KR102029581B1 - 인덕터 및 그 제조방법 - Google Patents

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이사용
황미선
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Abstract

본 발명의 일 실시예는 복수의 코일 패턴이 배치된 복수의 절연층이 적층된 바디 및 상기 바디의 내부에 배치된 제1 및 제2 외부 전극을 포함하며, 상기 복수의 코일 패턴은 코일 연결부를 통해 서로 연결되며, 양단부가 상기 제1 및 제2 외부전극에 연결된 코일을 형성하며, 상기 제1 및 제2 외부전극은 상기 바디의 내부에서 상기 복수의 코일 패턴의 양단부와 직접 연결된 인덕터를 제공한다.

Description

인덕터 및 그 제조방법 {INDUCTOR AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}
본 발명은 인덕터 및 그 제조방법에 관한 것이다.
최근 스마트폰의 경우, 다대역(多帶域) LTE(Long Term Evolution)의 적용으로 인해 많은 주파수 대역의 신호를 사용한다. 이로 인해 고주파 인덕터가 신호의 송·수신 RF 시스템에서 임피던스 매칭 회로로 주로 사용되고 있다. 고주파 인덕터는 소형화, 고용량화 하는 것이 요구되고 있다. 또한, 5G로 진행되면서 수십 GHz의 고주파수 대역에서 작동하는 수동 소자의 필요성도 증가하고 있다.
이에 높은 인덕턴스와 낮은 직류 저항을 구현할 수 있는 임피던스/시그널 매칭용 인덕터를 얻기 위하여, 인덕턴스와 Q 특성을 향상시킬 수 있는 구조가 요구되고 있다.
종래의 칩 인덕터는 적층형 방식으로서, 전극 패턴이 형성되어 있는 절연층을 여러 층 쌓고, 각 층의 배선은 비아 홀로 연결하여 제작하고 있다.
또한, 종래의 임피던스 매칭용 인덕터의 경우 크게 두가지 방식으로 제작된다.
첫번째는 감광성 페이스트를 이용하여 코일층-비아층-코일층 식으로 이어진 적층체를 형성한 후 소성에 의해 제작하는 방식으로, 코일 및 비아의 형상이 매끈하지 않다. 이와 같은 경우, 표면 효과 (Skin Effect)에 의해 저항이 증가하고, 고주파 영역에서 높은 Q 특성을 얻을 수 없다.
두번째는 박막 적층형 인덕터로서, 금속 코일과 유기 바디로 이루어지며, 유기 바디와 코일의 결합력 향상을 위해 코일 패턴 표면에 조도를 형성하고 있다.
이와 같이 코일 패턴 표면에 조도를 형성할 경우 고주파 영역에서 저항의 증가 문제가 있으며, 높은 Q 특성을 얻을 수 없다.
특히, 외부전극이 바디의 외측면에 배치되기 때문에, 외부전극의 체적만큼 바디의 체적 감소로 인하여 높은 인덕턴스 구현에 문제가 있었다.
한국 등록특허공보 제10-0869741호
본 발명의 일 목적 중 하나는, 높은 인덕턴스와 높은 Q 특성을 갖는 인덕터를 제공하고자 한다.
본 발명의 일 실시형태에 따르면, 복수의 코일 패턴이 배치된 복수의 절연층이 적층된 바디 및 상기 바디의 내부에 배치된 제1 및 제2 외부 전극을 포함하며, 상기 복수의 코일 패턴은 코일 연결부를 통해 서로 연결되며, 양단부가 상기 제1 및 제2 외부전극에 연결된 코일을 형성하며, 상기 제1 및 제2 외부전극은 상기 바디의 내부에서 상기 복수의 코일 패턴의 양단부와 직접 연결된 인덕터를 제공한다.
본 발명의 다른 실시형태에 따르면, 제1 절연체 시트 상에 제1 코일 패턴 및 코일 연결부를 형성하는 단계, 상기 제1 절연체 시트 상에 제2 절연체 시트를 적층하는 단계, 상기 제2 절연체 시트 상에 제2 코일 패턴 및 코일 연결부를 형성하는 단계, 상기 제2 절연체 시트 상에 제3 절연체 시트를 적층하는 단계 및 상기 단계들을 반복하여 적층함으로써, 복수의 코일 패턴을 포함하는 바디를 형성하는 단계를 포함하며, 상기 바디 내부에는 상기 복수의 코일 패턴의 양단부와 연결된 제1 및 제2 외부전극이 더 배치되며, 상기 제1 및 제2 외부전극은 상기 바디의 내부에서 상기 복수의 코일 패턴의 양단부와 직접 연결된 인덕터의 제조방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 인덕터에 있어서, 제1 및 제2 외부전극이 바디의 내부에 배치되기 때문에, 외부전극으로 인한 바디의 체적 감소가 없어 높은 인덕턴스를 구현할 수 있다.
또한, 별도의 코일 인출부 없이 코일의 양단부가 각각 제1 및 제2 외부전극에 직접 연결되기 때문에 코일 인출부가 차지하는 면적만큼 코일 내부 면적을 증가시킬 수 있어, 인덕터의 인덕턴스가 향상될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 인덕터의 투시 사시도를 개략적으로 도시한 것이다.
도 2는 도 1의 인덕터의 정면도를 개략적으로 도시한 것이다.
도 3은 도 2의 I-I' 단면도를 개략적으로 도시한 것이다.
도 4a 내지 도 4k는 도 1의 인덕터를 제작하는 방법을 개략적으로 나타낸 공정도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명한다.
그러나, 본 발명의 실시 예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 이하 설명하는 실시 예로 한정되는 것은 아니다.
또한, 본 발명의 실시 예는 당해 기술 분야에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다.
도면에서 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.
또한, 각 실시 예의 도면에 나타난 동일한 사상의 범위 내의 기능이 동일한 구성요소는 동일한 참조부호를 사용하여 설명한다.
이하, 도면의 W, L, T는 각각 제1 방향, 제2 방향, 제3 방향으로 정의될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 인덕터의 투시 사시도를 개략적으로 도시한 것이다.
도 2는 도 1의 인덕터의 정면도를 개략적으로 도시한 것이다.
도 3은 도 2의 I-I' 단면도를 개략적으로 도시한 것이다.
도 1 내지 3을 참조하여, 본 발명의 일 실시형태에 따른 인덕터(100)의 구조를 설명하도록 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 인덕터(100)의 바디(101)는 실장면에 수평한 제1 방향으로 복수의 절연층(111)이 적층되어 형성될 수 있다.
상기 절연층(111)은 SiO2 분말을 포함할 수 있다. 다른 실시예의 경우, 상기 절연층(111)은 Al2O3 분말을 포함할 수 있다. 또 다른 실시예의 경우, 상기 절연층(111)은 알루미노실리케이트 (Al2O5Si) 분말을 포함할 수 있다. 다만, 본 발명이 이러한 재료로 한정되는 것은 아니다.
상기 절연층(111)은 수지 등에 상기 분말을 포함하여 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에 따르면, 상기 바디(101)의 내부에는 제1 및 제2 외부전극(181, 182)이 배치될 수 있다.
예를 들어, 제1 및 제2 외부전극(181, 182)은 바디(101)의 실장면에 배치될 수 있다. 실장면이란 인덕터가 인쇄회로기판에 실장될 때에 인쇄회로기판을 향하는 면을 의미한다.
외부전극(181, 182)은 인덕터(100)가 인쇄회로기판(PCB)에 실장 될 때, 인덕터(100)를 기판과 전기적으로 연결시키는 역할을 수행한다. 외부전극(181, 182)은 바디(101) 상에 제1 방향 및 실장면에 수평한 제2 방향의 가장자리에 서로 이격되어 배치된다. 외부전극(181, 182)은, 예를 들어, 제1 전극층(181a, 182a)과, 상기 제 전극층(181a, 182a) 상에 형성된 도금층(181b, 181c, 182b, 182c)을 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
제1 전극층(181a, 182a)은 상기 복수의 코일 패턴(121)과 직접 연결되되, 복수의 코일 패턴(121)과 동일한 재질일 수 있다. 구체적으로, 구리(Cu), 니켈(Ni) 및 은(Ag)으로 이루어진 군으로부터 선택된 어느 하나 이상의 도전성 금속을 포함할 수 있다.
상기 제1 및 제2 외부전극(181, 182)은 상기 제1 전극층(181a, 182a) 상에 배치된 복수의 도금층(181b, 181c, 182b, 182c)을 더 포함할 수 있다.
상기 복수의 도금층(181b, 181c, 182b, 182c) 중 최외측 도금층(181c, 182c)은 상기 바디(101)의 외부로 노출될 수 있다.
상기 복수의 도금층(181b, 181c, 182b, 182c)은 니켈(Ni)층(181b, 182b)과 주석(Sn)층(181c, 182c)이 순차로 형성될 수 있다.
종래의 인덕터는 외부전극이 바디의 외측면에 배치되기 때문에, 외부전극의 체적만큼 바디의 체적 감소로 인하여 높은 인덕턴스 구현에 문제가 있었다.
즉, 종래에는 외부전극이 바디의 외측면에 배치되기 때문에 "L" 자 형상의 외부전극의 경우 길이 방향 측면의 외부전극 단부에서 바디의 상면까지 바디가 채워지지 않아 인덕턴스 형성에 불리하였다.
그러나, 본 발명의 일 실시형태에 따르면, 제1 및 제2 외부전극(181, 182)이 상기 바디(101)의 내부에 배치되기 때문에, 외부전극으로 인한 바디의 체적 감소가 없어 높은 인덕턴스를 구현할 수 있다.
도 2를 참조하면, 상기 제1 및 제2 외부전극(181, 182)이 상기 바디(101)의 내부에 배치된다는 것은 상기 제1 및 제2 외부전극(181, 182)이 "L" 자 형상일 경우, 길이 방향 측면의 제1 및 제2 외부전극(181, 182) 단부에서 바디의 상면까지 바디가 채워진 형상을 의미한다.
또한, 상기 바디(101)의 길이 방향에서 제1 및 제2 외부전극(181, 182)의 단부 경계면과 바디(101)의 길이 방향 단면의 경계면이 일치하는 것을 의미한다.
다만, 제1 및 제2 외부전극(181, 182)의 단부 경계면과 바디(101)의 길이 방향 단면의 경계면이 일치한다는 것은 정확히 일치하는 것만을 한정하는 것은 아니며, 공정상 차이에 의해 일정 부분 차이가 생기는 것까지 포함하는 개념이다.
이 경우, 후술하는 바와 같이 상기 제1 및 제2 외부전극(181, 182)을 구성하는 최외측 도금층(181c, 182c)은 바디의 외부로 노출된 형상을 가질 수 있다.
또한, 상기 제1 및 제2 외부전극(181, 182)을 구성하는 최외측 도금층(181c, 182c)은 바디의 외부로 돌출될 수도 있으며, 바디(101)의 길이 방향 단면의 경계면 안쪽으로 배치될 수도 있다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 절연층(111)에는 코일 패턴(121)이 형성될 수 있다.
코일 패턴(121)은 인접하는 코일패턴(121)과 코일 연결부(132)에 의해 전기적으로 연결될 수 있다. 즉, 나선형의 코일패턴(121)이 코일 연결부(132)에 의해 연결되어 코일(120)을 형성한다.
코일(120)의 양단부는 각각 제1 및 제2 외부전극(181, 182)에 직접 연결된다.
종래의 인덕터는 외부전극이 바디의 외측면에 배치되기 때문에, 코일의 양단부와 외부전극을 연결하기 위하여는 별도로 코일의 양단부에 코일 인출부를 형성하여야 하였다.
그러나, 본 발명의 일 실시형태에 따르면, 제1 및 제2 외부전극(181, 182)이 상기 바디(101)의 내부에 배치되기 때문에, 코일(120)의 양단부에는 별도의 코일 인출부가 필요 없으며, 코일(120)의 양단부는 각각 제1 및 제2 외부전극(181, 182)에 직접 연결된다.
상기와 같이 별도의 코일 인출부 없이 코일(120)의 양단부가 각각 제1 및 제2 외부전극(181, 182)에 직접 연결될 경우, 코일 인출부가 차지하는 면적만큼 코일 내부 면적을 증가시킬 수 있다.
인덕터의 인덕턴스는 투자율, 코일의 턴수 및 자로 길이가 동일할 경우, 코일 내부 면적에 비례한다.
즉, 본 발명의 일 실시형태에 따르면, 별도의 코일 인출부 없이 코일(120)의 양단부가 각각 제1 및 제2 외부전극(181, 182)에 직접 연결되기 때문에 코일 인출부가 차지하는 면적만큼 코일 내부 면적을 증가시킬 수 있어, 인덕터의 인덕턴스가 향상될 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이 본 발명의 일 실시형태에 따른 인덕터는 별도의 코일 인출부 없이 코일(120)의 양단부가 각각 제1 및 제2 외부전극(181, 182)에 직접 연결되기 때문에 종래 코일 인출부에 의해 외부전극과 코일을 연결한 인덕터의 구조에 비해 코일 내부 면적이 약 23.8% 정도 증가한다.
이와 같이, 코일 내부 면적의 증가로 인하여 본 발명의 일 실시형태에 따른 인덕터의 인덕턴스는 향상될 수 있다.
본 발명의 다른 실시형태에서는 코일 연결부(132)를 기준으로 상부 코일(120)의 높이를 8.2% 높일 수 있으며, 이 경우에는 코일 내부 면적이 32.3%까지 증가시킬 수 있다. 이로 인하여 보다 높은 인덕턴스를 얻을 수 있다.
코일 연결부(132)는 코일 패턴(121) 사이를 연결할 수 있으며, 절연층(111)을 관통하는 도전성 비아를 포함한다.
코일 패턴(121) 및 코일 연결부(132)의 재질로는 도전성이 뛰어난 금속인 구리(Cu), 알루미늄(Al), 은(Ag), 주석(Sn), 금(Au), 니켈(Ni), 납(Pb), 또는 이들의 합금 등의 도전성 물질을 사용할 수 있다. 코일패턴(121) 및 코일 연결부(132)는 도금법 또는 인쇄법 등으로 형성할 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에 따른 인덕터(100)는 도 2와 같이, 절연층(111)에 코일 패턴(121) 또는 코일 연결부(132) 등을 형성한 후에 절연층(111)을 실장면에 수평한 제1 방향으로 적층하여 제조되기 때문에 종래보다 용이하게 인덕터(100)를 제조할 수 있다. 또한 코일 패턴(121)이 실장면에 수직하게 배치되기 때문에 실장기판에 의해 자속이 영향을 받는 것을 방지할 수 있다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시형태에 따른 인덕터(100)의 코일(120)은 제1 방향에서 투사시에 코일 패턴(121)들이 중첩되어 1회 이상의 코일 턴수를 가지는 코일 궤도를 형성하게 된다.
구체적으로, 제1 외부전극(181)과 첫번째 코일 패턴(121)이 직접 연결되고, 이후 순차적으로 코일 패턴들(121)이 코일 연결부(132)에 의해 연결된다.
마지막 코일 패턴(121)이 제2 외부전극(182)에 직접 연결되어 코일(120)을 형성하게 된다.
도 4a 내지 도 4k는 도 1의 인덕터를 제작하는 방법을 개략적으로 나타낸 공정도이다.
도 4a 내지 도 4k를 참조하면, 본 발명의 다른 실시형태에 따른 인덕터(100)의 제조방법은 제1 절연체 시트 상에 제1 코일 패턴 및 코일 연결부를 형성하는 단계, 상기 제1 절연체 시트 상에 제2 절연체 시트를 적층하는 단계, 상기 제2 절연체 시트 상에 제2 코일 패턴 및 코일 연결부를 형성하는 단계, 상기 제2 절연체 시트 상에 제3 절연체 시트를 적층하는 단계 및 상기 단계들을 반복하여 적층함으로써, 복수의 코일 패턴을 포함하는 바디를 형성하는 단계를 포함하며, 상기 바디 내부에는 상기 복수의 코일 패턴의 양단부와 연결된 제1 및 제2 외부전극이 더 배치되며, 상기 제1 및 제2 외부전극은 상기 바디의 내부에서 상기 복수의 코일 패턴의 양단부와 직접 연결된 것을 특징으로 한다.
이하에서는 본 발명의 다른 실시형태에 따른 인덕터의 제조방법에 대하여 설명하나, 반드시 이에 제한되는 것은 아니다.
1. 제1 절연체 시트를 마련하는 단계
도 4a와 같이, 제1 절연체 시트(111)를 마련한다. 상기 제1 절연체 시트(111)는 SiO2 분말, Al2O3 분말 및 알루미노실리케이트 (Al2O5Si) 분말 중 어느 하나 이상을 포함할 수 있다. 다만, 본 발명이 이러한 재료로 한정되는 것은 아니다.
상기 제1 절연체 시트(111)는 수지 등에 상기 분말을 포함하여 형성할 수 있다
2. 제1 절연체 시트(111) 상에 제1 코일 패턴(121) 및 코일 연결부(132)를 형성하는 단계
도 4b 및 4c와 같이, 제1 절연체 시트(111) 상에 제1 코일 패턴(121) 및 코일 연결부(132)를 형성한다.
상기 제1 코일 패턴 및 코일 연결부를 형성하는 방법은 마스크를 이용한 인쇄 방식에 의해 수행되며, 상기 제1 코일 패턴 및 코일 연결부는 금속으로 이루어진다.
3. 상기 제1 절연체 시트 상에 제2 절연체 시트를 적층하는 단계
도 4d와 같이, 상기 제1 절연체 시트 상에 제2 절연체 시트를 적층한다.
상기 제1 절연체 시트 상에 제2 절연체 시트를 적층하는 방법은 특별히 제한되지 않으며 종래의 방법에 의해 수행될 수 있다.
4. 상기 제2 절연체 시트 상에 제2 코일 패턴 및 코일 연결부를 형성하는 단계
도 4e 및 4f와 같이, 상기 제2 절연체 시트 상에 제2 코일 패턴 및 코일 연결부를 형성한다.
상기 제2 코일 패턴 및 코일 연결부를 형성하는 방법은 마스크를 이용한 인쇄 방식에 의해 수행되며, 상기 제2 코일 패턴 및 코일 연결부는 금속으로 이루어진다.
5. 상기 제2 절연체 시트 상에 제3 절연체 시트를 적층하는 단계
도 4g와 같이, 상기 제2 절연체 시트 상에 제3 절연체 시트를 증착한다.
상기 제2 절연체 시트 상에 제3 절연체 시트를 적층하는 방법은 상기 제2 절연체 시트를 제1 절연체 시트 상에 적층하는 방법과 동일하게 수행될 수 있다.
6. 상기 단계들을 반복하여 적층함으로써, 복수의 코일 패턴을 포함하는 바디를 형성하는 단계
도 4h와 같이, 상기 단계들을 반복하여 적층함으로써, 복수의 코일 패턴을 포함하는 바디를 형성한다.
7. 상기 바디 계면으로 노출된 제1 전극층(181a, 182a)을 에칭하는 단계
도 4i와 같이, 상기 바디 계면으로 노출된 제1 전극층(181a, 182a)을 에칭한다.
8. 상기 제1 전극층(181a, 182a) 상에 니켈(Ni) 및 주석(Sn) 도금층을 형성하는 단계
도 4j 및 4k와 같이, 상기 제1 전극층(181a, 182a) 상에 니켈(Ni) 및 주석(Sn) 도금층 (181b, 181c, 182b, 182c)을 형성한다.
상기와 같이 형성함으로써, 상기 바디(101) 내부에 상기 복수의 코일 패턴(121)의 양단부와 연결된 제1 및 제2 외부전극(181, 182)이 더 배치되고, 상기 제1 및 제2 외부전극(181, 182)은 상기 바디(101)의 내부에서 상기 복수의 코일 패턴(121)의 양단부와 직접 연결된 인덕터를 제작할 수 있다.
또한, 상기 바디(101)의 길이 방향에서 제1 및 제2 외부전극(181, 182)의 단부 경계면과 바디(101)의 길이 방향 단면의 경계면이 일치할 수 있다.
다만, 제1 및 제2 외부전극(181, 182)의 단부 경계면과 바디(101)의 길이 방향 단면의 경계면이 일치한다는 것은 정확히 일치하는 것만을 한정하는 것은 아니며, 공정상 차이에 의해 일정 부분 차이가 생기는 것까지 포함하는 개념이다.
이 경우, 상기 제1 및 제2 외부전극(181, 182)을 구성하는 최외측 도금층(181c, 182c)은 바디의 외부로 노출된 형상을 가질 수 있다.
또한, 상기 제1 및 제2 외부전극(181, 182)을 구성하는 최외측 도금층(181c, 182c)은 바디의 외부로 돌출될 수도 있으며, 바디(101)의 길이 방향 단면의 경계면 안쪽으로 배치될 수도 있다.
본 발명의 다른 실시형태에 따른 인덕터에 있어서, 상술한 본 발명의 일 실시형태에 따른 인덕터와 동일한 특징에 대하여는 구체적인 설명을 생략하도록 한다.
이상에서 설명한 실시예들은 서로 독립적인 것이 아니며, 실시예 하나를 단독으로 실시하거나 실시예 둘 이상을 조합하여 실시하는 것도 가능하다. 또한, 이상에서 본 발명의 실시 예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명은 상술한 실시 예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니며, 첨부된 청구범위에 의해 한정하고자 한다.
따라서, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 당 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 형태의 치환, 변형 및 변경이 가능할 것이며, 이 또한 본 발명의 범위에 속한다고 할 것이다.
100: 인덕터
101: 바디
120: 코일
121: 코일 패턴
131: 코일 인출부
132: 코일 연결부
140: 더미 패턴
181, 182: 외부 전극

Claims (8)

  1. 복수의 코일 패턴이 배치된 복수의 절연층이 적층된 바디; 및
    상기 바디의 내부에 배치된 제1 및 제2 외부 전극;을 포함하며,
    상기 복수의 코일 패턴은 코일 연결부를 통해 서로 연결되며, 양단부가 상기 제1 및 제2 외부전극에 연결된 코일을 형성하며,
    상기 제1 및 제2 외부전극은 상기 바디의 내부에서 상기 복수의 코일 패턴의 양단부와 직접 연결되고,
    상기 제2 외부전극의 단부의 경계면과 상기 바디의 길이 방향 단면의 경계면이 일치하는, 인덕터.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 외부전극은 상기 복수의 코일 패턴과 직접 연결되되, 복수의 코일 패턴과 동일한 재질로 증착된 제1 전극층을 포함하는 인덕터.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 외부전극은 상기 제1 전극층 상에 배치된 복수의 도금층을 더 포함하는 인덕터.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 복수의 도금층 중 최외측 도금층은 상기 바디의 외부로 노출된 인덕터.
  5. 제1 절연체 시트 상에 제1 코일 패턴 및 코일 연결부를 형성하는 단계;
    상기 제1 절연체 시트 상에 제2 절연체 시트를 적층하는 단계;
    상기 제2 절연체 시트 상에 제2 코일 패턴 및 코일 연결부를 형성하는 단계;
    상기 제2 절연체 시트 상에 제3 절연체 시트를 적층하는 단계; 및
    상기 단계들을 반복하여 적층함으로써, 복수의 코일 패턴을 포함하는 바디를 형성하는 단계;를 포함하며,
    상기 바디 내부에는 상기 복수의 코일 패턴의 양단부와 연결된 제1 및 제2 외부전극이 더 배치되며,
    상기 제1 및 제2 외부전극은 상기 바디의 내부에서 상기 복수의 코일 패턴의 양단부와 직접 연결된 인덕터의 제조방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 외부전극은 상기 복수의 코일 패턴과 직접 연결되되, 복수의 코일 패턴과 동일한 재질로 증착된 제1 전극층을 포함하는 인덕터의 제조방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 외부전극은 상기 제1 전극층 상에 배치된 복수의 도금층을 더 포함하는 인덕터의 제조방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 복수의 도금층 중 최외측 도금층은 상기 바디의 외부로 노출된 인덕터의 제조방법.
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