KR102061188B1

KR102061188B1 - 기판 검출 장치

Info

Publication number: KR102061188B1
Application number: KR1020130048595A
Authority: KR
Inventors: 다카히로 호리이; 다카미치 간노
Original assignee: 가부시키가이샤 다이후쿠
Priority date: 2012-05-11
Filing date: 2013-04-30
Publication date: 2019-12-31
Also published as: JP5741959B2; US20130314719A1; TW201350419A; TWI603910B; CN103387108A; JP2013239481A; CN103387108B; KR20130126480A

Abstract

간소한 구성이며 또한 설치하기 쉬운 기판 검출 장치를 제공한다. 반송(搬送) 장치(1)에 의해 반송되는 수납 용기 C의 이동 범위의 단부에 검사 개소 P를 설정하고, 검출파를 투사하고 또한 대상물로부터의 반사된 검출파를 수신하여 대상물까지의 거리를 검출하는 거리계(12)를, 이동 범위 K의 단부보다 반송 방향의 외측에 설치하고 또한 검사 개소 P에 위치하는 수납 용기 C의 개구부(8)를 향해 검출파가 기판 수납 영역을 기판 W의 면 방향과 교차하는 방향으로 통과 가능한 상태로 설치하고, 거리계(12)의 검출값이, 미리 설정되어 있는 설정 범위 내의 값인 경우에, 수납 용기 C 내에 기판 W가 존재하고 있는 것으로 판별하는 존부(存否) 판별부를 설치한다.

Description

기판 검출 장치{SUBSTRATE DETECTION APPARATUS}

본 발명은, 복수의 기판이 적층 상태로 수납되는 기판 수납 영역을 구비하는 수납 용기 내의, 기판을 검출하는 기판 검출 장치에 관한 것이다.

일본공개특허 1994―135506호 공보(특허 문헌 1)에는, 상기와 같은 수납 용기에서의 기판의 존부(存否)를 검출하는 기판 검출 장치의 일례가 개시되어 있다. 특허 문헌 1의 기판 검출 장치에서는, 기판 수납 영역의 기판 적층 방향이 상하 방향을 따르는 자세로 수납 용기를 테이블에 탑재하여, 기판의 존부를 검출하기 위한 투과형의 존부 센서를, 기판의 면 방향을 따른 방향으로 투광하는 상태로 수납 용기의 전후에 한쌍(투광용과 수광용) 설치하고 있었다. 그리고, 승강 구동 기구에 의해 한쌍의 존부 센서를 수납 용기에 대하여 기판 수납 영역의 전체 폭에 걸쳐 상대적으로 승강 이동시킴으로써, 수납 용기에서의 기판의 존부를 검출하고 있었다.

그러나, 상기한 특허 문헌 1의 기판 검출 장치에서는, 한쌍의 존부 센서를 수납 용기에 대하여 상대적으로 승강 이동시키므로, 수납 용기에서의 기판의 존부의 검출에 시간이 걸리고, 또한 한쌍의 존부 센서를 수납 용기에 대하여 상대적으로 승강 이동시키는 승강 구동 기구를 설치할 필요가 있으므로, 기판 검출 장치의 구성이 복잡한 것으로 되어 있었다.

그런데, 반송(搬送) 장치에 의해 수납 용기를 탑재 반송할 때, 물품 수납 선반에 수납하는 자세 등을 고려하여, 수납 용기를 기판 수납 영역의 기판 적층 방향이 반송 방향의 성분을 가지는 반송 자세로 수평 방향으로 탑재 반송하는 경우가 있고, 이와 같이 반송 장치에 의해 반송되는 수납 용기에서의 기판의 존부를 검출하는 경우가 있다.

이와 같은 경우에 있어서, 상기 특허 문헌 1과 같이 투과형의 존부 센서에 의해 수납 용기에서의 기판의 존부를 검출할 때는, 한쌍의 존부 센서 중 한쪽이 수납 용기에 대하여 반송 방향의 하류측에 위치하게 되므로, 반송되는 수납 용기에 간섭하지 않도록 존부 센서를 설치할 필요가 있어, 존부 센서를 설치하기 어려워진다.

또한, 반사형의 존부 센서로서, 투광용과 수광용과의 한쌍의 존부 센서 또는 투광용과 수광용을 겸용하는 1개의 존부 센서를 수납 용기에 대하여 반송 방향의 상류측에 설치하는 경우에는, 수납 용기에 대하여 반송 방향의 하류측에 존부 센서를 설치할 필요가 없어지므로, 존부 센서를 설치하기 용이해진다. 그러나, 수납 용기에 의해 반사되는 검출파에 의해 수납 용기를 기판으로 오검출하는 것을 방지하기 위해, 검출광이 수납 용기 내에 진입하도록 수납 용기에는 개구부가 형성되어 있을 필요가 있고, 또한 검출광이 수납 용기 내를 진행하도록 존부 센서를 설치할 필요가 있다.

일본공개특허 1994―135506호 공보

본 발명은, 상기 문제점을 해결하기 위해, 간소한 구성이며 또한 검출부의 설치의 제약이 적은 기판 검출 장치의 실현이 요구된다.

복수의 기판이 적층 상태로 수납되는 기판 수납 영역을 구비하는 수납 용기 내의, 기판을 검출하는 본 발명에 관한 기판 검출 장치는,

상기 수납 용기에 형성되어 있는 개구부를 향해 검출파를 투사했을 때의 검출 상태가 기판의 존부에 따라 변화하는 검출부；

상기 기판 수납 영역의 기판 적층 방향이 반송 방향의 성분을 가지는 반송 자세로, 상기 수납 용기를 수평 방향으로 탑재 반송하는 반송 장치；

상기 수납 용기 내에 기판이 존재하고 있는지의 여부를 판별하는 존부 판별부；

를 포함하고,

여기서, 상기 검출부가, 대상물로부터 반사된 상기 검출파를 수신하여 대상물까지의 거리를 검출하는 거리계를 사용하여 구성되며,

상기 반송 장치에 의해 반송되는 상기 수납 용기의 이동 범위의 단부에 검사 개소(箇所)가 설정되고,

상기 거리계가, 상기 이동 범위의 상기 단부보다 상기 반송 방향의 외측에 설치되어 있는 동시에, 상기 검출파가 상기 기판 수납 영역을 기판의 면 방향과 교차하는 방향으로 진행하도록, 상기 검사 개소에 위치하는 상기 수납 용기의 상기 개구부를 향해 상기 검출파를 투사하도록 구성되어 있고,

상기 거리계의 검출값이, 상기 검사 개소에 위치하는 상기 수납 용기에 수납되어 있는 기판까지의 거리의 범위로서 미리 설정되어 있는 설정 범위 내의 값인 경우에, 상기 존부 판별부가 상기 수납 용기 내에 기판이 존재하고 있는 것으로 판별한다.

상기한 구성에 의하면, 대상물까지의 거리를 검출하는 거리계가, 검사 개소에 위치하는 수납 용기의 개구부를 향해 검출파를 투사하고, 그 투사한 검출파가 기판 수납 영역을 기판의 면 방향과 교차하는 방향으로 진행하도록 설치되어 있다. 그러므로, 거리계에 의해 검출되는 검출값은, 수납 용기에 기판이 수납되어 있는 경우와 수납 용기에 기판이 수납되어 있지 않은 경우에 상이하다. 그리고, 거리계의 검출값이, 검사 개소에 위치하는 수납 용기의 기판 수납 영역에 수납되어 있는 기판까지의 거리의 범위로서 미리 설정되어 있는 설정 범위 내의 값인 경우에, 존부 판별부에 의해 수납 용기 내에 기판이 존재하고 있는 것으로 판별하도록 구성되어 있고, 수납 용기 내에서의 기판의 존부를 검출할 수 있도록 되어 있다.

그리고, 검출부는, 1개의 거리계에 의해 구성되어 있으므로, 검출부를 설치하는 경우에는, 거리계를 이동 범위의 단부에 설정된 검사 개소보다 반송 방향의 외측에 설치하면 되므로, 검사 개소보다 반송 방향의 내측에 검출부를 설치할 필요가 없다. 그러므로, 거리계를 수납 용기에 대하여 상대적으로 이동시킬 필요가 없고, 기판 검출 장치의 구성의 간소화를 도모할 수 있다. 또한, 반송 장치에 의해 반송되는 수납 용기와의 간섭을 피하도록 검출부를 설치할 필요가 없어, 검출부를 설치하는 경우의 제약을 작게 할 수 있다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시형태의 예에 대하여 설명한다.

본 발명에 관한 기판 검출 장치의 실시형태에 있어서는, 상기 거리계가, 상기 기판의 적층 방향에 대하여 경사지는 방향으로 검출파를 투사하도록 설치되어 있는 것이 바람직하다.

상기한 구성에 의하면, 거리계를, 기판의 적층 방향에 대하여 경사지는 방향으로 검출파를 투사하도록 설치함으로써, 기판 수납 영역에 대하여 기판 적층 방향으로 수납 용기의 내면 등의 다른 물품이 인접하고 있는 경우에, 기판의 적층 방향에 대하여 평행하게 되는 방향으로 검출광을 투광했을 때와 비교하여, 기판 수납 영역과 다른 물품과의 투사 방향에서의 간격을 넓게 할 수 있다. 그러므로, 수납 용기에 기판이 수납되어 있는 경우와 수납되어 있지 않은 경우와의 거리계에 의해 검출되는 검출값의 차이를 크게 할 수 있다. 따라서, 존부 판별부에 의한 수납 용기 내에 기판이 존재하고 있는 것의 판별을 확실하게 행할 수 있다.

본 발명에 관한 기판 검출 장치의 실시형태에 있어서는, 상기 반송 자세가, 상기 수납 용기에 수납되어 있는 기판을, 하방측을 향함에 따라 상기 반송 방향의 상기 단부측을 향하도록 경사지게 하는 경사 자세인 것이 바람직하다.

상기한 구성에 의하면, 반송 장치를, 수납 용기에 수납되어 있는 기판을 하방측을 향함에 따라 반송 방향의 단부측을 향하도록 경사지게 하는 경사 자세로 수납 용기를 탑재 반송하도록 구성함으로써, 기판을 상하 방향을 따르게 할 수 있는 연직(鉛直) 자세로 수납 용기를 탑재 반송하는 것에 비하여, 기판 수납 영역과 다른 물품과의 투사 방향에서의 간격을 더욱 넓게 할 수 있다. 그러므로, 존부 판별부에 의한 수납 용기 내에 기판이 존재하고 있는 것의 판별을 더욱 확실하게 행할 수 있다.

본 발명에 관한 기판 검출 장치의 실시형태에 있어서는, 상기 기판이, 반도체 웨이퍼이며, 상기 거리계가, 레이저광을 투광하고 또한 대상물에 의해 반사된 레이저광을 수광하여 대상물까지의 거리를 검출하는 레이저식으로 구성되어 있는 것이 바람직하다.

상기한 구성에 의하면, 거리계가 레이저식으로 구성되어 있으므로, 코히렌스(coherence)가 높아, 반도체 웨이퍼의 표면의 색, 모양, 광택의 영향을 받지 않으므로, 반도체 웨이퍼까지의 거리를 적절히 검출하기 용이하다.

도 1은 기판 수납 설비의 일부 절결 측면도이다.
도 2는 기판 검출 장치의 사시도이다.
도 3은 레이저광의 투광 상태를 나타낸 측면도이다.
도 4는 레이저광의 투광 상태를 나타낸 측면도이다.
도 5는 레이저광의 투광 상태를 나타낸 측면도이다.
도 6은 제어 블록도이다.
도 7은 플로우차트이다.

본 발명의 기판 검출 장치의 실시형태에 대하여, 기판 검출 장치를 기판 수납 설비에 구비한 경우의 실시형태를 도면을 참조하여 설명한다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 기판 수납 설비는, 기판 수납용의 수납 용기 C를 수납하는 스토커(3)와, 상기 스토커(3)의 내부와 외부와의 사이에 걸쳐 수납 용기 C를 탑재 반송하는 반송 장치(1)가 설치되어 있다. 그리고, 기판 수납 설비는, 청정실 내에 설치되어 있고, 스토커(3)에는, 기판 W가 수납된 수납 용기 C가 수납되어 있다.

그리고, 수납 용기 C를 스토커(3)에 수납하는 경우에는, 작업자가 수납 용기 C를 반송 장치(1)의 작업자용 이송탑재 개소 P에 탑재하고, 반송 장치(1)에 의해 작업자용 이송탑재 개소 P로부터 스토커 내 이송탑재 개소 Q까지 탑재 반송하고, 창고 내 이송탑재 장치(4)에 의해 스토커 내 이송탑재 개소 Q에 위치하는 수납 용기 C를 스토커(3)의 수납부(도시하지 않음)에 수납하도록 구성되어 있다.

또한, 수납 용기 C를 스토커(3)로부터 인출하는 경우에는, 수납부에 수납되어 있는 수납 용기 C를 창고 내 이송탑재 장치(4)에 의해 스토커 내 이송탑재 개소 Q로 인출하고, 반송 장치(1)에 의해 스토커 내 이송탑재 개소 Q로부터 작업자용 이송탑재 개소 P까지 탑재 반송하고, 작업자용 이송탑재 개소 P에 위치하는 수납 용기 C를 작업자가 반송 장치(1)로부터 내려놓도록 구성되어 있다.

그리고, 작업자용 이송탑재 개소 P는, 반송 장치(1)의 반송 경로에서의 스토커(3)의 외부에 위치하는 개소에 설정되어 있고, 스토커 내 이송탑재 개소 Q는, 반송 장치(1)의 반송 경로에서의 스토커(3)의 내부에 위치하는 개소에 설정되어 있다.

〔수납 용기〕

도 2 ~ 도 5에 나타낸 바와 같이, 수납 용기 C에는, 반도체 웨이퍼인 원판 형상의 기판 W를 유지하는 슬릿(6)이 상하 방향을 따라 형성되어 있고, 그 슬릿(6)이 수평 방향으로 복수 형성되어 있다. 그리고, 수납 용기 C의 상부에는, 기판 W를 출입시키기 위해 삽탈구(7)가 형성되어 있다.

수납 용기 C는, 기판 W를 삽탈구(7)로부터 세로 자세로 삽입하여 슬릿(6)에 위쪽으로부터 꽂고, 복수의 슬릿(6)의 각각에 기판 W를 유지시킴으로써, 수납 용기 C의 기판 수납 영역 S에 복수의 기판 W를 용기 전후 방향을 따라 적층 상태로 수납할 수 있도록 되어 있다. 그리고, 용기 전후 방향은 기판 W의 기판 적층 방향과 같은 방향으로 되어 있다.

또한, 수납 용기 C의 하부에는, 수납 용기 C 내를 상하 방향으로 공기가 통류 가능하도록 개구부(8)가 형성되어 있다. 이 개구부(8)는, 용기 전후 방향에서 볼 때 수납된 기판 W와 일부 중복되는 상태로 형성되어 있고, 용기 전후 방향에서 볼 때 기판 W의 하단부가 육안으로 볼 수 있도록 구성되어 있다. 수납 용기 C의 전면(前面)에는, 수납 용기 C의 고유 정보를 나타내는 바코드 B가 첨부되어 있다. 그리고, 수납 용기 C는, 삽탈구(7) 및 개구부(8)가 상시 개방되어 있고, 오픈 카세트로 구성되어 있다.

〔반송 장치〕

반송 장치(1)는, 작업자용 이송탑재 개소 P에 위치하는 수납 용기 C를 탑재 지지하는 검사용 탑재대(1P), 스토커 내 이송탑재 개소 Q에 위치하는 수납 용기 C를 탑재 지지하는 스토커 내 탑재대(1Q), 및 작업자용 이송탑재 개소 P와 스토커 내 이송탑재 개소 Q와의 사이에서 수납 용기 C를 탑재 반송하는 반송 대차(臺車)(19)를 구비하여 구성되어 있다.

반송 대차(19)는, 수평 방향을 따라 주행 가능한 주행체(23)와, 그 주행체(23)에 승강 가능하게 지지된 탑재대(20)를 구비하여 구성되어 있다.

또한, 반송 방향은, 반송 장치(1)에 의해 수납 용기 C가 반송되는 방향, 특히, 주행체(23)가 주행 이동함으로써 수납 용기 C가 이동하는 방향이며, 도 1 및 도 2에 있어서 화살표 X로 나타내고 있다. 또한, 반송 방향의 상류측 및 하류측은, 수납 용기 C를 스토커(3)에 수납할 때의 수납 용기 C의 반송 방향을 따라, 작업자용 이송탑재 개소 P가 위치하는 측(도 1에서의 우측)을 상류측, 스토커 내 이송탑재 개소 Q가 위치하는 측(도 1에서의 좌측)을 하류측으로 하고 있다.

그리고, 반송 장치(1)에 의해 반송되는 수납 용기 C의 이동 범위 K의 상류측 단부에 작업자용 이송탑재 개소 P가 설정되고, 반송 장치(1)에 의해 반송되는 수납 용기 C의 이동 범위 K의 하류측 단부에 스토커 내 이송탑재 개소 Q로 설정되어 있다. 그리고, 상류측 단부가, 본 발명의 수납 용기의 이동 범위의 단부에 상당한다.

반송 장치(1)는, 수납 용기 C를 작업자용 이송탑재 개소 P로부터 스토커 내 이송탑재 개소 Q로 반송하는 경우, 주행체(23)가 작업자용 이송탑재 개소 P에 위치하는 수납 용기 C의 바로 아래에 위치하는 상태로 탑재대(20)를 상승 이동시켜 수납 용기 C를 검사용 탑재대(1P)로부터 들어올린다. 그 후, 주행체(23)를 스토커 내 이송탑재 개소 Q의 바로 아래 개소까지 주행 이동시켜 수납 용기 C를 반송 방향을 따라 이동시키고, 탑재대(20)를 하강 이동시켜 수납 용기 C를 스토커 내 탑재대(1Q)에 내려, 수납 용기 C를 반송하도록 구성되어 있다.

또한, 수납 용기 C를 스토커 내 이송탑재 개소 Q로부터 작업자용 이송탑재 개소 P로 반송하는 경우에는, 수납 용기 C를 작업자용 이송탑재 개소 P로부터 스토커 내 이송탑재 개소 Q로 반송할 때와는 반대로 반송 장치(1)를 작동시킴으로써, 수납 용기 C를 반송하도록 구성되어 있다.

검사용 탑재대(1P), 스토커 내 탑재대(1Q) 및 반송 장치(1)의 탑재대(20)의 각각은, 수납 용기 C를 기판 수납 영역 S의 기판 적층 방향이 반송 방향의 성분을 가지는 반송 자세(예를 들면, 기판 수납 영역 S의 기판 적층 방향이 반송 방향을 따른 반송 자세)로 탑재 지지하도록 구성되어 있다. 그러므로, 반송 장치(1)에 의해 반송되는 수납 용기 C는, 그 기판 수납 영역 S의 기판 적층 방향이 반송 방향의 성분을 가지는 반송 자세로 되어 있고, 반송 장치(1)가 수납 용기 C를 반송 자세로 반송 방향을 따라 탑재 반송하도록 구성되어 있다.

또한, 검사용 탑재대(1P), 스토커 내 탑재대(1Q) 및 반송 장치(1)의 탑재대(20)는, 수납 용기 C에 수납되어 있는 기판 W를 하방측을 향함에 따라 반송 방향의 상류측을 향하도록 경사지게 하는 경사 자세로 수납 용기 C를 탑재 지지하도록 구성되어 있다. 즉, 반송 장치(1)는, 수납 용기 C를 경사 자세로 탑재 반송하도록 구성되어 있다.

그리고, 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 반송 장치(1)에 의해 반송할 때 수납 용기 C가 지나는 영역을 이동 범위 K로 하고 있다.

〔기판 검출 장치〕

기판 수납 설비는, 기판 검출 장치(10)를 구비하고 있다. 또한, 기판 검출 장치(10)는, 수납 용기 C에 형성되어 있는 개구부(8)를 향해 검출파를 투사했을 때의 검출 상태가 기판 W의 존부에 따라 변화하는 검출부(11)를 구비하고 있다.

그리고, 이동 범위 K의 상류측 단부가, 기판 검출 장치(10)에 의해 기판 W의 존부를 검출하는 검사 개소에 설정되어 있고, 작업자용 이송탑재 개소 P가 검사 개소로 되어 있다. 그리고, 기판 수납 설비는, 반송 장치(1)와 검출부(11)[거리계(12)]와 후술하는 존부 판별부 h를 구비하여 구성되어 있다.

검출부(11)는, 수납 용기 C에 형성되어 있는 개구부(8)를 향해 레이저광을 투광하고 또한 대상물에 의해 반사된 레이저광을 수광하여 대상물까지의 거리를 검출하는 레이저식의 거리계(12)에 의해 구성되어 있다.

이 거리계(12)는, 이동 범위 K의 상류측 단부보다 상류측에 설치되어 있고, 이동 범위 K의 상류측 단부에 위치하는 수납 용기 C의 개구부(8)를 향해 레이저광을 투광하여 그 투광한 레이저광이 기판 수납 영역 S를 기판 W의 면 방향과 교차하는 방향으로 진행하도록 설치되어 있다.

또한, 거리계(12)는, 반송 방향의 하류측을 향해 경사 위쪽을 향해 투광하고, 기판 적층 방향에 대하여 경사지는 방향으로 레이저광을 투광하도록 설치되어 있다.

그리고, 도 3에 나타낸 바와 같이, 거리계(12)가 기판 수납 영역 S를 기판 W의 면 방향과 교차하는 방향으로 진행하도록 레이저광을 투광하고 있으므로, 기판 수납 영역 S에 기판 W가 수납되어 있는 경우에는, 그 수납되어 있는 기판 W(복수 개 수납되어 있는 경우에는 가장 반송 방향 상류측에 위치하는 기판 W)에 레이저광이 투광된다. 또한, 거리계(12)가 반송 방향의 하류측을 향해 경사 위쪽을 향해 레이저광을 투광하고 있으므로, 수납 용기 C에 기판 W가 전혀 수납되어 있지 않은 경우라도, 거리계(12)로부터 투광된 레이저광이 수납 용기 C를 통과하지 않고, 수납 용기 C의 내면에 투사되도록 되어 있다.

그러므로, 도 4에 나타낸 바와 같이, 수납 용기 C에 구비되어 있는 슬릿(6)의 모두에 기판 W가 유지되어 있는 충만 상태에서는, 거리계(12)에 의해 거리 L1에 상당하는 검출값이 검출된다. 또한, 도 5에 나타낸 바와 같이, 수납 용기 C에 구비되어 있는 슬릿(6) 중 가장 반송 방향 하류측에 위치하는 슬릿(6)에만 기판 W가 유지되어 있는 경우에는, 거리계(12)에 의해 거리 L2에 상당하는 검출값이 검출된다. 또한, 도 3에 나타낸 바와 같이, 수납 용기 C에 기판 W가 전혀 수납되어 있지 않은 빈 상태에서는, 거리계(12)에 의해 거리 L3에 상당하는 검출값이 검출된다.

〔제어 장치〕

기판 수납 설비에는, 반송 장치(1) 및 창고 내 이송탑재 장치(4)의 작동을 제어하는 제어 장치 H가 설치되어 있고, 이 제어 장치 H에는, 거리계(12)의 검출값이 입력되어 있다. 그리고, 제어 장치 H에는, 거리계(12)의 검출값이, 검사 개소에 위치하는 수납 용기 C의 기판 수납 영역 S에 수납되어 있는 기판 W까지의 거리의 범위로서 미리 설정되어 있는 설정 범위 내의 값인 경우에, 수납 용기 C 내에 기판 W가 존재하고 있는 것으로 판별하는 존부 판별부 h가, 프로그램 형식으로 구비되어 있다.

미리 설정되어 있는 설정 범위로서는, 거리 L1에 상당하는 검출값으로부터 거리 L2에 상당하는 검출값까지의 범위보다 허용 범위만큼 넓은 범위가 설정되어 있고, 또한 거리 L3에 상당하는 검출값이 포함되지 않은 범위가 설정되어 있다.

그러므로, 도 4에 나타낸 바와 같이, 수납 용기 C가 모든 슬릿(6)에 기판 W가 수납되어 있는 가득찬 상태이며, 거리계(12)에 의해 거리 L1에 상당하는 검출값이 검출되어 있는 경우에는, 거리계(12)의 검출값이 설정 범위 내의 값이므로, 존부 판별부 h에 의해, 수납 용기 C 내에 기판 W가 존재하고 있는 것으로 판별된다.

또한, 도 5에 나타낸 바와 같이, 수납 용기 C의 가장 반송 방향의 하류측에 위치하는 슬릿(6)에만 기판 W가 유지되어 있고, 거리계(12)에 의해 거리 L2에 상당하는 검출값이 검출되어 있는 경우라도, 거리계(12)의 검출값이 설정 범위 내의 값이므로, 존부 판별부 h에 의해, 수납 용기 C 내에 기판 W가 존재하고 있는 것으로 판별된다.

그리고, 도 3에 나타낸 바와 같이, 수납 용기 C가 빈 상태이며, 거리계(12)에 의해 거리 L3에 상당하는 검출값이 검출되어 있는 경우에는, 거리계(12)의 검출값이 설정 범위 밖의 값이므로, 존부 판별부 h에 의해, 수납 용기 C 내에 기판 W가 존재하고 있지 않은 것으로 판별된다.

도 6에 나타낸 바와 같이, 기판 수납 설비에는, 반송 장치(1)의 검사용 탑재대(1P)에 수납 용기 C를 탑재하여 상기 수납 용기 C를 스토커(3)에 수납할 때 작업자가 가압하여 조작하는 투입 스위치(14)와, 검사용 탑재대(1P) 상에 수납 용기 C가 존재하고 있는지의 여부를 검출하는 용기 존부 센서(15)와, 검사용 탑재대(1P) 상에 위치하고 있는 수납 용기 C에 첨부되어 있는 바코드 B를 판독하는 바코드 리더(16)와, 이상(異常)이 생겼을 때 표시하게 하는 표시등(17)이 설치되어 있다. 그리고, 투입 스위치(14)의 조작 신호, 용기 존부 센서(15)의 검출 정보, 및 바코드 리더(16)의 검출 정보가 제어 장치 H에 입력되고, 제어 장치 H가, 용기 존부 센서(15)의 검출 정보 및 거리계(12)의 검출 정보에 기초하여, 표시등(17)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다.

다음에, 수납 용기 C를 스토커(3)에 수납하는 경우에서의 제어 장치 H의 제어에 대하여, 도 7에 나타낸 플로우차트에 기초하여 설명한다.

작업자에 의해 투입 스위치(14)가 조작되면, 용기 존부 센서(15)로부터의 검출 정보에 기초하여, 작업자용 이송탑재 개소 P(검사 개소)에 수납 용기 C가 존재하고 있는지의 여부를 판별하고, 거리계(12)의 검출값에 기초하여, 수납 용기 C 내에 기판 W가 존재하고 있는지의 여부를 판별한다.

그리고, 작업자용 이송탑재 개소 P(검사 개소)에 수납 용기 C가 존재하고, 또한 수납 용기 C 내에 기판 W가 존재하고 있는 것으로 판별한 경우에는, 바코드 리더(16)에 의해 바코드 B를 판독하고, 스토커(3)에서의 수납 위치 등을 나타내는 수납 정보와 수납 용기 C의 고유 정보를 조건부 상태로 기억하고 또한 수납 용기 C를 수납부에 수납하기 위해 반송 장치(1) 및 창고 내 이송탑재 장치(4)의 작동을 제어하는 입고 처리가 실행된다.

그리고, 작업자용 이송탑재 개소 P(검사 개소)에 수납 용기 C가 존재하고 있지 않거나, 또는 수납 용기 C 내에 기판 W가 존재하고 있지 않은 것으로 판별한 경우에는, 표시등(17)의 표시 상태를 이상을 나타내는 상태로 하기 위해 표시등(17)의 작동을 제어하는 이상 처리가 실행된다.

스토커(3)에 기판 W가 수납된 수납 용기 C를 수납하는 경우, 작업자는 기판 W가 수납된 수납 용기 C를 작업자용 이송탑재 개소 P에 탑재하는 것으로 되지만, 잘못하여 기판 W가 수납되어 있지 않은 빈 상태의 수납 용기 C를 작업자용 이송탑재 개소 P에 탑재하여 버리는 경우가 있다. 이와 같은 경우라도, 표시등(17)이 이상을 나타내는 표시 상태로 됨으로써 작업자가 잘못하여 작업자용 이송탑재 개소 P에 빈 상태의 수납 용기 C를 탑재한 것을 알아챌 수 있고, 또한 빈 상태의 수납 용기 C가 스토커(3)에 수납되는 것을 방지할 수 있다.

〔다른 실시형태〕

(1) 상기 실시형태에서는, 거리계(12)를, 기판 W의 적층 방향에 대하여 경사지는 방향으로 검출파를 투사하도록 설치하였으나, 거리계(12)를, 기판 W의 적층 방향에 대하여 평행하게 되는 방향으로 검출파를 투사하도록 설치해도 된다.

(2) 상기 실시형태에서는, 반송 장치(1)가, 수납 용기 C에 수납되어 있는 기판 W를 하방측을 향함에 따라 반송 방향의 상류측을 향하도록 경사지게 하는 경사 자세로 수납 용기 C를 탑재 반송하도록 구성하였다. 그러나, 반송 장치(1)가, 수납 용기 C에 수납되어 있는 기판 W를 하방측을 향함에 따라 반송 방향의 하류측을 향하도록 경사지게 하는 경사 자세, 또는 수납 용기 C에 수납되어 있는 기판 W를 상하 방향을 따르게 할 수 있는 연직 자세로 수납 용기 C를 탑재 반송하도록 구성해도 된다.

(3) 상기 실시형태에서는, 설정 범위로서, 기판 수납 영역 S에 수납되어 있는 복수의 기판 W의 모두를 포괄하는 범위를 설정하여, 거리계(12)의 검출값이 설정 범위 내인 경우에, 수납 용기 C 내에 1매 이상의 기판 W가 존재하고 있는 것으로 판별하도록 구성하였다. 그러나, 설정 범위로서, 기판 수납 영역 S에 수납되어 있는 복수의 기판 W의 각각에 대응하는 범위를 설정하여, 거리계(12)의 검출값이 설정 범위 내인 경우에, 수납 용기 C에서의 검출값이 속하는 범위에 대응하는 유지부[슬릿(6)]에 기판 W가 존재하고 있는 것으로 판별하도록 구성해도 된다.

구체적으로는, 예를 들면, 도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 거리계(12)에 의해 거리 L1에 상당하는 검출값이 검출되어 있는 경우에는, 수납 용기 C 내의 가장 상류측의 유지부에 기판 W가 존재하고 있는 것으로 판별하고, 거리계(12)에 의해 거리 L2에 상당하는 검출값이 검출되고 있는 경우에는, 수납 용기 C 내의 가장 하류측의 유지부에 기판 W가 존재하고 있는 것으로 판별하도록 구성해도 된다.

(4) 상기 실시형태에서는, 검출부(11)를, 레이저식의 거리계(12)에 의해 구성하였지만, 검출부(11)를, 음파식 등의 거리계(12)에 의해 구성해도 된다.

또한, 상기 실시형태에서는, 기판 W로서, 반도체 웨이퍼를 수납 용기 C에 수납했지만, 유리 기판 등의 다른 기판을 수납 용기 C에 수납해도 된다.

(5) 상기 실시형태에서는, 존부 판별부 h에 의해 수납 용기 C 내에 기판 W가 존재하고 있는 것으로 판별한 경우에, 수납 용기 C를 수납부에 수납하기 위해 반송 장치(1) 및 창고 내 이송탑재 장치(4)의 작동을 제어하는 입고 처리를 실행하여, 스토커(3)에 기판 W가 수납된 수납 용기 C를 수납하도록 했지만, 존부 판별부 h에 의해 수납 용기 C 내에 기판 W가 존재하고 있지 않은 것으로 판별한 경우에, 수납 용기 C를 수납부에 수납하기 위해 반송 장치(1) 및 창고 내 이송탑재 장치(4)의 작동을 제어하는 입고 처리를 실행하여, 스토커(3)에 빈 상태의 수납 용기 C를 수납하도록 해도 된다.

1: 반송 장치
8: 개구부
11: 검출부
12 거리계
C: 수납 용기
K: 이동 범위
P: 검사 개소
S: 기판 수납 영역
W: 기판(반도체 웨이퍼)

Claims

복수의 기판이 적층 상태로 수납되는 기판 수납 영역을 구비하는 수납 용기 내의, 기판을 검출하는 기판 검출 장치로서,
상기 수납 용기에 형성되어 있는 개구부를 향해 검출파를 투사했을 때의 검출 상태가, 상기 기판의 존부(存否)에 따라 변화하는 검출부;
상기 기판 수납 영역의 기판 적층 방향이 반송(搬送) 방향의 성분을 가지는 반송 자세로, 상기 수납 용기를 수평 방향으로 탑재 반송하는 반송 장치;
상기 수납 용기 내에 상기 기판이 존재하고 있는지의 여부를 판별하는 존부 판별부;
를 포함하고,
상기 검출부가, 대상물로부터 반사된 상기 검출파를 수신하여 대상물까지의 거리를 검출하는 거리계를 사용하여 구성되며,
상기 반송 장치에 의해 반송되는 상기 수납 용기의 이동 범위의 단부(端部)에 검사 개소가 설정되고,
상기 거리계가, 상기 이동 범위의 상기 단부보다 상기 반송 방향의 외측에 설치되어 있는 동시에, 상기 검출파가 상기 기판 수납 영역을 기판의 면 방향과 교차하는 방향으로 진행하도록, 상기 검사 개소에 위치하는 상기 수납 용기의 상기 개구부를 향해 상기 검출파를 투사하도록 구성되어 있고, 또한,
상기 거리계가, 상기 수납 용기에 기판이 수납되어 있는 경우는, 수납되어 있는 상기 기판에 상기 검출파가 투사되고, 상기 수납 용기에 기판이 수납되어 있지 않는 경우는, 상기 검출파가 상기 수납 용기의 내면에 투사되도록 설치되고,
상기 거리계의 검출값이, 상기 검사 개소에 위치하는 상기 수납 용기에 수납되어 있는 기판까지의 거리의 범위로서 미리 설정되어 있는 설정 범위 내의 값인 경우에, 상기 존부 판별부가 상기 수납 용기 내에 기판이 존재하고 있는 것으로 판별하는,
기판 검출 장치.
제1항에 있어서,
상기 거리계가, 상기 기판 적층 방향에 대하여 경사지는 방향으로 검출파를 투사하도록 설치되어 있는, 기판 검출 장치.
제2항에 있어서,
상기 반송 자세가, 상기 수납 용기에 수납되어 있는 기판을, 하방측을 향함에 따라 상기 반송 방향의 상기 단부측을 향하도록 경사지게 하는 경사 자세인, 기판 검출 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서.
상기 기판이, 반도체 웨이퍼이며,
상기 거리계가, 레이저광을 투광하고 또한 대상물에 의해 반사된 레이저광을 수광하여 대상물까지의 거리를 검출하는 레이저식으로 구성되어 있는, 기판 검출 장치.