JP5555757B2 - Board inspection equipment - Google Patents

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Description

本発明は、基板検査装置であって、内部に密閉されたチャンバを形成し、該チャンバ内で基板の各画素を点灯させて該基板の欠陥の有無を検査する装置に関する。   The present invention relates to a substrate inspection apparatus that forms a sealed chamber inside and inspects whether or not there is a defect in the substrate by lighting each pixel of the substrate in the chamber.

フラットパネルディスプレイは、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）、発光ダイオード（ＬＥＤ）ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ（ＯＬＥＤ）などに大別される。   Flat panel displays are roughly classified into liquid crystal displays (LCD), plasma displays (PDP), light emitting diode (LED) displays, organic EL displays (OLED), and the like.

このうち、ＯＬＥＤディスプレイは、駆動電圧が低い、発光効率が高い、視野角が広い、応答速度が速い等の長所を持つので、高画質の動画を表現できる次世代フラットパネルディスプレイとして脚光を浴びている。   Among them, the OLED display has advantages such as low driving voltage, high luminous efficiency, wide viewing angle, fast response speed, etc., so it has attracted attention as a next-generation flat panel display that can express high-quality video. Yes.

ＯＬＥＤディスプレイは、ガラス基板上に、陽極層（ＩＴＯ電極）、正孔（ホール）輸送層、発光層、電子層、電子輸送層及び金属陰極層が順次積層されて形成される。そして、正孔輸送層から電子輸送層までは、湿気（水分）や酸素に弱い有機材料でできているので、これらの層を保護するためのガラス製又は金属製の封止用キャップ（カバーガラス、金属カバーなど）が基板に形成される。   The OLED display is formed by sequentially laminating an anode layer (ITO electrode), a hole transport layer, a light emitting layer, an electron layer, an electron transport layer, and a metal cathode layer on a glass substrate. Since the hole transport layer to the electron transport layer are made of an organic material that is weak against moisture (moisture) and oxygen, a glass or metal sealing cap (cover glass) for protecting these layers is used. A metal cover, etc.) is formed on the substrate.

従来の基板検査装置は、基板を大気と遮断させた状態で検査するための何らかの手段を持たないので、基板にキャップを形成した状態で、基板の異常の有無を検査することになる。ところが、キャップは基板から分離できないので、基板検査によって基板の欠陥を検出した場合でも、基板の欠陥部位のみを修復して使用することができず、封止用キャップが形成された基板を廃棄しなければならない。これによって、基板の製造コストが上昇するという短所があった。   Since the conventional substrate inspection apparatus does not have any means for inspecting the substrate in a state where the substrate is shielded from the atmosphere, the substrate is inspected for an abnormality with the cap formed on the substrate. However, since the cap cannot be separated from the substrate, even if a substrate defect is detected by substrate inspection, it is impossible to repair and use only the defective portion of the substrate, and the substrate on which the sealing cap is formed is discarded. There must be. As a result, the manufacturing cost of the substrate increases.

さらに、従来の基板検査装置は、真空状態の空間、又は酸素（Ｏ２）濃度１ｐｐｍ以下の窒素（Ｎ２）雰囲気の空間内に設置されて用いられなければならなかった。すると、相対的に体積が大きな設置空間の雰囲気を作るのに多くのコストがかかる。従って、基板の製造コストが更にアップするという短所があった。 Further, the conventional substrate inspection apparatus must be installed and used in a vacuum space or a nitrogen (N 2 ) atmosphere space having an oxygen (O 2 ) concentration of 1 ppm or less. Then, a lot of cost is required to create an atmosphere of a relatively large installation space. Therefore, there is a disadvantage that the manufacturing cost of the substrate is further increased.

基板検査装置と関連する先行技術は、韓国公開特許公報第１０−２００５−０００８２８２号明細書（特許文献１）などに開示されている。   Prior art related to the substrate inspection apparatus is disclosed in Korean Patent Publication No. 10-2005-0008282 (Patent Document 1) and the like.

韓国公開特許公報第１０−２００５−０００８２８２号明細書Korean Published Patent Publication No. 10-2005-0008282

本発明は、上記のような従来技術の問題点を解消するために導き出されたものであって、その目的は、基板の製造コストを低減できる基板検査装置を提供することにある。   The present invention has been derived to solve the above-described problems of the prior art, and an object of the present invention is to provide a substrate inspection apparatus that can reduce the manufacturing cost of a substrate.

上記目的を達成するために、本発明に係る基板検査装置は、内部に基板を投入して検査するためのチャンバが形成されかつ上面に透明窓が形成された本体と、該本体の内部に昇降自在に設けられかつ基板を支持する支持板と、本体の下側に設けられかつ支持板を昇降させる昇降ユニットと、互いに直交するＸ軸方向及びＹ軸方向に移動可能に本体に設けられ、チャンバ内に投入された基板を透明窓を通して撮影する第１映像ユニットとを含む。   In order to achieve the above object, a substrate inspection apparatus according to the present invention includes a main body in which a chamber for injecting a substrate into an inspection is formed and a transparent window is formed on the upper surface, and an ascent and descent inside the main body. A support plate that is freely provided and supports the substrate, an elevating unit that is provided on the lower side of the main body and lifts the support plate, and is provided in the main body so as to be movable in the X-axis direction and the Y-axis direction orthogonal to each other And a first video unit for photographing a substrate placed in the inside through a transparent window.

本発明に係る基板検査装置は、本体の内部に、基板を検査するための密閉空間であるチャンバが形成される。これによって、基板に形成された複数の層を大気と遮断するための封止用キャップを基板に形成することなく基板を検査できるので、基板検査によって基板の欠陥部位を検出した場合に、欠陥部位のみを修復して使用することができる。従って、基板の製造コストが低減される。   In the substrate inspection apparatus according to the present invention, a chamber which is a sealed space for inspecting a substrate is formed inside the main body. As a result, the substrate can be inspected without forming a sealing cap on the substrate for shielding a plurality of layers formed on the substrate from the atmosphere. Therefore, when a defective portion of the substrate is detected by the substrate inspection, the defective portion Only can be repaired and used. Therefore, the manufacturing cost of the substrate is reduced.

さらに、相対的に体積が小さな空間である本体に形成されたチャンバの雰囲気のみを適切に作ればよいので、基板の製造コストが更に低減されるという効果を奏する。   Furthermore, since only the chamber atmosphere formed in the main body having a relatively small volume needs to be appropriately created, the manufacturing cost of the substrate can be further reduced.

本発明の一実施形態に係る基板検査装置の斜視図である。It is a perspective view of the board | substrate inspection apparatus which concerns on one Embodiment of this invention. 図１に示した基板検査装置のカバーを開放した状態の斜視図である。It is a perspective view in the state where the cover of the substrate inspection device shown in FIG. 1 was opened. 図２の一部分解斜視図である。FIG. 3 is a partially exploded perspective view of FIG. 2. 図３の「Ａ」部分の拡大図である。FIG. 4 is an enlarged view of a portion “A” in FIG. 3. 本発明の一実施形態に係る基板検査装置の動作を説明するためのカバーを除去した状態の斜視図である。It is a perspective view in the state where a cover for explaining operation of a substrate inspection device concerning one embodiment of the present invention was removed. 本発明の一実施形態に係る基板検査装置の動作を説明するためのカバーを除去した状態の斜視図である。It is a perspective view in the state where a cover for explaining operation of a substrate inspection device concerning one embodiment of the present invention was removed. 本発明の一実施形態に係る基板検査装置の動作を説明するためのカバーを除去した状態の斜視図である。It is a perspective view in the state where a cover for explaining operation of a substrate inspection device concerning one embodiment of the present invention was removed.

後述する本発明に関する詳細な説明は、本発明が実施され得る特定の実施形態を例として示す添付の図面を参照する。これらの実施形態は、当業者が本発明を実施できるように十分に詳細に説明される。本発明の多様な実施形態は互いに異なるが、相互排他的である必要はないことが理解されるべきである。例えば、本明細書に記載されている特定の形状、特定の構造及び特性は、一実施形態と関連して本発明の趣旨及び範囲から逸脱することなく他の実施形態において実現され得る。また、それぞれの開示された実施形態内の個別構成要素の位置又は配置は、本発明の趣旨及び範囲から逸脱することなく変更され得ることが理解されるべきである。従って、後述する詳細な説明は限定的な意味ではなく、本発明の範囲は、適切に説明されるのであれば、それらの請求項が主張するのと均等なあらゆる範囲と共に添付の請求項によってのみ限定される。図面に示す実施形態の長さ、面積、厚さ及び形態は、便宜上、誇張されて表現されていることもあり得る。   The following detailed description of the invention refers to the accompanying drawings that illustrate, by way of illustration, specific embodiments in which the invention may be practiced. These embodiments are described in sufficient detail to enable those skilled in the art to practice the invention. It should be understood that the various embodiments of the present invention are different from each other but need not be mutually exclusive. For example, the specific shapes, specific structures and characteristics described herein may be realized in other embodiments without departing from the spirit and scope of the present invention in connection with one embodiment. It should also be understood that the location or arrangement of individual components within each disclosed embodiment may be changed without departing from the spirit and scope of the present invention. The following detailed description is, therefore, not to be taken in a limiting sense, and the scope of the present invention is, if appropriate explained, only by the appended claims, along with all equivalents to which those claims claim. Limited. The length, area, thickness, and form of the embodiments shown in the drawings may be exaggerated for convenience.

以下、添付する図面を参照して、本発明の一実施形態に係る基板検査装置を詳細に説明する。   Hereinafter, a substrate inspection apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

図１は、本発明の一実施形態に係る基板検査装置の斜視図であり、図２は、図１に示した基板検査装置のカバーを開放した状態の斜視図であり、図３は、図２の一部分解斜視図である。   FIG. 1 is a perspective view of a substrate inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view of a state in which a cover of the substrate inspection apparatus shown in FIG. 1 is opened, and FIG. 2 is a partially exploded perspective view of FIG.

図示のように、本実施形態に係る基板検査装置は、本体１１０、昇降ユニット１４０及び第１映像ユニット１５０を含む。   As illustrated, the substrate inspection apparatus according to the present embodiment includes a main body 110, a lifting unit 140, and a first video unit 150.

本体１１０は、略直六面体状に形成されかつ上面が開口したケース１１１と、該ケース１１１の上面に結合されたカバー１１５とを含み、ケース１１１とカバー１１５とによって密閉空間が形成されている。このケース１１１とカバー１１５とによって形成された密閉空間が、基板５０を投入して検査するためのチャンバ１１０ａである。   The main body 110 includes a case 111 formed in a substantially rectangular parallelepiped shape and having an upper surface opened, and a cover 115 coupled to the upper surface of the case 111, and a sealed space is formed by the case 111 and the cover 115. A sealed space formed by the case 111 and the cover 115 is a chamber 110a for loading and inspecting the substrate 50.

カバー１１５は、ケース１１１に回転自在に結合され、ケース１１１の開口した上面を開閉することができる。即ち、カバー１１５によってチャンバ１１０ａを開閉することができる。ケース１１１とカバー１１５との間には、ケース１１１の上面にカバー１１５が接触してチャンバ１１０ａが閉じられているときにケース１１１とカバー１１５との間の隙間からチャンバ１１０ａ内の雰囲気ガスが漏出することを防止するシール部材（図示せず）を介在させることができる。   The cover 115 is rotatably coupled to the case 111 and can open and close the opened upper surface of the case 111. That is, the chamber 110 a can be opened and closed by the cover 115. Between the case 111 and the cover 115, the atmospheric gas in the chamber 110a leaks from the gap between the case 111 and the cover 115 when the cover 115 contacts the upper surface of the case 111 and the chamber 110a is closed. A sealing member (not shown) for preventing the above can be interposed.

カバー１１５の中央部には、チャンバ１１０ａに投入された基板５０を外部から観察できるように、透明窓１１６が形成されている。   A transparent window 116 is formed at the center of the cover 115 so that the substrate 50 put into the chamber 110a can be observed from the outside.

ケース１１１の１つの側面及び該側面と対向する側面には、それぞれ、基板５０が投入される投入口１１２ａ及び投入口１１２ａを開閉するドア１１３ａと、基板が取り出される取出口１１２ｂ及び取出口１１２ｂを開閉するドア１１３ｂとを設けることができる。即ち、ドア１１３ａ、１１３ｂによってチャンバ１１０ａを開閉することができる。   On one side surface of the case 111 and the side surface opposite to the side surface, there are a loading port 112a into which the substrate 50 is loaded, a door 113a for opening and closing the loading port 112a, and a loading port 112b and a loading port 112b from which the substrate is removed. A door 113b that opens and closes can be provided. That is, the chamber 110a can be opened and closed by the doors 113a and 113b.

ドア１１３ａと投入口１１２ａとの間及びドア１１３ｂと取出口１１２ｂとの間にも、ドア１１３ａ、１１３ｂによって投入口１１２ａ及び取出口１１２ｂが閉じられているときにチャンバ１１０ａ内の雰囲気ガスが漏出することを防止するシール部材（図示せず）を介在させることができる。カバー１１５並びにドア１１３ａ及び１１３ｂは、モータ又はシリンダなどの駆動手段（図示せず）によって、回転しながらチャンバ１１０ａを開閉することができる。ドア１１３ａ及び１１３ｂは、スライドしながらチャンバ１１０ａを開閉することもできる。   The atmosphere gas in the chamber 110a leaks between the door 113a and the inlet 112a and between the door 113b and the outlet 112b when the inlet 112a and the outlet 112b are closed by the doors 113a and 113b. A sealing member (not shown) for preventing this can be interposed. The cover 115 and the doors 113a and 113b can open and close the chamber 110a while rotating by driving means (not shown) such as a motor or a cylinder. The doors 113a and 113b can open and close the chamber 110a while sliding.

本体１１０には、チャンバ１１０ａ内に窒素（Ｎ２）などの雰囲気ガスを流入する流入管１２１の一端及びチャンバ１１０ａ内の雰囲気ガスをチャンバ１１０ａの外部に排出する排出管１２５の一端がそれぞれ連通して設けられている。流入管１２１の他端はガスタンク（図示せず）などに連通し、排出管１２５の他端はポンプ（図示せず）などに連通している。 The main body 110 communicates with one end of an inflow pipe 121 through which atmospheric gas such as nitrogen (N 2 ) flows into the chamber 110a and one end of a discharge pipe 125 through which atmospheric gas in the chamber 110a is discharged outside the chamber 110a. Is provided. The other end of the inflow pipe 121 communicates with a gas tank (not shown) and the other end of the exhaust pipe 125 communicates with a pump (not shown).

本体１１０の内部には、基板５０を支持する支持板１３０が設けられている。支持板１３０は昇降自在に設けられており、チャンバ１１０ａ内に投入された基板５０を支持してカバー１１５側に上昇させる。   A support plate 130 that supports the substrate 50 is provided inside the main body 110. The support plate 130 is provided so as to be movable up and down, and supports the substrate 50 put into the chamber 110a and raises it to the cover 115 side.

シリンダなどにより構成された昇降ユニット１４０が、本体１１０の下側に設けられており、支持板１３０を昇降させることができる。   An elevating unit 140 composed of a cylinder or the like is provided on the lower side of the main body 110 and can raise and lower the support plate 130.

詳細に説明すれば、支持板１３０と昇降ユニット１４０との間には、複数の昇降バー１４５を介在させている。昇降バー１４５の下端部側は昇降ユニット１４０に連結され、上端部側は本体１１０の下面を通過して支持板１３０の下面に連結されている。それにより、昇降バー１４５は、昇降ユニット１４０の動力の伝達を受けて昇降しながら支持板１３０を昇降させることができる。   More specifically, a plurality of elevating bars 145 are interposed between the support plate 130 and the elevating unit 140. The lower end side of the elevating bar 145 is connected to the elevating unit 140, and the upper end side is connected to the lower surface of the support plate 130 through the lower surface of the main body 110. Accordingly, the lift bar 145 can lift and lower the support plate 130 while moving up and down in response to transmission of power from the lift unit 140.

カメラ又はスキャナなどにより構成された第１映像ユニット１５０が、本体１１０の上側に位置し、互いに直交するＸ軸方向及びＹ軸方向に移動可能に本体１１０に支持されて設けられている。それにより、第１映像ユニット１５０は、チャンバ１１０ａ内に投入された基板５０を透明窓１１６を通して撮影することができる。   A first video unit 150 configured by a camera or a scanner is positioned above the main body 110 and supported by the main body 110 so as to be movable in the X-axis direction and the Y-axis direction orthogonal to each other. Accordingly, the first video unit 150 can photograph the substrate 50 put into the chamber 110 a through the transparent window 116.

第１映像ユニット１５０で撮影された映像及びこれに関する信号は、制御部（図示せず）に送信され、該制御部は、受信した映像及びこれに関する信号を利用して基板５０を検査する。即ち、制御部によって、基板５０の色温度検査、色座標検査、不良ピクセル検査、輝度検査、照度検査、ＣＤ（Critical Dimension）検査及びＴＰ（Total Pitch）検査などを行うことができる。   An image captured by the first image unit 150 and a signal related thereto are transmitted to a control unit (not shown), and the control unit inspects the substrate 50 using the received image and signals related thereto. That is, the control unit can perform color temperature inspection, color coordinate inspection, defective pixel inspection, luminance inspection, illuminance inspection, CD (Critical Dimension) inspection, TP (Total Pitch) inspection, and the like.

基板５０は、１対のロボットアーム６０に搭載支持された状態で、投入口１１２ａを通じてチャンバ１１０ａ内に投入されるかまたは取出口１１２ｂを通じてチャンバ１１２ｂから取り出される。そして、ロボットアーム６０は、基板５０を支持した状態で昇降する。これについては後述する。   The substrate 50 is mounted and supported on the pair of robot arms 60, and is inserted into the chamber 110a through the input port 112a or taken out from the chamber 112b through the output port 112b. The robot arm 60 moves up and down while supporting the substrate 50. This will be described later.

本体１１０の内部には、チャンバ１１０ａ内に投入された基板５０の側方枠（本実施形態では長手方向枠（縁部））を搭載支持する四角枠状の１対の支持フレーム１６０が設けられている。更に具体的に説明すれば、昇降自在に設けられた支持板１３０が支持フレーム１６０の下側に配置されたときに、基板５０の側方枠が支持フレーム１６０に搭載支持されることになる。これについては後述する。   Inside the main body 110, a pair of support frames 160 in the form of a square frame for mounting and supporting the side frame of the substrate 50 put into the chamber 110a (longitudinal frame (edge) in this embodiment) is provided. ing. More specifically, the side frame of the substrate 50 is mounted and supported on the support frame 160 when the support plate 130 provided so as to be movable up and down is disposed below the support frame 160. This will be described later.

ロボットアーム６０は、支持フレーム１６０の内側に配置されて昇降する。１対のロボットアーム６０のそれぞれの外側側面には、複数の突出片６１が形成されている。そして、１対の支持フレーム１６０の互いに対向する内側側面には、支持フレーム１６０の内側側面から内部に向かって凹んで形成された複数の貫通溝１６１が形成されており、ロボットアーム６０が昇降する際に突出片６１が貫通溝１６１を通過する。突出片６１と、対応する貫通溝１６１とは、互いに対向するように形成されている。突出片６１と貫通溝１６１との作用についても後述する。   The robot arm 60 is disposed inside the support frame 160 and moves up and down. A plurality of protruding pieces 61 are formed on the outer side surfaces of the pair of robot arms 60. A plurality of through-grooves 161 that are recessed from the inner side surface of the support frame 160 toward the inside are formed on the inner side surfaces of the pair of support frames 160 facing each other, and the robot arm 60 moves up and down. At this time, the protruding piece 61 passes through the through groove 161. The protruding piece 61 and the corresponding through groove 161 are formed to face each other. The operation of the protruding piece 61 and the through groove 161 will also be described later.

本体１１０の内部下面には、基板５０の下側で基板５０を撮影又はスキャンするための第２映像ユニット１７０を設けることができる。このとき、支持板１３０において第２映像ユニット１７０に対応する部位１３２は開口している。   A second video unit 170 for photographing or scanning the substrate 50 below the substrate 50 may be provided on the inner lower surface of the main body 110. At this time, a portion 132 corresponding to the second video unit 170 is opened in the support plate 130.

基板５０がＯＬＥＤ素子である場合、基板５０に電源を供給しなければ、基板５０の各画素を点灯させて基板５０の欠陥の有無を検査する点灯検査を行うことができない。このために、基板５０の両側方枠（本実施形態では２つの長手方向枠）には電極ライン（図示せず）が形成され、カバー１１５の下面には電極ラインに接続されて外部電源を供給するプローブ（probe）１８０が設けられている。   When the substrate 50 is an OLED element, unless power is supplied to the substrate 50, it is not possible to perform a lighting inspection in which each pixel of the substrate 50 is turned on to inspect the substrate 50 for defects. For this purpose, electrode lines (not shown) are formed on both side frames (two longitudinal frames in this embodiment) of the substrate 50, and an external power source is supplied to the lower surface of the cover 115 by being connected to the electrode lines. A probe 180 is provided.

基板５０のサイズは多様である。本実施形態に係る基板検査装置は、多様なサイズの基板５０を支持して検査できるように、支持板１３０が昇降バー１４５に着脱自在に結合されている。   The substrate 50 has various sizes. In the substrate inspection apparatus according to the present embodiment, the support plate 130 is detachably coupled to the lift bar 145 so that various sizes of substrates 50 can be supported and inspected.

ロボットアーム６０によって基板５０の側方枠が支持フレーム１６０に搭載支持されたときに、基板５０が支持フレーム１６０の所定位置に位置していなければ、基板５０の電極ラインとプローブ１８０が正確に接続されないだけでなく、第１映像ユニット１５０又は第２映像ユニット１７０を用いて設定された基板５０の部位を正確に撮影することができない。   When the side frame of the substrate 50 is mounted and supported on the support frame 160 by the robot arm 60, if the substrate 50 is not positioned at a predetermined position of the support frame 160, the electrode line of the substrate 50 and the probe 180 are accurately connected. In addition, the region of the substrate 50 set using the first video unit 150 or the second video unit 170 cannot be accurately imaged.

このために、本実施形態に係る基板検査装置には、支持フレーム１６０に支持された基板５０を整列するアライメント手段が設けられている。これについて、図３及び図４を参照して説明する。図４は、図３の「Ａ」部分の拡大図である。   For this purpose, the substrate inspection apparatus according to the present embodiment is provided with alignment means for aligning the substrates 50 supported by the support frame 160. This will be described with reference to FIGS. FIG. 4 is an enlarged view of a portion “A” in FIG.

図のように、アライメント手段は、支持フレーム１６０に設けられたシリンダ１９１と、該シリンダ１９１によって直線運動を行い、基板５０の外側面に接触して基板５０を移動させる接触パッド１９５とを含む。   As shown in the figure, the alignment means includes a cylinder 191 provided on the support frame 160 and a contact pad 195 that moves linearly by the cylinder 191 and moves the substrate 50 in contact with the outer surface of the substrate 50.

詳細に説明すれば、シリンダ１９１は、支持フレーム１６０の隅部にそれぞれ設けることができる。そして、接触パッド１９５は、シリンダ１９１によって所定距離だけ直線運動を行い、基板５０の隅部にそれぞれ接触して基板５０を移動させることができる。すると、支持フレーム１６０に支持された基板５０は、接触パッド１９５によって移動させられ、支持フレーム１６０の所定位置に移動されて整列される。   More specifically, the cylinder 191 can be provided at each corner of the support frame 160. Then, the contact pad 195 can move linearly by a predetermined distance by the cylinder 191 so as to contact the corners of the substrate 50 and move the substrate 50. Then, the substrate 50 supported by the support frame 160 is moved by the contact pad 195 and moved to a predetermined position of the support frame 160 to be aligned.

接触パッド１９５が基板５０に安定して接触し、基板５０を移動させることができるように、基板５０に面した接触パッド１９５の面には、基板５０の隅部に対応する略Ｖ字又は逆Ｖ字状の支持溝１９６を形成することができる。   The surface of the contact pad 195 facing the substrate 50 is substantially V-shaped or reverse corresponding to the corner of the substrate 50 so that the contact pad 195 can stably contact the substrate 50 and move the substrate 50. A V-shaped support groove 196 can be formed.

接触パッド１９５によって基板５０が所定位置に位置したとき、支持板１３０が昇降して基板５０を昇降させることができる。このとき、支持板１３０の枠部材には、基板５０の外側面が引っ掛かり、基板５０が支持板１３０上で動くことを防止する複数のストッパ１３４を形成することができる。   When the substrate 50 is positioned at a predetermined position by the contact pad 195, the support plate 130 can be raised and lowered to raise and lower the substrate 50. At this time, a plurality of stoppers 134 that prevent the outer surface of the substrate 50 from being caught and moving the substrate 50 on the support plate 130 can be formed on the frame member of the support plate 130.

本実施形態に係る基板検査装置の作用について、図１、図５〜図７を参照して説明する。図５〜図７は、本発明の一実施形態に係る基板検査装置の動作を説明するためのカバーを除去した状態の斜視図である。   The operation of the substrate inspection apparatus according to this embodiment will be described with reference to FIGS. 1 and 5 to 7. 5 to 7 are perspective views showing a state in which a cover for explaining the operation of the substrate inspection apparatus according to the embodiment of the present invention is removed.

図５に示すように、カバー１１５及びドア１１３ｂが閉じられ、ドア１１３ａが開いており、かつ支持板１３０が支持フレーム１６０の下側に位置する状態を、最初の状態と仮定する。   As shown in FIG. 5, a state where the cover 115 and the door 113b are closed, the door 113a is opened, and the support plate 130 is positioned below the support frame 160 is assumed to be an initial state.

最初の状態でロボットアーム６０により基板５０を支持し、図６に示すように、基板５０を投入口１１２ａを通じてチャンバ１１０ａ内に投入することができる。このとき、ロボットアーム６０は、支持フレーム１６０の上側に位置している。   In the initial state, the substrate 50 is supported by the robot arm 60, and the substrate 50 can be loaded into the chamber 110a through the loading port 112a as shown in FIG. At this time, the robot arm 60 is positioned above the support frame 160.

その後、ロボットアーム６０は下降し、これによって基板５０の側方枠は支持フレーム１６０に搭載支持される。基板５０の側方枠が支持フレーム１６０に搭載支持された状態において、ロボットアーム６０は１対の支持フレーム１６０の内側を通って更に下に下降し、ロボットアーム６０の突出片６１は、支持フレーム１６０の貫通溝１６１を通過して更に下に下降することができる。   Thereafter, the robot arm 60 is lowered, whereby the side frame of the substrate 50 is mounted and supported on the support frame 160. In a state where the side frame of the substrate 50 is mounted and supported on the support frame 160, the robot arm 60 descends further through the inside of the pair of support frames 160, and the protruding piece 61 of the robot arm 60 After passing through the through-groove 161 of 160, it can descend further.

ロボットアーム６０は、支持フレーム１６０と支持板１３０との間の部位まで下降した後、投入口１１２ａを通じて外部に取り出される。ロボットアーム６０が取り出されたら、チャンバ１１０ａ内に雰囲気ガスが流入して基板５０の検査に必要な雰囲気が作られ、シリンダ１９１によって接触パッド１９５が直線運動を行いながら、支持フレーム１６０の所定位置に基板５０を配置することができる。   The robot arm 60 is lowered to a position between the support frame 160 and the support plate 130 and then taken out through the insertion port 112a. When the robot arm 60 is taken out, the atmosphere gas flows into the chamber 110a to create an atmosphere necessary for the inspection of the substrate 50, and the cylinder 191 moves the contact pad 195 in a linear motion to a predetermined position on the support frame 160. A substrate 50 can be placed.

基板５０が支持フレーム１６０の所定位置に配置されたとき、図７に示すように、支持板１３０が上昇して基板５０をカバー１１５側に上昇させることができる。すると、基板５０の電極ラインとプローブ１８０（図３参照）とが接続され、基板５０に電源が供給される。   When the board | substrate 50 is arrange | positioned in the predetermined position of the support frame 160, as shown in FIG. 7, the support board 130 can raise and the board | substrate 50 can be raised to the cover 115 side. Then, the electrode line of the substrate 50 and the probe 180 (see FIG. 3) are connected, and power is supplied to the substrate 50.

このような状態で、第１映像ユニット１５０及び第２映像ユニット１７０（図３参照）を用いて基板５０を撮影し、制御部は、第１及び第２映像ユニット１５０、１７０から信号の伝送を受けて基板５０を検査することができる。   In this state, the first video unit 150 and the second video unit 170 (see FIG. 3) are used to photograph the board 50, and the control unit transmits signals from the first and second video units 150 and 170. The substrate 50 can be inspected.

基板５０の検査が完了したら、支持板１３０が下降して支持フレーム１６０の下側に位置する。すると、基板５０の側方枠が支持フレーム１６０に支持され、取出口１１２ｂを通じてもう１つのロボットアーム（図示せず）が支持板１３０と支持フレーム１６０との間に入る。その後、当該もう１つのロボットアームが、上昇して基板５０を支持した状態で、取出口１１２ｂを通じて取り出される。すると、基板５０がチャンバ１１０ａの外部に取り出される。   When the inspection of the substrate 50 is completed, the support plate 130 is lowered and positioned below the support frame 160. Then, the side frame of the substrate 50 is supported by the support frame 160, and another robot arm (not shown) enters between the support plate 130 and the support frame 160 through the outlet 112b. Thereafter, the other robot arm is lifted and supported through the take-out port 112b while supporting the substrate 50. Then, the substrate 50 is taken out of the chamber 110a.

ドア１１３ａ及び１１３ｂはそれぞれ、制御部の制御によって自動開閉されることができる。   Each of the doors 113a and 113b can be automatically opened and closed under the control of the control unit.

本実施形態に係る基板検査装置では、本体１１０の内部に、基板５０を検査するための密閉空間であるチャンバ１１０ａが形成されている。これによって、基板５０に形成された複数の層を大気と遮断するための封止用キャップを基板５０に形成することなく基板５０を検査することができるので、基板５０の検査時に欠陥部位が発生しても、該欠陥部位を修復して用いることができる。従って、基板５０の製造コストが低減される。   In the substrate inspection apparatus according to the present embodiment, a chamber 110 a that is a sealed space for inspecting the substrate 50 is formed inside the main body 110. Accordingly, since the substrate 50 can be inspected without forming a sealing cap on the substrate 50 for shielding the plurality of layers formed on the substrate 50 from the atmosphere, a defective portion is generated when the substrate 50 is inspected. Even so, the defective part can be repaired and used. Therefore, the manufacturing cost of the substrate 50 is reduced.

そして、相対的に体積が小さな本体１１０のチャンバ１１０ａの雰囲気のみを作ればよいので、更に基板５０の製造コストが低減される。   Since only the atmosphere of the chamber 110a of the main body 110 having a relatively small volume needs to be created, the manufacturing cost of the substrate 50 is further reduced.

本発明は、前述の如く好適な実施形態を例に挙げて図示し説明したが、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨から逸脱しない範囲内で当業者により多様な変形と変更が可能である。そのような変形形態及び変更形態は、本発明と添付された特許請求の範囲の範囲内に属するものと見なすべきである。   Although the present invention has been illustrated and described by taking the preferred embodiment as an example as described above, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made by those skilled in the art without departing from the spirit of the present invention. It can be changed. Such variations and modifications are to be considered within the scope of the present invention and the appended claims.

１１０ 本体
１３０ 支持板
１４０ 昇降ユニット
１５０ 第１映像ユニット
１６０ 支持フレーム
１７０ 第２映像ユニット 110 Main body 130 Support plate 140 Elevating unit 150 First video unit 160 Support frame 170 Second video unit

Claims (15)

基板検査装置であって、
内部に基板を投入して検査するためのチャンバが形成されかつ上面に透明窓が形成された本体と、
前記本体の内部に昇降自在に設けられかつ前記基板を支持する支持板と、
前記本体の下側に設けられかつ前記支持板を昇降させる昇降ユニットと、
互いに直交するＸ軸方向及びＹ軸方向に移動可能に前記本体に設けられ、前記チャンバ内に投入された前記基板を前記透明窓を通して撮影する第１映像ユニットとを含み、
前記本体に、電力を供給するプローブが設けられ、
前記昇降ユニットが前記基板を支持する支持板を動かすことによって、前記プローブが前記基板に形成された電極ラインに接続されることを特徴とする基板検査装置。 A board inspection device,
A main body in which a chamber for inspecting by injecting a substrate is formed and a transparent window is formed on the upper surface;
A support plate provided inside the main body so as to be movable up and down and supporting the substrate;
An elevating unit provided below the main body and elevating the support plate;
Provided in the main body to be movable in the X-axis direction and Y-axis directions perpendicular to each other, seen including a first image unit for photographing the substrate that has been introduced into said chamber through said transparent window,
The main body is provided with a probe for supplying power,
The substrate inspection apparatus , wherein the probe is connected to an electrode line formed on the substrate by the lifting unit moving a support plate that supports the substrate. 前記本体が、
上面が開口したケースと、
前記ケースの上面に回転自在に結合され、前記ケースの前記開口した上面を開閉し、かつ前記透明窓が形成されたカバーとを含むことを特徴とする請求項１に記載の基板検査装置。 The body is
A case with an open top;
The substrate inspection apparatus according to claim 1, further comprising: a cover that is rotatably coupled to the upper surface of the case, opens and closes the opened upper surface of the case, and includes the transparent window. 前記ケースの１つの側面に、前記基板が投入される投入口が形成され、前記側面と対向する側面に、前記基板が取り出される取出口が形成されていることを特徴とする請求項２に記載の基板検査装置。   3. The inlet according to claim 2, wherein an inlet for inserting the substrate is formed on one side of the case, and an outlet for taking out the substrate is formed on a side opposite to the side. Board inspection equipment. 前記ケースに、前記投入口を開閉するドア及び前記取出口を開閉するドアがそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項３に記載の基板検査装置。   The substrate inspection apparatus according to claim 3, wherein the case is provided with a door that opens and closes the inlet and a door that opens and closes the outlet. 前記カバーの下面に、前記プローブが設けられていることを特徴とする請求項２に記載の基板検査装置。 The substrate inspection apparatus according to claim 2, wherein the probe is provided on a lower surface of the cover. 前記支持板と前記昇降ユニットとの間に、下側が前記昇降ユニットに連結され、上側が前記本体の下面を通過して前記支持板に連結され、かつ前記昇降ユニットによって昇降しながら前記支持板を昇降させる複数の昇降バーが設けられており、
前記支持板が、前記昇降バーに着脱自在に結合されるようにしたことを特徴とする請求項１に記載の基板検査装置。 Between the support plate and the lift unit, the lower side is connected to the lift unit, the upper side is connected to the support plate through the lower surface of the main body, and the support plate is lifted and lowered by the lift unit. There are multiple lift bars to move up and down,
The substrate inspection apparatus according to claim 1, wherein the support plate is detachably coupled to the lift bar. 前記本体の内部下面に、前記基板を撮影する第２映像ユニットが設けられており、
前記支持板において前記第２映像ユニットに対応する部位が、開口していることを特徴とする請求項６に記載の基板検査装置。 A second video unit for photographing the substrate is provided on the inner lower surface of the main body,
The substrate inspection apparatus according to claim 6, wherein a portion of the support plate corresponding to the second video unit is opened. 前記本体の内部に、支持フレームが設けられており、
前記支持板が前記支持フレームの下側に配置されたときに、前記基板の側方枠が前記支持フレームに支持されるようにしたことを特徴とする請求項１に記載の基板検査装置。 A support frame is provided inside the main body,
The substrate inspection apparatus according to claim 1, wherein a side frame of the substrate is supported by the support frame when the support plate is disposed below the support frame. 前記基板を搭載支持した状態で前記チャンバ内に投入するかまたは前記チャンバから取り出すための１対のロボットアームを有し、
前記１対のロボットアームのそれぞれの外側側面に、複数の突出片が形成され、
前記支持フレームの互いに対向する内側側面に、複数の貫通溝が形成され、前記ロボットアームが昇降する際に前記突出片が前記貫通溝を通過するようにしたことを特徴とする請求項８に記載の基板検査装置。 A pair of robot arms for loading or unloading the substrate with the substrate mounted and removed from the chamber;
A plurality of protruding pieces are formed on each outer side surface of the pair of robot arms,
The plurality of through-grooves are formed on mutually opposite inner side surfaces of the support frame, and the protruding piece passes through the through-groove when the robot arm moves up and down. Board inspection equipment. 前記支持フレームに、前記支持フレームに支持された前記基板を整列するアライメント手段が設けられていることを特徴とする請求項９に記載の基板検査装置。   The substrate inspection apparatus according to claim 9, wherein the support frame is provided with alignment means for aligning the substrate supported by the support frame. 前記アライメント手段が、
前記支持フレームに設けられたシリンダと、
前記シリンダによって直線運動を行いながら、前記基板の外側面に接触して前記基板を移動させる接触パッドとを含むことを特徴とする請求項１０に記載の基板検査装置。 The alignment means;
A cylinder provided in the support frame;
The substrate inspection apparatus according to claim 10, further comprising a contact pad that moves the substrate in contact with an outer surface of the substrate while performing linear motion by the cylinder. 前記シリンダが、前記支持フレームの隅部にそれぞれ設置され、
前記基板と対向する前記接触パッドの面に、前記基板の前記隅部に対応する形状の支持溝が形成されていることを特徴とする請求項１１に記載の基板検査装置。 The cylinders are respectively installed at corners of the support frame;
The substrate inspection apparatus according to claim 11, wherein a support groove having a shape corresponding to the corner portion of the substrate is formed on a surface of the contact pad facing the substrate. 前記基板が前記支持フレームの所定位置に配置されたときに、前記支持板が上昇して前記基板を前記透明窓側に上昇させるようにし、
前記支持板の枠部材に、前記基板の外側面に接触することにより前記基板が前記支持板上で動くことを防止するストッパが形成されていることを特徴とする請求項１２に記載の基板検査装置。 When the substrate is disposed at a predetermined position of the support frame, the support plate is raised to raise the substrate to the transparent window side,
13. The substrate inspection according to claim 12, wherein a stopper that prevents the substrate from moving on the support plate by contacting the outer surface of the substrate is formed on the frame member of the support plate. apparatus. 前記本体に、前記チャンバ内に雰囲気ガスを流入する流入管及び前記チャンバ内の雰囲気ガスを排出する排出管がそれぞれ連通して設けられていることを特徴とする請求項１に記載の基板検査装置。   The substrate inspection apparatus according to claim 1, wherein an inflow pipe for flowing atmospheric gas into the chamber and a discharge pipe for discharging atmospheric gas in the chamber are respectively connected to the main body. . 前記基板が、ＯＬＥＤディスプレイであることを特徴とする請求項１ないし請求項１４の何れか１項に記載の基板検査装置。   15. The substrate inspection apparatus according to claim 1, wherein the substrate is an OLED display.
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