KR102065346B1

KR102065346B1 - Static electricity removing device by using X-ray

Info

Publication number: KR102065346B1
Application number: KR1020180015714A
Authority: KR
Inventors: 이동훈; 이종수; 허시환
Original assignee: (주)선재하이테크
Priority date: 2018-02-08
Filing date: 2018-02-08
Publication date: 2020-01-13
Also published as: KR20190096135A

Abstract

본 발명은 X선을 이용한 정전기 제거장치에 관한 것으로, X선관의 고장이나 오작동에 의해 LCD, 반도체 등의 제조 공정 라인이 모두 정지시키는 것을 방지할 수 있는 정전기 제거장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electrostatic eliminator using X-rays, and more particularly, to an electrostatic eliminator capable of preventing all manufacturing process lines such as LCDs and semiconductors from being stopped due to a failure or malfunction of X-ray tubes.

Description

X선을 이용한 정전기 제거장치{Static electricity removing device by using X-ray}Static electricity removing device by using X-ray}

일반적으로 전자기기, LCD, 반도체 등의 제조 공정에서는 전자기기, LCD, 반도체 웨이퍼에 미세한 먼지가 부착되거나 정전기에 의하여 소자가 훼손되는 등의 문제점을 미연에 방지하기 위하여 정전기 제거장치를 설치하는 것이 일반적이다. In general, in the manufacturing process of electronic devices, LCDs, semiconductors, etc., it is common to install an electrostatic eliminator to prevent problems such as fine dust adhering to the electronic devices, LCDs, semiconductor wafers, or the like. to be.

정전기 제거장치는 크게 코로나 방전식 장치와 엑스선 방사식 장치로 구분할 수 있는데, 최근에는 코로나 방전식 장치가 갖는 고전압 방전에 의한 스퍼터링 현상, 오존가스 발생, 이온 밸런스 조정에 따른 불편 등의 단점을 극복한 엑스선 방사식 장치, 즉 엑스선 이오나이저가 주로 이용되고 있다. Static eliminators can be classified into corona discharge devices and X-ray radiation devices. Recently, the static elimination device overcomes the disadvantages of sputtering caused by high voltage discharge, ozone gas generation, and inconvenience caused by ion balance adjustment. X-ray radiation apparatus, that is, X-ray ionizer is mainly used.

상기 엑스선 이오나이저는 엑스선을 생성하고 이를 방사하여 기체 분자를 이온화함으로써 제전 대상 물체 표면의 정전기를 중화하는 장치로, 주로 연엑스선(soft x-ray)을 조사하는 방식으로 구현된다. 이러한 엑스선 이오나이저는 미세먼지를 발생시키지 않고 공기를 대류시킬 필요도 없기 때문에 더욱 적합한 방식으로 각광받으며 다양한 방식으로 개발되어 왔다.The X-ray ionizer is a device that neutralizes static electricity on the surface of an object to be discharged by generating X-rays and radiating them to ionize gas molecules. The X-ray ionizer is mainly implemented by irradiating soft x-rays. Since the X-ray ionizer does not generate fine dust and does not need to convection air, it has been spotlighted in a more suitable manner and developed in various ways.

그러나 종래기술의 엑스선 이오나이저가 전자기기, LCD, 반도체 등의 제조 공정 라인에 정전기 제거용으로 이용되는 상태에서는 X선관의 교체 및 수리가 필요할 경우, 전자기기, LCD, 반도체 등의 제조 공정 라인을 모두 정지시킨 후에나 X선관 모듈의 교체 및 수리가 가능함으로써, X선관의 교체 및 수리에 소요되는 시간만큼 전자기기, LCD, 반도체 등의 제조 공정 시간이 딜레이 될 뿐만 아니라 상기 X선관 의 교체 및 수리에 인력이 소요되는 문제점이 있었다.However, when the X-ray ionizer of the prior art is used to remove static electricity in manufacturing process lines of electronic devices, LCDs, semiconductors, etc., when the X-ray tube needs to be replaced and repaired, the manufacturing process lines of electronic devices, LCDs, semiconductors, etc. After all stops or the X-ray tube module can be replaced and repaired, the manufacturing process time of electronic devices, LCDs, semiconductors, etc. is delayed by the time required for the replacement and repair of the X-ray tube. There was a problem of manpower.

한국공개특허 제10-2004-0095587호(2004.11.15)Korean Patent Publication No. 10-2004-0095587 (2004.11.15)

따라서, 본 발명의 목적은 종래기술의 문제점을 해결하는 것이다.Accordingly, it is an object of the present invention to solve the problems of the prior art.

구체적으로, 본 발명의 목적은 X선 모듈 또는 X선관의 수명이 다한 경우 또는 X선 모듈 또는 X선관의 손상시에도 전자기기 또는 전자부품의 제조 공정 라인 전체를 정지시키지 않아도 전자기기 또는 전자부품의 정전기를 연속적으로 제거할 수 있는 정전기 제거장치를 제공하는 것이다.Specifically, an object of the present invention is to provide an electronic device or an electronic component even when the life of the X-ray module or X-ray tube has expired or the X-ray module or X-ray tube is damaged, without stopping the entire process line of manufacturing the electronic device or electronic component. It is to provide a static elimination device that can remove the static electricity continuously.

전술한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따르면, 본 발명은, 전자기기 또는 전자부품의 제조 공정 라인에서 정전기 제거용으로 사용되는 X선을 이용한 정전기 제거장치로서, 상기 정전기 제거장치에 공급되는 전력으로 고전압을 발생시키는 단일 고전압 모듈과; 상기 단일 고전압 모듈에 전기적 및 기계적으로 결합되며, 상기 단일 고전압 모듈으로부터의 고전압으로 X선을 방사하는 메인 X선 모듈과; 상기 단일 고전압 모듈에서 상기 메인 X선 모듈에 인접하게 결합되며, 상기 단일 고전압 모듈로부터의 고전압으로 X선을 방사할 수 있도록 구성되되, X선 조사영역이 상기 메인 X선 모듈의 X선 조사영역을 포함하도록 상기 단일 고전압 모듈에 결합 또는 배치된 적어도 하나 이상의 서브 X선 모듈과; 상기 메인 X선 모듈의 상태정보에 기초하여, 상기 메인 X선 모듈 및 상기 서브 X선 모듈 중 적어도 하나 이상의 X선 모듈로 상기 단일 고전압 모듈의 고전압을 인가하도록 상기 정전기 제거장치를 제어하는 제어부; 상기 제어부에 의해 제어되며, 상기 메인 X선 모듈 및 상기 서브 X선 모듈 중 적어도 하나 이상의 X선 모듈로 상기 단일 고전압 모듈의 고전압을 인가하도록 상기 고전압의 인가 여부 또는 인가 방향을 조절하는 스위칭회로를 포함하며, 상기 단일 고전압 모듈 내부에 구비되는 스위칭부; 및 상기 메인 X선 모듈 및 상기 적어도 하나 이상의 서브 X선 모듈 각각의 작동상태가 정상인지 여부를 감지할 수 있는 작동확인부;를 포함하고, 상기 제어부는, 평상시, 상기 단일 고전압 모듈의 고전압 발생부에서 발생되는 고전압이 상기 메인 X선 모듈로 인가되도록 상기 스위칭부를 제어하되, 이후, 상기 작동확인부로부터 전송되는 상기 메인 X선 모듈의 작동상태가 정상인지 여부를 감지하여, 상기 작동확인부로부터의 감지결과 상기 메인 X선 모듈이 비정상 작동중 또는 작동정지한 것으로 판단하는 경우, 상기 단일 고전압 모듈의 고전압이 상기 서브 X선 모듈로 인가되도록 상기 스위칭부 및 상기 단일 고전압 모듈을 제어하되, 상기 작동확인부로부터의 감지결과 상기 메인 X선 모듈이 비정상 작동중인 것으로 판단하는 경우, 상기 단일 고전압 모듈의 고전압이 상기 메인 X선 모듈 및 상기 서브 X선 모듈 모두에 인가되도록 한 후, 기설정된 오버랩 시간이 경과하면 상기 메인 X선 모듈로의 고전압 인가를 차단하도록 그리고 상기 서브 X선 모듈에 고전압이 인가되도록 상기 스위칭부 및 상기 단일 고전압 모듈을 제어하며, 이후, 상기 작동확인부로부터 전송되는 상기 서브 X선 모듈의 작동상태가 정상인지 여부를 감지하여, 상기 작동확인부로부터 감지결과 상기 서브 X선 모듈이 비정상 작동중 또는 작동정지한 것으로 판단하는 경우, 상기 단일 고전압 모듈의 고전압이 상기 서브 X선 모듈로 인가되는 것을 차단하고, 동시에 상기 제조 공정 라인의 컨베이어 벨트를 작동 정지시키도록 구성되는 것을 특징으로 하는 X선을 이용한 정전기 제거장치를 제공할 수 있다.According to an embodiment of the present invention for solving the above problems, the present invention is an electrostatic eliminating device using X-rays used for removing static electricity in the manufacturing process line of electronic devices or electronic components, A single high voltage module for generating a high voltage with power supplied; A main X-ray module electrically and mechanically coupled to the single high voltage module, the main X-ray module emitting X-rays at a high voltage from the single high voltage module; It is coupled to the main X-ray module in the single high voltage module, and configured to emit X-rays at a high voltage from the single high voltage module, wherein the X-ray irradiation area is the X-ray irradiation area of the main X-ray module At least one sub-X-ray module coupled or disposed in the single high voltage module to include; A controller configured to control the static electricity removing device to apply a high voltage of the single high voltage module to at least one X-ray module of the main X-ray module and the sub-X-ray module based on state information of the main X-ray module; And a switching circuit controlled by the controller and configured to control whether or not the high voltage is applied or a direction in which the high voltage of the single high voltage module is applied to at least one X-ray module of the main X-ray module and the sub-X-ray module. A switching unit provided inside the single high voltage module; And an operation check unit for detecting whether an operation state of each of the main X-ray module and the at least one sub-X-ray module is normal. The control unit is usually a high voltage generator of the single high voltage module. The switching unit is controlled so that the high voltage generated by the main X-ray module is applied to the main X-ray module. Then, by detecting whether the operation state of the main X-ray module transmitted from the operation checking unit is normal, If it is determined that the main X-ray module is abnormally operated or stopped, the control unit controls the switching unit and the single high voltage module to apply the high voltage of the single high voltage module to the sub X-ray module. If the main X-ray module determines that the main X-ray module is in abnormal operation, After the high voltage of is applied to both the main X-ray module and the sub-X-ray module, when a predetermined overlap time elapses, the high voltage is applied to the main X-ray module and the high voltage is applied to the sub-X-ray module. The switching unit and the single high voltage module are controlled so as to detect whether the operation state of the sub X-ray module transmitted from the operation confirmation unit is normal, and the detection result of the sub X-ray module is determined from the operation confirmation unit. When it is determined that the abnormal operation or stop operation, it is configured to block the high voltage of the single high voltage module to be applied to the sub-X-ray module, and at the same time to stop the conveyor belt of the manufacturing process line It is possible to provide an electrostatic removing device using an X-ray.

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또한, 바람직하게는, 상기 작동확인부는, 상기 정전기 제거장치의 입력부를 통해 입력된 입력신호인 목표 X선 방사량 대비 실제 X선 방사량이 작은 경우, 또는 상기 입력부를 통한 입력신호의 변화와 무관하게 X선 방사량이 불균일한 경우를 상기 메인 X선 모듈 및 적어도 하나 이상의 서브 X선 모듈이 비정상 작동 중인 것으로 판단하는 것을 특징으로 한다.Further, preferably, the operation check unit, X is irrespective of the change of the input signal through the input unit, or when the actual X-ray radiation amount is small compared to the target X-ray radiation amount which is the input signal input through the input unit of the static electricity removing device. The case where the radiation amount is nonuniform is characterized in that the main X-ray module and at least one sub-X-ray module is determined to be in abnormal operation.

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또한, 바람직하게는, 상기 정전기 제거장치는, 상기 메인 X선 모듈 및 상기 적어도 하나 이상의 서브 X선 모듈 각각의 작동수명을 감지할 수 있는 수명확인부;를 더 포함하고, 상기 제어부는, 평상시, 상기 단일 고전압 모듈의 고전압 발생부에서 발생되는 고전압이 상기 메인 X선 모듈로 인가되도록 상기 스위칭부를 제어하되, 이후, 상기 작동확인부로부터 전송되는 상기 메인 X선 모듈의 작동상태가 정상인지 여부를 감지하여, 상기 작동확인부로부터 감지결과 상기 메인 X선 모듈이 정상 작동 중인 것으로 판단하는 경우, 상기 수명확인부로부터 상기 메인 X선 모듈의 잔여수명이 충분한지 여부에 대한 감지결과를 수신하여, 상기 수명확인부로부터 감지결과, 상기 메인 X선 모듈의 잔여수명이 불충분한 것으로 판단하는 경우, 상기 단일 고전압 모듈의 고전압이 상기 메인 X선 모듈 및 상기 서브 X선 모듈 모두에 인가되도록 한 후, 기설정된 오버랩 시간이 경과하면 상기 메인 X선 모듈로의 고전압 인가를 차단하도록 그리고 상기 서브 X선 모듈에 고전압이 인가되도록 상기 스위칭부 및 상기 단일 고전압 모듈을 제어하는 것을 특징으로 한다.In addition, preferably, the static electricity eliminating apparatus further includes a life checking unit capable of detecting an operation life of each of the main X-ray module and the at least one sub-X-ray module, wherein the control unit, The switching unit is controlled such that a high voltage generated from the high voltage generating unit of the single high voltage module is applied to the main X-ray module, and then detects whether the operation state of the main X-ray module transmitted from the operation checking unit is normal. When the detection result from the operation check unit determines that the main X-ray module is in normal operation, the detection result of whether the remaining life of the main X-ray module is sufficient is received from the life confirmation unit, thereby If it is determined by the confirmation unit that the remaining life of the main X-ray module is insufficient, the high voltage of the single high voltage module After the voltage is applied to both the main X-ray module and the sub-X-ray module, when a predetermined overlap time elapses, the application of the high voltage to the main X-ray module is blocked and a high voltage is applied to the sub-X-ray module. And controlling the switching unit and the single high voltage module.

또한, 바람직하게는, 상기 정전기 제거장치는, 상기 메인 X선 모듈 및 상기 적어도 하나 이상의 서브 X선 모듈 각각의 작동수명을 감지할 수 있는 수명확인부;를 더 포함하고, 상기 제어부는, 상기 작동확인부로부터 전송되는 상기 서브 X선 모듈의 작동상태가 정상인지 여부를 감지하여, 상기 작동확인부로부터 감지결과 상기 서브 X선 모듈이 정상 작동 중인 것으로 판단하는 경우, 상기 수명확인부로부터 상기 서브 X선 모듈의 잔여수명이 충분한지 여부에 대한 감지결과를 수신하여, 상기 수명확인부로부터 감지결과, 상기 서브 X선 모듈의 잔여수명이 불충분한 것으로 판단하는 경우, 상기 단일 고전압 모듈의 고전압이 상기 서브 X선 모듈로 인가되는 것을 차단하고, 동시에 상기 제조 공정 라인의 컨베이어 벨트를 작동 정지시키도록 구성되는 것을 특징으로 한다.In addition, preferably, the electrostatic eliminating apparatus further includes a life checking unit capable of detecting an operating life of each of the main X-ray module and the at least one sub-X-ray module; Detects whether the operation state of the sub-X-ray module transmitted from the confirmation unit is normal, and if it is determined by the operation confirmation unit that the sub-X-ray module is in normal operation, the sub-X from the life confirmation unit Receiving a detection result of whether the remaining life of the line module is sufficient, and if it is determined from the life confirmation unit that the remaining life of the sub-X-ray module is insufficient, the high voltage of the single high voltage module is Characterized in that it is configured to block the application to the X-ray module and simultaneously to stop the conveyor belt of the manufacturing process line. Gong.

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전술한 과제의 해결수단에 따르면, 본 발명은 단일 고전압 모듈과, 메인 X선 모듈과, 적어도 하나 이상의 서브 X선 모듈을 포함함으로써, 메인 X선 모듈의 수명이 다하거나 또는 메인 X선 모듈의 손상시(또는 고장시)에도 서브 X선 모듈로 전자기기 또는 전자부품의 정전기를 끊김없이 연속적으로 제거할 수 있으므로, 결과적으로 해당 전자기기 또는 전자제품의 생산 수율 및 생산 속도를 향상시킬 수 있다.According to the above solution, the present invention includes a single high voltage module, a main X-ray module, and at least one sub-X-ray module, so that the main X-ray module is at the end of its life or the main X-ray module is damaged. In the event of a failure (or failure), the sub-X-ray module can continuously remove static electricity of an electronic device or electronic component, thereby improving the production yield and production speed of the electronic device or electronic product.

또한, 본 발명은 바 형상(즉, 신장형)의 하우징부 내부에 수용되는 제1 단일 고전압 모듈 및 제2 고전압 모듈, 그리고 단일 고전압 모듈에 포함되는 메인 X선 모듈 및 서브 X선 모듈을 포함함으로써, 전자기기 또는 전자부품이 대면적인 경우 및 전자기기 또는 전자부품이 다량인 경우에도 메인 X선 모듈 및/또는 서브 X선 모듈이 연속적으로 해당 전자기기 또는 전자제품의 정전기를 제거할 수 있으므로, 결과적으로 대면적 또는 다량의 전자기기 또는 전자제품의 생산 수율 및 생산 속도를 향상시킬 수 있다.In addition, the present invention includes a first single high voltage module and a second high voltage module accommodated in the bar-shaped (that is, elongated) housing portion, and the main X-ray module and sub-X-ray module included in the single high voltage module The main X-ray module and / or the sub-X-ray module may continuously remove static electricity from the electronic device or the electronic device even when the electronic device or the electronic component is large and the electronic device or the electronic component is large. This can improve the production yield and production speed of a large area or a large amount of electronic devices or electronic products.

특히, 본 발명은 단일 고전압 모듈에 상기 메인 X선 모듈 및 상기 서브 X선 모듈이 결합되도록 구성됨으로써, 하나의 고전압 모듈로 적어도 두 개 이상의 X선 모듈에 고전압을 인가할 수 있으므로, X선 모듈 각각에 구비되어야 하는 고중량인 고전압 모듈의 수량/또는 및/또는 부피 및/또는 중량을 절감할 수 있다.In particular, the present invention is configured such that the main X-ray module and the sub-X-ray module are coupled to a single high voltage module, so that a high voltage can be applied to at least two X-ray modules with one high voltage module, so that each of the X-ray modules It is possible to reduce the quantity and / or volume and / or weight of the high voltage high voltage module to be provided in.

게다가, 본 발명은 고전압의 인가 여부 또는 인가 방향을 조절하는 스위칭회로를 포함하는 스위칭부를 포함함으로써, 단일 고전압 모듈의 중량 및/또는 부피가 거의 증가시키지 않고도 메인 X선 모듈의 손상시(또는 고장시) 서브 X선 모듈로 전자기기 또는 전자부품의 정전기를 끊김없이 연속적으로 제거할 수 있다.In addition, the present invention includes a switching unit including a switching circuit that controls whether or not a high voltage is applied or applied, so that when the main X-ray module is damaged (or failed) with little increase in weight and / or volume of a single high voltage module. ) Sub-X-ray module can remove static electricity of electronic device or electronic parts continuously without interruption.

따라서, 본 발명은 고전압 모듈 수량의 절감으로 인해 하우징부에 고전압 모듈을 조립 및/또는 결합하는데 소요되는 조립 시간을 현저히 절감할 수 있고, 전체 고전압 모듈 중량의 절감으로 인해 정전기 제거장치의 전체 중량을 상당히 경량화할 수 있어 제조 공정 라인에 상기 정전기 제거장치의 설치 편의성을 향상시킬 수 있다.Therefore, the present invention can significantly reduce the assembly time required for assembling and / or coupling the high voltage module to the housing due to the reduction of the number of high voltage modules, and reduce the total weight of the static eliminator due to the reduction of the total high voltage module weight. The weight can be considerably lightened, thereby improving the installation convenience of the static eliminator in the manufacturing process line.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 제거장치에 대한 개략적인 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 제거장치에 대한 개략적인 분해 사시도이다.
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 일 실시예에 따른 고전압 모듈 및 X선 모듈에 대한 개략적인 하부 분해 사시도 및 상부 분해 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 제거장치에 대한 개략적인 블록선도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 제거장치의 제어방법에 대한 개략적인 플로우챠트이다. 1 is a schematic perspective view of a static electricity removing device according to an embodiment of the present invention.
2 is a schematic exploded perspective view of an electrostatic removing device according to an embodiment of the present invention.
3A and 3B are schematic bottom exploded and top exploded perspective views of a high voltage module and an X-ray module according to an embodiment of the present invention.
4 is a schematic block diagram of an electrostatic eliminator according to an embodiment of the present invention.
5 is a schematic flowchart of a control method of the static electricity removing device according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. Advantages and features of the present invention and methods for achieving them will be apparent with reference to the embodiments described below in detail with the accompanying drawings.

그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but may be embodied in various different forms, and the present embodiments merely make the disclosure of the present invention complete, and are common in the art to which the present invention pertains. It is provided to fully inform those skilled in the art of the scope of the invention, which is to be defined only by the scope of the claims.

또한, 본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. Also, the terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention.

본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소 이외의 다른 구성요소의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다. In this specification, the singular also includes the plural unless specifically stated otherwise in the phrase. As used herein, "comprises" and / or "comprising" does not exclude the presence or addition of components other than the mentioned components.

다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다.Unless otherwise defined, all terms (including technical and scientific terms) used in the present specification may be used in a sense that can be commonly understood by those skilled in the art.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 대해서 설명하기로 하겠다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described for the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 제거장치(1000)에 대한 개략적인 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 제거장치(1000)에 대한 개략적인 분해 사시도이고, 도 3a 및 도 3b는 본 발명의 일 실시예에 따른 고전압 모듈 및 X선 모듈에 대한 개략적인 하부 분해 사시도 및 상부 분해 사시도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 제거장치(1000)에 대한 개략적인 블록선도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 제거장치(1000)의 제어방법에 대한 개략적인 플로우챠트이다. 1 is a schematic perspective view of a static electricity removing device 1000 according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a schematic exploded perspective view of a static electricity removing device 1000 according to an embodiment of the present invention, 3A and 3B are schematic bottom exploded perspective and top exploded perspective views of a high voltage module and an X-ray module according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is an electrostatic eliminator 1000 according to an embodiment of the present invention. Figure 5 is a schematic block diagram, and Figure 5 is a schematic flowchart of a control method of the static electricity removing device 1000 according to an embodiment of the present invention.

도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 정전기 제거장치(1000)는, 하우징부(100)와, 메인 커넥터(200)와, 제1 고전압 모듈(400)(즉, 제1 단일 고전압 모듈)과, 제2 고전압 모듈(400')(즉, 제2 단일 고전압 모듈)과, 메인 X선 모듈(500)과, 서브 X선 모듈(500'), 제1 단일 고전압 모듈 및 제2 단일 고전압 모듈를 제어하는 제어부(1080)를 포함한다.1 to 4, the static electricity removing device 1000 according to the present invention includes a housing unit 100, a main connector 200, and a first high voltage module 400 (that is, a first single unit). High voltage module), a second high voltage module 400 '(i.e., a second single high voltage module), a main X-ray module 500, a sub X-ray module 500', a first single high voltage module and a second The controller 1080 controls a single high voltage module.

상기 하우징부(100)는 전체적으로 일방향으로 긴 신장형 형상을 구비한다.The housing part 100 has an elongate shape that is long in one direction as a whole.

상기 하우징부(100)는 상부커버(110)와, 상기 상부커버(110)에 의해 상부가 개폐되는 케이스(120)를 포함한다.The housing part 100 includes an upper cover 110 and a case 120 whose top is opened and closed by the upper cover 110.

상기 하우징부(100)는 도면에 도시되진 않았지만 전자기기 또는 전자제품의 제조 공정 라인의 상부 또는 하부에 구비된 브라켓에 탈착가능하게 장착된다.Although not shown in the drawings, the housing unit 100 is detachably mounted to a bracket provided at the upper or lower portion of the manufacturing process line of the electronic device or the electronic product.

상기 케이스(120)의 하부면에는, 후술할 X선 모듈의 커버 플레이트(530)에 대응되는 형상 및 크기의 장착용 개구(121)가 X선 모듈의수량에 대응되는 위치에 대응되는 수량으로 구비된다.The lower surface of the case 120, the mounting opening 121 of the shape and size corresponding to the cover plate 530 of the X-ray module to be described later is provided in a quantity corresponding to the position corresponding to the quantity of the X-ray module do.

상기 하우징부(100)가 상기 제조 공정 라인의 하부에 설치되는 경우 상기 정전기 제거장치(1000)는 해당 전자기기 또는 해당 전자부품의 배면에 대해 직접 제전 가능하다.When the housing part 100 is installed below the manufacturing process line, the static electricity removing device 1000 may directly charge the back of the electronic device or the electronic component.

상기 하우징부(100)는 양측면에 측면 플레이트를 구비한다.The housing part 100 has side plates on both sides thereof.

상기 측면 플레이트에는 메인 커넥터(200)가 구비된다. The side plate is provided with a main connector 200.

상기 메인 커넥터(200)는 별도의 장치로 형성되는 제어부(1080)와 하우징부(100) 내부의 단일 고전압 모듈을 전기적으로 및/또는 통신적으로 연결한다.The main connector 200 electrically and / or communicatively connects the control unit 1080 formed as a separate device with a single high voltage module inside the housing unit 100.

제1 단일 고전압 모듈 및 제2 단일 고전압 모듈은 상기 하우징부(100)의 내부에 수용되고, 상기 케이스(120)의 하부 내측면에 고정 및/또는 결합된다.The first single high voltage module and the second single high voltage module are accommodated in the housing part 100 and fixed and / or coupled to the lower inner side surface of the case 120.

그리고, 제1 단일 고전압 모듈 및 제2 단일 고전압 모듈은 상기 하우징부(100)의 내부에서 상기 하우징부(100)의 길이방향을 따라 소정 거리 이격되게 배치 및/또는 구비된다.The first single high voltage module and the second single high voltage module are disposed and / or provided to be spaced apart from each other in the housing part 100 along a longitudinal direction of the housing part 100.

또한, 제1 단일 고전압 모듈 및 제2 단일 고전압 모듈은 전원공급부(1050)에서 공급된 전력으로 고전압을 발생시켜 X선 모듈에 제공하도록 구성되며, 상기 제1 단일 고전압 모듈 및 상기 제2 단일 고전압 모듈은 동일한 구성 및 구조로 구성된다.In addition, the first single high voltage module and the second single high voltage module are configured to generate a high voltage by using the power supplied from the power supply unit 1050 to provide the X-ray module, the first single high voltage module and the second single high voltage module Consists of the same configuration and structure.

상기 단일 고전압 모듈(400)(즉, 제1 단일 고전압 모듈 및 제2 단일 고전압 모듈)은 본체부(410)와, 메인 장착부(420)와, 서브 장착부(420')와, 단일 전장부(430)를 포함한다.The single high voltage module 400 (ie, the first single high voltage module and the second single high voltage module) includes a main body 410, a main mounting unit 420, a sub mounting unit 420 ′, and a single electrical unit 430. ).

상기 본체부(410)는 절연성 물질로 구성된 몰드로서, 내부에 각종 커넥터, 터미널, 전장부품 등을 지지 및 수용하도록 구성된다.The main body 410 is a mold made of an insulating material, and is configured to support and accommodate various connectors, terminals, electrical components, and the like therein.

상기 본체부(410)는 양측에 구비된 결합공(411)을 통하여 나사 및/또는 볼트 등에 의해 상기 하우징부(100)의 내부에 고정 및/또는 결합된다.The body portion 410 is fixed and / or coupled to the inside of the housing portion 100 by screws and / or bolts through coupling holes 411 provided at both sides.

상기 메인 장착부(420)는 메인 X선 모듈(500)이 전기적으로 및/또는 기계적으로 탈착가능하게 결합되는 부분으로서, 체결홀과, 제2 커넥터(422)와, 수용홈(423)을 포함한다.The main mounting part 420 is a part in which the main X-ray module 500 is electrically and / or mechanically detachable and includes a fastening hole, a second connector 422, and a receiving groove 423. .

상기 체결홀은 후술할 메인 X선 모듈(500)의 체결수단(540)이 결합되는 부분이고, 상기 제2 커넥터(422)는 후술할 메인 X선 모듈(500)의 제1 커넥터(511)와 기계적으로 및/또는 전기적으로 암수 결합되는 부분이며, 상기 수용홈(423)은 후술할 메인 X선 모듈(500)의 메인 X선관(520) 및 몸체부(510)가 수용되는 부분이다.The fastening hole is a portion to which the fastening means 540 of the main X-ray module 500 to be described later is coupled, and the second connector 422 is connected to the first connector 511 of the main X-ray module 500 to be described later. Mechanically and / or electrically male and female, the receiving groove 423 is a portion in which the main X-ray tube 520 and the body 510 of the main X-ray module 500 to be described later are accommodated.

상기 수용홈(423)은 후술할 메인 X선 모듈(500)의 커버 플레이트(530)에 의해 폐쇄된다.The receiving groove 423 is closed by the cover plate 530 of the main X-ray module 500 to be described later.

상기 서브 장착부(420')는 서브 X선 모듈(500')이 전기적으로 및/또는 기계적으로 탈착가능하게 결합되는 부분으로서, 상기 메인 장착부(420)와 동일 또는 거의 동일한 구성 및 구조로 구성된다.The sub mounting unit 420 ′ is a portion in which the sub X-ray module 500 ′ is electrically and / or mechanically detachable, and has the same or substantially the same structure and structure as the main mounting unit 420.

도면에 도시된 바와 같이, 상기 메인 장착부(420) 및 상기 서브 장착부(420')는 상기 본체부에서, 상기 정전기 제거 장치를 경유하는 전자기기 또는 전자부품의 전후 이송방향의 수직방향에 평행하게 좌우 직렬로 배치된다.As shown in the figure, the main mounting portion 420 and the sub-mounting portion 420 ′ in the main body portion, right and left in parallel to the vertical direction of the front and rear conveying direction of the electronic device or electronic component via the static electricity removing device. Are arranged in series.

이에 대한 추가 실시예로서, 도면에 도시되진 않았지만, 상기 메인 장착부(420) 및 상기 서브 장착부(420')는 상기 본체부에서, 상기 정전기 제거 장치를 경유하는 전자기기 또는 전자부품의 전후 이송방향의 수직방향에 평행하게 전후 병렬로 배치될 수 있다.As a further embodiment of this, although not shown in the drawings, the main mounting portion 420 and the sub-mounting portion 420 ′ in the main body portion, the front and rear conveying direction of the electronic device or electronic component via the static electricity removing device It may be arranged in parallel before and after parallel to the vertical direction.

상기 단일 전장부(430)는 상기 본체부(410)의 내부에 구비되는 전장부품들로 구성되고, 특히 고전압 발생부(431)와, 스위칭부(432)를 내부에 포함한다.The single electric component 430 is composed of electric components provided in the main body 410, and particularly includes a high voltage generator 431 and a switching unit 432 therein.

상기 스위칭부(432)는 상기 단일 전장부(430) 내부에 구비되는 스위칭회로로 구성된다.The switching unit 432 is composed of a switching circuit provided in the single electrical unit 430.

상기 스위칭회로는 상기 메인 X선 모듈(500) 및 상기 서브 X선 모듈(500') 중 적어도 하나 이상의 X선 모듈로 상기 단일 고전압 모듈의 고전압을 인가하도록 상기 고전압의 인가 여부 또는 인가 방향을 조절하도록 구성된다.The switching circuit is configured to adjust whether the high voltage is applied or the direction in which the high voltage of the single high voltage module is applied to at least one or more X-ray modules of the main X-ray module 500 and the sub-X-ray module 500 '. It is composed.

상기 메인 X선 모듈(500) 및 상기 서브 X선 모듈(500')은 고전압 발생부(431)에서 공급된 고전압으로 X선을 조사 및/또는 방사할 수 있도록 구성되며, 서로 동일한 구성 및 구조로 구성된다.The main X-ray module 500 and the sub-X-ray module 500 'are configured to irradiate and / or radiate X-rays with a high voltage supplied from the high voltage generator 431, and have the same configuration and structure. It is composed.

구체적으로, 상기 메인 X선 모듈(500) 및 상기 서브 X선 모듈(500') 각각은, 몸체부(510)와, 제1 커넥터(511)와, X선관(520)과, 커버 플레이트(530)와, 체결수단(540)을 포함한다.In detail, each of the main X-ray module 500 and the sub-X-ray module 500 ′ includes a body 510, a first connector 511, an X-ray tube 520, and a cover plate 530. And a fastening means 540.

상기 몸체부(510)는 내부에 X선관(520)을 포함한다. 상기 X선관(520)은 공급된 고전압으로 연X선을 방사하도록 구성된다. The body portion 510 includes an X-ray tube 520 therein. The X-ray tube 520 is configured to radiate soft X-rays with the supplied high voltage.

상기 제1 커넥터(511)는 상기 제2 커넥터(422)와 전기적으로 및/또는 기계적으로 암수 결합하도록 구성된다.The first connector 511 is configured to be male and female electrically and / or mechanically coupled to the second connector 422.

상기 커버 플레이트(530)는 상기 장착용 개구(121) 및/또는 수용홈(423)에 대응되는 형상 및 크기를 가지고 있어, 케이스(120)에 결합되는 경우 상기 장착용 개구(121) 및/또는 수용홈(423)을 폐쇄하도록 구성된다.The cover plate 530 has a shape and size corresponding to the mounting opening 121 and / or the receiving groove 423, and when the cover plate 530 is coupled to the case 120, the mounting opening 121 and / or It is configured to close the receiving groove 423.

상기 체결수단(540)은 상기 메인 X선 모듈(500) 및/또는 상기 서브 X선 모듈(500')이 각 장착부에 용이하게 탈착가능하도록 구성된다.The fastening means 540 is configured such that the main X-ray module 500 and / or the sub X-ray module 500 'are easily detachable from each mounting part.

바람직하게는, 상기 서브 X선 모듈(500')은, 상기 서브 X선 모듈(500')의 X선 조사영역이 상기 메인 X선 모듈(500)의 X선 조사영역을 포함하도록 상기 단일 고전압 모듈에 결합 또는 배치될 수 있다.Preferably, the sub-X-ray module 500 'includes the single high voltage module such that the X-ray irradiation area of the sub-X-ray module 500' includes the X-ray irradiation area of the main X-ray module 500. May be coupled to or disposed on.

이로 인해, 메인 X선 모듈(500)의 고장시 메인 X선 모듈(500)의 조사영역에 서브 X선 모듈(500')이 연속적으로 X선을 조사할 수 있으므로, 메인 X선 모듈(500)의 고장시에도 정전기 제거공정이 연속적으로 수행될 수 있도록 할 수 있다.Thus, when the main X-ray module 500 is broken, the sub-X-ray module 500 'can continuously irradiate X-rays to the irradiation area of the main X-ray module 500, so that the main X-ray module 500 Even in case of failure, the static elimination process can be performed continuously.

상기 제어부(1080)는, 상기 메인 X선 모듈(500)의 상태정보에 기초하여, 상기 메인 X선 모듈(500) 및 상기 서브 X선 모듈(500') 중 적어도 하나 이상의 X선 모듈로 상기 단일 고전압 모듈의 고전압을 인가하도록 상기 정전기 제거장치(1000)를 제어하도록 구성된다.The control unit 1080 may be configured to include at least one X-ray module of at least one of the main X-ray module 500 and the sub-X-ray module 500 'based on state information of the main X-ray module 500. The static electricity removing device 1000 is configured to apply a high voltage of a high voltage module.

이하에서는, 제어부(1080)의 제어 알고리즘 또는 상기 정전기 제거장치(1000)의 제어방법에 대하여 도면을 참고하여 보다 구체적으로 기술하기로 한다.Hereinafter, a control algorithm of the controller 1080 or a control method of the static eliminator 1000 will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

도 4에 도시된 바와 같이, 전력 흐름 또는 신호 흐름 측면에서 살펴보면, 상기 정전기 제거장치(1000)는, 사용자의 입력신호를 수신하는 입력부(1010)와, 내부 부품 또는 외부장비와 유선 및/또는 무선 통신하도록 구성되는 통신부(1020)와, 각종 정보, 데이터, 제어알고리즘 등을 저장하는 메모리부(1030)와, 제어 결과를 출력하는 출력부(1040)와, 전원공급부(1050)와, 제1 고전압 모듈(400), 적어도 하나 이상의 제2 고전압 모듈(400'), 각각의 X선 모듈의 작동상태를 감지하는 작동확인부(1060)와, 각각의 X선 모듈의 수명상태를 감지하는 수명확인부(1070)와, 전술한 부품들을 제어하는 제어부(1080)를 포함한다.As shown in FIG. 4, in terms of power flow or signal flow, the electrostatic eliminator 1000 may include an input unit 1010 that receives a user input signal, an internal component or an external device, and wired and / or wireless. A communication unit 1020 configured to communicate, a memory unit 1030 for storing various information, data, control algorithms, etc., an output unit 1040 for outputting control results, a power supply unit 1050, and a first high voltage Module 400, at least one second high voltage module 400 ', the operation check unit 1060 for detecting the operating state of each X-ray module, and the life check unit for detecting the life state of each X-ray module 1070 and a controller 1080 for controlling the aforementioned components.

여기서, 상기 작동확인부(1060)는 상기 메인 X선 모듈(500) 및 상기 적어도 하나 이상의 서브 X선 모듈(500') 각각의 작동상태가 정상인지 여부를 감지할 수 있도록 구성되며, 감지결과를 제어부(1080)로 전송하도록 구성된다.Here, the operation check unit 1060 is configured to detect whether the operation state of each of the main X-ray module 500 and the at least one sub-X-ray module 500 'is normal, and the detection result Configured to transmit to the controller 1080.

바람직하게는 상기 작동확인부(1060)는, 상기 정전기 제거장치(1000)의 입력부(1010)를 통해 입력된 입력신호인 목표 X선 방사량 대비 실제 X선 방사량이 작은 경우, 또는 상기 입력부(1010)를 통한 입력신호의 변화와 무관하게(즉, 입력부(1010)를 통하여 목표 X선 방사량 변화가 없음에도 불구하고) X선 방사량이 불균일한 경우를 상기 메인 X선 모듈(500) 및 적어도 하나 이상의 서브 X선 모듈(500')이 비정상 작동 중인 것으로 판단할 수 있다.Preferably, the operation confirming unit 1060 may be configured when the actual X-ray radiation amount is smaller than the target X-ray radiation amount, which is an input signal input through the input unit 1010 of the static electricity removing device 1000, or the input unit 1010. Irrespective of the change in the input signal through (i.e., even though there is no change in the target X-ray radiation through the input unit 1010), the main X-ray module 500 and at least one sub It may be determined that the X-ray module 500 'is abnormally operated.

이로 인해, 상기 작동확인부(1060)는 X선 모듈의 비정상 작동 상황에 대하여 보다 정밀하게 판단할 수 있고, 이로 인해 비정상 작동 중인 메인 X선 모듈(500)에 대해서는 작동을 정지하여 점검을 받을 수 있도록 하고 제조 공정 라인에는 서브 X선 모듈(500')을 이용하여 연속적으로 X선을 조사할 수 있다.For this reason, the operation check unit 1060 may determine more precisely the abnormal operation of the X-ray module, and thus, the main X-ray module 500 which is abnormally operated may be inspected by stopping the operation. X-rays can be continuously irradiated to the manufacturing process line using the sub-X-ray module 500 '.

그리고, 상기 수명확인부(1070)는 상기 메인 X선 모듈(500) 및 상기 적어도 하나 이상의 서브 X선 모듈(500') 각각의 작동수명을 감지할 수 있도록 구성되며, 감지결과를 제어부(1080)로 전송하도록 구성된다.The life verification unit 1070 is configured to detect an operation life of each of the main X-ray module 500 and the at least one sub-X-ray module 500 ', and controls the detection result to the controller 1080. Is configured to transmit.

바람직하게는, 상기 수명확인부(1070)는, 상기 메인 X선 모듈(500)의 잔여수명 또는 상기 적어도 하나 이상의 서브 X선 모듈(500')의 잔여수명이 미고갈상태인 안전허용수명 미만인 경우, 해당 X선 모듈의 잔여수명이 불충분한 것으로 판단할 수 있다.Preferably, the life confirmation unit 1070, when the remaining life of the main X-ray module 500 or the remaining life of the at least one sub-X-ray module 500 'is less than the allowable safety of the depleted state Therefore, it can be determined that the remaining life of the X-ray module is insufficient.

여기서, 상기 안전허용수명은 각 X선 모듈의 기설정된 작동수명의 5% 내지 10%일 수 있다.Here, the safety allowable life may be 5% to 10% of a predetermined operating life of each X-ray module.

예를 들어, 메인 X선 모듈(500)의 기설정된 작동수명이 5,000 시간이고, 안전허용수명은 250시간(예를 들어, 작동수명의 5%)인 경우, 상기 제어부(1080)(또는 상기 수명확인부(1070))는 상기 메인 X선 모듈(500)의 잔여수명이 300 시간이면 잔여수명이 충분하다고 판단할 수 있으나, 상기 메인 X선 모듈(500)의 잔여수명이 200 시간이면 잔여수명이 불충분하다고 판단할 수 있다.For example, when the predetermined operating life of the main X-ray module 500 is 5,000 hours and the safety allowable life is 250 hours (for example, 5% of the operating life), the control unit 1080 (or the life span). The identification unit 1070 may determine that the remaining life of the main X-ray module 500 is 300 hours, but the remaining life of the main X-ray module 500 is 200 hours. It can be judged as insufficient.

이로 인해, 상기 작동확인부(1060)는 X선 모듈의 잔여수명 불충분 상태에 대하여 보다 정밀하게 판단할 수 있고, 이로 인해 수명 불충분인 메인 X선 모듈(500)에 대해서는 작동을 정지하여 점검 및 교체를 받을 수 있도록 하고 제조 공정 라인에는 서브 X선 모듈(500')을 이용하여 연속적으로 X선을 조사할 수 있다.For this reason, the operation check unit 1060 can more accurately determine the remaining life insufficiency state of the X-ray module, thereby stopping the operation for the main X-ray module 500, which is insufficient in life, and check and replace And the manufacturing process line can be irradiated X-ray continuously using the sub-X-ray module 500 '.

상기 작동확인부(1060)와 상기 수명확인부(1070)는 도면에 도시된 바와 같이 통합 모듈로 구성되거나, 또는 각각의 X선 모듈에 개별적으로 구비될 수 있다.The operation check unit 1060 and the life check unit 1070 may be configured as an integrated module as shown in the figure, or may be provided separately in each X-ray module.

변형 실시예로서, 상기 작동확인부(1060)와 상기 수명확인부(1070)는 제어부(1080)의 일부로 편입되도록 구성될 수도 있다.As a modified embodiment, the operation check unit 1060 and the life check unit 1070 may be configured to be incorporated as part of the control unit 1080.

도 5에 도시된 바와 같이, 위와 같은 구성요소를 이용한 제어 알고리즘을 살펴보면, 우선, 제어부(1080)는 전원공급부(1050)로부터의 전력을 단일 고전압 모듈의 고전압 발생부(431)로 공급한다. As shown in FIG. 5, referring to a control algorithm using the above components, first, the controller 1080 supplies power from the power supply unit 1050 to the high voltage generator 431 of the single high voltage module.

평상시, 상기 스위칭부(432)는 고전압 발생부(431)와 메인 장착부(420)가 전기적으로 연결되도록 그리고 고전압 발생부(431)와 서브 장착부(420')가 연결 차단되도록 작동한다.In general, the switching unit 432 operates to electrically connect the high voltage generator 431 and the main mounting unit 420 and to disconnect the high voltage generator 431 and the sub mounting unit 420 '.

즉, 상기 제어부(1080)는 평상시 고정납 발생부에서 발생된 고전압이 메인 장착부(420)로 인가되도록 스위칭부(432)를 제어한다.That is, the controller 1080 controls the switching unit 432 so that the high voltage generated in the fixed lead generation unit is normally applied to the main mounting unit 420.

이후, 상기 메인 X선 모듈(500)은 해당 전기기기 또는 전자부품에 X선을 조사하여 해당 전기기기 또는 전자부품 표면의 정전기를 제거한다.Thereafter, the main X-ray module 500 irradiates X-rays to the electric device or the electronic component to remove static electricity from the surface of the electric device or the electronic component.

이후, 상기 작동확인부(1060)는 상기 메인 X선 모듈(500)의 작동상태가 정상인지 여부를 감지한 후, 그 결과를 제어부(1080)로 전송한다.Thereafter, the operation confirmation unit 1060 detects whether the operation state of the main X-ray module 500 is normal, and transmits the result to the control unit 1080.

이때, 상기 제어부(1080)가 상기 작동확인부(1060)로부터의 감지결과 상기 메인 X선 모듈(500)이 비정상 작동 중 또는 작동정지한 것으로 판단하는 경우, 상기 제어부(1080)는 상기 단일 고전압 모듈의 고전압이 상기 서브 X선 모듈(500')로 인가되도록 상기 스위칭부(432) 및 상기 단일 고전압 모듈을 제어한다.In this case, when the control unit 1080 determines that the main X-ray module 500 is abnormally operating or stopped as a result of the detection from the operation confirming unit 1060, the control unit 1080 determines the single high voltage module. The switching unit 432 and the single high voltage module are controlled to apply a high voltage of the sub-X-ray module 500 '.

추가 실시예로서, 상기 제어부(1080)는, 상기 작동확인부(1060)로부터의 감지결과 상기 메인 X선 모듈(500)이 비정상 작동 중인 것으로 판단하는 경우, 상기 단일 고전압 모듈의 고전압이 상기 메인 X선 모듈(500) 및 상기 서브 X선 모듈(500') 모두에 인가되도록 한 후, 기설정된 오버랩 시간이 경과하면 상기 메인 X선 모듈(500)로의 고전압 인가를 차단하도록 그리고 상기 서브 X선 모듈(500')에 고전압 인가되도록 상기 스위칭부(432) 및 상기 단일 고전압 모듈을 제어할 수 있다.As a further embodiment, when the control unit 1080 determines that the main X-ray module 500 is abnormally operated as a result of the detection from the operation confirming unit 1060, the high voltage of the single high voltage module is the main X. After being applied to both the line module 500 and the sub-X-ray module 500 ', when a predetermined overlap time elapses, the application of the high voltage to the main X-ray module 500 is blocked and the sub-X-ray module ( The switching unit 432 and the single high voltage module may be controlled to apply a high voltage to 500 ′.

메인 X선 모듈의 고장 및/또는 오작동의 경우, 메인 X선 모듈로의 고전압 인가가 차단되는 시점과 서브 X선 모듈로의 고전압 인가가 시작되는 시점 사이의 미세한 시간적 간격이 발생할 우려가 있고, 이러한 미세한 시간적 간격이 발생한 상태에서도 정전기 제거 대상인 전자기기 또는 전자부품이 이송 컨베이어를 따라 후방에서 전방으로 연속적으로 이송하므로, 결과적으로 정전기 제거 대상이 일부 구간에서 정전기가 제거되지 않은 상태에서 전방으로 이송되는 사고가 발생할 수 있다.In the case of failure and / or malfunction of the main X-ray module, there may be a slight time interval between the time when high voltage application to the main X-ray module is interrupted and the time when high voltage application to the sub X-ray module starts. Even in the presence of minute time intervals, the electronic devices or electronic parts that are subject to static electricity removal are continuously transported from the rear to the front along the conveying conveyor. As a result, the static electricity removal object is transported forward without some static electricity removed in some sections. May occur.

이렇게 오버랩 시간을 두고 순차 제어함으로써, 메인 X선 모듈의 고장 및/또는 오작동의 경우, 본 발명은 전술한 바와 같은 미세한 시간적 간격(즉, 메인 X선 모듈로의 고전압 인가가 차단되는 시점과 서브 X선 모듈로의 고전압 인가가 시작되는 시점 사이의 미세한 시간적 간격) 및 제품의 연속적인 전방 이송으로 인한 정전기 미제거 구간 발생 문제를 원천적으로 해결할 수 있는 장점이 있다.By sequentially controlling the overlap time in this way, in the case of failure and / or malfunction of the main X-ray module, the present invention provides a sub-X and a time interval at which fine voltages as described above (i.e., application of high voltage to the main X-ray module are blocked). There is an advantage in that it is possible to fundamentally solve the problem of occurrence of the static elimination section due to the continuous forward transfer of the product and the minute time interval between the time when the high voltage is applied to the line module.

즉, 메인 X선 모듈(500)과 서브 X선 모듈(500')이 모두 X선을 조사하는 오버랩 기간을 구비함으로써, 메인 X선 모듈(500)의 X선 조사 종료시점과 서브 X선 모듈(500')의 X선 조사 시작시점 사이에 X선이 조사되지 않는 미세 불연속 기간을 제거할 수 있다.That is, since both the main X-ray module 500 and the sub X-ray module 500 'have an overlap period in which X-rays are irradiated, the X-ray irradiation end point of the main X-ray module 500 and the sub-X-ray module ( It is possible to eliminate the minute discontinuity period during which X-rays are not irradiated between the start points of X-ray irradiation of 500 '

이로 인해, 본 발명은 X선이 신뢰도 높게 연속적으로 조사될 수 있도록 할 수 있다.For this reason, this invention can make X-rays irradiate continuously with high reliability.

반대로, 상기 제어부(1080)가 상기 작동확인부(1060)로부터의 감지결과 상기 메인 X선 모듈(500)이 정상 작동 중인 것으로 판단하는 경우, 상기 제어부(1080)는 상기 수명확인부(1070)로부터 상기 메인 X선 모듈(500)의 잔여수명이 충분한지 여부에 대한 감지결과를 수신한다.On the contrary, when the control unit 1080 determines that the main X-ray module 500 is in normal operation as a result of the detection from the operation check unit 1060, the control unit 1080 from the life check unit 1070 A detection result of whether the remaining life of the main X-ray module 500 is sufficient is received.

상기 수명확인부(1070)로부터 감지결과, 상기 제어부(1080)가 상기 메인 X선 모듈(500)의 잔여수명이 불충분한 것으로 판단하는 경우, 상기 단일 고전압 모듈의 고전압이 상기 서브 X선 모듈(500')로 인가되도록 상기 스위칭부(432) 및 상기 단일 고전압 모듈을 제어한다.When the control unit 1080 determines that the remaining life of the main X-ray module 500 is insufficient, the high voltage of the single high voltage module is the sub-X-ray module 500. ') Controls the switching unit 432 and the single high voltage module to be applied to.

추가 실시예로서, 상기 제어부(1080)는, 상기 수명확인부(1070)로부터의 감지결과 상기 메인 X선 모듈(500)의 잔여수명이 불충분한 것으로 판단하는 경우, 상기 단일 고전압 모듈의 고전압이 상기 메인 X선 모듈(500) 및 상기 서브 X선 모듈(500') 모두에 인가되도록 한 후, 기설정된 오버랩 시간이 경과하면 상기 메인 X선 모듈(500)로의 고전압 인가를 차단하도록 그리고 상기 서브 X선 모듈(500')에 고전압 인가되도록 상기 스위칭부(432) 및 상기 단일 고전압 모듈을 제어할 수 있다.As a further embodiment, when the control unit 1080 determines that the remaining life of the main X-ray module 500 is insufficient as a result of the detection from the life verification unit 1070, the high voltage of the single high voltage module is After being applied to both the main X-ray module 500 and the sub-X-ray module 500 ', when a predetermined overlap time elapses, the application of the high voltage to the main X-ray module 500 is blocked and the sub-X-ray The switching unit 432 and the single high voltage module may be controlled to apply a high voltage to the module 500 ′.

메인 X선 모듈의 수명이 고갈되는 경우, 메인 X선 모듈로의 고전압 인가가 차단되는 시점과 서브 X선 모듈로의 고전압 인가가 시작되는 시점 사이의 미세한 시간적 간격이 발생할 우려가 있고, 이러한 미세한 시간적 간격이 발생한 상태에서도 정전기 제거 대상인 전자기기 또는 전자부품이 이송 컨베이어를 따라 후방에서 전방으로 연속적으로 이송하므로, 결과적으로 정전기 제거 대상이 일부 구간에서 정전기가 제거되지 않은 상태에서 전방으로 이송되는 사고가 발생할 수 있다.When the life of the main X-ray module is exhausted, there is a possibility that a minute time interval may occur between when the high voltage application to the main X-ray module is interrupted and when the high voltage application to the sub-X-ray module starts. Since the electronic devices or electronic parts that are subject to static electricity removal are continuously transported from the rear to the front along the conveying conveyor even in a state where a gap occurs, as a result, an accident may occur in which the static electricity removal subject is transported forward in some sections without static electricity being removed. Can be.

이렇게 오버랩 시간을 두고 순차 제어함으로써, 메인 X선 모듈의 수명 고갈의 경우, 본 발명은 전술한 바와 같은 미세한 시간적 간격(즉, 메인 X선 모듈로의 고전압 인가가 차단되는 시점과 서브 X선 모듈로의 고전압 인가가 시작되는 시점 사이의 미세한 시간적 간격) 및 제품의 연속적인 전방 이송으로 인한 정전기 미제거 구간 발생 문제를 원천적으로 해결할 수 있는 장점이 있다.By sequentially controlling the overlap time, in the case of exhaustion of the life of the main X-ray module, the present invention is directed to the sub-X-ray module and the time point at which the high-voltage application to the main X-ray module is blocked as described above. Minute time interval between the start of the high voltage application) and the problem of eliminating the static elimination interval due to the continuous forward transfer of the product has the advantage that can be solved at the source.

반대로, 수명확인부(1070)로부터 감지결과, 상기 제어부(1080)가 상기 메인 X선 모듈(500)의 잔여수명이 충분한 것으로 판단하는 경우, 상기 제어부(1080)는 상기 단일 고전압 모듈의 고전압이 상기 메인 X선 모듈(500)로 계속 인가되도록 상기 스위칭부(432) 및 상기 단일 고전압 모듈을 제어한다.On the contrary, when the detection result from the life confirmation unit 1070, the control unit 1080 determines that the remaining life of the main X-ray module 500 is sufficient, the control unit 1080 is the high voltage of the single high voltage module The switching unit 432 and the single high voltage module are controlled to be continuously applied to the main X-ray module 500.

바람직하게는, 상기 제어부(1080)가 상기 단일 고전압 모듈의 고전압이 상기 서브 X선 모듈(500')로 인가되도록 상기 스위칭부(432) 및 상기 단일 고전압 모듈을 제어할 때, 상기 제어부(1080)는 메인 X선 모듈(500)의 비정상 상태 또는 수명 불충분 상태에 대한 정보를 출력부(1040)의 디스플레이부, 음향출력부(1040) 및 알람부 중 적어도 하나 이상에 출력할 수 있다.Preferably, the controller 1080 controls the switching unit 432 and the single high voltage module such that the high voltage of the single high voltage module is applied to the sub X-ray module 500 '. May output information on an abnormal state or insufficient lifespan of the main X-ray module 500 to at least one of a display unit, an audio output unit 1040, and an alarm unit of the output unit 1040.

추가적으로, 상기 제어부(1080)가 상기 단일 고전압 모듈의 고전압이 상기 서브 X선 모듈(500')로 인가되도록 상기 스위칭부(432) 및 상기 단일 고전압 모듈을 제어할 때, 상기 제어부(1080)는 통신부(1020)를 통하여 메인 X선 모듈(500)의 비정상 상태 또는 수명 불충분 상태에 대한 정보를 상기 제조 공정 라인의 담당자의 휴대용 단말기로 전송하는 것이 더욱 바람직하다.Additionally, when the controller 1080 controls the switching unit 432 and the single high voltage module such that the high voltage of the single high voltage module is applied to the sub X-ray module 500 ', the controller 1080 is a communication unit. It is more preferable to transmit the information on the abnormal state or the life insufficient state of the main X-ray module 500 through the 1020 to the portable terminal of the person in charge of the manufacturing process line.

스위칭부(432)의 스위칭 작동으로 인해 서브 장착부(420')에 고전압이 인가된 이후, 상기 서브 X선 모듈(500')은 해당 전기기기 또는 전자부품에 X선을 조사하여 해당 전기기기 또는 전자부품 표면의 정전기를 제거한다.After a high voltage is applied to the sub mounting unit 420 'due to the switching operation of the switching unit 432, the sub X-ray module 500' irradiates X-rays to the corresponding electric device or electronic component, thereby Eliminate static on the surface of the part.

이후, 상기 작동확인부(1060)는 상기 서브 X선 모듈(500')의 작동상태가 정상인지 여부를 감지한 후, 그 결과를 제어부(1080)로 전송한다.Thereafter, the operation check unit 1060 detects whether the operation state of the sub-X-ray module 500 'is normal, and transmits the result to the control unit 1080.

이때, 상기 제어부(1080)가 상기 작동확인부(1060)로부터의 감지결과 상기 서브 X선 모듈(500')이 비정상 작동 중 또는 작동정지한 것으로 판단하는 경우, 상기 제어부(1080)는 상기 단일 고전압 모듈의 고전압이 상기 서브 X선 모듈(500')로 인가되는 것을 차단하고, 동시에 제조 공정 라인의 컨베이러 벨트를 작동 정지시킨다.In this case, when the control unit 1080 determines that the sub-X-ray module 500 'is abnormally operated or stopped as a result of the detection from the operation confirming unit 1060, the control unit 1080 determines the single high voltage. The high voltage of the module is blocked from being applied to the sub X-ray module 500 ', and at the same time, the conveyor belt of the manufacturing process line is stopped.

반대로, 상기 제어부(1080)가 상기 작동확인부(1060)로부터의 감지결과 상기 서브 X선 모듈(500')이 정상 작동 중인 것으로 판단하는 경우, 상기 제어부(1080)는 상기 수명확인부(1070)로부터 상기 서브 X선 모듈(500')의 잔여수명이 충분한지 여부에 대한 감지결과를 수신한다.On the contrary, when the control unit 1080 determines that the sub-X-ray module 500 'is in normal operation as a result of the detection from the operation check unit 1060, the control unit 1080 determines the lifespan check unit 1070. Receives a detection result of whether the remaining life of the sub-X-ray module 500 'is sufficient.

상기 수명확인부(1070)로부터 감지결과, 상기 제어부(1080)가 상기 서브 X선 모듈(500')의 잔여수명이 불충분한 것으로 판단하는 경우, 상기 제어부(1080)는 상기 단일 고전압 모듈의 고전압이 상기 서브 X선 모듈(500')로 인가되는 것을 차단하고, 동시에 제조 공정 라인의 컨베이러 벨트를 작동 정지시킨다.When the controller 1080 determines that the remaining life of the sub-X-ray module 500 'is insufficient, the controller 1080 determines that the high voltage of the single high voltage module is insufficient. It is blocked from being applied to the sub-X-ray module 500 'and simultaneously stops the conveyor belt of the manufacturing process line.

반대로, 수명확인부(1070)로부터 감지결과, 상기 제어부(1080)가 상기 서브 X선 모듈(500')의 잔여수명이 충분한 것으로 판단하는 경우, 상기 제어부(1080)는 상기 단일 고전압 모듈의 고전압이 상기 서브 X선 모듈(500')로 계속 인가되도록 상기 스위칭부(432) 및 상기 단일 고전압 모듈을 제어한다.On the contrary, when the controller 1080 determines that the remaining life of the sub-X-ray module 500 'is sufficient, the controller 1080 determines that the high voltage of the single high voltage module is high. The switching unit 432 and the single high voltage module are controlled to be continuously applied to the sub X-ray module 500 '.

바람직하게는, 상기 제어부(1080)가 상기 단일 고전압 모듈의 고전압이 상기 서브 X선 모듈(500')로 인가되는 것을 차단할 때, 상기 제어부(1080)는 서브 X선 모듈(500')의 비정상 상태 또는 수명 불충분 상태에 대한 정보를 출력부(1040)의 디스플레이부, 음향출력부(1040) 및 알람부 중 적어도 하나 이상에 출력할 수 있다.Preferably, when the controller 1080 blocks the high voltage of the single high voltage module from being applied to the sub X-ray module 500 ', the controller 1080 is in an abnormal state of the sub X-ray module 500'. Alternatively, the information about the life insufficient state may be output to at least one of the display unit, the audio output unit 1040, and the alarm unit of the output unit 1040.

추가적으로, 상기 제어부(1080)가 상기 단일 고전압 모듈의 고전압이 상기 서브 X선 모듈(500')로 인가되는 것을 차단할 때, 상기 제어부(1080)는 통신부(1020)를 통하여 서브 X선 모듈(500')의 비정상 상태 또는 수명 불충분 상태에 대한 정보를 상기 제조 공정 라인의 담당자의 휴대용 단말기로 전송하는 것이 더욱 바람직하다.In addition, when the controller 1080 blocks the high voltage of the single high voltage module from being applied to the sub X-ray module 500 ', the controller 1080 passes through the communication unit 1020 to the sub X-ray module 500'. It is more preferable to transmit the information about the abnormal state or the insufficient life of the device) to the portable terminal of the person in charge of the manufacturing process line.

이상과 같이 본 발명을 도면에 도시한 실시예를 참고하여 설명하였으나, 이는 발명을 설명하기 위한 것일 뿐이며, 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 발명의 상세한 설명으로부터 다양한 변형 또는 균등한 실시예가 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. As described above, the present invention has been described with reference to the embodiments shown in the drawings, but it is only for the purpose of describing the present invention, and those skilled in the art to which the present invention pertains various modifications or equivalents from the detailed description of the invention. It will be appreciated that one embodiment is possible.

따라서 본 발명의 진정한 권리범위는 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 결정되어야 한다.Therefore, the true scope of the present invention should be determined by the technical spirit of the claims.

1000 : 정전기 제거장치
1010 : 입력부
1020 : 통신부
1030 : 메모리부
1040 : 출력부
1050 : 전원공급부
1060 : 작동확인부
1070 : 수명확인부
1080 : 제어부
100 : 하우징부
110 : 상부커버
120 : 케이스
121 : 장착용 개구
200 : 메인 커넥터
400 : 제1 고전압 모듈
400' : 제2 고전압 모듈
410 : 본체부
411 : 결합공
420 : 메인 장착부
420' : 서브 장착부
421 : 체결공
422 : 제2 커넥터
423 : 수용홈
430 : 전장부
431 : 고전압 발생부
432 : 스위칭부
500 : 메인 X선 모듈
500' : 서브 X선 모듈
510 : 몸체부
511 : 제1 커넥터
520 : X선관
530 : 커버 플레이트
540 : 체결수단1000: Static eliminator
1010: input unit
1020: communication unit
1030: memory section
1040: output unit
1050: power supply
1060: operation check unit
1070: life confirmation unit
1080: control unit
100: housing part
110: upper cover
120: case
121: mounting opening
200: main connector
400: first high voltage module
400 ': second high voltage module
410: main body
411: coupling hole
420: main mounting unit
420 ': Sub mounting part
421: fastener
422: second connector
423: Reception Home
430: Battlefield
431 high voltage generator
432: switching unit
500: main X-ray module
500 ': sub-X-ray module
510 body
511: first connector
520 X-ray tube
530: Cover Plate
540: fastening means

Claims

전자기기 또는 전자부품의 제조 공정 라인에서 정전기 제거용으로 사용되는 X선을 이용한 정전기 제거장치로서,
상기 정전기 제거장치에 공급되는 전력으로 고전압을 발생시키는 단일 고전압 모듈과;
상기 단일 고전압 모듈에 전기적 및 기계적으로 결합되며, 상기 단일 고전압 모듈으로부터의 고전압으로 X선을 방사하는 메인 X선 모듈과;
상기 단일 고전압 모듈에서 상기 메인 X선 모듈에 인접하게 결합되며, 상기 단일 고전압 모듈로부터의 고전압으로 X선을 방사할 수 있도록 구성되되, X선 조사영역이 상기 메인 X선 모듈의 X선 조사영역을 포함하도록 상기 단일 고전압 모듈에 결합 또는 배치된 적어도 하나 이상의 서브 X선 모듈과;
상기 메인 X선 모듈의 상태정보에 기초하여, 상기 메인 X선 모듈 및 상기 서브 X선 모듈 중 적어도 하나 이상의 X선 모듈로 상기 단일 고전압 모듈의 고전압을 인가하도록 상기 정전기 제거장치를 제어하는 제어부;
상기 제어부에 의해 제어되며, 상기 메인 X선 모듈 및 상기 서브 X선 모듈 중 적어도 하나 이상의 X선 모듈로 상기 단일 고전압 모듈의 고전압을 인가하도록 상기 고전압의 인가 여부 또는 인가 방향을 조절하는 스위칭회로를 포함하며, 상기 단일 고전압 모듈 내부에 구비되는 스위칭부; 및
상기 메인 X선 모듈 및 상기 적어도 하나 이상의 서브 X선 모듈 각각의 작동상태가 정상인지 여부를 감지할 수 있는 작동확인부;를 포함하고,
상기 제어부는,
평상시, 상기 단일 고전압 모듈의 고전압 발생부에서 발생되는 고전압이 상기 메인 X선 모듈로 인가되도록 상기 스위칭부를 제어하되,
이후, 상기 작동확인부로부터 전송되는 상기 메인 X선 모듈의 작동상태가 정상인지 여부를 감지하여,
상기 작동확인부로부터의 감지결과 상기 메인 X선 모듈이 비정상 작동중 또는 작동정지한 것으로 판단하는 경우, 상기 단일 고전압 모듈의 고전압이 상기 서브 X선 모듈로 인가되도록 상기 스위칭부 및 상기 단일 고전압 모듈을 제어하되,
상기 작동확인부로부터의 감지결과 상기 메인 X선 모듈이 비정상 작동중인 것으로 판단하는 경우, 상기 단일 고전압 모듈의 고전압이 상기 메인 X선 모듈 및 상기 서브 X선 모듈 모두에 인가되도록 한 후, 기설정된 오버랩 시간이 경과하면 상기 메인 X선 모듈로의 고전압 인가를 차단하도록 그리고 상기 서브 X선 모듈에 고전압이 인가되도록 상기 스위칭부 및 상기 단일 고전압 모듈을 제어하며,
이후, 상기 작동확인부로부터 전송되는 상기 서브 X선 모듈의 작동상태가 정상인지 여부를 감지하여,
상기 작동확인부로부터 감지결과 상기 서브 X선 모듈이 비정상 작동중 또는 작동정지한 것으로 판단하는 경우, 상기 단일 고전압 모듈의 고전압이 상기 서브 X선 모듈로 인가되는 것을 차단하고, 동시에 상기 제조 공정 라인의 컨베이어 벨트를 작동 정지시키도록 구성되는 것을 특징으로 하는 X선을 이용한 정전기 제거장치.
As a static electricity removing device using X-rays used for removing static electricity in the manufacturing process line of electronic devices or electronic components,
A single high voltage module for generating a high voltage with power supplied to the static eliminator;
A main X-ray module electrically and mechanically coupled to the single high voltage module and radiating X-rays at high voltages from the single high voltage module;
It is coupled to the main X-ray module in the single high voltage module, and configured to emit X-rays at a high voltage from the single high voltage module, wherein the X-ray irradiation area is the X-ray irradiation area of the main X-ray module At least one sub-X-ray module coupled or disposed in the single high voltage module to include;
A controller configured to control the static electricity removing device to apply a high voltage of the single high voltage module to at least one X-ray module of the main X-ray module and the sub-X-ray module based on state information of the main X-ray module;
And a switching circuit controlled by the controller and configured to control whether or not the high voltage is applied or a direction in which the high voltage of the single high voltage module is applied to at least one X-ray module of the main X-ray module and the sub-X-ray module. A switching unit provided inside the single high voltage module; And
And an operation check unit for detecting whether an operation state of each of the main X-ray module and the at least one sub-X-ray module is normal.
The control unit,
Normally, the switching unit is controlled such that the high voltage generated from the high voltage generator of the single high voltage module is applied to the main X-ray module.
Thereafter, by detecting whether the operation state of the main X-ray module transmitted from the operation check unit is normal,
If it is determined that the main X-ray module is abnormally operated or stopped in operation, the switching unit and the single high voltage module may be applied so that a high voltage of the single high voltage module is applied to the sub X-ray module. Control,
If it is determined that the main X-ray module is abnormally operated as a result of the detection from the operation confirming unit, the high voltage of the single high voltage module is applied to both the main X-ray module and the sub-X-ray module, and then a preset overlap Control the switching unit and the single high voltage module to block application of a high voltage to the main X-ray module and to apply a high voltage to the sub-X-ray module when time elapses,
Thereafter, by detecting whether the operation state of the sub-X-ray module transmitted from the operation check unit is normal,
When it is determined by the operation confirmation unit that the sub X-ray module is abnormally operated or stopped, the high voltage of the single high voltage module is blocked from being applied to the sub X-ray module, and at the same time, Electrostatic eliminator using X-rays, characterized in that configured to stop the conveyor belt.

삭제delete

제1항에 있어서,
상기 작동확인부는,
상기 정전기 제거장치의 입력부를 통해 입력된 입력신호인 목표 X선 방사량 대비 실제 X선 방사량이 작은 경우, 또는 상기 입력부를 통한 입력신호의 변화와 무관하게 X선 방사량이 불균일한 경우를 상기 메인 X선 모듈 및 적어도 하나 이상의 서브 X선 모듈이 비정상 작동 중인 것으로 판단하는 것을 특징으로 하는 X선을 이용한 정전기 제거장치.
The method of claim 1,
The operation check unit,
The main X-ray is a case where the actual X-ray radiation amount is smaller than the target X-ray radiation amount, which is an input signal input through the input unit of the electrostatic eliminator, or the X-ray radiation amount is uneven regardless of the change of the input signal through the input unit. An apparatus for removing static electricity using X-rays, characterized in that the module and the at least one sub-X-ray module are determined to be in abnormal operation.

삭제delete

제1항에 있어서,
상기 정전기 제거장치는,
상기 메인 X선 모듈 및 상기 적어도 하나 이상의 서브 X선 모듈 각각의 작동수명을 감지할 수 있는 수명확인부;를 더 포함하고,
상기 제어부는,
평상시, 상기 단일 고전압 모듈의 고전압 발생부에서 발생되는 고전압이 상기 메인 X선 모듈로 인가되도록 상기 스위칭부를 제어하되,
이후, 상기 작동확인부로부터 전송되는 상기 메인 X선 모듈의 작동상태가 정상인지 여부를 감지하여,
상기 작동확인부로부터 감지결과 상기 메인 X선 모듈이 정상 작동 중인 것으로 판단하는 경우, 상기 수명확인부로부터 상기 메인 X선 모듈의 잔여수명이 충분한지 여부에 대한 감지결과를 수신하여, 상기 수명확인부로부터 감지결과, 상기 메인 X선 모듈의 잔여수명이 불충분한 것으로 판단하는 경우, 상기 단일 고전압 모듈의 고전압이 상기 메인 X선 모듈 및 상기 서브 X선 모듈 모두에 인가되도록 한 후, 기설정된 오버랩 시간이 경과하면 상기 메인 X선 모듈로의 고전압 인가를 차단하도록 그리고 상기 서브 X선 모듈에 고전압이 인가되도록 상기 스위칭부 및 상기 단일 고전압 모듈을 제어하는 것을 특징으로 하는 X선을 이용한 정전기 제거장치.The method of claim 1,
The static elimination device,
And a life checking unit capable of detecting an operation life of each of the main X-ray module and the at least one sub-X-ray module.
The control unit,
Normally, the switching unit is controlled such that the high voltage generated from the high voltage generator of the single high voltage module is applied to the main X-ray module.
Thereafter, by detecting whether the operation state of the main X-ray module transmitted from the operation check unit is normal,
If it is determined by the operation confirmation unit that the main X-ray module is in normal operation, a detection result of whether the remaining life of the main X-ray module is sufficient is received from the life confirmation unit, and the life confirmation unit As a result of the detection, if it is determined that the remaining life of the main X-ray module is insufficient, after the high voltage of the single high-voltage module is applied to both the main X-ray module and the sub-X-ray module, the preset overlap time is And when the elapsed time, controls the switching unit and the single high voltage module to block high voltage from being applied to the main X-ray module and to apply high voltage to the sub-X-ray module.

제1항에 있어서,
상기 정전기 제거장치는,
상기 메인 X선 모듈 및 상기 적어도 하나 이상의 서브 X선 모듈 각각의 작동수명을 감지할 수 있는 수명확인부;를 더 포함하고,
상기 제어부는,
상기 작동확인부로부터 전송되는 상기 서브 X선 모듈의 작동상태가 정상인지 여부를 감지하여,
상기 작동확인부로부터 감지결과 상기 서브 X선 모듈이 정상 작동 중인 것으로 판단하는 경우, 상기 수명확인부로부터 상기 서브 X선 모듈의 잔여수명이 충분한지 여부에 대한 감지결과를 수신하여, 상기 수명확인부로부터 감지결과, 상기 서브 X선 모듈의 잔여수명이 불충분한 것으로 판단하는 경우, 상기 단일 고전압 모듈의 고전압이 상기 서브 X선 모듈로 인가되는 것을 차단하고, 동시에 상기 제조 공정 라인의 컨베이어 벨트를 작동 정지시키도록 구성되는 것을 특징으로 하는 X선을 이용한 정전기 제거장치.The method of claim 1,
The static elimination device,
And a life checking unit capable of detecting an operation life of each of the main X-ray module and the at least one sub-X-ray module.
The control unit,
Detects whether the operation state of the sub-X-ray module transmitted from the operation check unit is normal,
If it is determined by the operation confirmation unit that the sub X-ray module is in normal operation, a detection result of whether the remaining life of the sub X-ray module is sufficient is received from the life confirmation unit, and the life confirmation unit As a result of the detection, if it is determined that the remaining life of the sub X-ray module is insufficient, the high voltage of the single high voltage module is prevented from being applied to the sub X-ray module, and at the same time, the conveyor belt of the manufacturing process line is stopped. Static eliminator using X-ray, characterized in that configured to.

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