KR102074708B1

KR102074708B1 - 글로브 박스

Info

Publication number: KR102074708B1
Application number: KR1020130117347A
Authority: KR
Inventors: 히토미 니시코쿠바루; 코우지 이노우에; 히로시 오카노
Original assignee: 가부시키가이샤 세이부 기켄
Priority date: 2012-11-13
Filing date: 2013-10-01
Publication date: 2020-02-07
Also published as: TWI590932B; JP6138457B2; TW201424959A; CN103802138B; JP2014097437A; KR20140061228A; CN103802138A

Abstract

건조실 내의 이산화탄소 농도를 낮출 수 있는 글로브 박스를 제공하는 것을 목적으로 한다.
제습 로터(1)를 그 회전 방향에 대해 흡착 영역(2), 퍼지 영역(3), 재생 영역(4)으로 분할하여 재생 영역(4)을 다시 순환하는 재생 순환로를 마련해 이 순환 공기의 일부를 외기와 혼합하여 냉각 한 후, 알칼리 금속 수산화물 혹은 알칼리 토류금속의 수산화물로 이루어진 이산화탄소 흡수제를 충전한 이산화탄소 흡수용기(10)에 통과시킨 후 흡착 영역(2)에 통과 시켜 흡착 영역(2)을 통과한 공기를 건조실(16)에 공급하는 동시에 환기 밸브(18)를 통해 냉각장치(22)에 넣어 이 냉각 건조 공기를 다시 흡착 영역(2)에 되돌리도록 했다.

Description

글로브 박스{GLOBE BOX}

글로브 박스는 박스 내부의 습도를 매우 낮은 상태로 유지시켜, 박스 외부에서 밀봉된 고무 장갑(글로브)를 통해 박스 안으로 손을 넣어 건조한 환경을 이용한 실험 등을 하는 장치이다. 본 발명은 이슬 제어를 정밀하게 수행 할 수 있으며, 공급되는 공기의 이산화탄소 농도를 낮출 수 있는 글로브 박스에 관한 것이다.

특정한 박스 안의 공기를 제습하는 경우, 냉동기를 사용하여 결로에 의한 제습을 하게 되면 에너지의 소비는 적었지만, 박스 안 공기의 습도를 영하의 이슬점까지 낮추는 것이 어려웠다.

최근 리튬 이온 전지와 리튬 이온·캐패시터 등의 개발 및 개선이 확대되고 있다. 리튬 화합물은 공기 중의 수분을 쉽게 흡착하여 전지와 캐패시터의 성능을 저하시킨다. 그렇기 때문에 이러한 개발에 따른 실험에 대해서 매우 낮은 이슬점의 분위기 또는 액체 질소를 기화시킨 질소로 충전된 분위기의 박스 내에서 실험을 할 필요가 있다. 액체 질소를 이용하는 경우에는 실험 전에 액체 질소를 준비해야 하며, 실험 중에 액체 질소를 계속 소모하기 때문에 비용이 많이 드는 문제점이 있다.

또한, 액정 표시 장치를 대체할 차세대 평판 디스플레이로 기대되는 유기 EL 표시장치 등에 사용되는 유기 EL 소자는 고체 발광형의 저렴한 대면적 풀컬러 표시 소자 또는 기록장치 광원 어레이로서의 용도가 유망하므로 활발한 연구개발이 진행되고 있다. 그러나, 유기 EL 소자에 사용되는 유기발광재료 등의 유기물질과 전극 등은 수분에 취약하여 성능이나 특성이 급격히 저하된다. 따라서, 이러한 개발에 따른 실험을 할 때에도 매우 낮은 이슬점의 분위기 또는 액체 질소를 기화시킨 질소로 충전된 분위기의 박스 내에서 실험을 할 필요가 있다.

또한 리튬 이온 전지의 경우 분위기 중에 이산화탄소가 있으면, 특허 문헌 1에 설명 된 것과 같이 성능이 저하되는 문제가 있다. 이 특허 문헌 1에 개시된 것은 리튬 이온 전지의 전극 제조 공정에서 이산화탄소의 영향을 제거하는 것이며, 이산화탄소 제거 수단으로서 수산화 나트륨 용액에 공기를 버블링 하고 있다. 그러나 리튬 이온 전지를 완성하는 공정에 있어서는 건조 공기가 필요하며 이산화탄소의 제거 방법으로 용액에 버블링을 하면 공기의 습도가 상승하기 때문에 문제가 된다.

또한 이산화탄소 흡수제로서 특허 문헌 2에 개시된 아민계도 용액에 이산화탄소를 흡수하는 것으로, 사용에 의해 공기가 가습 되는 문제가 있다.

일본특허공개 평 09-320598 호 공보 일본특허공개 평 06-343858 호 공보

위와 같이 특허 문헌 1 및 특허 문헌 2에 개시된 것은 이산화탄소의 흡착 또는 흡수 과정에서 공기의 습도가 높아지는 문제가 있다. 본 발명처럼 이슬점이 영하 10도에서 영하 80도의 건조 공기를 공급하려고 하는 것에 있어서는 채용이 곤란하다.

본 발명은 전기 과제를 해결하기 위한 것으로, 건조 공기에 포함된 이산화탄소를 제거하여 이산화탄소의 농도를 낮추는 동시에 이슬점도 낮출 수 있는 글로브 박스를 제공하는 것을 목적 한다.

본 발명은 제습 로터의 회전 방향에 대해 흡착영역, 퍼지영역, 재생영역으로 나누어 재생영역을 통과하는 공기가 다시 순환하는 재생순환로를 마련해 이 순환 공기의 일부를 외기와 혼합하여 냉각 한 후, 알칼리 금속의 수산화물 혹은 알칼리 토류금속의 수산화물로 이루어진 이산화탄소 흡수제를 충전한 이산화탄소 흡수용기에 통과시킨 후, 흡착영역에 통과시켜 흡착영역을 통과한 공기를 건조실에 공급하는 동시에 환기 밸브를 통해 냉각장치에 넣어 이 냉각 건조 공기를 다시 흡착영역(2)에 돌려 보내도록 하는 것을 가장 중요한 특징으로 한다.

(발명의 효과)

본 발명의 글로브 박스는 제습 로터의 재생 영역을 통과하는 공기를 순환하게 하고 그 일부를 바깥 공기와 혼합 한 후 냉각하여 상대 습도를 높인 공기를 이산화탄소 흡착 용기에 통과하도록 했기 때문에 이산화탄소의 흡착 작용이 강하고, 건조실 내의 이산화탄소 농도를 낮출 수 있다.

또한 제습 로터의 재생 영역을 통과하는 공기를 순환하도록 하고 있기 때문에, 에너지의 낭비가 적다. 또한 이 순환에 의해 배기가 적다. 따라서, 본 발명의 글로브 박스는 클린룸의 내부에도 설치가 용이하다. 또한 이 순환에 의해 재생 히터에 가해지는 에너지가 적고 재생 히터의 수명도 길어진다.

또한 건조실 내의 습도 조절을 흡착영역의 바이패스 및 건조실의 바이패스에 의해 실시하고, 습도조절의 반응성이 높고 일반 용량이 작은 글로브 박스의 습도조절 수단으로 적당하다.

도 1은 본 발명의 글로브 박스의 실시 예를 나타낸 흐름도이다.

본 발명은 제습 로터의 회전 방향에 대해 흡착영역, 재생영역, 퍼지영역으로 분할하고, 바깥 공기와 재생 순환 공기의 일부를 혼합 한 후 냉각하여 상대 습도를 높인 공기를 이산화탄소 흡수제를 충전한 이산화탄소 흡수용기에 통과시켜 흡착영역에 통과시키는 경로와 흡착 영역의 상류 측과 하류 측을 연통하는 유량 제어 장치를 갖춘 바이패스를 마련해 글로브 박스 내의 이슬점을 재생 온도 비례 제어와 상기 바이패스를 이용한 로터 바이패스 유량 제어를 결합하여 적은 에너지 소비량으로 정확한 이슬 제어가 가능하고, 또한 상자의 이산화탄소 농도를 낮출 수 있는 글로브 박스를 제공 한다는 목표를 실현했다.

실시 예 1

이하, 본 발명의 실시 예를 나타내는 도면 1에 따라 설명한다. 1은 제습 로터이며, 실리카겔이나 제올라이트 등의 습기 흡착제가 담지된 허니컴 로터 형태이다. 이 제습 로터(1)는 모터 (GM)에 의해 회전하게 되고, 그 회전 방향에 따라 다음과 같이 각 영역으로 나누어져 있다. 또한 다음 설명에서 사용 온도는 모두 섭씨이다.

즉, 2는 흡착 영역이며 여기에서 공기 중의 수분이 제습 로터(1)에 흡착된다. 3은 퍼지영역이며 4는 재생 영역이다. 재생 영역(4)을 통과하는 고온의 공기에 의해 제습 로터(1)는 흡착된 습기가 탈착된다. 5는 흡기 밸브이며, 외기 OA의 도입량의 조정이나 외기 OA를 넣을지 넣지 않을지 개폐에 의해 제어하는 것이다. 6은 필터로, 바깥 공기에 포함된 먼지를 제거하는 것이다.

7은 예냉기며, 냉동 압축기 (미도시)에서 보내진 냉매에 의해 통과 공기를 냉각하는 것이다. 8과 9는 온도 센서이며, 온도 센서(8)는 예냉기(7)에 들어가기 전에 공기의 온도를 검출하고 온도 센서(9)는 예냉기(7)를 나온 공기의 온도를 검출한다.

10은 이산화탄소 흡수용기에서 예냉기(7)에 의해 냉각된 공기 중에서 이산화탄소를 흡수 제거하는 것이다. 이 이산화탄소 흡수용기(10) 안에는, 수산화 나트륨 펠렛과 실리카겔 펠렛이 혼합된 상태로 충전되어있다. 즉 수산화 나트륨은 이산화탄소와 반응하여 탄산 수소 나트륨이 된다. 수산화 나트륨 펠렛은 공기 중의 수분에 의해 조해를 일으키지만, 실리카겔 펠렛이 혼합되어 있기 때문에 조해 작용이 방지된다. 실리카겔 펠렛을 대신하여 활성 알루미나 펠렛, 활성탄, 세피올라이트, 제올라이트 또는 수산화 칼슘 펠렛을 혼합하여도 좋다. 이 두 펠렛에 페놀프탈레인 분말을 혼합해 두면 처음에는 연보라 색이었던 것이 탄산 수소 나트륨의 생성에 따라 색이 옅어지기 때문에 이산화탄소 흡수용기(10)의 교환시기를 알 수 있다.

11은 흡착 블로어이고 제 1 예냉기(7)에 의해 냉각된 공기를 흡착 영역(2)에 보내는 것이다. 12 흡착 영역(2)의 전후를 우회하는 바이패스 경로이며 이 바이패스 경로(12)는 우회 양을 조절하는 전동 밸브(13)가 설치되어 있다.

14는 애프터 히터이며, 흡착 영역(2)을 통과한 건조 공기의 온도가 너무 낮은 경우 가열하는 것이다. 15는 후 필터이며, 건조실(16)에 공급되는 공기를 깨끗이 하는 것이다. 17은 공급 밸브이며, 건조 공기를 건조실(16)에 보내는 양을 조절하는 것이다. 18은 환기 밸브이며, 후 필터(15)를 통과한 공기를 흡착 블로어(11)의 흡입측에 보내는 양을 조절하는 것이다. 19는 리턴 밸브이며, 건조실(16)의 환기량을 조절하는 것이다. 건조실(16)을 통과하는 공기의 양을 공급 밸브(17)와 리턴 밸브(19)에 의해 조정된다. 건조실(16)은 밀폐 상태가 아닌 국소 배기 있으므로 두 밸브로 공기의 통과량 조정이 필요하다.

20은 건조실(16)의 온도를 검출하는 온도 센서, 21은 건조실(16) 습도를 검출하는 습도 센서이다. 22는 환기 밸브(18)를 통과하여 돌아온 건조 공기를 냉각하는 제 2 예냉기며, 이를 통해 냉각된 건조 공기는 흡착 블로어(11)에 흡입된다. 23은 제 2 예냉기(22)를 나온 공기의 온도를 측정하는 온도 센서이다.

24는 퍼지 영역(3)을 통과하는 공기의 양을 조절하는 퍼지 밸브이며, 이 퍼지 밸브(24)를 통과한 공기는 재생 히터(25)에 들어간다. 26은 온도 센서로, 재생 히터(25)를 나온 공기의 온도를 측정하는 것이며, 온도 센서(27)는 재생 영역(4)을 나온 공기의 온도를 측정하는 것이다.

28은 재생 블로어이며, 재생 영역(4)의 공기를 빨아들이는 것으로, 이 재생 블로어(28) 출구는 재생 순환 밸브(29)와 재생 리턴 밸브(30)에 연결되어있다. 재생 순환 밸브(29)는 재생 영역(4)을 나와 재생 히터(25)로 돌아가는 재생 공기 순환 양을 조절하는 것이다. 재생 리턴 밸브(30)는 재생 영역(4)을 나온 공기를 필터(6)의 앞, 즉, 제 1 예냉기(7) 앞에 돌아가는 공기의 양을 조절하는 것이다. 재생 리턴 밸브(30)와 흡기 밸브(5)의 개도에 의해 외부로 방출되는 배기 (EA)의 양이 결정된다. 또한 배기 (EA)를 없애고 전량 필터(6)의 앞에 되돌려 구성해도 좋다.

본 발명의 글로브 박스는 상기 구성으로 되어있고, 이하 그 동작에 대해 설명한다. 우선, 외기 (OA)는 필터(6)에서 먼지 등이 제거되고 예냉기(7)에서 냉각되고 응축 제습된다. 이 예냉기(7)를 나온 공기의 상대 습도는 거의 100%로 이산화탄소 흡수용기(10)로 들어간다. 이산화탄소 흡수용기(10)의 안에는 상기와 같이 수산화 나트륨 펠렛과 실리카겔 펠렛이 혼합된 상태로 충전되고, 수산화 나트륨은 이산화탄소와 반응하여 탄산 수소 나트륨이 된다. 이에 따라 이산화탄소가 제거된다.

이산화탄소가 제거 된 공기는 흡착 블로어(11)에서 가압된 흡착 영역(2)을 통과한다. 이 통과 과정에서 제습 로터(1)에 의해 공기 중의 습기가 흡착되어 건조 공기가 된다. 건조 공기는 애프터 히터(14)에 의해 적절한 온도 즉, 건조실(16)에 공급하는 공기로 적절한 온도가 될 때까지 가열된다.

이렇게 만들어진 건조 공기는 최종적으로 후 필터(15)에서 먼지가 제거되고 공급 밸브(17)에서 공급량이 조정되어 건조실(16)로 공급된다. 여기에서 건조실(16) 내의 습도가 목표로 하는 습도보다 낮을 경우 습도 센서(21)의 검출 신호가 전동 밸브(13)로 보내져 전동 밸브(13)가 열리고 제습 로터(1)의 흡착 영역(2)이 우회되고 제습량이 감소하여 적절한 습도가 되고 건조실(16)에 공급된다.

건조실(16)을 나온 공기는 리턴 밸브(19)에 의해 환기량이 조정되고 예냉기(22)를 통과해 냉각되어 흡착 블로어(11)에 다시 들어간다. 이렇게 하여 건조실(16) 내의 공기는 순환하면서 제습된다. 이 때문에 건조실(16) 내에 습기를 발생하는 물질, 즉 습도 부하가 있어도 건조실(16) 내의 습도는 소정 값 이하로 유지된다.

여기서 건조실(16) 내의 습도를 조절하는 수단으로 바이패스 경로(12)를 통과하는 공기의 양과 환기 밸브(18)에 의해 건조실(16)을 우회하는 통로를 구성하고 있다. 이 습도 조절 수단에 따르면, 건조실(16) 내의 습도 변화에 대해 습도 조절의 응답성이 빨라진다. 즉, 본래 글로브 박스는 작은 건조실을 만들어 그 외부에서 글로브(장갑)를 통해 건조실(16) 내부에서 실험 등을 실시하는 것이며, 건조실(16)의 용적이 작기 때문에 습도 조절 수단의 응답성이 요구된다.

흡착 블로어(11)를 나온 공기의 일부는 퍼지 영역(3)을 통과하여 제습 로터(1)를 냉각하는 동시에 제습 로터(1)로부터 열을 회수한다. 퍼지 영역(3)을 통과하는 공기의 양은 퍼지 밸브(24)에 의해 조정된다. 또한 재생 영역(4)을 통과하는 공기는 재생 순환 밸브(29)에 의해 순환 양이 조정되어 다시 재생 영역(4)으로 돌아온다. 이것은 건조실(16)의 습도 부하가 작은 경우, 재생 영역(4)을 통과 한 공기의 습도 증가가 적고, 순환하여 사용할 수 있기 때문이다.

재생 영역(4)을 통과하고 예냉기(7)에 들어간 공기는 운전 직후가 아닌 경우에는 외기 OA보다 절대 습도가 낮다. 즉 건조실(16)의 이슬점이 영하 80도가 되는 경우 제습 로터(1)에 흡착되는 습기의 양이 적고, 재생 영역(4)에서 탈착되는 수분도 적다. 따라서 외기 OA보다도 습도가 낮고 다시 흡착 영역(2)으로 되돌려 사용하는 것이 에너지 소비가 적다. 또한 배기 EA의 양이 적어져, 본 발명의 글로브 박스는 클린룸 내에 설치하여 사용하기가 용이하다.

이렇게 건조실(16)을 나온 공기는 재생 영역(4)을 통과하여 다시 이산화탄소 흡수용기(10)로 돌아 가기 때문에 건조실(16) 내의 이산화탄소는 점차 농도가 내려간다. 여기서 건조실(16)에서 흡착 블로어(11)로 돌아가는 공기는 습도가 낮기 때문에 이산화탄소 흡수용기(10)에서의 이산화탄소 제거 효과가 작다. 따라서 이 공기는 이산화탄소 흡수용기(10)를 통과시키지 않고 직접 흡착 블로어(11)로 되돌린다.

이상의 실시 예에서는 이산화탄소 흡수용기(10) 내에 충전하는 흡수제로서 수산화 나트륨과 실리카겔의 혼합 예를 나타냈지만, 수산화 나트륨을 다른 알칼리 금속 수산화물, 예를 들면 칼륨 금속, 리튬 금속도 좋다. 또한 실리카겔을 대신하여 친수성 활성탄, 활성 알루미나, 세피올라이트, 제올라이트, 수산화 칼슘도 좋다. 또는 이들에 알칼리 금속 수산화물을 함침첨착 시켜도 동일한 효과를 얻을 수 있다.

용기(10)는 예냉기(7)의 다음에 설치되어 있기 때문에 공기가 냉각 되어 상대 습도가 높아진다. 용기(10)의 입구 공기 상대 습도가 90% 이상일 경우는 알칼리 금속 수산화물에 의한 흡수제에서는 지장이 생길 수 있다. 즉 알칼리 금속 수산화물은 흡습에 의해 조해되고, 높은 상대 습도에는 급격하게 흡습량이 늘어나 상대 습도 90 % RH 이상에서는 조해 흡습된 액이 유출되어 이산화탄소의 흡수 성능이 저하되거나 유출 된 흡수제가 하류측의 주변기기를 부식시키거나 할 단점이 있다. 이런 경우 용기(10)의 하류측에 알칼리 금속 수산화물을 포함하지 않는, 실리카겔, 활성탄, 활성 알루미나, 세피올라이트, 제올라이트, 수산화 칼슘 등의 단독 또는 혼합 펠렛 층을 마련하여 흡수액 유출을 방지 할 수 있다.

상대 습도가 높은 경우는 이산화탄소 흡수제로 알칼리 금속 수산화물을 대신하여 알칼리 토류금속 수산화물, 예를 들면 수산화 칼슘 분말 성형품을 사용해도 같은 효과를 얻을 수 있다. 이 경우, 수산화 칼슘은 이산화탄소와 화합하여 탄산 칼슘이 되지만, 이 반응에도 수분이 필요하다. 즉 알칼리 금속 수산화물은 수분이 존재하면 이산화탄소와 결합하기 쉬워지고 높은 상대 습도에서 성능을 향상시키고 상대 습도 90 % 이상에서도 사용이 가능하다. 이 경우에는 조해 작용이 없는 실리카겔 등 습기 흡착제를 용기(10)에 넣을 필요가 없다.

또한 상대 습도가 높은 경우는 공기의 입구 측에 알칼리 금속 수산화물을 포함한 흡수제를 충전하고, 출구 측에 알칼리 금속 수산화물을 포함하지 않은 흡수제 또는 흡착재의 층을 마련한 이산화탄소 흡수제를 용기(10)에 넣을 수 있다. 이에 따라 입구 측의 알칼리 금속 수산화물에 의해 강력하게 이산화탄소를 흡수할 수 있다. 그리고 이것이 조해해도 출구 측의 알칼리 금속 수산화물을 포함하지 않는 흡수제 또는 흡착재의 층을 통해 조해된 알칼리 금속 수산화물이 유출되는 것이 저지된다. 또한 유출이 저지된 알칼리 금속 수산화물의 조해액은 이산화탄소와 화합함으로써 탄산 수소 화합물이 되어 조해작용이 없어진다. 이 때문에 출구 측의 알칼리 금속 수산화물을 포함하지 않는 흡수제 또는 흡착재의 층은 입구 측의 알칼리 금속 수산화물을 포함한 흡수제가 조해에 의해 생겨난 용액의 전량을 저지하는 두께가 아니라도 좋다.

본 발명은 상기와 같이 건조실 내의 이산화탄소 농도를 낮게 유지할 수 있는 글로브 박스를 제공 할 수 있다.

1 제습 로터 2 흡착 영역
3 퍼지 영역 4 재생 영역
5 흡기 밸브 6 필터
7 예냉기 8 온도 센서
9 온도 센서 10 이산화탄소 흡수용기
11 흡착 블로어 12 바이패스 경로
13 전동 밸브 14 애프터 히터
15 후 필터 16 건조실
17 공급 밸브 18 환기 밸브
19 리턴 밸브 20 온도 센서
21 습도 센서 22 예냉기
23 온도 센서 24 퍼지 밸브
25 재생 히터 26 온도 센서
27 온도 센서 28 재생 블로어
29 재생 순환 밸브 30 재생 리턴 밸브

Claims

습기 흡착제를 가진 제습 로터를 갖추고 이 제습 로터가 적어도 흡착 영역, 퍼지 영역, 재생 영역으로 분할되어 상기 재생 영역을 통과한 공기의 일부가 재생 영역을 순환하고 나머지 공기가 외기와 혼합되어 냉각 장치를 통과하면서 냉각 장치를 통과한 공기가 알칼리 금속 수산화물을 충전한 이산화탄소 흡수용기를 통과하고 이 이산화탄소 흡수용기를 통과한 공기가 상기 제습 로터의 흡착 영역을 통과하여 공급 공기로서 건조실에 공급되고 이 건조실에서의 환기를 상기 제습 로터의 흡착 영역에 되돌리도록 한 것을 특징으로 하는 글로브 박스용 건조실.
습기 흡착제를 가진 제습 로터를 갖추고 이 제습 로터가 적어도 흡착 영역, 퍼지 영역, 재생 영역으로 분할되어 상기 재생 영역을 통과한 공기의 일부가 재생 영역을 순환하고 나머지 공기가 외기와 혼합되어 냉각 장치를 통과하면서 냉각 장치를 통과한 공기가 알칼리 토류금속의 수산화물을 충전한 이산화탄소 흡수용기를 통과하고 이 이산화탄소 흡수용기를 통과한 공기가 상기 제습 로터의 흡착 영역을 통과하여 공급 공기로서 건조실에 공급되고 이 건조실에서의 환기를 상기 제습 로터의 흡착 영역에 되돌리도록 한 것을 특징으로 하는 글로브 박스용 건조실.
습기 흡착제를 가진 제습 로터를 갖추고 이 제습 로터가 적어도 흡착 영역, 퍼지 영역, 재생 영역으로 분할되어 상기 재생 영역을 통과한 공기의 일부가 재생 영역을 순환하고 나머지 공기가 외기와 혼합되어 냉각 장치를 통과하고 냉각 장치를 통과한 공기가 공기의 입구 측에 알칼리 금속 수산화물을 포함하는 흡수제를 충전하고, 출구 측에 알칼리 금속 수산화물을 포함하지 않는 흡수제 또는 흡착재의 층을 마련한 이산화탄소 흡수용기를 통과해 이 이산화탄소 흡수용기를 통과한 공기가 상기 제습 로터의 흡착 영역을 통과하여 공급 공기로서 건조실에 공급되고 이 건조실에서의 환기를 상기 제습 로터의 흡착 영역에 되돌리도록 한 것을 특징으로 하는 글로브 박스용 건조실.
제 1 항 내지 제 3 항 어느 한 항에 있어서,
흡착 영역에 바이패스 경로를 설치한 것을 특징으로 하는 글로브 박스용 건조실.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
흡착 영역을 나온 공기가 건조실 및 건조실 바이패스 경로를 통과하도록 한 것을 특징으로 하는 글로브 박스용 건조실.