KR101389694B1 - X-ray generating device and ionizer having high voltage generator and x-ray generator being detachable each other and the independently separated voltage generator and x-ray generator constituant the ionizer - Google Patents
X-ray generating device and ionizer having high voltage generator and x-ray generator being detachable each other and the independently separated voltage generator and x-ray generator constituant the ionizer Download PDFInfo
- Publication number
- KR101389694B1 KR101389694B1 KR1020130016626A KR20130016626A KR101389694B1 KR 101389694 B1 KR101389694 B1 KR 101389694B1 KR 1020130016626 A KR1020130016626 A KR 1020130016626A KR 20130016626 A KR20130016626 A KR 20130016626A KR 101389694 B1 KR101389694 B1 KR 101389694B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- ray
- high voltage
- generating
- detachable
- voltage generating
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05F—STATIC ELECTRICITY; NATURALLY-OCCURRING ELECTRICITY
- H05F3/00—Carrying-off electrostatic charges
- H05F3/04—Carrying-off electrostatic charges by means of spark gaps or other discharge devices
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05G—X-RAY TECHNIQUE
- H05G1/00—X-ray apparatus involving X-ray tubes; Circuits therefor
- H05G1/08—Electrical details
- H05G1/10—Power supply arrangements for feeding the X-ray tube
Abstract
Description
본 발명은 X선을 발생하거나 X선을 조사하여 정전기를 제거하는 장치에 관한 것으로 특히 정전기 제거 장치를 구성하는 고전압 발생부와 X선 발생부를 분리시켜 개별적 납품이 가능하도록 한 분리형의 탈부착 가능한 X선 발생 장치 및 정전기 제거 장치에 관한 것이다. The present invention relates to an apparatus for generating X-rays or X-rays to remove static electricity, and more particularly to a detachable detachable X-ray generator for separating a high-voltage generating unit and an X- Generating device and a static eliminator.
일반적으로 액정판넬(LCD), PDP 및 반도체 제조공정 등에는 정전기 발생으로 인하여 미세한 먼지가 LCD, PDP 및 반도체 wafer에 부착되거나 정전기 방전으로 인하여 소자의 훼손이 야기되어 제품의 수율이 저하되고 이로 인하여 제조원가가 상승하는 부작용이 발생하고 있다. Generally, in a liquid crystal panel (LCD), a PDP, and a semiconductor manufacturing process, fine dust is adhered to an LCD, a PDP, or a semiconductor wafer due to the generation of static electricity, or a device is damaged due to an electrostatic discharge, And the like.
이 때문에 반도체 공정 등이 이루어지는 클린룸에서는 정전기 제거를 위한 장치가 설치되는 것이 일반적이다. Therefore, in a clean room where a semiconductor process or the like is performed, an apparatus for removing static electricity is generally installed.
이러한 정전기 제거를 위한 종래 기술로 코로나 방전을 이용한 정전기 제거 장치가 있다. There is a static eliminator using a corona discharge as a prior art for removing such static electricity.
이 장치는 코로나 방전에 의해 이온을 발생시키고 이온화된 공기를 불어내기 위하여 Fan을 사용하여 공기를 대류시키는 방식을 채택하고 있다. This device adopts a method of generating air by corona discharge and convecting the air using a fan to blow out the ionized air.
그런데, 이러한 정전기 제거 장치의 경우 고전압 방전에 의한 스퍼터링 현상으로 방전 전극의 끝 부분에 0.01㎛ 이하의 금속미립자가 엄청나게 (수만 개/ft 3 ) 발생하여 부착되었다가 팬에 의한 강제대류로 떨어지면서 반도체, PDP 및 LCD 패턴 주위에 부착되어 많은 불량을 야기하고 있다.However, in the case of such a static eliminator, metal fine particles of 0.01 μm or less are generated at an excessive amount (tens of thousands / ft 3) at the end of the discharge electrode due to sputtering due to high voltage discharge, , Adhere around the PDP and LCD pattern, causing a lot of defects.
또한 코로나 방전을 이용한 정전기 제거 장치의 경우, 고전압 방전시 발생하는 오존 가스가 4 ~ 10ppm 정도나 되어 분진의 부착을 유발하는 역할을 할 뿐만 아니라 생성된 ＋이온과 －이온의 Balance가 수시로 바뀌어 그때마다 이온 Balance를 재조정해 주어야 하는 불편함이 있다. In addition, in the case of a static eliminator using a corona discharge, ozone gas generated at a high voltage discharge is about 4 to 10 ppm, which not only serves to induce dust adhesion but also causes a balance between generated + ions and - ions to be changed every time There is an inconvenience to readjust the ion balance.
이에 대한 대책으로 최근에는 연X선(soft X-ray)의 공기전리 작용을 이용하여 공기를 이온화함으로써 피대전체의 정전기를 중화 또는 완화시키는 방법이 제안되고 있다. As a countermeasure against this, a method of neutralizing or relaxing the static electricity of the subject by ionizing the air using the air ionizing action of soft X-ray has recently been proposed.
연X선 조사식의 경우 미세먼지가 발생하지 않고 공기를 대류시킬 필요도 없없기 때문에 평판 디스플레이 제조 공정 및 반도체 제조 공정의 정전기 제거에 적합한 방식으로 알려지고 있다. In the case of the soft X-ray exposure method, fine dust is not generated and there is no need to convect the air, so that it is known as a method suitable for removing static electricity in the flat panel display manufacturing process and semiconductor manufacturing process.
연X선 조사식의 정전기 제거 장치의 일예로 미국특허 제 5,949,849 호가 있다. An example of a soft x-ray irradiated static eliminator is US Pat. No. 5,949,849.
이 특허에 따른 정전기 제거장치는 보호케이스, 연X-선을 발생하는 X-선관, 전원장치를 구비하고 있고, X-선관은 벌브, 캐소드, 출력창, 출력창 지지부, 플랜지부, 타겟을 구비하고 있고, 이들 X-선관 내부 구성요소들과 보호케이스는 서로 열적 및 전기적으로 연결되어 있다.The static eliminator according to this patent has a protective case, an X-ray tube generating a soft X-ray, and a power supply, and the X-ray tube has a bulb, a cathode, an output window, an output window support, And these X-ray tube internal components and the protective case are thermally and electrically connected to each other.
연X선 조사식의 정전기 제거 장치의 다른 일예로 일본특허 제 2951477 호가 있다. Another example of the soft X-ray exposure type static eliminator is Japanese Patent No. 2951477.
이 특허는 정전기 제거 기술에 대한 것으로, 정전기를 제거할 소정의 대전물체가 배치된 분위기에 대해서 X선을 조사하는 위치에, 소정의 타겟 전압 및 타겟 전류가 부여되는 타겟을 내장함과 동시에 베릴륨(Be) 창을 갖는 X선관을 배치하고, 상기 베릴륨창으로부터 주파장이 2 옹스트론 이상 20 옹스트론 이하 범위의 상기 X선이 조사되는 영역의 상기 분위기에 포함되는 원소를 이온화하는 것에 의해, 상기 이온을 포함하는 상기 분위기 중에 어떤 상기 소정 대전물체의 정전기를 제거하는 기술이다. This patent relates to an electrostatic elimination technique, in which a target to which a predetermined target voltage and a target current are given is embedded at a position irradiated with X-rays with respect to an atmosphere in which a predetermined charged object to be static- Be) window, and by ionizing an element contained in the atmosphere in a region irradiated with the X-ray having a main wavelength in a range of 2 angstroms or more to 20 angstroms or less from the beryllium window, The static electricity of the predetermined charged object is removed from the atmosphere including the atmosphere.
연X선 조사식의 정전기 제거 장치의 또 다른 일예로 일본회사인 하마마츠 포토닉스가 출원한 발명의 명칭이 "Ｘ선 발생 장치 및 이것을 사용한 정전기 제어기(한국특허출원번호 제10-2004-0089634호)가 있다.As another example of the soft x-ray irradiation type static eliminator, the name of the invention filed by Hamamatsu Photonics of Japan is "X-ray generator and electrostatic controller using it (Korean Patent Application No. 10-2004-0089634) .
이 발명에서 개시된 X-선 발생 장치는, 벌브의 선단에 설치된 도전성 및 열전도성의 출력창 지지부에 고정된 출력창의 내면에, 접지 전위를 가지는 표적이 고착되고, 상기 표적에 향하여 전자빔을 조사하는 음극을 가진 X-선관과, 이 X-선관을 구동하는 전원부를 보호 용기내에 수용하고, 상기 출력창 지지부에 형성되어 외측으로 돌출하는 플랜지부를, 열전도성을 가지는 상기 보호 용기에 접촉시키고 또한 고정시킨 것을 기술적 사상의 일 요지로 제안하고 있다. The X-ray generating apparatus disclosed in the present invention is characterized in that a target having a ground potential is fixed to an inner surface of an output window fixed to a conductive and thermally conductive output window support provided at the tip of a bulb and a cathode for irradiating the target with an electron beam And a power supply unit for driving the X-ray tube is housed in a protective container, and a flange portion formed on the output window support portion and projecting outwardly is brought into contact with the protective container having thermal conductivity and is fixed It is proposed as a point of technical thought.
도 1은 하마마츠 포토닉스가 특허출원한 도면에 개시되어 있는 정전기 제거 장치의 일예를 보여준다(도 1에서 부호 22 는 전원 용기, 부호 8은 X-선관, 부호 15는 축핀, 부호 32는 음극인입선을 나타내며, 나머지 도 1에 표기된 부호에 대한 설명은 www.kipris.or.kr을 통하여 조회 가능하므로 본 발명의 출원에서는 그 설명을 생략하기로 한다). 1 shows an example of a static eliminator disclosed in a patent application filed by Hamamatsu Photonics (in Fig. 1,
참고로, 도 1의 전원 용기(22)는 후술하는 본 발명의 고전압 발생부에 대응하고 X-선관(8)은 본 발명의 X선 발생부에 대응하고, 이들을 상호 연결하는 도전성 연결선인 축핀(15)와 음극 인입선(32)은 본 발명의 기술적 사상인 탈부착 가능한 연결 접속부에 대응하는 부분으로 이에 대하여는 본 발명의 상세한 설명에서 후술될 것이다. 1 corresponds to the high voltage generating portion of the present invention to be described later and the
다음, 도 2 내지 도 5는 종래 정전기 제거 장치의 실사 도면으로 도 2는 전체 외관도, 도 3 및 도 4는 상부 케이스를 개봉한 경우의 내부 구성도, 그리고 도 5는 도 3 및 도 4에서 도시된 고전압 발생부와 X선관(X선 발생부)를 연결 부위인 전선을 확대한 사진이다. 2 and 5 are actual drawings of a conventional static eliminator. Fig. 2 is an overall external view, Fig. 3 and Fig. 4 are internal constructions when the upper case is opened, and Fig. 5 is a cross- Is an enlarged view of a wire that connects a high-voltage generating portion and an X-ray tube (X-ray generating portion) shown in the figure.
참고로 도 3 내지 도 4에 도시된 바와 같이 대부분의 정전기 제거 장치의 구성은 크게 촤측에 설치되는 고전압 발생부와 우측에 설치되는 X선 발생부로 구분할 수 있다. As shown in FIGS. 3 to 4, the structure of most of the static eliminators can be divided into a high-voltage generating unit installed on the side of the main body and an X-ray generating unit installed on the right side.
이러한 종래의 연X선 조사식(이하, X선 조사식이라고 약칭하기로 한다)은 그 구성의 일부 차이에도 불구하고 기본적으로 외부전원을 공급받아 고전압을 발생시키는 전장부인 고전압 발생부와 이 고전압 발생부에서 출력되는 소정의 고전압을 공급받아 X선을 발생시키는 X선관(이하, X선 발생부라고 한다)으로 이루어진다. The conventional soft X-ray irradiation system (hereinafter, abbreviated as X-ray irradiation system) has a high voltage generating unit which is basically an electric field unit which receives an external power supply and generates a high voltage, Ray tube (hereinafter referred to as an X-ray generator) that receives a predetermined high voltage output from the X-ray generator and generates X-rays.
그런데 위에서 설명한 종래의 연X선 조사식의 정전기 제거 장치들은 외부 전원을 인가받아 고전압을 발생시키는 고전압 발생부와 고전압 발생부의 고전을 공급받는 X선관이 하나의 케이스내에 일체로 구성되어 시판되는 까닭에 다음과 같은 문제점을 안고 있다. However, since the conventional soft X-ray exposure type electrostatic removing apparatuses described above are manufactured by integrating a high-voltage generating unit for generating a high voltage and an X-ray tube for receiving a high voltage from the high voltage generating unit, The following problems are encountered.
첫째, 고전압 발생부와 X선 발생부중 어느 하나에 하자가 발생한 경우 하자가 발생한 부분에 대한 교체가 불가능하여 제품 전체를 교체하여야 하는 문제점이 있었고,First, when a defect occurs in any one of the high voltage generating part and the X-ray generating part, it is impossible to replace the defective part,
둘째, 고전압 발생부와 X선 발생부가 일체형인 까닭에 정전기 제거 장치를 설치한 상태에서 X선의 조사 위치나 방향을 변경하는 경우 설치 장소에서 정전기 제거 장치를 분리하여 이동시켜야 하는 문제점이 있었고,Second, since the high-voltage generating unit and the X-ray generating unit are integrated, there is a problem in that when the irradiation position or direction of the X-ray is changed while the electrostatic removing unit is installed,
셋째, X선 발생부에서 발생하는 높은 열로 인하여 고전압 발생부의 전장부가 오동작으로 일으킬 우려가 있었다. Third, due to the high heat generated in the X-ray generating portion, there is a possibility that the electric field portion of the high voltage generating portion is caused as a malfunction.
본 발명은 전술한 3가지 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로, X선 발생장치 및 X선을 이용하여 정전기를 제거하는 장치를 구성하는 고전압 발생부와 X선 발생부를 분리하여 제공하는 것을 목적으로 한다. Disclosure of the Invention The present invention has been proposed in order to solve the above-mentioned three problems, and it is an object of the present invention to separately provide a high voltage generating unit and an X-ray generating unit constituting an X-ray generating apparatus and an apparatus for removing static electricity using X- .
즉, 본 발명에서는 고전압 발생부와 X 선 발생부에 소정의 접속부를 제공하고 필요에 따라서 탈부착 가능하도록 하여 전술한 문제점을 해소하고자 하는 것을 목적으로 한다.That is, in the present invention, a predetermined connection portion is provided to the high-voltage generating portion and the X-ray generating portion so that the high voltage generating portion and the X-ray generating portion can be detachably attached as needed.
이를 위하여 본 발명에서는 탈부착 가능한 고전압 발생부와 X선 발생부를 갖는 정전기 제거 장치와 이러한 분리 가능한 형태의 고전압 발생부 및 X선 발생부를 각기 제공하는 것을 목적으로 한다. To this end, it is an object of the present invention to provide an electrostatic removing device having a detachable high voltage generating part and an X-ray generating part, and a separable high voltage generating part and an X-ray generating part, respectively.
본 발명에서 제안하는 탈부착 가능한 고전압 발생부와 X선 발생부를 갖는 정전기 제거 장치는 상기 고전압 발생부의 출력단과 연결되는 상기 X선 발생부의 입력단은 탈부착 가능한 구조로 이루어져 있는 것을 특징으로 하며, 상기 X 선 발생부의 입력단은 상기 고전압 발생부의 출력단에 삽입하여 체결 가능한 제 1 접속부를 갖추고 있으며, 상기 고전압 발생부의 출력단은 상기 제 1 접속부와 체결되는 제 2 접속부를 갖추고 있다. The electrostatic removing device having a detachable high voltage generating part and an X-ray generating part proposed in the present invention is characterized in that the input end of the X-ray generating part connected to the output terminal of the high voltage generating part is detachably attachable. And an output terminal of the high voltage generating unit is provided with a second connecting unit to be coupled to the first connecting unit.
본 발명에서, 상기 제 1 접속부는 교류가 인가되는 2 개의 도전성 전극으로 형성될 수 있으며, 이 경우 상기 제 2 접속부는 상기 제 1 접속부인 상기 2 개의 도전성 전극과 탈착 가능하게 체결되는 2 개의 도전성 전극으로 이루어진다. In the present invention, the first connection unit may be formed of two conductive electrodes to which alternating current is applied. In this case, the second connection unit may include two conductive electrodes that are detachably coupled to the two conductive electrodes, Lt; / RTI >
한편, 본 발명에서 제안하는 분리형의 정전기 제거용 X 선 발생부는 상기 X 선 발생부로 고전압을 공급하는 고전압 발생부와 탈부착 가능한 접속부를 갖고 있으며, 상기 접속부는 상기 고전압 발생부의 출력단과 탈부착 가능하게 연결되어 상기 고전압을 공급받는 것을 특징으로 한다. Meanwhile, the separated type electrostatic eliminating X-ray generating unit proposed in the present invention has a high voltage generating unit for supplying high voltage to the X-ray generating unit and a detachable connecting unit, and the connecting unit is detachably connected to the output terminal of the high voltage generating unit And the high voltage is supplied.
또한 본 발명에서 제안하는 분리형의 정전기 제거용 고전압 발생부의 경우 상기 고전압 발생부의 출력단은 고전압을 공급받는 X 선 발생부와 탈부착 가능한 접속부를 갖추고 있으며, 상기 고전압 발생부의 접속부는 상기 X 선 발생부의 입력단과 탈부착 가능하게 연결되어 상기 고전압을 공급하는 것을 특징으로 한다. Also, in the case of the separated type high voltage generating part for static elimination proposed in the present invention, the output terminal of the high voltage generating part is provided with an X-ray generating part supplied with a high voltage and a detachable connecting part and the connection part of the high voltage generating part is connected to the input terminal of the X- And is connected detachably so as to supply the high voltage.
본 발명에서 제안하는 탈부착 가능한 고전압 발생부와 X선 발생부를 갖는 정전기 제거 장치 및 이를 구성하는 고전압 발생부와 X선 발생부는 종래의 정전기 제거 장치와 대비하면 다음과 같은 효과를 가지고 있다. The electrostatic eliminator having the detachable high voltage generator and the X-ray generator proposed in the present invention and the high-voltage generator and the X-ray generator constituting the electrostatic eliminator have the following advantages in comparison with the conventional static eliminator.
첫째, 고전압 발생부 또는 X 선 발생부중 어느 하나에 하자가 발생한 경우 제품 전체를 교체하여야 하는 종래의 경우와 달리 본 발명의 경우 하자가 발생한 고전압 발생부 또는 X 선 발생부를 개별적으로 교체할 수 있으므로 정전기 제거 장치를 사용하는 업체에서는 경제적 부담을 줄일 수 있다. First, in contrast to the conventional case where defects occur in any one of the high-voltage generating unit and the X-ray generating unit, the defective high-voltage generating unit or X-ray generating unit can be replaced individually, Companies that use removal equipment can reduce the economic burden.
둘째, 본 발명의 경우 고전압 발생부와 X 선 발생부는 접속부를 통하여 탈부착 가능하도록 연결되므로 고전압 발생부의 설치 위치와 무관하게 X 선 발생부의 광조사 방향으로 자유로이 선택할 수 있다. 예컨대, 반도체 클린룸 내에 설치된제조 라인의 변경이나 일부 장비들의 비치 위치가 변경되는 경우 필요에 따라 X 선 발생부의 설치 장소와 방향을 자유로이 조정할 수 있다. Second, in the present invention, since the high voltage generating part and the X-ray generating part are detachably connected through the connecting part, they can be freely selected in the light irradiation direction of the X-ray generating part regardless of the installation position of the high voltage generating part. For example, when the manufacturing line installed in the semiconductor clean room is changed or the beach position of some equipment is changed, the installation location and direction of the X-ray generator can be freely adjusted as needed.
셋째, 많은 열을 방출하는 X 선 발생부를 고전압 발생부로부터 이격시켜 자유로이 설치할 수 있으므로 X 선 발생부에서 방출되는 열로 인한 고전압 발생의 전자 회로 오동작을 감소시킬 수 있을 것이다. 특히, 종래의 일체형 고전압 발생부의 경우 절연 구조에 대한 설계가 중대하였으나 본 발명과 같이 분리형 정전기 제거 장치로 구성하는 경우 절연 구조를 보다 가볍게 구성할 수 있다. Third, since the X-ray generating part emitting a large amount of heat can be freely installed away from the high voltage generating part, it is possible to reduce the malfunction of the electronic circuit caused by the high voltage generated by the heat emitted from the X-ray generating part. Particularly, in the case of the conventional integrated high voltage generating part, the design of the insulating structure is important, but when the separating static electricity removing device is constructed as in the present invention, the insulating structure can be made lighter.
도 1은 종래의 X선 조사식 정전기 제거 장치의 일예이다.
도 2내지 도 5는 고전압 발생부와 X선 발생부로 이루어지는 종래의 X선 조사식 정전기 제거 장치의 실물의 일예이다.
도 6a~도 6c는 본 발명에서 제안하는 분리형 X선 조사식 정전기 제거 장치의 개념을 설명하는 일 실시예이다.
도 7a~도 7c는 본 발명에서 제안하는 분리형 X선 조사식 정전기 제거 장치의 개념을 설명하는 다른 실시예이다.
도 8a~ 도 8c는 본 발명에서 제안하는 분리형 X선 조사식 정전기 제거 장치의 개념을 설명하는 또 다른 실시예이다. 1 is an example of a conventional X-ray exposure static eliminator.
FIGS. 2 to 5 show an example of a conventional X-ray exposure static eliminator comprising a high voltage generator and an X-ray generator.
6A to 6C show an embodiment of the concept of the detachable X-ray irradiated static eliminator proposed by the present invention.
Figs. 7A to 7C show another embodiment for explaining the concept of the detachable X-ray exposure static eliminator proposed by the present invention.
8A to 8C show still another embodiment for explaining the concept of the detachable X-ray exposure static eliminator proposed by the present invention.
이하, 도면을 참조하여 본 발명에서 제안하는 분리형 정전기 제거 장치에 대하여 설명하기로 한다. Hereinafter, a separable static eliminator proposed by the present invention will be described with reference to the drawings.
본 발명에서 제안하는 정전기 제거 장치는 X선을 조사하는 X선 발생기와, X선 발생기에 소정의 고압을 인가(공급)하는 고전압 발생부가 탈부착 가능한 구조로 이루어질 수 있도록 하여 선택적 교체가 가능하도록 하는 것을 목적으로 한다.The electrostatic removing apparatus proposed in the present invention can be configured such that the X-ray generator for irradiating X-rays and the high-voltage generating unit for applying (supplying) a predetermined high voltage to the X-ray generator can be detachably attached, The purpose.
이에 따라 본 발명에서는 고전압 발생부의 출력단과 X선 발생부의 입력단에 소정의 연결 접속부를 제공하고 필요에 따라 착탈 가능하게 하는 다양한 형상의 구조를 제안하고자 한다. Accordingly, the present invention proposes a variety of configurations in which a predetermined connection portion is provided at the output terminal of the high-voltage generating portion and the input terminal of the X-ray generating portion, and is detachable if necessary.
도 6a~ 도 6c는 분리형 X선 조사식 정전기 제거 장치(이하, 정전기 제거 장치라고 한다)의 일 실시예의 개념을 설명하는 도면이다.6A to 6C are diagrams for explaining the concept of an embodiment of a detachable X-ray irradiating static eliminator (hereinafter referred to as an electrostatic eliminator).
도시된 바와 같이, 본 발명에서 제안하는 정전기 제거 장치의 구성은 크게 고전압 발생부(200)와 X선 발생부(300)로 이루어진다. As shown in the figure, the structure of the static eliminator proposed in the present invention comprises a high-
본 발명에서, 고전압 발생부(200)는 X선 발생부에서 소정의 X선을 발생시키기 위하여 필요한 소정 전압 발생시키는 전장부를 통칭하며, X선 발생부(300)은 고전압 발생부(200)로부터 소정의 고전압을 공급받아 X선을 발생시키는 X선관(주지된 바와 같이, X선관에는 고전압 수신용 전극 단자가 존재하며 이 전극 단자는 후술하는 전선(31)의 일종단부가 납땜 등에 결합된다)을 의미하며 X선이 방사되는 조사창 등을 포함하는 개념이다. In the present invention, the high-
일반적으로 종래의 경우 전술한 바와 같이 고전압 발생부와 X-선관 등이 하나의 케이스내에 일체로 구성되어 있었으나 본 발명에서는 도 6a~ 도 6c에 도시된 바와 같이 서로 다른 케이스에 고전압 발생부(200)와 X선 발생부(300)를 각기 내장시킨 다음 이들을 상호 연결시키는 방식을 제안한다. Generally, in the conventional case, as described above, the high-voltage generating unit and the X-ray tube are integrally formed in one case. However, in the present invention, as shown in FIGS. 6A to 6C, And the
즉, 본 발명에서 제안하는 정전기 제거 장치는 고전압 발생부(200)와 X선 발생부(300)가 상호 분리 가능한 구조로 되어 있으며 달리 표현하면 탈부착 가능하다라는 말과 동일한 의미이다. That is, the static eliminator proposed in the present invention has the same structure as the high
참고로, 본 발명에서 고전압 발생부(200)는 X선 발생부에서 X 선을 조사하기 위하여 필요한 소정의 전압을 발생시키는 구성 요소이므로 고전압이 출력되는 부분을 출력단이라고 정의하고 상기 고전압은 공급받는 부분을 X선 발생부(300)의 입력단이라고 정의한다. In the present invention, the high-
이들 출력단과 입력단이라는 용어는 후술되는 접속부(20, 30)와 거의 유사한 개념으로 사용되지만, 후술되는 전선(21, 31) 등을 포함하는 개념으로 이해되어야 한다. The terms "output terminal" and "input terminal" are used in a similar concept to the
도 6a ~ 도 6c에 도시된 바와 같이, 고전압 발생부(200)와 X선 발생부(300) 각각에는 소정의 접속부(20, 30)가 형성되며, 본 발명에서는 상기 접속부(20, 30)를 이용하여 고전압 발생부(200)와 X선 발생부(300)의 탈부착을 용이하게 하는 것을 그 기술적 사상으로 하고 있다.6A to 6C,
도 6a~ 도 6c에서, 고전압 발생부(200)에서 생성된 고전압은 고전압 출력단인 접속부(20)를 통하여 X선 발생부(300)의 접속부(30)로 공급되며 이렇게 공급된 고전압은 전선(31)을 통하여 X선 발생부(300)을 공급된다.6A to 6C, the high voltage generated by the high
도 6a~ 도 6c에서, 고전압 발생부(200)의 접속부(20)는 고전압 발생부의 케이스 일측에 형성되는 것이 바람직하며, X선 발생부(300)의 접속부(30)는 일종단부가 X선 발생부(300)와 연결되어 있는 전선(31)의 타종단부에 연결되는 것이 바람직하다. 6A to 6C, it is preferable that the
본 발명의 경우 전선(31)의 길이를 적당히 대략 1m 내외로 제공함으로써 필요에 따라 X 선 발생부(300)를 설치하고자 하는 위치를 고전압 발생부(200)의 설치 위치와 무관하게 선정할 수 있을 것이다.In the present invention, the length of the
개념적으로, 도 6a~ 도 6c의 경우 고전압 발생부(200)의 접속부(20)는 암 접속부라고 할 수 있으며, X 선 발생부(300)의 접속부(30)는 숫 접속부라고 할 수 있다. 6A to 6C, the connecting
즉, 숫 접속부인 X 선 발생부(300)의 접속부(30)는 암 접속부인 고전압 발생부(200)의 접속부(20)에 삽입 체결될 수 있으며 필요에 따라 탈착 가능한 구조이다. That is, the connecting
보다 구체적으로 설명하면, 숫 접속부인 X 선 발생부(300)의 접속부(30)는 플러그 타입 또는 잭 타입 등 다양한 방식으로 구현되는 돌출형 도전성 전극으로 구현할 수 있으며 이에 대응하는 고전압 발생부(200)의 접속부(20)는 이들을 수용하여 도전 상태를 유지할 수 있는 구조로 형성하는 것이 바람직하다. More specifically, the connecting
다음, 도 7a~ 도 7c는 본 발명에서 제안하는 탈부착 가능한 정전기 제어 장치의 다른 실시예로, 접속부의 형태가 서로 치환된 경우를 설명한다. Next, FIGS. 7A to 7C show another embodiment of the detachable static electricity control device proposed in the present invention, in which the shapes of the connection portions are replaced with each other.
즉, 도 6a~ 도 6c의 경우 암 접속부가 고전압 발생부(200)에 형성되고 숫 접속부가 X 선 발생부에 형성된 반면에 도 7a~ 도 7c에 도시된 실시예는 숫 접속부가 고전압 발생부(200)에 형성되고 암 접속부가 X 선 발생부에 형성된 경우를 설명한다. 6A to 6C, the female connection portion is formed in the high
도 7a~ 도 7c에 도시된 바와 같이, 고전압 발생부(200)의 접속부(20)는 일종단부가 고전압 발생부(200)와 연결되어 있는 전선(31)의 타종단부에 연결되어 있으며, X선 발생부(300)의 접속부(30)는 X선 발생부의 케이스 일측에 형성되는 것이 바람직하다. 7A to 7C, the connecting
도 6a~ 도 6c과 비슷하게, 도 7a~ 도 7c의 경우 고전압 발생부(200)의 접속부(20)는 숫 접속부라고 할 수 있으며, X 선 발생부(300)의 접속부(30)는 암 접속부라고 할 수 있다. 7A to 7C, the connecting
즉, 숫 접속부인 고전압 발생부(200)의 접속부(20)는 암 접속부인 X 선 발생부(300)의 접속부(30)에 삽입 체결될 수 있으며 필요에 따라 탈착 가능한 구조이다. That is, the connecting
보다 구체적으로 설명하면 숫 접속부인 고전압 발생부(200)의 접속부(20)는 플러그 타입 또는 잭 타입 등 다양한 방식으로 구현할 수 있으며 이에 대응하는 X 선 발생부(300)의 접속부(30)는 이들을 수용하여 도전 상태를 유지할 수 있는 구조로 형성하는 것이 바람직하다. More specifically, the
도 6a~ 도 6c와 마찬가지로, 도 7a~ 도 7c에서 설명된 접속부(20, 30)는 모두 도전성 재질의 전극으로 이루어지는 것이 바람직하다.As in Figs. 6A to 6C, the connecting
다음, 도 8a~ 도 8c는 도 6a~ 도 6c 및 도 7a~ 도 7c에서 설명한 전선(31, 21)이 제거된 구조(codeless structure)를 갖는 탈부착 가능한 정전기 제어 장치의 실시예를 보여준다. Next, Figs. 8A to 8C show an embodiment of a detachable electrostatic control device having a codeless structure in which the
따라서 도 8a~ 도 8c에 도시된 탈부착 가능한 분리형 정전기 제거 장치의 경우 고전압 발생부(200)와 X선 발생부(300)가 상호 체결된 경우 외관상 일체형 제품으로 이루어질 수 있다. Therefore, in the case of the detachable separable electrostatic removing apparatus shown in FIGS. 8A to 8C, when the high
참고로, 위에서 설명된 본 발명의 접속부는 교류 전압이 인가되므로 숫 접속부는 돌출형 구조를 갖는 2 개의 도전성 전극으로 구성할 수 있고, 그에 대응하는 암 접속부는 2 개의 수납형 도전성 전극으로 구성할 수 있을 것이다. For reference, since the connecting portion of the present invention described above is applied with an alternating voltage, the male connecting portion can be composed of two conductive electrodes having a protruding structure, and the corresponding female connecting portion can be composed of two storing conductive electrodes There will be.
지금까지 설명한 본 발명에 따른 정전기 제거 장치는 이를 구성하는 고전압 발생부(200)와 X선 발생부(300)를 상호 분리하여 납품 가능하도록 한 것으로 이러한 방식으로 제품을 생산하는 경우 전술한 바와 같이 교체 비용 절감, 설치 장소의 취사 선택 용이성, 그리고 열 차단 등의 효과를 얻을 수 있다. The electrostatic removing device according to the present invention described above can separate and supply the high
한편, 본 발명에서 설명한 접속부는 기본적으로 돌출형 도전성 전극과 이를 수용하는 수납형 도전성 전극 타입으로 설명되었지만 이는 단순히 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 일예에 불과한 것으로 탈부착 가능한 분리형 정전기 제거 장치를 구성함에 있어서 기능의 저하를 초래하지 않는 범위내에서 다양한 형태의 암수 체결 구조로 제작하는 것도 가능하다. In the meantime, although the connecting portion described in the present invention is basically a protruding type conductive electrode and a storing conductive electrode type for accommodating the protruding type conductive electrode, it is merely an example for realizing the technical idea of the present invention and constitutes a detachable removable static eliminating device So that it is possible to manufacture various types of male and female fastening structures within a range that does not cause deterioration of function.
예컨대, 동축 케이블 구조나 나사 체결 구조 등으로도 변형 가능하며 이러한 접속부의 단순 구조 변경은 본 발명의 기술적 사상인 분리형의 탈부착 가능한 구조인 한 본원 발명에서 제안하는 접속부에 모두 해당한다고 보아야 한다.For example, it is possible to change the structure of the coaxial cable, the screw fastening structure, and the like, and the simple structure change of the connection part should be regarded as all of the connection parts proposed in the present invention as the detachable detachable structure of the present invention.
또한 본 발명의 기술적 사상은 X선을 발생시켜 정전기를 제거하는 장치에 관하여 주로 설명하였으나 고전압을 공급받아 X 선을 발생하는 X선 발생부를 구비하는 모든 졸유의 X선 발생 장치에도 동일하게 적용된다는 것은 자명하며 따라서 본 발명의 기술적 개념 즉 고전압 발생부와 X 선 발생부가 탈부착 가능하게 구성하여 X선을 발생시키는 장치의 경우 그 용도와 무관하게 특허청구범위에 기재되는 구성의 범주내에서 본 발명의 보호 범위내에 당연히 포함된다.Although the technical idea of the present invention has been mainly described with respect to an apparatus for generating X-rays to remove static electricity, it is equally applicable to all X-ray generating apparatuses including a X-ray generating unit that generates X- Therefore, in the technical concept of the present invention, that is, in the case of a device for generating X-rays by being detachably attachable to the high voltage generating part and the X-ray generating part, the protection of the present invention Of course.
즉, 본 발명의 경우 X선을 발생하는 장치의 용도(예컨대, 정전기 제거 또는 공기 정화 등)와 무관하게 고전압을 공급받는 X선관(X선 튜브)을 이용하는 모든 종류의 X선 발생 장치에도 동일하게 적용된다. That is, in the case of the present invention, the same applies to all types of X-ray generators that use an X-ray tube (X-ray tube) supplied with a high voltage regardless of the use of the apparatus for generating X-rays (for example, static elimination or air purification) .
한편, 도 6a~도 8c를 참조하여 설명된 고전압 발생부와 X선 발생부가 본 발명의 기술적 사상에 따라 개별적인 접속부를 구비한 상태에서 단품으로 제공되는 경우 고전압 발생 장치 및 X선 발생 장치로 표현하는 것도 가능하다. 6A to 8C, when the high-voltage generating unit and the X-ray generating unit are provided as a single unit in a state having separate connecting portions according to the technical idea of the present invention, the high voltage generating unit and the X- It is also possible.
즉, 본 발명에서 고전압 발생부와 X 선 발생부가 상호 결합되어 정전기 제거 장치 또는 X 선 발생 장치로 명명되기기도 하지만 이들 고전압 발생부와 X 선 발생부가 단품으로 상거래의 대상이 되는 경우 고전압 발생장치 및 X선 발생 장치로 명명될 수 있다. That is, in the present invention, the high-voltage generating unit and the X-ray generating unit are mutually combined to be called an electrostatic removing device or an X-ray generating device. However, when the high voltage generating unit and the X- It can be named X-ray generator.
200: 고전압 발생부
300: X선 발생부
20, 30: 접속부
21, 31: 전선200: High voltage generator
300: X-ray generator
20, 30:
21, 31: Wires
Claims (12)
상기 고전압 발생부의 출력단과 연결되는 상기 X선 발생부의 입력단은 탈부착 가능한 구조로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 탈부착 가능한 고전압 발생부와 X선 발생부를 갖는 정전기 제거 장치. A static eliminator having a detachable high voltage generating portion and an X-ray generating portion
And an input terminal of the X-ray generating unit connected to an output terminal of the high voltage generating unit is detachably attachable to and detachable from the X-ray generating unit.
상기 X 선 발생부의 입력단은 상기 고전압 발생부의 출력단에 삽입하여 체결 가능한 제 1 접속부를 갖는 특징으로 하는 탈부착 가능한 고전압 발생부와 X선 발생부를 갖는 정전기 제거 장치. The method according to claim 1,
And an input terminal of the X-ray generation unit has a first connection unit that can be inserted into an output terminal of the high voltage generation unit and can be coupled to the high voltage generation unit, and an X-ray generation unit.
상기 고전압 발생부의 출력단은 상기 제 1 접속부와 체결되는 제 2 접속부를 갖는 것을 특징으로 하는 탈부착 가능한 고전압 발생부와 X선 발생부를 갖는 정전기 제거 장치. 3. The method of claim 2,
And an output terminal of the high voltage generating part has a second connecting part which is fastened to the first connecting part, and an X-ray generating part having a detachable high voltage generating part.
상기 제 1 접속부는 2 개의 도전성 전극을 구비하는 것을 특징으로 하는 탈부착 가능한 고전압 발생부와 X선 발생부를 갖는 정전기 제거 장치. The method according to claim 2 or 3,
Wherein the first connecting portion includes two conductive electrodes, and the X-ray generating portion has a detachable high voltage generating portion.
상기 제 2 접속부는 상기 제 1 접속부인 상기 2 개의 도전성 전극과 탈착 가능하게 체결되는 2 개의 도전성 전극을 구비하는 것을 특징으로 하는 탈부착 가능한 고전압 발생부와 X선 발생부를 갖는 정전기 제거 장치. 5. The method of claim 4,
Wherein the second connection portion includes two conductive electrodes detachably coupled to the two conductive electrodes as the first connection portion, and a detachable high voltage generating portion and an X-ray generating portion.
상기 X 선 발생부는
상기 X 선 발생부로 고전압을 공급하는 고전압 발생부와 탈부착 가능한 접속부를 갖는 특징으로 하는 정전기 제거용 X 선 발생부. In the electrostatic eliminating X-ray generating portion,
The X-
And a high voltage generating part for supplying a high voltage to the X-ray generating part and a detachable connection part.
상기 접속부는 상기 고전압 발생부의 출력단과 탈부착 가능하게 연결되어 상기 고전압을 공급받는 것을 특징으로 하는 정전기 제거용 X선 발생부. The method according to claim 6,
Wherein the connection part is detachably connected to an output terminal of the high voltage generating part and is supplied with the high voltage.
상기 고전압 발생부의 출력단은 고전압을 공급받는 X 선 발생부와 탈부착 가능한 접속부를 갖는 특징으로 하는 정전기 제거용 고전압 발생부.A high voltage generating portion for removing static electricity,
And an output terminal of the high voltage generating part has an X-ray generating part supplied with a high voltage and a detachable connecting part.
상기 고전압 발생부의 접속부는 상기 X 선 발생부의 입력단과 탈부착 가능하게 연결되어 상기 고전압을 공급하는 것을 특징으로 하는 정전기 제거용 고전압 발생부. 9. The method of claim 8,
Wherein the connection part of the high voltage generating part is detachably connected to the input terminal of the X-ray generating part to supply the high voltage.
상기 고전압 발생부의 출력단과 연결되는 상기 X선 발생부의 입력단은 탈부착 가능한 구조로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 탈부착 가능한 고전압 발생부와 X선 발생부를 구비하여 X선을 발생하는 X선 발생 장치.1. An X-ray generator for generating X-rays with a detachable high-voltage generating part and an X-ray generating part,
And an input terminal of the X-ray generating unit connected to an output terminal of the high voltage generating unit is detachably attached to the X-ray generating unit, wherein the X-ray generating unit and the detachable high voltage generating unit generate X-rays.
상기 X 선 발생 장치는
상기 X 선 발생 장치로 고전압을 공급하는 고전압 발생부와 탈부착 가능한 접속부를 갖는 특징으로 하는 고전압을 공급받아 X선을 발생하는 X선 발생부를 구비하는 X선 발생 장치. 1. An X-ray generator for generating X-rays by receiving a high voltage,
The X-ray generator
And an X-ray generator for generating an X-ray by receiving a high voltage having a high-voltage generating part for supplying a high voltage to the X-ray generating device and a detachable connecting part.
상기 고전압 발생 장치의 출력단은 상기 고전압을 공급받는 X 선 발생 장치와 탈부착 가능한 접속부를 갖는 특징으로 하는 고전압 발생 장치.
A high-voltage generating apparatus for supplying a high voltage necessary for generating an X-ray to an X-ray generating apparatus,
Wherein an output terminal of the high voltage generating apparatus has an X-ray generating apparatus to which the high voltage is supplied and a detachable connection section.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020130016626A KR101389694B1 (en) | 2013-02-15 | 2013-02-15 | X-ray generating device and ionizer having high voltage generator and x-ray generator being detachable each other and the independently separated voltage generator and x-ray generator constituant the ionizer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020130016626A KR101389694B1 (en) | 2013-02-15 | 2013-02-15 | X-ray generating device and ionizer having high voltage generator and x-ray generator being detachable each other and the independently separated voltage generator and x-ray generator constituant the ionizer |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR101389694B1 true KR101389694B1 (en) | 2014-05-07 |
Family
ID=50892874
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020130016626A KR101389694B1 (en) | 2013-02-15 | 2013-02-15 | X-ray generating device and ionizer having high voltage generator and x-ray generator being detachable each other and the independently separated voltage generator and x-ray generator constituant the ionizer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR101389694B1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101744961B1 (en) * | 2015-12-02 | 2017-06-08 | (주)선재하이테크 | Connecting Assembly for a cable of static electricity eliminator |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008098129A (en) | 2006-10-16 | 2008-04-24 | Sunje Hitek Co Ltd | Ionizer using soft x-ray, and charge eliminating method of charged object |
| JP2010521792A (en) | 2007-03-19 | 2010-06-24 | 株式会社 ソンジェ ハイテック | Optical ionizer |
-
2013
- 2013-02-15 KR KR1020130016626A patent/KR101389694B1/en active IP Right Review Request
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008098129A (en) | 2006-10-16 | 2008-04-24 | Sunje Hitek Co Ltd | Ionizer using soft x-ray, and charge eliminating method of charged object |
| JP2010521792A (en) | 2007-03-19 | 2010-06-24 | 株式会社 ソンジェ ハイテック | Optical ionizer |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101744961B1 (en) * | 2015-12-02 | 2017-06-08 | (주)선재하이테크 | Connecting Assembly for a cable of static electricity eliminator |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100676527B1 (en) | An ionizer using soft x-ray and a method for removing electric charges of a charged body | |
| US7710707B2 (en) | Flexible soft X-ray ionizer | |
| KR101400078B1 (en) | X X-ray generating device | |
| KR101389694B1 (en) | X-ray generating device and ionizer having high voltage generator and x-ray generator being detachable each other and the independently separated voltage generator and x-ray generator constituant the ionizer | |
| JP5527699B2 (en) | Sustained discharge suppression device on solar cell array | |
| KR102299325B1 (en) | X-ray source for gas ionization | |
| JP5581319B2 (en) | High-intensity discharge lamp assembly, circuit for instant start of high-intensity discharge lamp, and low lighting voltage instant start method for high-temperature re-ignition of high-intensity discharge lamp | |
| KR101469594B1 (en) | X-ray generating device having a function for storing operation time | |
| CN103137400B (en) | Electric field emission type X-ray generator | |
| JP2012131489A (en) | Ionizer for supplying negative ion to air in space such as air in car compartment of automobile for instance | |
| KR101492791B1 (en) | Ionizer with corona discharging and soft X-ray radiating function | |
| JP2006294602A (en) | Destaticizing method, destaticizer, and antistatic method of glass substrate, and antistatic device of glass substrate | |
| KR100330190B1 (en) | Apparatus for eliminating static electricity using soft x-ray | |
| TW201352069A (en) | X-ray radiation source | |
| KR101686821B1 (en) | X-ray generator | |
| KR101673798B1 (en) | Portable ionizer | |
| JP4841177B2 (en) | Plasma cleaning equipment | |
| WO2016120416A1 (en) | Electrostatic precipitator | |
| JP4998825B2 (en) | Ion generator | |
| KR101744961B1 (en) | Connecting Assembly for a cable of static electricity eliminator | |
| KR20210021668A (en) | 360-degree radial photo ionizer | |
| KR20210043823A (en) | Apparatus with double bulkhead structure for removing static electricity using soft X-ray | |
| KR101361792B1 (en) | A photo ionizer | |
| TW202301522A (en) | Photo ionizer | |
| JP2016004728A (en) | Plasma generator, plasma generating body and plasma generating method |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| J204 | Request for invalidation trial [patent] | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170420 Year of fee payment: 4 |
|
| J301 | Trial decision |
Free format text: TRIAL NUMBER: 2017100000462; TRIAL DECISION FOR INVALIDATION REQUESTED 20170220 Effective date: 20170613 |