KR102047414B1 - Apparatus for inspecting glass - Google Patents
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Abstract
본원발명은 글라스 검사장치에 관한 것으로서, 유기발광 층이 형성된 복수 개의 기판이 구획되어 있는 글라스를 내부에 수용하는 글라스 수용부와, 상기 글라스 수용부의 내부에 배치되고, 상기 글라스가 안착되는 글라스 안착부와, 상기 글라스 안착부의 상부에 배치되고, 상기 글라스로 전원을 공급하는 전원 공급부 및 상기 글라스 수용부의 일측면과 대향하도록 상기 글라스 수용부의 외부에 배치되는 글라스 검사부를 포함하고, 상기 글라스 검사부와 대향하는 상기 글라스 수용부의 일측면은 상기 글라스의 일측면이 노출되도록 투명 윈도우로 형성되는 것을 특징으로 한다. The present invention relates to a glass inspection apparatus, comprising a glass accommodating portion accommodating a glass in which a plurality of substrates on which an organic light emitting layer is formed is partitioned, and a glass seating portion disposed in the glass accommodating portion and seated therein. And a glass inspection unit disposed above the glass seating unit, the power supply unit for supplying power to the glass, and a glass inspection unit disposed outside the glass receiving unit so as to face one side of the glass receiving unit, and facing the glass inspection unit. One side of the glass receiving portion is characterized in that the transparent window is formed so that one side of the glass is exposed.
Description
본원발명은 글라스 검사장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a glass inspection device.
현재 정보화 기술이 발달함에 따라 사용자와 정보간의 연결 매체인 표시장치의 시장이 커지고 있다. 이에 따라, 유기전계발광표시장치(Organic Light Emitting Display: OLED), 전기영동표시장치(Electro Phoretic Display; EPD), 액정표시장치(Liquid Crystal Display: LCD) 및 플라즈마표시장치(Plasma Display Panel: PDP) 등과 같은 표시장치의 사용이 증가하고 있다.With the development of information technology, the market for a display device, which is a connection medium between a user and information, is growing. Accordingly, organic light emitting display (OLED), electrophoretic display (EPD), liquid crystal display (LCD) and plasma display panel (PDP) The use of display devices such as these is increasing.
앞서 설명된 표시장치 중 유기전계발광표시장치(OLED)는 진공이 형성된 챔버 내부에 글라스가 수용되어 유기발광 층의 증착 공정이 진행되는데 이때 상기 증착 공정이 수행되는 증착 공정 중에는 상기 글라스의 증착 불량을 모니터링 할 수 없는 문제점이 있다.
Among the display devices described above, the organic light emitting display device (OLED) is accommodated in a chamber in which a vacuum is formed, and thus the deposition process of the organic light emitting layer is performed. In this case, the deposition failure of the glass is prevented during the deposition process. There is a problem that cannot be monitored.
본원발명은 상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결하고자 창출된 것으로서, 본원발명의 목적은 유기발광 층의 증착 공정이 진행 중인 글라스 또는 증착 공정이 완료된 글라스를 수용하는 글라스 수용부의 일측면이 투명 윈도우로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 글라스 검사장치를 제공하기 위한 것이다.
The present invention was created to solve the problems of the prior art as described above, and an object of the present invention is to provide a transparent window on one side of a glass accommodating part for accommodating the glass in which the deposition process of the organic light emitting layer is in progress or the glass in which the deposition process is completed. It is to provide a glass inspection device, characterized in that formed.
본원발명은 글라스 검사장치에 관한 것으로서, 유기발광 층이 형성된 복수 개의 기판이 구획되어 있는 글라스를 내부에 수용하는 글라스 수용부와, 상기 글라스 수용부의 내부에 배치되고, 상기 글라스가 안착되는 글라스 안착부와, 상기 글라스 안착부의 상부에 배치되고, 상기 글라스로 전원을 공급하는 전원 공급부 및 상기 글라스 수용부의 일측면과 대향하도록 상기 글라스 수용부의 외부에 배치되는 글라스 검사부를 포함하고, 상기 글라스 검사부와 대향하는 상기 글라스 수용부의 일측면은 상기 글라스의 일측면이 노출되도록 투명 윈도우로 형성되는 것을 특징으로 한다. The present invention relates to a glass inspection apparatus, comprising a glass accommodating portion accommodating a glass in which a plurality of substrates on which an organic light emitting layer is formed is disposed, and a glass seating portion disposed in the glass accommodating portion and seated therein. And a glass inspection unit disposed on an upper portion of the glass seating unit, a power supply unit for supplying power to the glass, and a glass inspection unit disposed outside the glass receiving unit so as to face one side of the glass receiving unit, and facing the glass inspection unit. One side of the glass receiving portion is characterized in that the transparent window is formed so that one side of the glass is exposed.
또한, 상기 투명 윈도우는 강화 글라스 또는 아크릴 또는 석영 글라스(Quartz) 또는 파이렉스(Pyrex) 중 어느 하나의 재질로 이루어지는 것을 특징으로 한다. The transparent window may be made of any one of tempered glass, acrylic, quartz glass (Quartz), or Pyrex.
또한, 상기 글라스 검사부는 상기 글라스의 암점과 휘점 및 상기 글라스의 색좌표와 휘도를 검사하기 위한 카메라 검사부와, 상기 카메라 검사부를 이송시키기 위한 이송부 및 상기 카메라 검사부 및 이송부를 지지하기 위한 지지부를 포함하는 것을 특징으로 한다. The glass inspection unit may include a camera inspection unit for inspecting dark spots and bright spots of the glass and color coordinates and luminance of the glass, a transfer unit for transferring the camera inspection unit, and a support unit for supporting the camera inspection unit and the transfer unit. It features.
또한, 상기 카메라 검사부는 상기 글라스의 일측면을 촬영하여 상기 글라스의 암점과 휘점를 검사하기 위한 복 수개의 카메라로 구성되는 제1 카메라부 및 상기 제1 카메라부의 일측면을 따라 이동 가능하게 결합되고, 상기 글라스의 색좌표와 휘도를 검사하기 위한 제2 카메라부를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the camera inspecting unit is movably coupled along one side of the first camera unit and a plurality of cameras composed of a plurality of cameras for photographing one side of the glass to examine the dark and bright spots of the glass And a second camera unit for inspecting color coordinates and luminance of the glass.
또한, 상기 이송부는 상기 글라스의 일측면과 수평한 방향으로 상기 카메라 검사부를 이송시키기 위한 제1 이송수단을 포함하는 것을 특징으로 한다. In addition, the transfer unit is characterized in that it comprises a first transfer means for transferring the camera inspection unit in a direction horizontal to one side of the glass.
또한, 상기 이송부는 상기 글라스의 일측면과 수직한 방향으로 상기 카메라 검사부를 이송시키기 위한 제2 이송수단을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.The transfer unit may further include second transfer means for transferring the camera inspection unit in a direction perpendicular to one side of the glass.
또한, 상기 지지부는 상기 글라스의 일측면과 수평방향으로 이동하는 상기 이송부의 이동을 가이드하기 위한 가이드 레일을 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the support portion is characterized in that it comprises a guide rail for guiding the movement of the transfer portion to move in a horizontal direction with one side of the glass.
또한, 상기 글라스 안착부는 상기 글라스를 지지하기 위하여, 일정 간격 서로 이격되어 상기 글라스 수용부 내부에 배치되는 복수 개의 지지플레이트 및 일단은 상기 글라스 수용부의 하면과 결합하고, 타단은 각각의 상기 지지플레이트의 양 끝단과 고정결합하는 복수 개의 지지바를 포함하는 것을 특징으로 한다. In addition, the glass seating portion is spaced apart from each other to support the glass, a plurality of support plates disposed inside the glass receiving portion and one end is coupled to the lower surface of the glass receiving portion, the other end of each of the support plate It characterized in that it comprises a plurality of support bars fixedly coupled to both ends.
또한, 상기 글라스 안착부는 내부에 개구부가 형성되고, 상기 글라스의 외곽을 지지하기 위한 외곽 프레임으로 형성된 글라스 안착부재 및 상기 글라스 안착부재에 안착된 상기 글라스를 상기 전원공급부 방향으로 리프트 오프 시키는 승강부를 포함하고, 상기 외곽 프레임으로는 복수 개의 관통홀이 형성되는 것을 특징으로 한다. The glass seating part may include an opening formed therein, a glass seating member formed as an outer frame for supporting the outer edge of the glass, and a lifter configured to lift off the glass seated on the glass seating member toward the power supply. The outer frame may include a plurality of through holes.
또한, 상기 글라스 안착부재는 상기 개구부를 가로질러 상기 글라스의 일측면을 지지하기 위한 복수 개의 내부 프레임을 더 포함하고, 상기 내부 프레임으로는 복수 개의 관통홀이 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the glass seating member further comprises a plurality of inner frames for supporting one side of the glass across the opening, characterized in that the inner frame is formed with a plurality of through holes.
또한, 상기 지지플레이트와 상기 외곽 프레임 및 내부 프레임은 강화 글라스 또는 아크릴 또는 석영 글라스(Quartz) 또는 파이렉스(Pyrex) 중 어느 하나의 재질로 이루어지는 것을 특징으로 한다.The support plate, the outer frame and the inner frame may be made of any one of tempered glass or acrylic or quartz glass (Quartz) or Pyrex.
또한, 상기 승강부는 상기 글라스 안착부재와 대응되는 크기의 베이스 프레임 및 상기 베이스 프레임으로부터 상기 글라스 안착부재 방향으로 돌출 형성된 복수 개의 리프트 핀을 포함하고, 상기 리프트 핀은 상기 관통홀을 관통하여 상기 글라스를 상기 글라스 안착부재로부터 리프트 오프 시키는 것을 특징으로 한다. In addition, the lifting unit includes a base frame having a size corresponding to the glass seating member and a plurality of lift pins protruding from the base frame toward the glass seating member, wherein the lift pins penetrate the through-holes to provide the glass. Lift off from the glass seating member.
또한, 상기 리프트 핀은 탄성 재질로 이루어진 충격흡수 부재가 끝단에 형성되는 것을 특징으로 한다.
In addition, the lift pin is characterized in that the shock absorbing member made of an elastic material is formed at the end.
본원발명의 실시예에 따른 글라스 검사장치를 이용함으로써, 글라스 수용부의 내부에 수용된 글라스에 유기발광 층을 증착하는 증착 공정 중에도 글라스의 결함을 모니터링(monitoring) 할 수 있는 효과가 있다. By using the glass inspection apparatus according to the embodiment of the present invention, there is an effect that can monitor the defects of the glass even during the deposition process of depositing the organic light emitting layer on the glass accommodated in the glass receiving portion.
그리고, 유기발광 층의 증착 공정이 완료된 글라스를 글라스 수용부의 내부에 배치한 상태에서도 상기 글라스의 결함을 판정할 수 있기 때문에 상기 글라스를 외부 오염으로부터 방지할 수 있는 효과가 있다. In addition, since the defect of the glass can be determined even in a state in which the glass in which the deposition process of the organic light emitting layer is completed is disposed inside the glass accommodating part, the glass can be prevented from external contamination.
또한, 글라스 수용부의 외부에 준비된 별도의 검사 영역으로 상기 글라스를 이동시키지 않아도 상기 글라스의 결함을 상기 글라스 수용부의 내부에서도 판정할 수 있기 때문에, 제조공정에 소요되는 시간(tack time) 및 제조비용을 감소시킬 수 있는 효과가 있다.
In addition, since defects of the glass can be determined even inside the glass accommodating part without moving the glass to a separate inspection area prepared outside of the glass accommodating part, it is possible to reduce the tack time and manufacturing cost required for the manufacturing process. There is an effect that can be reduced.
도 1은 본원발명의 제1 실시예에 따른 글라스 검사장치의 단면도.
도 2는 본원발명의 제1 실시예에 따른 글라스 검사장치의 사시도.
도 3은 본원발명의 제1 실시예에 글라스 검사장치를 구성하는 투명 윈도우의 평면도.
도 4는 본원발명의 제2 실시예에 따른 글라스 검사장치의 단면도.
도 5는 본원발명의 제2 실시예에 따른 글라스 검사장치의 사시도.
도 6은 본원발명의 제2 실시예에 따른 승강부의 구동을 도시한 사시도. 1 is a cross-sectional view of a glass inspection device according to a first embodiment of the present invention.
2 is a perspective view of a glass inspection device according to a first embodiment of the present invention.
3 is a plan view of a transparent window constituting a glass inspection device in a first embodiment of the present invention;
4 is a cross-sectional view of a glass inspection device according to a second embodiment of the present invention.
5 is a perspective view of a glass inspection device according to a second embodiment of the present invention.
Figure 6 is a perspective view showing the drive of the lifting unit according to a second embodiment of the present invention.
본원발명의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되어지는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예로부터 더욱 명백해질 것이다. 본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. 또한, 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 또한, 본원발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본원발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다.The objects, specific advantages and novel features of the present invention will become more apparent from the following detailed description and preferred embodiments in conjunction with the accompanying drawings. In the present specification, in adding reference numerals to the components of each drawing, it should be noted that the same components as possible, even if displayed on different drawings have the same number as possible. In addition, terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. In addition, in describing the present invention, when it is determined that the detailed description of the related known technology may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본원발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본원발명의 제1 실시예에 따른 글라스 검사장치의 단면도이고, 도 2는 본원발명의 제1 실시예에 따른 글라스 검사장치의 사시도이다. 본원발명의 제1 실시예에 따른 글라스 검사장치(100)는 글라스 수용부(110), 글라스 안착부(120), 전원 공급부(130), 글라스 검사부(140)를 포함한다. 1 is a cross-sectional view of a glass inspection device according to a first embodiment of the present invention, Figure 2 is a perspective view of a glass inspection device according to a first embodiment of the present invention. The
그리고, 본원발명의 제1 실시예에 따른 상기 글라스 검사장치(100)를 구성하는 상기 글라스 수용부(110)의 내부의 구조를 좀더 명확히 하고자, 도 1에 도시되었던 상기 글라스 수용부(110)와 상기 전원 공급부(130)의 도시는 도 2에서는 생략하였다. And, in order to clarify the structure of the interior of the
보다 구체적으로, 상기 글라스 수용부(110)는 내부로 글라스(10)를 수용하고, 상기 글라스(10)에는 유기발광 층이 형성된 복수 개의 기판(미도시)이 구획되어 상기 글라스 수용부(110)의 내부에 수용된다.More specifically, the glass
또한, 상기 글라스(10)를 수용하는 상기 글라스 수용부(110)는 챔버 또는 글로버 박스(glove box)와 같은 형태이고, 내부가 진공 또는 질소(N2) 환경으로 이루어지는 것이 바람직하다.
In addition, the
도 3은 본원발명의 제1 실시예에 글라스 검사장치를 구성하는 투명 윈도우의 평면도로서, 본원발명의 기술적 특징인 투명 윈도우(111)가 도시되어 있다. 3 is a plan view of a transparent window constituting a glass inspection apparatus according to a first embodiment of the present invention, and a
보다 구체적으로, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이 상기 투명 윈도우(111)는 이후 기술할 상기 글라스 검사부(140)와 대향하는 상기 글라스 수용부(110)의 일측면에 형성되는 것이 바람직하다. More specifically, as shown in FIGS. 1 to 3, the
이로써, 상기 투명 윈도우(111)를 통하여 상기 글라스 수용부(110) 내부에 수용된 상기 글라스(10)의 일측면을 상기 글라스 검사부(140) 방향으로 노출하게 된다.As a result, one side surface of the
그리고, 상기 글라스 검사부(140)가 상기 글라스(10)의 일측면을 검사하기 용이하도록 상기 투명 윈도우(111)는 강화 글라스 또는 아크릴 또는 석영 글라스(Quartz) 또는 파이렉스(Pyrex) 중 어느 하나의 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. In addition, the
또한, 도 3a에 도시된 바와 같이 본원발명의 제1 실시예에 따른 상기 투명 윈도우(111)는 복수 개로 구성되거나 도 3b에 도시된 바와 같이 하나의 윈도우(111)로 구성될 수 있다.
In addition, as illustrated in FIG. 3A, the
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 글라스 안착부(120)는 상기 글라스 수용부(110)의 내부에 배치되고, 상기 글라스 안착부(120)의 상부에 상기 글라스(10)가 안착하게 된다. As shown in FIGS. 1 and 2, the
보다 구체적으로, 본원발명의 제1 실시예에 따른 상기 글라스 안착부(120)는 복수 개의 지지플레이트(121)와 복수 개의 지지바(122)를 포함한다. More specifically, the
즉, 상기 지지플레이트(121)는 상기 글라스(10)를 지지하기 위한 것으로서 일정 간격 서로 이격되어 상기 글라스 수용부(110) 내부에 배치되는 것이 바람직하다. That is, the
또한, 상기 지지바(122)는 상기 지지플레이트(121)를 지지하기 위한 것으로서 일단은 상기 글라스 수용부(110)의 하면과 결합하고, 타단은 상기 지지플레이트(121)의 양 끝단과 고정결합된다. In addition, the
그리고, 상기 지지플레이트(121)는 상기 투명 윈도우(111)과 동일한 재질인 강화 글라스 또는 아크릴 또는 석영 글라스(Quartz) 또는 파이렉스(Pyrex) 중 어느 하나의 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. In addition, the
보다 구체적으로, 상기 글라스 수용부(110) 내부에서 유기발광 층의 증착 공정이 수행되는 경우, 별도의 글라스 이송수단이 필요하지 않다. More specifically, when the deposition process of the organic light emitting layer is performed in the
이에 따라서, 본원발명의 실시예에 따른 글라스 검사장치(100)를 이용함으로써, 상기 글라스 수용부(110) 내부에 수용된 상기 글라스(10)에 유기발광 층을 증착하는 증착 공정 중에도 상기 글라스(10)의 결함을 모니터링(monitoring) 할 수 있는 효과가 있다. Accordingly, by using the
또한, 상기 글라스 수용부(110)와 연결된 별도의 또 다른 글라스 수용부 내에서 유기발광 층의 증착 공정이 수행되는 경우 상기 글라스(10)를 이송하기 위하여 복수 개의 핑거를 구비하는 로봇이 상기 글라스(10)를 이송하여 본원발명의 실시예에 따른 상기 글라스 안착부(120)에 안착시켜야 한다. In addition, when the deposition process of the organic light emitting layer is performed in another glass receiving unit connected to the
따라서, 상기 글라스 안착부(120)를 구성하는 상기 복수 개의 지지플레이트(121)는 상기 로봇의 핑거가 이동가능하게 수용되도록 일정 간격 이격되어 배치되는 것이 바람직하다.
Therefore, the plurality of
도 1에 도시된 바와 같이, 상기 전원 공급부(130)는 상기 글라스 안착부(120)의 상부에 배치되도록 상기 글라스 수용부(110) 내부에 구비된다. As shown in FIG. 1, the
보다 구체적으로, 상기 글라스(10)가 상기 글라스 안착부(120)에 안착되면 상기 전원 공급부(130)는 상기 글라스(10)에 형성된 전원공급 패드와 전기적으로 연결된다. More specifically, when the
그리고, 상기 전원 공급부(130)는 상기 글라스(10)에 전원을 공급하게 됨으로써 상기 글라스(10)에 증착된 복수 개의 유기발광 층은 자발광하게 된다. In addition, the
즉, 본원발명의 실시예에 따른 글라스 검사장치(100)는 유기발광 층이 형성된 상기 글라스(10)의 암점과 휘점 그리고 색좌표와 휘도를 동시에 모두 검사하기 위한 것이다. That is, the
이를 위해서 상기 글라스(10)의 유기발광 층의 자발광을 위해서는 외부 전원이 공급되어야 하는데 상기 글라스 검사장치(100)를 구성하는 상기 전원 공급부(130)를 통하여 상기 글라스(10)는 외부 전원을 인가받게 된다. To this end, an external power source must be supplied for self-emission of the organic light emitting layer of the
상기 글라스 검사부(140)는 상기 글라스 수용부(110)의 일측면에 형성된 상기 투명 윈도우(111)와 대향하도록 상기 글라스 수용부(110)의 외부에 배치되는 것이 바람직하다. The
보다 구체적으로, 상기 글라스 검사부(140)는 카메라 검사부(141), 이송부(142), 지지부(143)를 포함한다. More specifically, the
도 2에 도시된 바와 같이, 상기 카메라 검사부(141)는 상기 투명 윈도우(111) 방향으로 일측면이 노출된 상기 글라스(10)를 촬영하기 위한 것이다. As shown in FIG. 2, the
보다 구체적으로 상기 카메라 검사부(141)는 상기 글라스(10)의 암점과 휘점 및 상기 글라스(10)의 색좌표와 휘도를 모두 검사하기 위한 것으로서 제1 카메라부(141a)와 제2 카메라부(141b)로 구성될 수 있다. More specifically, the
즉, 상기 제1 카메라부(141a)는 상기 글라스(10)의 일측면을 촬영하여 상기 글라스(10)의 암점과 휘점을 검사하기 위한 것으로서 복 수개의 카메라로 구성될 수 있다. That is, the
또한, 상기 제2 카메라부(141b)는 상기 글라스(10)의 일측면을 촬영하여 상기 글라스(10)의 색좌표와 휘도를 검사한다. In addition, the
보다 구체적으로, 도 2에 도시된 바와 같이 상기 제2 카메라부(141b)는 복 수개의 카메라로 구성되는 상기 제1 카메라부(141a)와는 달리 하나의 카메라로 구성되어 상기 제1 카메라부(141a)의 일측면을 따라 이동 가능하게 결합 되는 것이 바람직하다. More specifically, as shown in FIG. 2, the
이에 따라서, 유기발광 층의 증착 공정이 완료된 상기 글라스(10)를 상기 글라스 수용부(110) 내부에 배치한 상태에서도 상기 글라스(10)의 결함을 판정할 수 있기 때문에 외부의 오염원으로부터 상기 글라스(10)가 오염되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다. Accordingly, the defect of the
또한, 상기 글라스 수용부(110) 외부에 준비된 별도의 검사 영역으로 상기 글라스(10)를 이동시키지 않아도 상기 글라스(10)의 결함을 상기 글라스 수용부(110) 내부에서도 판정할 수 있기 때문에, 제조공정에 소요되는 시간(tack time) 및 제조비용을 감소시킬 수 있는 효과가 있다.
In addition, since the defect of the
상기 이송부(142)는 상기 투명 윈도우(111) 방향으로 노출된 상기 글라스(10)의 일측면을 기준으로 상기 카메라 검사부(141)를 이동시키기 위한 것으로서, 제1 이송수단(미도시)과 제2 이송수단(미도시)으로 구성될 수 있다. The
보다 구체적으로, 상기 제1 이송수단(미도시)은 상기 글라스(10)의 일측면과 수평한 방향으로 상기 카메라 검사부(141)를 이송시키는 것이 바람직하다. More specifically, the first transfer means (not shown) preferably transfers the
이로써. 상기 제1 카메라부(141a) 및 제2 카메라부(141b)는 상기 글라스(10)의 일단으로부터 끝단까지 선형적으로 이동함으로써 상기 글라스(10)의 내에 구획되어 있는 복수 개의 기판을 검사하게 된다.By this. The
또한, 상기 글라스(10)의 일측면과 수직한 방향으로 상기 제1 카메라부(141a) 및 제2 카메라부(141b)를 이송시키는 제 2 이송수단(미도시)을 더 포함할 수 있다.In addition, it may further include a second transfer means (not shown) for transferring the
이로써, 상기 제1 카메라부(141a) 및 제2 카메라부(141b)는 상기 글라스(10)의 일측면에 근접하게 접근함으로써 상기 글라스(10)의 검사 및 측정 정확도가 향상될 수 있다.
As a result, the
상기 지지부(143)는 상기 카메라 검사부(141)와 상기 이송부(142)를 지지하기 위한 것으로서, 스테이지 또는 갠트리(gantry) 형상으로 이루어질 수 있으며 상기 이송부(142)의 이동을 가이드하기 위한 가이드 레일(143a)이 형성되는 것이 바람직하다.
The
도 4는 본원발명의 제2 실시예에 따른 글라스 검사장치의 단면도이고, 도 5는 본원발명의 제2 실시예에 따른 글라스 검사장치의 사시도이고, 도 6은 본원발명의 제2 실시예에 따른 승강부의 구동을 도시한 사시도이다. 4 is a cross-sectional view of a glass inspection device according to a second embodiment of the present invention, Figure 5 is a perspective view of a glass inspection device according to a second embodiment of the present invention, Figure 6 is a second embodiment of the present invention It is a perspective view which shows the drive of a lifting part.
그리고, 본원발명의 제2 실시예에 따른 상기 글라스 검사장치(200)를 구성하는 상기 글라스 수용부(110)의 내부의 구조를 좀더 명확히 하고자, 도 4에 도시되었던 상기 글라스 수용부(110)와 상기 전원 공급부(130)의 도시는 도 5에서는 생략하였다. And, in order to clarify the structure of the interior of the
본 실시예를 설명함에 있어 이전 실시예와 동일 또는 대응되는 구성요소에 대한 설명은 생략하기로 하며 동일한 도면부호를 기재하였다. 이하, 이를 참조하여 본 실시예에 따른 글라스 검사장치에 대해 설명하기로 한다.In the description of the present embodiment, the description of the same or corresponding components as the previous embodiment will be omitted and the same reference numerals will be described. Hereinafter, the glass inspection apparatus according to the present embodiment will be described with reference to this.
본원발명의 제2 실시예에 따른 글라스 검사장치(200)는 제1 실시예에 따른 글라스 검사장치(100)를 구성하는 상기 글라스 수용부(110)와 전원 공급부(130) 및 글라스 검사부(140)와 동일하고, 상기 글라스 안착부(120)에 있어서 기술적 구성의 차이가 있는 것을 특징으로 한다.The
보다 구체적으로, 본원발명의 제2 실시예에 따른 상기 글라스 검사장치(200)를 구성하는 글라스 안착부(220)는 글라스 안착부재(221) 및 승강부(227)를 포함한다.More specifically, the
상기 글라스(10)의 외곽을 지지하기 위하여 상기 글라스 안착부재(221)는 내부에 개구부가 형성된 사각 형상의 외곽 프레임(222)으로 이루어지는 것이 바람직하다.In order to support the outside of the
또한, 상기 외곽 프레임(222)에는 복 수개의 관통홀(224)이 형성될 수 있다. In addition, a plurality of through
그리고, 도 4 및 도 6에 도시되 바와 같이 상기 글라스 안착부재(221)는 상기 개구부를 가로질러 상기 글라스(10)의 일측면을 지지하기 위한 복수 개의 내부 프레임(225)을 더 포함할 수 있다. 4 and 6, the
또한, 상기 내부 프레임(225)에는 복수 개의 관통홀(226)이 형성될 수 있다. In addition, a plurality of through
이에 따라서, 상기 외곽 프레임(222) 및 내부 프레임(225)으로 복수 개의 관통홀(224, 226)이 형성됨으로써 후술할 상기 승강부(227)를 구성하는 복수 개의 리프트 핀(227b)이 상기 복수 개의 관통홀(224, 226)을 관통하여 상기 글라스 안착부재(221) 위로 돌출 형성될 수 있다. Accordingly, a plurality of through
또한, 상기 외곽 프레임(222)과 내부 프레임(225)은 앞서 설명한 상기 투명 윈도우(111)와 동일하게 투명 재질인 강화 글라스 또는 아크릴 또는 석영 글라스(Quartz) 또는 파이렉스(Pyrex) 중 어느 하나의 재질로 이루어질 수 있다. In addition, the
이에 따라서, 상기 글라스(10)가 상기 글라스 안착부재(221)의 상면에 안착되더라도 상기 글라스 안착부재(221)는 투명 재질로 이루어지기에 상기 카메라 검사부(141)가 상기 글라스(10)의 일측면을 촬영하는데 장애물이 되지 않기 때문에 보다 정확한 검사 및 측정을 할 수 있는 효과가 있다.
Accordingly, even when the
상기 승강부(227)는 상기 글라스 안착부재(221)에 안착된 상기 글라스(10)를 상기 전원 공급부(130) 방향으로 리프트 오프(lift off) 시킨다.The elevating
보다 구체적으로, 상기 승강부(227)는 베이스 프레임(227a), 복수 개의 리프트 핀(227b)을 포함한다.
More specifically, the
상기 베이스 프레임(227a)은 상기 글라스 안착부재(221)와 대응되는 크기로 형성되는 것이 바람직하다. The
또한, 복수 개의 리프트 핀(227b)은 상기 베이스 프레임(227a)으로부터 상기 글라스 안착부재(221)의 방향으로 돌출 형성되는 것이 바람직하다. In addition, it is preferable that the plurality of lift pins 227b protrude from the
그리고, 도 6에 도시된 바와 같이 상기 리프트 핀(227b)의 끝단은 상기 글라스(10)와 맞닿게 되기 때문에 상기 글라스(10)의 파손을 방지하기 위하여 탄성 재질로 형성되는 충격흡수 부재(228b)가 구비될 수 있다. 6, the end of the
보다 구체적으로, 상기 글라스 수용부(110)와 연결된 별도의 또 다른 글라스 수용부에서 유기발광 층의 증착 공정을 수행하는 경우, 복수 개의 핑거를 구비하는 로봇이 상기 글라스(10)를 상기 글라스 수용부(110)의 내부로 이송하게 된다. More specifically, when the deposition process of the organic light emitting layer is performed in another glass receiving unit connected to the
이때. 상기 글라스(10)를 상기 글라스 안착부재(221)에 바로 안착시킬 경우, 상기 글라스(10)가 파손될 수 있다.At this time. When the
따라서, 상기 글라스(10)가 얹혀진 로봇이 상기 글라스 수용부(110)내부로 진입하는 동안 상기 승강부(227)가 상기 글라스 안착부재(221) 방향으로 상승하게 된다. Therefore, the
이에 따라서, 도 6에 도시된 바와 같이 상기 승강부(227)를 구성하는 상기 복수 개의 리프트 핀(227b)은 상기 글라스 안착부재(221)에 형성된 상기 복수 개의 관통홀(224, 226)을 관통하게 되어 상기 글라스 안착부재(221) 위로 돌출된다. Accordingly, as illustrated in FIG. 6, the plurality of lift pins 227b constituting the
그 다음, 상기 로봇은 상기 글라스(10)를 상기 복수 개의 리프트 핀(227b)에 안착하게 된다. The robot then mounts the
그 다음, 상기 승강부(227)는 상기 글라스 안착부재(221)와 대향되는 방향으로 느린 속도로 하강하게 되고 이에 따라서 상기 글라스(10)는 상기 글라스 안착부재(221)에 안착하게 된다. Then, the
만약, 검사가 완료된 상기 글라스(10)를 상기 글라스 수용부(110)의 외부로 반출해야할 경우, 상기 승강부(227)는 상기 글라스 안착부재(221) 방향으로 상승하게 되고 이에 따라서 상기 글라스(10)를 상기 글라스 안착부재(221)로부터 리프트 오프 시키게 되며 상기 로봇이 상기 글라스(10)를 수거해 갈 수 있다.
If the inspection is to be carried out of the
이상 본원발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본원발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본원발명에 따른 글라스 검사장치는 이에 한정되지 않으며, 본원발명의 기술적 사상 내에서 당해 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함은 명백하다고 할 것이다.Although the present invention has been described in detail through specific examples, this is for explaining the present invention in detail, and the glass inspection apparatus according to the present invention is not limited thereto, and the general knowledge in the art within the technical spirit of the present invention. It is obvious that modifications and improvements are possible by those who have them.
본원발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본원발명의 영역에 속하는 것으로 본원발명의 구체적인 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의하여 명확해질 것이다.
All simple modifications and variations of the present invention fall within the scope of the present invention, and the specific scope of protection of the present invention will be apparent from the appended claims.
10: 글라스 100: 글라스 검사장치
110: 글라스 수용부 120: 글라스 안착부
130: 전원 공급부 140: 글라스 검사부10: glass 100: glass inspection device
110: glass receiving portion 120: glass seating portion
130: power supply unit 140: glass inspection unit
Claims (13)
상기 글라스 수용부의 내부에 배치되고, 상기 글라스가 안착되는 글라스 안착부;
상기 글라스 안착부의 상부에 배치되고, 상기 글라스로 전원을 공급하는 전원 공급부; 및
상기 글라스 수용부의 일측면과 대향하도록 상기 글라스 수용부의 외부에 배치되는 글라스 검사부를 포함하고,
상기 글라스 검사부와 대향하는 상기 글라스 수용부의 일측면은 상기 글라스의 일측면이 노출되도록 투명 윈도우로 형성되고,
상기 글라스 안착부는
상기 글라스를 지지하기 위하여, 일정 간격 서로 이격되어 상기 글라스 수용부 내부에 배치되는 복수 개의 지지플레이트; 및
일단은 상기 글라스 수용부의 하면과 결합하고, 타단은 각각의 상기 지지플레이트의 양 끝단과 고정결합하는 복수 개의 지지바를 포함하며,
상기 투명 윈도우와 상기 지지플레이트는 상기 글라스 검사부와 상기 글라스 사이에 배치된 글라스 검사장치.
A glass accommodating part accommodating a glass in which a plurality of substrates on which an organic light emitting layer is formed is partitioned;
A glass seating part disposed in the glass receiving part and in which the glass is seated;
A power supply unit disposed on the glass seating unit and supplying power to the glass; And
It includes a glass inspection unit disposed on the outside of the glass receiving portion to face one side of the glass receiving portion,
One side of the glass accommodating part facing the glass inspection part is formed as a transparent window so that one side of the glass is exposed,
The glass seating portion
In order to support the glass, a plurality of support plates spaced apart from each other by a predetermined interval disposed inside the glass receiving portion; And
One end is coupled to the lower surface of the glass receiving portion, the other end includes a plurality of support bars fixedly coupled to both ends of each of the support plate,
And the transparent window and the support plate are disposed between the glass inspecting portion and the glass.
상기 투명 윈도우는
강화 글라스 또는 아크릴 또는 석영 글라스(Quartz) 또는 파이렉스(Pyrex) 중 어느 하나의 재질로 이루어지는 글라스 검사장치.
According to claim 1,
The transparent window
Glass inspection device made of any one of tempered glass or acrylic or quartz glass (Quartz) or Pyrex (Pyrex).
상기 글라스 검사부는
상기 글라스의 암점과 휘점 및 상기 글라스의 색좌표와 휘도를 검사하기 위한 카메라 검사부;
상기 카메라 검사부를 이송시키기 위한 이송부; 및
상기 카메라 검사부 및 이송부를 지지하기 위한 지지부를 포함하는 글라스 검사장치.
According to claim 1,
The glass inspection unit
A camera inspection unit for inspecting dark spots and bright spots of the glass and color coordinates and luminance of the glass;
A transfer unit for transferring the camera inspection unit; And
Glass inspection apparatus including a support for supporting the camera inspection unit and the transfer unit.
상기 카메라 검사부는
상기 글라스의 일측면을 촬영하여 상기 글라스의 암점과 휘점를 검사하기 위한 복 수개의 카메라로 구성되는 제1 카메라부; 및
상기 제1 카메라부의 일측면을 따라 이동 가능하게 결합되고, 상기 글라스의 색좌표와 휘도를 검사하기 위한 제2 카메라부를 포함하는 글라스 검사장치.
The method of claim 3, wherein
The camera inspection unit
A first camera unit including a plurality of cameras for photographing one side of the glass and inspecting dark and bright spots of the glass; And
And a second camera unit coupled to the first camera unit to be movable along one side, and configured to inspect color coordinates and luminance of the glass.
상기 이송부는
상기 글라스의 일측면과 수평한 방향으로 상기 카메라 검사부를 이송시키기 위한 제1 이송수단을 포함하는 글라스 검사장치.
The method of claim 3, wherein
The transfer unit
And a first transfer means for transferring the camera inspection part in a direction parallel to one side of the glass.
상기 이송부는
상기 글라스의 일측면과 수직한 방향으로 상기 카메라 검사부를 이송시키기 위한 제2 이송수단을 더 포함하는 글라스 검사장치.
The method of claim 5,
The transfer unit
And a second transfer means for transferring the camera inspection part in a direction perpendicular to one side of the glass.
상기 지지부는
상기 글라스의 일측면과 수평방향으로 이동하는 상기 이송부의 이동을 가이드하기 위한 가이드 레일을 포함하는 글라스 검사장치.
The method of claim 3, wherein
The support portion
Glass inspection apparatus comprising a guide rail for guiding the movement of the conveying portion moving in one direction and the horizontal direction of the glass.
상기 지지플레이트는 강화 글라스 또는 아크릴 또는 석영 글라스(Quartz) 또는 파이렉스(Pyrex) 중 어느 하나의 재질로 이루어지는 글라스 검사장치.
According to claim 1,
The support plate is a glass inspection device made of any one of tempered glass or acrylic or quartz glass (Quartz) or Pyrex (Pyrex).
상기 글라스 수용부의 내부에 배치되고, 상기 글라스가 안착되는 글라스 안착부;
상기 글라스 안착부의 상부에 배치되고, 상기 글라스로 전원을 공급하는 전원 공급부; 및
상기 글라스 수용부의 일측면과 대향하도록 상기 글라스 수용부의 외부에 배치되는 글라스 검사부를 포함하고,
상기 글라스 검사부와 대향하는 상기 글라스 수용부의 일측면은 상기 글라스의 일측면이 노출되도록 투명 윈도우로 형성되고,
상기 글라스 안착부는
내부에 개구부가 형성되고, 상기 글라스의 외곽을 지지하기 위한 외곽 프레임으로 형성된 글라스 안착부재; 및
상기 글라스 안착부재에 안착된 상기 글라스를 상기 전원공급부 방향으로 리프트 오프 시키는 승강부를 포함하고,
상기 외곽 프레임으로는 복수 개의 관통홀이 형성되는 글라스 검사장치.
A glass accommodating part accommodating a glass in which a plurality of substrates on which an organic light emitting layer is formed is partitioned;
A glass seating part disposed in the glass receiving part and in which the glass is seated;
A power supply unit disposed on the glass seating unit and supplying power to the glass; And
It includes a glass inspection unit disposed on the outside of the glass receiving portion to face one side of the glass receiving portion,
One side of the glass accommodating part facing the glass inspection part is formed as a transparent window so that one side of the glass is exposed,
The glass seating portion
An opening formed therein, and a glass seating member formed of an outer frame for supporting an outer portion of the glass; And
And a lifter configured to lift off the glass seated on the glass seating member in the direction of the power supply,
And a plurality of through holes formed in the outer frame.
상기 글라스 안착부재는
상기 개구부를 가로질러 상기 글라스의 일측면을 지지하기 위한 복수 개의 내부 프레임을 더 포함하고,
상기 내부 프레임으로는 복수 개의 관통홀이 형성되는 글라스 검사장치.
The method of claim 9,
The glass seating member
Further comprising a plurality of internal frames for supporting one side of the glass across the opening,
And a plurality of through holes formed in the inner frame.
상기 외곽 프레임 및 상기 내부 프레임은 강화 글라스 또는 아크릴 또는 석영 글라스(Quartz) 또는 파이렉스(Pyrex) 중 어느 하나의 재질로 이루어지는 글라스 검사장치.
The method of claim 10,
The outer frame and the inner frame is a glass inspection device made of any one of tempered glass or acrylic or quartz glass (Quartz) or Pyrex (Pyrex).
상기 승강부는
상기 글라스 안착부재와 대응되는 크기의 베이스 프레임; 및
상기 베이스 프레임으로부터 상기 글라스 안착부재 방향으로 돌출 형성된 복수 개의 리프트 핀을 포함하고,
상기 리프트 핀은 상기 관통홀을 관통하여 상기 글라스를 상기 글라스 안착부재로부터 리프트 오프 시키는 글라스 검사장치.
The method of claim 9,
The lifting unit
A base frame having a size corresponding to the glass seating member; And
A plurality of lift pins protruding from the base frame toward the glass seating member;
The lift pin penetrates the through hole to lift off the glass from the glass seating member.
상기 리프트 핀은
탄성 재질로 이루어진 충격흡수 부재가 끝단에 형성되는 글라스 검사장치.The method of claim 12,
The lift pin
Glass inspection device is formed at the end of the shock absorbing member made of an elastic material.
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