KR101983732B1 - Inspection jig - Google Patents

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KR101983732B1
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무네히로 야마시타
아키라 고토
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니혼덴산리드가부시키가이샤
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Abstract

(과제)
본 발명은, 기판에 내장되는 전자부품의 과전압에 의한 파괴를 방지하는 검사용 치구를 제공한다.
(해결수단)
전자부품을 내장하는 부품내장기판에 형성되는 배선의 전기적인 검사를 하는 기판검사장치와, 상기 부품내장기판을 전기적으로 접속하기 위한 검사용 치구로서, 상기 기판의 배선 상에 설정되는 복수의 검사점에 일방단이 접촉됨과 아울러 전기적으로 접속되는 복수의 막대 모양의 접촉자와, 상기 복수의 접촉자와 전기적으로 각각 접속되는 복수의 배선부를 구비하고, 전자부품을 포함하는 배선의 일단이 검사점으로서 설정되는 접촉자와, 상기 배선의 타단이 검사점으로서 설정되는 접촉자가, 소정의 전압이 되기 위한 전압 클램프부를 구비하는 것을 특징으로 한다.(assignment)
The present invention provides a test fixture for preventing destruction of an electronic component built in a substrate by overvoltage.
(Solution)
A substrate inspection apparatus for electrically inspecting a wiring formed on a component-embedded substrate having an electronic component built therein, and a test fixture for electrically connecting the component-embedded substrate, wherein a plurality of checkpoints And a plurality of wiring portions electrically connected to the plurality of contacts, wherein one end of the wiring including the electronic component is set as a check point A contact and a contact clamp whose other end of the wiring is set as a check point are provided with a voltage clamping portion for setting a predetermined voltage.

Description

검사용 치구{INSPECTION JIG}Inspection Jig {INSPECTION JIG}

본 발명은 배선패턴(配線pattern)이 형성됨과 아울러 전자부품이 내장되는 기판(基板)과, 이 기판을 검사하는 기판검사장치(基板檢査裝置)를 전기적으로 접속하는 검사용 치구(檢査用 治具)에 관한 것으로서, 더 상세하게는 기판에 내장되는 전자부품의 과전압(過電壓)에 의한 파괴를 방지하는 검사용 치구에 관한 것이다.
The present invention relates to an inspection jig for electrically connecting a substrate (substrate) on which an electronic component is embedded and a wiring pattern (wiring pattern), and a substrate inspection apparatus (substrate inspection apparatus) for inspecting the substrate, And more particularly to a test fixture for preventing destruction of an electronic component built in a substrate by an overvoltage.

현재, 콘덴서 및 저항 등의 전자부품을 내장한 부품내장기판(임베디드 기판(embedded 基板)이라고도 한다)의 보급이 시작되고 있어, 부품내장기판 내에 내장된 전자부품에 대한 검사방법의 확립이 조급하게 요구되고 있다. 부품내장기판 자체가 새로운 것이기 때문에, 그 검사방법에 대해서도 종래기술이라고 부를 수 있는 기존의 기술이 존재하지 않는 것이 현재의 실정이다. 여기에서 부품내장기판에 대한 검사방법에 대하여 개시가 있는 선행문헌으로서 예를 들면 특허문헌1을 예시할 수 있다.Currently, the introduction of component-embedded boards (also referred to as embedded boards) with built-in electronic components such as capacitors and resistors is beginning to take place, prompting the establishment of inspection methods for electronic components embedded in the component- . Since the component-embedded board itself is new, there is no existing technology that can be referred to as a conventional technique for the inspection method. As an example of a prior art that discloses a method of inspecting a component-embedded board, for example, Patent Document 1 can be exemplified.

이러한 특허문헌1에 개시되어 있는 선행기술문헌에서는, 부품내장기판을 검사하는 경우이더라도 저비용이고 또한 단시간에 부품내장기판의 검사를 실시하는 것을 목적으로 하여, 4개 주파수의 검사신호를 사용하는 기판검사장치를 설치함으로써 검사를 실현하고 있다.In the prior art document disclosed in Patent Document 1, for the purpose of inspecting a component built-in board at a low cost and in a short time even in the case of inspecting a component built-in board, The inspection is realized by installing the apparatus.

이러한 기판검사방법에서는, 보통의 경우에 있어서 기판에 검사를 실시하기 위한 입력신호를 공급할 수 있을 뿐만 아니라, 이 입력신호에 따른 출력신호를 수신하고, 이 출력신호를 기초로 하여 기판의 양품/불량품을 판정할 수 있는 기판검사장치가 사용된다. 또한 이 기판검사장치와 검사대상의 기판을 전기적으로 접속하기 위한 검사용 치구가 사용된다. 또한 이러한 기판검사장치는, 기판에 따라 커스터마이즈(customize) 되는 것이 아니라, 상기와 같은 전기신호의 입출력이나 신호처리를 할 수 있는 범용적인 기능을 구비할 뿐이며, 검사용 치구가 기판의 종류에 따라 커스터마이즈 되어 사용된다. 또 실제의 검사에서는, 기판검사장치에 검사순서나 검사조건이 기억되어 있고, 이 기억된 순서나 조건에 따라 검사가 실행된다.Such a substrate inspecting method not only can supply an input signal for inspecting a substrate in a normal case, but also receives an output signal according to the input signal, and based on this output signal, Is used as the substrate inspection apparatus. Further, a test fixture for electrically connecting the substrate inspection apparatus to the substrate to be inspected is used. Such a substrate inspecting apparatus is not customized according to a substrate but has a general function for inputting and outputting electric signals and signal processing as described above and can be customized according to the type of substrate, . In the actual inspection, the inspection order and the inspection conditions are stored in the substrate inspection apparatus, and the inspection is performed in accordance with the stored order and conditions.

그러나 상기와 같은 종전의 검사방법에서는, 부품내장기판과 같이 전자부품이 내장되는 기판을 검사하는 경우에는 전자부품을 파괴하지 않도록 미리 전자부품이 접속되는 배선에 따른 검사전압이 설정되어 있다. 이 때문에 전자부품이 배치되는 배선과 전자부품이 배치되어 있지 않은 배선에서는, 검사전압이 다르게 된다.However, in the conventional inspection method described above, when inspecting a substrate on which an electronic component is embedded, such as a component built-in substrate, the inspection voltage is set according to the wiring to which the electronic component is connected in advance so as not to destroy the electronic component. Therefore, the inspection voltage is different between the wiring where the electronic parts are arranged and the wiring where the electronic parts are not arranged.

이러한 경우에 기판검사장치에 기억되는 검사조건이 상이하게 기억되어 있었던 것이라고 하면, 기판의 검사가 실행될 때마다 전자부품이 파괴된다는 문제를 가지고 있다.
In this case, if the inspection conditions stored in the substrate inspection apparatus are stored differently, there is a problem that the electronic components are destroyed every time the inspection of the substrate is performed.

일본국 공개특허 특개2007-309814호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-309814

본 발명은 이러한 실정을 고려하여 이루어진 것으로서, 전자부품이 내장되는 기판을 검사하는 경우에, 기판검사장치에 설정되는 검사조건 등에 영향을 받지 않고 기판에 내장되는 전자부품의 과전압에 의한 파괴를 방지하는 검사용 치구를 제공한다.
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances and it is an object of the present invention to provide a method of inspecting a substrate on which an electronic component is embedded by preventing undesired breakdown of an electronic component embedded in the substrate without being affected by inspection conditions, Provide a jig for inspection.

청구항1에 기재되어 있는 발명은, 전자부품을 내장하는 부품내장기판에 형성되는 배선의 전기적인 검사를 하는 기판검사장치(基板檢査裝置)와, 상기 부품내장기판을 전기적으로 접속하기 위한 검사용 치구(檢査用 治具)로서, 상기 기판의 배선 상에 설정되는 복수의 검사점에 일방단(一方端)이 접촉됨과 아울러 전기적으로 접속되는 복수의 막대 모양의 접촉자(接觸子)와, 상기 접촉자의 타방단(他方端)과 접촉됨과 아울러 전기적으로 접속되는 전극부(電極部)를 복수 구비하는 전극체(電極體)와, 상기 복수의 접촉자의 일방단을 각각의 소정의 검사점으로 안내하고, 타방단을 각각의 소정의 전극부로 안내하는 지지체(支持體)와, 상기 복수의 전극부와 전기적으로 각각 접속되는 복수의 배선부(配線部)와, 상기 배선부의 타단(他端)과 전기적으로 접속됨과 아울러 상기 기판검사장치와 전기적으로 접속되는 접속부(接續部)를 복수 구비하는 접속체(接續體)를 구비하고, 상기 전자부품을 포함하는 배선의 일단(一端)이 검사점으로서 설정되는 접촉자와, 상기 배선의 타단이 검사점으로서 설정되는 접촉자가, 소정 전압이 되기 위한 전압 클램프부(電壓 clamp部)를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 검사용 치구를 제공한다.According to a first aspect of the present invention, there is provided a substrate inspection apparatus comprising: a substrate inspection apparatus for electrically inspecting a wiring formed on a component-embedded substrate containing an electronic component; and a testing jig for electrically connecting the component- A plurality of bar-shaped contacts (contactors), one end of which is in contact with a plurality of check points set on the wiring of the substrate, and which are electrically connected to each other; An electrode body (electrode body) having a plurality of electrode portions (electrode portions) which are in contact with the other end and are electrically connected to each other; A supporting body for guiding the other end to each of the predetermined electrode portions, a plurality of wiring portions (wiring portions) electrically connected to the plurality of electrode portions, And a connection body electrically connected to the other end of the wiring portion and having a plurality of connection portions electrically connected to the substrate inspecting apparatus, And a voltage clamp section for causing the contact to be set at the other end of the wire as a check point and the contact to which the other end of the wire is set as the check point to have a predetermined voltage, Jig.

청구항2에 기재되어 있는 발명은, 상기 전압 클램프부는, 상기 전자부품을 포함하는 상기 배선의 일단이 검사점으로서 설정되는 접촉자와 전기적으로 접속되는 배선부와 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 청구항1에 기재되어 있는 검사용 치구를 제공한다.The invention according to claim 2 is characterized in that the voltage clamp section is connected to a wiring section which is electrically connected to a contact whose one end of the wiring including the electronic component is set as a check point The inspection jig is provided.

청구항3에 기재되어 있는 발명은, 상기 전압 클램프부는 정전압 다이오드(定電壓 diode)인 것을 특징으로 하는 청구항1 또는 청구항2에 기재되어 있는 검사용 치구를 제공한다.According to a third aspect of the present invention, there is provided the inspection jig according to the first or second aspect, wherein the voltage clamping unit is a constant voltage diode.

이들의 발명을 제공함으로써 상기 과제를 전부 해결한다.
These problems are solved by providing these inventions.

청구항1에 기재되어 있는 발명에 의하면, 전자부품을 포함한 배선의 일단과 타단에 각각 접촉되는 접촉자의 사이를 소정 전압으로 제어하는 전압 클램프부가 설치되기 때문에, 전자부품에 인가되는 검사전압을 일정하게 할 수 있다. 이 때문에 전자부품에 필요 이상의 전압이 인가되지 않으므로 전자부품이 파괴되지 않는다. 또한 이러한 전자부품을 과전압에 의한 파괴를 예방하기 위한 전압 클램프부가 검사용 치구에 설치되기 때문에, 기판검사장치로부터 공급되는 검사신호가 전자부품에 있어서 과전압이 되는 검사신호이더라도 전자부품이 파괴되지 않는다.According to the invention described in claim 1, since the voltage clamp section for controlling the contact between the contacts at one end and the other end of the wiring including the electronic components to a predetermined voltage is provided, the inspection voltage applied to the electronic component is made constant . As a result, no more voltage than necessary is applied to the electronic component, so that the electronic component is not destroyed. In addition, since the voltage clamp portion for preventing the breakdown of the electronic component by the overvoltage is provided in the inspection jig, even if the inspection signal supplied from the substrate inspection device is an inspection signal that becomes an overvoltage in the electronic component, the electronic component is not destroyed.

청구항2에 기재되어 있는 발명에 의하면, 전압 클램프부가 소정의 접촉자와 접속하는 배선부의 사이에 접속되어 있기 때문에, 검사용 치구를 용이하게 제조할 수 있다.According to the invention described in claim 2, since the voltage clamp portion is connected between the wiring portions connected to the predetermined contacts, the inspection jig can be easily manufactured.

청구항3에 기재되어 있는 발명에 의하면, 전압 클램프부가 정전압 다이오드이기 때문에 간편하게 검사용 치구를 제조할 수 있다.
According to the invention described in Claim 3, since the voltage clamp portion is a constant-voltage diode, the inspection jig can be easily manufactured.

도1은, 본 발명에 관한 검사용 치구의 1실시형태의 개략적인 구성을 나타내는 측면도이다.
도2는, 본 발명의 검사용 치구의 구성을 설명하기 위한 모식도이다.BRIEF DESCRIPTION OF DRAWINGS FIG. 1 is a side view showing a schematic configuration of an embodiment of a testing jig according to the present invention; FIG.
Fig. 2 is a schematic view for explaining the configuration of the inspection jig of the present invention. Fig.

본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태에 대하여 설명한다.Best mode for carrying out the present invention will be described.

도1은, 본 발명에 관한 검사용 치구(檢査用 治具)(1)의 1실시형태의 개략적인 구성을 나타내는 측면도이다. 도1에서는, 도면을 간략하게 하기 위하여 3개의 접촉자(接觸子)(2)를 나타내고 있지만, 이들은 3개에 한정되지 않고 검사대상에 설정되는 검사점에 따라 개수가 결정된다.1 is a side view showing a schematic configuration of an embodiment of a testing jig 1 according to the present invention. Although FIG. 1 shows three contacts (contactors) 2 for the sake of simplicity, the number of contacts is not limited to three, but the number is determined according to the check points set for the object to be inspected.

검사용 치구(1)는, 복수의 접촉자(2)와, 이들 복수의 접촉자(2)를 지지하는 지지체(支持體)(3)와, 복수의 전극부(電極部)(41)를 구비하는 전극체(電極體)(4)와, 전극체(4)를 지지하는 지주부(支柱部)(5)와, 전극부(41)로부터 연장되어 기판검사장치(基板檢査裝置)(도면에는 나타내지 않는다)와 전극부(41)를 전기적으로 접속하는 배선부(配線部)(6)와, 복수의 접촉자(2)나 지지체(3)나 전극체(4)나 지주부(5) 등의 토대가 되는 토대부(土臺部)(7)와, 기판검사장치와 배선부(6)를 접속하는 접속체(接續體)(8)를 구비하여 이루어진다.The inspection jig 1 is provided with a plurality of contacts 2, a supporting body 3 for supporting the plurality of contacts 2, and a plurality of electrode portions (electrode portions) 41 A supporting member 5 for supporting the electrode member 4 and a substrate inspection device extending from the electrode member 41 A wiring portion 6 for electrically connecting the electrode portion 41 and the electrode portion 41 to each other and a base portion 6 such as a plurality of contacts 2 and the base 3 such as the supporting body 3, And a connection body 8 for connecting the substrate inspection apparatus and the wiring section 6. The substrate inspection apparatus 1 is provided with a connection section 8 for connecting the substrate inspection apparatus and the wiring section 6 to each other.

접촉자(2)는, 일단(一端)이 검사대상물의 기판 상에 설정되는 소정의 검사점과 접촉되어 도통접속(導通接續)되고, 타단(他端)이 후술하는 전극부(41)에 접촉되어 도통접속된다. 이 접촉자(2)는 소정의 길이를 구비하는 가늘고 긴 막대 모양의 형상을 구비하고 있다.One end of the contactor 2 comes into contact with a predetermined check point set on the substrate of the object to be inspected and conducts connection and connection and the other end is brought into contact with the electrode portion 41 to be described later Respectively. The contactor 2 has an elongated rod shape having a predetermined length.

접촉자(2)는 가요성(可撓性)을 구비하고 도전성(導電性)을 구비하는 소재로 형성되어 있다. 접촉자(2)는 양단부를 제외한 전체 둘레에 걸쳐서 절연피복이 형성되고, 절연피막에 의한 단차(段差)를 이용하여 지지체(3)에 장착된다. 또한 접촉자(2)는 가요성을 구비하고 있어, 지지체(3)에 장착될 때에는 약간 일정방향으로 만곡(彎曲)되어 장착된다. 이와 같이 접촉자(2)가 만곡되어 장착됨으로써 복원력(復原力)에 의하여 전극부(41)와 검사점에 가압하는 압력이 발생하게 된다.The contactor 2 is formed of a material having flexibility and being electrically conductive. The contactor 2 is formed with an insulating coating over the entire periphery excluding both ends, and is mounted on the supporting member 3 using a step difference caused by an insulating coating. Further, the contactor 2 has flexibility and is mounted in a curved shape in a slightly constant direction when the contactor 2 is mounted on the support 3. As the contactor 2 is bent and mounted in this way, a pressure is applied to the electrode portion 41 and the check point by the restoring force.

이러한 접촉자(2)의 구체적인 소재로서는, 예를 들면 텅스텐(tungsten), 베릴륨 동(beryllium copper)이나 니켈(nickel) 또는 그들의 합금 등을 사용할 수 있다. 또한 절연피복의 소재로서, 우레탄(urethane)이나 불소화수지(폴리프로필렌(polypropylene)이나 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE)) 등을 사용할 수 있다.As a specific material of the contactor 2, for example, tungsten, beryllium copper, nickel, or an alloy thereof may be used. As an insulating coating material, urethane, fluorinated resin (polypropylene, polytetrafluoroethylene (PTFE)) and the like can be used.

접촉자(2)의 검사점에 접촉되는 선단의 형상은, 첨예(尖銳)한 형상으로 형성되지만, 특별하게 한정되는 것이 아니라 예를 들면 평탄 형상, 왕관 형상, 원추 형상이나 원통 형상으로 형성할 수 있다.The shape of the leading end contacting with the check point of the contactor 2 is formed in a sharp shape but is not particularly limited and may be, for example, a flat shape, a crown shape, a conical shape, or a cylindrical shape .

지지체(3)는 복수 접촉자(2)의 일방단(一方端)을 각각의 소정의 검사점으로 안내하고, 타방단(他方端)을 각각의 소정의 전극부(41)로 안내한다. 지지체(3)는, 도1에 나타나 있는 바와 같이 소정의 공간을 구비하여 배치되는 전극측판부(電極側板部)(31)와 검사측판부(檢査側板部)(32)의 2개의 부재로 형성할 수 있다. 또 이 전극측판부(31)와 검사측판부(32) 사이의 공간은, 접촉자(2)가 만곡하는 공간이 된다.The support 3 guides one end of each of the plurality of contacts 2 to each predetermined check point and guides the other end to each of the predetermined electrode portions 41. The support 3 is formed by two members, that is, an electrode side plate portion (electrode side plate portion) 31 and a test side plate portion (inspection side plate portion) 32, which are arranged with a predetermined space as shown in FIG. can do. The space between the electrode side plate portion 31 and the test side plate portion 32 is a space in which the contactor 2 is curved.

전극측판부(31)는 절연소재로 형성되어 있고, 접촉자(2)의 타방단을 전극부(41)로 안내하기 위한 안내구멍(도면에는 나타내지 않는다)이 형성되어 있다. 전극측판부(31)는 1매 또는 복수 매의 판(板) 모양의 부재로 형성할 수 있다. 전극측판부(31)는 후술하는 전극체(4)와 접촉되어 배치된다. 이와 같이 배치됨으로써 접촉자(2)의 타방단을 전극부(41)로 안내하기 쉽게 되어 있다.The electrode side plate portion 31 is formed of an insulating material and has a guide hole (not shown) for guiding the other end of the contactor 2 to the electrode portion 41. The electrode side plate portion 31 can be formed of one or a plurality of plate-like members. The electrode side plate portion 31 is disposed in contact with the electrode body 4 to be described later. By arranging in this way, it is easy to guide the other end of the contactor 2 to the electrode portion 41. [

검사측판부(32)는 절연소재로 형성되어 있고, 접촉자(2)의 일방단을 검사점으로 안내하기 위한 안내구멍(도면에는 나타내지 않는다)이 형성되어 있다. 검사측판부(32)는 1매 또는 복수 매의 판 모양의 부재로 형성할 수 있다. 검사측판부(32)의 안내구멍으로부터는 접촉자(2)가 돌출되어 있는 상태가 된다. 이러한 상태가 됨으로써 기판의 검사점과 접촉자(2)의 선단이 접촉할 수 있다.The test side plate portion 32 is formed of an insulating material and has a guide hole (not shown) for guiding one end of the contact 2 to the check point. The test side plate portion 32 can be formed of one or a plurality of plate-like members. The contactor 2 protrudes from the guide hole of the test side plate portion 32. [ In this state, the check point of the substrate and the tip of the contactor 2 can be brought into contact with each other.

전극측판부(31)와 검사측판부(32)는 상기와 같은 공간을 형성하기 위하여 소정 수의 지주(支柱)(33)에 의하여 지지된다. 이 지주(33)의 길이에 의하여 접촉자(2)가 만곡되는 공간이 형성된다.The electrode side plate portion 31 and the test side plate portion 32 are supported by a predetermined number of struts 33 to form the above space. A space in which the contactor 2 is curved is formed by the length of the support 33.

전극체(4)는, 복수의 접촉자(2)의 타방단과 각각 도통접촉되는 복수의 전극부와, 이들 전극부를 지지하고 절연소재로 형성되는 전극지지부(電極支持部)를 구비하고 있다. 전극부는 전극체(4) 표면의 소정의 위치에 배치되도록 형성되어 있고, 전극체(4)의 이면으로부터 후술하는 배선부(6)와 접속되어 있다.The electrode body 4 has a plurality of electrode portions which are respectively in contact with the other ends of the plurality of contacts 2 and electrode supporting portions (electrode supporting portions) which support the electrode portions and are formed of an insulating material. The electrode portion is formed so as to be disposed at a predetermined position on the surface of the electrode body 4 and is connected to the wiring portion 6 to be described later from the back surface of the electrode body 4. [

전극부는 전극체(4)의 표면에서, 접촉자(2)의 외경과 같거나 약간 큰 지름을 구비하는 원형이 되도록 형성된다. 전극부의 표면은 도금(鍍金)되는 것이 바람직하다. 전극부의 일단은 상기와 같은 접촉자(2)와 접촉되는 부위가 되고, 타단은 배선부(6)와 접속된다.The electrode portion is formed on the surface of the electrode body 4 to have a circular shape having a diameter equal to or slightly larger than the outer diameter of the contactor 2. [ The surface of the electrode portion is preferably plated. One end of the electrode portion is a portion in contact with the contact 2 as described above, and the other end is connected to the wiring portion 6. [

한편 배선부(6)는 토대부(7)의 이면측으로부터 돌출되도록 접속체(8)의 접속부(도면에는 나타내지 않는다)에 접속되어 있고, 접속체(8)가 이면측에 배치되어 기판검사장치와 전기적으로 접속할 수 있도록 배치되어 있다.On the other hand, the wiring portion 6 is connected to the connection portion (not shown) of the connection member 8 so as to protrude from the back side of the toe portion 7, and the connection member 8 is disposed on the back side, As shown in Fig.

전극지지부는 전극부를 지지하기 위한 절연소재로 판 형상으로 형성되어 있고, 이 전극지지부에는 전극부를 지지하기 위한 관통구멍(도면에는 나타내지 않는다)이 형성되어 있다.The electrode supporting portion is formed in a plate shape as an insulating material for supporting the electrode portion, and a through hole (not shown) for supporting the electrode portion is formed in the electrode supporting portion.

배선부(6)는, 일단측(一端側)이 복수의 전극부와 전기적으로 접속됨과 아울러, 후단(後端)이 후술하는 접속부와 전기적으로 접속된다. 이 배선부(6)는 절연피복된 구리(Cu)의 선재(線材) 등 소위 도선(導線)을 채용할 수 있다.One end side (one end side) of the wiring portion 6 is electrically connected to a plurality of electrode portions, and a rear end thereof is electrically connected to a connecting portion to be described later. This wiring portion 6 can employ a so-called conductive wire such as an insulated copper wire.

또 전극부와 배선부(6)는 일체로 형성할 수 있다. 예를 들면 소정의 길이를 구비하는 도선을 준비한다. 전극지지부에 형성되는 관통구멍에 이 도선을 관통시켜서 배치시킨다. 계속하여 전극지지부의 표면과 도선이 하나의 면이 되도록 도선을 절단한다. 전극지지부의 표면에는 도선의 절단면이 형성되고, 이 절단면을 전극부로서 이용할 수 있다. 이렇게 형성함으로써 전극부와 배선부(6)를 일체적으로 형성할 수 있다. 또 이 도선의 절단면에 금도금을 하게 된다.Further, the electrode portion and the wiring portion 6 can be formed integrally. For example, a lead having a predetermined length is prepared. And the lead wire is passed through the through hole formed in the electrode supporting portion. Subsequently, the lead wire is cut so that the surface of the electrode supporting portion and the lead wire are one surface. On the surface of the electrode supporting portion, a cut surface of a conductor is formed, and this cut surface can be used as an electrode portion. By doing so, the electrode portion and the wiring portion 6 can be integrally formed. Further, the cut surface of this conductor is plated with gold.

지주부(5)는 전극체(4)(및 지지체(3)와 접촉자(2))를 지지한다(도1 참조). 이 도1의 실시형태에서는, 전극체(4)의 네 모서리에 각각 지주부(5)가 형성되어 있어, 전극체(4)를 지탱하는 구조를 구비하고 있다.The support portion 5 supports the electrode body 4 (and the support body 3 and the contactor 2) (see Fig. 1). In this embodiment shown in Fig. 1, the support member 5 is formed at each of four corners of the electrode member 4, and has a structure for supporting the electrode member 4.

한편 지주부(5)의 길이는 검사용 치구(1)의 높이를 조정하지만, 그 높이는 검사장치의 크기에 따라 적절하게 변경된다.On the other hand, the length of the support portion 5 adjusts the height of the inspection jig 1, but the height thereof is appropriately changed in accordance with the size of the inspection device.

토대부(7)는 복수의 접촉자(2)나 지지체(3)나 전극체(4)나 지주부(5) 등의 토대로서 형성된다. 이 토대부(7)는 기판검사장치에 따라 그 형상이나 치수가 결정되지만, 예를 들면 판 형상으로 형성된다. 이 토대부(7)가 기판검사장치에 장착하기 위한 가이드의 역할을 함과 아울러, 검사용 치구(1)의 강도를 유지하게 된다.The toe portion 7 is formed as a base such as a plurality of contacts 2 and a support 3, an electrode body 4, a support portion 5, and the like. The shape and size of the toe portion 7 are determined depending on the substrate inspecting apparatus, but are formed in a plate shape, for example. The toe portion 7 serves as a guide for mounting to the substrate inspecting apparatus and also maintains the strength of the inspection jig 1.

접속체(8)는 배선부(6)의 타단에 접속됨과 아울러 기판검사장치와 전기적으로 접속하는 것을 가능하게 한다. 이 접속체(8)는 토대부(7)의 이면측(전극체(4), 지지체(3)나 접촉자(2)가 설치되는 측과 반대측)에 설치되어 있다. 이 접속체(8)는 각각의 배선부(6)와 접속되는 접속부를 복수 구비하여 이루어지고, 이들 각각의 접속부가 기판검사장치와 접속된다.The connection body 8 is connected to the other end of the wiring portion 6 and enables electrical connection with the substrate inspection apparatus. The contact 8 is provided on the back side of the toe portion 7 (on the side opposite to the side where the electrode body 4, the support body 3 and the contactor 2 are provided). The connecting body 8 is provided with a plurality of connecting portions to be connected to the respective wiring portions 6, and these connecting portions are connected to the substrate testing apparatus.

이 접속부로서, 이면측으로 돌출되는 수컷형의 핀 구조나 암컷형의 커넥터 구조를 채용할 수 있다. 이 접속부의 구조는 기판검사장치측의 접속단자의 구조에 따라 결정된다.As the connecting portion, a male pin structure or a female connector structure projecting to the back side can be employed. The structure of this connection portion is determined according to the structure of the connection terminal on the substrate inspection apparatus side.

전압 클램프부(電壓 clamp部)(9)는, 전자부품을 포함하는 배선의 일단이 검사점으로 설정되는 접촉자(2)와, 배선의 타단이 검사점으로 설정되는 접촉자(2)에 인가되는 검사 시의 전압이, 소정의 전압이 되도록 조정한다. 이 전압 클램프부(9)는, 전자부품을 포함하는 배선의 양단에 인가되는 검사전압이 전자부품의 내전압(耐電壓)을 넘지 않도록 설정된다.The voltage clamp portion 9 is a part of the voltage clamp portion 9 which is connected to the contact 2 whose one end is set as a check point and whose other end is set as a check point Is adjusted to be a predetermined voltage. The voltage clamping section 9 is set so that the inspection voltage applied to both ends of the wiring including the electronic component does not exceed the withstand voltage of the electronic component.

이러한 전압 클램프부(9)는, 전자부품을 포함하는 배선의 일단이 검사점으로서 설정되는 접촉자(2)와 전기적으로 접속되는 배선부(6)와, 전자부품을 포함하는 배선의 타단이 검사점으로서 설정되는 접촉자(2)와 전기적으로 접속되는 배선부(6)가 전기적으로 접속된다. 이와 같이 전압 클램프부(9)가 소정의 배선부(6) 상호간을 접속함으로써 전압 클램프부(9)를 용이하게 검사용 치구(1)에 비치할 수 있다.The voltage clamping portion 9 includes a wiring portion 6 electrically connected to the contact 2 whose one end of the wiring including the electronic component is set as a check point and the other end of the wiring including the electronic component, And the wiring portion 6 electrically connected to the contact 2 is electrically connected. As described above, the voltage clamp portion 9 can be easily secured to the inspection tool 1 by connecting the predetermined wiring portions 6 to each other.

전압 클램프부(9)는, 상기와 같은 기능을 구비하고 있으면 특별하게 한정되는 것은 아니지만 예를 들면 정전압 다이오드를 사용할 수 있다. 이 정전압 다이오드를 사용함으로써 간편하게 제조할 수 있다.The voltage clamping section 9 is not particularly limited as long as it has the above-described functions, but a constant voltage diode, for example, can be used. By using this constant-voltage diode, it is easy to manufacture.

다음에 배선부(6)의 사이를 전기적으로 접속하는 전압 클램프부(9)를 설정하는 방법에 대하여 설명한다. 도2는, 전압 클램프부(9)가 사용되는 상태를 나타내는 개략도이다. 또 도2에서의 기판은, 기판에 형성되는 배선의 상태를 이해하기 위하여 기판의 단면을 나타내고 있다. 도2에 나타내는 기판(CB)은 본 발명을 해설하기 위하여 나타낸 것이며, 이러한 기판(CB)은 1실시형태에 불과하다. 이 검사대상이 되는 기판(CB)에는, 검사대상이 되는 배선이 6개 형성되어 있다. 이 6개의 검사대상의 배선(w)에는, 기판(CB)의 표면(CBf)으로부터 이면(CBr)으로 접속하도록 형성되는 배선(w1)과 배선(w5)과 배선(w6)이 있고, 기판(CB)의 표면(CBf)으로부터 표면(CBf)으로 접속하도록 형성되는 배선(w2)과 배선(w3)과 배선(w4)이 있다. 또한 배선(w3)과 배선(w4)은 전자부품(ed1)과 전자부품(ed2)을 포함하고 있다.Next, a method of setting the voltage clamp portion 9 for electrically connecting between the wiring portions 6 will be described. 2 is a schematic view showing a state in which the voltage clamping section 9 is used. The substrate in Fig. 2 shows a cross section of the substrate in order to understand the state of wirings formed on the substrate. The substrate CB shown in Fig. 2 is shown for explaining the present invention, and such a substrate CB is only one embodiment. Six wirings to be inspected are formed on the substrate CB to be inspected. The wirings w to be inspected include wiring w1, wirings w5 and w6 which are formed so as to be connected from the surface CBf to the back side CBr of the substrate CB, The wirings w2 and w3 and the wirings w4 which are formed so as to be connected from the surface CBf to the surface CBf. The wirings w3 and w4 include an electronic component ed1 and an electronic component ed2.

검사용 치구(1)는 기판(CB)의 표면(CBf)에 접촉되는 치구와 이면(CBr)에 접촉되는 치구로 2개 제작할 수 있지만, 도2에서는 기판(CB)의 표면(CBf)용의 치구를 모식적으로 나타내고 있다. 또한 설명의 편의상 각각의 라인에 a 내지 i의 부호를 붙여서 설명한다. 예를 들면 배선(w1)을 검사하기 위한 검사점을 검사점(a), 배선(w2)을 검사하기 위한 검사점을 검사점(b)과 검사점(e), 배선(w3)을 검사하기 위한 검사점을 검사점(c)과 검사점(d)이라고 한다. 또한 검사점(a)에 접촉되는 접촉자를 접촉자(2a)라고 하고, 접촉자(2a)와 접촉되는 전극부를 전극부(41a)라고 한다. 또한 전극부(41a)는 배선부(6a)와 접속되어 있고, 배선부(6a)는 접속부(8a)와 접속되어 있다.The inspection jig 1 can be manufactured by two jigs which are in contact with the surface CBf of the substrate CB and a jig which is in contact with the back surface CBr. The jig is schematically shown. Also, for convenience of explanation, the respective lines are denoted by the symbols a to i. For example, the inspection point for inspecting the wiring w1 is checked for the check point a and the check point for inspecting the wiring w2 is checked for the check point b, the check point e and the wiring w3 (C) and checkpoint (d). The contact portion contacting the check point a is referred to as the contact 2a and the electrode portion contacting the contact portion 2a is referred to as the electrode portion 41a. The electrode portion 41a is connected to the wiring portion 6a and the wiring portion 6a is connected to the connecting portion 8a.

이러한 기판(CB)을 검사하는 경우에는, 배선(w)을 검사하기 위하여 설정되는 검사점에 접촉자(2)가 각각 배치된다. 다음에 배선(w3)과 배선(w4)에는 전자부품(ed1)과 전자부품(ed2)이 각각 배치되어 있고, 기판검사장치로부터의 검사전압이 과전압(過電壓)인 경우에는 전자부품(ed1)과 전자부품(ed2)이 파괴된다. 이 때문에 배선(w3)의 검사점(c)에 접속되는 접촉자(2c)와, 배선(w3)의 검사점(d)에 접속되는 접촉자(2d)에는 전자부품(ed1)의 정격전압을 고려한 검사전압이 인가되도록 설정된다. 구체적으로는 접촉자(2c)와 접속되는 배선부(6c)와, 접촉자(2d)와 접속되는 배선부(6d)의 사이에 전압 클램프부(91)가 접속된다.In the case of inspecting such a board CB, the contacts 2 are respectively arranged at check points set for inspecting the wiring w. Next, the electronic components ed1 and ed2 are disposed on the wirings w3 and w4, respectively. When the inspection voltage from the substrate inspecting apparatus is an overvoltage, the electronic components ed1, And the electronic component ed2 are destroyed. The contact 2c connected to the check point c of the wiring w3 and the contact 2d connected to the check point d of the wiring w3 are checked for the rated voltage of the electronic component ed1 Voltage is set to be applied. Concretely, the voltage clamp section 91 is connected between the wiring section 6c connected to the contact 2c and the wiring section 6d connected to the contact 2d.

이러한 전압 클램프부(91)는 정전압 다이오드를 사용할 수 있고, 이 검사점 사이(검사점(c)과 검사점(d))에 소정의 전압 이상이 인가되지 않도록 정전압 다이오드의 일단과 배선부(6c)가 접속되고, 정전압 다이오드의 타단과 배선부(6d)가 접속된다.One end of the constant voltage diode and one end of the wiring portion 6c (not shown) are connected to the voltage clamp portion 91 so that a predetermined voltage or more is not applied between the check points (check point c and check point d) And the other end of the constant-voltage diode and the wiring portion 6d are connected.

또한 전자부품(ed2)도 전자부품(ed1)과 마찬가지로 검사점(f)과 검사점(g)의 사이에 과전압이 인가되지 않도록 전압 클램프부(92)가 접속된다. 이 전압 클램프부(92)는 배선부(6f)와 배선부(6g)에 접속된다. 구체적으로는, 정전압 다이오드의 일단과 배선부(6g)가 접속되고, 정전압 다이오드의 타단과 배선부(6f)가 접속된다.The electronic component ed2 is also connected to the voltage clamp portion 92 so that an overvoltage is not applied between the check point f and the check point g like the electronic component ed1. The voltage clamp portion 92 is connected to the wiring portion 6f and the wiring portion 6g. Specifically, one end of the constant-voltage diode is connected to the wiring portion 6g, and the other end of the constant-voltage diode is connected to the wiring portion 6f.

검사용 치구는 기판(CB)에 따라 제조되는 것이기 때문에, 검사용 치구에 전압 클램프부를 설치함으로써 그 기판에 내장되는 전자부품에 따른 과전압방지(보호회로)수단을 설치할 수 있게 되어, 기판을 검사하는 중의 과전압 파괴로부터 보호할 수 있다. 이상이 본 발명의 검사용 치구에 대한 설명이다.
Since the inspection jig is manufactured in accordance with the substrate CB, it is possible to provide an overvoltage prevention (protection circuit) means according to the electronic parts built in the substrate by providing the voltage clamp portion in the inspection jig, It is possible to protect it from overvoltage breakdown. The test jig of the present invention has been described above.

1 : 검사용 치구
2 : 접촉자
3 : 지지체
4 : 전극체
6 : 배선부
8 : 접속체
9 : 전압 클램프부1: Jig for inspection
2: contactor
3: Support
4: Electrode body
6:
8:
9: Voltage clamp section

Claims (3)

전자부품을 내장하는 부품내장기판에 형성되는 배선의 전기적인 검사를 하는 기판검사장치(基板檢査裝置)와, 상기 부품내장기판을 전기적으로 접속하기 위한 검사용 치구(檢査用 治具)로서,
상기 기판의 배선 상에 설정되는 복수의 검사점에 일방단(一方端)이 접촉됨과 아울러 전기적으로 접속되는 복수의 막대 모양의 접촉자(接觸子)와,
상기 접촉자의 타방단(他方端)과 접촉됨과 아울러 전기적으로 접속되는 전극부(電極部)를 복수 구비하는 전극체(電極體)와,
상기 복수의 접촉자의 일방단을 각각의 소정의 검사점으로 안내하고, 타방단을 각각의 소정의 전극부로 안내하는 지지체(支持體)와,
상기 복수의 전극부와 전기적으로 각각 접속되는 복수의 배선부(配線部)와,
상기 배선부의 타단(他端)과 전기적으로 접속됨과 아울러 상기 기판검사장치와 전기적으로 접속되는 접속부(接續部)를 복수 구비하는 접속체(接續體)를 구비하고,
상기 전자부품을 포함하는 배선의 일단(一端)이 검사점으로서 설정되는 접촉자와, 상기 배선의 타단이 검사점으로서 설정되는 접촉자가, 소정 전압이 되기 위한 전압 클램프부(電壓 clamp部)를 구비하고 있고,
상기 전자부품을 포함하는 상기 배선의 일단(一端)이 상기 검사점으로서 설정되는 상기 접촉자와 전기적으로 접속되는 상기 배선부와, 상기 전자부품을 포함하는 상기 배선의 타단(他端)이 상기 검사점으로서 설정되는 상기 접촉자와 전기적으로 접속되는 상기 배선부가, 상기 전압 클램프부에 의하여 전기적으로 접속되어 있는
것을 특징으로 하는 검사용 치구.
A board inspecting apparatus for electrically inspecting a wiring formed on a component built-in board containing an electronic component and a checking jig for electrically connecting the component mounting board,
A plurality of rod-shaped contacts that are connected at one end to a plurality of check points set on the wiring of the substrate and are electrically connected to each other,
An electrode body (electrode body) having a plurality of electrode portions (electrode portions) which are in contact with the other end of the contactor and are electrically connected to each other,
A supporting body for guiding one end of the plurality of contacts to each predetermined check point and guiding the other end to each of the predetermined electrode portions,
A plurality of wiring portions (wiring portions) electrically connected to the plurality of electrode portions,
And a connection body electrically connected to the other end of the wiring portion and having a plurality of connection portions electrically connected to the substrate inspection apparatus,
A contact having one end of the wiring including the electronic component set as a check point and a contact having the other end of the wiring set as a check point are provided with a voltage clamp section for providing a predetermined voltage However ,
The wiring portion being electrically connected to the contactor whose one end of the wiring including the electronic component is set as the check point and the other end of the wiring including the electronic component being connected to the check point And the wiring part electrically connected to the contactor is electrically connected by the voltage clamping part
Wherein the inspection jig is characterized by:
제1항에 있어서,
상기 검사용 치구는, 상기 전압 클램프부와 상기 지지체가 배치되는 토대부(土臺部)를 갖는 것을 특징으로 하는 검사용 치구.
The method according to claim 1,
Wherein the inspection jig has a ground portion on which the voltage clamp portion and the support are disposed .
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 전압 클램프부는 정전압 다이오드(定電壓 diode)인 것을 특징으로 하는 검사용 치구.3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the voltage clamping unit is a constant voltage diode.
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