신모듈은 안테나 집적된 복수의 검출소자를 구비하여 테라헤르츠파를 검출하는 검출부를 포함하며,
    상기 이송모듈에는 제1감지센서 및 제2감지센서가 일정거리 이격되어 배치되고,
    상기 제1감지센서는 상기 이송모듈을 이동하는 피검사체를 감지한 후, 상기 제2감지센서에서 테라헤르츠파를 통과한 피검사체를 감지하며,
    피검사체가 테라헤르츠파로 진입하기 전 복수의 검출소자에서 수신되는 테라헤르츠파의 세기를 평균값으로 보정하는 것을 특징으로 하는 영상보정 테라헤르츠파 물체검사장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 이송모듈은,
    제1컨베이어벨트; 및
    상기 제1컨베이어벨트와 일정거리 이격되어 이격공간을 형성하며 배치되고, 상기 제1컨베이어벨트로부터 상기 피검사체를 전달받아 이송시키는 제2컨베이어벨트를 포함하고,
    상기 제1수신모듈은,
    상기 이격공간의 하부에 배치되는 것을 특징으로 하는 영상보정 테라헤르츠파 물체검사장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제어모듈은,
    상기 비젼카메라에서 촬영되는 피검사체의 표면을 디스플레이모듈에 출력하는 것을 특징으로 하는 영상보정 테라헤르츠파 물체검사장치.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제3항에 있어서,
    상기 제어모듈은,
    상기 제1감지센서 또는 상기 제2감지센서 중 어느 하나에 피검사체가 감지되면, 테라헤르츠파로 상기 피검사체가 진입하기 전에 상기 제1수신모듈 및 상기 제2수신모듈의 상기 검출부의 복수의 상기 검출소자 각각에서 수신되는 테라헤르츠파의 세기를 평균값으로 평준화하는 노멀라이즈부;
    상기 제1수신모듈 및 상기 제2수신모듈로 수신된 상기 피검사체를 통과한 테라헤르츠파의 노이즈를 제거하고 신호를 증폭하는 신호증폭부;
    상기 신호증폭부와 연동되고, 이물탐지 알고리즘에 의해 노이즈제거 및 신호증폭 된 테라헤르츠파를 분석하는 파장분석부; 및
    상기 파장분석부와 연동되고, 분석된 테라헤르츠파를 영상 좌표에 맞는 픽셀 값으로 바꿔 이를 상기 디스플레이모듈에 2차원 영상으로 출력하는 이물영상부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 영상보정 테라헤르츠파 물체검사장치.
  7. 삭제
  8. 제6항에 있어서,
    상기 출력모듈은,
    테라헤르츠파를 출력하는 출력부;
    상기 출력부의 출력단에 배치되어 상기 출력부에서 출력되는 테라헤르츠파를 방사형으로 조사하는 제1렌즈; 및
    상기 제1렌즈와 일직선상에 배치되어 제1렌즈에서 방사형으로 조사된 테라헤르츠파를 집속시켜 피검사체에 라인형상으로 조사하는 제2렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 영상보정 테라헤르츠파 물체검사장치.
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